KR100607200B1

KR100607200B1 - Ｒｆｉｃ 칩을 이용한 레티클 리딩 시스템

Info

Publication number: KR100607200B1
Application number: KR1020050047430A
Authority: KR
Inventors: 권일형
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-06-02
Filing date: 2005-06-02
Publication date: 2006-08-01

Abstract

RF IC칩을 이용한 레티클 리딩 시스템을 제공한다. 상기 레티클 리딩 시스템은 RF IC칩이 장착된 레티클이 구비된다. 상기 RF IC칩을 판독하는 RF IC칩 리더기가 배치된다. 상기 레티클이 보관되어 있는 진열대를 더 포함할 있고, 상기 RF IC칩 리더기가 상기 진열대에 부착될 수 있다. 또한, 상기 레티클을 한 장 또는 여러 장 넣어 이동하거나 보관하는 레티클 박스를 더 포함할 수 있다. 상기 레티클 박스가 상기 진열대에 보관되되, 상기 RF IC칩 리더기가 상기 레티클 박스 내부의 상기 레티클의 RF IC칩의 정보를 판독하는 것이 바람직하다. 상기 RF IC칩 리더기와 전기적으로 연결되어 상기 RF IC칩 리더기의 정보를 표시해주는 디스플레이 패널이 배치될 수 있다.

RF IC칩, RF IC칩 리더기, 레티클, 진열대, 디스플레이 패널, 안테나

Description

ＲＦＩＣ 칩을 이용한 레티클 리딩 시스템{Reading system of reticle using radio frequency integrated circuit chip}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 RF IC칩을 갖는 레티클이 레티클 진열대(stocker)에 보관될 때의 레티클 리딩 시스템의 개략도이다.

도 2는 도 1의 참조부호 'A' 영역을 확대하여 나타낸 사시도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따fms RF IC칩을 갖는 레티클이 노광공정에 사용될 때의 레티클 리딩 시스템의 개략도이다.

본 발명은 레티클 리딩 시스템에 관한 것으로, 특히 RF IC칩을 이용한 레티클 리딩 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자 제조공정에서 노광공정(Exposure processing)은 포토리소그라피 공정에 포함된 것이다. 통상적인 포토리소그라피 공정은 웨이퍼에 포토레지스트 액을 코팅한 다음 소프트 베이킹 단계를 거쳐 웨이퍼에 도포된 포토레지스트 액을 경화시키고, 이후 자외선 조사장치의 레티클 스테이지에 레티클을 설치한 상태에서 노광을 실시함으로써 소정형상의 포토레지스트 패턴을 형성되도록 한 다. 그 후 현상공정과 하드 베이킹 공정을 거치도록 하여 원하는 형태의 포토레지스트 패턴이 형성되도록 한다.

반도체 소자 예를들어, DRAM, SRAM 및 flash memory 소자 등을 형성하기 위해서는 이러한 포토리소그라피 공정을 수십 회에 걸쳐 반복적으로 진행하게 된다. 이때, 각각의 패턴을 갖는 레티클들이 요구되므로 수많은 레티클들이 전공정에 걸쳐 사용되게 된다. 따라서, 상기 수많은 레티클들의 보관 및 관리가 중요하게 된다.

현재 각각의 레티클에는 디자인된 패턴영역 주변의 테두리 영역에 바코드(barcode)가 패터닝되어 표시되어 있다. 상기한 레티클들은 레티클 박스에 한 장 또는 여러 장 씩 담겨 이동되거나 보관된다. 이때, 상기 레티클 박스의 투명커버에 각각의 레티클 위치마다 각각의 레티클 정보를 담은 바코드 스티커를 부착하게 된다.

현재, 노광 공정을 진행하기 위해 원하는 레티클을 찾을 때 상기 바코드 스티커를 일일이 작업자가 눈으로 확인하여 해당 레티클을 찾게 된다. 따라서, 많은 시간이 소요되며, 레티클의 수가 증가할수록 시간 소요가 증가하게 된다. 또한, 상기 레티클 박스에 보관되는 레티클이 바뀔 때 마다 기존의 바코드 스티커를 떼어내고 새로운 바코드 스티커를 부착해야 되는데 이때 접착제 성분이 남아 상기 투명커버 부분이 매우 지저분하게 된다.

또한, 선택한 레티클을 노광장비에 로딩하는데 상기 노광장비가 상기 레티클의 바코드를 인식하는데 소요되는 시간이 레티클 당 대략 1분이 소요된다. 상기 로 딩된 레티클은 노광공정 중에 상기 노광장비의 레티클 핸들러(handler)의 진공그리퍼(vacuum gripper)에 의해 진공으로 부착되어 이동하게 되는데 이때 상기 진공그리퍼의 고무 부분이 상기 레티클의 패터닝된 바코드 부분을 누르는 경우가 발생하게 된다. 따라서, 상기 패터닝된 바코드가 오염될 수 있으며 이러한 오염으로 인해 이후 바코드 인식에서 판독오류가 발생할 수 있게 된다.

따라서, 레티클의 체계적 관리 및 레티클의 바코드 판독 오류를 방지하기 위한 새로운 레티클 리딩 시스템 개발이 요구되고 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 레티클의 체계적 관리 및 레티클의 바코드 판독 오류를 방지하기에 적합한 RF IC칩을 이용한 레티클 리딩 시스템을 제공하는 데 있다.

본 발명의 일 양태에 따르면, RF IC칩을 이용한 레티클 리딩 시스템을 제공한다. 상기 레티클 리딩 시스템은 RF IC칩(radio frequency integrated circuit chip)이 장착된 레티클이 구비된다. 상기 RF IC칩을 판독하는 RF IC칩 리더(reader)기가 배치된다.

본 발명의 몇몇 실시예들에서, 상기 RF IC칩에 상기 레티클의 정보가 기록되어 있는 것이 바람직하다.

다른 실시예들에서, 상기 RF IC칩이 상기 레티클의 측면에 부착될 수 있다.

또 다른 실시예들에서, 노광장비의 레티클 핸들러(handler)에 상기 RF IC칩 리더기가 장착될 수 있다.

또 다른 실시예들에서, 상기 레티클이 보관되어 있는 진열대(stocker)를 더 포함할 있고, 상기 RF IC칩 리더기가 상기 진열대에 부착될 수 있다. 또한, 상기 레티클을 넣어 이동하거나 보관하는 레티클 박스(reticle box)를 더 포함할 수 있다. 상기 레티클 박스가 상기 진열대에 보관되되, 상기 RF IC칩 리더기가 상기 레티클 박스 내부의 상기 레티클의 RF IC칩의 정보를 판독하는 것이 바람직하다.

또 다른 실시예들에서, 상기 RF IC칩 리더기와 전기적으로 연결되어 상기 RF IC칩 리더기의 정보를 표시해주는 디스플레이 패널(display panel)이 배치될 수 있다. 노광공정이 진행되는 작업실 각각에 배치되어 공정 중에 사용되는 레티클들의 RF IC칩의 신호를 받는 안테나들이 배치될 수 있고, 상기 안테나들의 신호를 받아 상기 레티클들의 위치를 파악하여 상기 디스플레이 패널(display panel)에 정보를 전달하는 피드백시스템(feedback system)을 더 포함할 수 있다.

또 다른 실시예들에서, 노광공정이 진행되는 작업실 각각에 공정 중에 사용되는 레티클들의 RF IC칩의 신호를 받는 안테나들이 배치될 수 있다. 상기 안테나들의 신호를 받아 상기 레티클들의 위치를 파악하여 OI(operator interface) 시스템에 전달하는 피드백시스템(feedback system)이 배치될 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면 들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 설명의 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1 및 도 2를 참조하면, RF IC칩(25)이 장착된 레티클들(R)이 구비된다. 상기 RF IC칩(25)에 상기 레티클(R)의 정보가 기록되어 있는 것이 바람직하다. 상기 RF IC칩(25)이 상기 레티클(R)의 측면에 부착될 수 있다. 따라서 상기 레티클(R)이 노광공정 중에 노광장비의 레티클 핸들러(handler)의 진공그리퍼(vacuum gripper)에 의해 진공으로 부착되어 이동될 때 상기 진공그리퍼의 고무 부분에 의해 오염되는 현상을 방지할 수 있게 된다.

상기 레티클들(R)을 여러 장 넣어 이동하거나 보관하는 레티클 박스들(20)이 배치될 수 있다. 상기 레티클 박스들(20)은 상기 레티클 박스들(20)을 보관할 수 있는 진열대(10)에 배치될 수 있다. 상기 진열대(10)에 RF IC칩 리더기들(15)이 부착될 수 있다. 상기 RF IC칩 리더기들(15)과 전기적으로 연결된 디스플레이 패널(30)이 배치될 수 있다. 상기 RF IC칩 리더기들(15)은 상기 레티클 박스(20) 내부의 상기 레티클들(R) 각각에 부착된 상기 RF IC칩들(25)의 정보를 판독(D)하게 되며, 이러한 정보들은 상기 RF IC칩 리더기들(15)과 전기적으로 연결된 상기 디스플레이 패널(30)에 표시되게 된다. 따라서, 작업자는 상기 디스플레이 패널(30)을 통 해 원하는 레티클의 위치를 정확하게 파악하게 되며, 그 결과 짧은 시간에 원하는 레티클을 찾을 수 있게 된다.

도 3을 참조하면, 노광공정에 필요한 RF IC칩들(25)이 부착된 레티클들(R1,R2,R3)을 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 같이 레티클 보관실에서 찾아 상기 레티클 박스들(20)을 그대로 이용하여 각 노광공정이 진행되는 작업실 예를 들어, 제1호실, 제2호실 및 제3호실 등으로 이동시키게 된다. 상기한 레티클들(R1,R2,R3)이 담긴 레티클 박스들(20)은 각각의 노광장비에 로딩되게 되며, 상기 레티클 박스들(20)의 커버가 열리게 된다. 상기 노광장비의 레티클 핸들러(handler)(37)에 RF IC칩 리더기(38)가 장착될 수 있다. 상기 RF IC칩 리더기(38)에 의해 상기 레티클들(R1,R2,R3)의 유무 판단 및 정보들을 인식하게 되어 이후 공정이 진행되게 된다.

상기 RF IC칩들(25)이 상기 레티클들(R1,R2,R3)의 측면에 부착될 수 있다. 따라서 상기 레티클(R1,R2,R3)이 노광공정 중에 노광장비의 레티클 핸들러(handler)(37)의 진공그리퍼(vacuum gripper)에 의해 진공으로 부착되어 이동될 때 상기 진공그리퍼의 고무 부분에 의해 오염되는 현상을 방지할 수 있게 된다. 또한, 상기 RF IC칩들(25)을 이용하여 상기 레티클들(R1,R2,R3)의 유무 판단 및 정보들을 인식하므로 종래기술에서 바코드를 인식할 때와 비교하여 소요시간을 단축할 수 있게 되며 정확한 정보를 얻을 수 있게 된다.

또한, 노광공정이 진행되는 작업실 각각에 공정 중에 사용되는 상기 레티클 들(R1,R2,R3)의 상기 RF IC칩들(25)의 신호(F)를 받는 안테나들(35)이 배치될 수 있다. 상기 안테나들(35)의 신호를 받아 상기 레티클들(R1,R2,R3)의 위치를 파악하여 OI(operator interface) 시스템(45)에 정보를 전달하는 피드백시스템(40)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 피드백시스템(40)의 정보를 도 1에 나타낸 디스플레이 패널(display panel;30)에 전달할 수 도 있다. 따라서, 이러한 상기 피드백시스템(40)에 의해 레티클 보관실 이외의 장소, 즉 노광공정이 진행되는 작업실에서 노광공정에 직접 사용되고 있는 상기 레티클들(R1,R2,R3)의 위치도 파악할 수 있게 되어 전체적인 레티클 관리가 가능하게 된다.

전술한 바와 같이 이루어지는 본 발명은, RF IC칩을 레티클의 측면에 장착하고 RF IC칩 리더기를 상기 레티클을 보관하는 진열대 및 노광장비의 레티클 핸들러에 장착하여 상기 레티클을 체계적 관리할 수 있게 된다. 또한, 노광공정이 진행되는 작업실마다 안테나를 설치하여 상기 레티클들의 위치를 피드백시스템에서 파악하여 이러한 정보를 전체 반도체공정을 관리하는 OI 시스템에 전달함으로써 실시간으로 레티클들을 관리할 수 있게 된다. 그 결과, 레티클을 찾는데 발생하는 로스타임을 최대한 줄일 수 있게 되고, 이로 인해, 생산성을 높일 수 있게 된다.

Claims

RF IC칩(radio frequency integrated circuit chip)이 장착된 레티클(reticle); 및

상기 RF IC칩을 판독하는 RF IC칩 리더(reader)기를 포함하는 레티클 리딩 시스템.
제 1항에 있어서,

상기 RF IC칩에 상기 레티클의 정보가 기록되어 있는 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.
제 1항에 있어서,

상기 RF IC칩이 상기 레티클의 측면에 부착된 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.
제 1항에 있어서,

노광장비의 레티클 핸들러(handler)에 상기 RF IC칩 리더기가 장착되는 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.
제 1항에 있어서,

상기 레티클이 보관되어 있는 진열대(stocker)를 더 포함하고;

상기 RF IC칩 리더기가 상기 진열대에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.
제 5항에 있어서,

상기 레티클을 넣어 이동하거나 보관하는 레티클 박스(reticle box)를 더 포함하고;

상기 레티클 박스가 상기 진열대에 보관되되, 상기 RF IC칩 리더기가 상기 레티클 박스 내부의 상기 레티클의 RF IC칩의 정보를 판독하는 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.
제 1항에 있어서,

상기 RF IC칩 리더기와 전기적으로 연결되어 상기 RF IC칩 리더기의 정보를 표시해주는 디스플레이 패널(display panel)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.
제 7항에 있어서,

노광공정이 진행되는 작업실 각각에 배치되어 공정 중에 사용되는 레티클들의 RF IC칩의 신호를 받는 안테나들; 및

상기 안테나들의 신호를 받아 상기 레티클들의 위치를 파악하여 상기 디스플 레이 패널(display panel)에 정보를 전달하는 피드백시스템(feedback system)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.
제 1항에 있어서,

노광공정이 진행되는 작업실 각각에 배치되어 공정 중에 사용되는 레티클들의 RF IC칩의 신호를 받는 안테나들; 및

상기 안테나들의 신호를 받아 상기 레티클들의 위치를 파악하여 OI(operator interface) 시스템에 전달하는 피드백시스템(feedback system)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 리딩 시스템.