TWI376765B - Apparatus for etching substrate and fabrication line for fabricating liquid crystasl display using the same - Google Patents

Description

137676^ 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種基板之蝕刻裝置及其方法，尤其係關於一 種製造液晶顯示裝置（liquid crystal display ; LCD))之生產線及其 生產方法，能夠透過整合基板姓刻線為生產線之串聯而快速钱刻 基板。 【先前技街】 近年來，因為業界發展出多種攜帶式電子裝置，例如行動電 話、個人數位助理或者膝上型電腦。平面顯示裝置.（flat pand display ; FPD)具有輕、薄、短且小的特點並且可應用至攜帶式電 子裝置，因此對平面顯示裝置的需求迅速增加。作為平面顯示裝 置’液晶顯示裝置、電衆顯示面板（Plasma diSpiay panei; pop)、 場發射顯示裝置（FieldEmissionDisplay ; FED)、真空螢光顯示裝 置（Vacuum Fluorescent Displ矽；VFD )以及電激發光裝置（〇rganic Light Emitting Device ; OLED)等被積極地研究，其中因為液晶顯 示裝置批量生產技術成熟，驅動單元攀造簡單以及容易實現高影 像品質，從而獲得眾多關注。 通常液晶顯示裝置應用於攜帶式電子裝置，為了改善電子裝 置之可攜帶性，減少液晶顯示裝置之尺寸和重量則必不可少。減 少液晶顯示裝置之尺寸和重量之方法可有若干種，依照其結構和 當前技術，液晶顯示裝置之基本組件之減少有一定限制。這些基 5 1376765 t ; 本組件非常輕，因此，很難減少液晶顯示裝置之重量。— 【發明内容】 • 目此’為了解決上述問題’本說明書描述的各特徵已經被考 ·慮。本發明實關之-财面係提供-種基板之_裝置，能夠 透過姓刻基板或液晶面板而減少液晶顯示裝置之重量。 •.本發明實施例之另-方面係提供—種製造液晶顯示裝置之生 -產線，透過絲基板侧裝置於生產紅自動地糊基板或液晶 • ®板以能夠快速地侧基板，從而能夠快速地製造液晶顯示裝置。 本說明書提供的-種基板钱刻裝置包含：卡盒，用於接收已 經完成前-製程之基板，並且傳送此基板；第—機狀，用於將 基板從卡盒中取出；第二機器人，用於接收來自第一機器人之基 板並且上下移動其上裝設的基板；蝕刻卡盒，包含用於支撐基板 之支撐架以及用於固定基板之固定架，並且固定來自第二機器人 之載入基板；卡盒固定單元，用於固定至少—或多個蝕刻卡盒並 鲁 且旋轉預設角度以允許基板垂直於地面而放置；以及蝕刻單元， ，用於蝕刻卡盒固定單元所垂直放置的基板。 固疋架透過機益人所降低的基板之重力而收縮以允許基板從 中通過’然後恢復以固定基板。 第一機器人包含從卡盒中取處基板之機械臂，以及用於傳送 基板至第二機器人之旋轉轴’而第二機器人包含允許棊板裝設於 其上之基板裝設部，以及上下移動之延伸軸。 1376765 t 蝕刻單兀垂直於地面而放置，從而至少一個表面可鄰接於基 板。侧單元包含其令充滿钱刻溶液之複數個喷塗板，以及形成 於噴塗基板上之複數個喷嘴，喷倾於噴塗触丨溶液至基板。 本說明書還提供-翻於製造液晶顯示裝置之生產線，此生 產線包含：g⑽膜形成線，用於接收第—基板和第二基板並且形 成具有固定力之配向膜；液晶滴人線，用於接收形成有配向膜之 第一基板並且滴人液晶於第-基板之上；細齡佈線，用於接 收1成有配向膜之第二基板並且塗佈黏附劑；接合線，用於接收 第一和第二基板並且將其接合；蝕刻線，用於蝕刻接合的第一和 第-基板，以及處理線，用域收第__和第二基板並且將它們劃-分為複數個單元面板，其中配向膜形成線、液晶滴人線、黏附劑 塗佈線、接合線、姓刻線以及處理線被整合。 本發明之前述及其他目的、特徵、方面和優點將結合附圖在 以下詳細描述中體現得更加明顯。 【實施方式】 在液晶顯示裝置之重量中有若干因素起到重要作用，其中， 玻璃基板係為液晶顯示裝置中最重的組件。因此，減少玻璃基板 之重量則可有效地減少液晶顯示裝置之重量。 通吊，玻璃基板透過蝕刻劑（蝕刻溶液）例如氫氟酸（HP) 被蝕刻。即，玻璃基板置於充滿蝕刻劑之容器中以蝕刻玻璃基板 之表面 '然而’這種方法中，因為基板本身不均句，所以基板餘 3得不均^糾，_製程_產生__於基板之上，使 传基板之表面不均勻。料，侧_過量使料致成本增加並 且造成環境污染問題。 解決這些問題的方案中，基板可載入於傳送器之上，释動基 板的同時_料被_錄麻基板。細，這種情況下钱 刻劑保留在傳“之上裝載的基板的部份表面處，過度祕刻部 份表面，導致基板整體上蝕刻得不均勻。 因此，本發明中’為了解決這些問題，基板垂直於地面而放 置，钱刻劑噴塗於基板的兩個表面以均勻地姓刻整個基板。「第1 圖」表示垂直地钱刻基板之裝置之基本概念。 基板1之蝕刻可處於兩塊玻璃母基板接合之狀態或者透過透 過顯不面板單⑽找，，峨麵母絲例如液$顯示裝置 或電衆顯*面板可被侧於接合祕，或者基板可透過接合的面 板單元而被姓刻。本發明中，蝕刻裝置可自動地姓刻前一生產線 上傳送過來的基板，因此透過應用蝕刻裝置至顯示面板之生產 線，生產線可完全地自動化。即，這痤經過前一製程之基板自動 -地被輸入蝕刻線，被蝕刻然'後被輪出，從而自動地被傳送至前一 生產線。隨著生產線的自動化，可快速實現顯示面板之製造並且 可極大地改善生產效率。 此外，基板1可透過玻璃母基板單元或者經過處理的玻璃基 板單元被蝕刻。即，玻璃製造製程期間製造的玻璃母基板被蝕刻 1376765

X 以包含所f的f量盒厚度，並且被處舰用作平_示裝置例如 液晶顯示裝置之基板。通常，平面顯示裝置例如液晶顯示裝置包 含兩塊接合的玻璃基板’因此強度比單塊玻璃基板的高。因為可 被製造的比削單塊朗基板的例子薄，所以可大大地降低玻璃 基板之重量。 通常’賴紐之倾完成於接合的母基板之上。為了改善 平面顯示裝置例如液晶顯示裝置之生產效率，所需的馳電晶二 和彩色絲片等元件形成於兩塊相對的母基板之上，然後母基板 被接合且蝴為單元面板，.形成各自的顯示面板〜本發明中，基 板之姓刻在被㈣為單元面板之前透過接合的母基板單元.而完 成，理由如下。 "當基板被侧時，_程度受舰制。如果基板被過賴刻. Γ而艾付太薄’則生產製程期間基板將會被損壞。因此，母基板 早7L完成之玻躲板在其_方面受魏制H當兩塊基板 接合時（或者接合的朗面板之例子巾），賴此些基板比母基板 _得多，但是可具有更_力以忍受衝擊，因此製造顯示面板 4可更多地银刻母基板以減輕重量。 本發明f，_裝置所_的_:目標可為單元母基板、經 .過處理的基細及_切_單元秘，而並雜微接合的母 基板。 因此町使用的基板之術語將覆蓋接合的母基板、玻璃毋 1376765 基板、經過處理的基板以及經過切割的單元面板。 如「第1圖」所示’垂直的飯刻裝置1〇包含：依照均勻間隔 放置的噴麵12，·置於板12之_基板丨；軸於喷塗板12 之上的複數個喷嘴13，·以及，供應姓刻溶液至喷塗板12之侧劑 儲存容器Π。因為噴塗板12的内部是空的，所以倾劑儲存容器 17的蝕刻劑透過供應管道15被供應至喷塗板12。 供應至噴塗板12内部的钱刻劑透過噴嘴13被喷塗至基板i 之表面之上以侧基板i。因絲板丨置於魅板12之間，位於 噴塗板U兩侧處的喷嘴13所喷出的姓刻劑到達基板i的兩侧， 並且蝕刻基板I之兩側。 噴塗板I2的喷嘴η的數目和間隔取決於待則的基板^的 尺寸以及喷塗板12和基板丨之_距離，並且只要_劑能夠均 勻地喷塗至龜卜任何數目或者任何間隔财可能。 蝕刻裝置中，均勾地噴塗钱刻劑至與地面垂直的基板i之上， 從而基板i被钕刻。喷塗至基板刻劑由於萬有引力而向下 .流，因此基板1上不會殘留_劑，並且因為_劑不會殘留於 垂直部上’所財P枝垂直部上出現過度侧之現象。 喷塗板12之結射’喷塗板12從下基底向上延伸，所以美 板！從上部觀收且置於魅板12⑽，但是鱗_於此，^ 底可位於上部’無板12向卞延伸。獅仔中，基板〗可從下 部被接收並且置於喷塗板u之間，或者噴塗板12可降低到基板] 1376765 t 兩侧的位置’然後被放置。 「第2A圖」和「第2B圖」所示係為本發明之基板蝕刻裝置 、 之透視圖。 . 如「第2A圖」所示，至於位於待蝕刻的基板1兩側的喷塗板 12的長度和高度’喷塗板12絲板丨包含相_區域或者比基板 • 1的區域更大，因此蝕刻劑可在均勻的壓力下喷塗於基板丨的整 • 個表面之上，從而快速地蝕刻基板1。 鲁 帛2B圖」所示係為當其上形成有喷嘴η的噴塗板丨2的尺 寸比基板1小的時候之基板蝕刻方法。這種蝕刻裝置中，因為喷 塗板12的尺寸（或寬度）比基板i小，姓刻基板！的整個表面時， 噴塗板12以-定的速度從一側向另一側相互移動，以噴塗姓刻劑 於基板1之上。理由如下。 第3圖」所示係為透過喷塗板a之噴嘴η噴塗於基板1 之上的侧劑之噴塗區域(R)。如「第3圖」所示，噴嘴13喷出的 . 姻l·綱達基板1之表面之—定區域^為了喷塗來。自喷塗板η之 '噴嘴13之侧劑於基板！的整個表面之上以侧基板卜每一喷 嘴13所噴出的钱刻劑之一個喷塗區域⑻應該與喷塗自每一鄰接 噴嘴13之_劑之另―喷塗區域⑻重疊，從而避免產魏刻劑沒 有喷塗到的區域。但是這種情況下，當姓刻劑採用重複的方式從 噴嘴13中噴塗出之後：更多的_劑被應用至侧劑重疊區域 ⑻’過度麵重疊區域，導致μ丨整體不袖地觀刻。 1376765 1 為了在基板1的整個表面之上形成喷塗區域(R)，則增加喷塗 .板】2之喷嘴⑽數目，意味著透過喷嘴13喷出賴刻劑也增加。 因此，钱刻劑的過量使用增加了成本，並且導致環境污染的問題。 . 細’當喷塗板置於基板〗的—側，當以—拉度移動時 餘侧劑’則不會產生噴塗重疊區域⑻，因此可防止基板之不 .均勻姓刻。此外，因為姓刻劑在均勻的璧力下從喷餘12中噴出， 並且喷塗板12以均勻的速度移動，所以截刻劑應用於基板！的整 ’個表面之上，均自地钕刻基板i。這個例子中，喷塗板12可採用 -定週期相互地雜轩次，從㈣魏卿於基板〗之上以完 成其上的姓刻。 如上所述，本發明中，噴塗板12和基板1相比包含相同區域. 或更大的區域’以透過喷嘴G 一次嘴魏刻劑於基板i的整個表 面之上，或者和基板i相比包含較小區域的噴塗板12沿基板丄移 動或者以-定週期擺動，以喷塗姓刻劑至基板！以完成其上的蝕 刻。控制喷塗板12之區域或者移動喷塗板12係為了均勻地喷塗 姓刻片彳於基板之上，以均勾地姓刻基板。因此，只要飯刻裝置可 均勻地噴塗姓刻劑至基板1，餘刻裝置可以包含任何結構。 例如，當噴塗板12之區域比基板小時，可控制噴嘴13的間 隔以均勻地應用蝕刻劑於基板1的整個表面之上，或者噴塗板12 可相對基板1的一側相互地移動一次或若干次以噴塗蝕刻劑，從 而均勻地姓刻墓板1。 12 1376765 請參考「第2C圖」，與基板1相比包含較小區域的若干嗔塗 板U被提供以沿基板！的-個方向移動或相互移動，以喷塗侧 劑至基板1。 此外喷塗板12可依π定角度或一定週期擺動以從喷嘴 π中喷魏_至更大的區域，因此均勻地噴塗铜劑於基板i 的整個表面之上。 本發明中’因為侧裝置自動運行，所以可改善基板侧之 換言之，因為載人蝴裝置或者触刻裝置中載出係由機 益人透過與整個生麟互相合作而自動完成，並㈣作業員人工 ，成。隨著基板被自動載人或載㈣職置，不僅可改善侧效 ==侧Μ (祕刻線）還可與之前的處理線或後續的處 圖」表示本發明之自動基賴刻裝置。如「第」 Γ機=基本峨置包含:卡盒2〇 ,用於接咖 器;:^ 錄奸W罐板以及，第二機 刻卡盒44。於接收第—機^人如取出的基板1並且將其傳細 ㈣基板丨 依昭 機态人30包3旋轉軸32和機械臂33。 哭I s疋5之=之雜，機械臂33上放置的基板1被置於第二機' 置部36之上。第二機器人35包含可垂直移動的 13 /65 延伸轴37，延伸轴37在垂直方向移動其端部形成的基板放置部 36之上放置的基板1<} 從第一機器人35中載入的基板！被固定於钱刻卡盒44上， 钱刻卡盒44固定於卡盒固定單元4〇之上。姓刻卡盒44之多個單 疋以預設定於卡盒固定單元4〇處，並且以卡盒蚊單元4〇 之端部處形成雜雜47為巾塌繞旋轉90度。即，依照卡盒 固定單元4G之旋轉，透過第—機狀如和第二機狀35沿地面 的水平方向IU跋蝴卡盒44處的基板丨_直於地面而放置。 垂直地面而放置的基板1透過傳送單元50被傳送至侧裝置 並被钱刻。 第5A圖」、「第5B圖」和「第冗圖」表示使用本發明之 基板侧裝置之基板姓刻方法。現在結合「第5A圖」、「第5B圖」 和「第5C圖」描述基板之蝕刻方法。 、首先’如.「第5A圖」所示，當其中接收有基板j的卡盒2〇 被傳送第機器人3〇之機械臂％到達卡盒2〇以從卡盒 中取出基板1。働j裝置巾接收的基板丨可為經過多道製程的基 ^、例如’基板1本身為玻璃基板’或者為經過切割製程之單元 區域之基板，其中_初始板被切縣特定親域，或者可為經 過處理具有特定形狀之基板。此外基板丨可為兩塊接合的母基 板或者透過切u接合基板而獲得的單元面板。此製程包含可處理 玻璃基板之母製程，j^無須限制於特定製程。 1376765 如「第5B圖」所示，依照第一機器人％ 第-機器人30從卡各2〇由说^ 故轉轴32之灰轉’ 皿20中取出的基板被 基板放置部36上。因為第 ㈣—機$人35之 中p 機 破放置以可在侧卡盒44 下移動，隨者第二機器人35降低，由第 器人35上的基板1被固她刻卡盒44上。 弟一機 ^刻卡盒44固定载入的基板卜並且傳送固定的基板！至姓 1 1 …、上蝕刻卡i 44自動地固定基板 列4人、土至麵刻單元内’從而使得整個钱刻線串聯。姓 拖44麟_於特定結構，只蝴卡盒可高糊定基板 1 ’則可以為任何結構。 第6A圖」和「第6B圖」所示係為姓刻裝置所採用的侧 ^ 44之實例。如「第6A圖」和「第6B圖」所示，钱刻卡盒 包含.卡盒主體45 ;複數個支禮架46，形成於卡盒主體衫之 上並且支撐載入的基板！；以及固定架48，裝設於卡盒主體45上 並固定載人的基板卜讀架46依照—定間隔而形成，支樓架如 的上表面_基板丨的下表面，從而支職人的基板卜這個例子 中’支標架46的數时選卡金主體.45之尺寸而變化，直中卡* 主體45之尺寸即為待钱刻之基板】之尺寸或重量。支樓架46 ; 形成於卡盒主體45之兩個相對的側面上，或者可形成於四個侧面 上。 支樓架46的寬度依照基板】的尺寸和重量或者支撐架杯的 15 1376765 即延伸至基板的長度對應於虛擬 目的時’不使用虛擬區域。 數目和支撐架46的長度而變化 H域的寬度’當基板丨用於特定

一固定架48固定姓刻卡盒44上載入的基板。如「第6A圖」所 不’固疋架48由具魏好雜並且很_材料組成此材料的例 :’’’平板,、>{從而固疋架48透過壓力向内移動。然而，本發明 之固疋架48並非限制於這樣的結構。圖示之結構係為本發明之固 定架48之例子’實際上固定架48可實縣各種形狀。 夕細疋架48形成於钱刻卡盒44 t。固定架招可形成於卡 盒主體45之_相_面處，射形成於卡盒主體45之四_ 面處，或者可對應支撐架46而形成。 口疋木48和支雜46形成於賴卡^中之相同位置以彼 此相對’或者可形成於不同的位置。尤其地，固定架48和支樓架 46交叉形成’讀用力至基板丨之上下表面之不同區域1為固 定架48和支撞架46交叉形成（或者形成鑛齒狀），在固定架48 和支撐架46的彼此接觸區域僅僅被應用一個方向的力，因此當基 板1垂直於地面而直立時，基板！和固定架48之間以及基板】和 支撐架46之間可產生狹小的間隙。當基板丨被姓刻時，餘刻劑滲 透基板1和固定架48之間的間隙以及基板！和支撐架46之間的 間隙’因此與固定架48和支撐_46接觸的基板i的特別區域可 被姓刻。 現在結合「第7A圖」、「第7B圖」、「第8A圖」和「第8β圖」 16 1376765 描述基板1载人包含固錢Μ和切架*之賴卡盒私中。「第 和「第8B圖」表示基板1從银刻卡盒44中载出。 載入基板1至姓刻卡盒44之過程中，如「第M圖」所示， 依照第-機II人30之旋轉，當基板】放置於第二機器人％之基 板放置部36 .上時，第二機狀35之延伸㈣下降1後隨著 延伸軸37下降，放置於基板放置部％上的基板丨也下降，並且 基板1的邊緣接觸於固定架48。 接下來，隨著第二機器人35之延伸軸37下降，放置於基板 放置部36上的基板]也下降，並續基板丨接觸_定架48向 内部移動，即由於基板1的重量向卡盒主體45移動。隨著固定架 48向卡盒主體45移動’基板i也保持與固定架48接觸的狀態向 下移動’然後如「第7B圖」所示’通過固定架48完全地放置於 支撐采46上。此打，因為基板丨的重量而施加至固定架祁之壓 力被除去，.固定架48由於彈性恢復其初始形狀，並且固定架48 的下。卩接觸於基板1的上表面，固定基板^。 月> 考弟8A圖」，當基板1從飯刻卡盒44中載出時，第二 機盗人的延伸軸37被舉起，以允許基板放置部％接觸於基板】 的下表面。接下來’延伸軸37繼續被舉起，以允許基板i向上移 動這個例子中，因為基板1的上表面固定接觸於固定架48，則 固疋架48 P遺著基板i向上移動而被播壓。然後，固定架48向卡 17 1376765 盒主趙4⑽，偷.1向増.，這·縮 與固定架48接觸為止。 极不再 如「第犯圖」所示，當基板1進—步向上移動時，趣i則 完全地從侧卡盒44中釋放，__奶依靠 初 始形狀。 心1·^、初 射trr ’咖定架48的收縮，基板1透過重力固定於姓 ^益4中，並且#_48_二機器人35之提升力而收 ㈣’基板！ <糊卡盒44中槪，因此基板！可載人侧卡* 44中以被固定，或者透過第：機器人％從糊卡盒財載出以 被釋放’而無須其他的操作。 「第9圖」表示本發明之蝕刻裝置所採用之蝕刻卡盒44之不. 同結構。 如「第9圖」所示，蝕刻卡盒44包含：卡盒主體45 ;複數個 支掉架46 ’形成於卡盒主體45中並且切其上載人的基板！；鐵 砸52 ’裝設於卡盒主體45處並邱定載人的基板！；以及鋪驅 動單元51，透過作業鐵箱.52而固定基板卜 支撐架46依照均勻的間隔形成於卡盒主體45之上並支撐基 板卜祕支禮架46的上表面接觸於基板丨的下表面。這個例子 中支樓架46的數目根據待_之基板i的尺寸或重量而變化。 此外，支料46可形成於卡盒主體45之兩個姉側面上或者可 形成四個側面上。 1376765 % 此外’支推架46 #寬度依照基板！的尺寸和重量或者支撐架 46的數目和支料46的長度畴化，即延伸至基板的長度對應於 虛擬區域的見度，當基板i驗特定目的時，不使用虛擬區域。 鐵箱52和支樓架46可形成於相同位置以彼此相對，或者位 於不同位置，例如位於彼此之而形成蚊結構或者鋪狀結 構。 鐵H 52可透過鐵箱驅動單元51而旋轉，從而載入及固定或 者載出及槪基板。這個例子巾，雖賴巾未麵，卡盒主體* 包含感應n於感賴人或載出絲丨域自_卡盒44，以 驅動鐵箍驅動單元51。 「'第10A圖」和「第應圖」所示係為「第9圖」之姓刻卡 盒44▲之局部放大圖。「第1〇A圖」表示基板丄載出細卡盒44 之狀態’ $ 10B圖」表示基板！載入钱刻卡盒44之狀態。現在 參考「第10A圖」和「第10B圖」描述使甩钱刻卡盒44固定基 板1之方法。’土. 如「第10A圖」所示，鐵箍驅動單元51安裝於卡盒主體45 之上表面，複數個連接器54形成於鐵箍驅動單元51之一側。鐵 砸52固定於連接器54處。固定插腳％裝設於鐵箍％之端部並 且口又於壞接器54處。鐵箍52巾提供可旋轉插腳Μ.，卡盒主體 45二中提供導引槽仍，可旋轉插腳版沿導引槽仍移動，從而 可旋轉插腳57a和導引槽57b固定於卡盒主n45中，這樣當可旋 19 丄）/076.5 轉插腳57a沿導引槽57b移動時，鐵箍52可以可旋轉插腳π為

中〜旋轉。換吕之’當鐵链52旋轉時，可旋轉插_5>^沿導 引槽57b移動’因此鐵S 52可順利地旋轉。 ° 兩個磁鐵58a和58b置於鐵箍52之-端部，另外還有四個磁 鐵59a、59b、59c和59d置於連接器54處，透過磁力與鐵箍52 之兩個磁鐵58a和58b接合。因為磁鐵置於鐵箍52和連接器％ 處’鐵捕52可透過磁鐵的磁力緊緊細定至連接器54 複數個鐵藉52形成於钱刻卡盒44處。鐵箍52可形成於卡盒 主體45之兩谢目賴面或者卡盒主體4S的四個_，或者可對 應支樓架46而形成。 ..」 請參考「第10A圖」，當基板1未載入至侧卡盒44之上時， 鐵砸52 A全平彳了卡盒主體45之—修卩纏驅鮮元51而放置。 k個例子中’鐵52透過鐵箱52之端部處形成的第—磁鐵撕 # 58b與連接器54之第二磁鐵说和例之間的磁力而固定。 請參考「第圖」，當第一機器人3〇從卡盒20取出的絲 1透過第二機器人35被載入侧卡盒44時，基板i之载入被卡盒 主體45處裝設的感測器所感測’同時鐵箍驅動單元μ開始移動 至另-側，即基板1所載人之卡盒主體45之區域之另—側。即， 賴驅動單元51 f縣移動至卡盒主體45之外側。雖朗中未表 示，用於導5随驅動料51之料單元例如料軌道可形成於 卡盒主體45處’細_鶴單元例如馬__箍驅動單元 20 1376765 ♦ 5卜例如，透過驅動單元例如馬達移動鐵馳動單元51。至於感 .測器’多種_的感測器均可使用。例如，透過使用穿透基板i 之光線的透射率之制可使絲學翻器，或者當基板丨被載入 卡盒主體45時也可使用用於感測負载之負载感測器。 。。當鐵箍驅動單元51移動時，連接器54也移動，因此與連接 器54連接的鐵箍52的端部也透過固定插腳％而移動。同時，可 旋轉插腳Μ沿卡盒主體45處形成的導引槽57b移動，而鐵箍52 可旋轉地固定於可旋轉插腳57a處，因此依照鐵箍驅動單元Μ之 移動，可旋轉插腳57a固定的鐵箱52之區域被固定而並非移動。 換言之，可旋轉插腳57a固定的鐵箍52之僅僅一個端部移動，同 時_52的另—端部以可旋轉插腳^為中心圍繞旋轉且沿導引 移動因此’ /又有被固定插腳55所固定的鐵箱52之端部 旋轉至基板1所载入之區域。旋轉的鐵箍52透過第一磁鐵58a和 58b與對應的第二磁鐵5%和59c之間的磁力被固定至連接器％， 同時保持其旋轉狀態。 —當钱刻完成時，操縱鐵脑動單元51，鋪52 _部（即， 固疋插腳所固.定的端部）移動，可旋轉插腳％再一次沿導引槽 5几移動’從而允許鐵箱52以可旋轉插腳57a為中心圍繞旋轉。 因此’=52完全平行於卡盒主體45而排列，以準傷載出基板^ 依照這種方式，透過感測基板之載入，憑藉碑轉鐵箍52，基. 板1可自動地定接合或脫離於細卡盒44。 21 1376765 請參考「第5B圖」，複數個基板！固定於姓刻卡盒44之上。 錢固定於_卡盒44之上的基板i透财二_人35而被固 疋於_卡盒44之上。此後，當第一機器人 基板1並將其傳送至第二機器人35時，義板0中取出 #基板1透過第二機器人35 声轉，並絲絲〗放置於卡翻定單元4q之第二位 刻卡盒44之上’固定架仙則固定基板。重複地 m而載入基板1於卡盒取單元4〇處提供的每一儀 44全=二「第冗圖」所示，當其上載有基板1之職 ^至卡盒固槪4G時，卡盒固定單元4〇以其-端 此編能土板 置成與地面垂直，基板1以 刻裝置，並且完細，其 代早7C 5〇的例子為導軌或傳送器。 第1圖」所示’钱刻線包含·· 並且喷魏刻劍存Μ 板’包含複數個喷嘴 以及μ用於供雜刻鼓喷塗板； 沿=:道，用於供賴刻劑儲存容器之糊至噴塗板。 内，從而蝕岁t^50傳达的卡盒固定單元40放置於_裝置之 圖：刻卡五44即基板1將被放置於喷塗板之間，如「第】 :二這:例子f，依照峨置之偷之位置，傳送的 卡皿固疋早7C 40可被旋轉。 22 第1圖」中，噴塗板的下部被連接，噴塗板之間的空間在 頂部處開放’但是並非限制於此，喷塗板的頂部可被連接，而喷 塗板之間的空間可在下部處開放。當喷塗板之間的空間在下部處 開放時’姓刻卡盒44之下部處放置的卡盒固定單元40則放置於 開口空間處且位於噴塗板之間。 / 1卡盒固定單S40輸人侧裝.置中並且基板丨被侧預設的 厚度％，基板1以與基板丨輸入的順序相反之順序從蝕刻裝置中 .輸出。即，當飯刻結束時，蝕刻裝置中放置的卡盒固定單元4〇被 輪出並且沿傳送單元5G返回其初始位置，第二機器人％將姓刻 卡盒44處固定的基板1取出。結合「第i〇a圖」和「第⑽圖」 描述的製程完成基板1之載出。 ^板1攸姓刻卡盒44中取出’裝設於第二機器人35之基板 置P 36之上’返回第_機器人3〇，然後接收於卡盒處。這 個例子中’從卡盒岐單元辦卸出的基板Μ序被卸出從卡 盒固定單元4G之下部處放置的基板1 _。 卡1 20再次接收的基板】即為被傳送以經歷重複製程之基板 1 ° 如上所述’本發财，t已經完成前—製程之基板1被傳送 恭時’基板1透過第-機器人30和第二機器人35自動地 =钱刻卡盒44，然後輸入钱刻裝置從而被侧。尤其地，本發 在基板1自動地被載入以待固定於卡盒固定單元4〇處固定 23 1376765 的侧卡盒44中並絲與地面垂直的方向輸磁職置之後，基 板1不僅被均勻地飯刻並且還迅速地被钱刻。 基板1之钱刻可在兩塊玻璃母基板接合的狀態下後者透過顯 不面板單7L而完成。即，兩塊玻璃母基板例如液晶顯示裝置或電 K顯示面板了在接合狀態被飯刻或者基板可透過接合面板單元而 被蝕刻。本發明中，蝕刻裝置可自動地姓刻前一生產線所傳送之 基板’因此細蝴裝置至顯示面板之朱產線，生產線可完全自 動化即、，’_!過刖一製程之基板自動地被輸入钱刻線，被姓刻， 然後被輸出，從而自動地傳送至前一生產線。隨著生產線自動作 業，可迅速地完成顯示面板之製造，並且極大地改善生產效率。 此外’基板1可透過玻璃母基板或者透過經過處理的基板被 蝕刻。即’玻璃製造期間製造的玻璃母基板被蝕刻為所需的重量 和厚度，並且被處理以用作平面顯示裝置例如液晶顯示裝置之基 板。通常’平面顯示裝置例如液晶顯示裝置包含兩塊接合的玻璃 基板’因此其強度比單塊玻璃基板的大。這樣的話，因為比使用 單塊玻璃基的例子可製造的更薄，所以玻璃基板的重量可大大 減少。此外，玻璃基板製造製程所製造的玻璃基板（即，包含未 經蝕刻之初始厚度）被傳送至平面顯示裝置生產線，然後被蝕刻， 因此可防止傳送期間基板之損壞。 如上所述，本脊明實施例之蝕刻裝置可應用至多種平面顯示 裝置生產線，例如液晶顯示裝置或者電漿顯示面板生產線，現在 24 1376765 描述液晶顯示裝置之生產製程之實例以簡單解釋。 「第11圖」所示係為一般液晶顯示裝置之結構《如「第u • 圖」所示’液晶顯示面板100包含：下基板103、上基板105，以 . 及下基板103和上基板105之間形成的液晶層107。下基板103 係為驅動元件陣列基板，雖然圖中未表示，複數個晝素形成於下 - 基板103之上，每一畫素包含驅動元件例如薄膜電晶體（thinfilm • 杜ansistor ; TFT)。上基板1〇5係為彩色濾光片基板，並且包含用 鲁 於實現真實色彩之彩色濾光片層。畫素電極和共同電極形成於下 基板103和上基板1〇5之上，用於配向液晶層1〇7之液晶分子之 配向膜被塗佈於其上。 下基板103和上基板1〇5透過黏附材料（黏附劑）1〇9而接合， 液晶層107形成於下基板1〇3和上基板1〇5之間。液晶分子透過 下基板103上形成的驅動元素被驅動，從而控制透射液晶層之光 線數量以顯示資訊。 φ • 液晶顯示裝置之生產製程可被劃分為驅動元件陣列基板製 . 程、彩色濾光月基板製程以及組立製程（cell.process)。其中，驅 動元件陣列基板製程用於形成驅動元件於下基板丨阳之上彩色 渡光片基板製程用於形成彩色渡光片於上基板1〇5之上。以下參 考「第12圖」描述液晶顯示裝置之製程。 「第12圖」所示之方法係為採用液晶滴入方法之液晶顯示裝 置生產‘程。液晶滴入方法之使用係由於下述原因。 25 1376765 習知技射，為了形成液晶層，係使驗晶浸透注入（邮麵 injection)方法。依職晶浸透注人方法，注人孔形成於液晶面板 處’液晶透過注人開口被注人以形成液日日日層。這個例子中，液晶 ^主入係透過壓力差而完成，通常真紐室内提供充滿液晶之容 液曰曰面板位於上部位置，液晶面板處形成的液晶開口允許接 觸液晶。然後’由於液晶面板和真空腔室之間的壓力差，液晶被 注入液晶面板内，.從而形成液晶層。 然而，液晶透過液晶面板之注入開口被注入以在真空腔室中 形成液晶層，此種液晶浸透注入方法存在以下問題。 第 加長了v主入液晶至液晶面板内所需的時間。通常，液 晶面板之驅動^件陣列基板和彭色遽光片基板之間的間隙非常 窄’即’幾倾米，目此每單辦間健非常少晶被注入液 曰B面板之内。例如’製造大規格的液晶面板時，實際上 小時到幾天時_完全注人液晶，由_人液晶花費較長時間導 致液晶面板製造製程被加長，從而降低生產效率。 第二，液晶注入方法中，液晶消耗率比較高。容器内填充的 液aa中貫際上僅僅少量的液晶被注入液晶面板。同時，當液晶 暴路於工氣或者特別氣體時，液晶與氣體產生反應從而品質降 低，當與液晶面板接觸時由於引入雜質也會導致品質降低。因此，' 甚至當容器中充碑的液晶被注入複數片液晶面板時，注入後殘留 的液晶應該被*棄。丢棄價格高昂的液晶導致液晶碰的生產成 26 1376765 本之增加。 液晶滴入方法並非透過面板内部和外部之間的壓力差而注入 液晶，而;I：直接地滴入並配液晶於基板之上，並且透過面板之 附加壓力均勻地分散至面板的整個表面之上。依照液晶滴入方 法，液晶可在短時間内被直接地滴於基板之上，可迅速地形成大 規格液晶顯示裝置之液晶層。此外，因為僅僅必要數量的液晶被 直接地滴於基板之上，所以液晶的消耗量可被最小化，從而極大 地降低液晶顯示裝置之製造成本。 請參考「第12圖」’驅動元件陣列製程中，複數條閘極線和 複數條資料線形成於下基板1〇3之上以定義畫素區域，驅動元件 之薄膜電晶體被形成以連接閘極線和資料線（§1〇1)。此外，驅動 元件陣列製程中，晝素電極還被形成以連接薄膜電晶體，並且當 訊说應用至薄膜電晶體時驅動液晶層。 彩色濾光片製程中，用於實現彩色之紅色、綠色和藍色彩色 渡光片層和共同電極形成於上基板105之上（S104)。 接下來，配向膜塗佈於形成有薄膜電晶體之下基板103和形 成有衫色濾光片層之上基板105之上，配向膜被摩擦從而為下基 板103和上紐1G5之間形成的液晶層之液晶分子提供固定力 (anchoring force)或者表面固定力.（即，預傾角和配向方向） (S102 ' S105)。此後’液晶被滴入下基板1〇3之液晶面板區域， 並且黏附劑被塗佈於上基板之外側邊緣部之上（sl〇3、sl〇6)。 27 1376765 此後’在下基板103和上基板105對準的狀態下，應用壓力 以透過黏附材料(黏附劑)1〇9接合下基板103和上基板1〇5，同時 •應用壓力以允許滴入的液晶層1〇7均勻滴分散於母基板單元中的 接合基板的整個表面之上（Sl〇7)。 然後，噴塗蝕刻劑以蝕刻接合基板之一個表面或者兩個表面 (S108)。同時，複數個面板區域形成於大規格之接合母基板之 上，驅動元件，薄膜電晶體和彩色濾光片層形成於每一面板區域 處，因此為了生產單個的液晶面板，接合的玻璃基板被切割並處 理從而被劃分為單元面板（S108、sl〇9)。每一單元面板被檢查以 製造液晶顯示裝置（Sll〇)。 如上所述，液晶顯示裝置透過薄膜電晶體陣列製程、彩色濾 光片製程和組立製程而完成。每一製程完成於各自的製程線處。 即，在細電晶體陣列製程線和彩色濾以製程線處，製造薄膜 電晶體基板和耗遽光片基板，滴入液晶和塗佈黏附劑，而在組 立製私線處’舰電晶縣板轉色航絲板健合、钮刻且 處理為液晶面板。此外’薄膜電晶體基·、彩色濾光片基板線 和組立製程線分別包含複數條，而並非單條製程線。 組立乂程中包含的基板的钕刻線包含「第4圖」 裝置。如「第4圖」所示，糊裝置自動地接收前一 圖」所示之蝕刻 前一製程已經處

「第13A圖」、「第13B圖」、「第13C圖 」、「第13D圖」和「第 28 1376765 13E圖」所示係為採用液㈣入方法製造液晶顯示裝置之方法以 製造液晶顯示裝置之生產線之方塊圖。「第ΠΑ圖」和「第13B 圖」分別為薄膜電晶體線和彩色濾光片線部，「第13C圖」、「第 13D圖」和「第13E圖」表示組立製程線。 首先，如「第13A圖」所示，薄膜電晶體線形成薄膜電晶體， • 具有薄膜電晶體之下基板103經歷配向膜形成線、摩擦線和液晶 • 滴入線。如圖所示，配向膜形成線中，其上形成有薄膜電晶體之 籲 下基板103被清洗’配向膜疊加於其上，然後在較高的溫度加熱。 摩擦線處，下基板1〇3上形成的配向膜被摩擦以形成固定力。液 晶滴入線中，其上形成有配向膜的下基板1〇3被清洗，液晶滴於 其上。 如「第13B圖」所示，在配向膜形成線和摩擦線處’具有固 定力之配向膜形成於上基板105之上，其中在彩色濾光片線中彩 色濾光片層已經形成於其上，並且在黏附劑塗佈線處，用於接合 癱. W 下基板103和上基板105之黏附劑被塗佈於上基板105之外部邊 緣上。 — 通常，配向膜形成線和摩擦線、摩擦線和滴入線，以及摩擦 線和黏附劑塗佈線並非連續的線。雖然圖中未;表示，但是「第13A 圖」和「第13B圖」所示之各自的製程線之間裝設有一種工具， 例如機器人等裝置，用於移動下基板1〇3和上基板105。 「、第13A圖」所示之配向膜形成線和滴入線以及「第13B圖」 29 1376765 所示之配向卿親和_雜佈線係為_電日日日體線和彩色遽 光片線。理由是因為薄膜電晶體形成製程、配向膜形成和摩擦= 程以及黏附劑塗佈製程完成於上基板1〇5之上，獨立地分別執行 於下基板1〇3和上基板1〇5之上，後續製程則一同完成於下基板 103和上基板105之上。 如「第13C圖」所示’薄膜電晶體基板和彩色遽光片基板上， 配向膜被職，液_被獻錢細繼塗佈於_電晶體線和 彩色遽光片線處’ _電晶體基板和彩色滤光片基板透過第一和 第二傳送單元被輸入接合線，在薄膜電晶體基板和彩色濾光片基 板被對準的狀態下，應用壓力至薄膜電晶體基板和彩色遽光片基 板以實現接合。當應職力時，薄膜電晶縣板滴人的液晶在基 板的整個表面上分散⑽成均勾·晶層。同時，麵紫外線的 熱夏至對準的基板，從而固化黏附劑以接合基板。 如「第13D圖」所示，已經通過接合線的基板（接合母基板） 被輸入至餘刻線’基板的兩侧或一側被蝕刻預定的厚度並且被清 洗。這個例子中，如「第4圖」所示，蝕刻線處，第三傳送單元 所傳送的卡盒中由初始板單元接收的接合基板透過第一機器人30 和第二機器人35被自動地固定於蝕刻卡盒44處，然後被蝕刻。 姓刻之後’經過蝕刻的基板由初始板單元依照相反的順序被輸 出，並且在清洗製程中被清洗。 此後’钱刻線處被蝕刻的接合基板被輸入至切割.線，被切割 30 1376765 以劃分為複數個單元面板。經過劃分的單元面板被輸入打磨線並 且被打磨，然後被清洗。經過打磨的單元面板被輸入至檢查線並 且被檢查，從而完成液晶面板。 如圖所示，至於採用液晶滴入方法之液晶顯示裝置之生產 線’基板經歷配向膜形成線、摩擦線、液晶滴入線、黏附塗佈線、 接合線、餘刻線、切割線以及打磨線，從而形成液晶面板。此時， 透過使用傳送單元’基板自動地被傳送於各自線之間，傳送單元 的例子為自動裝載架（aut0_feed carriage )，傳送此卡盒以用-於接收 基板。透過使用載入和載出單元例如機器人自動地完成載入或載 出基板至或自各自線。 本發明之液晶顯示裝置製造方法中，接合玻璃母基板之一侧 或兩側被蝕刻預定量，因此可極大地減少製造的液晶面板之重 量。此外，因為液晶面板之姓刻線與前一生產線和後續生產線整 合並且自動完成，因此可迅速地触刻液晶面板。 同時’本發明之液晶顯示裝置產生線可安裝為多條線路，並 且還可安裝為單條線路即串聯。就是說，分別經過薄膜電晶體陣 列製程和彩色濾光片製程之已經形成薄膜電晶體和彩色濾光片於 其上的薄膜電晶體基板和彩色濾光片基板之上，配向膜被塗佈及 摩擦於相同的生產線以提供固定力至配向膜。此外，配向膜之形 成、液晶之滴入和黏附劑之塗佈同時完成於薄膜電晶體基板和移 色滤光片基板之上。 31 外’相同的線處，初始板單元之基板被接合、以 理為星- - …面板，然後檢查單元面板是否存在缺陷，從而^成液晶 面板。 苐Η圖」所示係為採用液晶滴人方法完成液晶顯示裝置製 造方法之串聯形式之生產線。 「》 弟14圖」所示，液晶滴入方法之液晶顯示裝置生產線包 3配線膜形成線、摩擦線、液晶滴入線、黏附塗佈線、接合線、 蚀到線、處理線和檢查線’作為一個整體以形成完全的串聯，當 基板通過整個串聯線，液晶面板被完成。 透過薄膜電晶體製程和彩色濾光片製程，薄膜電晶體和彩色 滤光片已經分別地形成於薄膜電晶體基板和彩色濾光片基板之 上’此薄膜電晶體基板和彩色濾光片基板被輸入配向膜形成線以 形成配向膜。這個例子中’薄膜電晶體基板和彩色濾光片基板其 中任一可首先被輸入，例如假設薄膜電晶體基板被輸入。 輸入第一線之配向膜形成線之基板被清洗，配向膜被塗佈於 其上’然後被加熱。當薄膜電晶體基板上的配向膜形成製程結束 時’薄膜電晶體基板被輸入緩衝器線，同時彩色濾光片基板被輸 入配尚膜形成線。 緩衝器線係用於间步薄膜電晶體基板和彩'色濾光片基板。本 發明之生產線中，薄膜電晶體基板和彩色濾光片基板交替地輸入 至整合生產線’其上完成每一製程，薄膜電晶體基板之製程被結 束的時間和桃肤片基板之製滅結束的。此外，兩 個鄰接製程⑷所花費的時間也不同，導致薄膜電晶體基板和 ^色據光片基板之間由於時間差而出現衝突。因此，透過在緩衝 器線儲存完鮮_程的_電晶縣板和彩色私絲板一定 的時間週期，薄膜電晶體基板和彩色觀片基板可被同步。 曰例如’當薄膜電晶體基板之配向膜之形成製程結束時，薄膜 電晶體基板被輸人摩擦線，而彩色滤光片基板被輸人配向膜形成 ，。這個例子―’因為摩擦線的製程時間和配向膜輸人線的製程 時間之間出現時間差，所以已經完成配向膜形成製程的薄膜電晶 體基板於緩衝器線中保留一定的時間週期。 如上所述’已减成配向卿賴程的_電晶縣板於緩 衝器線中保留-定的時間週期，然後被輸入摩擦線以提供固定力 至配向膜，而彩色㈣絲板被輸人配向卿成製程，絲被輸 入摩擦線以提供固定力至配向膜。 摩擦製歡後，其他製齡職完餘_電晶體基板和彩 色濾光片基板之上。即，滴入製程完成於薄膜電晶體基板之上， 而黏附即塗佈製程完成於彩色遽光片基板之上。因此，已經經過 摩擦線之_電晶縣板腦人滴人製程，其巾液晶滴於其上， 然後這樣通過黏_塗佈線，即其上木完雜何製程。同時，在 薄膜電晶體基板之滴入製程期間，彩色滤光片基板等待於摩擦線 之後部階段之猶H處，當已經完人製程之触電晶體基板 33 1376765 等待於黏附劑塗佈線之後部階段之緩衝器線處時，彩色滤光片基 板被輸入黏附劑塗饰線並且黏附劑被塗佈於基板之外部邊緣之 ·. 實際上，本發明_改變滴入線和黏附劑塗佈線之順序更加可 取。理由是因為，當首先輸入薄膜電晶體基板時，雖然已經完成 • 摩擦製程之薄膜電晶體基板被輪入至滴入線，就這樣通過黏附劑 - 塗佈線，其上完成滴入製程，但是已經完成摩擦製程之彩色濾光 • 片基板被輸入黏附劑塗佈線，並且其上可完成黏附劑塗佈製程。 換5之’當黏附劑塗佈線處於滴入線至前部階段時，薄膜電晶體 基板之滴入線和彩色濾、光片基板之黏附劑塗佈纽程可在一定時間 週期期制時完成，所以如此放置生產線可更加快速地完成生產 製程。 此外，本發明中，黏附劑可塗佈於薄膜電晶體基板之上，液 晶可滴人至彩色濾光片基板。.這個例子中，僅僅輸人滴入線和黏 鲁附劑塗佈線及實際製程順序之基板包含相同的類型。 帛合的龍電晶體基板和彩找光#基板在侧線被韻刻預 定的厚度。這個例子中，爛線包含··钱刻卡盒，透過初始板單 元用於固定接合·膜電晶體基板和彩隨光片基板；以及卡盒 固定Itl ’用於m定糊卡盒並且被輸人至侧裝置。當接合的 基板透過初始板單元被載入餘刻卡盒時，此些基板被載入細裝 置内，5藉重力透翻定架處於自動地被岐狀態或者依照感測 34 器之偵測透過賴之作業處於固錄態，被侧織依照機器人 之提升力自動地從固定架中被釋放或者透過釋放鐵箍而被釋放。 侧線實現前-線（即，液晶注入線）和後續線（檢查線） 之串聯’因此，透過初始板單元餘傳送接合基板之卡盒並非如 第4圖」所示係為必須的。即載入基板至蝕刻線的過程中，當 月'J 一線處理的基板透過傳送單元例如傳送器自動地被傳送時此 些基板透過機器人被輸入蝕刻裝置，在載入基板的過程中，已經 完成蝕刻的接合基板透過初始板單元由機器人從蝕刻裝置中輸 出，然後使用傳送單元例如傳送器被傳送至後續線。 換言之，本發明中，當前一線處理的接合基板順序地被傳送 至第一機器人時，第一機器人30順序地傳送輸入基板至第二機器 人35，第二機器人35載入的基板固定於钮刻卡盒料處，安裝蝕 刻卡盒44之卡盒固定單元4〇被輸入蝕刻裝置以完成蝕刻。 當蝕刻完成時，基板依照與:輸入蝕刻線之順序相反之順序從 蝕刻線中輸出，然後被傳送至後續線，即處理線。這個例子中， 從前一線至蝕刻線或者從蝕刻線至後續線之基板傳送係透過傳送 單元例如傳送器而完成。 輸入處理線之接合基板透過面板單元被處理，經過處理的單 元面板於檢查線處被檢查’因此完成液晶面板。 如上所述，本發明中，薄膜電晶體基板和彩色濾光片基板被 輸入整合的串聯生產線以完成液晶面板。因為製程透過整合的單 1376765 一線而完成，生產線的數目可減少，從而降低生產成本。此外， 因為線之間不需要用於傳送基板或液晶面板至造價高昂的自動傳 送單元，所以更加降低了液晶顯示裝置之生產成本，並且也可極 、 大地縮短製造時間。 以上描述令已經有限地描述了液晶顯示裝置之結構，但是並 • 非限制於此。本發明也可應用於液晶顯示裝置之任意結構。此外， 本發明並非限制於特定結構之侧，也可用於姓刻玻璃母基板、 鲁 接合的玻璃母基板、經過處理的玻璃基板和接合的單元面板。 此外，本發明可應用於多種平面顯示裝置之製造方法，平面 顯示裝置之例子為電漿顯示面板、場發射顯示裝置、真❹光顯 示裝置以及電激發光裝置等。 目如所述，本發明之基板和液晶面板被姓刻以具有預設厚 度，可極大地減少液晶顯示裝置之重量。 鲁’ 此外，因為基板和和液晶面板之蝕刻係自動地完成於生產線 上，所以可迅速地蝕刻基板和和液晶面板。 ， 本發明以若干形式被具體化，但是並未脫離本發明之精神和 . 基本特徵’職紐解的是除鱗職明之外，.上述實施例並非 限f!l於前述之任何崎’因此任够麟本發明主旨要點之變化 與修飾均應屬於本㈣之專利保護範圍之内，關於本發明所界定 之保護範圍請參照所附之申請專利範圍。 【圖式簡單說明】 36 1376765 第】圖麻為本發明之基她刻裝置之基本結構示意圓； 第2A圖至第2C圖所不分別為本發明之基板钱刻裝置之透視 圓， 第3圖所示為第2A圖所示之基祕刻裝置所侧之基板上之 蝕刻溶液噴塗區域； 第4圖所示為本發明之基板钱刻裝置； 第5A ®至第5C圖所示分別.為使用本發明之基板侧裝置之 基板钱刻方法； 第6A圖所不為本發明之基板钱刻裳置之侧卡盒之透視圖； 第6Β圖所不為本發明之基板侧裝置之钱刻卡盒之剖視圖； 第7Α圖和第、7Β圖所示為載入基板至蝕刻卡盒之上； 第8Α圖和第8Β圖所示為從蝕刻卡盒中載出基板； 第9圖所不為本發明之基板姓刻裝置之蝕刻卡盒之不同結構 之透視圖； 第10Α圖和帛10Β圖所示為第9圖之钱刻卡盒之局部放大 圖，其中第1GA圖表示基板<未載人狀n，而s⑽圖表示基板 之輿入狀態； 、 第11圖所示為一般液晶顯示裝置之結構； 第12圖所示為本發明之液晶顯示裝置之製造方法之流程圖； 第13Α圖和第13Ε圖所不為依照.第12圖所示之液晶顯示裝置 之製造方法以製造液晶顯示裝置之生產線之方塊圖；以及 37 1376765 第14圖所示為依照第12圖所示之液晶顯示裝置之製造方法 以製造液晶顯示裝置之生產線之整合方塊圖。 【主要組件符號說明】

1 基板 10 蝕刻裝置 12 喷塗板 13 喷嘴. 15 供應管道 17 钮刻劑儲存容器 20 卡盒 30 第一機器人 32 旋轉軸 33 機械臂 35 第二機器人 36 基板放置部 37 延伸轴 40 ' ' 卡盒固定單元 44 钱刻卡盒 45 卡盒主體. 46 支撐架 47 旋轉軸 38

Claims (1)

1376765 I 101年6月29曰替換頁, 十、申請專利範圍：ι〇Γ 6. 29-一一| .1. 一種蝕刻裝置，包含：1年月日修正替換胃 一第一機器人，用於從一·^盒中取出一第一基板； 一第二機器人，允許該第-基板裝設於其上並且上下移 動； 一侧卡盒，用於固賴第二機器人載人的該第一基板； 一卡盒固定單元，用於固定至少一個蝕刻卡盒並且旋轉一 預設角度以允許該第一基板垂直於地面而放置；以及 -姓刻單元，舰侧透過該卡姻定單元㈣直於地面 而放置的該第一基板。 2.如申請專利範圍第1項所述之姓刻裝置，更包含： 複數個支撐架’形成於該蝕刻卡盒之至少兩個側面並且支 撐ό玄第一機器人載入之該第一基板；以及 複數個固定架，形成於該蝕刻卡盒之至少兩個側面並且固 定該載入第一基板。 3’如申叫專利範圍第2項所述之姓刻裝置，其中該固定架透過該 第一機态人降低的該第一基板之重力而收縮，從而允許該第一 •基板從中通過，然後恢復以固定該第一基板。 4. 如申明專利範圍第3項所述之钕刻裳置，其中該固定架包含一 板式簧片。 5. 如申味專利範圍第2項所述之餘刻裝置，其中該固定架和該支 撑架形成於互相對應的位置。 . --~ 日修正替換頁 101年6月29曰替換頁 6 ‘ --- i ♦如申請專利範圍第5項所述之蝕刻裝置，其中該固定架和該支 偉架形成於互相交又的位置。 .如申請專利範圍第1項所述之蝕刻裝置，更包含： 複數個支撑架，形成於該姓刻卡盒之至少兩個側面並且支 撐由該第二機器人所載入之該第一基板； 複數個鐵箍，形成於該蝕刻卡盒之至少兩個側面並且固定 該載入第一基板；以及 一鐵箍驅動單元，用於旋轉該鐵箍以固定該第一基板。 8·如申請專利範圍第7項所述之蝕刻裝置，更包含： 連接器，女裝於該鐵箍驅動單元處並且固定該鐵箍。 9.如申請專利範圍第7項所述之蝕刻裝置，更包含： 元一固定插腳，用於固定該鐵箍之一個端部至該鐵箍驅動單 一 W轉插腳，可旋轉地固定該顯至該钱刻卡各.以及 腳沿形成於該_卡盒之上，並且允許^旋轉插 10. 如申„月專利範圍第9項所述之姓刻裝置，更包含. 複數個磁鐵，用芬固定該鐵箍。 11. 如申請專·，項所述之_裝置 元移動時，嗲Ji]佘许r田該鐵榧驅動早 翻疋插崎_的該鋪之 旋轉插腳沿該導引槽移動，並且該鐵箍之另1孙動’該可 另一鸲部以該可旋轉 41 1376765 你Ύ日修正替換頁 月29曰替換頁' 插腳為中心圍繞旋轉。 12. 如申請專利範圍第u項所述之姓刻裝置，其中該鐵箍驅動單 元沿一方向移動，變得遠離該第一基板之載入之一區域。 13. 如申請專利範圍第1項所述之姓刻裝置，其中該第二機器人包 含： 一基板裝設部，用於允許該第一基板被裝設於其上；以及 上下移動之一延伸轴。 14. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻裝置，其中該蝕刻單元包 含： 複數個噴塗板，垂直於地面而放置，其中至少一個側面鄰 接於°玄第一基板’並且其中填充一飯刻劑；以及 複數個喷嘴，，成於該噴塗板之上並且喷塗該蝕刻劑。 15. 如申請專利範圍第14項所述之蝴裝置，其中形成於該噴塗 板之上的該噴嘴數目取決於該第一基板之該區域以及該第一 基板和該噴塗板之間的間隔。 16. 如申請專利範圍第14項所述之蝴裝置，其中該噴塗板之該 區域等於或大於該第一基板之該區域。 17. 如申請專利範圍第14項所述之細裝置，其中該噴塗^之該 區域小於該第一基板之該區域。 如申。月專利範圍第1*7項所述之姓刻裝置，其中該嗜塗板喷塗 該钱刻劑至該[絲之上同時沿該第-基板之—個方向移 42 ^/0/65 動 \f 1#·/日修正替換頁 Ml年6月29日替換頁 19.

:申請專種圍第17獅述之侧裝置，其中該複數個嗔塗 板面對該第—基板之—個表面並且喷塗該細丨劑於該第一基 板之上 2〇.如申請專概_ 19項所狀侧裝置，其中該複數個喷塗 板嘴塗該侧劑於該第-基板之上同時沿該第—基板之一個 方向移動。 21·如申請專利關第14摘狀_裝置，其巾該等嗔塗板依 照預設週期擺動。 22. 如申請專概圍第丨項所述之齡m置，其中該第—基板係為 一玻璃母基板。 23. 如申請專利翻第丨項所述之働以置，射該第—基板係為 一切割玻璃基板。 24. 如申請專纖圍第丨項所述之勤以置，射該第-基板接合 玻璃母基板。 25. 如申請專利範圍第i項所述之钱難置，其中該第一基板係為 一經過接合之單元顯示面板。 m 26. —種钱刻線，包含： -卡盒’⑽魏已經完之-絲，並且傳 送該基板； -第-機ϋ人，從該卡対取出該基板； 43 1376765

卜胥9日修正替換頁 101年6月29曰替換頁- 一第二機器人，用於接收來自該第一機器人之該基板，並 且上下移動其上裝設的該基板； 一姓刻卡盒，包含用於支撐該基板之一支撐架和用於固定 該基板之一固定架，並且固定載入自該第二機器之該基板； 一卡盒固定單元，用於固定至少一或多個蝕刻卡盒並且旋 轉一預定角度以允許該基板垂直於地面而放置；以及 一蝕刻裝置，用於蝕刻透過該卡盒固定單元而垂直放置之 該基板。 27.如申請專利範圍第26項所述之蝕刻線，其中該固定單元係為 一固定架，該固定架透過該機器人降低的該基板之重力而收縮 以允許該基板從中通過，然後恢復以固定該基板。 28·如申叫專利範圍第％項所述之姓刻線，其中該固定單元包含. 複數個鐵箍，形成於該蝕刻卡盒之至少兩侧並且固定該載 入基板；以及 一鐵箍驅動單元，用於旋轉該鐵箍以固定該基板。 29·如申請專利範圍第28項所述之钱刻線，更包含： 一連•接器U㈣鋪驅動單元處並朋定該鐵猶。 30.如申請專利範圍第28項所述之_線，其中該固定單元包含. —一固雜腳’用於固定該鐵箍之—個端部至該難驅:單 元； 一可旋轉插腳，可旋轉地固^該鐵箍至該_卡盒；以及 44 1376765 d铒分_____—__ W·年月曰修正替換頁 丨101年6月 —導引槽’形&該蝕安厂^金之上並且允許該可旋轉插腳 沿其移動。 31. 如申請專利範圍第3〇項所述之蝕刻線，更包含： 複數個磁鐵，用於固定該鐵箍。 32. 如申請專利範圍第26項所述之蝕刻線，其中該第一機器人包 含： 一機械臂，用於從該卡盒中取出該基板；以及 一旋轉軸’用於傳送該取出的基板至該第二機器人。 33. 如申請專利範圍第26項所述之餘刻線，其中該第二機器人包 含： 一基板裝設部’用於允許該基板被裝設於其上；以及 上下移動之一延伸袖。 34. 如申请專利範圍第％項所述之姓刻線，其中該钱刻裝置包含： 複數個喷塗板，垂直於地面而放置，至少其中一個表面鄰 接於該基板’並且其中充滿一姓刻劑；以及 複數個喷嘴形成於該噴塗板之上並且噴塗該蝕刻劑於該 基板之上。 35. 如申請專利範圍第34項所述之蝕刻線，其早該基板置於兩塊 鄰接的噴塗板之間。 36. —種液晶顯示裝置之生產線，包含·· ^專联電晶體線，接收一弟一基板並且形成薄膜電晶體； 45 ^76765 101年6月29曰替換頁- 1U.<·月a修正雜頁 —彩色渡光片線，接收一'第二基板並且形成彩色渡光片 jFr? · 增， —滴入線’滴入液晶於該第一基板之上； —接合線’接合該第一基板和該第二基板以形成一液晶 層； 一蝕刻線’蝕刻該接合的第一基板和第二基板； 一·^盒，用於接收於該接合線處接合並且透過一傳送單元 傳送之該第一和第二基板； —第一機器人，用於從該卡盒中取出該接合的第一和第二 基板；以及 —第二機器人，用於接收來自該第一機器人之該接合的第 一和第二基板以裝設於其上並且上下移動； 其中s亥薄膜電晶體線、該彩色濾光片線、該接合線和該钱 刻線之間提供一傳送單元’用於傳送該完成製程之基板至一後 續製程。 37. 如申請專利範圍第％項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該接合基板包含： 一接合線，透過一黏附劑接合該第一和第二基板以形成該 液晶層；以及 —固化線，固化該黏附劑。 38. 如申請專利範圍第36項所述之液晶顯示裝置之生產線，更包 46 1376765 含： ^-- 年月曰修正替換頁 101年6月29日替換頁 一第一配向膜形成線’接收該第一基板並且用其上形成的 一固定力形成一第一配向膜；以及 一第二配向膜形成線，接收該第二基板並且用其上形成的 一固定力形成一第二配向膜。 39.如申請專利範圍第37項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該第二配向膜形成線包含一黏附劑塗佈線，塗佈該點附劑於該 第二基板之上。 40.如申請專利範圍第36項所述之液晶顯示裝置之生產線，更包 含： 一切割線’切割該經過蝕刻之基板以形成一單元面板。 41. 如申晴專利範圍第36項所述之液晶顯示裝置之生產線，更包 含： 一檢查線’檢查具有該液晶層之該單元面板。 42, 如申請專利範圍第36項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該钱刻線包含： 一钱·刻卡盒，包含用於支撐該接合的第一和第二基板之一 支樓架以及—基板111定單元，並且©紐過該第二機器人載入 的該第一和第二基板； 一卡盒固定單元，用於固定至少一或多個蝕刻卡盒並且旋 轉一預設角度以允許一單元面板垂直於地面二放置；以及 47 1376765 .· 曰修正替換; 「101年6 一蝕刻裝置，用於蝕刻透過該卡盒固定單元而垂直於地面 放置之該第一和第二基板。 43_如申請專利範圍第42項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該固定單元係為-固定架，該固定架透過該機器人所降低的該 基板之重力而收縮以允許該基板從+通過，然後恢復以固定該 基板。 44. 如申請專利範圍第42項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該固定單元包含： 複數個鐵箱，形成於祕刻卡盒之至少兩側並且固定該載 入基板；以及 一鐵箍驅動單元，用於旋轉該鐵箍以固定該基板。 45. 如申請專利範圍第44項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該固定單元包含： 一固定插腳，用於固定該鐵箍之—個端部至該鐵箱驅動單 元； 一可旋轉插腳’可旋轉地固定該_至該侧卡盒；以及 可旋轉插腳 一導引槽，形成於該蝕刻卡盒之上並且允許該. 沿其移動。 之生產線，其中 46.如申請專利範圍第42項所述之液晶顯示裝置 該第一機器人包含： 和第二基板；以及 機械臂，用於從該卡盒中取出該第一 48 1376765 * 一旋轉轴 器人。

-- 月日修正替换頁 ----- * 9 101年6月29曰替換頁 用於傳送該取出的第—和第二基板至該第二機 47.如申請專利範’ 42項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該第二機器人包含： 一基板裝設部，驗允許該第一和第二基板被裝設於其 上；以及 上下移動之一延伸軸。 狀如申請專利範圍第C項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該姓刻裝置包含： 複數個喷塗板，垂直於地面而放置，至少其中一個表面鄰 接於該接合的第一和第二基板，並且其中充滿一蝕刻劑；以及 複數個喷嘴’形成於該喷塗板之上並且喷塗該钱刻劑於該 接合的第一和第二基板之上。 49· 一種液晶顯示裝置之生產線，包含： 一液晶滴入線’接收一第一基板並且滴入液晶於該第一基 板之上； 一黏附劑塗佈線’接收一第二基板並且塗佈一黏附劑； 一接合線，接收並接合該第一和第二基板； 一蝕刻線，蝕刻該接合的第一和第二基板； 一·^盒，用於接收於該接合線處接合並且透過一傳送單元 傳送之該第一和第二基板； 49 1376765

-第-機ϋ人，祕從該卡盒巾取出該接合的第_和 基板；以及 101年6月29日替換貧 第 -第二機器人，用於接收來自該第—機器人之該接合的第 一和第二基板以裝設於其上並且上下移動， 其中該液晶滴入線、該黏附劑塗佈'線、該接合線和該钱刻 線被整合。 50.如申請專利範圍第49項所述之液晶顯示裝置之生產線，更包 含： 一配向膜形成線，交替地接收其上滴有該液晶之該第—基 板和其上塗佈有該黏附劑之該第二基板，並且形成其上具有一 固定力之一配向膜。 51. 如申請專利範圍第5〇項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該配向膜形成線更包含： 一配向膜塗佈線，塗佈該配向膜於交替地輸入之該第—和 第二基板之上； 一加熱線’用於加熱該塗佈之配向膜；以及 一摩擦線，摩擦該經過加熱之配向膜以判定一配向方向。 罐 52. 如申請專利範圍第49項所述之液晶顯示裝置之生產線，更包 含： 一處理線，接收該接合的第一和第二基板’並且劃分該接 合的第一和第二基板為複數個面板單元。 50 1376765 9t 曰修正替換頁 101年6月29日替換頁

53.如申請專利範圍第49項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該第一基板係為之上形成有薄膜電晶體之一薄膜電晶體基 板’該第二基板係為之上形成有彩色濾光片層之一彩色濾光片 基板。 54. 如申請專利範圍第49項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 各線之間至少裝設一緩衝器線以同步該第一和第二基板。 55. 如申請專利範圍第49項所述之液晶顯示裝置之生產線，更包 含： 一檢查線，檢查該經過劃分之單元面板。 56. 如申請專利範圍第49項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該钱刻線包含： 一蝕刻卡盒，包含用於支撐該接合的第一和第二基板之一 支撐架以及一基板固定單元’並且固定由該第二機器人載入的 該第一和第二基板； -卡盒固定單元，用於g]定至少—或多個_卡盒並且旋 轉一預設角度以允許該接合的第—和第二基板垂直於地面二 放置；以及 -姓刻裝置，用於_透職卡盒岭單元而垂直於地面 放置之該第一和第二基板。 57. 如申請專利範圍第56項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該固定單元係為-固定架，該固定架透過該機器人所降低的該 51 1376765 ^-- 101年6月29日替換瓦 曰修正替換頁 基板之重力而收縮以允許該基板從中通過，然後恢復以固定該 基板。 58.如申請專利範圍第56項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該固定單元包含： 複數個鐵箱，形成於該姓刻卡盒之至少兩侧並且固定該載 入基板，以及 一鐵箍驅動單元，用於旋轉該鐵箍以固定該基板。 说如申請專利範圍第56項所述之液晶顯示裝置=產線，其中 該固定單元包含： …一固定插腳’用於固定該鐵箍之一個端部至該鐵a驅動單 7〇， 一可旋轉插腳，可旋轉地固定該賴至該蝴卡盒；以及 -且允許該可旋轉插腳 一導引槽’形成於該钱刻卡盒之上並 沿其移動。 60.如申請專利範圍第56 、斤述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該第一機器人包含： 器人 一機械f ’用於從該卡対取出辟-和第二基板；以及 旋^轴用於傳送該取出的第一和第二基板至該第二機 晶顯示裝置之生產線，其中 6L如申請專利細第％項所述之液 該第二機器人包含： 52 1376765 ft_ 曰修正替換頁 101年6月29日替換頁 一基板裝設部，用於允許該第一和第二基板被裝設於其 上；以及 上下移動之一延伸轴。 62.如申請專利範圍第56項所述之液晶顯示裝置之生產線，其中 該蝕刻裝置包含： 複數個噴塗板，垂直於地面而放置，至少其中一個表面鄰 接於雜合的第_和第二基板，並且其中充滿一姓刻劑；以及 複數個噴嘴’形成於該噴塗板之上並且噴塗該蝕刻劑於該 接合的第—和第二基板之上。 53