JP4579206B2 - 離脱状態判断方法及び真空処理装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の他の目的は、残留電荷を正確に消滅させられる技術を提供することにある。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の離脱状態判断方法であって、前記離脱の前に、前記電極と前記被吸着物に蓄積された電荷によって前記放電電流を流した後、前記離脱させる際に、静電誘導によって流れる離脱電流の向きと大きさとを測定し、前記離脱電流の時間積分値を求めることで、前記静電チャックの残留電荷の極性と大きさを求めることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、誘電体中に電極が配置された静電チャックを有し、該静電チャック上に被吸着物を載置し、真空雰囲気中で前記電極に吸着電圧を印加して前記被吸着物を静電吸着できるように構成された真空処理装置であって、前記吸着電圧の印加を解除した後、前記被吸着物を前記静電チャック上から離脱させる場合に、前記離脱の前に、前記電極と前記被吸着物に蓄積された電荷によって放電電流を流した後、前記離脱させる際に前記被吸着物と静電チャックとの間に形成されるコンデンサの容量変動によって流れる振動電流の大きさと回数を測定し、前記振動電流のピーク値を、予めコンピュータに記憶させておいた電流範囲と比較し、前記被吸着物の上昇状態が正常であるか否かを判断できるように構成されたことを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の真空処理装置であって、前記離脱の前に、前記電極と前記被吸着物に蓄積された電荷によって前記放電電流を流した後、前記離脱させる際に、静電誘導によって流れる離脱電流の向きと大きさとを測定し、前記離脱電流の時間積分値から求めた前記静電チャックの残留電荷の大きさとから、前記電極に印加する逆バイアスの大きさと印加時間を設定するように構成されたことを特徴とする。
図1(b)はその状態を示しており、放電電流I1が矢印の方向(充電電流I0とは逆方向)に流れることにより、蓄積されていた電荷14〜19は次第に減少する。
上述したように、電極21、22への電圧印加を停止し、その間を短絡させても、静電チャックプレート3表面近傍には残留電荷6、7が残っており、それにより、残留吸着力が発生してしまう。従って、被吸着物1を静電チャック2上から持ち上げる前に、図2(c)に示した状態から電源装置11内の電圧源11aの極性を静電吸着時とは逆向きに反転させ、電極21、22に逆バイアスを印加する。
以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図9の符号71は、本発明に係る真空処理装置の一実施形態であり、チャンバー72を有している。チャンバー72は、図示しない真空排気系に接続され、その上部には成膜物質であるターゲット73が配置されている。このターゲット73は、スパッタリング用の直流電源74に接続され、負バイアスを印加できるように構成されている。なお、直流電源74のプラス側はチャンバー72とともにアースされている。
薄膜が所定膜厚に形成されたところで、スパッタリングガスの導入とターゲット73への電圧印加を終了する。
従って、最終製品の歩留りが低下してしまうという問題を解消することが可能になる。
以下で、本発明の第2の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。第2の実施形態も、第1の実施形態で説明した図9の真空処理装置71を用いて説明する。
例えば、上述の実施の形態においては、スパッタリング装置を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、静電チャック機構を具備する全ての装置に適用することができるものである。この場合においては、エッチング装置、CVD装置などの真空処理装置に適用するとより効果的である。
さらに、上述の実施の形態の場合は、電極と逆バイアス電圧印加用の電源との間に電流計を設けるようにしたが、本発明はこれに限られず、双極方式、単極方式ともに、逆バイアス電圧印加用の電源とグラウンドとの間に電流計を配設することもできる。
Claims (4)
- 誘電体中に配置された電極を有する静電チャック上に被吸着物を載置し、前記電極に吸着電圧を印加して前記被吸着物を静電吸着し、前記吸着電圧の印加を解除した後、前記被吸着物をリフトピンによって前記静電チャック上から離脱させる場合に、
予め、前記被吸着物が前記静電チャックから正常に離脱したとき前記電極に流れる電流のピーク値から、前記被吸着物が正常に離脱したと判断できる電流範囲をコンピュータに記憶させておき、
前記離脱の前に、前記電極と前記被吸着物に蓄積された電荷によって放電電流を流した後、前記離脱させる際に前記被吸着物と前記静電チャックとの間に形成されるコンデンサの容量変動によって、前記被吸着物の物理的な振動の大きさと回数に対応して流れる振動電流の大きさと回数を測定し、
前記測定した電流のピーク値を、前記電流範囲と比較することで、前記離脱の際、前記リフトピン上で前記被吸着物が正常に離脱したと判断することを特徴とする離脱状態判断方法。 - 前記離脱の前に、前記電極と前記被吸着物に蓄積された電荷によって前記放電電流を流した後、前記離脱させる際に、静電誘導によって流れる離脱電流の向きと大きさとを測定し、前記離脱電流の時間積分値を求めることで、前記静電チャックの残留電荷の極性と大きさを求める請求項1記載の離脱状態判断方法。
- 誘電体中に電極が配置された静電チャックを有し、
該静電チャック上に被吸着物を載置し、真空雰囲気中で前記電極に吸着電圧を印加して前記被吸着物を静電吸着できるように構成された真空処理装置であって、
前記吸着電圧の印加を解除した後、前記被吸着物を前記静電チャック上から離脱させる場合に、
前記離脱の前に、前記電極と前記被吸着物に蓄積された電荷によって放電電流を流した後、前記離脱させる際に前記被吸着物と静電チャックとの間に形成されるコンデンサの容量変動によって流れる振動電流の大きさと回数を測定し、
前記振動電流のピーク値を、予めコンピュータに記憶させておいた電流範囲と比較し、前記被吸着物の上昇状態が正常であるか否かを判断できるように構成された真空処理装置。 - 前記離脱の前に、前記電極と前記被吸着物に蓄積された電荷によって前記放電電流を流した後、前記離脱させる際に、静電誘導によって流れる離脱電流の向きと大きさとを測定し、
前記離脱電流の時間積分値から求めた前記静電チャックの残留電荷の大きさとから、前記電極に印加する逆バイアスの大きさと印加時間を設定するように構成された請求項3記載の真空処理装置。
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