TWI418808B - Capacitor leakage current measurement method and capacitor leakage measuring device - Google Patents

Description

電容器漏流測定方法及電容器漏流測定裝置

本發明是關於一種進行測定電容器的漏流的電容器漏流測定方法及電容器漏流測定裝置。

一般電容器的漏流測定方法，是依照日本工業規格的JIS C5101-1之4.9項的規定。該規定是記載著「在電容器施加直流電壓，而從到達至大約其電壓時最大5分鐘後進行測定，在短時間達到至規定的漏流值的時候，不必施加5分鐘」者。

第7圖是表示有關於漏流測定的一般性電容器C0的等值電路圖。如第7圖所示地，電容器C0是等值地並聯連接主容量C，及絕緣電阻R1，及介質吸收因子D所構成。介質吸收因子D是由串聯連接的內部電阻與容量(以下，稱為介質分極容量)來表示藉由在電容器C0施加電壓時發生於內部的電場所形成的介質分極者。如非專利文獻1所述地，介質分極是從開始電容器C0的充電之後經過一定時間才會穩定，惟一直到穩定為止的期間經由內部電阻進行著對於介質分極容量的充電。在以下，將對於介質分極容量的充電稱為介質吸收因子D的充電。

如第7圖所示地，介質吸收因子D是並不被限定在僅串聯連接的內部電阻與介質分極容量的一組等值地表示，而也有以並聯地連接複數組串聯連接的內部電阻與介質分 極容量的組的等值電路所表示的情形。在此種情形下，在電容器C0的充電流，流在電容器C0的電流的時間變化並不依存於介質吸收因子D的內部構成之故，因而在第7圖中，僅以一組內部電阻與介質分極容量等值地表示介質吸收因子D。

在介質分極穩定之後流在電容器C0的電流，是實際上流在絕緣電阻R1的漏流。因此，欲精度優異地測定電容器C0的漏流，必須在介質分極穩定之後才測定漏流，而藉由測定該漏流，也可求出絕緣電阻R1。

第8圖是表示流在將規定電壓施加於電容器C0進行充電時的電容器C0的電流的時間變化的圖式，橫軸是時間，縱軸是流在電容器C0的電流。第8圖的領域X是充電電流領域，主要為主容量C被充電。領域Y是介質吸收領域，而介質吸收因子D被充電。領域Z是介質吸收因子D充分地被充電之後的漏流領域，而在該領域進行測定漏流。

在介質吸收領域Y須充電介質吸收因子D需要某種程度較久時間之故，因而在電容器C0施加規定電壓，一直到達至漏流領域Z為止的時間也變久。所謂上述的JIS C5101-1的「在電容器施加直流電壓，從到達至大約其電壓時在最大5分鐘後進行測定」的規定，是指充電上述介質吸收因子D，而在達到漏流領域之後未測定漏流，則無法測定正確的電流值的情形。

然而，在此，充電各個電容器C0費時之故，因而著 重於該規定的後半的「在短時間達到規定的漏流值的情形，則不必施加5分鐘」，為了對應於此，提案著在短時間到達至漏流領域的幾種方法。

例如專利文獻1是藉由分成複數次來進行充電，縮短每1次的充電期間，且充電期間別地控制充電電壓，在可能範圍內將高電壓施加於電容器而實現急速充電。

非專利文獻1：電氣工學手冊(第6版)110頁，181頁

專利文獻1：日本特開平10-115651號公報

然而，在專利文獻1的手法上有以下的問題。

第9圖是表示習知的漏流測定裝置的俯視圖。被測定對象電容器C0所成的工件是使用線性進給器1搬運至分離供應部2。分離供應部2是將各個工件，一個一個地收納在以等間隔配置於圓形搬運台3的周圍的複數工件收納孔4。搬運台3是將其中心軸5的周圍作成朝例如圖示的A方向間歇性地可旋轉，沿著搬運台3的周緣部，互相地隔著間隔配置有複數充電平台6與測定平台7。

在複數充電平台6的底面對於設於工件兩端的電極朝上下地可移動地設置有兩個探針(在第9圖未予圖示)。隨著搬運台3的移動，當工件收納孔4來到充電平台6的位置，則兩個探針抵接於工件的兩端電極而初期充電工件。

工件移動在複數充電平台6間，或充電平台6與測定平台7間的時候，探針來抵接於工件的兩端電極，而被積 蓄於工件的電荷是被自然放電。在該放電期間，如第7圖的等價電路可知地，積蓄於主容量C的電荷可使用於介質吸收因子D的充電，同時成為流在絕緣電阻R1的電流而被耗掉。

在測定平台7中，將測定用探針接觸於工件的端子，一面施加規定的直流電壓一面測定漏流。測定平台7與其正前方的充電平台6是隔著距離配置，在工件到達至測定平台7為止之期間，工件的主容量C的電荷一部分被放電。所以在剛測定漏流之前滿量充電主容量C，作成可忽略流在介質吸收因子D的電流的狀態才必須測定漏流。因此，測定漏流所需要的真正測時間與將主容量C作成滿量充電所需要的時間的相加時間成為視觀上的測定時間，而完成漏流測定為止需費相當時間(一般為1分鐘以上)。

如此地，在習知的漏流測定裝置中，測定時間變久，而有測定的處理效率不好的問題。欲提昇處理效率，也可考慮增加流在滿量充電主容量C之際的電流俾用來縮短充電時間，而施加耐電壓的公稱值以上的電壓的方法，惟在漏流測定時所使用的精密電流計，一般串聯連接有電流限制用的電阻，而流在主容量C的電流是被限制，其結果，無法大幅地縮短主容量C的充電時間。

本發明是鑑於上述問題點而創作者，其目的是在於提供一種以短測定時間就可精度優異地測定漏流的電容器C0漏流測定方法及測定裝置者。

依照本發明的一態樣，提供一種電容器漏流測定方 法，是在被測定對象的電容器施加直流電壓進行測定漏流的漏流測定方法，其特徵為：具備：包含上述電容器內部的介質吸收因子，充電上述電容器的步驟；及一直到上述電容器的兩端電位差從充電後的電位差變為漏流測定時的電位差為止的所定期間，經由上述電容器內部的絕緣電阻，放電被積蓄於上述電容器的電荷的步驟；及在上述所定期間後，於上述電容器的兩端電位差為上述漏流電流測定時的電位差之狀態下，將包含第2電流限制電路的電流計連接至上述電容器，藉此進行測定流在上述絕緣電阻的漏流的步驟，在充電上述電容器的步驟所使用的第1電流限制電路的充電完成時的阻抗，是設定成比上述電容器的漏流測定時所使用的上述第2電流限制電路的阻抗還要小，上述介質吸收因子，是由串聯連接的內部電阻與容器來表示藉由在電容器施加電壓時發生於內部的電場所形成的介質分極者。

又，依照本發明的一態樣，提供一種電容器漏流測定裝置，是在被測定對象的電容器施加直流電壓進行測定漏流的漏流測定裝置，其特徵為：具備：包含上述電容器內部的介質吸收因子，充電上述電容 器的充電手段；及一直到上述電容器的兩端電位差從充電後的電位差變為漏流測定時的電位差為止的所定期間，經由上述電容器內部的絕緣電阻，放電被積蓄於上述電容器的電荷的放電手段；及在上述所定期間後，於上述電容器的兩端電位差為上述漏流電流測定時的電位差之狀態下，將包含第2電流限制電路的電流計連接至上述電容器，藉此進行測定流在上述絕緣電阻的漏流的漏流測定手段，上述充電手段是具有串聯連接於上述電容器的第1電流限制電路，上述測定手段是具有串聯連接於上述電容器的第2電流限制電路，上述第1電流限制電路的充電完成時的阻抗，是設定成比上述第2電流限制電路的阻抗還要小，上述介質吸收因子，是由串聯連接的內部電阻與容器來表示藉由在電容器施加電壓時發生於內部的電場所形成的介質分極者。

依照本發明，以短測定時間，精度優異可測定漏流。

以下，一面參照圖式一面針對於本發明的實施形態加以說明。

本實施形態是將滿量充電電容器C0之後一直到漏流 測定為止的電容器C0的放電期間作成最適當化，而在短時間作成精度優異地測定漏流，為其特徵。以下，詳述本實施形態之前，針對於本實施形態的原理加以說明。

如第7圖所示地，在電容器C0等值地存在著介質吸收因子D，充分地充電該介質吸收因子D而用以充電介質吸收因子D的介質吸收電流成為大約零之後，才能精度優異地測定電容器C0的漏流。

第1圖是表示電容器C0的充電時間與介質吸收電流之關係的圖式。如第8圖所示地，當充電電容器C0，則從充電電流領域X移行至介質吸收領域Y，最後到達至漏流領域Z。亦即，在介質吸收領域Y中，進行著對介質吸收因子D的充電，而當接近漏流領域Z時，則在主容量C與介質吸收因子D幾乎未流著電流。在該狀態，僅變更時間△t=t2-t1時的介質吸收電流的變化量△I=I2-I1，是由第1圖可知，成為些微值。因此，時間△t小時，則可忽略介質吸收電流的變化量△I。

如以下所述地，在本實施形態中，至少進行1次在測定前至少使用一個充電平台6，初期充電電容器C0，而一直充電電容器C0使得介質吸收電流的變化量△I可幾乎忽略的程度，及之後，在電容器C0移動充電平台6間的期間中斷充電，又在其後，在設於近接於測定平台7的位置的測定前充電平台滿量充電電容器C0的主容量C。當完成測定前充電平台的充電(在第1圖的時間t1)，僅事先被最適當化的放電期間進行電容器C0的放電之後，進行在 測定平台7的漏流測定。將該放電期間作成最適當化之點，在本實施形態有特徵。

又，最適當化的放電期間是極小之故，因而如上述地放電期間△t的期間的介質吸收電流的變化量△I是可忽略。

在習知技術中，通過介質吸收領域Y而到達至漏流領域Z之後才測定漏流，對此，在本實施形態中，著重在到達至漏流領域Z之前，在接近於該介質吸收領域Y中的漏流領域Z的領域中，若最適當化上述△t，則精度優異地可測定漏流。此為不外乎縮短一直到開始漏流測定為止的時間。

第2(a)圖是表示在介質吸收因子D未流介質吸收電流的狀態的測定前充電平台的充電動作的等值電路圖，第2(b)圖是表示從測定前充電平台一直到測定平台7為止，電容器C0被搬運之間的放電動作的等值電路圖，第2(c)圖是表示在測定平台7的測定動作的等值電路圖。

在第2(a)圖至第2(c)圖中，在介質吸收因子D未流介質吸收電流的情形作為前提，而可省略介質吸收因子D的情形。因此，電容器C0是等值性地以並聯連接的主容量C與絕緣電阻R1所表示。

第2(a)圖的等值電路是具有並聯連接的主容量C及絕緣電阻R1，及串聯連接於該並聯電路的電路限制電路(第1電流限制電路)8。電流限制電路8是利用電阻所構成，或是利用電子零件而實現與電阻同等的電流限制功能的任 一種，該電流限制電路8的阻抗是R2。該阻抗R2是在介質吸收因子D未流介質吸收電流時(亦即，在介質吸收因子D充分地進行充電時)的數值。

第2(b)圖的等值電路是具有並聯連接的主容量C與絕緣電阻R1，而與電源電壓E切開。在該電路，來自主容量C的放電電流流在絕緣電阻R1。

第2(c)圖的等值電路是具有並聯連接的主容量C與絕緣電阻R1，及串聯連接於並聯電路的電流限制電路(第2電流限制電路)9。該電流限制電路9的阻抗是R3。

在測定前充電平台，以短時間就可進行對於主容量C的充電的方式，減小電流限制電路8的阻抗R2。一方面，電流限制電路9的阻抗R3是未圖示的電流計的內部電阻，而高精度地可測定電流的方式，設定成較大值。亦即，為R2<R3的關係。對於此，絕緣電阻R1是比R3還要大的數值，通常為百萬歐姆級數的高阻抗。

在此，使第2(a)圖與第2(c)圖的電源電壓E作成相等，將第2(a)圖的情形的電容器C0的兩端電位差作為V2，而將第2(c)圖的情形的電容器C0的兩端電位差作為V3，則成立R2<R3的關係，而成為V2>V3，此為表示完成測定前充電之後，在放電期間內慢慢地降低電容器C0的兩端電位差，而在漏流測定時成為V3的情形。換言之，若完成放電期間後的電容器C0的兩端電位差成為V3的方式來設定放電期間，在漏流測定時當將探針連接於電容器C0，則在電容器C0不會流著充放電電流，而立刻可 進行漏流的測定。

如此地，在漏流測定時，將電容器C0的兩端電位差儘量在短時間內設定成V3，為在短時間精度優異地測定漏流所用的必需要件。

在漏流測定時，欲作成在電容器C0未流充放電電流，則必須精度優異地設定放電期間t。該放電期間t的最適當值，是將電容器C0的容量作為C，則以t=C(R3-R2)所表示。針對於該式的導入過程是如下所述。

亦即，利用測定前充電，以比測定時稍高的電壓V2先充電主容量C，而在下一測定時，施加比V2還要低的電壓V3進行測定。將完成該測定前充電一直到開始測定為止的時間作為t，則測定前充電的電壓V2在一直到開始測定為止的時間t的期間，藉由內部放電降低，而在開始測定時，主容量C的兩端電位差成為測定時的施加電壓V3，因此在開始測定時藉由施加電壓V3成為僅漏流流在絕緣電阻R1。

又，在此，忽略了對於介質吸收因子D的電流的變化量，以下作為一例子求出t，來檢討其可否。

例如，作成C=100μF、R2=100Ω、R3=1kΩ，則成為t=100×10^-6 (1000-100)=9×10^-3 ≒1/10[秒]

依照本實施形態，藉由充電平台6進行初期充電，一直到接近於第7圖的介質吸收領域Y中的漏流領域Z的領 域為止進行充電電容器，而在該狀態下利用測定前充電使得電容器的兩端電位差充電成為V2為止，之後成為僅放電t=1/10[秒]=1/600[分]的極短時間，亦即第1圖的△t成為上述的t=C(R3-R2)，而在接近於漏流領域的介質吸收領域的△t，△I是視作為大約零。由以上，在主容量C與介質吸收因子D的雙方成為不會流進電流，而經過放電期間t之後可立即測定漏流。

如此地，依照本實施形態，需要時間的初期充電是事先任意地進行調整充電平台6之數量，而從影響到漏流測定的處理速度的測定前充電一直到測定為止，進行在測定前充電平台的充電之後，僅放電期間t=C(R3-R2)或接近於它的時間進行放電，之後立即可測定漏流之故，因而大幅度地可縮短完成漏流測定為止的時間。又，充電電容器C0，而將電容器C0的兩端電位差一致於測定電壓之後才進行漏流的測定之故，因而精度優異地可進行漏流的測定。

以下，針對於本實施形態進行具體地加以說明。在以下，將測定漏流所用的被測定對象電容器C0稱為工件。

第3圖是表示本發明的一實施形態的電容器C0漏流測定裝置的俯視圖。第3圖的裝置是與表示於第9圖的習知裝置同樣地，具備：線性進給器1，及分離供應部2，及複數工件收納孔4以等間隔所形成的圓形搬運台3，及複數(初期)充電平台6，及測定平台7。其他，第3圖是作成在第9圖所沒有的構成，具備近接於充電平台6所配置 的測定前充電平台10。該測定前充電平台10是剛測定被測定對象電容器C0的工件的漏流之前滿量充電工件的目的所設置。

測定前充電平台10是配置在距測定平台7僅隔著工件收納孔4的1間隔分量的位置。因此，到達測定前的充電平台10的工件，是在同平台被充電，然後當搬運台3僅旋轉1間隔，就可到達至測定平台7。

複數充電平台6，測定前充電平台10及測定平台7是分別具備從底面朝上下可移動的兩件探針，當工件被搬運到各平台時，則將兩件探針抵接於工件的兩端電極而進行工件的充電或漏流測定。

第4圖是在複數充電平台6分別充電工件的情形的等值電路圖。在第4圖中，將對應於工件的被測定對象電容器C0以並聯連接的主容量C，絕緣電阻R1及介質吸收因子D所表示。在該並聯電路，串聯連接有電流限制電路8與開關SW1。該開關SW1是等值地表示是否將充電平台6的探針抵接於工件的兩端電極的狀態，當抵接，則導通開關SW1，而進行對於電容器C0的充電。未抵接探針，則斷開開關SW1之故，因而積蓄於主容量C的電荷是經由絕緣電阻R1而被放電。由主容量C放電的電荷是為了充電介質吸收因子D所使用。如此地，在將工件依次移送至複數充電平台6的期間，交互地進行著工件的充電與充電的中斷，而在充電的中斷中進行著介質吸收因子D的充電。

第5圖是表示測定前充電平台10與測定平台7的充電及漏流測定的等值電路。第5(a)圖是表示在測定前充電平台10進行工件的充電的情形的等值電路圖，第5(b)圖是表示工件從測定前充電平台10搬運至測定平台7之期間的放電動作的等值電路圖，第5(c)圖是表示在測定平台7進行測定工件的漏流的情形的等值電路圖。

第5(a)圖至第5(c)圖的等值電路是具有：在測定前充電平台10使用於充電用的電流限制電路8，及在測定平台7使用於漏流測定用的電流限制電路9與電流計11，及將電流限制電路9轉換是否連接於工件的一端的開關SW2。在測定前充電平台10的充電與在測定平台7的漏流測定，作成使用相同電壓位準的電源12者。

開關SW2是等值地表示是否將探針抵接於搬運至測定前充電平台10或測定平台7的工件的兩端電極者。

第5(a)圖的情形，探針抵接於工件的兩端電極時使得開關SW2轉換，而電流限制電路8被連接於工件的一端。藉此，來自電源12的電流是經電流限制電路8流到工件內的主容量C[第5(a)圖的符號]，使得主容量C被充電。

結束主容量C的充電動作，而工件從測定前充電平台10被搬運到測定平台7之期間，是放電期間，而成為如第5(b)圖所示的等值電路。該情形，為被積蓄於工件的主容量C的過剩電荷經絕緣電阻R1被放電[第5(b)圖的箭號]。

工件到達至測定平台7，當探針抵接於工件的兩端電極，則形成有第5(c)圖的等值電路，而來自電源12的電流是通過電流限制電路9，及電流計11，及絕緣電阻R1而流著，藉由電流計11進行測定漏流。又，電流限制電路9是電流計11的內部電阻。該內部電阻是雜音對策上，不得不設定成某程度大的阻抗(例如1kΩ)。所以當從第5(a)圖的等值電路直接轉換成第5(c)圖的等值電路，則在第5(a)圖藉由被積蓄在主容量C的過剩電荷，急增流在絕緣電阻R1的電流而在漏流測定上會產生障礙之虞。如此地，在本實施形態中，在測定前充電與漏流測定之間設置放電期間，而事先放電主容量C的過剩電荷。在放電方法上也有各種方法，惟在搬運工件中經由絕緣電阻進行自然放電主容量C的積蓄電荷之故，因而在本實施形態中，利用該自然放電進行放電主容量C的過剩電荷。

第6圖是表示在測定前充電平台10與測定平台7的充電及漏流測定的時序圖。搬運台3是收納孔4的1間隔分量別地間歇地進行旋轉動作。在時刻t1當工件到達至測定前充電平台10，則同一平台的探針上昇而抵接於工件的兩端電極(時刻t2)，使得工件的主容量C被充電(時刻t2~t3)。

當結束工件的充電，則探針下降而開始主容量C的放電動作。之後，進行工件的搬運(時刻t4~t5)。

當成為時刻t5，則工件是到達至測定平台7，使得同一平台的探針上昇而抵接於工件的兩端電極，進行著漏流 測定(時刻t6~t7)。

上述的第2(a)圖至第2(c)圖是成為第5(a)圖至第5(c)圖省略開關SW2，電流計11及介質吸收因子D的電路。開關SW2與電流計11是不會影響到電路的動作之故，因而加以省略。又，省略介質吸收因子D的理由是在測定前充電平台10進行充電的時機，介質吸收因子D是已經充分地被充電，而可忽略流在介質吸收因子D的電流。

由第2(a)圖的等值電路成立以下的(1)式。

V2=E{R1/(R1+R2)}……(1)

由第2(c)圖的等值電路成立以下的(2)式。

V3=E{R1/(R1+R3)}……(2)

在第2(b)圖中，當將放電時間作為t，則成立以下的(3)式。

V=2e^-t/CR1 ……(3)

當V=V3成立，則成立以下的(4)式。

E{R1/(R1+R3)}=E{R1/(R1+R2)}e^-t/CR1 ……(4)

由上述(4)式，放電時間t是成為以下的(5)式。

t=-CR1．ln{(R1+R2)/(R1+R3)}=CR1．ln{(R1+R3)/(R1+R2)}=CR1{ln{(R1+R3)-ln(R1+R2)}=C{R1．ln{(R1+R3)-R1．ln(R1+R2)}=C{R1．lnR1(1+R3/R1)-R1．lnR1(1+R2+R1)}=C[R1{lnR1+ln(1+R3/R1)}-R1{lnR1+ln(1+R2/R1)}]……(5)

在此，知道成立以下的(6)式。

在(6)式中，若X<<1，則可忽略X² 以後的項之故，因而成立(7)式。

ln(1+X)≒X……(7)

在(5)式中，電容器C0的絕緣電阻R1是比電流限制電路8，9的阻抗R2，R3還要更大，因R3/R1<<1.R2/R1<<1，因此使用(7)式就可近似(5)式，而可得到以下的(8)式。

t≒C[R1{lnR1+R3/R1}-R1{lnR1+R2/R1}]]=C{R1．lnR1+R3-R1．lnR1-R2}=C(R3-R2)……(8)

在(8)式所求出的放電期間t是放電時間的最適當值，並不一定必須設定在與該t相同值。測定前充電平台10與測定平台7之間的放電期間是設定儘量接近於(8)式的放電期間t。實際上藉由調整將探針抵接於測定前充電平台10或測定平台7的時機，或是控制搬運平台的旋轉速度等，就可進行放電期間t接近於(8)式的控制。更具體地，放電期間t的控制是利用簡單的軟體控制就可實現。

習知是進行電容器C0之充電之後一直到測定漏流為止，若未待機電容器C0的容量C與R3之時常數CR3的2~5倍的時間就無法精度優異地測定漏流，惟在本實施形態中，則由(8)式僅待機比CR3還要短的時間就變好，而以比習知還要短的時間就可開始漏流測定。

如此地，在本實施形態中，首先將工件依次搬運至複數充電平台6，而充分地充電工件內的介質吸收因子D。之後，將工件搬運至接近於測定平台7的測定前充電平台10，而進行滿量充電工件內的主容量C。然後，將工件搬運到測定平台7為止的期間，經由絕緣電阻R1進行放電多餘地充電於主容量C的電荷。然後，當工件到達至測定平台7，則進行漏流測定。藉由將測定前充電平台10與測定平台7之間的放電期間作成最適當化，就可縮短在工件 開始充電之後一直到進行漏流測定為止的時間，而可得到提昇漏流測定的效率。又，在工件內未流著介質吸收電流的狀態進行漏流測定之故，因而漏流的測定精度會變優異。

在上述的實施形態中，與複數充電平台6另外地，將近接於測定平台7而設置測定前充電平台10的例子加以說明，惟代替另外地設置測定前充電平台10，而將複數充電平台6中的一平台近接配置於測定台也可以。該情形，使得近接配置於測定台的充電平台6與測定台之間的放電期間成為以上述的(8)式所表示的時間的方式來調節探針的抵接時機或是搬運台3的旋轉速度等也可以。

在上述的實施形態中，將設置複數充電平台6的例子加以說明，惟即使只有一具充電平台6，在測定前充電平台10進行充電的時機也能充分地充電介質吸收因子D，則充電平台6是僅一個也可以。

在上述的實施形態中，針對於朝水平方向設置搬運台3的主面的例子加以說明，惟朝垂直方向設置或朝傾斜方向設置搬運台3的主面的情形也可適用本發明。

又，在上述的實施形態中，將在工件的兩端設有合計兩個電極的例子加以說明，惟本發明是也可適用於具有三個以上的電極的工件。該情形，將因應於電極數的探針設置於各平台就可以。

又，在上述的實施形態，將各平台的底面朝上下方向移動探針的例子加以說明，惟也可任意地設定探針的設置 場所或移動方向，例如從上方與下方移動探針而抵接於工件也可以或是從搬運台3的外側方向朝水平或傾斜方向移動而將探針抵接於工件也可以。

在上述的實施形態，將在各充電平台上下地移動探針而是否轉換成抵接於工件的例子加以說明，惟上下地移動探針需費時之故，因而工件的容量較小時，則放電期間較短，因此探針抵接於工件為止就經過放電期間，而有無法設定最適當的放電期間之虞。如此，在例如未設置測定前平台10而在測定平台7，將探針的位置作成固定，而在探針與工件之間設置高速開關(例如，FET)所構成的通電裝置將該開關作成開閉，而轉換探針與工件的導通/斷開也可以。調整開閉開關的時間，就可最適當化放電期間t。此種通電裝置是設置於初期充電平台6也可以。

又，在上述的實施形態中，將使用搬運台3進行搬運工件的例子加以說明，惟使用無端環帶進行搬運工件也可以。

1‧‧‧線性進給器

2‧‧‧分離供應部

3‧‧‧搬運台

4‧‧‧工件收納孔

5‧‧‧中心軸

6‧‧‧充電平台

7‧‧‧測定平台

8，9‧‧‧電流限制電路

10‧‧‧測定前充電平台

11‧‧‧電流計

第1圖是表示電容器C0的充電時間與介質吸收電流之關係的圖式。

第2(a)圖是表示介質吸收電流未流在介質吸收因子D的狀態的測定前充電平台的充電動作的等值電路圖，第2(b)圖是表示電容器C0從測定前充電平台搬運至測定平台7的期間的放電動作的等值電路圖，第2(c)圖是表示測 定平台7的測定動作的等值電路圖。

第3圖是表示本發明的一實施形態的電容器C0漏流測定裝置的俯視圖。

第4圖是表示在複數充電平台6的各個進行充電工件的情形的等值電路圖。

第5(a)圖是表示在測定前充電平台10進行工件充電的情形的等值電路圖，第5(b)圖是表示工件從測定前充電平台10被搬運至測定平台7之期間的放電動作的等值電路圖，第5(c)圖是表示在測定平台7進行測定工件的漏流的情形的等值電路圖。

第6圖是表示在測定前充電平台10與測定平台7的充電及漏電測定的時序圖。

第7圖是表示有關於漏流測定的一般性電容器C0的等值電路圖。

第8圖是表示在電容器C0施加規定電壓進行充電時流在電容器C0的電流的時間變化的圖式。

第9圖是表示習知的漏流測定裝置的俯視圖。

1‧‧‧線性進給器

2‧‧‧分離供應部

3‧‧‧搬運台

4‧‧‧工件收納孔

5‧‧‧中心軸

6‧‧‧充電平台

7‧‧‧測定平台

10‧‧‧測定前充電平台

Claims (14)

1. 一種電容器漏流測定方法，是在被測定對象的電容器施加直流電壓進行測定漏流的漏流測定方法，其特徵為：具備：包含上述電容器內部的介質吸收因子，充電上述電容器的步驟；及一直到上述電容器的兩端電位差從充電後的電位差變為漏流測定時的電位差為止的所定期間，經由上述電容器內部的絕緣電阻，放電被積蓄於上述電容器的電荷的步驟；及在上述所定期間後，於上述電容器的兩端電位差為上述漏流電流測定時的電位差之狀態下，將包含第2電流限制電路的電流計連接至上述電容器，藉此進行測定流在上述絕緣電阻的漏流的步驟，在充電上述電容器的步驟所使用的第1電流限制電路的充電完成時的阻抗，是設定成比上述電容器的漏流測定時所使用的上述第2電流限制電路的阻抗還要小，上述介質吸收因子，是由串聯連接的內部電阻與容器來表示藉由在電容器施加電壓時發生於內部的電場所形成的介質分極者。
2. 如申請專利範圍第1項所述的電容器漏流測定方法，其中，上述所定期間是依據上述電容器的容量，及上述第1 電流限制電路的充電完成時的阻抗，及漏流測定時的上述第2電流限制電路的阻抗被最適當化。
3. 如申請專利範圍第2項所述的電容器漏流測定方法，其中，將上述所定期間作為t，將上述電容器的主容量作為C，將上述第1電流限制電路的充電完成時的阻抗作為R2，將上述第2電流限制電路的阻抗作為R3時，能成立t=C(R3-R2)的方式，將上述所定期間作成最適當化。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的電容器漏流測定方法，其中，充電上述電容器的步驟，是包含一直到介質吸收電流未流在上述電容器的介質吸收因子為止，交互地至少進行各1次對於上述電容器的充電與充電中斷的步驟。
5. 如申請專利範圍第4項所述的電容器漏流測定方法，其中，充電上述電容器的步驟，是更包含剛將上述電容器放電所定期間之前，充電上述電容器的主容量的步驟。
6. 如申請專利範圍第5項所述的電容器漏流測定方法，其中，沿著搬運上述電容器的搬運手段的搬運路徑，分別隔著間隔依次配置有至少一個的初期充電平台，及測定前充電平台，及測定平台，交互地至少各一次進行對於上述電容器的充電及充電中斷的步驟，是使用上述初期充電平台所進行， 剛將上述電容器放電上述所定期間之前，充電上述電容器的主容量的步驟，是使用上述測定前充電平台所進行，測定流在上述絕緣電阻的漏流的步驟，是使用上述測定平台所進行，上述測定前充電平台與上述測定平台之間的放電期間被設定在上述所定期間。
7. 如申請專利範圍第5項所述的電容器漏流測定方法，其中，沿著搬運上述電容器的搬運手段的搬運路徑，分別隔著間隔依次配置有至少一個的初期充電平台，及測定平台，交互地至少各一次進行對於上述電容器的充電及充電中斷的步驟，是使用上述初期充電平台所進行，剛將上述電容器放電上述所定期間之前，充電上述電容器的主容量的步驟，及測定流在上述絕緣電阻的漏流的步驟，是使用上述測定平台所進行，在上述測定平台，從充電上述電容器的主容量後一直到測定流在上述絕緣電阻的漏流為止的放電期間設定在上述所定期間，至少在上述測定平台，設有可轉換對於上述電容器的通電及通電遮斷的通電手段，在上述測定平台，使用上述通電手段在通電於上述電容器的電極的狀態下進行對於上述電容器的充電，而使用 上述通電手段藉由調整遮斷對於上述電容器的電極通電的時機進行調整上述所定期間，在經過上述所定期間之後測定流在上述絕緣電阻的漏流。
8. 一種電容器漏流測定裝置，是在被測定對象的電容器施加直流電壓進行測定漏流的漏流測定裝置，其特徵為：具備：包含上述電容器內部的介質吸收因子，充電上述電容器的充電手段；及一直到上述電容器的兩端電位差從充電後的電位差變為漏流測定時的電位差為止的所定期間，經由上述電容器內部的絕緣電阻，放電被積蓄於上述電容器的電荷的放電手段；及在上述所定期間後，於上述電容器的兩端電位差為上述漏流電流測定時的電位差之狀態下，將包含第2電流限制電路的電流計連接至上述電容器，藉此進行測定流在上述絕緣電阻的漏流的漏流測定手段，上述充電手段是具有串聯連接於上述電容器的第1電流限制電路，上述測定手段是具有串聯連接於上述電容器的第2電流限制電路，上述第1電流限制電路的充電完成時的阻抗，是設定成比上述第2電流限制電路的阻抗還要小，上述介質吸收因子，是由串聯連接的內部電阻與容器 來表示藉由在電容器施加電壓時發生於內部的電場所形成的介質分極者。
9. 如申請專利範圍第8項所述的電容器漏流測定裝置，其中，上述所定期間是依據上述電容器的容量，及上述第1電流限制電路的充電完成時的阻抗，及漏流測定時的上述第2電流限制電路的阻抗被最適當化。
10. 如申請專利範圍第9項所述的電容器漏流測定裝置，其中，將上述所定期間作為t，將上述電容器的主容量作為C，將上述第1電流限制電路的充電完成時的阻抗作為R2，將上述第2電流限制電路的阻抗作為R3時，能成立t=C(R3-R2)的方式，將上述所定期間作成最適當化。
11. 如申請專利範圍第8項至第10項中任一項所述的電容器漏流測定裝置，其中，上述充電手段是具有一直到介質吸收電流未流在上述電容器的介質吸收因子為止，交互地至少進行各1次對於上述電容器的充電與充電中斷的初期充電手段。
12. 如申請專利範圍第11項所述的電容器漏流測定裝置，其中，上述充電手段是具有在剛將上述電容器放電上述所定期間之前，充電上述電容器的主容量的測定前充電手段。
13. 如申請專利範圍第12項所述的電容器漏流測定裝置，其中， 沿著搬運上述電容器的搬運手段的搬運路徑，分別隔著間隔依次配置有至少一個的初期充電平台，及測定前充電平台，及測定平台，上述初期充電手段是使用上述初期充電平台交互地至少各一次進行對於上述電容器的充電及充電中斷，上述測定前充電手段是使用上述測定前充電平台在剛將上述電容器放電上述所定時間之前，充電上述電容器的主容量，上述漏流測定手段是使用上述測定平台進行測定流在上述絕緣電阻的漏流，上述測定前充電平台與上述測定平台之間的放電期間被設定在上述所定期間。
14. 如申請專利範圍第12項所述的電容器漏流測定裝置，其中，沿著搬運上述電容器的搬運手段的搬運路徑，分別隔著間隔依次配置有至少一個的初期充電平台，及測定平台，上述初期充電手段是使用上述初期充電平台交互地至少各一次進行對於上述電容器的充電及充電中斷，上述測定前充電手段是使用上述測定平台充電上述電容器的主容量，上述漏流測定手段是使用上述測定平台進行測定將上述電容器放電上述所定時間之後流在上述絕緣電阻的漏流， 在上述測定平台，從充電上述電容器的主容量後一直到測定流在上述絕緣電阻的漏流為止的放電期間設定在上述所定期間，至少在上述測定平台是又具備可轉換對於上述電容器的通電及通電遮斷的通電手段，在上述測定平台，使用上述通電手段在通電於上述電容器的電極的狀態下進行對於上述電容器的充電，而使用上述通電手段藉由調整遮斷對上述電容器於的電極通電的時機進行調整上述所定期間，在經過上述所定期間之後測定流在上述絕緣電阻的漏流。