JPH03270841A - 静電チャック - Google Patents
静電チャックInfo
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- JPH03270841A JPH03270841A JP6937190A JP6937190A JPH03270841A JP H03270841 A JPH03270841 A JP H03270841A JP 6937190 A JP6937190 A JP 6937190A JP 6937190 A JP6937190 A JP 6937190A JP H03270841 A JPH03270841 A JP H03270841A
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- Japan
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- electric field
- voltage
- electrostatic chuck
- measuring
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は低抵抗絶縁体を用いた静電チャックに吸着され
た吸着物を短時間で剥離するに好ましい静電チャックに
関するものである。
た吸着物を短時間で剥離するに好ましい静電チャックに
関するものである。
（従来の技術）
第３図は低抵抗の絶縁体を用いた静電チャックを示す。
図において１は吸着物（導電性）、２は静電チャック電
極、３は絶縁体、４は電源、５は電荷を示す。この静電
チャックでは第３図に示すように電極電荷が絶縁体中を
移動して吸着物１と静電チャック２の界面に蓄積される
。そのため吸着力は高抵抗の絶縁体を用いた静電チャッ
クに比べて数倍となる。しかし、電荷が絶縁体中に蓄積
されるため吸着物を剥離するために電極電位を零にして
も電荷が逃げにくく、剥離までに時間を要する。そのた
め、第４図のように電荷６によって電極に吸着時とは極
性が逆の電圧を掛は残留電荷を強制的に逃がすことによ
り剥離に要する時間の短時間化を図っている。
極、３は絶縁体、４は電源、５は電荷を示す。この静電
チャックでは第３図に示すように電極電荷が絶縁体中を
移動して吸着物１と静電チャック２の界面に蓄積される
。そのため吸着力は高抵抗の絶縁体を用いた静電チャッ
クに比べて数倍となる。しかし、電荷が絶縁体中に蓄積
されるため吸着物を剥離するために電極電位を零にして
も電荷が逃げにくく、剥離までに時間を要する。そのた
め、第４図のように電荷６によって電極に吸着時とは極
性が逆の電圧を掛は残留電荷を強制的に逃がすことによ
り剥離に要する時間の短時間化を図っている。
（発明が解決しようとする課題）
従来の技術では逆電圧の掛は方（′Ｗｊ、圧・波形・印
加時間）を実験から求め、その後はこれらの条件を固定
して用いていた。そのため、吸着後の時間経過等の違い
による初期残留電荷量の違いや、絶縁体の抵抗値の温度
変化等による電荷のリーク特性の違いにより、あらかし
め定められていた逆電圧の掛は方では、残留電荷が逃げ
切らなかったり、逆に第５図に示すように逆に帯電して
しまい吸着物を剥離できないことが生じた。
加時間）を実験から求め、その後はこれらの条件を固定
して用いていた。そのため、吸着後の時間経過等の違い
による初期残留電荷量の違いや、絶縁体の抵抗値の温度
変化等による電荷のリーク特性の違いにより、あらかし
め定められていた逆電圧の掛は方では、残留電荷が逃げ
切らなかったり、逆に第５図に示すように逆に帯電して
しまい吸着物を剥離できないことが生じた。
本発明は、上記の問題を解決するために提案されたもの
で、低抵抗！！縁体を用いた静電チャックにおいて吸着
された吸着物を短時間で剥離することのできる静電チャ
ックを提供することを目的とする。
で、低抵抗！！縁体を用いた静電チャックにおいて吸着
された吸着物を短時間で剥離することのできる静電チャ
ックを提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
上記の目的を遠戚するため、本発明は低抵抗絶縁体を用
いた静電チャックにおける吸着物を剥離するため、静電
チャック表面の残留電荷により生じる電界を測定する手
段と、この測定結果をもとに吸着物の剥離を制御する手
段とを備えることを特徴とする静電チャックを発明の要
旨とするものである。
いた静電チャックにおける吸着物を剥離するため、静電
チャック表面の残留電荷により生じる電界を測定する手
段と、この測定結果をもとに吸着物の剥離を制御する手
段とを備えることを特徴とする静電チャックを発明の要
旨とするものである。
（作 用）
本発明は静電チャックの表面の残留電荷により生じる電
界を測定し、この測定結果をもとに吸着物の剥離を制御
するので、短時間で確実に吸着物を剥離することができ
る。
界を測定し、この測定結果をもとに吸着物の剥離を制御
するので、短時間で確実に吸着物を剥離することができ
る。
（実施例）
次に本発明の実施例について説明する。
なお実施例は一つの例示であって、本発明の精神を逸脱
しない範囲で、種々の変更あるいは改良を行いうること
は云うまでもない。
しない範囲で、種々の変更あるいは改良を行いうること
は云うまでもない。
第１図は低抵抗単極型静電チャ、りを用いた場合の実施
例を示す。図において１は導電性の吸着物、２は静電チ
ャックの電極、３は低抵抗体の絶縁体、４は吸着用電圧
源、５は電荷、７は電界測定器センサ、８は電界測定器
本体、９は電圧制御器、１０は接点切換器（Ｓｌ）、１
１は接点切換器（Ｓ２）、１２は剥離用可変電圧源であ
る。
例を示す。図において１は導電性の吸着物、２は静電チ
ャックの電極、３は低抵抗体の絶縁体、４は吸着用電圧
源、５は電荷、７は電界測定器センサ、８は電界測定器
本体、９は電圧制御器、１０は接点切換器（Ｓｌ）、１
１は接点切換器（Ｓ２）、１２は剥離用可変電圧源であ
る。
次に動作を説明する。
接点切換器Ｓ１がａ側に接続され、電極２が吸着用電圧
源４に接続されている状態では吸着物１は静電チャック
に吸着されている。
源４に接続されている状態では吸着物１は静電チャック
に吸着されている。
吸着物ｌを剥離するときは接点切換器Ｓ１をｂ側ムこ、
接点切換器Ｓ２をａ側に切り換えて電極２に逆電圧を掛
ける。このとき、逆電圧を掛けてから短時間後に接点切
換器Ｓ２をｂ側に切り換えて電極を接地から浮かせてこ
の状態で電界を測定することにより残留電荷を測定し、
この測定結果をもとに電圧制御器が最適な逆電圧を決定
し剥離用可変逆電圧源１２の電圧値を設定する。設定後
、接点切換器Ｓ２を再度ａ側に切り換える。この電界測
定−最適逆電圧の印加のシーケンスを電界が零になるま
で繰り返せば初期残留電荷量や絶縁体のリーク特性に影
響されずに残留電荷を零にすることができる。
接点切換器Ｓ２をａ側に切り換えて電極２に逆電圧を掛
ける。このとき、逆電圧を掛けてから短時間後に接点切
換器Ｓ２をｂ側に切り換えて電極を接地から浮かせてこ
の状態で電界を測定することにより残留電荷を測定し、
この測定結果をもとに電圧制御器が最適な逆電圧を決定
し剥離用可変逆電圧源１２の電圧値を設定する。設定後
、接点切換器Ｓ２を再度ａ側に切り換える。この電界測
定−最適逆電圧の印加のシーケンスを電界が零になるま
で繰り返せば初期残留電荷量や絶縁体のリーク特性に影
響されずに残留電荷を零にすることができる。
次にその理由について説明する。
第２図は残留電荷による等電位線図の例を示している。
ただし、（ａ）は単極型で吸着物が接地、電極が非接地
の場合、い）は双極型で吸着物、電極がともに非接地の
場合、（Ｃ）は双極型で吸着物が接地、電極が非接地の
場合である。
の場合、い）は双極型で吸着物、電極がともに非接地の
場合、（Ｃ）は双極型で吸着物が接地、電極が非接地の
場合である。
第２図に示す等電位線図の例から明らかなように、電極
が接地から浮いていれば、吸着物の接地・非接地を問わ
ず残留電荷による電界（を位分布）が電極の下側で観測
できる。したがって、この電界を測定することによりど
の程度の電荷が残っているか測定できる。残留電荷の量
により逆電圧の掛は方（電圧・波形・印加時間）を調整
すれば短時間で確実に吸着物を剥離することが可能であ
る。
が接地から浮いていれば、吸着物の接地・非接地を問わ
ず残留電荷による電界（を位分布）が電極の下側で観測
できる。したがって、この電界を測定することによりど
の程度の電荷が残っているか測定できる。残留電荷の量
により逆電圧の掛は方（電圧・波形・印加時間）を調整
すれば短時間で確実に吸着物を剥離することが可能であ
る。
（発明の効果）
本発明によれば、低抵抗体の絶縁体を用いた静電チャッ
クにおいて残留電荷による電界を測定しながら印加する
逆電圧を調整することにより吸着物を短時間で確実に剥
離することができる。したがって、本発明は電子ビーム
描画装置等の半導体製造装置に通用することが可能で、
その場合ウェハのアンロードに要する時間を短くするこ
とができ、これは装置のＴＡＴ （ターンアラウンドタ
イム）の短縮に寄与する。
クにおいて残留電荷による電界を測定しながら印加する
逆電圧を調整することにより吸着物を短時間で確実に剥
離することができる。したがって、本発明は電子ビーム
描画装置等の半導体製造装置に通用することが可能で、
その場合ウェハのアンロードに要する時間を短くするこ
とができ、これは装置のＴＡＴ （ターンアラウンドタ
イム）の短縮に寄与する。
本実施例では単極型静電チャックを用いたが、双極型、
あるいは多極型の静電チャックを用いても同様な効果を
得ることができる。
あるいは多極型の静電チャックを用いても同様な効果を
得ることができる。
第１図は本発明の静電チャックの一実施例、第２図は作
用の説明図、第３図〜第５図は従来例を示す。 ｌ・・・吸着物（導電性）、２・・・静電チャ・７り電
極、３・・・低抵抗絶縁体、４・・・吸着用電圧源、５
・・・電荷、６・・・逆電圧源、７・・・電界測定器セ
ンサ、８・・・電界測定器本体、 ９・・・電圧制御器、 Ｓ １、 １・・・接点切換器Ｓ２゜ １０・・・接点切換器 １２・・・剥離用可変 電圧源。 （ばか１名） ２−一一斉〒１（う′イッ７１ｊ；ＦＩＪ３−−−イｅ
雫も自４プ乙身ぞ５季１≧体第 図
用の説明図、第３図〜第５図は従来例を示す。 ｌ・・・吸着物（導電性）、２・・・静電チャ・７り電
極、３・・・低抵抗絶縁体、４・・・吸着用電圧源、５
・・・電荷、６・・・逆電圧源、７・・・電界測定器セ
ンサ、８・・・電界測定器本体、 ９・・・電圧制御器、 Ｓ １、 １・・・接点切換器Ｓ２゜ １０・・・接点切換器 １２・・・剥離用可変 電圧源。 （ばか１名） ２−一一斉〒１（う′イッ７１ｊ；ＦＩＪ３−−−イｅ
雫も自４プ乙身ぞ５季１≧体第 図
Claims (1)
- 低抵抗絶縁体を用いた静電チャックにおける吸着物を剥
離するため、静電チャック表面の残留電荷により生じる
電界を測定する手段と、この測定結果をもとに吸着物の
剥離を制御する手段とを備えることを特徴とする静電チ
ャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6937190A JPH03270841A (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 静電チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6937190A JPH03270841A (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 静電チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03270841A true JPH03270841A (ja) | 1991-12-03 |
Family
ID=13400635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6937190A Pending JPH03270841A (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 静電チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03270841A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007019524A (ja) * | 1997-05-23 | 2007-01-25 | Ulvac Japan Ltd | 離脱状態判断方法及び真空処理装置 |
| JP2007165917A (ja) * | 1997-05-23 | 2007-06-28 | Ulvac Japan Ltd | 被吸着物の処理方法 |
| JP2016115758A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 株式会社アルバック | 吸着装置、真空処理装置、真空処理方法 |
| JP2016115759A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 株式会社アルバック | 真空処理装置、真空処理方法 |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP6937190A patent/JPH03270841A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007019524A (ja) * | 1997-05-23 | 2007-01-25 | Ulvac Japan Ltd | 離脱状態判断方法及び真空処理装置 |
| JP2007165917A (ja) * | 1997-05-23 | 2007-06-28 | Ulvac Japan Ltd | 被吸着物の処理方法 |
| JP4484883B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2010-06-16 | 株式会社アルバック | 被吸着物の処理方法 |
| JP4579206B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2010-11-10 | 株式会社アルバック | 離脱状態判断方法及び真空処理装置 |
| JP2016115758A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 株式会社アルバック | 吸着装置、真空処理装置、真空処理方法 |
| JP2016115759A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 株式会社アルバック | 真空処理装置、真空処理方法 |
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