CN101558270A - 对温度进行精密调整的装置 - Google Patents

Abstract

一种温度调整装置，能解决以往的温度调整装置中存在的对作为温度调整对象的流体的加热能力不足、需要辅助电加热器等辅助加热装置的问题，其特征是设置有：比例三通阀(20)，其使从压缩机(18)排出的高温的第一热介质的一部分朝加热器(14)供给，并使供给到冷却流路中的高温的第一热介质的剩余部分在冷却后以隔热的方式膨胀而进一步冷却、然后朝冷却器(16)供给，以对流过加热流路的加热器(14)和冷却流路的冷却器(16)的作为温度调整对象的流体进行温度调整；热泵装置的吸热器(32)，其使在加热器(14)中冷却后以隔热的方式膨胀而进一步冷却的第一热介质从由外部供给来的冷却水吸热，以提高加热流路的加热能力；储罐(36)，其使分别流过冷却器(16)和吸热器(32)后的第一热介质在合流后再次朝压缩机(18)供给；第一控制部(22a)，其控制比例三通阀(20)，以连续地变更分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率，将作为温度调整对象的流体调整成规定温度。

Description

对温度进行精密调整的装置

技术领域

本发明涉及一种对温度进行精密调整的装置，尤其涉及将流过加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体调整为规定温度的对温度进行精密调整的装置。

背景技术

通常，在半导体装置的制造工序等精密加工领域中，其大部分都设置在温度和湿度受到控制的无尘室内。

但是，近年来，即使是精密加工领域，也在不断出现要求进行加工精度比以往更高的精密加工等的工序。

对于该要求高精密加工等的工序而言，通常要求温度变化比无尘室的温度变化更小的环境。因此，将要求高精密加工等的工序设置在进行精密的温度管理的空间单元内。

作为这样的空间单元的温度调整中使用的温度调整装置，例如在下述专利文献1中记载了图13所示的温度调整装置。

在图13所示的温度调整装置中设置有压缩机100、三通阀102、冷凝器104、膨胀阀106、冷却器108和加热器110，并设置有具有冷却器108的冷却流路和具有加热器110的加热流路。

利用该冷却器108和加热器110来调整从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流的温度。

在该图13所示的温度调整装置中，经压缩机100压缩后的高温热介质利用三通阀102分配给冷却流路和加热流路。分配给冷却流路侧的高温热介质在冷凝器104中被冷却。该被冷却的热介质利用膨胀阀106以隔热的方式膨胀而被冷却，然后朝冷却器108供给。在冷却器108中，一边冷却从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流一边吸热升温的热介质朝压缩机100供给。

另一方面，分配给加热流路侧的高温热介质朝加热器110供给，对经冷却器108冷却后的作为温度调整对象的气流进行加热，从而将其调整成期望的温度。这样，在加热器110中，一边加热作为温度调整对象的气流一边散热降温的热介质流过膨胀阀106和冷却器108而朝压缩机100供给。

专利文献1：日本专利特开昭51-97048号公报

在图13所示的温度调整装置中，由于经压缩机100压缩后的高温热介质全部流过膨胀阀106以隔热的方式膨胀而被冷却，然后朝冷却器108供给，因此，冷却从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流的冷却能量是一定的。

另一方面，通过调整由三通阀102分配给加热流路侧的高温热介质的流量，能调整加热器110对经冷却器108冷却后的作为温度调整对象的气流的加热量。

因此，能调整流过冷却器108和加热器110的作为温度调整对象的气流的温度，能以较窄的温度范围来进行空间单元内的温度管理。

但是，在图13所示的温度调整装置中，由于经压缩机100压缩后的高温热介质全部流过膨胀阀106以隔热的方式膨胀而被冷却，然后朝冷却器108供给，因此，对从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流进行的温度调整是通过专门朝加热器110供给的经压缩机100压缩后的高温热介质的再次加热来进行的。

因此，在图13所示的温度调整装置所采用的温度控制方式中，加热中使用的热介质也流入冷却流路，能加热的热量仅仅是压缩机的动力产生的热量，很难应对冷却器108和加热器110的负载变动。

因此，在大幅度提高流过冷却器108和加热器110的作为温度调整对象的气流的设定温度时，作为温度调整对象的气流的温度有时达不到设定温度，或者达到设定温度很耗费时间。

为了弥补这样的、图13所示的温度调整装置的加热量不足，如图14所示，可考虑设置辅助电加热器114，但很浪费能量。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种对温度进行精密调整的装置，采用该对温度进行精密调整的装置时，能解决以往的温度调整装置中存在的对作为温度调整对象的流体的加热能力不足、需要设置辅助电加热器等辅助加热装置的问题，提高对温度调整对象的流体的加热能力，并能实现节省能量。

为了解决上述问题，本发明人等认为设置冷却流路和加热流路、设置能对流过冷却流路的冷却装置和加热流路的加热装置的作为温度调整对象的流体的冷却量和加热量进行变更的分配装置、以及为提高加热流路的加热能力而设置能从低温的部分朝温度较高的部分移动热量的热泵装置是有效的，通过研究，得到了本发明。

即，本发明的对温度进行精密调整的装置设置有：使经压缩机压缩而被加热的高温的第一热介质的一部分朝加热装置供给的加热流路、以及使上述高温的第一热介质的剩余部分经冷凝装置冷却后在第一膨胀装置中以隔热的方式膨胀而进一步冷却、然后朝冷却装置供给的冷却流路，使上述高温的第一热介质分配给加热流路和冷却流路，由此将流过上述加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体调整成规定温度，并使分别流过上述加热流路和冷却流路后的第一热介质再次朝压缩机供给，上述对温度进行精密调整的装置的特征是，设置有：分配装置，该分配装置将从上述压缩机排出的高温的第一热介质的一部分分配给上述加热流路侧，并将上述高温的第一热介质的剩余部分分配给冷却流路侧，并且，能变更分配给上述加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率；具有吸热装置的热泵装置，上述吸热装置使在上述加热装置中释放热量而被冷却并在第二膨胀装置中以隔热的方式膨胀而被进一步冷却的第一热介质从作为外部热源的第二热介质吸热，以使上述加热流路的加热能力提高；以及第一控制部，该第一控制部控制上述分配装置，对分配给上述加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率进行调整，从而将流过上述加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体控制成规定温度。

在本发明中，被供给到冷却流路的冷凝装置中来冷却高温的第一热介质的冷却介质和朝热泵装置的吸热装置供给的第二热介质是同一热介质，由于被供给到上述冷凝装置中后朝上述吸热装置供给，因此能有效利用在冷凝装置中被除去的高温的第一热介质的热量，较为理想。

作为该第二热介质，使用在未经加热或冷却的情况下从外部供给来的第二热介质，由于这样能节省能量，因此较为理想。

另外，在本发明中，设置控制压缩机的转速的转速控制装置，并设置第二控制部，该第二控制部通过上述转速控制装置来变更压缩机的转速，以使被第一控制部控制的高温的第一热介质的分配比率成为能减少由加热装置提供给作为温度调整对象的流体的加热量和由冷却装置提供给作为温度调整对象的流体的冷却量中相互抵消的热量的分配比率，由此，能减少分别提供给加热装置和冷却装置的热量中的相互抵消的热量，因此，与设置热泵装置相辅，能进一步节省能量。

该第二控制部通过转速控制装置来控制压缩机的转速，以便作为温度调整对象的流体处于加热侧时，使高温的第一热介质的分配比率处在高温的第一热介质的95～85％被分配给加热装置而剩余的高温的第一热介质的5～15％被分配给冷却装置的范围内，另一方面，上述温度调整对象的流体处于冷却侧时，使高温的第一热介质的分配比率处在高温的第一热介质的95～85％被分配给冷却装置而剩余的高温的第一热介质的5～15％被分配给加热装置的范围内，由此，在实现对温度进行精密调整的装置的节省能量的同时，能使对温度进行精密调整的装置稳定地运转。作为该转速控制装置，可理想地使用逆变器(inverter)。

另外，在本发明中，在使分别流过加热流路和冷却流路后的第一热介质在合流后再次朝压缩机供给的第一热介质的流路中，将从分配装置到上述第一热介质合流为止的包括加热流路的流路和包括冷却流路的流路以独立流路的形式设置，由此，能加大作为温度调整对象的流体的温度调整幅度。

此处，使在冷却装置和热泵装置中被吸收了热量的第一热介质经由储罐而再次朝压缩机供给，由此，能使朝压缩机供给的第一热介质的状态变得稳定。

作为朝该加热流路和冷却流路分配高温的第一热介质的分配装置，使用实质上能连续变更分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率的分配装置，由此，能更精密地进行作为温度调整对象的流体的温度调整。

作为朝该加热流路和冷却流路分配高温的第一热介质的分配装置，使用实质上能连续变更分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率的分配装置，由此，能更精密地进行作为温度调整对象的流体的温度调整。

该所谓“实质上能连续变更的分配装置”，是指包括如下情况：在使用双通阀或比例三通阀作为分配装置、且双通阀或比例三通阀的驱动由分步控制来控制时，双通阀或比例三通阀微观上被分步驱动但整体上被连续驱动。

作为本发明中使用的分配装置，使用比例三通阀，该比例三通阀按比例分配上述高温的第一热介质，以使分配给加热流路侧的高温的第一热介质和分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的总量与从压缩机排出的高温的第一热介质的量相等，由此，能顺畅地变更从压缩机排出的高温的第一热介质的分配比率。

另外，作为分配装置，采用分别设置在使高温的第一热介质朝加热流路侧和冷却流路侧分岔的分岔配管上的双通阀，作为第一控制部，采用如下的第一控制部，该第一控制部对上述双通阀的各个开度进行调整，以对分配给上述加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率进行调整，将流过加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体控制成规定温度，并使分配给上述加热流路侧的高温的第一热介质和分配给上述冷却流路侧的高温的第一热介质的总量与从压缩机排出的高温的第一热介质的量相等，由此，也能顺畅地变更从压缩机排出的高温的第一热介质的分配比率。

在本发明中，作为朝冷却流路的冷凝装置供给的冷却介质，使用液状介质，设置对朝上述冷凝装置供给的上述液状介质的供给量进行控制、以使压缩机的排出侧的压力保持恒定的制冷剂控制装置，由此，能防止冷却介质浪费地流过冷凝装置。

另外，在作为温度调整对象的流体是气流时，将上述冷却装置和加热装置配设成使吹向冷却装置而降低了湿度后的气流吹向加热装置，由此，可同时进行作为温度调整对象的气流的除湿。

另一方面，这种情况下，通过将上述加热装置和冷却装置配设成使吹向加热装置而升温的气流吹向冷却装置，能进一步提高气流的温度调整的精度。

发明效果

在本发明的对温度进行精密调整的装置中，从压缩机排出的高温的第一热介质分别朝加热流路的加热装置和冷却流路的冷却装置供给。另外，利用分配装置来变更分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率，能容易地调整对流过加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体的加热量和冷却量。

此外，在本发明的对温度进行精密调整的装置中，设置有热泵装置。该热泵装置是能从低温的部分朝温度较高的部分移动热量的装置，因此，在经压缩机压缩而被加热的高温的第一热介质(温度较高的部分)中，在加热流路的加热装置中释放热量而冷却后在第二膨胀装置中以隔热的方式膨胀而进一步冷却的第一热介质可利用构成热泵装置的吸热装置从作为外部热源的第二热介质(温度较低的部分)吸热并升温，然后返回压缩机。

因此，在本发明的对温度进行精密调整的装置中，对于从压缩机排出的高温的第一热介质(温度较高的部分)而言，在压缩机的压缩动能的基础上，能利用热泵装置增加从外部热源的第二热介质(温度较低的部分)吸热得到的能量，能提高得到高温的第一热介质供给的加热装置的加热能力。

因此，在本发明的对温度进行精密调整的装置中，对于流过加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体的微小负载变动而言，能通过对分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率进行微调而迅速地应对，能对作为温度调整对象的流体进行精密的温度调整。

另外，即使在大幅度提高流过加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体的设定温度时，通过使分配给加热流路的高温的第一热介质的分配比率大幅度高于分配给冷却流路的高温的第一热介质的分配比率，也能将作为温度调整对象的流体调整为规定温度。

这样，在本发明的对温度进行精密调整的装置中，即使省去辅助电加热器等辅助加热器或者进行小型化，也能将作为温度调整对象的流体精密地调整为规定温度，并能实现节省能量。

附图说明

图1是说明本发明的对温度进行精密调整的装置的一例的概略图。

图2是说明图1所示的对温度进行精密调整的装置中使用的控制阀40的内部构造的说明图。

图3是说明本发明的对温度进行精密调整的装置的另一例的概略图。

图4是说明本发明的对温度进行精密调整的装置的另一例的概略图。

图5是说明能在图1～图4所示的对温度进行精密调整的装置中使用的另一分配装置的说明图。

图6是表示图5所示的分配装置中使用的闸阀的流量特性的曲线图。

图7A、7B是说明图1所示的对温度进行精密调整的装置处于冷却侧时的节能原理的说明图。

图8A、8B是说明图1所示的对温度进行精密调整的装置处于加热侧时的节能原理的说明图。

图9是说明本发明的对温度进行精密调整的装置的另一例的概略图。

图10是用于说明图9所示的温度调整装置的第一控制部22a和第二控制部22b的控制步骤的流程图。

图11是说明本发明的对温度进行精密调整的装置的另一例的概略图。

图12是说明本发明的对温度进行精密调整的装置的另一例的概略图。

图13是说明以往的温度调整装置的概略图。

图14是说明以往的温度调整装置的改进例的概略图。

具体实施方式

图1表示说明本发明的对温度进行精密调整的装置的一例的概略图。在图1所示的对温度进行精密调整的装置中，在经温度调整的无尘室内设有的空间单元10内设置有加热流路和冷却流路，该加热流路和冷却流路对被风扇12吸入的作为流体的、无尘室内的温度和湿度得到调整的空气进行更精密的温度调整。

设置有构成该加热流路的作为加热装置的加热器14和构成冷却流路的作为冷却装置的冷却器16，在将被吸引到空间单元10内的无尘室内的空气冷却后进行加热，精密地进行温度调整。根据该冷却器16和加热器14相对于气流的配置，能进一步提高流过加热器14和冷却器16的气流的除湿效果。

朝该加热器14和冷却器16供给例如丙烷、异丁烷和环戊烷等碳氢化合物、氟利昂类、氨、二氧化碳作为第一热介质，通过第一热介质的气化、液化，将无尘室内的空气加热、冷却，从而将其调整为规定温度。

这样的第一热介质经压缩机18压缩、加热成高温(例如70℃)的气态而排出。利用作为分配装置的比例三通阀20，将从压缩机18排出的高温的第一热介质分配给设置有加热器14的加热流路侧和设置有冷却器16的冷却流路侧。

在该比例三通阀20中进行分配，以使分配给加热流路侧的高温的第一热介质和分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的总量与从压缩机18排出的高温的第一热介质的量相等。

该比例三通阀20由第一控制部22a来控制。在该第一控制部22a中，对设置在空间单元10内的温度传感器24测定得到的测定温度与所设定的设定温度进行比较，实质上连续地变更分配给加热流路侧和冷却流路侧的高温的第一热介质的分配比率，以使测定温度与设定温度一致，将被吸入空间单元10内的流体调整为规定温度。

该所谓“实质上连续地变更”，是指包括通过分步控制来驱动比例三通阀20时比例三通阀20微观上被分步驱动、但整体上被连续驱动的情况。

该第一控制部22a所设定的设定温度也可任意设定。另外，图1所示的温度传感器24设置在风扇12的排出侧，但也可设置在风扇12的吸入侧，或者设置在风扇12的排出侧和吸入侧。

分配给加热流路侧的高温的第一热介质直接朝加热器14供给，将被吸引到空间单元10内的气流加热而调整为规定温度。此时，高温的第一热介质散热而被冷却，成为包含冷凝液的第一热介质。

另一方面，分配给冷却流路侧的高温的第一热介质经作为冷凝装置的冷凝器26冷却后，利用作为膨胀装置的膨胀阀28以隔热的方式膨胀而被进一步冷却(例如冷却至10℃)。被冷却后的第一热介质朝冷却器16供给，将被吸入空间单元10内而被加热器14加热后的气流冷却并调整为规定温度。此时，供给到冷却器16中的第一热介质从气流吸热而升温。这样，通过将吹向加热器14而升温的气流吹向冷却器16，能提高气流的温度调整的精度。

为了将分配给加热器14侧的高温的第一热介质冷却，经由配管30朝该冷凝器26供给在未经加热或冷却的情况下从外部供给来的作为第二热介质的冷却水。该冷却水在冷凝器26内被70℃左右的第一热介质加热到30℃左右后，从配管31排出。该从配管31排出的冷却水作为加热源朝作为热泵装置的吸热装置的吸热器32供给。

在加热器14中散热后的第一热介质利用膨胀阀34以隔热的方式膨胀而进一步冷却，该10℃左右的第一热介质朝该吸热器32供给。因此，在吸热器32中，基于在冷凝器26中吸热而升温到30℃左右的冷却水与冷却到10℃左右的第一热介质间的温差，第一热介质能从冷却水吸热。

在吸热器32中从冷却水吸热而升温的第一热介质经由储罐36而朝压缩机18供给。供给到冷却器16中而从被吸入空间单元10内的气流吸热的第一热介质也朝该储罐36供给。由于该储罐36是能储藏液体成分而仅将气体成分再次朝压缩机18供给的储罐，因此能可靠地仅将第一热介质的气体成分朝压缩机18供给。

作为该储罐36，可使用蓄能器用类型的储罐。

另外，只要能将在吸热器32中从气流吸热而升温的热介质与供给到冷却器16中而从被吸入空间单元10内的流体吸热的热介质合流后再次朝压缩机18供给，也可以不设置储罐36。

然而，虽然在加热器14中散热后的第一热介质利用膨胀阀34以隔热的方式膨胀而冷却，但在膨胀阀34中通过以隔热的方式膨胀进行冷却时，第一热介质与外部之间不存在热量交换。因此，被绝热冷却后的第一热介质能从经由冷凝器26从外部供给到吸热器32中的作为第二热介质的冷却水吸热。

因此，对于从压缩机18排出的高温的第一热介质而言，在压缩机18的压缩动能的基础上，能增加利用热泵装置的吸热器32从由外部供给来的冷却水吸热得到的能量。另外，在图1所示的对温度进行精密调整的装置中，从外部供给来的冷却水经由冷凝器26被供给到吸热器32中，在冷凝器26中除去的从高温的第一热介质除去的能量的一部分也能增加给从压缩机18排出的高温的第一热介质，能提高加热流路的加热能力。其结果是，不需要使用辅助加热器等其它加热装置。

这样，在图1所示的对温度进行精密调整的装置中，能通过设置热泵装置来提高其加热流路的加热能力，并能根据空间单元10内的温度在实质上连续地对利用比例三通阀20分配给加热流路侧的高温的第一热介质和分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的分配比率进行变更。

因此，在图1所示的对温度进行精密调整的装置中，高温的第一热介质能始终供给到加热流路和冷却流路中，对于流过加热流路的加热器14和冷却流路的冷却器16的作为温度调整对象的气流的微小负载变动而言，能通过利用比例三通阀20对分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率快速进行微调而迅速地应对，能提高响应性。

其结果是，相对于设定温度，能以±0.1℃以下的精度对流过加热流路的加热器14和冷却流路的冷却器16的作为温度调整对象的气流的温度进行控制，能使设置有图1所示的温度调整装置的空间单元10的温度变化小于无尘室的温度变化，能设置需要进行精密加工的工序。

另外，在图1所示的温度调整装置中，如上所述，可提高加热流路的加热能力，并且，在包括加热流路和冷却装置在内的流路中，从作为分配装置的比例三通阀20到分别流过冷却器16和吸热器32后的第一热介质在储罐36中合流为止的、包括加热流路的流路和包括冷却流路的流路各自以独立流路的形式设置。因此，即使在大幅度提高流过加热器14和冷却器16的作为温度调整对象的气流的设定温度时，通过利用比例三通阀20使分配给加热流路的高温的第一热介质的分配比率大幅度高于分配给冷却流路的高温的第一热介质的分配比率，也能将作为温度调整对象的气流迅速地调整为规定温度。

其结果是，例如，图13所示的温度调整装置的温度设定范围为20～26℃左右，而图1所示的温度调整装置的温度设定范围则为18～35℃，可大幅度扩大。

另外，在图1所示的温度调整装置中，可提高加热流路的加热能力，不需要使用辅助加热器等其它加热装置，因此，与图14所示的设置有辅助加热器114的温度调整装置相比，能大幅度节省能量。

例如，在图14所示的设置有辅助加热器114的温度调整装置中，总的消耗能量细分为压缩机100占18％、辅助加热器114占69％、风扇112占13％。这点上，图1所示的温度调整装置能减少辅助加热器114的消耗能量。

因此，在排量为20m³/min左右的水冷式空调机中应用图14所示的温度调整装置的方式时，最大耗电量为11.7KW，但若应用图1所示的温度调整装置的方式，则能使最大耗电量成为2.4KW左右。

上面说明的图1所示的温度调整装置中，在朝冷凝器26供给冷却水的配管30上设置有作为制冷剂控制装置的控制阀40。该控制阀40被控制成使压缩机18的排出压力恒定。如图2所示，该控制阀40设置有具有阀芯40b的棒状部，阀芯40b对设置在冷却水的流路内的阀部40a的开口部进行开闭。该棒状部被与其前端面抵接的弹簧40c朝着使阀芯40b开放阀部40a的开口部的方向施力。另外，棒状部的另一端面与受到从压缩器18排出的第一热介质的压力的波纹管40d抵接，克服弹簧40c的作用力，朝着关闭阀部40a的开口部的方向对棒状部的阀芯40b施力。

因此，当压缩机18的排出压力成为弹簧40c的作用力以上时，阀芯40d通过波纹管40d的作用而朝开放阀部40a的开口部的方向移动，使供给到冷凝器26中的冷却水量增加，提高冷凝器26的冷却能力。因此，压缩机18的排出压力下降。

另一方面，当压缩机18的排出压力成为弹簧40c的作用力以下时，阀芯40d朝关闭阀部40a的开口部的方向移动，供给到冷凝器26中的冷却水量减少，冷凝器26的冷却能力下降。因此，压缩机18的排出压力升高。

这样，通过将压缩机18的排出压力保持恒定，能使对温度进行精密调整的装置稳定地运转。另外，能朝冷凝器26供给必要量以上的冷却水量，并能控制成使其不朝系统外排出。

然而，在大幅度提高流过加热器14和冷却器16的气流的设定温度时，第一控制部22a在使比例三通阀20的冷却流路侧的排出口的开度成为全闭状态或接近全闭状态的状态的同时，也使加热流路侧的排出口成为全开状态或接近全开状态的状态。

另外，在作为温度调整对象的气流的温度为低温时，供给到加热流路的加热器14中的高温的第一热介质在加热器14中会被低温的气流冷凝，使压缩机18的排出压力成为低于规定压力的压力，因此，控制阀40关闭，冷凝器26不再得到冷却水的供给。

这样，一旦冷凝器26不再得到冷却水的供给，从冷凝器26朝热泵装置的吸热器32供给的冷却水也不再供给。因此，吸热器32成为停止开动状态，热泵装置不工作。

而且，在加热器14中散热、冷凝并在膨胀阀34中以隔热的方式膨胀而冷却的第一热介质不与冷却水进行热交换，吸热器32可能会冻结。

因此，像图3所示的对温度进行精密调整的装置那样，作为朝吸热器32供给冷却水的供给装置，在控制阀40的旁通配管42上设置控制阀44。当比例三通阀20的冷却流路侧的排出口的开度成为全闭状态或接近全闭状态的状态、加热流路侧的排出口成为全开状态或接近全开状态的状态时，该控制阀44根据来自第一控制部22a的信号而打开，强制性地将冷却水提供给冷凝器26，使吸热器32成为开动状态。

因此，即使像大幅度提高流过加热器14和冷却器16的气流的设定温度时和流过加热器14和冷却器16的气流处于低温状态时那样，分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的分配率成为零或其附近，也能将规定量的冷却水提供给吸热器32，能防止吸热器32冻结并使热泵装置发挥作用。

当压缩机18的排出压力上升并达到规定压力附近时，根据来自第一控制部22a的信号将控制阀44关闭。之后，利用控制阀40对朝冷凝器26供给的冷却水的供给量进行控制，以使压缩机18的排出侧的压力保持恒定。

在图3所示的对温度进行精密调整的装置中，将吹向冷却器16而被冷却后的气流吹向加热器14。这样，通过最初将气流吹向冷却器16，能冷凝气流中的水分来进行除湿。

另外，在图3所示的对温度进行精密调整的装置中，在其构成部件与图1所示的对温度进行精密调整的装置的构成部件相同时，标注与图1的构成部件相同的符号并省略了详细的说明。

在图1～图3所示的对温度进行精密调整的装置中，使用冷却水作为朝冷凝器26和热泵装置的吸热器32供给的第二热介质，但也可像图4所示的那样，使用风扇46产生的气流作为朝冷凝器26和热泵装置的吸热器32供给的第二热介质。

在图4所示的对温度进行精密调整的装置中，在加热器14中散热后的第一热介质利用膨胀阀34以隔热的方式膨胀而被进一步冷却，然后提供给吸热器32，由风扇46吹向冷凝器26而被加热的气流吹向吸热器32。因此，在吸热器32中，在加热器14中散热、冷凝并以隔热的方式膨胀而进一步冷却的第一热介质从气流吸热而升温。

另外，在图4所示的对温度进行精密调整的装置中，在其构成部件与图1所示的对温度进行精密调整的装置的构成部件相同时，标注与图1的构成部件相同的符号并省略详细说明。

另外，如图5所示，可使用两个作为双通阀的闸阀38a、38b来代替图1～图4所示的温度调整装置中使用的作为分配装置的比例三通阀20。两个闸阀38a、38b分别由第一控制部22a来控制。利用该第一控制部22a来调整闸阀38a、38b各自的开度，实质上连续地调整将经压缩机18压缩、加热后的气态的高温的第一热介质分配给加热流路和冷却流路的分配比率，将流过加热器14和冷却器16的气流控制成规定温度。此时，调整闸阀38a、38b的开度而连续地按比例分配，以使分配给加热器14侧的高温的第一热介质的量和分配给冷却器16侧的高温的第一热介质的量的总量与从压缩机18排出的高温的第一热介质的量相等。

此时，如图6所示，闸阀38a、38b各自的阀开度与流量间的关系不是直线形态。因此，第一控制部22a保持有图6所示的闸阀38a、38b各自的流量特性数据，根据闸阀38a、38b的各流量特性，从第一控制部22a朝各闸阀38a、38b发送开度信号。

此处，所谓“实质上连续地调整分配给加热流路和冷却流路的分配比率”或者“实质上连续地调整分配比率”，是指包括通过分步控制驱动闸阀38a、38b来调整加热流路和冷却流路的分配比率时闸阀38a、38b的开度微观上被分步驱动、调整但整体上被连续驱动、调整的情况。

在图1～图5所示的对温度进行精密调整的装置中，在利用加热器14和冷却器16对作为温度调整对象的气流进行温度调整中，例如在作为温度调整对象的气流处于冷却侧时，在空气温度稳定的运转状态下，如图7A所示，利用加热器14对经冷却器16冷却后的气流加热。在图7A所示的运转状态下，有时在加热器14中加热的能量要比冷却气流所需的能量A大。这种情况下，如图7B所示，若能尽可能地减少冷却器14和加热器16的重复的能量，则能实现省能量。

另一方面，在作为温度调整对象的气流处于加热侧时，在气流的温度稳定的运转状态下，如图8A所示，将用加热器14加热后的空气在冷却器16中冷却。在图8A所示的运转状态下，有时在冷却器16中冷却的能量要比加热气流所需的能量B大。这种情况下，如图8B所示，若能减少冷却器16和加热器14的重复能量，则能实现节省能量。

但是，若为了使相互抵消的热量成为零而对高温的第一热介质朝加热器14和冷却器16的供给进行通断控制，则对温度进行精密调整的装置的运转会变得不稳定，到气流稳定在规定温度为止需要耗费时间。因此，为了能使对温度进行精密调整的装置稳定运转，在提供给加热器14的加热量和提供给冷却器16的冷却量中，需要使相互抵消的热量以最小限度存在。

另外，由于该必要的最小限度的相互抵消的热量因对温度进行精密调整的装置的不同而多少有些差异，因此较为理想的是通过实验来求取。

这样，为了能减少冷却器16和加热器14的重复能量，在图9所示的对温度进行精密调整的装置中，通过逆变器19，利用第二控制部22b来控制压缩机18的转速，以使提供给加热器14的加热量和提供给冷却器16的冷却量中相互抵消的热量尽可能地减少。

另外，构成图9所示的对温度进行精密调整的装置的构成部件中，与图1所示的对温度进行精密调整的装置的构成部件相同的部件标注与图1的符号相同的符号并省略详细说明。

该第二控制部22b与控制比例三通阀20的第一控制部22a联动，一边使提供给加热器14的加热量和提供给冷却器16的冷却量中相互抵消的热量尽可能减少一边进行气流的精密温度控制。

图10的流程图表示第一控制部22a对比例三通阀20的控制和第二控制部22b对压缩机18的转速的控制。

在图9所示的温度调整装置的试运转中，针对气流在冷却侧进行运转时，可以得知，作为提供给加热器14的加热量，将比例三通阀20朝加热器14侧的高温的第一热介质的分配率设定成5～15％(将比例三通阀20朝冷却器16侧的高温的第一热介质的分配率设定成95～85％)时对于稳定运转而言较为理想。

另一方面，针对气流在加热侧进行运转时，可以得知，作为提供给加热器14侧的加热量，将比例三通阀20朝加热器14侧的高温的第一热介质的分配率设定成95～85％(将比例三通阀20朝冷却器16侧的高温的第一热介质的分配率设定成5～15％)时对于稳定运转而言较为理想。

因此，在图10的流程图所示的控制中，针对气流在冷却侧进行运转时，对压缩机18的转速进行控制，以使提供给加热器14侧的加热量、具体是比例三通阀20朝加热器14侧的高温的第一热介质的分配率成为5～15％，针对气流在加热侧进行运转时，对压缩机18的转速进行控制，以实现95～85％的分配率。

在图10所示的流程图中，在步骤S10中启动压缩机18后，在步骤S12中为了使气流成为规定温度，根据由设置在空间单元10内的温度传感器24测定得到的温度信号，连续地变更比例三通阀20分配给加热器14侧和冷却器16侧的高温的第一热介质的分配比率，将被吸入空间单元10内的气流调整成规定温度。

在步骤S14中对该气流是否达到并稳定在规定温度进行判断，在气流的温度未稳定时，返回步骤S12，连续地变更比例三通阀20分配给加热器14侧和冷却器16侧的高温热介质的分配比率。该步骤S12和步骤S14由第一控制部22a来进行。

另一方面，当空间单元10内的气流达到并稳定在规定温度时，在步骤S16～S22中对分配给加热器14侧的高温的第一热介质的分配比率是否处在规定范围内进行判断。该步骤S16～S22由第二控制部22b来进行。

另外，所谓图10所示的高温的第一热介质的平均分配率，是指因分配给加热器14侧的高温的第一热介质的分配比率存在偏差而对规定时间内的第一热介质的分配率取平均所得到的值，下面有时简称为第一热介质的平均分配率。

首先，在步骤S16和步骤S18中，假定气流处于冷却侧时，对朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率是否处在5～15％内进行判断。

此处，在朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率处在5～15％内时，气流处于冷却侧，且处在对温度进行精密调整的装置的运转稳定的范围内，因此，经过步骤S16从步骤S18返回步骤S16。

另一方面，在朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率不到5％时，朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率过低，因此，对温度进行精密调整的装置的运转容易变得不稳定。因此，为了增加朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率，从步骤S16转移到步骤S24，增加压缩机18的转速。在步骤S24中，从第二控制部22b朝逆变器18发送以最小变化量来增加逆变器18中设定的压缩机18的转速的增加信号。通过以最小变化量来增加压缩机18的转速，能使对温度进行精密调整的装置稳定地运转。

另外，由于使压缩机18的转速产生变化的最小变化量因对温度进行精密调整的装置的不同而存在差异，因此较为理想的是通过实验来求取，但在压缩机18的转速为2000～5000rpm时，较为理想的是将最小变化量设定在3～10％的范围内。

另外，在朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率超过15％时，经过步骤S16和步骤S18，判断为气流不处于冷却侧，朝步骤S20和步骤S22转移。在步骤S20和步骤S22中，当假定气流处于加热侧时，对朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率是否处在95～85％内进行判断。

此处，在朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率处在85～95％内时，气流处于加热侧，且处在对温度进行精密调整的装置的运转稳定的范围内，因此，经过步骤S20从步骤S22返回步骤S16。

另一方面，在朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率超过95％时，朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率过高，对温度进行精密调整的装置的运转容易变得不稳定。因此，为了减少朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率，从步骤S20转移到步骤S24，增加压缩机18的转速。在步骤S24中，从第二控制部22b朝逆变器18发送以最小变化量来增加逆变器18中设定的压缩机18的转速的增加信号。

另外，在朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率不到85％时，在步骤S22中，判断为气流既不处于加热侧也不处于冷却侧的状态，即判断为提供给加热器14的加热量和提供给冷却器44的冷却量中相互抵消的热量较多的状态。因此，朝步骤S26转移，减小压缩机18的转速。在步骤S26中，从第二控制部22b朝逆变器18发送以最小变化量来减小逆变器18中设定的压缩机18的转速的下降信号。这是为了以最小变化量来减小压缩机18的转速，使气流转为加热侧或冷却侧。

接着，经过步骤S24或步骤S26转移到步骤S28，对压缩机18是否在运转进行判断，若压缩机18在运转，则返回步骤S14。在步骤S14中，在步骤S24或步骤S26中以最小变化量增加或减小了压缩机18的转速的状态下，对空间单元10内的气流是否达到并稳定在规定温度进行判断。空间单元10内的气流达到并稳定在规定温度时，通过步骤S16～S26再次对朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率是否处在规定范围内进行判断。

另一方面，在步骤S14中，当判断为空间单元10内的气流的温度未稳定时，返回步骤S12，连续地变更比例三通阀20分配给加热器14侧和冷却器16侧的第一热介质的分配比率。在空间单元10内的气流达到并稳定在规定温度后，朝步骤S16～S26转移。

另外，在步骤S28中，压缩机18未处在运转状态时，停止第一控制部22a和第二控制部22b的控制。

上面说明的图10所示的流程图中，第一控制部22a针对朝加热器14侧的第一热介质的平均分配率进行控制，但也可针对朝冷却器16侧的第一热介质的平均分配率进行控制。

在图1～图10所示的对温度进行精密调整的装置中，温度调整对象是气流，但也可应用于将机床等所使用的冷却液作为温度调整对象的对温度进行精密调整的装置。图11表示作为该温度调整对象的冷却液的对温度进行精密调整的装置的一例。

在图11所示的冷却液的对温度进行精密调整的装置中，压缩机50被逆变器51控制成以规定转速旋转，经压缩机50压缩后的高温的第一热介质由作为分配装置的比例三通阀52分配给加热流路和冷却流路。

该比例三通阀52按比例来分配经压缩机50压缩后的高温的第一热介质，以使分配给加热流路侧的高温的第一热介质的量和分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的量的总量与从压缩机排出的高温的第一热介质的量相等。该比例三通阀52由第一控制部55a来控制，并如下所述，根据来自测定对温度进行精密调整的装置出口处的冷却液的温度的温度传感器62的信号，连续地变更分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配率，将冷却液调整成规定温度。

在分配得到从压缩机50排出的高温的第一热介质的一部分的冷却流路中，作为将分配得到的高温的第一热介质冷却的冷却装置，设置有：冷凝高温的第一热介质的冷凝器56、使被冷凝器56冷凝后的第一热介质以隔热的方式膨胀而进一步冷却的作为第一膨胀装置的膨胀阀58、以及得到该经冷却后的第一热介质供给的冷却器60。储藏在储藏槽64内的从用户返回的作为温度调整对象的冷却液利用泵66供给到该冷却器60中而被冷却。在冷却器60中吸热而升温的第一热介质返回储罐71，朝压缩机50供给。

另外，在加热流路中，设置有得到高温的第一热介质的供给的作为加热装置的加热器54。经冷却器60冷却后的作为温度调整对象的冷却液供给到该加热器54中，并利用供给来的高温的第一热介质调整成规定温度后朝用户输送。

在该加热流路和冷却流路中设置有热泵装置的吸热器68。在加热器54中散热并冷凝后的第一热介质利用作为第二膨胀装置的膨胀阀70以隔热的方式膨胀而进一步冷却后供给到该吸热器68中，并且，在冷却流路中设有的冷凝器56中吸收高温热介质的热量而升温的作为第二热介质的冷却水也供给到该吸热器68中，从升温后的冷却水吸热后的第一热介质返回储罐71，朝压缩机50供给。

在该图11所示的对温度进行精密调整的装置中，在朝冷凝器56供给的作为第二热介质的冷却水的配管途中设置有作为冷却介质控制装置的控制阀72，该控制阀72对朝冷凝器56供给的冷却水的供给量进行控制，以使压缩机50的排出侧的压力保持恒定。该控制阀72具有与图2所示的控制阀40相同的构造，并进行控制，以使压缩机50的排出压力恒定。

也就是说，当压缩机50的排出压力成为规定压力以上时，控制阀72的设置在冷却流路内的阀部的开口部的开度变大，朝冷凝器56供给的冷却水量增加，冷凝器56的冷却能力提高。因此，压缩机50的排出压力下降。另一方面，当压缩机50的排出压力成为规定压力以下时，控制阀72的设置在冷却流路内的阀部的开口部的开度变小，朝冷凝器56供给的冷却水量减少，冷凝器56的冷却能力下降。因此，压缩机50的排出压力升高。

这样，通过将压缩机50的排出压力保持恒定，能使对温度进行精密调整的装置稳定地运转。另外，能朝冷凝器56供给必要量以上的冷却水量，并能控制成使其不朝系统外排出。

然而，在大幅度提高冷却液的设定温度时，第一控制部55a在使比例三通阀52的冷却流路侧的排出口成为全闭状态或接近全闭状态的状态的同时，使加热流路侧的排出口成为全开状态或接近全开状态的状态，将大部分高温的第一热介质分配给加热流路侧。

另外，在储藏槽64的冷却液处于低温状态时，供给到加热流路的加热器54中的高温的第一热介质在加热器54中被低温的冷却液冷凝，压缩机50的排出压力成为低于规定压力的压力，因此，控制阀72关闭，冷凝器56不再得到冷却水的供给。这样，一旦冷凝器56不再得到冷却水的供给，从冷凝器56朝热泵装置的吸热器68供给的冷却水也不再供给。因此，吸热器68成为停止开动状态，热泵装置不工作。

而且，在加热器54中散热、冷凝并在膨胀阀70中以隔热的方式膨胀而进一步冷却的第一热介质不与冷却水进行热交换，吸热器68可能会冻结。

这点上，在图11所示的对温度进行精密调整的装置中，作为朝吸热器68供给冷却水的供给装置，在控制阀72的旁通配管74上设置有控制阀76。当比例三通阀52的加热流路侧的排出口成为全开状态或接近全开状态的状态(或者冷却流路侧的排出口成为全闭状态或接近全闭状态的状态)时，该控制阀76根据来自第一控制部55a的信号而打开，强制性地将冷却水提供给冷凝器56，使吸热器68成为开动状态。

因此，像大幅度提高冷却液的设定温度时那样，即使分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的分配率成为零或其附近，也能将规定量的冷却水提供给吸热器68，能防止吸热器68冻结并使热泵装置发挥作用。

当压缩机50的排出压力上升并达到规定压力附近时，根据来自第一控制部55a的信号将控制阀76关闭。之后，利用控制阀72对朝冷凝器56供给的冷却水的供给量进行控制，以使压缩机50的排出侧的压力保持恒定。

在图11所示的冷却液的对温度进行精密调整的装置中，也可像图5所示的那样使用两个作为双通阀的闸阀38a、38b来代替比例三通阀52。

另外，在图11所示的冷却液的对温度进行精密调整的装置中，使用冷却水作为朝冷凝器56和热泵装置的吸热器68供给的第二热介质，但也可像图12所示的那样，使用风扇78产生的气流作为朝冷凝器56和热泵装置的吸热器68供给的第二热却介质。在图12所示的对温度进行精密调整的装置中，在加热器54中散热后的第一热介质利用作为第二膨胀装置的膨胀阀70以隔热的方式膨胀而被进一步冷却，然后提供给吸热器68，由风扇78吹向冷凝器56而被加热的气流吹向吸热器68。因此，在吸热器68中，在加热器54中散热、冷凝并在膨胀阀70中以隔热的方式膨胀而冷却的第一热介质能从气流吸热。

另外，在图12所示的对温度进行精密调整的装置中，在其构成部件与图11所示的对温度进行精密调整的装置的构成部件相同时，标注与图11的构成部件相同的符号并省略详细说明。

在上面说明的图11和图12所示的对温度进行精密调整的装置中也可与图9所示的对温度进行精密调整的装置一样，设置第二控制部，通过控制压缩机50的逆变器51来控制压缩机50的转速，以能减少冷却器60和加热器54的重复能量。这种情况下，第二控制部与第一控制部55a联动，根据图10所示的流程图，一边使提供给加热器54的加热量和提供给冷却器60的冷却量中相互抵消的热量尽可能减少一边进行作为温度调整对象的冷却液的精密温度控制。

另外，图1～图12所示的对温度进行精密调整的装置中使用的加热器14、54、冷却器16、60、冷凝器26、56、吸热器32、68可使用具有温差的两种流体以对流或并流的形式流动的公知的热交换器。例如，可理想地使用双重管式、翅片管式或者板式的热交换器等。

特别地，在朝冷凝器26、56供给冷却水作为第二热介质时，由于其使用温度处在容易产生水锈的温度带内，因此可理想地使用较难产生堵塞、不同温度的流体在双重管的内管和外管中流动来进行热交换的双重管式热交换器。

另一方面，作为要求热效率的吸热器32、68，可理想地使用在层叠多片板状翅片的层叠体上插通多个传热管的板式热交换器。

另外，在图1～图12所示的对温度进行精密调整的装置中，作为朝冷凝器26、56和吸热器32、68供给的第二热介质是冷却水或气流，但也可朝冷凝器26、56和吸热器32、68中的一方供给冷却水并朝另一方供给气流。

另外，在图1～图12所示的对温度进行精密调整的装置中，为了回收在冷凝器26、56中从高温的第一热介质除去的热量的一部分，使第二热介质经由冷凝器26、56而朝吸热器32、68供给。但是，根据第二热介质的流速等的不同，有时几乎无法将其回收。这种情况下，也可分别朝冷凝器26、56和吸热器32、68单独地供给第二热介质。具体而言，既可分别朝冷凝器26、56和吸热器32、68单独地供给冷却水，也可分别针对冷凝器26、56和吸热器32、68单独地设置冷却风扇并朝冷凝器26、56和吸热器32、68分别供给气流。

另外，能在本发明中应用的作为温度调整对象的流体和第二热介质不局限于空气或水，也可以是油和气液混合体。

Claims (14)

1.一种对温度进行精密调整的装置，设置有：使经压缩机压缩而被加热后的高温的第一热介质的一部分朝加热装置供给的加热流路；以及使所述高温的第一热介质的剩余部分经冷凝装置冷却后在第一膨胀装置中以隔热的方式膨胀而进一步冷却、然后朝冷却装置供给的冷却流路，使所述高温的第一热介质分配给加热流路和冷却流路，由此将流过所述加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体调整成规定温度，并使分别流过所述加热流路和冷却流路后的第一热介质再次朝压缩机供给，所述对温度进行精密调整的装置的特征在于，设置有：

分配装置，该分配装置将从所述压缩机排出的高温的第一热介质的一部分分配给所述加热流路侧，并将所述高温的第一热介质的剩余部分分配给冷却流路侧，并且，能变更分配给所述加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率；

具有吸热装置的热泵装置，所述吸热装置使在所述加热装置中释放热量而被冷却后在第二膨胀装置中以隔热的方式膨胀而被进一步冷却的第一热介质从作为外部热源的第二热介质吸热，以使所述加热流路的加热能力提高；以及

第一控制部，该第一控制部控制所述分配装置，对分配给所述加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率进行调整，从而将流过所述加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体控制成规定温度。

2.如权利要求1所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，被供给到冷却流路的冷凝装置中来冷却高温的第一热介质的冷却介质和朝热泵装置的吸热装置供给的第二热介质是同一热介质，在被供给到所述冷凝装置中后朝所述吸热装置供给。

3.如权利要求1或2所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，第二热介质是在未经加热或冷却的情况下从外部供给来的第二热介质。

4.如权利要求1至3中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，设置有控制压缩机的转速的转速控制装置，并设置有第二控制部，该第二控制部通过所述转速控制装置来变更压缩机的转速，以使被第一控制部控制的高温的第一热介质的分配比率成为能减少由加热装置提供给作为温度调整对象的流体的加热量和由冷却装置提供给作为温度调整对象的流体的冷却量中相互抵消的热量的分配比率。

5.如权利要求4所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，第二控制部通过转速控制装置来控制压缩机的转速，以便作为温度调整对象的流体温度处于被加热的加热侧时，使高温的第一热介质的分配比率处在高温的第一热介质的95～85％被分配给加热装置而剩余的高温的第一热介质的5～15％被分配给冷却装置的范围内，另一方面，所述作为温度调整对象的流体处于被冷却的冷却侧时，使高温的第一热介质的分配比率处在高温的第一热介质的95～85％被分配给冷却装置而剩余的高温的第一热介质的5～15％被分配给加热装置的范围内。

6.如权利要求4或5所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，转速控制装置是逆变器。

7.如权利要求1至6中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，在使分别流过加热流路和冷却流路后的第一热介质在合流后再次朝压缩机供给的第一热介质的流路中，从分配装置到所述第一热介质合流为止的包括所述加热流路的流路和包括冷却流路的流路分别以独立流路的形式设置。

8.如权利要求1至7中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，在冷却装置和热泵装置中被吸收了热量的第一热介质经由储罐而再次朝压缩机供给。

9.如权利要求1至8中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，分配装置是实质上能连续变更分配给加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率的分配装置。

10.如权利要求1至9中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，分配装置是比例三通阀，该比例三通阀按比例分配所述高温的第一热介质，以使分配给加热流路侧的高温的第一热介质和分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的总量与从压缩机排出的高温的第一热介质的量相等。

11.如权利要求1至9中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，

分配装置是分别设置在使高温的第一热介质朝加热流路侧和冷却流路侧分岔的分岔配管上的双通阀，

第一控制部也是如下的第一控制部，该第一控制部对所述双通阀的各个开度进行调整，以对分配给所述加热流路和冷却流路的高温的第一热介质的分配比率进行调整，将流过加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体控制成规定温度，并使分配给所述加热流路侧的高温的第一热介质和分配给冷却流路侧的高温的第一热介质的总量与从压缩机排出的高温的第一热介质的量相等。

12.如权利要求1至11中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，朝冷却流路的冷凝装置供给的冷却介质是液状介质，设置有制冷剂控制装置，该制冷剂控制装置对朝所述冷凝装置供给的所述液状介质的供给量进行控制，以使压缩机的排出侧的压力保持恒定。

13.如权利要求1至12中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，作为温度调整对象的流体是气流，所述冷却装置和加热装置被配设成使吹向冷却装置而降低了湿度后的气流吹向加热装置。

14.如权利要求1至13中任一项所述的对温度进行精密调整的装置，其特征在于，作为温度调整对象的流体是气流，所述加热装置和冷却装置被配设成使吹向加热装置而升温后的气流吹向冷却装置。

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