JP4875714B2 - 精密温度調整装置 - Google Patents
精密温度調整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4875714B2 JP4875714B2 JP2008551016A JP2008551016A JP4875714B2 JP 4875714 B2 JP4875714 B2 JP 4875714B2 JP 2008551016 A JP2008551016 A JP 2008551016A JP 2008551016 A JP2008551016 A JP 2008551016A JP 4875714 B2 JP4875714 B2 JP 4875714B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heat medium
- flow path
- cooling
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B49/00—Arrangement or mounting of control or safety devices
- F25B49/02—Arrangement or mounting of control or safety devices for compression type machines, plants or systems
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B1/00—Compression machines, plants or systems with non-reversible cycle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B29/00—Combined heating and refrigeration systems, e.g. operating alternately or simultaneously
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B30/00—Heat pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B5/00—Compression machines, plants or systems, with several evaporator circuits, e.g. for varying refrigerating capacity
- F25B5/02—Compression machines, plants or systems, with several evaporator circuits, e.g. for varying refrigerating capacity arranged in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B6/00—Compression machines, plants or systems, with several condenser circuits
- F25B6/02—Compression machines, plants or systems, with several condenser circuits arranged in parallel
Description
しかし、近年、精密加工分野でも、従来よりも更に加工精度の高い精密加工等が要求される工程が出現しつつある。
かかる高い精密加工等が要求される工程では、通常、クリーンルームの温度変化よりも更に小さな温度変化の環境であることが要求される。このため、高い精密加工等が要求される工程は、精密な温度管理がなされている空間ユニット内に設けられる。
この様な空間ユニットの温度調整に用いられる温度調整装置としては、例えば下記特許文献1に図13に示す温度調整装置が記載されている。
図13に示す温度調整装置には、圧縮機100、三方弁102、凝縮器104、膨張弁106、冷却器108及び加熱器110が設けられており、冷却器108を具備する冷却流路と加熱器110を具備する加熱流路とが設けられている。
かかる冷却器108と加熱器110とによって、ファン112から吹き出す温度調整対象の空気流の温度が調整される。
一方、加熱流路側に分配された高温の熱媒体は加熱器110に供給され、冷却器108で冷却された温度調整対象の空気流を加熱して所望の温度に調整する。この様に、加熱器110において、温度調整対象の空気流を加熱しつつ放熱して降温された熱媒体は、膨張弁106及び冷却器108を通過して圧縮機100に供給される。
一方、三方弁102によって加熱流路側に分配する高温の熱媒体の流量を調整することによって、冷却器108で冷却された温度調整対象の空気流に対する加熱器110での加熱量を調整できる。
従って、冷却器108及び加熱器110を通過する温度調整対象の空気流の温度を調整でき、空間ユニット内の温度管理を狭い温度範囲で行うことは可能である。
従って、図13に示す温度調整装置で採用された温度制御方式では、加熱に使用した熱媒体も冷却流路に流すため、加熱できる熱量は圧縮機の動力による熱量のみとなり、冷却器108及び加熱器110に対する負荷変動への対応が困難となっている。
このため、冷却器108及び加熱器110を通過する温度調整対象の空気流の設定温度を大幅に高くする場合、温度調整対象の空気流の温度が設定温度に到達しなかったり、設定温度に到達するまでに著しく時間がかかることがある。
この様な、図13に示す温度調整装置の加熱量不足を補うべく、図14に示す様に、補助電気ヒータ114を設けることが考えられるが、エネルギー的に無駄である。
そこで、本発明では、温度調整対象の流体に対する加熱能力が不足する従来の温度調整装置の課題を解決し、温度調整対象の流体に対する加熱能力を向上できると共に、省エネルギーを図ることができる精密温度調整装置を提供することにある。
すなわち、本発明者らは、前記課題を解決する手段として、圧縮機で圧縮されて加熱された高温の第1熱媒体の一部が供給される加熱手段を具備する加熱流路と、前記高温の第1熱媒体の残余部が供給される凝縮手段と、前記凝縮手段で冷却された第1熱媒体が第1膨張手段で断熱的に膨張して更に冷却されて供給される冷却手段とを具備する冷却流路とが設けられ、前記加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体を所定温度に調整するように、前記高温の第1熱媒体が加熱流路と冷却流路とに分配され、且つ前記加熱流路と冷却流路との各々を通過した第1熱媒体が合流して圧縮機に再供給される精密温度調整装置であって、前記圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体の一部を前記加熱流路側に分配すると共に、前記高温の第1熱媒体の残余部を冷却流路側に分配し、且つ前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を変更可能な分配手段と、前記加熱手段で熱を放出して冷却されてから第2膨張手段で断熱的に膨張されて更に冷却された第1熱媒体が、外部熱源である第2熱媒体から吸熱する吸熱手段を具備するヒートポンプ手段と、前記分配手段を制御し、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、前記加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体を所定温度に制御する第1制御部とが設けられ、且つ前記分配手段から第1熱媒体が合流されるまでの流路のうち、前記冷却流路を含む流路と前記加熱流路及びヒートポンプ手段を含む流路との各々が流路的に独立して設けられている精密温度調整装置を提供できる。
冷却流路の凝縮手段に供給されて高熱の第1熱媒体を冷却する冷却媒体とヒートポンプ手段の吸熱手段に供給される第2熱媒体とを、同一熱媒体とし、前記凝縮手段に供給されてから前記吸熱手段に供給することによって、凝縮手段で除去された高温の第1熱媒体の熱を有効利用でき好ましい。
この第2熱媒体として、外部から加熱又は冷却されることなく供給された第2熱媒体を用いることが、省エネルギーの観点から好ましい。
また、加熱流路及びヒートポンプ手段を含む流路には、加熱手段、第2膨張手段及び吸熱手段が設けられ、冷却流路を含む流路には、凝縮手段、第1膨張手段及び冷却手段が設けられている。
かかる加熱流路と冷却流路とに高温の第1熱媒体を分配する分配手段としては、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を実質的に連続して変更可能な分配手段を用いることによって、温度調整対象の流体の温度調整を更に一層精密調整できる。
この「実質的に連続して変更可能な分配手段」とは、分配手段として二方弁又は比例三方弁を用い、二方弁又は比例三方弁がステップ制御で駆動が制御されているとき、二方弁又は比例三方弁は微視的にはステップ的に駆動されているものの、全体的には連続的に駆動されている場合を含むことを意味する。
或いは、分配手段として、高温の第1熱媒体を加熱流路側と冷却流路側とに分岐する分岐配管と、前記分岐配管の各々に設けられた二方弁とを用い、第1制御部として、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体を所定温度に制御すると共に、前記加熱流路側に分配される高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配される高温の第1熱媒体との合計量が圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、前記二方弁の各々の開度を調整する第1制御部とすることによっても、圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体の分配比率をスムーズに変更できる。
更に、冷却流路の凝縮手段には、高温の第1熱媒体を冷却する液状媒体を供給し、圧縮機の吐出側の圧力を一定に保持するように、前記凝縮手段に供給する前記液状媒体の供給量を制御する冷媒制御手段を設けることによって、凝縮手段に無駄に冷却媒体を流すことを防止できる。
また、温度調整対象の流体を、空気流である場合、冷却手段に吹き付けられて低湿度化された空気流が加熱手段に吹き付けられるように、前記冷却手段と加熱手段とを配設することによって、温度調整対象の空気流の除湿も併せて行うことができる。
他方、この場合、加熱手段に吹き付けられて昇温された空気流を冷却手段に吹き付けるように、前記加熱手段と冷却手段とを配設することによって、空気流の温度調整の精度を更に向上できる。
しかも、この精密温度調整装置では、ヒートポンプ手段を設けている。このヒートポンプ手段は、低温の部分から温度の高い部分へ熱を移動できる手段であるため、圧縮機によって圧縮されて加熱された高温の第1熱媒体(温度の高い部分)のうち、加熱流路の加熱手段で熱を放出して冷却してから第2膨張手段で断熱的に膨張して更に冷却した第1熱媒体を、ヒートポンプ手段を構成する吸熱手段によって、外部熱源の第2熱媒体(温度の低い部分)から吸熱し昇温して圧縮機に戻すことができる。
このため、かかる精密温度調整装置では、圧縮機から吐出される高温の第1熱媒体(温度の高い部分)には、圧縮機による圧縮動力エネルギーに、ヒートポンプ手段によって外部熱源の第2熱媒体(温度の低い部分)から吸熱されたエネルギーを加えることができ、高温の第1熱媒体が供給される加熱手段の加熱能力を向上できる。
従って、本発明者らが提供した精密温度調整装置では、加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体の微小な負荷変動は、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を微小調整することによって迅速に対応でき、温度調整対象の流体に対して精密な温度調整を図ることができる。
また、本発明者らが提供した精密温度調整装置では、分配手段から第1熱媒体が合流されるまでの流路のうち、冷却流路を含む流路と加熱流路及びヒートポンプ手段を含む流路との各々が流路的に独立して設けられているため、加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体の設定温度を大幅に高くする場合でも、高温の第1熱媒体の分配比率を冷却流路よりも加熱流路に分配する分配比率を大幅に高くすることによって、温度調整対象の流体を所定温度に調整できる。
この様に、本発明者らが提供した精密温度調整装置では、補助電気ヒータ等の補助ヒータの不要化或いは小型化を図っても、温度調整対象の流体を所定温度に精密に調整でき、且つ省エネルギーを図ることができる。
かかる加熱流路を構成する加熱手段としての加熱器14と冷却流路を構成する冷却手段としての冷却器16とが設けられ、空間ユニット10内に吸引したクリーンルーム内の空気を冷却した後、加熱して精密に温度調整する。この冷却器16と加熱器14との空気流に対する配置によれば、加熱器14及び冷却器16を通過する空気流の除湿を更に向上できる。
かかる加熱器14及び冷却器16には、第1熱媒体として、例えばプロパン、イソブタンやシクロペンタン等の炭化水素、フロン類、アンモニア、炭酸ガスが供給され、第1熱媒体の気化・液化によってクリーンルーム内の空気を加熱・冷却して所定の温度に調整する。
この様な第1熱媒体は、圧縮機18によって圧縮・加熱されて高温(例えば70℃)の気体状となって吐出される。圧縮機18から吐出された高温の第1熱媒体を、分配手段としての比例三方弁20によって、加熱器14が設けられた加熱流路側と冷却器16が設けられた冷却流路側とに分配する。
かかる比例三方弁20は、第1制御部22aによって制御されている。この第1制御部22aでは、空間ユニット10内に設けられた温度センサ24によって測定された測定温度と設定された設定温度と比較し、測定温度が設定温度と一致するように、加熱流路側と冷却流路側とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を実質的に連続して変更し、空間ユニット10内に吸込まれた流体を所定温度に調整する。
この「実質的に連続して変更」とは、比例三方弁20をステップ制御で駆動するとき、微視的には比例三方弁20がステップ的に駆動されているものの、全体的には連続して駆動されている場合を含む意味である。
加熱流路側に分配された高温の第1熱媒体は、加熱器14に直接供給され、空間ユニット10内に吸引された空気流を加熱して所定温度に調整する。その際に、高温の第1熱媒体は放熱して冷却されて凝縮液を含む第1熱媒体となる。
一方、冷却流路側に分配された高温の第1熱媒体は、凝縮手段としての凝縮器26によって冷却されてから膨張手段としての膨張弁28によって断熱的に膨張して更に冷却(例えば、10℃に冷却)される。冷却された第1熱媒体は、冷却器16に供給され、空間ユニット10内に吸込まれて加熱器14によって加熱された空気流を冷却して所定温度に調整する。その際に、冷却器16に供給された第1熱媒体は空気流から吸熱して昇温される。この様に、加熱器14に吹き付けられて昇温された空気流を冷却器16に吹き付けることによって、空気流の温度調整の精度を向上できる。
この吸熱器32には、加熱器14で放熱した第1熱媒体を、膨張弁34によって断熱的に膨張して更に冷却した10℃程度の第1熱媒体が供給されている。このため、吸熱器32では、凝縮器26で吸熱して30℃程度に昇温された冷却水と10℃程度に冷却された第1熱媒体との温度差に基づいて、第1熱媒体が冷却水から吸熱できる。
吸熱器32で冷却水から吸熱して昇温された第1熱媒体は、アキュームレータ36を経由して圧縮機18に供給される。このアキュームレータ36には、冷却器16に供給されて空間ユニット10内に吸込まれた空気流から吸熱した第1熱媒体も供給される。かかるアキュームレータ36は、液体成分を貯めてガス成分のみを圧縮機18に再供給できるタイプのアキュームレータであるため、確実に第1熱媒体のガス成分のみを圧縮機18に供給できる。
このアキュームレータ36としては、蓄圧器用タイプのアキュームレータを用いることができる。
尚、アキュームレータ36を設置しなくても、吸熱器32で冷却水から吸熱して昇温された熱媒体と、冷却器16に供給されて空間ユニット10内に吸込まれた流体から吸熱した熱媒体とを合流して、圧縮機18に再供給できればよい。
従って、圧縮機18から吐出される高温の第1熱媒体には、圧縮機18による圧縮動力エネルギーに、ヒートポンプ手段の吸熱器32によって外部から供給された冷却水より吸熱したエネルギーを加えることができる。更に、図1に示す精密温度調整装置では、外部から供給された冷却水が凝縮器26を経由して吸熱器32に供給されており、凝縮器26で高温の第1熱媒体から除去されたエネルギーの一部も、圧縮機18から吐出される高温の第1熱媒体に加えることができ、加熱流路の加熱能力を向上できる。その結果、補助ヒータ等の他の加熱手段を用いることを要しない。
このため、図1に示す精密温度調整装置では、加熱流路及び冷却流路に高温の第1熱媒体が常時供給されており、加熱流路の加熱器14と冷却流路の冷却器16とを通過する温度調整対象の空気流の微小な負荷変動は、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を比例三方弁20によって直ちに微小調整することによって迅速に対応でき、応答性を向上できる。
その結果、加熱流路の加熱器14と冷却流路の冷却器16とを通過する温度調整対象の空気流の温度を設定温度に対して±0.1℃以下の精度で制御でき、図1に示す温度調整装置が設置された空間ユニット10の温度変化をクリーンルームの温度変化よりも小さくでき、精密加工が要求される工程を設置できる。
その結果、例えば、図13に示す温度調整装置では、その温度設定範囲が20〜26℃程度であるが、図1に示す温度調整装置では、その温度設定範囲を18〜35℃と大幅に拡大できる。
例えば、図14に示す補助ヒータ114を設けた温度調整装置では、全消費エネルギーの内訳は、圧縮機100が18%、補助ヒータ114が69%、及び送風機112が13%である。この点、図1に示す温度調整装置では、補助ヒータ114の消費エネルギーをカットできる。
このため、吐出量が20m3/min程度の水冷式空調機に、図14に示す温度調整装置の方式を適用した場合には、最大消費電力が11.7KWであったが、図1に示す温度調整装置の方式を適用すると、最大消費電力を2.4KW程度とすることができる。
このため、圧縮機18の吐出圧がバネ40cの付勢力以上となったとき、ベローズ40dによって弁体40bが弁部40aの開口部を開放する方向に移動し、凝縮器26に供給される冷却水量が増加して、凝縮器26の冷却能力が向上される。このため、圧縮機18の吐出圧が低下する。
他方、圧縮機18の吐出圧がバネ40cの付勢力以下となったとき、弁体40bが弁部40aの開口部を閉じる方向に移動し、凝縮器26に供給される冷却水量が減少して、凝縮器26の冷却能力が低下する。このため、圧縮機18の吐出圧が高くなる。
この様に、圧縮機18の吐出圧を一定に保持することによって、精密温度調整装置を安定して運転できる。また、凝縮器26に冷却水量が必要以上に供給され、系外に排出されないように調整できる。
また、温度調整対象の空気流の温度が低温である場合、加熱流路の加熱器14に供給された高温の第1熱媒体は、加熱器14で低温の空気流によって凝縮され、圧縮機18の吐出圧が所定圧よりも低圧となるため、制御弁40が閉じて凝縮器26に冷却水が供給されなくなる。
この様に、凝縮器26に冷却水が供給されなくなると、凝縮器26からヒートポンプ手段の吸熱器32に供給される冷却水も供給されなくなる。このため、吸熱器32が稼働停止状態となって、ヒートポンプ手段が機能しなくなる。
しかも、加熱器14で放熱して凝縮した第1熱媒体を膨張弁34で断熱的に膨張して冷却した第1熱媒体と冷却水との熱交換が行われず、吸熱器32が凍結するおそれがある。
このため、加熱器14及び冷却器16を通過する空気流の温度設定を大幅に昇温した場合や加熱器14及び冷却器16を通過する空気流が低温の場合の様に、冷却流路側に分配される高温の第1熱媒体の分配率がゼロ又はその近傍となったときでも、吸熱器32に所定量の冷却水を供給でき、吸熱器32の凍結を防止し且つヒートポンプ手段の機能を発揮させることができる。
図3に示す精密温度調整装置では、冷却器16に吹き付けられて冷却された空気流を加熱器14に吹き付けている。この様に、最初に空気流を冷却器16に吹き付けることによって、空気流中の水分を凝縮して除湿を行うことができる。
尚、図3に示す精密温度調整装置では、その構成部材が図1に示す精密温度調整装置の構成部材と同一部材である場合には、図1の構成部材と同一番号を付し、詳細な説明を省略した。
図4に示す精密温度調整装置では、加熱器14で放熱した第1熱媒体が膨張弁34によって断熱膨張して更に冷却されて供給されている吸熱器32に、ファン46によって凝縮器26に吹き付けられて加熱された空気流が吹き付けられる。このため、吸熱器32では、加熱器14で放熱・凝縮し断熱膨張して更に冷却した第1熱媒体が空気流から吸熱して昇温される。
尚、図4に示す精密温度調整装置では、その構成部材が図1に示す精密温度調整装置の構成部材と同一部材である場合には、図1の構成部材と同一番号を付し、詳細な説明を省略した。
ここで、「加熱流路と冷却流路とに分配する分配比率を実質的に連続して調整」或いは「分配比率を実質的に連続して調整」するとは、ゲートバルブ38a,38bをステップ制御によって駆動し、加熱流路と冷却流路との分配比率を調整する際に、ゲートバルブ38a,38bの開度が、微視的にはステップ的に駆動されて調整されているものの、全体として連続して駆動されて調整されている場合を含むことを意味する。
一方、温度調整対象の空気流に対して加熱側にある場合、空気流の温度が安定する運転状態では、図8(a)に示す様に、加熱器14で加熱した空気を冷却器16で冷却している。図8(a)に示す運転状態では、空気流を加熱するに要するエネルギーBに比較して、冷却器16で冷却するエネルギーが大きくなる場合がある。この場合、図8(b)に示す様に、冷却器16と加熱器14との重複するエネルギーを少なくできれば、省エネルギーを図ることができる。
但し、互いに打ち消し合う熱量分をゼロとすべく、加熱器14と冷却器16とに高温の第1熱媒体の供給をON−OFF制御すると、精密温度調整装置の運転が不安定となり、空気流を所定温度で安定するまで時間が掛かる。このため、精密温度調整装置を安定運転できる程度には、加熱器14に加えられる加熱量と冷却器16に加えられる冷却量のうち、互いに打ち消し合う熱量分を最小限存在させることが必要である。
尚、この必要最小限の互いに打ち消し合う熱量分は、精密温度調整装置によって多少異なるため、実験的に求めておくことが好ましい。
尚、図9に示す精密温度調整装置を構成する構成部材のうち、図1に示す精密温度調整装置の構成部材と同一部材は、図1の符号と同一番号を付して、詳細な説明を省略する。
第1制御部22aによる比例三方弁20の制御と第2制御部22bによる圧縮機18の回転数の制御とを図10のフローチャートに示す。
図9に示す温度調整装置を試運転したところ、空気流に対して冷却側で運転する場合は、加熱器14に加えられる加熱量として、比例三方弁20による加熱器14側への高温の第1熱媒体の分配率を5〜15%(比例三方弁20による冷却器16側への高温の第1熱媒体の分配率を95〜85%)とすることが安定運転上から好ましいことが判明した。
他方、空気流に対して加熱側で運転する場合は、加熱器14側に加えられる加熱量として、比例三方弁20による加熱器14側への高温の第1熱媒体の分配率を95〜85%(比例三方弁20による冷却器16側への高温の第1熱媒体の分配率を5〜15%)とすることが安定運転上から好ましいことが判明した。
図10に示すフローチャートでは、ステップS10で圧縮機18を起動した後、ステップS12で空気流を所定温度とするように、空間ユニット10内に設けられた温度センサ24によって測定された温度信号に基づいて、比例三方弁20による加熱器14側と冷却器16側とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を連続的に変更し、空間ユニット10内に吸込まれた空気流を所定温度に調整する。
一方、空間ユニット10内の空気流が所定温度に到達して安定している場合は、ステップS16〜S22で加熱器14側に分配される高温の第1熱媒体の分配比率が所定の範囲内であるか否か判断する。このステップS16〜S22は第2制御部22bで行う。
尚、図10に示す高温の第1熱媒体の平均分配率とは、加熱器14側に分配される高温の第1熱媒体の分配比率にはばらつきがあるため、所定時間内の第1熱媒体の分配率の平均をとった値であって、以下、単に第1熱媒体の平均分配率と称することがある。
ここで、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が5〜15%内にある場合は、空気流に対して冷却側にあり、且つ精密温度調整装置の運転が安定する範囲内であるため、ステップS16を通過しステップS18からステップS16に戻る。
一方、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が5%未満である場合には、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が低過ぎるため、精密温度調整装置の運転が不安定となり易い。このため、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率を増加すべく、ステップS16からステップS24に移行し、圧縮機18の回転数を増加する。ステップS24では、第2制御部22bからインバータ19に向けて、インバータ19に設定されている圧縮機18の回転数を最小変化量で増加する増加信号を発信する。圧縮機18の回転数を最小変化量で増加することによって、精密温度調整装置を安定して運転できるからである。
尚、圧縮機18の回転数を変化させる最小変化量は、精密温度調整装置によって異なるため、実験的に求めておくことが好ましいが、圧縮機18の回転数が2000〜5000rpmのとき、最小変化量を3〜10%の範囲とすることが好ましい。
ここで、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が85〜95%内にある場合は、空気流が加熱側にあり、且つ精密温度調整装置の運転が安定する範囲内であるため、ステップS20を通過しステップS22からステップS16に戻る。
一方、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が95%を超えている場合には、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が高過ぎ、精密温度調整装置の運転が不安定となり易い。このため、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率を減少すべく、ステップS20からステップS24に移行し、圧縮機18の回転数を増加する。ステップS24では、第2制御部22bからインバータ19に向けて、インバータ19に設定されている圧縮機18の回転数を最小変化量で増加する増加信号を発信する。
次いで、ステップS24又はステップS26を通過してステップS28に移行し、圧縮機18が運転中か否か判断して、圧縮機18が運転中であれば、ステップS14に戻る。ステップS14では、ステップS24又はステップS26において、圧縮機18の回転数を最小変化量で増加又は低下した状態で、空間ユニット10内の空気流が所定温度に到達して安定しているかを判断する。空間ユニット10内の空気流が所定温度に到達して安定している場合には、ステップS16〜S26によって、再度、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が所定範囲内に在るか否か判断する。
尚、ステップS28において、圧縮機18が運転状態にない場合には、第1制御部22a及び第2制御部22bによる制御は停止する。
以上、説明してきた図10に示すフローチャートでは、第1制御部22aでは、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率に注目して制御しているが、冷却器16側への第1熱媒体の平均分配率に注目して制御してもよい。
図11に示す冷却液の精密温度調整装置では、インバータ51によって所定回転数で回転するように制御されている圧縮機50で圧縮された高温の第1熱媒体は分配手段としての比例三方弁52によって加熱流路と冷却流路とに分配される。
かかる比例三方弁52は、加熱流路側に分配する高温の第1熱媒体量と冷却流路側に分配する高温の第1熱媒体量との合計量が圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、圧縮機50で圧縮された高温の第1熱媒体を比例分配する。この比例三方弁52は、第1制御部55aで制御されており、後述する様に、精密温度調整装置の出口の冷却液の温度を測定する温度センサ62からの信号に基づいて、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配率を連続的に変更して、冷却液を所定温度に調整する。
かかる加熱流路及び冷却流路には、ヒートポンプ手段の吸熱器68が設けられている。この吸熱器68には、加熱器54で放熱して凝縮した第1熱媒体を第2膨張手段としての膨張弁70で断熱的に膨張して更に冷却して供給され、且つ冷却流路に設けられた凝縮器56で高温熱媒体の熱を吸熱して昇温された第2熱媒体としての冷却水とが供給され、昇温された冷却水から吸熱した第1熱媒体はアキュームレータ71に戻り圧縮機50に供給される。
つまり、圧縮機50の吐出圧が所定圧以上となったとき、制御弁72の冷却流路内に設けられた弁部の開口部の開度が大きくなり、凝縮器56に供給される冷却水量が増加して、凝縮器56の冷却能力が向上される。このため、圧縮機50の吐出圧が低下する。他方、圧縮機50の吐出圧が所定圧以下となったとき、制御弁72の冷却流路内に設けられた弁部の開口部の開度が小さくなり、凝縮器56に供給される冷却水量が減少して、凝縮器56の冷却能力が低下する。このため、圧縮機50の吐出圧が高くなる。
この様に、圧縮機50の吐出圧を一定に保持することによって、精密温度調整装置を安定して運転できる。また、凝縮器56に冷却水量が必要以上に供給され、系外に排出されないように調整できる。
また、貯留槽64の冷却液が低温である場合、加熱流路の加熱器54に供給された高温の第1熱媒体は加熱器54で低温の冷却液で凝縮され、圧縮機50の吐出圧が所定圧よりも低圧となるため、制御弁72が閉じて凝縮器56に冷却水が供給されなくなる。
この様に、凝縮器56に冷却水が供給されなくなると、凝縮器56からヒートポンプ手段を構成する吸熱器68に供給される冷却水も供給されなくなる。このため、吸熱器68が稼働停止状態となって、ヒートポンプ手段が機能しなくなる。
しかも、加熱器54で放熱して凝縮した第1熱媒体を膨張弁70で断熱的に膨張して更に冷却された第1熱媒体と冷却水との熱交換が行われず、吸熱器68が凍結するおそれがある。
このため、冷却液の温度設定を大幅に昇温した場合の様に、冷却流路側に分配される高温の第1熱媒体の分配率がゼロ又はその近傍となったときでも、吸熱器68に所定量の冷却水を供給でき、吸熱器68の凍結を防止し且つヒートポンプ手段の機能を発揮させることができる。
図11に示す冷却液の精密温度調整装置でも、比例三方弁52に代えて、図5に示す様に、2個の二方弁としてのゲートバルブ38a,38bを用いることができる。
また、図11に示す冷却液の精密温度調整装置では、凝縮器56及びヒートポンプ手段の吸熱器68に供給する第2熱媒体として冷却水を用いていたが、図12に示す様に、凝縮器56及びヒートポンプ手段の吸熱器68に供給する第2熱却媒体としてファン78による空気流を用いることができる。図12に示す精密温度調整装置では、加熱器54で放熱した第1熱媒体を、第2膨張手段としての膨張弁70によって断熱膨張し更に冷却して供給している吸熱器68に、ファン78によって凝縮器56に吹き付けられて加熱された空気流が吹き付けられる。このため、吸熱器68では、加熱器54で放熱・凝縮し膨張弁70で断熱膨張して冷却した第1熱媒体が空気流から吸熱できる。
尚、図12に示す精密温度調整装置では、その構成部材が図11に示す精密温度調整装置の構成部材と同一部材である場合には、図11の構成部材と同一番号を付し、詳細な説明を省略した。
また、図1〜図12に示す精密温度調整装置で用いた加熱器14,54、冷却器16,60、凝縮器26,56、吸熱器32,68は、温度差を有する二つの流体が向流又は並流として流れる公知の熱交換器を用いることができる。例えば、二重管、フィン付き管或いはプレート式熱交換器等を好適に用いることができる。
特に、凝縮器26,56に第2熱媒体として冷却水が供給される場合は、その使用温度がスケールの発生し易い温度帯であるため、比較的詰まりが発生し難い、二重管の内管と外管とに異なる温度の流体を流して熱交換を行う二重管式熱交換器を好適に用いることができる。
更に、図1〜図12に示す精密温度調整装置では、凝縮器26,56と吸熱器32,68とに供給される第2熱媒体として冷却水又は空気流であったが、凝縮器26,56と吸熱器32,68との一方に冷却水を供給し、他方に空気流を供給してもよい。
また、図1〜図12に示す精密温度調整装置では、凝縮器26,56で高温の第1熱媒体から除去した熱量の一部を回収すべく、第2熱媒体を凝縮器26,56を経由して吸熱器32,68に供給している。しかし、第2熱媒体の流速等によっては、その回収が殆ど期待できない場合がある。この場合、凝縮器26,56と吸熱器32,68との各々に個別に第2熱媒体を供給するようにしてもよい。具体的には、凝縮器26,56と吸熱器32,68とに各々に個別に冷却水を供給したり、凝縮器26,56と吸熱器32,68との各々に個別に冷却ファンを設けて個々に空気流を供給してもよい。
尚、本発明で適用できる温度調整対象の流体及び第2熱媒体は、空気又は水に限定されず、オイルや気液混合体であってもよい。
12 ファン
14,54 加熱器
16,60 冷却器
18,50 圧縮機
19、51 インバータ
20,52 比例三方弁
22a,55a 第1制御部
22b 第2制御部
24,62 温度センサ
26,56 凝縮器
28,58 第1膨張弁
32,68 吸熱器
34,70 第2膨張弁
36 アキュームレータ
40 制御弁
46 ファン
Claims (10)
- 圧縮機で圧縮されて加熱された高温の第1熱媒体の一部が供給される加熱手段を具備する加熱流路と、
前記高温の第1熱媒体の残余部が供給される凝縮手段と、前記凝縮手段で冷却された第1熱媒体が第1膨張手段で断熱的に膨張して更に冷却されて供給される冷却手段とを具備する冷却流路とが設けられ、
前記加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体を所定温度に調整するように、前記高温の第1熱媒体が加熱流路と冷却流路とに分配され、且つ前記加熱流路と冷却流路との各々を通過した第1熱媒体が合流して圧縮機に再供給される精密温度調整装置であって、
前記圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体の一部を前記加熱流路側に分配すると共に、前記高温の第1熱媒体の残余部を冷却流路側に分配し、且つ前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を変更可能な分配手段と、
前記加熱手段で熱を放出して冷却されてから第2膨張手段で断熱的に膨張されて更に冷却された第1熱媒体が、外部熱源である第2熱媒体から吸熱する吸熱手段を具備するヒートポンプ手段と、
前記分配手段を制御し、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、前記加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体を所定温度に制御する第1制御部とが設けられ、
且つ前記分配手段から第1熱媒体が合流されるまでの流路のうち、前記冷却流路を含む流路と前記加熱流路及びヒートポンプ手段を含む流路との各々が流路的に独立して設けられていることを特徴とする精密温度調整装置。 - 冷却流路の凝縮手段に供給されて高温の第1熱媒体を冷却する冷却媒体とヒートポンプ手段の吸熱手段に供給される第2熱媒体とが、同一熱媒体であって、前記凝縮手段に供給されてから前記吸熱手段に供給される請求項1記載の精密温度調整装置。
- 第2熱媒体が、外部から加熱又は冷却されることなく供給された第2熱媒体である請求項1又は請求項2記載の精密温度調整装置。
- 加熱流路及びヒートポンプ手段を含む流路には、加熱手段、第2膨張手段及び吸熱手段が設けられ、冷却流路を含む流路には、凝縮手段、第1膨張手段及び冷却手段が設けられている請求項1〜3記載の精密温度調整装置。
- 分配手段が、加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を実質的に連続して変更可能な分配手段である請求項1〜4のいずれか一項記載の精密温度調整装置。
- 分配手段には、加熱流路側に分配する高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配する高温の第1熱媒体との合計量が圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、前記高温の第1熱媒体を比例分配する比例三方弁が設けられている請求項1〜5のいずれか一項記載の精密温度調整装置。
- 分配手段には、高温の第1熱媒体を加熱流路側と冷却流路側とに分岐する分岐配管と、前記分岐配管の各々に設けられた二方弁とを具備し、
第1制御部が、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、加熱手段と冷却手段とを通過する温度調整対象の流体を所定温度に制御すると共に、前記加熱流路側に分配される高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配される高温の第1熱媒体との合計量が圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、前記二方弁の各々の開度を調整する第1制御部でもある請求項1〜5のいずれか一項記載の精密温度調整装置。 - 冷却流路の凝縮手段には、高温の第1熱媒体を冷却する液状媒体が供給され、圧縮機の吐出側の圧力が一定に保持されるように、前記凝縮手段に供給される前記液状媒体の供給量を制御する冷媒制御手段が設けられている請求項1〜7のいずれか一項記載の精密温度調整装置。
- 温度調整対象の流体が、空気流であって、冷却手段に吹き付けられて低湿度化された空気流が加熱手段に吹き付けられるように、前記冷却手段と加熱手段とが配設されている請求項1〜8のいずれか一項記載の精密温度調整装置。
- 温度調整対象の流体が、空気流であって、加熱手段に吹き付けられて昇温された空気流が冷却手段に吹き付けられるように、前記加熱手段と冷却手段とが配設されている請求項1〜8のいずれか一項記載の精密温度調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008551016A JP4875714B2 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-06 | 精密温度調整装置 |
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006351583 | 2006-12-27 | ||
JP2006351583 | 2006-12-27 | ||
JP2007126179 | 2007-05-11 | ||
JP2007126179 | 2007-05-11 | ||
JP2007257152 | 2007-10-01 | ||
JP2007257152 | 2007-10-01 | ||
JP2008551016A JP4875714B2 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-06 | 精密温度調整装置 |
PCT/JP2007/073541 WO2008078525A1 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-06 | 精密温度調整装置 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009228074A Division JP4435278B2 (ja) | 2006-12-27 | 2009-09-30 | 精密温度調整装置及び精密温度調整方法 |
JP2009228085A Division JP2009300077A (ja) | 2006-12-27 | 2009-09-30 | 精密温度調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008078525A1 JPWO2008078525A1 (ja) | 2010-04-22 |
JP4875714B2 true JP4875714B2 (ja) | 2012-02-15 |
Family
ID=39562319
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008551016A Active JP4875714B2 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-06 | 精密温度調整装置 |
JP2009228085A Pending JP2009300077A (ja) | 2006-12-27 | 2009-09-30 | 精密温度調整装置 |
JP2009228074A Active JP4435278B2 (ja) | 2006-12-27 | 2009-09-30 | 精密温度調整装置及び精密温度調整方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009228085A Pending JP2009300077A (ja) | 2006-12-27 | 2009-09-30 | 精密温度調整装置 |
JP2009228074A Active JP4435278B2 (ja) | 2006-12-27 | 2009-09-30 | 精密温度調整装置及び精密温度調整方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP4875714B2 (ja) |
KR (1) | KR101453924B1 (ja) |
CN (1) | CN101558270B (ja) |
TW (1) | TWI387716B (ja) |
WO (1) | WO2008078525A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014081120A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Orion Mach Co Ltd | 精密温度調整装置 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009122357A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Orion Mach Co Ltd | 板状部材の温度調整装置 |
JP5343231B2 (ja) * | 2008-04-10 | 2013-11-13 | オリオン機械株式会社 | 温湿度調整装置 |
JP5098046B2 (ja) * | 2008-06-26 | 2012-12-12 | オリオン機械株式会社 | 温度調整システム |
WO2010026840A1 (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-11 | 株式会社ラスコ | 熱交換装置 |
JP5428021B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2014-02-26 | オリオン機械株式会社 | 温湿度調整装置 |
JP5205601B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2013-06-05 | オリオン機械株式会社 | 温湿度調整装置 |
JP2010236700A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Orion Mach Co Ltd | 温湿度調整装置 |
JP2010255879A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Orion Mach Co Ltd | 温度調整装置 |
JP5245074B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2013-07-24 | オリオン機械株式会社 | 温度調整機能付きの除湿装置 |
CN101691960B (zh) * | 2009-09-30 | 2012-10-10 | 广东美的电器股份有限公司 | 三管制热回收空调系统 |
JP5643982B2 (ja) * | 2009-10-28 | 2014-12-24 | オリオン機械株式会社 | 温湿度調整装置および温湿度調整方法 |
JP5526359B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2014-06-18 | オリオン機械株式会社 | 温度調整送風装置 |
CN101975489B (zh) * | 2010-11-03 | 2012-01-18 | 合肥工业大学 | 全天候宽温带精密温度控制系统 |
CN103307819B (zh) * | 2013-05-21 | 2015-05-20 | 澳柯玛股份有限公司 | 可调控压缩机输冷量的制冷系统及方法 |
GB2535707A (en) | 2015-02-24 | 2016-08-31 | Fives Landis Ltd | Machine tools and methods of operation thereof |
JP6429084B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2018-11-28 | 株式会社東京精密 | ウエハ搭載台の温度制御装置及び温度制御方法並びにプローバ |
JP2017161123A (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 日本スピンドル製造株式会社 | 温度調整装置 |
KR101910347B1 (ko) * | 2016-12-05 | 2018-10-23 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 반도체 제조설비의 고도화 온도제어장치 |
CN108278490B (zh) * | 2016-12-30 | 2024-02-20 | 贵港市芭田生态有限公司 | 防板结剂输送系统及方法 |
AT521086B1 (de) * | 2018-03-28 | 2020-02-15 | Avl List Gmbh | Konditioniereinrichtung zur Regelung eines gasförmigen oder |
JP7404354B2 (ja) * | 2019-04-23 | 2023-12-25 | Ckd株式会社 | 熱交換システム |
JP2021009590A (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | 株式会社Kelk | 温度制御システム及び温度制御方法 |
KR20230118830A (ko) * | 2020-12-08 | 2023-08-14 | 가부시키가이샤 쇼난 보에키 | 냉각 장치 |
WO2023199688A1 (ja) * | 2022-04-14 | 2023-10-19 | パナソニックエナジー株式会社 | 温度制御装置および温度制御方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5197048A (ja) * | 1975-02-22 | 1976-08-26 | ||
JPH0728545Y2 (ja) * | 1986-10-18 | 1995-06-28 | ダイキン工業株式会社 | 液体温度制御装置 |
CN1142593A (zh) * | 1995-04-12 | 1997-02-12 | 三洋电机株式会社 | 设置循环流体分支路径的热泵式空调器 |
JPH09189460A (ja) * | 1996-01-09 | 1997-07-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 冷凍装置 |
JPH10148416A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-06-02 | Yasuhiko Arai | 除湿機 |
CN2526749Y (zh) * | 2002-03-11 | 2002-12-18 | 北京中能创新电力技术有限公司 | 半导体致冷气体除湿装置 |
-
2007
- 2007-12-06 KR KR1020097009012A patent/KR101453924B1/ko active IP Right Grant
- 2007-12-06 WO PCT/JP2007/073541 patent/WO2008078525A1/ja active Application Filing
- 2007-12-06 JP JP2008551016A patent/JP4875714B2/ja active Active
- 2007-12-06 CN CN2007800464837A patent/CN101558270B/zh active Active
- 2007-12-11 TW TW096147151A patent/TWI387716B/zh active
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009228085A patent/JP2009300077A/ja active Pending
- 2009-09-30 JP JP2009228074A patent/JP4435278B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014081120A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Orion Mach Co Ltd | 精密温度調整装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101558270A (zh) | 2009-10-14 |
TWI387716B (zh) | 2013-03-01 |
WO2008078525A1 (ja) | 2008-07-03 |
JP2009300077A (ja) | 2009-12-24 |
JPWO2008078525A1 (ja) | 2010-04-22 |
KR101453924B1 (ko) | 2014-10-23 |
CN101558270B (zh) | 2011-07-20 |
JP2010043855A (ja) | 2010-02-25 |
TW200827639A (en) | 2008-07-01 |
KR20090106452A (ko) | 2009-10-09 |
JP4435278B2 (ja) | 2010-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4875714B2 (ja) | 精密温度調整装置 | |
TWI468632B (zh) | 溫度與濕度控制裝置以及溫度與濕度控制方法 | |
JP2007524059A (ja) | 可変速度ファンを有する冷凍システム | |
US11162714B2 (en) | Test chamber and method | |
JP5098046B2 (ja) | 温度調整システム | |
JP5205601B2 (ja) | 温湿度調整装置 | |
JP5266455B2 (ja) | 温度調整装置 | |
JP2009115442A (ja) | 温度調整装置 | |
JP4790685B2 (ja) | 精密温度調整装置 | |
JP2010007962A (ja) | 温度調整装置 | |
JP5099843B2 (ja) | 温湿度調整装置 | |
JP2009103436A (ja) | 精密温度調整装置 | |
JP5568728B2 (ja) | 温湿度調整装置及び温湿度調整方法 | |
JP2010007955A (ja) | 温度調整装置 | |
JP2009257650A (ja) | 温湿度調整装置 | |
JP2009257649A (ja) | 温湿度調整装置 | |
JP2009122357A (ja) | 板状部材の温度調整装置 | |
JP2010266118A (ja) | 温度調整装置 | |
JP5223152B2 (ja) | 温度調整装置 | |
JP2008309465A (ja) | 温度調整装置 | |
JP2009097750A (ja) | 精密温度調整装置 | |
JP2010007958A (ja) | 温度調整装置 | |
JP2009115446A (ja) | 精密温度調整装置 | |
JP2010255879A (ja) | 温度調整装置 | |
JP5526359B2 (ja) | 温度調整送風装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111108 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141202 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4875714 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |