TWI449083B - Excimer lamp - Google Patents

Description

準分子燈

本發明是關於一種在放電容器內形成反射膜的準分子燈，尤其是，關於一種具有可適用於設置光量監測的裝置的監測用的採光口的準分子燈者。

作為傳統的準分子燈，被提案有雙重管型、圓筒型、方型等的各種形狀。此些準分子燈，是不管形狀都被期待高輸出化。作為實現此種高輸出化的技術，眾知有在放電容器內形成反射膜所成的準分子燈，例如表示於日本特開2007-335350號公報者。

依照該傳統技術，在準分子燈的方型等放電容器的內面，有反射紫外光的二氧化矽主體的微粒子所形成的反射膜被形成於除了光放射面以外的部分。又，在該放電容器的光放射面的外表面，及其相反側的外表面設有一對外部電極。形成於該光放射面的外部電極，是為了發揮取出光的所謂原來的功能，例如使用著格柵狀地塗佈金糊的光透射性電極。

一方面，作為形成於不取出相對於上述光放射面的光的一側的外表面的外部電極，在功能不需要為光透射性，惟很多情形，由製程的簡化，在該放電容器內所發生的放電的穩定性等的觀點，與上述光放射面同樣地進行著仍然使用光透射性電極。

又，在準分子燈中，如日本特開2005-322632號公報(第3圖)所示地，眾知在光透射性電極的端部附加整體狀電極者。在該公報中，針對於其作用效果上並不一定明記，惟該端部的整體狀電極，是確保管軸方向的照度均勻性，可期待擴展有效發光領域的效果。

亦即，在光透射性電極的端部，與中央部附近相比較，所放射的紫外光強度必定降低。降低該紫外的強度，在有效發光領域會發生照度不均勻，所以有無法充分地確保有效發光領域本體的長度的缺點，而欲充分地確保該有效發光領域，則會產生準分子燈的全長度變長的問題，而在外部電極的端部側設置整體狀電極，期待可解決此些問題者。

此為，整體狀電極部分放電密度比光透射性電極的放電密度還要高，藉此防止在電極端部的降低照度，結果，可達成在有效發光領域的照度均勻化。

還有，眾知以改善準分子燈的起動性的目的，在放電空間內面也設置導電性物質(起動補助電極)。作為此種傳統技術，例如有日本特開平8-329903號公報。依照該公報，記載在設於放電容器外表面的一對電極的一方端部近旁而在該放電容器內面，設置導電性物質，作為起動補助電極的情形。藉此，位在準分子燈的放電容器內面，在起動補助電極與外部電極之間會發生沿表面放電，藉此被期待降低在外部電極間所發生的放電容器內的主放電的放電開始電壓的情形。結果，具有在低起動電壓也可確實地點燈準分子燈的效果。

可是，在該起動補助電極與外部電極之間，在放電容器內面所發生的沿表面放電，是不僅在準分子燈的起動時，在之後的一般點燈時，也繼續發生。藉由該繼續所發生的沿表面放電，或是所配置的起動補助電極本身，有所謂產生該準分子燈的管軸方向的照度不均勻的問題。尤其是若將該起動補助電極配置於準分子燈的軸方向的中央部附近，則該起動補助電極本體對於放射光成為影子，且成為沿表面放電存在於中央部附近，而有所謂顯著損及該準分子燈的管軸方向的照度均勻性的問題。

因此，設置此種起動補助電極時，不會影響到從該準分子燈所放射的光的均勻性的方式，盡量設於軸方向的端部側較佳。

又一方面，也眾知監測從準分子燈所放射的紫外光的光量的情形。作為此種技術，例如眾知有日本特開2005-322632號公報等。在該公報中記載著為了監測從準分子燈所放射的紫外光的光量，在該準分子燈的非光透射性電極的軸方向的端部附近設有採光口者。如此地將採光口配置於準分子燈的端部近旁，在保持對於從該準分子燈所放射的光的軸方向的照度均勻性上，盡量作成不會有阻礙。

由如上述的幾種傳統技術，就可假設在具有在端部設置整體狀電極所成的一對光透射性電極，及設於放電容器內的起動補助電極，及形成於除了放電容器內表面的光放射面以外的部分的反射膜的準分子燈中，在上述反射膜的管軸方向的端部作成如形成該採光口的構成的情形為容易地想得到者。

專利文獻1：日本特開2007-335350號公報

專利文獻2：日本特開平8-329903號公報

專利文獻3：日本特開2005-322632號公報

第3圖是表示此些傳統的準分子燈的構成的概略圖，第3(a)圖是俯視圖，而第3(b)圖是其A-A斷面圖。方型放電管1是具有石英玻璃所成的放電容器11，而在相對於該放電容器11的一對的一面的外表面，例如以金糊等形成有格柵狀地所形成的光透射性的外部電極2。又，在外部電極2的端部形成有整體狀電極3。

一方面，在相當於形成有上述整體狀電極3的部分的上述放電容器11的內面，一部分重疊於該整體狀電極3的方式，配置形成有起動補助電極6。又，在除了該放電容器11內面的光放射面以外的部分，為了反射藉由該外部電極2間的放電所發生的紫外光，例如形成有二氧化矽主體的微粒子所成的反射膜4。

又，在反射膜4，為了監測在放電容器11內所發生的紫外光形成有取出光的採光口5，惟該採光口5是盡量不會影響到照度均勻性的方式，形成於放電容器11的管軸方向的端部近旁。

第4圖是說明從放電容器內部側觀看上述準分子燈的放電容器端部近旁的沿表面放電的概念圖。

當點燈準分子燈，則在放電容器11的內面，沿表面放電12發生在上述起動補助電極6，與整體狀電極3或外部電極2之間。該沿表面放電12是在點燈準分子燈時以低電壓容易地發生之故，因而該沿表面放電12成為火種而可降低準分子燈的點燈電壓。

然而，如上述地，該沿表面放電12是在除了準分子燈的起動時以外的通常點燈時也發生，使得此沿表面放電12也會跑到設於放電容器11的端部近旁的光電監測用的採光口5的情形，而此與來自該採光口5的須監測的準分子光混在一起，使得該沿表面放電12成為阻礙，有無法正確地測出從準分子燈所放射的光量的問題。

鑑於上述傳統技術的問題處，在本發明中，一種準分子燈，屬於在設於放電容器的外表面的一對光透射性外部電極的端部設有整體狀電極，而在上述放電容器的內面與該整體狀電極以一部分重疊的方式形成有起動補助電極，在上述放電容器的內表面形成有反射膜，而且在該反射膜的管軸方向的端部近旁形成有光電監測用的採光口所成的準分子燈，其特徵為：在上述整體狀電極形成朝管軸方向延伸的枝狀電極，上述起動補助電極是一部分重疊於該枝狀電極的方式所配置。

又，上述採光口是藉由以朝該反射膜的軸方向延伸而在端部進行開口的方式所形成的缺口部，及上述整體狀電極的端緣，被隔開所形成。

藉由採用此種構成，成為可將起動補助電極盡量較遠地配置於距光電監測用的採光口，不會受到在起動補助電極與外部電極間所發生的沿表面放電的影響而可進行光電監測，發揮正確地可檢測出從該準分子燈所放射的紫外光的效果。

又，藉由將採光口以延伸到反射膜端部的缺口部與整體狀電極的端緣所隔開所形成，藉此也有容易形成採光口的效果。

第1圖是表示本發明的準分子燈的第1實施例的概略圖，第1(a)圖是俯視圖，而第1(b)圖是其B-B斷面圖。

在圖中，在形成於光透射性電極2的端部的整體狀電極3，一體地形成有在其上下端朝與管軸方向的光透射性電極相反方向延伸的枝狀電極8、8。

又，在相當於形成有此枝狀電極8的部分的上述放電容器11的內面，重疊其一部分地形成有整體狀電極6。針對於其他構成，與表示於第3圖者同樣。

該枝狀電極8、8，是具有增加採光口5與起動補助電極6之間的距離L的作用之故，因而即使將採光口5配置於對配光特性影響少的準分子燈的端部近旁，在燈點亮時從起動補助電極3朝外部電極2所發生的沿表面放電，也不會及於上述採光口5，不會影響到從該採光口5欲監測的光量，發揮可正確地監測來自燈的放射光的作用效果。

第2圖是表示本發明的準分子燈的第2實施例的概略圖。

該第2實施例的基本上構成，亦即，有關於整體狀電極3與枝狀電極8、8及起動補助電極6為與上述第1實施例同樣，僅採光口5的形狀不相同。

在本實施例中，在放電容器11內面的反射膜4，形成有朝軸方向延伸在其端部形成有開口的缺口部10，上述採光口5是藉由該缺口部10，與上述整體狀電極3的端緣3a被隔開所形成。

上述採光口5是事先將遮罩帶黏貼於放電容器11內，形成反射膜4之後，藉由剝離該帶所形成者，惟在反射膜4的端部作成開口的方式所延伸的缺口部10所形成之故，因而該製作成為容易。

又，在上述實施例的說明，放電容器11是說明作為方型管形狀，惟並不被限定於此者，當然可採用圓型管形狀等的各種形狀。

1．．．方型放電管

2．．．外部電極

3．．．整體狀電極

4．．．反射膜

5．．．採光口

6．．．起動補助電極

7．．．枝狀電極

10．．．缺口部

11．．．放電容器

第1(a)圖及第1(b)圖是表示本發明的第1實施例的準分子燈的構成的概略圖。

第2圖是表示本發明的第2實施例的準分子燈的構成的概念圖。

第3(a)圖及第3(b)圖是表示傳統的準分子燈的構成的概念圖。

第4圖是表示從傳統的準分子燈的放電管的內表面觀看的沿表面放電的概念圖。

1．．．方型放電管

2．．．外部電極

3．．．整體狀電極

4．．．反射膜

5．．．採光口

6．．．起動補助電極

8．．．枝狀電極

11．．．放電容器

L．．．距離

Claims (2)

1. 一種準分子燈，屬於在設於放電容器的外表面的一對光透射性外部電極的端部設有整體狀電極，而在上述放電容器的內面，與該整體狀電極以一部分重疊的方式形成有起動補助電極，在上述放電容器的內表面形成有反射膜，而且在該反射膜的管軸方向的端部近旁形成有光電監測用的採光口所成的準分子燈，其特徵為：在上述整體狀電極形成朝管軸方向延伸的枝狀電極，上述起動補助電極是一部分重疊於該枝狀電極的方式所配置。
2. 如申請專利範圍第1項所述的準分子燈，其中，上述採光口是藉由以朝該反射膜的軸方向延伸而在端部進行開口的方式所形成的缺口部，及上述整體狀電極的端緣，被隔開所形成。