TWI361960B - Container assembly, cap, system and method for material verification and delivery - Google Patents

Container assembly, cap, system and method for material verification and delivery Download PDF

Info

Publication number
TWI361960B
TWI361960B TW093137693A TW93137693A TWI361960B TW I361960 B TWI361960 B TW I361960B TW 093137693 A TW093137693 A TW 093137693A TW 93137693 A TW93137693 A TW 93137693A TW I361960 B TWI361960 B TW I361960B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
information
container
connector
coupled
component
Prior art date
Application number
TW093137693A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200528946A (en
Inventor
T O'dougherty Kevin
E Andrews Robert
V Jayaraman Tripunithura
P Menning Joseph
A Baye-Wallace Christopher
Original Assignee
Advanced Tech Materials
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advanced Tech Materials filed Critical Advanced Tech Materials
Publication of TW200528946A publication Critical patent/TW200528946A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI361960B publication Critical patent/TWI361960B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0277—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure
    • B67D7/0283—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure specially adapted for transferring liquids of high purity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/06—Details or accessories
    • B67D7/32—Arrangements of safety or warning devices; Means for preventing unauthorised delivery of liquid
    • B67D7/34—Means for preventing unauthorised delivery of liquid
    • B67D7/344—Means for preventing unauthorised delivery of liquid by checking a correct coupling or coded information
    • B67D7/348—Means for preventing unauthorised delivery of liquid by checking a correct coupling or coded information by interrogating an information transmitter, e.g. a transponder
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
    • G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
    • G06K19/077—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
    • G06K19/07749—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card
    • G06K19/07758—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card arrangements for adhering the record carrier to further objects or living beings, functioning as an identification tag
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
    • G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
    • G06K19/077—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
    • G06K19/07749—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card
    • G06K19/07758—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card arrangements for adhering the record carrier to further objects or living beings, functioning as an identification tag
    • G06K19/07762—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card arrangements for adhering the record carrier to further objects or living beings, functioning as an identification tag the adhering arrangement making the record carrier wearable, e.g. having the form of a ring, watch, glove or bracelet
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67282—Marking devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
  • Conveying Record Carriers (AREA)

Description

1361960 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於讀取器或追蹤系統。更特定言之，本發 係關於使用各種特徵而確保安全及正確之讀取的讀取器 統。此外，本發明亦係關於造成被讀取或追蹤之一特性 變至另一特性的特徵。 【先前技術】 在半導體元件之製造期間，各種不同目的用材料依序 積於一半導體基板上。半導體基板通常為二氧化矽等單 矽材料製晶圓，沉積於其上的材料則可包含銅、鋁及其 金屬，以形成金屬線或半導體基板之溝渠内的其它電路 徵結構。其它電路特徵結構及材料層亦可在製程中形成 半導體基板上。 為了形成上述溝渠，光阻材料先沉積於半導體基板上 光阻材料移送至半導體基板上的方式對於製程有著關鍵 的影響力。舉例而言，使用錯誤類型之光阻將付出相當 的代價。電路元件晶圓等昂貴半導體基板受損、光阻的 費及修正錯誤所需之停機時間等即為此光阻錯誤使用的 價。 上述光阻材料在移送至半導體基板表面上時係為液態 形式。通常係利用一旋轉製程而以極薄的方式將光阻材 塗佈於整個半導體基板表面。旋轉製，程之參數需加以選 擇，以確保在半導體基板表面上分佈相當均勻且薄的光 阻。接著，通常需將半導體基板加熱，而在半導體基板 312XP/發明說明書(補件)/94-(Μ/93丨37693 明 糸 改 沉 晶 它 特 於 0 性 高 浪 代 料 上 5 1361960 形成一固態光阻詹。 上述固態光阻層可利用傳統蝕刻方式加以圖案化而在 其下方形成溝渠。不過溝渠是否適當地形成及均勻係部分 取決於形成溝渠之薄光阻層的均勻程度而定。的確，光阻 材料至半導體基板之適當移送對於可靠半導體元件之製造 具有相當關鍵的影響性。事實上，在一元件特徵結構上之 光阻非均勻性所造成的不佳效應隨著金屬線等元件特徵結 構之漸細趨勢而被放大。 要獲得均勻薄光阻層可能需要使用旋轉或其它基於光 阻材料之特定物理及功能特性之參數的製程。然而同種光 阻材料之特性在不同批次中可能是不同的。例如，不同批 次或容器中之同種光阻材料的黏度即可能不同。因此，欲 為在半導體基板上形成適當均勻光阻層建立可靠的預定參 數若非不可能，也是相當困難的。而在欲使光阻材料獲得 準確特性時，光阻材料至半導體基板之移送有著提供適當 光阻材料類型及適當使用參數之問題。 【發明内容】 以下將藉一安全讀取器系統之特定特徵而舉實施例說 明該安全讀取器系統。更特定而言，該等特徵為輔助確保 一容納光阻材料之容器組件的可靠度及安全性者。此外， 該等特徵亦確保當因不同批次或容器之光阻材料而有光阻 材料特性上的改變時，能夠準確校正參數。 【實施方式】 現請參閱圖1，其所示為一安全讀取器系統（S R S ) 1 0 0之 6 3丨2XP/發明說明書(補件)/94-(M/9313?(393 1361960 一實施例。S R S 1 0 0包含一材料櫃1 0 1，用以儲藏一容器組 件1 1 0。在所示實施例中，只有一個容器組件1 1 0。然而， 亦可為複數個。此外，材料櫃1 0 1可具有多個如圖所示之 材料抽屜1 3 0，藉以增加可被容納之容器組件1 1 0的數目 及種類。 容器組件1 1 0包含一資訊儲存機構，用以儲存其容納之 材料的相關資訊，如資訊標籤2 0 0 (見於圖2 )等。如圖1 所示，一蓋體1 1 5設以與一容器體1 2 0耦接。該資訊標籤 2 0 0在本實施例中係特別設於該蓋體1 1 5處。該蓋體1 1 5 用以接收並固定一連接器118。接著，該連接器118用以 同時將該容器組件1 1 0耦接至一處理組件1 0 3及一控制單 元102，以下將有更進一步之說明。 容器組件1 1 0係用以容納將送至處理組件1 0 3之材料。 在所示實施例中，連接器1 1 8經由一材料管線1 2 5而耦接 至一處理組件1 0 3。同樣地，連接器1 1 8耦接至控制單元 1 0 2。該控制單元1 0 2係用以辨識及監視容器組件1 1 0，以 下將有更進一步之說明。一資訊纜線1 2 2提供作為容器組 件1 1 0及控制單元1 0 2之溝通橋樑。 在圖1所示實施例中，控制單元1 0 2包含一直接耦接至 容器組件110之控制器150，以及一觸控螢幕監視器140。 觸控螢幕監視器140可顯示直接與該容器組件110或其内 材料相關的資訊以下將有更進一步之說明。除辨識及監視 容器組件1 I 0外，控制單元1 0 2可對使用容器組件1 1 0中 之材料的處理組件1 0 3加以應用。 7 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 控制器150具有中央處理能力，控制器纜線155 理組件1 0 3耦合至控制器1 5 0。藉此方式，控制單 得進行使用來自容器組件1 1 0之材料的應用。例如 者得經由觸控螢幕監視器140等進行此種應用。在 施例中，此種應用之進行係依得自上述資訊儲存機 訊及圖2所示而為（見資訊標籤200)。 請繼續參閱圖1，處理組件103包含一處理室1 處理室175耦合至一微處理器160。微處理器160 理室1 7 5中依一預定指令集或由控制器1 5 0所得資 一應用。處理室175可包含一工具或設備而使用容 1 1 0中的材料。舉例而言，於一實施例中，處理室 含一旋轉工具600，用以將來自容器組件110之光 300塗覆至一半導體基板675上（見於圖6)。 現請參閱圖2，其顯示容器組件1 1 0之細部。如」 一連接器118耦接至容器組件110之蓋體115處。3 可包含一可破壞膜210，用以初始密封容器組件1: 容物。在此實施例中，連接器1 1 8之一探針2 1 5可 透該可破壞膜2 1 0，並作為容器組件1 1 0之材料及 1 1 8間之溝通橋樑。如上所述，連接器1 1 8亦包含 纜線1 2 2及一材料管線1 2 5。材料管線1 2 5耦接至 1 1 8内之探針2 1 5。資訊纜線1 2 2則终止於一天線名」 處，以下將有更詳細的說明。 請參閲圖7及圖8，其所示為使用圖1中之SRS 實施例的流程圖。圖7及圖8用以輔助說明SRS 1 312XP/發明說明書(補件)/94 -04/93137693 則將處 元1 02 ，使用 某些實 構的資 75，該 可在處 訊進行 器组件 175包 阻材料 L所述， !_ 體 1 1 5 1 0之内 用以穿 連接器 一資訊 連接器 “牛 2 7 5 100之 0 0在使 8 1361960 用期間之各項待徵間的互動關係，其中該等互動關係之說 明在後文中將陸續出現。 如上所述，容器組件1 1 0之蓋體Π 5亦包含一作為資訊 儲存機構的資訊標籤2 0 0。資訊標籤2 0 0用以容置容器組 件1 1 0中所含材料之相關資料。以一實施例為例，與材料 特性、製造日期及條件、數量及其它特性相關的資料存於 該資訊標籤2 0 0中（見於圖7之7 1 0 )。 資訊標籤2 0 0可為一條碼、磁帶及使用電子可抹除式程 式化唯讀記憶體（E E P R 0 Μ )的射頻辨識（R F I D )元件，或可為 其它傳統適於儲存容器組件1 1 0内材料之相關資訊的機 構。在一實施例中，該資訊標藏2 0 0包含E E P R 0 Μ，以增加 可存於資訊標籤2 0 0中的資料量。在本實施例中，資料可 藉在容器組件1 1 0中材料改變之時（如當材料量因某一應 用之使用而降低時）寫至資訊標籤2 0 0中而更新，如圖8 之8 2 0所指示者。 接著參閱圖2及圖3，容器組件110可包含為一特定應 用所用之光阻材料3 0 0。連接器1 1 8則包含確保適用光阻 材料3 0 0及含該適用光阻材料3 0 0之容器組件1 1 0得耦接 至連接器118以為該應用所用的特徵。 如前所述，資訊規線1 2 2結束於一天線組件2 7 5處。連 接器118可實體耦接至蓋體115，且探針215位於容器體 1 2 0中，而天線组件2 7 5則位於資訊標籤2 0 0旁。以此設 置之時，天線組件2 7 5可自蓋體1 1 5處之資訊標籤2 0 0讀 取資訊。在一實施例中，該天線組件2 7 5在此處所述之連 9 3 ] 2ΧΡ/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 接器118與蓋體115間之耦合類型出現時方讀取資訊 線組件2 7 5所讀取之資訊可純與容器組件1 1 0相關， 因連接器1 1 8係實體固定於容器組件1 1 〇處所致。因 連接器1 1 8之功能如同一單一通道，其為容器組件.1 之材料及資訊標籤2 0 0中之資訊所通過。 為更加確保適用材料及容器組件1 1 0在一所需應用 接至連接器118，在將連接器118耦接至容器组件11 蓋體1 1 5前可使用一確認工具2 5 0。確認工具2 5 0包 確認纜線2 5 5，耦接至控制器1 5 0 (見於圖1 )。該確認 2 5 5結束於一用以讀取資訊標籤2 0 0之資訊之確認天 2 6 5。確認天線2 6 5包含一確認指示器2 6 0，該確認指 260為可見光發光二極體（LED)或其它適用機構等。 請參閱圖7，在控制單元102(見於圖1)選擇一應用 7 3 0所指示，確認工具2 5 0之確認天線2 6 5可置於資 籤2 0 0旁，並可為控制器1 5 0 (見於圖1 )控制以讀取資 籤2 0 0的資訊。接著，確認指示器2 6 0可對確認天線 所讀取之資訊提供以一可見回應。以一實施例為例， 指示器2 6 0可在自資訊標籤2 0 0讀取之資訊指出一可 材料3 0 0及容器組件1 1 0已備妥為一特定應用所用之 出綠光。或者，確認指示器2 6 0可在資訊標籤2 0 0之 指出相反情況時發出紅光。藉此方式，光阻材料3 0 0 器組件1 1 0可在連接器1 1 8與容器組件1 1 0之蓋體1 合之前被確認。 在所示實施例中，如上所述之確認工作避免可破塌 312XP/發明說明書(補件)/94-(Μ/93137693 。天 此乃 此， 1 0中 中耦 0之 含一 纜線 線 示器 。如 訊標 訊標 265 確認 接受 時發 資訊 及容 15耦 :膜 10 1361960 至材料管線125供於一應用中使用。探針215可如圖示垂 直延伸入容器體120中。或者，探針215可以不同形狀或 長度建構，以確保光阻材料300自容器體120之最低處流 出。當連接器118係如圖示固定時，在蓋體115處，天線 組件2 7 5係留在資訊標籤2 0 0旁。資訊如上所述可在資訊 標籤2 0 0和天線組件2 7 5之間交換，並沿著資訊纜線1 2 2 傳送。如此，如7 5 0所指示者，適當容器組件1 1 0的實體 耦接可在如8 1 0所指示之進行一應用之前被確認（見於圖7 和圖 8 )。 請參閱圖3及圖4，其顯示一天線組件275，具有一天 線部份4 8 0及一天線指示器4 8 5。天線部份4 8 0可為一傳 統天線，以讀取資訊標籤2 0 0之資訊。天線部份4 8 0與資 訊標籤2 0 0間不需加以實體耦合。在所示實施例中，當連 接器1 1 8適當固定至蓋體1 1 5時，資訊標籤2 0 0及天線部 份4 8 0之間出現一最小空隙4 9 0。資訊標籤2 0 0和天線部 份4 8 0之間缺少實體接觸可輔助該資訊標籤2 0 0及天線部 份480之整合形成。 天線部份4 8 0可用以自資訊標籤2 0 0讀取資訊。天線指 示器4 8 5則可包含L E D之特徵，用以依據自資訊標籤2 0 0 所得之資訊發光。以一實施例為例，天線指示器4 8 5可在 資訊標籤2 0 0之資訊指出一可接受光阻材料3 0 0及容器組 件1 1 0已備妥為一特定應用所用時發出綠光。或者，天線 指示器4 8 5可在資訊標籤2 0 0之資訊指出相反情況之時發 出紅光。如此進一步向使用者保證適用容器組件1 1 0係在 12 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 利用光阻材料3 0 0進行一應用之前即被使用。 請參閱圖1至圖4，其說明控制器1 5 0可主導資訊標籤 2 0 0及天線組件2 7 5間之資訊交換。控制器1 5 0亦可如上 述般驅使應用之被使用。因此，在一實施例中，在判定一 特定容器組件1 1 0是否可被一特定應用接受，係依一存於 控制器150中之一組預訂標準而為。當一不可接受的容器 組件110耦接至連接器118時，控制器150可藉天線指示 器4 8 5指出此種情況，如前文所述者。此外，控制器1 5 0 可在光阻材料3 0 0自容器體1 2 0流出之前以結束該應用來 回應。 除依據對資訊標籤2 0 0之讀取而進行應用外，控制器 1 5 0亦可令該等讀取動作以一連續或不間斷進行之方式進 行，如圖8之8 3 0所指。連續讀取動作得避免不同應用間 一可接受容器組件1 1 0在未經偵檢的情況下被代用。在一 較佳實施例中，該等讀取動作之間隔時間可為毫秒等級。 然而，該等讀取動作亦可在其它不同等級之間隔時間下進 行。以一實施例為例，讀取動作係藉由天線部份4 8 0以一 小於所用應用之估計等級的時間間隔取得。如此確保天線 部份4 8 0在容器組件1 1 0改變之前進行多次讀取。因此， 即便一可接受容器組件Η 0耦接至連接器1 1 8且一應用被 立即執行時，一不可接收之容器並無足夠的時間在不加偵 檢的條件下耦接至連接器1 1 8。在又一實施例中，該等讀 取係在一小於一估計之容器改變時間（即改變一容器組件 1 1 0之所需時間）的時間間隔下獲得。如此確保天線部份 13 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 480在容器組件110改變之前即進行多次讀取動作 當時尚無任何應用正在進行亦然。舉例而言，在一 件1 1 0之改變實際上需要超過五秒鐘的時間之實施 讀取動作之相隔時間可為不超過約五秒鐘。 請續參閱圖1至圖4，天線組件275可用以將更 寫至資訊標籤2 0 0中，如圖8之8 2 0所指者。舉例 資訊標籤2 0 0可具有R F I D能力（如前文所述）。因ill 器組件1 1 0中材料3 0 0之量相關之資訊可儲存於資 2 0 0中。在一實施例中，當一材料3 0 0之量在一應 由容器組件1 1 0取出時，與容器組件1 1 0中光阻材 之量相關的資訊可被更新。該更新動作係利用天線 2 7 5將關於應用執行期間所取出之光阻材料3 0 0之 資訊寫至資訊標籤2 0 0而為之。因此，與光阻材料 量相關之最新資訊仍與容器組件1 1 0相關。因此， 件110可自SRS 100移出，或可在不損失與容器組 中光阻材料3 0 0之量相關資訊的條件下為不同系統 請參閱圖1及圖5,其顯示一容器組件110位於 的一材料抽屜1 3 0中。材料抽屜1 3 0中容置有數種 件以為控制器所控制之各種可能應用所用。此種人 性亦使S R S 10 0具有内建之效率。 請參閱圖6，其顯示圖1之處理組件1 0 3之細節 示之實施例中，4理組件1 〇 3包含一處理室1 7 5， 供有一施轉工具6 0 0。施轉工具6 0 0係建構以接收 個半導體基板6 7 5之表面上分散光阻材料3 0 0。在 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93】3 7693 ，即便 容器組 例中， 新資訊 而言 ， 二，與容 訊標籤 用期間 料300 組件 量的新 3 0 0之 容器組 件1 1 0 所用。 SRS 100 該等組 性化特 。在所 其中提 和在整 另一實 14 1361960 施例中，處理室1 7 5可包含其他分散材料之技術的工具， 如半圓形塗佈（meniscus coating)、孔版印刷（stencil printing)、或無關於光阻材料分散之應用等。 如圖6所示，一半導體基板675係置於旋轉工具600之 —可旋轉平檯680上的中央處。可旋轉平檯680為一管件 6 8 5所支撐，該管件6 8 5具有一鏤空部份6 8 8，該鏤空部份 6 8 8終止於半導體基板6 7 5附近。藉此方式，管件6 8 5得 利用傳統方式加以一真空（如箭頭6 8 8所指）而對半導體基 板6 7 5加以固定，如圖所示。 請參閱圖1及圖6，其顯示一可旋轉馬達690耦接至管 件6 8 5，以在一光阻材料3 0 0送至半導體基板6 7 5表面時 旋轉該旋轉工具6 0 0。光阻材料3 0 0自材料管線1 2 5及櫃 1 0 1處為控制器1 5 0所控制而傳送。控制器1 5 0經由微處 理器1 6 0而依光阻材料3 0 0之功能特性執行所需應用。該 等功能特性資訊係得自於容器組件1 1 0，如前所述。 在一實施例中，光阻材料3 0 0為i線（i - 1 i n e )光阻，如 酚醛樹脂及酚化合物溶於一乙酸丙二醇單曱基醚酯（PGMEA) 溶劑中者。酷化合物可為重氮蔡i昆（diazonaphthaquinone) 衍生物。在光阻材料3 0 0被移送時，控制器1 5 0藉由微處 理器160而令旋轉工具600以介於約4, OOOrpm及約 5, OOOrpm之間的速度旋轉。接著，半導體基板675被暴露 至介於約9 0 °C至約1 0 0 °C之溫度下約2 5秒鐘至約3 5秒 鐘。藉此一光阻材料300之膜便形成於半導體基板675上。 該膜之厚度介於約1 . 0微米至約1 . 4微米之間。 15 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 在其它實施例中，可使用類似但不同參數以提供不同厚 度的不同光阻材料3 0 0之膜。舉例而言，在一實施例中， 可提供一深紫外線（11 V)光阻膜，厚度介於約0 . 6微米及約 1 . 0微米之間。在另一實施例中，可提供特性與一深紫外 線光阻類似之1 9 3奈米光阻，厚度介於約0 . 6微米及約0. 8 微米之間。 上述各應用之進行係部份依容器組件1 1 0所存資訊而 為。不過，該等資訊在某些狀況下不完全準確。在此處所 述之實施例中，該等不完全準確的資訊會造成膜厚度偏離 所欲範圍，或會有其它分佈問題產生。舉例而言，在資訊 原本儲存於容器組件1 1 0時，各不同批次或容器中之光阻 的黏度會有改變而未被計入。如圖8所示，不準確資訊之 存在可為傳統方式辨知（8 4 0 )，並修改應用以使用更新後參 數（8 5 0 )。亦即，應用之參數可藉經由控制單元1 0 2輸入經 更新資訊的方式而加以改變。在所示實施例中，只需指出 觸控螢幕1 4 0所得之非所欲之膜厚度便可。可藉由控制器 1 5 0對該等不同演算調整，並立即施加至使用該光阻材料 3 0 0之應用上。S R S 1 0 0係以允許進行該種完備校正之方式 而建構。如此該種應用進行時的停機時間可最小化，且其 產出效率亦可提升。 在另一實施例中，由資訊儲存機構所得之資訊的使用得 以動態方式為之。例如，在黏度等材料特性隨時間改變之 情況中，存於資訊儲存機構中的資訊可與材料之存在時間 或在一特定時間點的黏度相關。該等資訊可在一應用執行 16 312XPV 發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 之時以一自動方式被計入。例如，控制器1 5 0中存有已知 黏度速率改變資訊時（見圖1)，演算值可以計入應用中準 確時間點上的材料黏度之方式建立。 上述實施例提供了確保一特定材料純為一特定應用所 用之安全方式。上述實施例亦提供一種人性化及完備之確 認待使用材料之應用參數的方式，以及在必要時更新待使 用材料之應用參數的方式。 前文已對特定半導體光阻應用進行說明，但其它實施例 及特徵亦可使用之。例如，旋轉介電應用等即可使用之。 此外，上述系統可提供為使用氣體容器、血帶、生化醫藥 容器、送藥裝置及含有各種不同材料種類之容器等應用所 用，其中該等容器可為可回收和再使用者。一可再使用之 容器甚可在其資訊機構上加以一新材料資訊，以令該容器 在後續容置新材料時所用。對於易於有不同容器或批次間 材料特性改變的情況而言，上述實施例格外能顯出其優 勢。此外，其它屬於所述實施例之範圍内的各種特徵及方 法皆可使用之。 【圖式簡單說明】 圖1為一讀取器系統實施例之剖面透視圖。 圖2為圖1之讀取器系統之一容器配件實施例的分解 圖。 圖3為圖2之容器配件的剖面圖。 圖4為截自圖3之4-4所得的容器配件中天線的放大圖。 圖5為圖1中讀取器系統之一櫃抽屜實施例的透視圖， 17 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-(M/93〗3 7693 1361960 其包含複數個容器配件。 圖6為圖1中製程組件的剖面圖，其顯示有一旋轉工具。 圖7為使用如圖1所示之讀取系統的方法流程圖。 圖8為使用如圖1所示之讀取系統的其它方法流程圖。 【主要元件符號說明】 10 0 安全讀取器系統 10 1 材料榧 10 2 10 3 110 115 118 12 0 1 22 12 5 13 0 1 40 15 0 155 16 0 175 200 2 10
控制單元 處理組件 容器組件 蓋體 連接器 容器體 資訊繼線 材料管線 材料管線 觸控螢幕監視器 控制器 控制器纜線 微處理器 資訊標籤處理室 資訊標籤 可破壞膜 215 探針 18 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960
250 確 認 工 具 255 確 認 纜 線 260 確 認 指 示 器 265 確 認 天 線 275 天 線 組 件 300 光 阻 材 料 480 天 線 部 份 485 天 線 指 示 器 600 旋 轉 工 具 6 75 半 導 體 基 板 680 可 旋 轉 平 檯 685 管 件 688 鏤 空 部 份 3 ] 2XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 19

Claims (1)

1361960 >〇|月>6 3修正本 十、申請專利範圍： 第多％t多號專利案⑼年？月修正 1. 一種用於確認與傳送材料的容器組件，其包含： 一容器體，具有一内部，用以容置一材料； 一資訊儲存元件，耦接至該容器體之一部分，並用以儲 存關於該材料的資訊，該部份則耦接至一定義一流體通路 並適於接收該資訊的可移除連接器；以及
一確認工具，其適於在將該連接器耦接到該容器體之該 部分之前，從該資訊儲存元件處接收該資訊，其中該資訊 係用於規定該連接器是否應耦接到該容器體之該部分。 2.如申請專利範圍第1項之容器組件，其中，該容器體 之該部份包含一蓋體，用以密封該容器體。 3.如申請專利範圍第1項之容器組件，其中，該資訊包 含以下任一者：該材料之特性、該材料之製造曰期、該材 料之製造條件及該材料之數量。
4.如申請專利範圍第1項之容器組件，其中，該材料為 i線（i - 1 i n e )光阻、深紫外線光阻及1 9 3奈米光阻之一者。 5.如申請專利範圍第1項之容器組件，其中，該連接器 同時耦接至一處理組件及一控制單元，其中耦接至該處理 組件係用以使用一應用中的材料，而耦接至該控制單元係 用以進行該應用。 20 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 •, 6.如申請專利範圍第1項之容器組件，其中該資訊儲存 元件包含一無線電頻率識別標籤，該確認工具包含一第一 天線，以及該連接器包含一第二天線。
7.—種用於一容器組件的蓋體，該容器组件用於確認與 傳送材料，該蓋體適於（i)用以可移除地耦接至一具有一 内部以容置一材料之容器，（ii)隨著該蓋體耦接到該容器之 步驟，用以可移除地耦接至一連接器，其具有一用於接收 一資訊容置信號之資訊檢索元件以及一允許對該内部存取 之流體導管，以及（iii)用以接收一確認工具，該蓋體包含 一用於儲存關於該材料資訊的資訊儲存元件，其中該確認 工具係適於在該連接器及該蓋體間進行耦接之前，從該資 訊儲存元件處接收該資訊之至少一部份，並適於使用該所 接收資訊來確認該連接器是否應耦接到該蓋體。 8.如申請專利範圍第7項之蓋體，其中，該資訊儲存元 件包含一資訊標籤，其形式為一條碼、一磁帶及一射頻辨 識元件之一者。 9.如申請專利範圍第7項之蓋體，其中，更包含一可破 壞膜，以密封該内部，並可被破除而使該連接器存取該内 部。 1 0. —種用於確認與傳送材料的系統，其包含： 21 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 •, 一容器，其具有一容置一材料之内部； 一資訊儲存元件，用以儲存關於該材料之資訊； 一處理組件，用以於一應用中使用該材料； 一控制單元，用以依據該材料之相關資訊進行該應用； 一確認工具，其耦接到該控制單元，並具有一第一資訊 檢索元件，該第一資訊檢索元件適於與該資訊儲存元件通 訊；以及
一連接器，其可移除地耦接至該容器，並可耦接至該處 理组件及該控制單元，該連接器具有一流體導管來提供該 處理組件對該材料之存取，並具有一第二資訊檢索元件， 其適於與該資訊儲存元件通訊以提供該控制單元對該資訊 之存取； 其中該確認工具係適於在該連接器及該容器間進行耦 接之前，與該資訊儲存元件通訊，並更適於使用一由該通 訊所獲得之信號，以決定該連接器是否應與該容器耦接。
11 .如申請專利範圍第1 0項之系統，其中，該處理組件 包含能用於以下任何一者之工具：進行旋轉塗佈、半圓形 塗佈及孔版印刷該材料至一半導體基板。 12.如申請專利範圍第10項之系統，其中，更包含一材 料櫃，用以儲藏該容器。 1 3.如申請專利範圍第1 0項之系統，其中，該連接器係 22 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 •, 耦接至該容器组件之蓋體處，該蓋體具有一可破壞之膜， 用以使該連接器提供該處理組件材料之存取，其中由該確 認工具所接收之資訊係用於決定該膜是否應被破壞。 14.如申請專利範圍第1 0項之系統，其令該資訊儲存 元件包含一無線電頻率識別標籤，該第一資訊檢索元件包 含一第一天線，以及該第二資訊檢索元件包含一第二天線。
15.如申請專利範圍第10項之系統，其中該連接器包 含一定義該流體導管之延長探針，其中該探針可插入至該 容器之内部中。 1 6. —種用於確認與傳送材料的系統，其至少包含： 一控制單元，用以耦接至一處理組件，其適於一應用中 使用一材料，該材料係佈置在一容器中，該容器具有一含 有關於該材料資訊的電子資訊儲存元件； 一確認工具，其包含一第一資訊檢索元件，其可耦接至 該控制單元並適於從該電子資訊儲存元件處接收該資訊之 至少一第一部份；以及 一連接器，其可移除地耦接到該容器，該連接器包含一 第二資訊檢索元件，其可耦接到該控制單元並適於從該電 子資訊儲存元件處接收該資訊之至少一第二部份，其中該 資訊之至少一第二部分係可用於規定一種關於該材料應由 該處理組件所用的方法； 23 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 * , 其中該確認工具係適於在該容器及該連接器間進行耦 接之前，接收該資訊之至少一第一部份，並使用該資訊之 至少一部份來決定該連接器是否應與該容器耦接；以及 其中該控制單元依據該材料的相關資訊來進行該應用。 17.如申請專利範圍第16項之系統，其中該電子資訊 儲存元件包含一無線電頻率識別符，該第一資訊檢索元件 包含一第一天線，以及該第二資訊檢索元件包含一第二天
18.如申請專利範圍第16項之系統，其中該連接器定 義一流體導管，其用以從該容器中柚取材料。 19. 一種用於確認與傳送材料的方法，其包含： 提供一含有一材料之容器；
在將一適於材料抽取與資訊檢索之連接器與該容器耦 接之前，從一與該容器相關聯之電子儲存元件處，讀取該 材料之相關資訊並使用該資訊，以確認將該連接器耦接到 該容器之特性； 在該確認步驟之後，耦接該連接器至該容器； 自該容器處經由該連接器讀取該材料的相關資訊；及 自該容器處通過該連接器取出該材料。 20.如申請專利範圍第19項之方法，其中，該材料包含 24 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 1361960 1 , 下列任何一者：介電材料、光阻材料、氣體、企液及藥材。 21.如申請專利範圍第19項之方法，其中，更包含在該 取出之後再使用該容器。 22.如申請專利範圍第19項之方法，其中，更包含在該 取出之後更新該資訊。
23.如申請專利範圍第19項之方法，其中該第一讀取 步驟係用一確認工具來執行，該確認工具係耦接到一適於 控制該取出步驟的控制元件。 24.如申請專利範圍第19項之方法，其中，更包含依據 該資訊執行一應用。 25.如申請專利範圍第24項之方法，其中，該讀取步驟 係以小於以下至少一者的間隔連續進行：該應用之估計期 間、估計的容器改變時間及約五秒鐘。 26.如申請專利範圍第24項之方法，其中，該應用之一 參數係至少某種程度上依據一曰期或是該材料取出步驟或 該應用執行步驟之時間而建立。 27.如申請專利範圍第24項之方法，其中，更包含： 25 312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693
1361960 • » 辨知該資訊之不準確度：及 依據該不準確度而調整該應用之至少一參數。 28.如申請專利範圍第27項之方法，其中，該 對一控制器輸入該不準確之結果以進行該應用， 依據該輸入而以一自動方式進行該調整。 29. —種用於確認與傳送材料的系統，其包含 範圍第1項之該容器組件、一處理工具、以及一 該處理工具之控制單元，該控制單元係通訊地耦 接器及該確認工具兩者。 調整包含 該控制器 申請專利 適於控制 接到該連
312XP/發明說明書(補件)/94-04/93137693 26
TW093137693A 2003-12-19 2004-12-07 Container assembly, cap, system and method for material verification and delivery TWI361960B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/742,125 US7702418B2 (en) 2001-06-13 2003-12-19 Secure reader system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200528946A TW200528946A (en) 2005-09-01
TWI361960B true TWI361960B (en) 2012-04-11

Family

ID=34794627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW093137693A TWI361960B (en) 2003-12-19 2004-12-07 Container assembly, cap, system and method for material verification and delivery

Country Status (9)

Country Link
US (1) US7702418B2 (zh)
EP (1) EP1697856A4 (zh)
JP (2) JP4536409B2 (zh)
KR (1) KR101123562B1 (zh)
CN (1) CN100468387C (zh)
AU (1) AU2004313341A1 (zh)
MY (1) MY154550A (zh)
TW (1) TWI361960B (zh)
WO (1) WO2005067516A2 (zh)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6879876B2 (en) * 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
US7187286B2 (en) 2004-03-19 2007-03-06 Applera Corporation Methods and systems for using RFID in biological field
EP1797542B1 (en) * 2004-10-07 2012-04-25 West Pharmaceutical Services, Inc. Closure for a container, overcap, and method of making it
WO2007146892A2 (en) 2006-06-13 2007-12-21 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid dispensing systems encompassing gas removal
JP5319525B2 (ja) * 2006-07-10 2013-10-16 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド 情報記憶素子を有する材料貯蔵槽を管理するためのシステムおよび方法
US7750173B2 (en) 2007-01-18 2010-07-06 Advanced Technology Materials, Inc. Tantalum amido-complexes with chelate ligands useful for CVD and ALD of TaN and Ta205 thin films
US8242915B2 (en) * 2007-11-26 2012-08-14 Access Business Group International Llc Closure assembly
TWI344669B (en) * 2007-06-27 2011-07-01 Tank locking device, managerial system of liquid and method thereof
JP4702394B2 (ja) * 2008-05-16 2011-06-15 力晶科技股▲ふん▼有限公司 液体供給を管理するためのタンクロック装置・システムとそれを使用する方法
JP5612265B2 (ja) * 2009-01-23 2014-10-22 株式会社Ｓｃｒｅｅｎセミコンダクターソリューションズ 基板処理装置及び基板処理方法
KR101103992B1 (ko) 2009-07-09 2012-01-06 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 라이너 베이스의 저장 시스템, 라이너 및 반도체 공정에 고순도 재료를 공급하는 방법
EP2681124A4 (en) 2011-03-01 2015-05-27 Advanced Tech Materials NESTED BLASHED INNER CLADDING AND PACKAGING AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
KR101339636B1 (ko) 2012-06-25 2013-12-13 서채영 반도체 제조장비의 약액 검증시스템
SI2920438T1 (en) * 2012-11-19 2018-06-29 Castrol Limited Container, process and control system
US9242267B2 (en) 2013-01-31 2016-01-26 Owens Corning Intellectual Capital, Llc Method and apparatus for mixing and applying material
EP2786802A1 (de) * 2013-04-03 2014-10-08 Metrohm Ag Verschluss für einen Behälter
DE102013109799A1 (de) 2013-09-09 2015-03-12 as Strömungstechnik GmbH Entnahmesystem
DE102013110020A1 (de) * 2013-09-12 2015-03-12 as Strömungstechnik GmbH Entnahmesystem
EP2868622A1 (de) * 2013-10-30 2015-05-06 Rolitec AG Entnahmevorrichtung
JP2015115486A (ja) * 2013-12-12 2015-06-22 東京エレクトロン株式会社 液供給装置
EP3105171B1 (en) * 2014-02-10 2019-04-10 Ecolab USA Inc. Apparatus for emptying a fluid container and method for coupling a fluid container to a corresponding apparatus
RU2666713C2 (ru) 2014-05-21 2018-09-11 Кастрол Лимитед Система текучей среды и способ
US11714975B2 (en) 2014-10-28 2023-08-01 Avery Dennison Retail Information Services Llc High density read chambers for scanning and encoding RFID tagged items
US20160117530A1 (en) * 2014-10-28 2016-04-28 Avery Dennison Retail Branding and Information Solutions Methods for scanning and encoding a plurality of rfid tagged items
US9580294B2 (en) * 2014-12-03 2017-02-28 Brewer Science Inc. Computer program and method for verifying container of material to be dispensed
US9922218B2 (en) 2015-06-10 2018-03-20 Avery Dennison Retail Information Services, Llc RFID isolation tunnel with dynamic power indexing
US10981332B2 (en) * 2016-05-12 2021-04-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Additive manufacturing material management station
US10315814B2 (en) * 2017-08-04 2019-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Transfer cap
KR20200115579A (ko) 2018-01-30 2020-10-07 라이프 테크놀로지스 코포레이션 스마트 분자 분석 시스템의 워크플로우에서 사용하기 위한 기기, 장치 및 소모품
CA3091780A1 (en) 2018-02-21 2019-08-29 Ecolab Usa Inc. Pump chemical compatibility management system
JP7099233B2 (ja) * 2018-09-28 2022-07-12 ブラザー工業株式会社 接着装置
EP3795535A1 (de) * 2019-09-19 2021-03-24 AS Strömungstechnik GmbH Behältermanagementsystem
US11935769B2 (en) * 2021-08-27 2024-03-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Interlock apparatus for chemical supply system
KR102414546B1 (ko) * 2022-03-22 2022-06-30 주식회사 엔이아이디 반도체 제조 공정에 사용되는 원료가 포함된 저장용기를 결합 고정하는 용기 홀더

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE32866T1 (de) * 1982-02-05 1988-03-15 Ici Plc Fluessigkeitsbehaelter.
US5102010A (en) * 1988-02-16 1992-04-07 Now Technologies, Inc. Container and dispensing system for liquid chemicals
US4951512A (en) 1988-06-23 1990-08-28 Baxter International Inc. System for providing access to sealed containers
US5014208A (en) * 1989-01-23 1991-05-07 Siemens Corporate Research, Inc. Workcell controller employing entity-server model for physical objects and logical abstractions
NO174942C (no) 1990-12-03 1994-08-03 Corrocean As Anordning for montering, hhv. demontering av sonder i prosessrör, tanker e.l.
US5223796A (en) * 1991-05-28 1993-06-29 Axiomatics Corporation Apparatus and methods for measuring the dielectric and geometric properties of materials
FR2685519A1 (fr) 1991-12-20 1993-06-25 Gemplus Card Int Systeme pour l'identification de recipients et notamment de bouteilles de gaz.
US5558083A (en) 1993-11-22 1996-09-24 Ohmeda Inc. Nitric oxide delivery system
US5638285A (en) 1993-12-22 1997-06-10 Ingersoll-Dresser Pump Company System for dispensing dry agricultural chemicals
US5524794A (en) 1994-05-23 1996-06-11 Ingersoll-Dresser Pump Company Metering device for granular materials
US5604681A (en) * 1994-06-03 1997-02-18 Dover Corporation Coupler identification systems
US5507192A (en) 1994-09-13 1996-04-16 Beaudin; Allen B. Automated gas measurement system
DE4433701A1 (de) 1994-09-21 1996-03-28 Siemens Ag Vorrichtung zur berührungslosen Energie- und Datenübertragung auf induktivem Wege, und bevorzugte Verwendung derselben zur Identifikation von Gasflaschen
US5651402A (en) 1995-02-02 1997-07-29 David C. Nelson Of Premium Balloon Accessories Automated balloon inflation device
US5663488A (en) 1995-05-31 1997-09-02 Hewlett-Packard Co. Thermal isolation system in an analytical instrument
US5594162A (en) 1995-06-06 1997-01-14 Dolan; James P. Valve stem gas leak detector
US5940780A (en) 1995-09-29 1999-08-17 Advanced Thermal Solutions, Inc. Universal transceiver
US5627517A (en) * 1995-11-01 1997-05-06 Xerox Corporation Decentralized tracking and routing system wherein packages are associated with active tags
US5803673A (en) 1996-07-10 1998-09-08 Pathfinder Systems, Inc. Portable pneumatic precision metering device
US5949049A (en) 1996-07-17 1999-09-07 Span Instruments, Inc. Inventory control probe and control module with docking station
US5893263A (en) 1996-07-19 1999-04-13 Techno Medica Co., Ltd. Automatic bar code label applying apparatus for test tubes
US6282458B1 (en) 1996-09-17 2001-08-28 Ricoh Company, Ltd. Methods and systems for controlling olfactory stimuli
US5802859A (en) 1996-12-16 1998-09-08 Hudson Technologies, Inc. Apparatus for recovering and analyzing volatile refrigerants
US5852590A (en) 1996-12-20 1998-12-22 De La Huerga; Carlos Interactive label for medication containers and dispensers
US5955684A (en) 1997-01-06 1999-09-21 Rosemount Inc. Modular probe
US5953682A (en) 1997-02-14 1999-09-14 Millipore Corporation Automated gas cylinder tracking system
US5875921A (en) 1997-03-12 1999-03-02 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with sensor
US7061831B2 (en) 1997-03-28 2006-06-13 Carlos De La Huerga Product labeling method and apparatus
US6052629A (en) 1997-07-18 2000-04-18 Gilbarco Inc. Internet capable browser dispenser architecture
US6067844A (en) 1997-08-15 2000-05-30 Shell Oil Company Nondestructive method for detection of defects and the condition of liners in polymer-lined pipes and equipment
JPH1173219A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Dainippon Printing Co Ltd ビア樽管理システムとビアサーバ
US5942980A (en) 1997-11-20 1999-08-24 Innovative Measurement Methods, Inc. Multi-sensor hydrostatic gauge for fuel storage tanks
FR2775511B1 (fr) 1998-02-27 2000-04-14 Air Liquide Installation de stockage et de retention de bouteilles de gaz
US6571151B1 (en) 1998-03-06 2003-05-27 Russel Dean Leatherman Wireless nozzle interface for a fuel dispenser
US6199720B1 (en) 1998-03-20 2001-03-13 The Coca-Cola Company Vending machine
US6085576A (en) 1998-03-20 2000-07-11 Cyrano Sciences, Inc. Handheld sensing apparatus
IL124424A0 (en) 1998-05-11 1998-12-06 On Track Innovations Ltd Self-closing cap including an integral smart card
US6065638A (en) 1998-05-29 2000-05-23 Gilbarco Inc. Real time blending apparatus and method
US6545592B2 (en) 1998-09-28 2003-04-08 Steven L. Weiner Medication reminder device
DE29822967U1 (de) * 1998-12-23 2000-05-11 Espe Dental Ag Gerät zum Ausbringen von fließfähigen Massen
IT1308253B1 (it) 1999-03-16 2001-12-10 Molteni L E C Dei Flii Alitti Dosatore di precisione per liquidi.
US6206240B1 (en) * 1999-03-23 2001-03-27 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with pressurization
US6720866B1 (en) * 1999-03-30 2004-04-13 Microchip Technology Incorporated Radio frequency identification tag device with sensor input
US6585876B2 (en) 1999-04-08 2003-07-01 Applied Materials Inc. Flow diffuser to be used in electro-chemical plating system and method
US6165347A (en) 1999-05-12 2000-12-26 Industrial Scientific Corporation Method of identifying a gas
US6556949B1 (en) 1999-05-18 2003-04-29 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
US6281787B1 (en) 1999-06-07 2001-08-28 Traptec Corporation Vehicle tire leak detection system and method of using the same
US6446644B1 (en) * 1999-07-06 2002-09-10 Semitool, Inc. Chemical solutions system for processing semiconductor materials
US6140146A (en) 1999-08-03 2000-10-31 Intermec Ip Corp. Automated RFID transponder manufacturing on flexible tape substrates
US6597175B1 (en) 1999-09-07 2003-07-22 Halliburton Energy Services, Inc. Electromagnetic detector apparatus and method for oil or gas well, and circuit-bearing displaceable object to be detected therein
US6147662A (en) 1999-09-10 2000-11-14 Moore North America, Inc. Radio frequency identification tags and labels
US6556832B1 (en) 2000-02-04 2003-04-29 Qualcomm Incorporated Method and apparatus for evaluation of position location performance
US6558620B1 (en) 2000-02-07 2003-05-06 Steris Inc. Liquid cleaning and sterilization method
US6618714B1 (en) 2000-02-10 2003-09-09 Sony Corporation Method and system for recommending electronic component connectivity configurations and other information
US6271753B1 (en) 2000-03-21 2001-08-07 Kavita M Shukla Smart lid
US6405745B1 (en) 2000-03-22 2002-06-18 Delphi Technologies, Inc. Ultra accurate gas injection system
US7117374B2 (en) 2000-03-24 2006-10-03 Intermec Ip Corp Apparatus and method for gathering and utilizing data
US6628237B1 (en) * 2000-03-25 2003-09-30 Marconi Communications Inc. Remote communication using slot antenna
US6633796B1 (en) 2000-06-14 2003-10-14 Dan B. Pool Medication timing device
US6542848B1 (en) 2000-07-31 2003-04-01 Chart Inc. Differential pressure gauge for cryogenic fluids
US6592043B1 (en) 2000-08-17 2003-07-15 Rick A. Britton Fixture to mount a miniature proximity transponder to another article
US6524774B1 (en) 2000-08-30 2003-02-25 Advanced Micro Devices, Inc. Method of controlling photoresist thickness based upon photoresist viscosity
US6516249B1 (en) 2000-09-05 2003-02-04 Lockheed Martin Corporation Fluid control system with autonomously controlled pump
JP2002181296A (ja) 2000-12-12 2002-06-26 Hanex Co Ltd Ｒｆｉｄタグの取付構造及びｒｆｉｄタグの取付方法
US6556027B2 (en) 2001-01-12 2003-04-29 Ondeo Nalco Company Low cost, on-line corrosion monitor and smart corrosion probe
US6843414B2 (en) * 2001-04-02 2005-01-18 Honeywell International Inc. Smart container for bulk delivery
US6859745B2 (en) * 2001-05-18 2005-02-22 Alcoa Closure Systems International Interactive information package
DE60209717T2 (de) 2001-05-21 2006-09-21 Colder Products Co., St. Paul Verbindungsvorrichtung zur regelung einer flüssigkeitsabgabe
JP4590161B2 (ja) * 2001-05-21 2010-12-01 スコット・ラボラトリーズ・インコーポレイテッド 医療容器のためのｒｆ−ｉｄラベル
US6879876B2 (en) * 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
JP2003054696A (ja) * 2001-08-13 2003-02-26 Sapporo Breweries Ltd 発泡飲料検出装置及びそれを用いた発泡飲料注出装置
CA2461307C (en) 2001-09-24 2011-01-11 Imx Labs, Inc. Apparatus and method for custom cosmetic dispensing
JP2003139864A (ja) 2001-10-30 2003-05-14 Maezawa Ind Inc 情報管理装置及び情報記録媒体収容部材
KR100900195B1 (ko) 2007-03-09 2009-06-02 재단법인서울대학교산학협력재단 광 식별 태그, 리더 및 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
JP5597020B2 (ja) 2014-10-01
WO2005067516A2 (en) 2005-07-28
US7702418B2 (en) 2010-04-20
KR101123562B1 (ko) 2012-03-12
MY154550A (en) 2015-06-30
US20040172160A1 (en) 2004-09-02
WO2005067516A3 (en) 2005-09-15
TW200528946A (en) 2005-09-01
JP2005178899A (ja) 2005-07-07
JP4536409B2 (ja) 2010-09-01
JP2010228813A (ja) 2010-10-14
CN1906606A (zh) 2007-01-31
KR20060113749A (ko) 2006-11-02
AU2004313341A1 (en) 2005-07-28
CN100468387C (zh) 2009-03-11
EP1697856A2 (en) 2006-09-06
EP1697856A4 (en) 2012-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI361960B (en) Container assembly, cap, system and method for material verification and delivery
US8849448B2 (en) Liquid handling system with electronic information storage
TW309503B (zh)
US5739508A (en) Closed loop information path for medical fluid delivery systems
WO2008059891A1 (fr) Procédé de traitement de substrat et système de traitement de substrat
US20090294467A1 (en) Medicine dispenser
JP2007014463A (ja) 自動調剤装置及び自動調剤装置における薬瓶の管理方法
JP2009544155A (ja) 情報記憶素子を有する材料貯蔵槽を管理するためのシステムおよび方法
JPH10199777A (ja) 半導体製造プロセス期間中の情報を格納するシステム、方法及び装置
TWI304916B (zh)
KR19990023632A (ko) 기판관리장치 및 기판수납장치
JP2002009133A (ja) 基板搬送装置
US20080249648A1 (en) System for verifying applicability of new operation recipe to substrate processing apparatus
CN109642859B (zh) 盖玻片粘贴装置
TW569003B (en) Liquid handling system with electronic information storage
CN110780541B (zh) 半导体制程系统与方法
EP3709024B1 (en) Apparatus for analyzing biological samples
TWI234057B (en) Method and system of controlling dummy dispense
JP2003264135A (ja) パターン形成方法、位置検出方法及び位置検出装置
KR100291549B1 (ko) 오버레이 측정장치
TW202338963A (zh) 黏貼方法
TW591462B (en) Material management system and method for semiconductor tool
JPH10270342A (ja) 半導体製造装置および半導体製造方法
KR100607200B1 (ko) Ｒｆ ｉｃ 칩을 이용한 레티클 리딩 시스템
JPS63193151A (ja) 自動現像装置