TWI486576B - 孔洞檢測方法及其裝置 - Google Patents
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Description
本發明係涉及一個物件的檢測裝置與方法,更具體而言,本發明係涉及檢測物件孔洞內部表面的一個裝置與方法。
按,許多製造商都會定期檢測所製造之產品,此為典型的品質管制措施,用來鑑別瑕疵產品,進而控制所製造產品的品質。
許多產品必須檢測其內部表面,例如螺孔等。一般而言,傳統的孔洞檢測方法系運用攝影機捕捉孔洞內部表面,攝影機與受檢測產品通常必須相對轉動,以期能夠獲得內部表面完整的視界。
許多個案中,攝影機與受檢測產品通常必須相對轉動3600
,是以當攝影機與受檢測產品完成3600
轉動後,攝影機能夠捕捉受檢測產品內部表面完整的影像,然後利用所捕捉受檢測產品內部表面的影像鑑別產品可能的瑕疵。
然而傳統孔洞檢測方法必須使攝影機與受檢測產品相對轉動,是一種極為耗費時間檢測方法。
又,因為傳統檢測方法必須讓攝影機環繞著受檢測產品轉動,因此必須設計一個轉動機制,建置此一轉動機制所費不貲,是一種極為耗費成本的檢測方法。同時因為轉動機制會產生振動,也會影響傳統檢測方法影像獲得之品質。
又,執行傳統孔洞檢測的系統並不具備足夠之聚焦深度,導致傳統孔洞檢測系統所捕捉影像產生失焦問題,同時也會影響影像品質,並產生影像失真問題。因為失真影像之校準容易造成影像解析度不佳之結果,是以失真影像不易檢測,也不易攫取尺寸資訊。
惟,傳統孔洞檢測系統請參第6a圖所示,如第6a圖所示,係為一光學系統600,該系統包括安裝在沿著一個中心軸線606轉動的一個轉動機制(未顯示)上的一部攝影機602與一個光學模組604;一個轉動工作台(未顯示)將光學模組604移動至三個不同位置1、2、3,並在該三個不同位置捕捉物件608的三個影像,也就是影像1、影像2與影像3;一個照明器609用來照明物件;依據檢測目的及受檢測物件,可配置更多影像捕捉位置以獲得更多影像;隨後一具控制器610執行所捕捉影像之檢測,以鑑別各個影像之瑕疵,並將受檢測參數與標準様板實施比對,或與使用者所設定瑕疵範圍實施比較,以決定物件608的良窳。
又如第6b圖所示,係顯示另一個傳統系統700,該系統中轉動的是物件608,而非光學模組604;該傳統系統700通常用來檢測中、小型尺寸與重量之物件,或是因為空間或設計等限制因素無法轉動光學模組的情況下採用之。在該傳統系統700中,轉動物件608,而光學模組604則依據不同預先設定時間間隔捕捉物件608之影像,以產生如第6b圖所示傳統系統之效果。
利用上述傳統系統600與700,捕捉數個影像所需時間極為冗長,同時控制器610必需處理數個影像,以產生檢測所需的影像。此外前述傳統系統必須利用一個馬達與編碼器模組612轉動光學模組604或物件608,所費不貲。光學模組604與物件608轉動資訊則回饋到控制器610,以利在適切觸發預設點觸發攝影機602。
因此有必要開發一個孔洞內部表面檢測方法,該方法無需轉動受檢測物件,並透過檢測孔洞整個內部表面單一影像,即能快速獲致最佳的結果。
有鑑於此,發明人本於多年從事相關產品之製造開發與設計經驗,針對上述之目標,詳加設計與審慎評估後,終得一確具實用性之本發明。
本發明之主要目的,係在提供一種檢測方法,其所欲解決之問題點,係針對本發明實施例包括無須轉動受檢測物件的情況下,檢測孔洞內部表面。
該檢測方法包括將一個照明光線指向一個孔洞,該孔洞具備兩端,同時兩端之間有一內部表面。該檢測方法同時也包括接收經過一個鏡頭總成並反射自該內部表面的光線,該鏡頭總成具備一個景深,該景深至少延伸至該孔洞兩端。該檢測方法進一步包括捕捉一個影像平面內部表面的二維影像(flat image),該內部表面沿著該二維影像充分聚焦,同時執行影像處理,以利檢測該二維影像,進而檢測該孔洞內部表面。
依據本發明一個第二實施例,此處揭露一種檢測裝置,該檢測裝置包括一個照明器,該照明器將光線指向一個孔洞,該孔洞具備兩端,同時兩端之間有一內部表面。該檢測裝置包括一個鏡頭總成,以接收反射自該內部表面的光線,並將該內部表面投射(imaging)成二維影像,該鏡頭總成具備一個景深,該景深至少延伸至該孔洞兩端。該檢測裝置進一步包括一個影像捕捉設備,以利捕捉影像平面上內部表面之二維影像。該內部表面沿著該二維影像充分聚焦,同時一個處理器執行影像處理,以利檢測該二維影像,進而檢測該孔洞內部表面。
請參閱第1圖係依據本發明一個實施例,顯示物件孔洞檢測方法10的一個流程圖。該方法10包括一個步驟12,該步驟12將照明光線指向該孔洞,該孔洞具備兩端,以及延伸至該孔洞兩端的一個內部表面。
該方法10包括一個步驟14,該步驟14可將反射自該孔洞內部表面的光線導向一個鏡頭總成;該方法10同時包括一個步驟15,該步驟15可將該孔洞內部表面投射成一個二維環狀影像(flat ring image),該二維環狀影像可顯示該孔洞內部表面完整細節;該方法10也包括一個步驟16,該步驟16可捕捉二維環狀影像,同時將該二維環狀影像由光學形式轉換成數位形式;該方法10進一步包括一個步驟18,該步驟18處理並檢測該二維環狀影像,進而檢測該孔洞內部表面。
依據本發明一個實施例,此處說明一種檢測裝置100,請參閱第2圖。該裝置100包括一個或多個照明光源102,以利將照明光束103指向一個孔洞104,該孔洞104係屬圓柱型孔洞,該孔洞104係形成於一個物件106之上,正如同某一製造產品上的一個通孔。本發明此一實施例中,運用該照明光源102將光線指向該孔洞104。該孔洞104具備一個第一端點108,一個第二端點110,以及一個內部表面112,該內部表面112延伸於該第一端點108與該第二端點110之間;該第一端點108與該第二端點110相較,該第一端點108比較接近該裝置100;該孔洞104可以是一個通孔,也可以是一個盲孔(blind hole);同理,該照明光源102用來提供該通孔或該盲孔之照明。
該照明光源102提供白色、彩色或單色光線以照明該孔洞104。該照明光源102範例如螢光燈管與白色、彩色或單色發光二極體,或是來自太陽之自然光線。如果該孔洞104為一通孔,可行的方式是以背景燈光指向該第二端點110,反之如果該孔洞104為一盲孔,可行的方式是將照明指向該第一端點108。
該裝置100也包括一個鏡頭總成116,如第2圖所示,照明光束反射自該孔洞104該內部表面112,並指向該鏡頭總成116。可行的方式是該鏡頭總成116應配置在該孔洞104該第一端點108直上。
第3圖係為第2圖所示該鏡頭總成116一個完整圖示,同時第3圖也顯示穿過該鏡頭總成116光線117的路徑。更具體而言,第3圖所示該鏡頭總成116包括複數鏡頭,也就是一個第一鏡頭118、一個第二鏡頭120、一個第三鏡頭122、一個第四鏡頭124與一個第五鏡頭126。或者該等複數鏡頭可由稜鏡取代之,以達到相同的光學效果。可行的方式是該第一至第五鏡頭118、120、122、124、126中,每一鏡頭沿著該鏡頭總成116一個中心軸線128配置,可行的方式是該中心軸線128與第2圖所示該孔洞104縱軸重合。
以下將說明鏡頭總成設計的一個範例。該第一至第五鏡頭118、120、122、124、126中,每一鏡頭規格尺寸及該鏡頭總成116型態模組如附表一:
可對該鏡頭總成116實施型態模組,以利檢測具備較大尺寸範圍的孔洞,例如直徑範圍8mm至16mm、深度範圍8mm至16mm的孔洞。本發明這一實施例中,該鏡頭總成116有效焦長大約為5.7mm,該鏡頭總成116可提供該孔洞104內部表面112高品質影像。
該鏡頭總成116具備一個圓柱型視界(cylindrical field of view)與一個圓柱型景深(cylindrical depth of view),該圓柱型景深至少在該孔洞104該兩端點108、110之間延伸;該鏡頭總成116將該圓柱型孔洞104內部表面112投射成一個二維環狀影像134。
參閱第2圖與第3圖,該裝置100進一步包括一個影像捕捉設備130,例如一部攝影機,以捕捉該二維環狀影像134,該影像捕捉設備130沿著該鏡頭總成116中心軸線128配置;該影像捕捉設備130一個影像偵測器(未顯示)配置於該鏡頭總成116一個影像平面132之上,該孔洞104兩個端點108、110之間內部表面112之環狀影像134在該影像平面132上形成;更具體而言,該孔洞104兩個端點108、110之間內部表面112與該影像平面132二維環狀影像134充分聚焦。
可行的方式是該裝置100與一部電腦(未顯示)連結,以利處理影像及顯示該內部表面112之環狀影像134,例如第4圖係該電腦一個顯示工具(未顯示)所顯示一個結果影像,例如一個電腦螢幕,該電腦螢幕顯示該裝置100所捕捉的一個通孔影像。更具體而言,該結果影像闡釋該孔洞104內部表面112一個瑕疵300或刮痕的聚焦影像。
更進一步一個範例,第5圖係在該顯示工具上所顯示的一個具有螺帽螺紋通孔的結果影像,更具體而言,某些螺帽螺紋清楚顯示出瑕疵部份400。該裝置100能夠在短暫時間內,精確鑑別該瑕疵部份400。
可行的方式是透過一個運用軟體應用系統的影像處理設備(未顯示),執行該孔洞104內部表面112之檢測作業。該影像處理設備可偵測該孔洞表面諸如螺帽螺紋等特色,進而偵測並鑑識該等特色之瑕疵。可行的方式是在該顯示工具上配置指示器設備,以指出該孔洞104內部表面是否出現瑕疵。
此外,透過處理第5圖所示該二維環狀影像134,該裝置100可確認該孔洞104內部表面112所形成內部螺紋之螺紋間距p i
。更具體而言,該內部螺紋的螺紋間距p i
與相對應於任何徑向內部螺紋的每一螺旋半徑R i
之公式如下:
在這一公式中,R 0
、b
與k
為常數,i
為該孔洞104內部表面112所形成螺旋螺紋的數值,R i
與R i+1
係沿著徑向該二維環狀影像134螺旋螺紋之半徑。
該裝置100進一步能夠檢測銲墊(bond pads)、接合線(bonding wires)或是半導體晶片間介面之瑕疵,該半導體晶片被置入該裝置100視界中,以利檢測前述瑕疵,其方式與孔洞檢測方法10類似。
以前述方式,依據本發明一個實施例,此處說明孔洞檢測的一個裝置與方法,以解決前述傳統檢測方法之缺失。雖然此處僅揭露本發明一些實施例,但依據本發明內容,本領域專業人士應當瞭解,此處所揭露之發明仍有許多變化或修訂,以利運用於各種不同尺寸與高度孔洞之檢測
作業,而該等變化與修訂仍不脫離本發明的範疇與精神。
上述實施例所揭示者係藉以具體說明本發明,且文中雖透過特定的術語進行說明,當不能以此限定本發明之專利範圍;熟悉此項技術領域之人士當可在瞭解本發明之精神與原則後對其進行變更與修改而達到等效之目的,而此等變更與修改,皆應涵蓋於如后所述之申請專利範圍所界定範疇中。
習知部分:
600‧‧‧光學系統
602‧‧‧攝影機
604‧‧‧光學模組
606‧‧‧中心軸線
608‧‧‧物件
609‧‧‧照明器
610‧‧‧控制器
612‧‧‧編碼器模組
700‧‧‧傳統系統
本發明部分:
10‧‧‧方法
12、14、15、16、18‧‧‧步驟
100‧‧‧檢測裝置
102‧‧‧照明光源
104‧‧‧照明光束
106‧‧‧物件
108‧‧‧第一端點
110‧‧‧第二端點
112‧‧‧內部表面
116‧‧‧鏡頭總成
117‧‧‧光線
118‧‧‧第一鏡頭
120‧‧‧第二鏡頭
122‧‧‧第三鏡頭
124‧‧‧第四鏡頭
126‧‧‧第五鏡頭
128‧‧‧中心軸線
130‧‧‧影像捕捉設備
134‧‧‧二維環狀影像
300‧‧‧瑕疵
400‧‧‧瑕疵部份
第1圖:本發明孔洞檢測方法之流程圖。
第2圖:本發明顯示孔洞檢測裝置之剖面視圖。
第3圖:承第2圖之鏡頭總成剖面視圖。
第4圖:承第2圖之裝置運用背景照明所捕捉到通孔之影像示意圖。
第5圖:承第2圖之運用背景照明所捕捉到具備螺帽槽通孔之影像示意圖。
第6a圖:先前技術所使用系統之圖示一。
第6b圖:先前技術所使用系統之圖示二。
10...方法
12、14、15、16、18...步驟
Claims (21)
- 一種孔洞檢測方法,包括:將照明光源指向一個具備兩個端點及延伸在兩個端點之間一個內部表面的孔洞,其中該兩端點分別定義為第一端點與第二端點;該孔洞之第一端點係位於第二端點的上方,並沿著一鏡頭總成之中心軸線配置;該鏡頭總成包含有複數鏡頭元件、一圓柱型視界以及一圓柱型景深,其中,該圓柱型景深係至少於該孔洞兩端點之間延伸;通過反射自該內部表面的光線,該光線係藉由該複數鏡頭元件,退出孔洞之第一端點,並於一影像平面上顯影出一聚焦的二維環狀影像;在一個影像平面捕捉該二維環狀影像;以及對擷取自孔洞內表面之二維環狀影像,執行影像處理,進而檢測該孔洞內部表面。
- 依據申請專利範圍第1項所述之檢測方法,其中將照明光束指向具備兩個端點及延伸在兩個端點之間一個內部表面的一個孔洞包括將照明光線指向兩個端點其中之一。
- 依據申請專利範圍第1項所述之檢測方法,其中該方法進一步包括提供另一個指向該孔洞的照明光線。
- 依據申請專利範圍第1項所述之檢測方法,其中引導一個照明光束包括引導白色、彩色與單色光線其中之 一。
- 依據申請專利範圍第1項所述之檢測方法,其中該複數鏡頭係沿該孔洞縱軸對齊排列。
- 依據申請專利範圍第1項所述之檢測方法,其中執行二維環狀影像檢測,進而檢測該孔洞內部表面包括在一個顯示工具顯示該二維環狀影像。
- 依據申請專利範圍第6項所述之檢測方法,其中該方法進一步包括在該顯示工具上提供一個指示方法,該方法與該孔洞該內部表面所偵測到的瑕疵有關。
- 依據申請專利範圍第1項所述之檢測方法,其中執行二維環狀影像檢測,進而檢測該孔洞內部表面包括決定孔洞的深度。
- 依據申請專利範圍第1項所述之檢測方法,其中執行二維環狀影像檢測,進而檢測該孔洞內部表面包括決定在該孔洞該內部表面所形成的內部螺紋間距。
- 一種孔洞檢測裝置,包括:一個照明器,以利將照明光線指向一個孔洞,該孔洞具備兩個端點、延伸在兩個端點之間一個內部表面以及一延伸穿越該兩端點之縱軸;其中該孔洞之第一端係位於其第二端之上方;一個具中心軸線之鏡頭總成,該鏡頭總成係設置於孔洞第一端點之上方,且其中央軸線與孔洞之縱軸互相同軸對應,該鏡頭總成包含有複數鏡頭元件、一圓柱型視界以及一圓柱型景深,該圓柱型景深至少在該孔 洞兩端點間延伸,該複數鏡頭元件係供接收反射自該內部表面且透出孔洞第一端的光線,同時將該孔洞整體內部表面投射成一個聚焦的二維環狀影像,並將該影像顯示於一影像平面上;一個影像捕捉設備,以利捕捉在一個影像平面所顯示該孔洞兩端點間內部表面的二維環狀影像;以及一處理器,該處理器係用以執行影像處理,進而檢測該孔洞該內部表面。
- 依據申請專利範圍第10項所述之檢測裝置,其中該照明器將該照明光線指向至少該孔洞該兩個端點其中之一。
- 依據申請專利範圍第10項所述之檢測裝置,其中一個第二照明器將一個照明光線指向該孔洞該兩個端點其中之一。
- 依據申請專利範圍第10項所述之檢測裝置,其中該裝置進一步包括另一個照明器,以利將照明光線指向該孔洞。
- 依據申請專利範圍第10項所述之檢測裝置,其中該照明光線為該照明器所產生白色、彩色與單色光線其中之一。
- 依據申請專利範圍第10項所述之檢測裝置,其中該照明光線係來自太陽之自然光線。
- 依據申請專利範圍第10項所述之檢測裝置,其中該影像捕捉設備與一個顯示工具連結,以利影像顯示。
- 依據申請專利範圍第16項所述之檢測裝置,其中該影像捕捉設備與該鏡頭總成鄰接配置,以利捕捉該二維環狀影像。
- 依據申請專利範圍第10項所述之檢測裝置,其中一個影像處理設備檢測與該孔洞該內部表面相對應的該二維影像。
- 依據申請專利範圍第18項所述之檢測裝置,其中該影像處理設備決定該孔洞的深度。
- 依據申請專利範圍第18項所述之檢測裝置,其中該影像處理設備決定在該孔洞該內部表面所形成的內部螺紋間距。
- 依據申請專利範圍第16項所述之檢測裝置,其中該裝置進一步包括能夠在該顯示工具顯示的一個指示器,該指示器用來指示該孔洞該內部表面所偵測到的瑕疵。
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG158756A1 (en) * | 2008-07-10 | 2010-02-26 | Visionxtreme Pte Ltd | Hole inspection method and apparatus |
JP5601984B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2014-10-08 | 東洋鋼鈑株式会社 | 多孔板表面検査方法及び多孔板表面検査装置 |
CN104062304B (zh) * | 2014-07-16 | 2017-07-07 | 必诺机械(东莞)有限公司 | 一种小开口大内腔产品内部检测装置和检测方法 |
JP6509146B2 (ja) * | 2016-02-24 | 2019-05-08 | 株式会社豊田中央研究所 | 検査装置および検査方法 |
CN105891218A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-08-24 | 成都慧信实验设备有限公司 | 检测电子元件表面缺陷的装置 |
US10302598B2 (en) | 2016-10-24 | 2019-05-28 | General Electric Company | Corrosion and crack detection for fastener nuts |
AT521298A1 (de) * | 2018-06-04 | 2019-12-15 | Alicona Imaging Gmbh | Verfahren zur optischen Erfassung der Geometrie eines Werkstücks |
CN110793968A (zh) * | 2018-08-02 | 2020-02-14 | 由田新技股份有限公司 | 辨识孔壁瑕疵的检测设备 |
CN109099839B (zh) * | 2018-08-23 | 2021-02-12 | 武汉中观自动化科技有限公司 | 一种用于测量工件表面圆孔的扫描仪辅助配件及方法 |
CN109341570B (zh) * | 2018-09-19 | 2020-09-08 | 中船重工鹏力(南京)智能装备系统有限公司 | 一种基于机器视觉的内螺纹检测方法及系统 |
DE102019134884A1 (de) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | Rheinmetall Air Defence Ag | Detektionsvorrichtung und Verfahren zur Detektion von Störfaktoren in einem Waffenrohr oder Laderohr einer Rohrwaffe |
CN113237409B (zh) * | 2021-06-29 | 2023-04-11 | 中国航发贵州黎阳航空动力有限公司 | 一种台阶孔深度测量装置 |
CN114964032B (zh) * | 2022-05-18 | 2023-07-18 | 北京理工大学 | 基于机器视觉的盲孔深度测量方法及装置 |
US20240027360A1 (en) * | 2022-07-25 | 2024-01-25 | Perfect Point EDM | Handheld fastener removal inspection device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002277402A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Toppan Printing Co Ltd | 容器の異物・欠点検査方法および装置 |
JP2003248813A (ja) * | 2002-02-25 | 2003-09-05 | Rozefu Technol:Kk | タップ穴検査方法およびその装置 |
JP2005181144A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Chuo Motor Wheel Co Ltd | 車両用ホイールリムの溶接部検出装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61270600A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-11-29 | Osaka Gas Co Ltd | 壁面検査装置 |
US4914289A (en) * | 1988-10-26 | 1990-04-03 | Inex-Vistech Technologies Incorporated | Article inspection system for analyzing end and adjacent sides |
JP2500961B2 (ja) * | 1990-11-27 | 1996-05-29 | 大日本スクリーン製造株式会社 | プリント基板の座残り検査方法 |
US5812693A (en) * | 1994-10-17 | 1998-09-22 | Chrysler Corporation | Integrated machine vision inspection and rework system -- CIP |
JPH08178858A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nec Corp | スルーホール検査装置 |
JPH09196856A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Tsubakimoto Chain Co | 表面検査方法、表面検査装置及びプリズム |
US6324298B1 (en) * | 1998-07-15 | 2001-11-27 | August Technology Corp. | Automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection |
JP3592615B2 (ja) * | 1999-06-07 | 2004-11-24 | カネボウ株式会社 | 物品の内面検査装置 |
DE10052184A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-05-02 | Datacard Corp | Prüfverfahren |
US7643137B2 (en) * | 2003-03-26 | 2010-01-05 | Nikon Corporation | Defect inspection apparatus, defect inspection method and method of inspecting hole pattern |
DE102005023353A1 (de) * | 2004-06-08 | 2006-01-05 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Prüfen von Oberflächen in Inneren von Löchern |
FI117650B (fi) * | 2004-10-27 | 2006-12-29 | Mapvision Ltd Oy | Symmetria-akselin määrittäminen |
US7292331B2 (en) * | 2005-03-15 | 2007-11-06 | Microview Technologies Pte Ltd | Inspection lighting head system and method of operation |
JP2006305608A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Toshiba Corp | レーザ加工装置、及びレーザ加工方法 |
JP2007010620A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Fanuc Ltd | ねじ部検査装置及びねじ部検査方法 |
US7436509B2 (en) * | 2006-10-23 | 2008-10-14 | Emhart Glass S.A. | Machine for inspecting glass containers |
JP5124147B2 (ja) * | 2007-02-01 | 2013-01-23 | 三洋電機株式会社 | カメラ校正装置及び方法並びに車両 |
US8014586B2 (en) * | 2007-05-24 | 2011-09-06 | Applied Vision Corporation | Apparatus and methods for container inspection |
CN101109716B (zh) * | 2007-08-01 | 2012-05-02 | 北京理工大学 | 孔内表面的光学检测方法 |
US8395661B1 (en) * | 2009-02-16 | 2013-03-12 | Seektech, Inc. | Pipe inspection system with selective image capture |
SG158756A1 (en) * | 2008-07-10 | 2010-02-26 | Visionxtreme Pte Ltd | Hole inspection method and apparatus |
-
2008
- 2008-07-10 SG SG200805209-4A patent/SG158756A1/en unknown
-
2009
- 2009-07-09 CN CN200980135804.XA patent/CN102171553B/zh not_active Expired - Fee Related
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002277402A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Toppan Printing Co Ltd | 容器の異物・欠点検査方法および装置 |
JP2003248813A (ja) * | 2002-02-25 | 2003-09-05 | Rozefu Technol:Kk | タップ穴検査方法およびその装置 |
JP2005181144A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Chuo Motor Wheel Co Ltd | 車両用ホイールリムの溶接部検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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