TWI387716B - 精密溫度調整裝置 - Google Patents

Description

精密溫度調整裝置

本發明係關於一種精密溫度調整裝置，更詳言之，係關於一種精密溫度調整裝置，用以調整通過加熱裝置與冷卻裝置之溫度調整對象流體成設定溫度者。

通常在半導體裝置製造工程等之精密加工領域中，其設備幾乎全部設置於溫度及濕度受控制之乾淨室內。

但近年來，在精密加工領域，也漸出現較原來的加工精度更高的精密加工工程。

對要求如此高精度的工程，通常其乾淨室內的溫度變化環境要求更嚴苛。因此，要求更高的精密加工工程，係設在施行精密溫度管理的空間單元內。

用於這樣的空間單元供溫度調整的溫度調整裝置，例如有下列專利文獻1中第13圖所示溫度調整裝置的記載。

第13圖所示溫度調整裝置中，設有壓縮機100，三向閥102，冷凝器104，膨脹閥106，冷卻器108及加熱器110，另尚具有冷卻器108的冷卻流路與具有加熱器110的加熱流路。

依靠冷卻器108與加熱器110，可調整自風扇112吹出做為溫度調整對象之空氣流溫度。

在第13圖所示溫度調整裝置中，壓縮機100所壓縮的高溫熱媒經三向閥分配為冷卻流路與加熱流路。分配於冷卻流路側的高溫熱媒在冷凝器104內被冷卻。經冷卻的熱媒，藉膨脹閥106受斷熱膨脹冷卻後供應於冷卻器108。在冷卻器108中，一面冷卻自風扇112吹出的溫度調整對象之空氣流，並將吸熱而經昇溫的熱媒則供應於壓縮機100。

另一方面，分配於加熱流路側的高溫熱媒體被供應於加熱器110，將冷卻器108所冷卻的溫度調整對象之空氣流加熱而調整成所希望之溫度。

以此方式，加熱器110中加熱於溫度調整對象的空氣流，經放熱而降溫的熱媒通過膨脹閥106及冷卻器108而供應於壓縮機100。

專利文獻1：特開昭51－97048號公報

就第13圖的溫度調整而言，壓縮機100所壓縮之高溫熱媒全量通過膨脹閥106，再經斷熱膨脹冷卻後供應於冷卻器108，因此冷卻從風扇112所吹出溫度調整對象的空氣流的冷卻能量屬於一定。

另一方面，藉著調整由三向閥102分配於加熱流路側的高溫熱媒流量，及加熱器110對冷卻器108所冷卻溫度調整對象空氣流的加熱量則可以調整。

由是，可調整通過冷卻器108及加熱器110的溫度調整對象空氣流之溫度，可在狹小的溫度範圍內進行空間單元內之溫度管理。

但是由於第13圖所示之溫度調整裝置，由於被壓縮機100壓縮之高溫熱媒全量通過膨脹閥106，經斷熱膨脹而冷卻後供應於冷卻器108。對從風扇112吹出之溫度調整對象空氣流的溫度調整，係專由供應於加熱器110的在壓縮機100壓縮之高溫熱媒體的再加熱所職司。

由是，第13圖的溫度調整裝置所採用之溫度控制方式中，因經加熱使用的熱媒也流過冷卻流路，可利用做加熱的熱量只是經壓縮機動力的熱量，對冷卻器108及加熱器110負荷變動的對應陷入困難。

為此，如要大幅提高通過冷卻器108及加熱器110之溫度調整對象的空氣流的設定溫度，而溫度調整對象空氣流的溫度未能達到設定溫度時，要達到設定溫度有時非常費時。

為了補救第13圖所示溫度調整裝置的加熱量不足，如第14圖所示，可考慮加設補助電熱絲114，但屬於能量的浪費。

於是本發明的目的在提供一種精密的溫度調整裝置，其能解決對溫度調整對象流體加熱能力不足，不得不設置補助電熱絲等補助加熱裝置等先前溫度調整裝置之問題，而可提高對溫度調整對象流體之加熱能力，以謀求節省能量。

本發明人等為了達成上揭課題，經檢討結果，認為設置冷卻流路與加熱流路，設置分配機制，使對通過冷卻流路的冷卻裝置及加熱流路的加熱裝置之溫度調整對象流體之冷卻量與加熱量變更成為可能，及設置熱泵，從低溫部移熱於高溫部而提高加熱流路之加熱能力，為有效之措施，終於完成本發明。

因此，本發明的精密溫度調整裝置，設有一加熱流路與一冷卻流路，前者用以將壓縮機壓縮加熱之高溫第一熱媒的一部份供應於加熱裝置，後者用以將高溫第一熱媒殘餘部份在冷凝裝置中冷卻後以第一膨脹裝置經斷熱膨脹而更加冷卻後供應於冷卻裝置。為了調整通過該加熱裝置與該冷卻裝置的溫度調整對象流體於設定溫度，而用該精密溫度調整裝置，分配該高溫第一熱媒於加熱流路與冷卻流路，而且將各通過該加熱流路與冷卻流路的第一熱媒再供應於壓縮機。其包含有一分配裝置，將該壓縮機所排出高溫第一熱媒的一部份分配於該加熱流路側，同時將高溫第一熱媒的殘餘部份分配於冷卻流路側，而且使分配於該加熱流路與冷卻流路之高溫第一熱媒分配比率成為可以變更者；一熱泵裝置，為了提高該加熱流路之加熱能力，將在該加熱裝置放出熱而冷卻後在第二膨脹裝置中經斷熱膨脹而更加冷卻的第一熱媒，以其所具備的吸熱裝置，從屬於外部熱源的第二熱媒吸熱；及第一控制部，可控制該分配裝置，以調整分配於該加熱流路與冷卻流路的高溫第一熱媒分配比率，而控制通該加熱裝置與冷卻裝置之溫度調整對象流體成設定溫度。

在如此之本發明，將供應於冷卻流路之冷凝裝置而冷卻高熱第一熱媒的冷卻媒體，與供應於熱泵裝置之吸熱裝置的第二熱媒係屬同一熱媒，供應於該冷凝裝置後再供應於吸熱裝置，因而可有效利用被冷凝裝置所去除的高溫第一熱媒的熱，如此甚為理想。

做為此第二熱媒者，若使用不經外部加熱或冷卻而供應的第二熱媒，從節約能源的觀點上，較為適宜。

又，在本發明中，設有控制壓縮機轉速的轉速控制裝置，將第一控制部所控制之高溫第一熱媒分配比率，利用設置第二控制部，透過轉速控制裝置變更壓縮機轉速，使加熱裝置加於溫度調整對象流體之加熱量與冷卻裝置加於溫度調整對象流體之冷卻量互相抵消之熱量為最小之數值。如此一來，加上設置有熱泵裝置，更為節能。

如此的第二控制部，可透過轉速控制裝置控制壓縮機轉速，調整為高溫第一熱媒的分配比率，對溫度調整對象流體，在於加熱側場合，高溫第一熱媒之95~85%分配於加熱裝置，而殘餘高溫第一熱媒之5~15%分配於冷卻裝置之範圍。另一方面，對該溫度調整對象流體，在冷卻側之場合，高溫第一熱媒之95~85%分配於冷卻裝置，而殘餘高溫第一熱媒之5~15%分配於加熱裝置之範圍。如此一來，可以一面謀求精密溫度調整裝置能夠節能，一面可安定的運轉精密溫度調整裝置。此轉速控制裝置，最好可利用反向換流器。

此外，在本發明中，於分別通過加熱流路與冷卻流路之第一熱媒合流後再供應於壓縮機的第一熱媒流路中，分別獨立設置從分配裝置至該第一熱媒合流處含加熱流路之流路，及含冷卻流路之流路，如此可擴大溫度調整對象流體的溫度調整幅度。

於此，被冷卻裝置及熱泵裝置吸熱的第一熱媒，經由蓄能器再供應於壓縮機，如此可穩定供應壓縮機之第一熱媒的狀態。

分配高溫第一熱媒於加熱流路與冷卻流路之分配裝置，乃係可實質連續變更上揭分配的分配比率之分配裝置，由是可更精密的調整溫度調整對象流體的溫度。

分配高溫第一熱媒於如此之加熱流路與冷卻流路之分配裝置，利用可實質連續變更上揭分配的分配比率之分配裝置，由是可更精密的調整溫度調整對象的液體溫度。

所謂「可實質連續變更的分配裝置」，意指二向閥或比例三向閥，以步級控制方式被驅動控制時，雖然二向閥或比例三向閥仔細看下被以步級方式驅動，但卻含有全體上連續驅動的場合。

本發明所用之分配裝置，為比例三向閥，可將高溫第一熱媒做比例分配，使分配於加熱流路側的高溫第一熱媒與分配於冷卻流路側的高溫第一熱媒之合計量，等於壓縮機所排出之高溫第一熱媒量。由是可順利變更壓縮機排出之高溫第一熱媒的分配比率。

又，使用分別設於分岐高溫第一熱媒於加熱流路側與冷卻流路側的各分岐配管的二向閥，做為分配裝置。做為第一控制部者為，分配於加熱流路與冷卻流路之高溫第一熱媒之分配比率加以調整，而控制通過加熱裝置與冷卻裝置之溫度調整對象流體達於設定溫度，同時調整各該二向閥的開啟度，使加熱流路側所分配之高溫第一熱媒與冷卻流路側所分配的高溫第一熱媒合計量，等於壓縮機所排出之高溫第一熱媒量，如此可順利變更壓縮機所排出之高溫第一熱媒分配比率。

於本發明中，使用液狀媒體，做為供應於冷卻流路之冷凝裝置之冷媒，並設置冷媒控制裝置，維持壓縮機排出側之壓力於一定，以控制供應於該冷凝裝置之液媒供應量，防止冷媒任意流入冷凝裝置而浪費。

又如果溫度調整對象流體屬於空氣流的場合，經由適當配置冷卻裝置與加熱裝置，使吹到冷卻裝置而低溫化的空氣流可吹到加熱裝置，如此可兼行溫度調整對象空氣流的除濕。

另一方面，此場合下，經由適當配置加熱裝置與冷卻裝置，使吹到加熱裝置而昇溫的空氣流吹到冷卻裝置，即可更加提高空氣流之溫度調整精度。

第1圖為說明本發明之精密溫度調整裝置一例之概略圖。第1圖所示精密溫度調整裝置中，設置於經溫度調整之乾淨室內的空間單元10內，設有加熱流路與冷卻流路，以更精密調整風扇12所吸入流體之在乾淨室內已被調整溫度及濕度之空氣。

又設有構成加熱流路之加熱裝置的加熱器14，及構成冷卻流路之冷卻裝置之冷卻器16，將吸入空間單元10內之乾淨室內之空氣冷卻後，加熱做精密溫度調整。依此冷卻器16與加熱器14對空氣流之配置，通過該二器16，14之空氣流的除濕，可更加改進。

這樣的加熱器14及冷卻器16，其做為熱媒者，例如有丙烷，異丁烷，環戊烷等碳化氫氟類，氨類，二氧化碳等，依靠第一熱媒之氣化與液化，加熱或冷卻乾淨室內之空氣，以調整到設定溫度。

此第一熱媒，被壓縮機18壓縮加熱成為高溫(例如70℃)的氣體狀而排出。以壓縮機18排出之高溫第一熱媒做為分配手段經比例三向閥20，分配於加熱器14所設之加熱流路側與冷卻器16所設之冷卻流路側。

在此三向閥20，分配於加熱流路側的高溫第一熱媒與分配於冷卻流路側的高溫第一熱媒合計量，係分配成壓縮機18所吐出高溫第一熱媒量。

此比例三向閥20係由第一控制部22a所控制。在此第一控制部22a，比較設於空間單元10內的溫度感知器24所測定之濕度與設定溫度，做實質上連續變更分配於加熱流路側與冷卻流路側之高溫第一熱媒的分配比率，以調整吸入於空間單元10內之流體成為設定溫度。

所謂「實質上連續變更」，係意指以步級控制方式驅動比例三向閥20時，仔細看好像比例三向閥20被步級驅動，但整體而言，實是連續驅動。

設於第一控制部22a的設定溫度可以任意為之。又第1圖所示之溫度感知器24，雖設置於風扇12的排出側，但亦可設置於風扇12的吸入側，或在排出吸入兩側。

分配於加熱流路側的高溫第一熱媒，係直接供應於加熱器14，加熱於吸引進入空間單元10內之空氣流而調整成設定溫度。此時高溫第一熱媒放熱而冷卻，成為含有冷凝液之第一熱媒。

另一方面，分配於冷卻流路側的高溫第一熱媒，被做為冷凝裝置的冷凝器26冷卻，然後被做為膨脹裝置的膨脹閥28，經斷熱膨脹而更加冷卻(例如10℃)。冷卻後的第一熱媒供應於冷卻器16，被吸入空間單元10內，冷卻被加熱器14加熱之空氣流而調整成設定溫度。此時供應於冷卻器16之第一熱媒從空氣流吸熱而昇溫。如此，將吹到加熱器14而昇溫之空氣流吹到冷卻器16，即可提高調整空氣流溫度的精度。

供應於此冷凝器26之冷卻水，係經由做為分配於加熱器14側之高溫第一熱媒冷卻用之配管，而並不由外部加熱或冷卻而供應之第二熱媒。此冷卻水在冷凝器26內被70℃程度之第一熱媒加熱為30℃程度而由配管31排出。此由配管31排出之冷卻水，做為熱泵吸熱裝置，供應於吸熱器32，成為加熱源。

此吸熱器32受第一熱媒之供應，第一熱媒於加熱體14放熱後，經膨脹閥34斷熱膨脹而更加冷卻成10℃程度。因此在吸熱器32中，依據在冷凝器26吸熱而昇溫至30℃程度之冷卻水與被冷卻為10℃程度之第一熱媒間之溫度差存在。第一熱媒可從冷卻水吸熱。

藉吸熱器32從冷卻水吸熱而昇溫的第一熱媒，經由蓄能器36供應於壓縮機18。此蓄能器36中亦供應從冷卻器16供應而被吸入於空間單元10之空氣流吸熱之第一熱媒。此蓄能器36係屬於貯存液體成分而只將氣體成分再供應於壓縮機18之蓄能器，因此可以確實只將第一熱媒之氣體成分供應於壓縮機18。

做為此蓄能器36者，得使用蓄壓器用型之蓄能器。

又，可不設蓄能器36，而將以吸熱器32自空氣流吸熱昇溫的熱媒，與供應於冷卻器16而自被吸入於空氣單元10內流體吸熱之熱媒予以合流，再供應壓縮機。

但是雖然將於加熱器14放熱的第一熱媒藉膨脹閥34斷熱膨脹而冷卻，只靠膨脹閥34斷熱膨脹而冷卻，則第一熱媒與外部間並無熱的收授。因此經斷熱冷卻的第一熱媒，可從自外部經由冷凝器26而供應於吸熱器32的做為第二熱媒之冷卻水吸熱。

由是，在自壓縮機18排出的高壓第一熱媒中，可加入壓縮機18的壓縮動能，及藉熱泵裝置之吸熱器32從外部供應之冷卻水吸熱之能量。此外，在第1圖所示精密溫度調整裝置中，受從外部供應之冷卻水經由冷凝器26之供應，而自冷凝器26所除去高溫第一熱媒除去之一部份能量，亦可加入於自壓縮機18排出之高溫第一熱媒中，藉以提高加熱流路之加熱能力。結果不必使用補助電熱器等其他加熱裝置。

如此，如第1圖所示精密溫度調整裝置，可藉熱泵之設置提高加熱流路的加熱能力，而將比例三向閥20分配於加熱流路側的高溫第一熱媒，與分配於冷卻流路側的高溫第一熱媒的分配比率，因應空間單元10內之溫度，做實質上連續變更。

因此，在第1圖所示精密溫度調整裝置中，經常有高溫第一熱媒之供應，通過加熱流路之加熱器14與冷卻流路之冷卻器16的溫度調整對象空氣流的微小負荷變動，可藉比例三向閥20將分配於加熱流路與冷卻流路之高溫第一熱媒分配比率立刻做微細調整，以迅速應付而提高響應性。

結果，對通過加熱流路之加熱器14與冷卻流路之冷卻器16的溫度調整對象空氣流的設定溫度可做±0.1℃以下的精密控制，而將第1圖所示設有溫度調整裝置之空間單元10的溫度變化調整成較乾淨室之溫度變化為小，致可設置精密加工所需之工程設備。

又，在第1圖所示溫度調整裝置中，如以上所述，可提高加熱流路之加熱能力，而且於含有加熱流路與冷卻裝置的流路中，以流路形式獨立設置含有加熱流路之流路與含有冷卻流路之流路，前者係從做為分配裝置的比例三向閥20分別通過冷卻器16及吸熱器32的第一熱媒然後合流於蓄能器36。因此在大幅提高通過加熱器14與冷卻器16的溫度調整對象空氣流之設定溫度場合，使由比例三向閥20分配於高溫第一熱媒體的分配比率，較分配於加熱流路者大幅高於分配於冷卻流路者，即可迅速調整溫度調整對象空氣流的設定溫度。

其結果例如第13圖所示溫度調整裝置中，其溫度設定範圍為20~26℃程度，但在第1圖所示溫度調整裝置中，其溫度設定範圍大幅擴大為18~35℃程度。

尤有進者，於第1圖所示溫度調整裝置中，提高了加熱流路的加熱能力，不必使用補助電熱絲等其他加熱裝置，所以較之第14圖所示之設有補助電熱絲114之溫度調整裝置，可大幅節約能源。

例如在第14圖所示設有補助電熱絲114的溫度調整裝置中，全消費能量的內容為壓縮機100為18%，補助電熱絲114為69%，及風扇112為13%。關於此點，於第11圖的溫度調整裝置，補助電熱絲114的消費能量可予以削減。

因此，對排出量20m³ /min程度之水冷式空調機，如應用第14圖所示之溫度調整裝置方式，其最大消費能力為11.7KW，但如應用第1圖所示溫度調整裝置方式，最大消費電力可降為2.4KW程度。

如以上說明，於第1圖所示溫度調整裝置，供應冷卻水給冷凝器26之配管30中設有控制閥40做為冷媒控制裝置。此控制閥40控制壓縮機18排出壓為一定。此控制閥40中如第2圖所示，設有棒狀部，其具有閥體40b，以便關閉設於冷卻水流路內之閥部40a之開口部。此棒狀部之先端面牴接於彈簧40c，其附勢之方向在使閥體40b閉塞閥部40a開口部之方向。又，棒狀部之另一端面，牴接於反抗供應壓縮機18所排出第一熱媒壓力之伸縮箱40d，棒狀部反抗彈簧40c之附勢力，而附勢閥體40b於開放閥部40a開口部之方向。

為此，壓縮機18之排出壓力如超過彈簧40c之附勢力時，閥體40b因伸縮箱40d而移動於開放閥部40a開口部之方向，因而供應於冷凝器26之冷卻水量增加，提高冷凝器26之冷卻能力。因此壓縮機 18之排出壓力減低。

另一方面，當壓縮機18排出壓力低於彈簧40c附勢力以下時，閥體40d向關閉閥部40a開口部之方向移動，減少供應於冷凝器26之冷卻水量而降低其冷卻能力。因此壓縮機18的排出壓力增加。

如此保持壓縮機18之排出壓力為一定，即可穩定運轉精密溫度調整裝置。又可調整冷凝器16，以免冷卻水量供應過量而排出於系統之外。

然而如果大幅提高通過加熱器14及冷卻器16之空氣流的溫度設定，則於第一控制部22a，使比例三向閥20之冷卻流路側排出口開度成全閉或近於全閉狀態，同時使加熱流路側排出口成為全開或近於全開狀態。

又，溫度調整對象之空氣流溫度如屬低溫，則供應於加熱流路加熱器14之高溫第一熱媒，在加熱器14被低溫空氣凝縮，壓縮機18排出壓力低於設定壓力，控制閥40關閉，冷凝器26得不到冷卻水的供應。

如此，冷凝器26得不到冷卻水供應時，做為熱泵的吸熱器32亦不能從冷凝器26接受冷卻水的供應。因此吸熱器32停止運轉，熱泵裝置亦失靈。

甚至亦不能經膨脹閥34斷熱膨脹冷卻而在加熱器14放熱凝縮的第一熱媒與冷卻水間進行熱交換，致引起吸熱器32的凍結。

因此，如第3圖所示之精密溫度調整裝置，設置控制閥44於控制閥40的旁路配管42，做為供應冷卻水吸熱器32之供應裝置。此控制閥44，在比例三向閥20之冷卻流路側排出口開度成全閉或近於全閉狀態，而加熱流路側排出口成全開或近於全開狀態時，依照來自第一控制部22a之信號而開，強制供應冷卻水於冷凝器26，使吸熱器32成運轉狀態。

因此，大幅提高通過加熱器14及冷卻器16的空氣流之溫度設定，或如通過加熱器14及冷卻器16之空氣流在低溫時，分配於冷卻流路側的高溫第一熱媒分配率為零或其附近時，以可供應一定量之冷卻水於吸熱器32，防止其凍結，並發揮熱泵之功能。

壓縮機18之排出壓力上昇而達於設定壓力附近時，依來自第一控制部22a之信號關閉控制閥44。之後以控制閥40保持壓縮機18排出側壓力於一定，控制供應於冷凝器26之冷卻水量。

於第3圖所示之精密溫度調整裝置中，將吹至冷卻器16而冷卻的空氣流吹至加熱器14。如此最初將空氣流吹至冷卻器16，可凝縮空氣流中水分而除濕。

又如第3圖所示之精密溫度調整裝置中，其構成材料如與第1圖所示之精密溫度調整裝置構成材料相同，即賦予與第1圖者同一標號，而省略詳細說明。

於第1圖~第3圖所示精密溫度調整裝置中，供應冷卻水於冷凝器26及熱泵裝置之吸熱器32，做為第二熱媒，但如第4圖所示，可供應風扇46之空氣流於冷凝器26及熱泵裝置吸熱器32，做為第二熱媒。

於第4圖所示精密溫度調整裝置中，在於加熱器14放熱的第一熱媒，經膨脹閥34斷熱膨脹而更為冷卻後供應的吸熱器32上，受被風扇46吹至冷凝器26而加熱的空氣流吹至。因此在吸熱器32中有經加熱器14放熱凝縮而斷熱膨脹，致更加冷卻的第一熱媒從空氣流吸熱而昇溫。

此外，如第4圖所示精密溫度調整裝置中，其構成材料如與第1圖所示精密溫度調整裝置構成材料相同，即賦予與第1圖者同一標號，而省略詳細說明。

又如不用在第1圖~第4圖所示溫度調整裝置中做為分配裝置的比例三向閥20，而代之以如第5圖所示，二具雙向閥的閘閥38a，38b亦可。各閘閥38a，38b係受第一控制部22a之控制。此第一控制部22a調整各閘閥38a，38b的開度，將經壓縮機18壓縮加熱後的氣體狀高溫第一熱媒分配於加熱流路與冷卻流路的分配比率實質的連續調整，而控制通過加熱器14與冷卻器16的空氣流於設定溫度。此時調整閘閥32a，32b之開度，以便連續比例分配，使分配於加熱器14側的高溫第一熱媒量與分配於冷卻器16側的高溫第一熱媒量之合計量，等於壓縮機所排出之高溫第一熱媒量。

此時各閘閥38a，38b，則如第6圖所示，其開度與流量之關係並非成直線狀。因此第一控制部22a保持第6圖所示各閘閥38a，38b之流量特性數據，並拘於兩閘罰之流量特性，對各閘閥38a，38b發出開度信號。

於此，所謂「將分配於加熱流路與冷卻流路之分配比率實質上連續調整」，或「將分配比率實質上連續調整」，意指以步級控方式驅動閘閥38a，38b，而調整加熱流路與冷卻流路間之分配比率之際，兩閥之開度乍看之下疑似以步級驅動調整，但全體而言，實有連續驅動調整之情形。

於第1圖~第5圖所示精密溫度調整裝置中，做為使用加熱器14與冷卻器16的溫度調整對象的空氣流之溫度調整，例如對溫度調整對象的空氣流在冷卻側時，如第7A圖所示，於空氣溫度穩定運轉狀態下，經冷卻器16冷卻的空氣流係用加熱器14加熱。如第7A圖所示運轉狀態下，冷卻空氣流所需之能量A，較加熱器14加熱的能量為小。在此場合下，如第7B圖所示，如能使冷卻器16與加熱器14重複的能量儘量減少，即可得到節能效果。

另一方面，如對溫度調整對象的空氣流為加熱側時，如第8A圖所示，空氣流的溫度處於穩定運轉狀態下時，加熱器14所加熱空氣以冷卻器16冷卻。如第8A圖所示運轉狀態下，加熱於空氣流所需能量B，有時較冷卻器16冷卻的能量為小，此時如第8B圖所示，如能使冷卻器16與加熱器14重複的能量減少，即可得到節能效果。

但是如為了使互相抵消的熱量歸零而對供應於加熱器14與冷卻器16之高溫第一熱媒做ON－OFF控制，則精密溫度調整裝置的運轉陷於不安定，將空氣流穩定於設定溫度費時良久。因此，須在加於加熱器14之加熱量與加於冷卻器16之冷卻量中互相抵消之熱量維持於最小限度，以求精密溫度調整裝置能夠穩定運轉。

又，此必要最小限度之互相抵消熱量，視精密溫度調整裝置如何而多少有差異，最好以實驗方式求得。

如此，為了使冷卻器16與加熱器14所重複的能量減少，在如第9圖所示精密溫度調整裝置中，從加於加熱器14的加熱量與加於冷卻器16的冷卻量中，互相抵消的熱量儘量減小，故透過反向換流器19藉第二控制部22b控制壓速機18轉速。

此外，如第9圖所示之精密溫度調整裝置中，其構成材料如與第1圖所示之精密溫度調整裝置構成材料相同，即賦予與第1圖者同一標號，而省略詳細說明。

如此之第二控制部22b與控制比例三向閥20之第一控制部22a協力，儘量減少加於加熱器14之加熱量及加於冷卻器16之冷卻量中互相抵消之熱量，而進行空氣流之精密溫度控制。

茲以第10圖之流程圖表示藉第一控制部22a的比例三向閥20之控制情形，與藉第二控制部22b的壓縮機18轉速之控制情形。

經將第9圖所示溫度調整裝置試運轉結果，判明對空氣流在冷卻側運轉的場合，加於加熱器14之加熱量，如將以比例三向閥20分配於加熱器14側的高溫第一熱媒分配率定為5~15%(比例三向閥20分配於冷卻器16側之高溫第一熱媒分配率為95~85%)，穩定運轉上較佳。

另一方面，對空氣流在加熱側運轉的場合，判明加於加熱器14側的加熱量，如以比例三向閥20分配於加熱器14側的高溫第一熱媒分配率定為95~85%(比例三向閥20分配於冷卻器16側之高溫第一熱媒分配率為5~15%)，穩定運轉上較佳。

因此，第10圖所示流程圖的控制中，加於加熱器14側的加熱量，具體而言為藉比例三向閥20分配於加熱器14側之高壓第一熱媒分配率，對空氣流在冷卻側運轉時，控制壓縮機18的轉速，使其成為5~15%，而對空氣流在加熱運轉時，使其成為95~85%。

於第10圖所示流程圖中，在步驟S10起動壓縮機18後，在步驟S12依據設於空間單元10內之溫度感知器24所測定溫度信號，連續變更比例三向閥20分配於加熱器14側與冷卻器16側之高溫第一熱媒分配比率，以調整吸入於空氣單元10內之空氣流於設定溫度。

這樣的空氣流是否達於設定溫度而安定於此，則用步驟S14判斷。假定空氣流溫度尚未安定，就回到步驟S12，連續變更比例三向閥20分配於加熱器14側與冷卻器16側之高溫熱媒分配比率，步驟S12及S14係在第一控制部22a進行。

另一方面，如空間單元10內之空氣流已到達於設定溫度而安定，則以步驟S16~S22判斷分配於加熱器14側的高溫第一熱媒分配比率是否在設定範圍內。步驟S16~S22係在第二控制部22b進行。

又，第10圖所示之高溫第一熱媒所謂平均分配率，意指由於分配於加熱器14側之高溫第一熱媒分配比率有參差，因此乃取設定時間內第一熱媒分配率之平均值，下文中或稱第一熱媒分配率。

首先，於步驟S16與S18中，假定針對空氣流係處於冷卻側時，判斷對加熱器14側之第一熱媒平均分配率是否在5~15%以內。

於此，如果加熱器14側的第一熱媒平均分配率為5~15%以內時，則對空氣流而言是在冷卻側，而且屬於精密溫度調整裝置穩定運轉之範圍內，因此通過步驟S16而從S18回歸於S16。

另一方面，如果對加熱器14側的第一熱媒平均分配率為未滿5%時，對加熱器14側的第一熱媒平均分配率過低，精密溫度調整裝置的運轉易陷於不穩定。因此應增加對加熱器14側的第一熱媒分配率，應從步驟S16移行於S24以增加壓縮機18轉速。在步驟S24中，從第二控制部22b向反向換流器18發出以最小變化量增加設定於其內的壓縮機18轉速之信號。由於以最小變化量增加壓縮機18轉速，即可穩定的運轉精密溫度調整裝置。

又，可變化壓縮機18轉速的最小變化量，係因精密溫度調整裝置而異，最好以實驗方式求得。壓縮機18的轉速為2000~5000rpm時，最小變化量定為3~10%範圍較宜。

又，如果對加熱器14側之第一熱媒平均分配率超過15%時，經步驟S16與S18判斷空氣流不在冷卻側而移行於步驟S20與S22。在S20與S22時，如假定空氣流在加熱側，而且也在精密溫度調整裝置之穩定運轉範圍內，由是通過步驟S20而從步驟S22返回S16。

另一方面，如果對加熱器14側之第一熱媒平均分配率超過95%時，則此平均分配率為過高，精密溫度調整裝置之運轉容易陷於不安定。因此應減少對加熱器14側之第一熱媒平均分配率而從步驟S22移行於S24，以增加壓縮機18之轉速。在步驟S24中，從第二控制部22b向反向換流器18發出以最小變化量增加設定於其內的壓縮機18轉速之信號。

又，如果對加熱器14側之第一熱媒平均分配率為未滿85%時，在步驟S22中，空氣流為非在加熱側，亦非在冷卻側的狀態，亦即可判斷為加於加熱器14之加熱量與加於冷卻器44之冷卻量中互相抵消之熱量太多之狀態。因此移行於S26而減低壓縮機18之轉速。於步驟S26中，從第二控制部22b向反向換流器18發出以最小變化量降低設定於其內的壓縮機轉速之信號。這是為了以最小變化量降低壓縮機18的轉速，以移行空氣流至加熱側或冷卻側。

其次，通過步驟S24或S26而移行於S28，判斷壓縮機18是否在運轉中。如果壓縮機18在運轉中，則返回步驟S14。在S14中，判斷在步驟S24或S26中壓縮機18的轉速在以最小變化量增加或減低的狀態下，空間單元10內的空氣流是否到達且安定於設定溫度。如果是這樣，則依據步驟S16~S26，再度判斷對加熱器14側的第一熱媒平均分配率是否在設定範圍內。

另一方面，在步驟S14中，如果判斷空氣單元10內的空氣流的溫度為不安定時，則返回步驟S12，連續變更以比例三向閥20分配於加熱器14側與冷卻器16側之第一熱媒的分配比率。俟空氣單元10內之空氣流到達且安定於設定溫度後，移行於步驟S16~S26。

又，於步驟S28中，壓縮機18不在運轉狀態時，停止第一控制部22a及第二控制部22b的控制。

以上說明之第10圖所示流程圖中，第一控制部22a係注意對加熱器14側之第一熱媒的平均分配率而控制，但亦可注意對冷卻器16側之第一熱媒的平均分配率而加以控制。

第1圖~第10圖所示之精密溫度調整裝置中，溫度調整對象為空氣流，但亦可適用於工作機械等所用之冷卻液做為溫度調整對象之精密溫度調整裝置。對於這種溫度調整對象之冷卻液精密溫度調整状之一例如第11圖所示。

於第11圖所示之冷卻液精密溫度調整裝置中，為反向換流器51控制以設定轉速回轉的壓縮機50壓縮的高溫第一熱媒，經做為分配裝置的比例三向閥52分配於加熱流路與冷卻流路。

比例三向閥52分配壓縮機50所壓縮的高溫第一熱媒，使分配於加熱流路側之高溫第一熱媒量與分配於冷卻流路側之高溫第一熱媒量之合計量等於壓縮機所排出之高溫第一熱媒量。此比例三向閥52被第一控制部55a所控制，如後述之情形，依據來自用以測定精密溫度調整裝置出口之冷卻液溫度的溫度感知器62的信號，連續變更分配於加熱流路與冷卻流路之高溫第一熱媒分配率，調整冷卻液於設定溫度。

分配有一部份從壓縮機50排出之高溫第一熱媒的冷卻流路中，設有做為冷卻所分得之高溫第一熱媒的冷卻裝置而凝縮高溫第一熱媒的冷凝器56，做為以斷熱膨脹進一步冷卻已被冷凝器56凝縮之第一熱媒的第一膨脹裝置膨脹閘58，及供應此經冷卻之第一熱媒的冷卻器60。此冷卻器60中，將貯留於貯留槽64中之回自USER的溫度調整對象冷卻液，藉幫浦66供應後冷卻。以冷卻器60吸熱而昇溫的第一熱媒，返回蓄能器71後供應於壓縮機50。

又，加熱流路中設有接受高溫第一熱媒供應之做為加熱裝置之加熱器54。此加熱器54接受冷卻器60所冷卻的溫度調整對象冷卻液，經被供應之高溫第一熱媒經調整成設定溫度後送至USER。

此加熱流路及冷卻流路中設有做為熱泵裝置的吸熱器68。此吸熱器68，供應以經加熱器54放熱而凝縮後，再經做為膨脹裝置的膨脹閥70斷熱膨脹而進一步冷卻之第一熱媒，而且供應以於設於冷卻流路之冷凝器56中吸取高溫熱媒之熱而昇溫的最為第二熱媒的冷卻水，從昇溫的冷卻水中吸熱之第一熱媒返回蓄能器71而供應於壓縮機50。

在如第11圖所示之精密溫度調整裝置中，在做為第二熱媒而供應於冷凝器56的冷卻水配管途中，設有冷卻媒體控制裝置的控制閥72，以控制供應於冷凝器56的冷卻水供應量，藉以保持壓縮機50排出側壓力於一定值。此控制閥72與圖2所示控制閥40為同一構造，用於控制壓縮機50排出壓力為一定。

亦即壓縮機50之排出壓力超過設定值以上時，控制閥72設於冷卻流路內閥開口部之開度放大，增加供應於冷凝器56之冷卻水量而提高冷凝器56的冷卻能力。因此壓縮機50的排出壓力降低。另一方面，壓縮機50之排出壓力降至設定值以下時，前述控制閥72之開口部開度變小，供應於冷凝器56之冷卻水量減少，冷凝器56之冷卻能力降低，因而壓縮機50之排出壓力增高。

如此，藉保持壓縮機50之排出壓力為一定，即可穩定運轉精密溫度調整裝置。又可調整避免冷凝器56冷卻水量供應過量，致排出系統之外。

但是如果冷卻液的溫度設定大幅昇高時，第一控制部55a使比例三向閥52之冷卻流路側排出口成為全閉或近乎全閉狀態，同時使加熱流路側排出口成為全開或近乎全開狀態，幾乎全部高溫第一熱媒分配於高壓流路側。

又，如貯留槽64的冷卻液為低溫的場合，供應於加熱流路加熱器54的高溫第一熱媒在加熱器54被低溫冷卻液凝縮，壓縮機50的排出壓力變成比設定壓力為低，致控制閥72關閉而冷凝器56無冷卻水供應。

如此，冷凝器56失去冷卻水之供應，做為熱泵裝置的吸熱器68亦失去從冷凝器56的冷卻水供應。因此吸熱器68停止運轉，失去熱泵功能。

加之，在加熱器54放熱而凝縮後，再經膨脹閥70斷熱膨帳而更進一步冷卻後的第一熱媒不能與冷卻水進行熱交換，致吸熱器68有凍結之虞。

關於此點，在第11圖所示精密溫度調整裝置中，在控制閥72的旁路配管74中設有控制閥76，做為對吸熱器68的冷卻水供應裝置。此控制閥76，當比例三向閥52的加熱流路側排出口成全開或近乎全開狀態(或冷卻流路側排出口全閉或近乎全閉狀態)時，憑來自第一控制部55a的信號而開，強制供應冷卻水給冷凝器56，使吸熱器68成運轉狀態。

為此，如大幅昇高冷卻液的溫度設定同樣，即使分配於冷卻流路側的高溫第一熱媒的分配率成零或近乎零時，亦可供應吸熱器18以設定量之冷卻水，防止吸熱器68之凍結，而且得以發揮熱泵功能。

壓縮機50之排出壓力上昇而達於設定壓力附近時，憑來自第一控制部55a之信號關閉控制閥76。之後以控制閥72控制供應於冷凝器56之冷卻水量，而保持壓縮機50排出側之壓力為一定。

第11圖所示冷卻液的精密溫度調整裝置中，亦可不用比例三向閥52，而代之以圖5所示之二向閥之閘閥38a、38b兩個閘閥。

又，於第11圖所示冷卻液的精密溫度調整裝置中，係使用冷卻水，做為供應於冷凝器56及熱泵裝置吸熱器68之第二熱媒體，但亦可如第12圖所示，使用風扇78的空氣流，做為供應於冷凝器56及熱泵裝置吸熱器68之第二熱媒體。第12圖所示精密溫度調整裝置中，吸熱器68將於加熱器54放熱的第一熱媒體，在第二膨脹裝置的膨脹閥70斷熱膨脹而更加冷卻後供應，而風扇78所吹至冷凝器56而加熱的空氣流吹至吸熱器68。因此，在吸熱器68，有藉加熱器54放熱，凝縮，經膨脹閥70斷熱膨脹而冷卻的第一熱媒體從空氣流吸熱。

此外，如第12圖所示精密溫度調整裝置中，其構成材料如與第11圖所示精密溫度調整裝置構成材料相同，即賦予與第11圖者同一標號，而省略詳細說明。

以上說明第11圖及第12圖之精密溫度調整裝置中，為了減少冷卻器60與加熱器54重複的能量，與圖9所示精密溫度調整裝置同樣，設置第二控制部，透過控制壓縮機50的反向換流器51控制壓縮機50之轉速亦可。於此場合，與第一控制部55a協力，依照第10圖所示之流程圖，在加熱器54所加之加熱量與冷卻器60所加之冷卻量中，使互相抵消之熱量儘量減少，進行溫度調整對象的冷卻液精密溫度控制。

又，第1圖~第12圖所示精密溫度調整裝置所使用之加熱器14、54，冷卻器16、60，冷凝器26、56，吸熱器35、68，可使用具有溫度差的兩種流體對向流動或並行流動之習知熱交換器。例如雙重管，附散熱片管，或為板型熱交換器等，都很合適。

尤其以冷卻水做為第二熱媒體而供應於冷凝器26、56時，因其使用溫度處於容易產生污垢之溫度帶，所以最好採用比較不易塞管的雙重管式熱交換器，以便分別在其內管與外管流通不同溫度的流體，進行熱交換。

另一方面，若要求有良好的熱效率，可採用複數板狀散熱片積層體中插通複數支傳熱管的板型熱交換器，做為吸熱器32、68，較為合適。

尤有進者，在第1圖~第12圖所示精密溫度調整裝置中，係以冷卻水或空氣流做為第二熱媒體供應於冷凝器26、56與吸熱器32、68，但亦可冷凝器26、56與吸熱器32、68之一方供應冷卻水，另一方供應空氣流。

又，在第1圖~第12圖所示精密溫度調整裝置中，為了在冷凝器26、56回收從第一熱媒除去的一部份熱量，而以第二熱媒體經由冷凝器26、56供應於吸熱器32、68。但是端視第二熱媒之流速如何，有時幾乎沒有希望回收。遇此場合，可以個別的供應第二熱媒於冷凝器26、56與吸熱器32、68。具體而言，亦可個別供應冷卻水於冷凝器26、56與吸熱器32、68，或個別設置冷卻風扇而個別供應空氣流於冷凝器26、56與吸熱器32、68。

此外，適用於本發明溫度調整對象的流體及第二熱媒體，並不限定於空氣或水，亦可使用油類與氣混合體。

[發明之效果]

在本發明的精密溫度調整裝置中，其加熱裝置的加熱流路與冷卻裝置的冷卻流路中，分別供應由壓縮機排出之第一熱媒。更進一步，藉分配裝置變更分配於加熱流路與冷卻流路的高溫第一熱媒分配比率，於是可容易的調整通過加熱裝置與冷卻裝置之溫度調整對象流的加熱量與冷卻量。

加之在本發精密溫度調整裝置中，設有熱泵裝置，此係從低溫部向高溫部移動熱量的裝置，因此可以把經壓縮機壓縮加熱的高溫第一熱媒(高溫度部)中，以加熱流路之加熱裝置放出熱而冷卻後，以第二膨脹裝置斷熱膨脹更加冷卻的第一熱媒，藉構成熱泵的吸熱裝置，從外部熱源的第二熱媒(低溫度部)吸熱昇溫後返回壓縮機。

因此，在本發明精密溫度調整裝置中，其壓縮機排出的高溫第一熱媒(高溫度部)中，可在壓縮機的壓縮動能加入藉熱泵從外部熱源的第二熱媒(低溫度部)吸收的能量，由是提高了供應高溫第一熱媒之加熱裝置的加熱能力。

由是，本發明的精密溫度調整裝置中，通過加熱裝置與冷卻裝置的溫度調整對象流體之微小負荷變動，經藉微小調整分配於加熱流路與冷卻流路的高溫第一熱媒分配比率，即可迅速對應，對溫度調整對象流體，達成精密溫度調整。

又如欲大幅提高通過加熱裝置與冷卻裝置的溫度調整對象液體的設定溫度時，其高溫第一熱媒之分配比率，教冷卻流路之分配比率大幅提高加熱流路之分配比率，達成調整溫度調整對象流體於設定溫度之目的。

如此一來，本發明之精密溫度調整裝置，不需要或小型化補助電熱絲等補助零件，亦可精密調整溫度調整對象流體於設定溫度，同時得以節省能量。

14、54．．．加熱器

16、60．．．冷卻器

25、26．．．冷凝器

32、68．．．吸熱器

10．．．空間單元

12．．．風扇

20、52．．．比例三向閥

22a、55a．．．第一控制部

30、42、74．．．配管

36、71．．．蓄能器

28、34、58、70、76、106．．．膨脹閥

114．．．補助電熱絲

40a．．．閥部

40b．．．閥體

40c．．．彈簧

40d．．．風箱

40、44、72、76．．．控制閥

38a、38b．．．閘閥

22b．．．第二控制部

50、18．．．壓縮機

51、18．．．反向換流器

24、62．．．溫度感知器

64．．．貯留槽

66．．．幫浦

102．．．三向閥

114．．．補助電熱絲

第1圖為說明本發明機命溫度調整裝置之一例的概略圖。

第2圖為第1圖所示精密溫度調整裝置所使用控制閥40內部構造之說明圖。

第3圖及第4圖為說明本發明精密溫度迢裝置之另一例及又一例的概略圖。

第5圖為說明第1圖~第5圖所示精密溫度調整裝置所可使用之其他分配裝置說明圖。

第6圖為第5圖之分配裝置所使用閘閥流量特性曲線圖。

第7A圖及第7B圖為說明第1圖之精密溫度調整裝置在冷卻側時省能原理說明圖。

第8A圖及第8B圖為說明第1圖之精密溫度調整裝置在加熱側時省能原理說明圖。

第9圖為說明本發明精密溫度調整裝置之再一例的概略圖。

第10圖為第9圖所示溫度調整裝置第一控制部22a與第二控制部22b控制步驟流程圖。

第11圖及第12圖為說明本發明溫度調整裝置另二例之概略圖。

第13圖為說明傳統溫度調整裝置之概略圖。

第14圖為說明傳統溫度調整裝置改良例之概略圖。

10‧‧‧空間單元

24‧‧‧溫度感知器

12‧‧‧風扇

16‧‧‧冷卻器

14‧‧‧加熱器

34、28‧‧‧膨脹閥

32‧‧‧吸熱器

40‧‧‧控制閥

31、30‧‧‧配管

26‧‧‧冷凝器

20‧‧‧比例三向閥

36‧‧‧蓄能器

18‧‧‧壓縮機

22a‧‧‧第一控制部

Claims (14)

1. 一種精密溫度調整裝置，設有一加熱流路與一冷卻流路，前者用以將壓縮機壓縮加熱之高溫第一熱媒的一部份供應於加熱裝置，後者用以將該高溫第一熱媒殘餘部份在冷凝裝置中冷卻後以第一膨脹裝置經斷熱膨脹而更加冷卻後供應於冷卻裝置，為了調整通過該加熱裝置與冷卻裝置的溫度調整對象流體於設定溫度，而用該精密溫度調整裝置，分配該高溫第一熱媒於該加熱流路與冷卻流路，而且將各通過該加熱流路與冷卻流路的第一熱媒再供應於該壓縮機，包含：一分配裝置，將該壓縮機所排出高溫第一熱媒的一部份分配於該加熱流路側，同時將該高溫第一熱媒的殘餘部份分配於該冷卻流路側，而且使分配於該加熱流路與冷卻流路之高溫第一熱媒分配比率成為可變更者；一熱泵裝置，為了提高該加熱流路之加熱能力，將在該加熱裝置放出熱而冷卻後在第二膨脹裝置中經斷熱膨脹而更加冷卻的第一熱媒，以其所具備的吸熱裝置從屬於外部熱源的第二熱媒吸熱；及一第一控制部，可控制該分配裝置，以調整分配於該加熱流路與冷卻流路的高溫第一熱媒分配比率，而控制通過該加熱裝置與冷卻裝置之溫度調整對象流體之設定溫度。
2. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中所述供應於該冷卻流路之冷凝裝置而冷卻高熱第一熱媒的冷卻熱媒，與供應於熱泵裝置的吸熱裝置的第二熱媒係屬於同一熱媒，供應於該冷凝裝置後再供應於該吸熱裝置。
3. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中所述第二熱媒，為不經外部加熱或冷卻而供應的第二熱媒。
4. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中設有控制壓縮機轉速的轉速控制裝置，將該第一控制部所控制之高溫第一熱媒分配比率，利用設置第二控制部，透過該轉速控制裝置變更壓縮機轉速，使該加熱裝置加於溫度調整對象流體之加熱量與該冷卻裝置加於溫度調整對象流體之冷卻量互相抵消之熱量為最小。
5. 如申請專利範圍第4項之精密溫度調整裝置，其中所述第二控制部，可透過該轉速控制裝置控制壓縮機轉速，調整為高溫第一熱媒的分配比率，對溫度調整對象流體，在加熱側的場合，該高溫第一熱媒之95~85%分配於該加熱裝置，而殘餘高溫第一熱媒之5~15%分配於該冷卻裝置之範圍；另一方面，對該溫度調整對象流體在於冷卻側之場合，該高溫第一熱媒之95~85%分配於該冷卻裝置，而殘餘高溫第一熱媒之5~15%分配於該加熱裝置之範圍。
6. 如申請專利範圍第5項之精密溫度調整裝置，其中所述轉速控制裝置為反向換流器。
7. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，於分別通過該加熱流路與冷卻流路之第一熱媒合流後再供應於壓縮機的第一熱媒流路中，分別獨立設置從該分配裝置至第一熱媒合流處含該加熱流路之流路，及含該冷卻流路之流路。
8. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中所述第一熱媒，被該冷卻裝置及熱泵裝置吸熱後，經由蓄能器再供應於壓縮機。
9. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中所述分配裝置，乃用以分配高溫第一熱媒於該加熱流路與冷卻流路者，為可實質上連續變更該高溫第一熱媒分配比率的分配裝置。
10. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中所述分配裝置，為一比例三向閥，可將該高溫第一熱媒做比例分配，使分配於加熱流路側的高溫第一熱媒與分配於冷卻流路側的高溫第一熱媒之合計量，等於壓縮機所排出之高溫第一熱媒量。
11. 如專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中所述分配裝置，為分別設於分岐高溫第一熱媒於該加熱流路與冷卻流路側的各分岐配管的二向閥，而該第一控制部將分配於該加熱流路與冷卻流路之高溫第一熱媒之分配比率加以調整，而控制通過該加熱裝置與冷卻裝置之溫度調整對象流體於設定溫度，同時調整各該二向閥的開啟度，使加熱流路側所分配之高溫第一熱媒與冷卻流路側所分配的高溫第一熱媒合計量，等於壓縮機所排出之高溫第一熱媒量。
12. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，其中所述冷凝裝置之冷媒，係使用液狀媒體，供應於該冷凝裝置之冷卻流路，並設有冷媒控制裝置，維持壓縮機排出側壓力於一定，以控制供應於該冷凝裝置之液狀媒體供應量。
13. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，如果該溫度調整對象流體為空氣流，經由該冷卻裝置與加熱裝置之配置，使吹到該冷卻裝置而低溫化的空氣流吹到該加熱裝置。
14. 如申請專利範圍第1項之精密溫度調整裝置，如果該溫度調整對象流體為空氣流，經由該冷卻裝置與加熱裝置之配置，使吹到該加熱裝置而昇溫的空氣流吹到該冷卻裝置。