JP5597020B2 - 液体処理システム及び液体処理方法 - Google Patents

液体処理システム及び液体処理方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5597020B2
JP5597020B2 JP2010092395A JP2010092395A JP5597020B2 JP 5597020 B2 JP5597020 B2 JP 5597020B2 JP 2010092395 A JP2010092395 A JP 2010092395A JP 2010092395 A JP2010092395 A JP 2010092395A JP 5597020 B2 JP5597020 B2 JP 5597020B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
container assembly
liquid
information
connector
assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2010092395A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010228813A (ja
Inventor
ティー．オドハティー ケビン
イー．アンドリューズ ロバート
ブイ．ジャヤラマン トリプニスラ
ピー．メニング ジョセフ
エー．バイエ−ウォレス クリス
Original Assignee
アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド filed Critical アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド
Publication of JP2010228813A publication Critical patent/JP2010228813A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5597020B2 publication Critical patent/JP5597020B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0277—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure
    • B67D7/0283—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure specially adapted for transferring liquids of high purity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/06—Details or accessories
    • B67D7/32—Arrangements of safety or warning devices; Means for preventing unauthorised delivery of liquid
    • B67D7/34—Means for preventing unauthorised delivery of liquid
    • B67D7/344—Means for preventing unauthorised delivery of liquid by checking a correct coupling or coded information
    • B67D7/348—Means for preventing unauthorised delivery of liquid by checking a correct coupling or coded information by interrogating an information transmitter, e.g. a transponder
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
    • G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
    • G06K19/077—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
    • G06K19/07749—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card
    • G06K19/07758—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card arrangements for adhering the record carrier to further objects or living beings, functioning as an identification tag
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
    • G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
    • G06K19/077—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
    • G06K19/07749—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card
    • G06K19/07758—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card arrangements for adhering the record carrier to further objects or living beings, functioning as an identification tag
    • G06K19/07762—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier being capable of non-contact communication, e.g. constructional details of the antenna of a non-contact smart card arrangements for adhering the record carrier to further objects or living beings, functioning as an identification tag the adhering arrangement making the record carrier wearable, e.g. having the form of a ring, watch, glove or bracelet
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67282—Marking devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Conveying Record Carriers (AREA)
  • Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)

Description

背景
記載の実施形態は、読み取りまたは追跡システムに関する。特に、実施形態は、確実且つ適正な読み取りを確保にする構成を採用した読み取りシステムに関する。また、実施形態は、１つの読み取りまたは追跡アイテムから別のアイテムへの特性の変化を捕らえる構成に関する。
関連技術の背景
半導体デバイスの製造において、様々な目的の材料を半導体基板上に堆積する。半導体基板は二酸化シリコンなどの単結晶シリコン材料のウエハであることが多い。その上に堆積した材料には、半導体基板のトレンチ内に金属線または他の回路構成を形成するための銅、アルミニウムおよび他の金属がある。製造プロセス中に半導体基板上にさらに回路構成および材料層を形成する場合もある。
上述のようにトレンチを形成するために、まずフォトレジスト材料を半導体基板の上方に堆積させる。半導体基板へのフォトレジスト材料の搬送および供給の手法は、製造プロセスにとって重要である。例えば、間違った類型のフォトレジストを塗布するとコストは非常に高くなる場合がある。このような誤りは回路デバイスウエハなどの高価な半導体基板の破壊、無駄なフォトレジスト、およびエラーを修正するのに必要な中断時間の点でコストがかかることになる。
上記のフォトレジスト材料は、液体の状態で半導体基板の表面に搬送および供給される。通例、フォトレジスト材料をスピンオンプロセスにより半導体基板表面全体に塗布して薄く拡げる。スピンオンプロセスのパラメータを選択することにより、確実にフォトレジストを半導体基板の表面全体に非常に均一に薄く分散させる。この後、半導体基板を加熱することが多く、これにより半導体基板上に固体のフォトレジスト層が形成される。
上記の固体フォトレジスト層をパターン化することにより、従来のエッチング技術による以下のトレンチ形成が可能になる。しかし、適正なトレンチ形成および均一性は、一部には、トレンチを規定する薄いフォトレジスト層が示す均一度による。実際に、半導体基板へのフォトレジスト材料の適正な搬送および供給は信頼性の高い半導体デバイスの製造にとって重要である。事実、金属線などのデバイス構成が小さくなるにつれ、フォトレジストの不均一性がデバイス構成に及ぼす悪影響は大きくなる。
特許文献１〜５には、スピンオンプロセスにおける液体状のフォトレジスト材料の使用、フォトレジスト材料の塗布の態様、およびフォトレジスト材料の粘度に基づくフォトレジスト材料の塗布について開示されている。
米国特許第４２６７２１２号明細書 米国特許第４６４０８４６号明細書 米国特許第５４０５８１３号明細書 米国特許第６４４６６４４号明細書 米国特許第６５２４７７４号明細書
均一に薄いフォトレジスト層の達成には、フォトレジスト材料の具体的な物理的および機能的特性に基づいてパラメータを用いるスピンオンまたは他のプロセスの適用が必要となる。残念ながら、フォトレジスト材料タイプの特性は、１つのバッチと次のバッチでは異なる場合がある。例えば、フォトレジストタイプの粘度が１つのバッチまたは容器と次のものとは異なることがある。このように十分に均一なフォトレジスト層を半導体基板上に形成するために信頼性の高い所定のパラメータを設定することは、不可能ではなくても、達成するのが非常に困難であることがある。半導体基板へのフォトレジスト材料の適正な搬送および塗布は、適正タイプのフォトレジスト材料を提供することと、提供されたフォトレジスト材料の正確な特性に鑑み、適正な塗布パラメータを採用することの両方に関連する課題に直面する。
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、液体を保持するように構成された内部、および、前記内部内に保持された液体に関する情報を記憶する情報記憶メカニズム、を有する、容器アセンブリと、前記容器アセンブリに受容されて結合されるように構成されたコネクタであって、当該コネクタは、前記容器アセンブリの内部からの前記液体の抜き出しを可能にする材料ラインを有し、所定の塗布に前記液体を用いるためのプロセスアセンブリ、及び、前記塗布を指示するための制御ユニット、に同時に結合されるようにさらに構成されたコネクタと、前記コネクタを受容して前記容器アセンブリに前記コネクタを結合する前に前記情報記憶メカニズムから前記情報を受け取るように構成された確認ツールであって、前記情報は、前記コネクタが前記容器アセンブリに受容されて結合されるべきかどうかを示すために使用される、確認ツールと、を備える液体処理システムを提供する。
この容器アセンブリは、前記容器アセンブリの前記液体を当初密封するための破断可能膜を有するキャップを含んでもよい。前記コネクタは前記キャップに受容されて結合されてよい。前記コネクタは、前記容器アセンブリの内部に入るように構成されたプローブを備え、前記材料ラインは前記プローブに結合されてよい。当該液体処理システムは、基板上への材料のスピンオンコーティング、メニスカスコーティング、およびステンシル印刷うちのいずれかのためのツールを備える前記プロセスアセンブリに前記容器アセンブリから液体を送達するように動作可能に結合されてよい。前記情報記憶メカニズムは、バーコード、磁気ストリップ、および高周波識別（ＲＦＩＤ）装置のうちのいずれかを含んでよい。
また、本発明は、液体を保持するように構成された容器アセンブリに配置された情報記憶メカニズムからの情報を確認ツールで読み取る工程と、前記情報記憶メカニズムから読み出された情報に基づき、前記容器アセンブリ及び前記液体のいずれかが所定の塗布での使用に許容可能であるかどうかを決定する工程と、前記決定工程における肯定的な決定に応じて、前記容器アセンブリからの前記液体の抜き出しを可能にする材料ラインを有するコネクタを前記容器アセンブリに係合させる工程と、を含み、上記液体処理システムで実施される液体処理方法を提供する。この場合、前記情報記憶メカニズムは、バーコード、磁気ストリップ、および高周波識別（ＲＦＩＤ）装置のうちのいずれかを含んでよい。当該液体処理方法は、基板上への材料のスピンオンコーティング、メニスカスコーティング、およびステンシル印刷のいずれかのためのツールを備えるプロセスアセンブリに前記容器アセンブリから液体を送達する工程をさらに含んでよい。
また、本発明は、容器アセンブリから抜き出されるべき液体を保持するように構成された容器アセンブリに連結された情報記憶メカニズムに記憶された情報を読み出す工程であって、前記情報は、前記容器アセンブリ内に保持される前記液体の特性を含む、工程と、前記情報記憶メカニズムから読み出された情報から、前記容器アセンブリ内に保持された前記液体が所定の塗布に許容可能な液体であることを確認しようとする工程と、前記情報記憶メカニズムから読み出された前記情報から、前記容器アセンブリ内の前記液体が前記所定の塗布に許容されないことを決定し、前記容器アセンブリからの前記液体の抜き出しを阻止する工程、および、前記情報記憶メカニズムから読み出された前記情報から、前記容器アセンブリ内の前記液体が前記所定の塗布に許容されることを決定し、前記容器アセンブリからの前記液体の抜き出しを可能にする工程、のいずれか１つの工程と、を含み、上記液体処理システムで実施される液体処理方法を提供する。
読み取りシステムの一実施形態の断面斜視図である。 図１の読み取りシステムの容器アセンブリの一実施形態の展開斜視図である。 図２の容器アセンブリの断面図である。 図３の４−４に沿った容器アセンブリのアンテナの拡大図である。 複数の容器アセンブリを含む、図１の読み取りシステムのキャビネットの材料引出しの一実施形態の斜視図である。 スピンオンツールを示す、図１のプロセスアセンブリの断面図である。 図１のような読み取りシステムを用いた方法を要約したフローチャートである。 図１のような読み取りシステムを用いたさらなる方法を要約したフローチャートである。
詳細な説明
確実な読み取りシステムの特定の構成を参照して、以下に実施形態を説明する。特に、フォトレジスト材料を含む容器アセンブリの信頼性および保全性を確保するのに役立つ構成を説明する。さらに、塗布パラメータの連続的な補正を可能にして、フォトレジスト材料の１つのバッチまたは容器から次のバッチまたは容器へ変わる際に、フォトレジスト材料タイプの特性のいかなる変化にも対応することを確実にする構成を説明する。
図１を参照すると、確実な読み取りシステム（ＳＲＳ）１００の一実施形態が示されている。ＳＲＳ１００は容器アセンブリ１１０を収容する材料キャビネット１０１を含む。図示の実施形態において、１つの容器アセンブリ１１０のみが見える。しかし、複数の容器アセンブリ１１０が含まれている場合もある。さらに、材料キャビネット１０１は収容される容器アセンブリ１１０の数およびタイプを増やすために、図示のように多数の材料引出し１３０を有してもよい。
容器アセンブリ１１０は、情報タグ２００（図２参照）などのその中に含まれる材料に関する情報を記憶するための情報記憶メカニズムを含んでいる。図１に示すように、容器本体１２０に結合したキャップ１１５が配設されている。図示の実施形態では、情報タグ２００は、具体的には、キャップ１１５に配されている。キャップ１１５はコネクタ１１８を受容して固定するように構成されている。このコネクタ１１８は、容器アセンブリ１１０を、以下にさらに説明するようなプロセスアセンブリ１０３および制御ユニット１０２に同時に結合するように構成されている。
容器アセンブリ１１０は、プロセスアセンブリ１０３に供給される材料を収容するように構成されている。図示の実施形態において、前記コネクタ１１８は材料ライン１２５によってプロセスアセンブリ１０３に結合されている。同様に、前記コネクタ１１８は制御ユニット１０２に結合されている。制御ユニット１０２はここでさらに説明するように容器アセンブリ１１０を識別且つ監視するように構成されている。容器アセンブリ１１０と制御ユニット１０２の間の通信用に情報ケーブル１２２が設けられている。
図１に示した実施形態において、制御ユニット１０２は、容器アセンブリ１１０に直結したコントローラ１５０とタッチスクリーンモニタ１４０とを含む。タッチスクリーンモニタ１４０は、ここでさらに説明するように直接容器アセンブリ１１０に関する、またはその中の材料に関する情報を表示することもできる。容器アセンブリ１１０の識別および監視に加えて、制御ユニット１０２は容器アセンブリ１１０に含まれる材料を使用するプロセスアセンブリ１０３における塗布を指示することもできる。
中央処理能力はコントローラ１５０内に含まれており、そこにプロセスアセンブリ１０３を結合するためにコントローラ・ケーブル１５５が設けられている。このようにして、制御ユニット１０２によって容器アセンブリ１１０からの材料を用いる塗布が指示される。例えば、ユーザがタッチスクリーンモニタ１４０を介して、塗布を指示することもできる。ある実施形態では、このような塗布の指示は上述の情報記憶メカニズムから得られた情報に基づいて、さらに以下の図２（情報タグ２００を参照）を参照している。
図１の参照を続けると、プロセスアセンブリ１０３はマイクロプロセッサ１６０に結合されたプロセス室１７５を含む。マイクロプロセッサ１６０は、所定の一連の命令またはコントローラ１５０からの情報に基づいて、プロセス室１７５内の塗布を指示することもできる。プロセス室１７５は容器アセンブリ１１０に含まれる材料を使用するためのツールまたは装置を含む場合もある。例えば、一実施形態において、プロセス室１７５は容器アセンブリ１１０からのフォトレジスト材料３００を半導体基板６７５（図６参照）に塗布するためのスピンオンツール６００を含む場合もある。
ここで図２を参照すると、容器アセンブリ１１０がさらに詳細に示されている。上述したように、コネクタ１１８がキャップ１１５において容器アセンブリ１１０に結合されている。キャップ１１５は容器アセンブリ１１０の内容物を当初密封するために破断可能（rupturable）膜２１０を含む場合もある。このような実施形態において、コネクタ１１８のプローブ２１５を用いて破断可能膜２１０を貫通するとともに、容器アセンブリ１１０の材料とコネクタ１１８の間を連通させることができる。上述したように、コネクタ１１８は情報ケーブル１２２および材料ライン１２５も含んでいる。材料ライン１２５はコネクタ１１８の本体内でプローブ２１５に連結している。情報ケーブル１２２は、以下にさらに説明するアンテナアセンブリ２７５において終端している。
さらに図７および８を参照して、図１に示したＳＲＳ１００を用いる実施形態をフローチャートの形で要約する。使用時にＳＲＳ１００の構成がどのように相互作用するか、を説明する助けとして、後述する全体部分の説明を通して図７および８を参照する。
上述もしたように、容器アセンブリ１１０のキャップ１１５は情報記憶メカニズムとして情報タグ２００も含んでいる。情報タグ２００は容器アセンブリ１１０に含まれている材用に関するデータを保存するように構成されている。例えば、一実施形態において、材料の性質、製造日および条件、量、および他の特性に関するデータが、情報タグ２００に記憶される（図７の７１０参照）。
情報タグ２００はバーコード、磁気ストリップ、電気的消去可能プログラム可能読取専用メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）を用いた高周波識別（ＲＦＩＤ）装置、あるいは容器アセンブリ１１０内に含まれている材料に関する情報を記憶するのに適した任意の他の従来メカニズムでもよい。一実施形態において、情報タグ２００は、情報タグ２００に記憶されるデータ量を増やすためにＥＥＰＲＯＭを含んでいる。本実施形態において、図８の８２０に示すように、容器アセンブリ１１０内の材料が変わるときに（例えば、塗布で使用したことにより材料量が減少するとき）、情報タグ２００へ書き込みを行うことによりデータを更新することができる。
図２および３の参照を続けると、容器アセンブリ１１０が特定の塗布に用いるフォトレジスト材料３００を含む場合がある。コネクタ１１８は、適正なフォトレジスト材料３００および適正なフォトレジスト材料３００を有する容器アセンブリ１１０を塗布に用いるコネクタ１１８に結合することを確実にする構成を含む。
情報ケーブル１２２は、既述したようにアンテナアセンブリ２７５において終端する。プローブ２１５を容器本体１２０内に入れるとともにアンテナアセンブリ２７５を情報タグ２００に隣接させた状態でコネクタ１１８を物理的にキャップ１１５に結合することができる。一旦このように配置すると、アンテナアセンブリ２７５はキャップ１１５において情報タグ２００から情報を読み取ることができる。一実施形態において、ここで説明したこの種のコネクタ１１８とキャップ１１５間の結合が採用されるまでアンテナアセンブリ２７５は情報を読み取ることができない。コネクタ１１８を容器アセンブリ１１０において物理的に固定且つ配置する方法のため、アンテナアセンブリ２７５によって読み取られた情報を、容器アセンブリ１１０と独占的に関連付けることができる。このようにコネクタ１１８は容器アセンブリ１１０内の材料および情報タグ２００からの情報が通過可能な唯一の経路として機能する。
所望の塗布をするために、適正材料および容器アセンブリ１１０をコネクタ１１８に結合することをさらに確実にするために、コネクタ１１８を容器アセンブリ１１０のキャップ１１５に結合する前に、確認ツール２５０を使用する。確認ツール２５０はコントローラ１５０（図１参照）に結合された確認ケーブル２５５を含む。確認ケーブル２５５は情報タグ２００から情報を読み取るための確認アンテナ２６５で終端する。確認アンテナ２６５は、可視光発光ダイオード（ＬＥＤ）または他の適当なメカニズムなどの確認表示器２６０を含む。
さらに図７を参照すると、制御ユニット１０２（図１参照）において塗布を選択することができる。７３０に示すように、確認ツール２５０の確認アンテナ２６５を情報タグ２００に隣接配置し、コントローラ１５０（図１参照）によって指示することにより情報タグ２００から情報を読み取ることができる。その後確認表示器２６０は確認アンテナ２６５によって読み取られた情報に対して目に見える応答を示すことができる。例えば、一実施形態において、確認表示器２６０は、情報タグ２００から読み取られた情報が所定の塗布用の許容材料３００および容器アセンブリ１１０が存在することを示す場合に緑色光を発することができる。代替的には、確認表示器２６０は、情報タグ２００からの情報がそうでないことを示す場合に赤色光を発することができる。このような方法で、コネクタ１１８を容器アセンブリ１１０のキャップ１１５に結合する前にフォトレジスト材料３００および容器アセンブリ１１０を確認することができる。
図示の実施形態において上述したような確認により、所望の塗布に用いる容器アセンブリ１１０およびフォトレジスト材料３００を確認するため、破断可能膜２１０の破断およびフォトレジスト材料３００の露出を防止することができる。さらに、確認表示器２６０はコントローラ１５０で指示されたときにアンテナアセンブリ２７５から目に見える応答を引き出すことができる。これは、図５に示した材料引出し１３０におけるような多数のアンテナアセンブリ２７５からの同時に目に見える応答を含む場合もある。
図３を参照すると、７４０（図７参照）に示すように、容器アセンブリ１１０は図１のＳＲＳ１００に物理的に固定される。これは、コネクタ１１８をキャップ１１５に結合することにより達成される。プローブ２１５は容器本体１２０内へ下方に延び材料と接触する。図示のように、コネクタ１１８は、従来の手段により流体（例えばフォトレジスト材料３００）を容器本体１２０からプローブ２１５を介して材料ライン１２５へと抜き取るあるいはポンプで汲み上げるように容器アセンブリ１１０に適切に固定される。
コネクタ１１８は、同時に、情報タグ２００からの情報をアンテナアセンブリ２７５によって読み取れるように、キャップ１１５に固定される。コネクタ１１８は容器アセンブリ１１０からフォトレジスト材料３００を抜き取るのを容易にすると同時に、情報タグ２００からアンテナアセンブリ２７５への情報の伝達を確実にするように固定される。これによりアンテナアセンブリ２７５がコネクタ１１８と同時に連通しているまさにその容器アセンブリ１１０の情報タグ２００以外の任意の情報源から情報を読み取る可能性が物理的に排除される。例えば、これによりユーザが１つの使用可能容器アセンブリ１１０およびフォトレジスト材料３００の情報タグ２００から情報を得て、その後塗布に際して誤って別の使用不可能容器をコネクタ１１８に結合することを防止する。
図３を参照すると、コネクタ１１８を容器アセンブリ１１０に組み付けた状態で容器アセンブリ１１０が示されている。プローブ２１５は塗布に使用するためにフォトレジスト材料３００を材料ライン１２５へ抜き出すように容器本体１２０に延びている。プローブ２１５は、図示のように容器本体１２０内へ垂直に延びることができる。代替的には、プローブ２１５を異なる形状あるいは長さに構成して、フォトレジスト材料３００を容器本体１２０の最下部から抜き取るようにすることができる。コネクタ１１８を、図示のように、キャップ１１５において固定すると、アンテナアセンブリ２７５は情報タグ２００に隣接して位置する。上述したように情報は情報タグ２００とアンテナアセンブリ２７５の間で交換可能であるとともに、情報ケーブル１２２に沿って伝達することができる。こうして、８１０に示すように塗布を実行する前に、７５０に示すように適正な容器アセンブリ１１０の物理的結合を確認することができる（図７および８参照）。
図３および４を参照すると、アンテナ部４８０とアンテナ表示器４８５とを有するアンテナアセンブリ２７５が示されている。アンテナ部４８０は情報タグ２００から情報を読み取るための従来のアンテナでもよい。アンテナ部４８０と情報タグ２００の間の物理的結合は必要ない。図示の実施形態において、コネクタ１１８が、キャップ１１５に適正に固定された場合、情報タグ２００とアンテナ部４８０の間に極小クリアランス４９０が設けられる。情報タグ２００とアンテナ部４８０の間に物理的接触がないことが、情報タグ２００とアンテナ部４８０の保全性（integrity）を維持するのに役立つ。
アンテナ部４８０は、情報タグ２００から情報を読み取る働きをすることができる。アンテナ表示器４８５は、情報タグ２００から得られた情報に基づいて点灯するように構成されたＬＥＤ構成を含む場合もある。例えば、一実施形態において、アンテナ表示器４８５は、情報タグ２００から読み取られた情報が所定の塗布用の許容なフォトレジスト材料３００および容器アセンブリ１１０が存在することを示す場合に緑色光を発することができる。代替的には、アンテナ表示器４８５は、情報タグ２００からの情報がそうでないことを示す場合に赤色光を発することができる。これにより、フォトレジスト材料３００を用いて塗布を行う前に適正な容器アセンブリ１１０が使用されているという確証をユーザに与えることができる。
図１〜４を続けて参照すると、コントローラ１５０によって情報タグ２００とアンテナアセンブリ２７５の間の情報交換を指示することができる。上述したようにコントローラ１５０は採用する塗布を指示することもできる。よって、一実施形態において、特定の容器アセンブリ１１０が特定の塗布に許容可能であるかどうかという判断はコントローラ１５０に記憶された一連の所定の判断基準に基づく。許容不可能な容器アセンブリ１１０がコネクタ１１８に結合されると、コントローラ１５０はアンテナ表示器４８５に上述したように示す。さらに、コントローラ１５０は容器本体１２０からフォトレジスト材料３００が抜き取られる前に、塗布を終了することにより応答することができる。
情報タグ２００から得られた読み取り値に基づいて塗布を指示することに加えて、コントローラ１５０は、図８の８３０に示したように、読み取りを連続または進行形式で行うことを指示することもできる。進行読み取りを用いることにより、検出を行わずに複数の塗布間で許容可能容器アセンブリ１１０の交換を防止することもできる。好適な実施形態において、ミリ秒間隔で読み取りを行う。しかし、読み取りを他の間隔で行ってもよい。例えば、一実施形態において、塗布の推定継続時間よりも短い間隔で、アンテナ部４８０により読み取り値を得る。これにより、その容器アセンブリ１１０の交換前に、アンテナ部４８０によって多数の読み取り値が確実に得られる。このようにして、許容可能容器アセンブリ１１０がコネクタ１１８に結合されて直ちに塗布が始まる場合でも、その後検出を行うことなく許容不可能な容器をコネクタ１１８に結合する十分な時間はない。他の実施形態において、推定容器交換時間（すなわち容器アセンブリ１１０を交換するのに必要な時間）未満の間隔で読み取り値を得る。これにより、塗布がまだ実行されていない場合でも、容器アセンブリ１１０の交換前にアンテナ部４８０による多数の読み取り値が得られる。例えば、容器アセンブリ１１０の交換が物理的に５秒を超えるユーザ時間を必要とする一実施形態において、約５秒以下の間隔で読み取りが行われる。
図１〜４を引き続き参照すると、図８の８２０に示すように、更新済み情報を情報タグ２００に書き込むように、アンテナアセンブリ２７５を構成することができる。例えば、上記のように、情報タグ２００は高周波識別（ＲＦＩＤ）性能を含んでもよい。そのため容器アセンブリ１１０内の材料３００の量に関する情報を情報タグ２００に記憶することができる。一実施形態において、塗布中にある量の材料３００を容器アセンブリ１１０から抜き出す際に、容器アセンブリ１１０内のフォトレジスト材料３００の量に関する情報を更新することができる。この更新はアンテナアセンブリ２７５が、塗布中に抜き出されたフォトレジスト材料３００の量を示す、新しい情報を情報タグ２００に書き込むことにより達成される。よって、フォトレジスト材料３００の量に関する最新の情報が容器アセンブリ１１０とともに残る。こうして容器アセンブリ１１０内のフォトレジスト材料３００の量に関する情報を失うことなく容器アセンブリ１１０をＳＲＳ１００から取り外すまたは他のシステムとともに使用することができる。
図１〜５を参照すると、ＳＲＳ１００の材料引出し１３０内に容器アセンブリ１１０が示されている。材料引出し１３０はコントローラにより指示される様々な可能性のある塗布に使用する数個のこのようなアセンブリを保持している。この使い勝手のよい収容能力はＳＲＳ１００に組込み効率も提供する。
図６を参照すると、図１のプロセスアセンブリ１０３がより詳細に示されている。図示の実施形態において、プロセスアセンブリ１０３はスピンオンツール６００が設けられたプロセス室１７５を含む。スピンオンツール６００は半導体基板６７５の表面全体にフォトレジスト材料３００を受容して供給するように構成されている。他の実施形態において、プロセス室１７５は、メニスカスコーティング、ステンシル印刷、あるいはフォトレジスト供給に関係ない塗布など、材料を供給する代替技術用のツールを含んでもよい。
図６に示したように、半導体基板６７５をスピンオンツール６００の回転可能プラットフォーム６８０上の中心に位置させる。その回転可能プラットフォーム６８０は半導体基板６７５の付近で終端する、中空部６８８を有するパイプ６８５により支持されている。このようにして、従来の手段によりパイプ６８５を介して真空（矢印６８８で示す）を適用し、図示のように半導体基板６７５を固定する。
図１〜６を参照すると、フォトレジスト材料３００を半導体基板６７５の表面に供給する際に、スピンオンツール６００を回転させるパイプ６８５に結合された回転可能モータ６９０が示されている。コントローラ１５０に指示されたように、フォトレジスト材料３００が材料ライン１２５およびキャビネット１０１から供給される。そのコントローラ１５０はフォトレジスト材料３００の機能的性質に従って、マイクロプロセッサ１６０を介して上記の塗布を指示する。かかる機能的性質情報は、上述したように容器アセンブリ１１０から得られる。
一実施形態において、フォトレジスト材料３００はノボラック樹脂およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）溶媒中のフェノール化合物などのｉ線フォトレジストである。フェノール化合物はジアゾナフタキノン（ｄｉａｚｏｎａｐｈｔｈａｑｕｉｎｏｎｅ）誘導体である。コントローラ１５０は、フォトレジスト材料３００が供給される際に、マイクロプロセッサ１６０により約４０００ｒｐｍ〜約５０００ｒｐｍのスピンオンツール６００の回転を指示する。その後、半導体基板６７５は約２５秒〜約３５秒の間、約９０℃〜約１００℃の温度に曝される。こうして、フォトレジスト材料３００の膜が半導体基板６７５上に設けられる。得られた膜は、約１．０ミクロン〜約１．４ミクロンの厚さを有することができる。
他の実施形態において、同様であるが他のパラメータを使用して、異なる厚さを有するフォトレジスト材料３００の別の膜を設けることができる。例えば、一実施形態において、約０．６ミクロン〜約１．０ミクロンの厚さを有する遠紫外線（ＵＶ）フォトレジスト膜を設けることができる。他の実施形態において、遠（ディープ）ＵＶフォトレジストと同様の特性の約０．６ミクロン〜約０．８ミクロンの厚さを有する１９３ｎｍフォトレジストを設けることができる。
上記の塗布は、一部には、容器アセンブリ１１０に記憶された情報に基づいて進行する。しかし、ある状況ではその情報は完全に正確ではない。ここに説明した実施形態において、これが所望の範囲から逸脱する膜厚あるいは他の供給問題につながる。例えば、フォトレジストの１つのバッチまたは容器と、当初情報が容器アセンブリ１１０に記憶された時には不明の次のものとで粘度が変わることがある。図８に示すように、従来の手段および変更した塗布により誤った情報の存在を識別８４０して、更新されたパラメータを使用８５０してもよい。すなわち、制御ユニット１０２を介して更新された情報を入力することにより、塗布のパラメータを変更することができる。図示の実施形態において、これにはタッチスクリーン１４０において得られる望ましくない膜厚を示すだけでよい。不均衡を補うアルゴリズムの調整をコントローラ１５０により行い、直ちにフォトレジスト材料３００を使用する塗布に適用することができる。ＳＲＳ１００はこのような連続的な補正を可能にするように構成されている。これが、かかる塗布を実行する際の極小中断時間およびスループットの向上をもたらす。
さらに他の実施形態において、情報記憶メカニズムから得られた情報を動的に用いることができる。例えば、粘度などの材料の性質が時間とともに変化する状況において、情報記憶メカニズムに記憶された情報は材料の古さまたは所定の時刻におけるその粘度に関連する。塗布を実行する際にこのような情報を自動的に捕らえることができる。例えば、コントローラ１５０がその中に記憶された既知の粘度率変化情報を有する場合（図１参照）、塗布の正確な時刻における材料の粘度を示すようにアルゴリズム値を自動的に設定することができる。
上述の実施形態は、特定の所定材料を所定の塗布に専用に利用することを確保する確実な方法を提供する。また、材料が使用される塗布パラメータを確認、および必要に応じて更新する、利用しやすく且つ連続的な方法を提供する実施形態が説明されている。
特定の半導体フォトレジスト塗布を参照して上記の実施形態を説明しているが、他の実施形態および特徴を用いてもよい。例えば、実施形態を、誘電体膜塗布を対象にしてもよい。さらに上述したようなシステムを、ガス容器、血液バッグ、生物薬剤容器、薬物供給装置、および回収可能および再利用可能容器を始めとする様々な材料タイプのうちの１つを含む容器、を使用する用途用に構成してもよい。再利用可能容器は、その後内部に新たな材料を有する容器の各利用毎に、そこに書き込まれた新しい材料情報を有する情報メカニズムを使用することもできる。説明した実施形態は、例えば、ある容器またはバッチから次の容器またはバッチへと材料特性が変わりやすい場合に特に有益である。さらに説明した実施形態の範囲内にある様々な他の特徴および方法を利用することができる。
１０３…プロセスアセンブリ、１１０…容器アセンブリ、１１５…キャップ、１１８…コネクタ、１２５…材料ライン、２００…情報タグ（情報記憶メカニズム）、２１０…破断可能膜、２１５…プローブ、２５０…確認ツール、３００…フォトレジスト材料（液体）

Claims (10)

  1. 液体を保持するように構成された内部、および、前記内部内に保持された液体に関する情報を記憶する情報記憶メカニズム、を有する、容器アセンブリと、
    前記容器アセンブリに受容されて結合されるように構成されたコネクタであって、当該コネクタは、前記容器アセンブリの内部からの前記液体の抜き出しを可能にする材料ラインを有し、所定の塗布に前記液体を用いるためのプロセスアセンブリ、及び、前記塗布を指示するための制御ユニット、に同時に結合されるようにさらに構成されたコネクタと、
    前記コネクタを受容して前記容器アセンブリに前記コネクタを結合する前に前記情報記憶メカニズムから前記情報を受け取るように構成された確認ツールであって、前記情報は、前記コネクタが前記容器アセンブリに受容されて結合されるべきかどうかを示すために使用される、確認ツールと、を備える液体処理システム。
  2. 前記容器アセンブリは、前記容器アセンブリの前記液体を当初密封するための破断可能膜を有するキャップを含む、請求項１に記載の液体処理システム。
  3. 前記コネクタは前記キャップに受容されて結合される、請求項２に記載の液体処理システム。
  4. 前記コネクタは、前記容器アセンブリの内部に入るように構成されたプローブを備え、前記材料ラインは前記プローブに結合される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体処理システム。
  5. 基板上への材料のスピンオンコーティング、メニスカスコーティング、およびステンシル印刷うちのいずれかのためのツールを備える前記プロセスアセンブリに前記容器アセンブリから前記液体を送達するように動作可能に結合された、請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体処理システム。
  6. 前記情報記憶メカニズムは、バーコード、磁気ストリップ、および高周波識別（ＲＦＩＤ）装置のうちのいずれかを含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体処理システム。
  7. 液体を保持するように構成された容器アセンブリに配置された情報記憶メカニズムからの情報を確認ツールで読み取る工程と、
    前記情報記憶メカニズムから読み出された情報に基づき、前記容器アセンブリおよび前記液体のいずれかが所定の塗布での使用に許容可能であるかどうかを決定する工程と、
    前記決定する工程における肯定的な決定に応じて、前記容器アセンブリからの前記液体の抜き出しを可能にする材料ラインを有するコネクタを前記容器アセンブリに係合させる工程と、を含み、
    請求項１に記載の液体処理システムで実施される、液体処理方法。
  8. 前記情報記憶メカニズムは、バーコード、磁気ストリップ、および高周波識別（ＲＦＩＤ）装置のうちのいずれかを含む、請求項７に記載の液体処理方法。
  9. 基板上への材料のスピンオンコーティング、メニスカスコーティング、およびステンシル印刷のいずれかのためのツールを備えるプロセスアセンブリに前記容器アセンブリから液体を送達する工程をさらに含む、請求項７又は８に記載の液体処理方法。
  10. 容器アセンブリから抜き出されるべき液体を保持するように構成された容器アセンブリに連結された情報記憶メカニズムに記憶された情報を読み出す工程であって、前記情報は、前記容器アセンブリ内に保持される前記液体の特性を含む、工程と、
    前記情報記憶メカニズムから読み出された情報から、前記容器アセンブリ内に保持された前記液体が所定の塗布に許容可能な液体であることを確認しようとする工程と、
    前記情報記憶メカニズムから読み出された前記情報から、前記容器アセンブリ内の前記液体が前記所定の塗布に許容されないことを決定し、前記容器アセンブリからの前記液体の抜き出しを阻止する工程、および、
    前記情報記憶メカニズムから読み出された前記情報から、前記容器アセンブリ内の前記液体が前記所定の塗布に許容されることを決定し、前記容器アセンブリからの前記液体の抜き出しを可能にする工程、のいずれか１つの工程と、を含み、
    請求項１に記載の液体処理システムで実施される、液体処理方法。
JP2010092395A 2003-12-19 2010-04-13 液体処理システム及び液体処理方法 Expired - Lifetime JP5597020B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/742,125 US7702418B2 (en) 2001-06-13 2003-12-19 Secure reader system
US10/742,125 2003-12-19

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004111383A Division JP4536409B2 (ja) 2003-12-19 2004-04-05 確実な読み取りシステム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010228813A JP2010228813A (ja) 2010-10-14
JP5597020B2 true JP5597020B2 (ja) 2014-10-01

Family

ID=34794627

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004111383A Expired - Lifetime JP4536409B2 (ja) 2003-12-19 2004-04-05 確実な読み取りシステム
JP2010092395A Expired - Lifetime JP5597020B2 (ja) 2003-12-19 2010-04-13 液体処理システム及び液体処理方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004111383A Expired - Lifetime JP4536409B2 (ja) 2003-12-19 2004-04-05 確実な読み取りシステム

Country Status (9)

Country Link
US (1) US7702418B2 (ja)
EP (1) EP1697856A4 (ja)
JP (2) JP4536409B2 (ja)
KR (1) KR101123562B1 (ja)
CN (1) CN100468387C (ja)
AU (1) AU2004313341A1 (ja)
MY (1) MY154550A (ja)
TW (1) TWI361960B (ja)
WO (1) WO2005067516A2 (ja)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6879876B2 (en) * 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
US7187286B2 (en) 2004-03-19 2007-03-06 Applera Corporation Methods and systems for using RFID in biological field
MX2007004193A (es) * 2004-10-07 2007-10-16 West Pharm Serv Inc Dispositivo de cierre para un envase.
KR100997506B1 (ko) 2006-06-13 2010-12-01 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 가스 제거를 수행하는 액체 분배 시스템
KR101634914B1 (ko) * 2006-07-10 2016-07-08 엔테그리스, 아이엔씨. 정보 저장 엘리먼트를 갖는 물질 저장 용기를 관리하기 위한 시스템 및 방법
US7750173B2 (en) 2007-01-18 2010-07-06 Advanced Technology Materials, Inc. Tantalum amido-complexes with chelate ligands useful for CVD and ALD of TaN and Ta205 thin films
US8242915B2 (en) * 2007-11-26 2012-08-14 Access Business Group International Llc Closure assembly
TWI344669B (en) * 2007-06-27 2011-07-01 Tank locking device, managerial system of liquid and method thereof
JP4702394B2 (ja) * 2008-05-16 2011-06-15 力晶科技股▲ふん▼有限公司 液体供給を管理するためのタンクロック装置・システムとそれを使用する方法
JP5612265B2 (ja) * 2009-01-23 2014-10-22 株式会社Ｓｃｒｅｅｎセミコンダクターソリューションズ 基板処理装置及び基板処理方法
CN104627536A (zh) 2009-07-09 2015-05-20 先进技术材料股份有限公司 基于衬里的存储系统
WO2012118527A1 (en) 2011-03-01 2012-09-07 Advanced Technology Materials, Inc. Nested blow molded liner and overpack and methods of making same
KR101339636B1 (ko) 2012-06-25 2013-12-13 서채영 반도체 제조장비의 약액 검증시스템
BR112015011472A2 (pt) * 2012-11-19 2017-07-11 Castrol Ltd recipiente, método e sistema de controle
US9242267B2 (en) 2013-01-31 2016-01-26 Owens Corning Intellectual Capital, Llc Method and apparatus for mixing and applying material
EP2786802A1 (de) * 2013-04-03 2014-10-08 Metrohm Ag Verschluss für einen Behälter
DE102013109799A1 (de) 2013-09-09 2015-03-12 as Strömungstechnik GmbH Entnahmesystem
DE102013110020A1 (de) * 2013-09-12 2015-03-12 as Strömungstechnik GmbH Entnahmesystem
EP2868622A1 (de) * 2013-10-30 2015-05-06 Rolitec AG Entnahmevorrichtung
JP2015115486A (ja) * 2013-12-12 2015-06-22 東京エレクトロン株式会社 液供給装置
CA2938929C (en) * 2014-02-10 2021-04-20 Ecolab Usa Inc. Apparatus for emptying a fluid container and method for coupling a fluid container to a corresponding apparatus
US10619533B2 (en) 2014-05-21 2020-04-14 Castrol Limited Fluid system and method
US20160117530A1 (en) * 2014-10-28 2016-04-28 Avery Dennison Retail Branding and Information Solutions Methods for scanning and encoding a plurality of rfid tagged items
US11714975B2 (en) 2014-10-28 2023-08-01 Avery Dennison Retail Information Services Llc High density read chambers for scanning and encoding RFID tagged items
US9580294B2 (en) * 2014-12-03 2017-02-28 Brewer Science Inc. Computer program and method for verifying container of material to be dispensed
US9922218B2 (en) 2015-06-10 2018-03-20 Avery Dennison Retail Information Services, Llc RFID isolation tunnel with dynamic power indexing
US10981332B2 (en) * 2016-05-12 2021-04-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Additive manufacturing material management station
US10315814B2 (en) * 2017-08-04 2019-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Transfer cap
CA3090116A1 (en) 2018-01-30 2019-08-08 Life Technologies Corporation Instruments, devices and consumables for use in a workflow of a smart molecular analysis system
EP3756153A1 (en) 2018-02-21 2020-12-30 Ecolab USA, Inc. Pump chemical compatibility management system
JP7099233B2 (ja) * 2018-09-28 2022-07-12 ブラザー工業株式会社 接着装置
EP3795535A1 (de) * 2019-09-19 2021-03-24 AS Strömungstechnik GmbH Behältermanagementsystem
US11935769B2 (en) * 2021-08-27 2024-03-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Interlock apparatus for chemical supply system
KR102414546B1 (ko) * 2022-03-22 2022-06-30 주식회사 엔이아이디 반도체 제조 공정에 사용되는 원료가 포함된 저장용기를 결합 고정하는 용기 홀더

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE32866T1 (de) * 1982-02-05 1988-03-15 Ici Plc Fluessigkeitsbehaelter.
US5102010A (en) * 1988-02-16 1992-04-07 Now Technologies, Inc. Container and dispensing system for liquid chemicals
US4951512A (en) * 1988-06-23 1990-08-28 Baxter International Inc. System for providing access to sealed containers
US5014208A (en) * 1989-01-23 1991-05-07 Siemens Corporate Research, Inc. Workcell controller employing entity-server model for physical objects and logical abstractions
NO174942C (no) * 1990-12-03 1994-08-03 Corrocean As Anordning for montering, hhv. demontering av sonder i prosessrör, tanker e.l.
US5223796A (en) * 1991-05-28 1993-06-29 Axiomatics Corporation Apparatus and methods for measuring the dielectric and geometric properties of materials
FR2685519A1 (fr) * 1991-12-20 1993-06-25 Gemplus Card Int Systeme pour l'identification de recipients et notamment de bouteilles de gaz.
US5558083A (en) * 1993-11-22 1996-09-24 Ohmeda Inc. Nitric oxide delivery system
US5638285A (en) * 1993-12-22 1997-06-10 Ingersoll-Dresser Pump Company System for dispensing dry agricultural chemicals
US5524794A (en) * 1994-05-23 1996-06-11 Ingersoll-Dresser Pump Company Metering device for granular materials
US5604681A (en) * 1994-06-03 1997-02-18 Dover Corporation Coupler identification systems
US5507192A (en) * 1994-09-13 1996-04-16 Beaudin; Allen B. Automated gas measurement system
DE4433701A1 (de) * 1994-09-21 1996-03-28 Siemens Ag Vorrichtung zur berührungslosen Energie- und Datenübertragung auf induktivem Wege, und bevorzugte Verwendung derselben zur Identifikation von Gasflaschen
US5651402A (en) * 1995-02-02 1997-07-29 David C. Nelson Of Premium Balloon Accessories Automated balloon inflation device
US5663488A (en) * 1995-05-31 1997-09-02 Hewlett-Packard Co. Thermal isolation system in an analytical instrument
US5594162A (en) * 1995-06-06 1997-01-14 Dolan; James P. Valve stem gas leak detector
US5940780A (en) * 1995-09-29 1999-08-17 Advanced Thermal Solutions, Inc. Universal transceiver
US5627517A (en) * 1995-11-01 1997-05-06 Xerox Corporation Decentralized tracking and routing system wherein packages are associated with active tags
US5803673A (en) * 1996-07-10 1998-09-08 Pathfinder Systems, Inc. Portable pneumatic precision metering device
US5949049A (en) * 1996-07-17 1999-09-07 Span Instruments, Inc. Inventory control probe and control module with docking station
US5893263A (en) * 1996-07-19 1999-04-13 Techno Medica Co., Ltd. Automatic bar code label applying apparatus for test tubes
US6282458B1 (en) * 1996-09-17 2001-08-28 Ricoh Company, Ltd. Methods and systems for controlling olfactory stimuli
US5802859A (en) * 1996-12-16 1998-09-08 Hudson Technologies, Inc. Apparatus for recovering and analyzing volatile refrigerants
US5852590A (en) * 1996-12-20 1998-12-22 De La Huerga; Carlos Interactive label for medication containers and dispensers
US5955684A (en) * 1997-01-06 1999-09-21 Rosemount Inc. Modular probe
US5953682A (en) * 1997-02-14 1999-09-14 Millipore Corporation Automated gas cylinder tracking system
US5875921A (en) * 1997-03-12 1999-03-02 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with sensor
US7061831B2 (en) * 1997-03-28 2006-06-13 Carlos De La Huerga Product labeling method and apparatus
US6052629A (en) * 1997-07-18 2000-04-18 Gilbarco Inc. Internet capable browser dispenser architecture
US6067844A (en) * 1997-08-15 2000-05-30 Shell Oil Company Nondestructive method for detection of defects and the condition of liners in polymer-lined pipes and equipment
JPH1173219A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Dainippon Printing Co Ltd ビア樽管理システムとビアサーバ
US5942980A (en) * 1997-11-20 1999-08-24 Innovative Measurement Methods, Inc. Multi-sensor hydrostatic gauge for fuel storage tanks
FR2775511B1 (fr) * 1998-02-27 2000-04-14 Air Liquide Installation de stockage et de retention de bouteilles de gaz
US6571151B1 (en) * 1998-03-06 2003-05-27 Russel Dean Leatherman Wireless nozzle interface for a fuel dispenser
US6199720B1 (en) * 1998-03-20 2001-03-13 The Coca-Cola Company Vending machine
US6085576A (en) * 1998-03-20 2000-07-11 Cyrano Sciences, Inc. Handheld sensing apparatus
IL124424A0 (en) * 1998-05-11 1998-12-06 On Track Innovations Ltd Self-closing cap including an integral smart card
US6065638A (en) * 1998-05-29 2000-05-23 Gilbarco Inc. Real time blending apparatus and method
US6545592B2 (en) * 1998-09-28 2003-04-08 Steven L. Weiner Medication reminder device
DE29822967U1 (de) * 1998-12-23 2000-05-11 Espe Dental Ag Gerät zum Ausbringen von fließfähigen Massen
IT1308253B1 (it) 1999-03-16 2001-12-10 Molteni L E C Dei Flii Alitti Dosatore di precisione per liquidi.
US6206240B1 (en) * 1999-03-23 2001-03-27 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with pressurization
US6720866B1 (en) * 1999-03-30 2004-04-13 Microchip Technology Incorporated Radio frequency identification tag device with sensor input
US6585876B2 (en) * 1999-04-08 2003-07-01 Applied Materials Inc. Flow diffuser to be used in electro-chemical plating system and method
US6165347A (en) * 1999-05-12 2000-12-26 Industrial Scientific Corporation Method of identifying a gas
US6556949B1 (en) * 1999-05-18 2003-04-29 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
WO2000075899A1 (en) * 1999-06-07 2000-12-14 Traptec Corporation Graffiti detection system and method of using the same
US6446644B1 (en) * 1999-07-06 2002-09-10 Semitool, Inc. Chemical solutions system for processing semiconductor materials
US6140146A (en) * 1999-08-03 2000-10-31 Intermec Ip Corp. Automated RFID transponder manufacturing on flexible tape substrates
US6597175B1 (en) * 1999-09-07 2003-07-22 Halliburton Energy Services, Inc. Electromagnetic detector apparatus and method for oil or gas well, and circuit-bearing displaceable object to be detected therein
US6147662A (en) * 1999-09-10 2000-11-14 Moore North America, Inc. Radio frequency identification tags and labels
US6556832B1 (en) * 2000-02-04 2003-04-29 Qualcomm Incorporated Method and apparatus for evaluation of position location performance
US6558620B1 (en) * 2000-02-07 2003-05-06 Steris Inc. Liquid cleaning and sterilization method
US6618714B1 (en) * 2000-02-10 2003-09-09 Sony Corporation Method and system for recommending electronic component connectivity configurations and other information
US6271753B1 (en) * 2000-03-21 2001-08-07 Kavita M Shukla Smart lid
US6405745B1 (en) * 2000-03-22 2002-06-18 Delphi Technologies, Inc. Ultra accurate gas injection system
US7117374B2 (en) * 2000-03-24 2006-10-03 Intermec Ip Corp Apparatus and method for gathering and utilizing data
US6628237B1 (en) * 2000-03-25 2003-09-30 Marconi Communications Inc. Remote communication using slot antenna
US6633796B1 (en) * 2000-06-14 2003-10-14 Dan B. Pool Medication timing device
US6542848B1 (en) * 2000-07-31 2003-04-01 Chart Inc. Differential pressure gauge for cryogenic fluids
US6592043B1 (en) * 2000-08-17 2003-07-15 Rick A. Britton Fixture to mount a miniature proximity transponder to another article
US6524774B1 (en) 2000-08-30 2003-02-25 Advanced Micro Devices, Inc. Method of controlling photoresist thickness based upon photoresist viscosity
US6516249B1 (en) * 2000-09-05 2003-02-04 Lockheed Martin Corporation Fluid control system with autonomously controlled pump
JP2002181296A (ja) 2000-12-12 2002-06-26 Hanex Co Ltd Ｒｆｉｄタグの取付構造及びｒｆｉｄタグの取付方法
US6556027B2 (en) * 2001-01-12 2003-04-29 Ondeo Nalco Company Low cost, on-line corrosion monitor and smart corrosion probe
US6843414B2 (en) * 2001-04-02 2005-01-18 Honeywell International Inc. Smart container for bulk delivery
US6859745B2 (en) * 2001-05-18 2005-02-22 Alcoa Closure Systems International Interactive information package
WO2002095675A1 (en) * 2001-05-21 2002-11-28 Scott Laboratories, Inc. Rf-id label for a medical container
DE60209717T2 (de) 2001-05-21 2006-09-21 Colder Products Co., St. Paul Verbindungsvorrichtung zur regelung einer flüssigkeitsabgabe
US6879876B2 (en) * 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
JP2003054696A (ja) * 2001-08-13 2003-02-26 Sapporo Breweries Ltd 発泡飲料検出装置及びそれを用いた発泡飲料注出装置
EP1429640B1 (en) * 2001-09-24 2007-03-07 Cosmetic Technologies LLC Apparatus and method for custom cosmetic dispensing
JP2003139864A (ja) 2001-10-30 2003-05-14 Maezawa Ind Inc 情報管理装置及び情報記録媒体収容部材
KR100900195B1 (ko) 2007-03-09 2009-06-02 재단법인서울대학교산학협력재단 광 식별 태그, 리더 및 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
AU2004313341A1 (en) 2005-07-28
CN100468387C (zh) 2009-03-11
EP1697856A2 (en) 2006-09-06
WO2005067516A3 (en) 2005-09-15
US20040172160A1 (en) 2004-09-02
TWI361960B (en) 2012-04-11
KR20060113749A (ko) 2006-11-02
CN1906606A (zh) 2007-01-31
JP2005178899A (ja) 2005-07-07
MY154550A (en) 2015-06-30
JP2010228813A (ja) 2010-10-14
US7702418B2 (en) 2010-04-20
WO2005067516A2 (en) 2005-07-28
KR101123562B1 (ko) 2012-03-12
JP4536409B2 (ja) 2010-09-01
TW200528946A (en) 2005-09-01
EP1697856A4 (en) 2012-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5597020B2 (ja) 液体処理システム及び液体処理方法
US8849448B2 (en) Liquid handling system with electronic information storage
KR101533045B1 (ko) 정보 저장 엘리먼트를 갖는 물질 저장 용기를 관리하기 위한 시스템 및 방법
TW309503B (ja)
US5920054A (en) Closed loop information path for medical fluid delivery systems
WO2008059891A1 (fr) Procédé de traitement de substrat et système de traitement de substrat
KR970006206B1 (ko) 자동 도포 시스템
US20160214312A1 (en) Imprint apparatus and method of manufacturing article
CN107768277A (zh) 热处理装置、基板处理装置、热处理方法及基板处理方法
US20060191635A1 (en) Wafer treating apparatus
US20080249648A1 (en) System for verifying applicability of new operation recipe to substrate processing apparatus
US9933702B2 (en) Substrate processing apparatus
KR102246569B1 (ko) 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법
JP6821408B2 (ja) インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP5393420B2 (ja) 電子タグラベル検査装置およびその電子タグラベル検査装置を用いた電子タグラベル貼着装置
JP2021002601A (ja) 部品テープ管理装置、部品テープ管理システム、および部品テープ管理方法
US11835854B2 (en) Imprint device, imprint method, and semiconductor device manufacturing method
WO2023032394A1 (ja) 封入装置
JP2010165875A (ja) 基板処理装置
JP2008052790A (ja) スピンコート装置とディスク製造装置および光ディスク記録媒体
JP2002299258A (ja) 基板の処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120517

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120813

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120816

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120816

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120914

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130401

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130701

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140110

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140408

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140722

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140808

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5597020

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250