TWI353516B - Testing device, correction value managing method a - Google Patents

Description

1353516 爲第93123202號中文說明書無劃線修正本一~ ------修止日期:仿〇苹5月5日 ；叙止替心j 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種測試裝置、修正值管理方法及程 式’且特別是有關於一種藉由對供給至被測試元件之測試 信號的時序或對被測試元件之測試信號的電壓準位，在每 測試模組進行修正，從而精度良好地對被測試元件進行測 試之測試裝置。 “ 【先前技術】 在習知的測試裝置中，在被測試元件的測試之前，對 産生用於供給至被測試元件之測試信號的時序之時序產生 部、被调j試元件，進行用於進行測試信號的交換之驅動器 和比較^的鮮，謀求在被職元件_試巾之測定精 度的提高。由於目前未發現先行技術文獻的存在，所以 略關於先行技術文獻的記述。 。。在習Ϊ的測試裝置中’測試模組將時序產生部、驅動 二、比較器等的校準資料保持在揮發性記紐巾並進行測 1顧裝置的電源被切晴，校準資料從測試 爲性：二ΐ試裝置的用戶在再次進行測試時要人 存^採f 當的校準資料’並供給測試模組進行保 的差#，有法，在校準資料的選擇中可能産生人爲 【發^内容】精度良好地進行被測試元件的測試。 測試】提供-種能夠解決上述課題的 g理方法及程式。該目的利用請求範圍 4 1353516 爲第93123202號中文說明書宑 劃^β絛正麵貧:卧⑽年5月5日 中的獨立項所記述之特徵的組合而達成。而且，從屬項規 定了本發明的更加有利的具體例子。 如利用本發明的第1形態，爲一種對被測試元件進行 測試的測試裝置，其包括測試模組，係具有用於對供給至 被測試元件之測試信號的時序或對被測試元件之測試信號 電壓準位進行修正的修正部、保持利用修正部的修正中所 使用之修正值的修正值保持部、及儲存作為測試模組之識 =資訊的一測試模組識別資訊的識別資訊儲存部；修正值 資^庫’係相對於測試模組識別資訊，將由該測試元件識 別貧訊所識別的測試模組具有的修正值保持部應保持之修 正值進行儲存；控制裝置，係相對於識別資訊儲存部儲 的測試模組卿㈣，❿抽丨修正值# 值，並在修正值保持部中進行保持。 子如正 括用發明的較佳實施例所述’上述之測試模組更包 ;產生供給至職元件之職錢的時序之時序産生 ::預值保持部包括時序設定記憶體，保持用於 了传日a序之時序資料、及時序校正記憶體，保持爲 料進行校序=測:信號，時序資 之時序進行資料’對時序產生部所產生 括用====所述’上述之測試模組更包 如件的輪出信號之比較器。上述之修正值保= 5 1353516 爲第93123202號中文說明書無劃線修正本 括準位》又疋δ己憶體，係係持用於表示預定的設定電壓之 位資料、及準位校正記憶體，係保持爲了使驅動器或比較 器在預定的設定電壓進行動作，而對準位資料進行校正之 準位校準資料。上述之修正部包括根據作爲修正值的準位 貧料及準位校準資料，對驅動器或比較器的設定電麗進 修正的準位修正部。 依照本發明的較佳實施例所述，上述之識別資訊 部還儲存作為_裝置之朗資訊的-測試裝置識別資 ί署=修正值資料庫相對於測試模組識別資訊及測試 =置識別㈣’儲存修正值Q述之控制裝置相對於 貝訊儲存部所儲存的測試模組識別資訊及測試裝置識別 :呆=修正值資料庫所儲存的修正值，並保她 ，照本發明的較佳實施例所述，上述之更包括用於可 的二修正部、修正值保持部及識別資訊儲存部 .'' °之個槽。上述之識別資訊儲存部還儲存佯持 之槽的識別資訊即槽識別資訊。上述之= =庫相對於測試模組識別資訊及槽識別資訊，而儲存修正 別二ΐ述之f制裝置相對於識別資訊館存部所儲存的槽識 ^及取裝置朗資訊，而抽出修正值 ^ 的修正值，並保持於修正值保持部中。 厍所儲存 依照本發料難實施騎述，上 =館存有用於表示在修正值保持 生令^産生錯誤的錯誤倾。上述之控锻置 U53516 爲第93丨助簡㈣· ϋ2儲存的測試模組識別資訊而從修正值資料 修：產生中產生錯誤的錯誤標訪，=有新用:修表正:在 依照本發明的較佳實施例所述上 有1ΤΓ部應保持之修正值所產心 組識別資訊而從修正值資料庫抽出修正值時如 控制】ΐ時間、Ϊ過一預定期間’則產生新的修正值。 1. ^ >正值貪料庫未儲存有與識別資訊儲存部所儲 試模組識別f訊相對於的修正值時，也可產生新的 二^。修正鶴持部爲揮發性記龍，_資訊儲存部 也可爲非揮發性記憶體。 元株利用本發明的第2形態，爲一種在對被測試 it=的修正值管理方法；包括從具有修正時序或電壓 , >正部、保持在利用修正部的修正中所使用的修正 測试模_別資訊之識別資訊儲存部的測試模組中，抽出 資訊儲存部所儲存的測試模組識別資訊之識別資訊抽 =段；相對於測試模組識別資訊，從儲存該測試模組識 ’貝訊所識別的測試模組具有的修正值保持部應保持之修 =的1多正值資料庫中，抽出與在識別資訊獲取階段所取 付，測武模組識別資訊相對於儲存的修正值之修正值抽出 1353516 爲第93123202號中文說明書無劃線修正本 ^俾i Γ 將在叙_㈣段所抽出的修正值 ί正值保持階段;修正部利用修正值保持部所 對測試信號進行修正之測試信號修正階段。 持部較佳實施例所述’更包括產生修正值保 階段所產生的修正值，與具有修正值保持部之測試H 测试模組識別資訊相對於在修正值資料庫中進行存之於 測試模組識別資訊所識別之測馳 儲存部，，館存測試模組一 ^ 而且，如利用本發明的第3形態，爲一 =進行測試的測試裝置中，用於控制向被測ί元 測办號㈣序或對彻彳狀件的職信 的程式；可使控制裝置，作爲從具有修^ 時序或電鲜狀修正部、縣在修正部的修正 正值之修正值保持部、及儲存作為測試模組之識 測試模組識別資訊之識別資訊儲存部的測試模 ’、且:㈣別資訊储存部所儲存的測試模組識別資訊之 識fJf訊抽出裝置；相對於測試模組識別資訊，從儲存該 測試模組朗資輯翻_試触具有 ^ 正值的修正值資料庫中，抽出與利用識= 獲取裝置卿得_賴㈣別#訊相對於儲存的修正值 之修正值抽出裝置；使利用修正值抽出裝置抽出的修正值 在修正值保持部被保持之修正值保持裝置；利用修正值保 8 1353516 100年5月5日 爲第93123202號中文說明書無j 值，在修正部對測試信號進行修正之測 试仏唬修正裝置而發揮機能。 另外上述之發明的概要並未列舉本發明的所有必 徵，這些特徵群的子集也可又形成發明。 如利用本發明，可提供一種藉由適當地修正向被 ，件供給職錢㈣序、對_試元件之職信號的電 壓準位從而可維持馬測定精度並正確地對被測試元件進 行測試的測試裝置。 ▲為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯 易懂，下文特舉較佳實闕，舰合所_式，作 明如下。 、。 【實施方式】 圖1所示爲關於本發明的一實施形態的測試裝置1〇〇 之整體構成的一個例子。測試裝置100利用開放式體系結 構實現，而作爲向DUT (Device Under Test:被測試元件） 15 0供給測試信號之測試模組丨4 6，使用基於開放式體系結 構的模組。測试模組146產生測試信號並供給到DUT 150， 且將DUT150根據測試信號進行動作後輸出之輸出信號與 期望值進行比較，判斷DUT150的好壞。關於本實施形態 之測試裝置1〇〇的目的在於，藉由根據測試模組146儲存 的各種資訊’測試模組146將測試信號的產生或比較中所 使用之校準資料，從資料庫12〇中自動選擇抽出，從而利 用適當的校準資料而精度良好地進行DUT150的測試。 測試裝置100包括系統控制裝置11〇、資料庫12〇、通 1353516 爲第9312咖2號中文說明書無劃線修正本 修正曰期:K)〇I}l j月~!|日 «0.序· §修正替換頁 信網路130及多數個觀察單元140。系統控制裝置11()通 過通信網路130與資料庫120及多數個觀察單元14〇進行 通信。另外，資料庫120爲本發明之修正值資料庫的〜匈 例子，也可爲與系統控制裝置110直接連接或系統控制袭 置110所内置的硬碟。而且，觀察單元140具有觀察控制 裝置142、多數個匯流排144及多數個測試模組146。=數 個匯流排144與多數個測試模組146分別對應設置，而觀 察控制裝置142通過多數個匯流排144分別與對應的多數 個測試模組146進行通信。 ' 系統控制裝置110根據資料庫120所儲存之測試程 及，試資料、以及校準喊及校準㈣，對多數 察單元140之測試順序以及校準順序進行控制。觀察控 裝置142根據系統控制裝置11〇的控制，對多數個測試槿 組146的測試順序以及校準順序進行控制。 _ 、 丄系統控制裝置110在DUT150的測試之前，藉由執 校準程式而執行測試模組146的校準。而且，資料庫 將由校準所得狀校準資料與各種資訊―起進行儲存。缺 後，系統控制裝£ 110藉由執行測試程式，而根據 ^ 訊選擇性抽出#料庫120觸存之校準資料，並通過 控制裝置142供給到測試模組146且被保持。 ’、 觀察控制裝置142通過系統控制裝置11〇從 m取得測試資料，並儲存於DUT150的測試所使用之 =模組146中。而且，觀察控制裝置142指示測試模植⑽ 開始基於測試程式及職資料的測試。而且，觀察^

爲第93123202號中文說明書無 打舻修-饑叫00年5月5曰 置142從例如測試模組146接收表示測試已結束的中斷 等，並根據測試結果使各模組進行下面的測試。多數個觀 察控制裝置142也可分別依據多數個DUT15〇的測試結果 而控制多數個測試模組146，並對多數個DUT150並行執 行不同的測試順序。 多數個測試模組146與DUT150所具有之多數個終端 的每一部分分別連接，並根據測試程式及測試資料進行 DUT150的測試。在DUT15〇的測試中，測試模組146根 供給的校準資料 度提高。 ，測試程式所確定的測試順序，由測試資料產生測試信 號’並向測試模組146所分別連接之DUT15〇的終端供給 測試信號。而且’取得DUT15G根據測試信號進行動作後 所輸出的輸出信號，並與期望值進行比較，且儲存比較結 果。此時，測試模組146藉由利用從系統控制裝置11〇所 可使測试彳㊂號的產生或比較中的測定精 給^當的校準㈣，並_該校準資料進行測試。因此 能夠防止在校準資料的選擇中之人爲錯誤的發生，所以

一如利用關於本實施形態的測試裝置1〇〇，藉由利用各 種資訊對測試模組146的校準資料進行管理，當執行利用 該f模組146的測試時’可自動地向制試模組⑽供 !353516

[5 B 爲第93123202號中文說明書無劃線修正本 分別具有模組控制裝置。而且夺使系統控制裝置11〇 觀察控制裝置142及模組控制裝置分擔或協同，作爲本發 明的控制裝置發揮機能，也可使系統控制裝置110、觀察 控制裝置142及模組控制裝置中的一部分，作爲本發明的 控制裝置發揮機能。

圖2所示爲關於本實施形態的測試模組146之機能構 成的一個例子。測試模組146具有測試板200、圖案産生 部202、周期産生部204、時序産生部206、波形整形部208、 驅動器210、比較器212、邏輯比較器214、時序設定記憶 體216、時序校正記憶體218、時序修正部220、準位設定 記憶體222、準位校正記憶體224、準位修正部226、電壓 放大部228、識別資訊儲存部230及槽232。 槽232可裝卸地保持測試板2〇〇，並中繼測試板2〇〇 和匯流排144的通信。在測試板2〇〇上設有圖案産生部 202、周期産生部204、時序產生部2〇6、波形整形部208、 驅動器210、比較器212、邏輯比較器214、時序設定記憶 體216、時序校正記憶體218、時序修正部220、準位設定 記憶體222、準位校正記憶體224、準位修正部226、電壓 放大。卩228及識別貢訊儲存部230。 另外’時序修正部220及準位修正部226爲本發明之 修正部的-侧子’對^DUT15G之測試信號的特性或 用於測定從DUT150所輸出的輸出信號之測定部的特性進 行修正。而且，在其他例子中，如測試模組M6爲類比模 組’則本發明的修正部也可爲修正對耶丁15〇所輸入的輸 12 1353516 爲第93123202號中文說明書弃 鬈絛·，

100年5月5日 出信號進行過濾的濾波器之透過頻帶的濾波器頻率修正 部。 〆 而且，時序設定記憶體216、時序校正記憶體218、準 位設定記憶體222及準位校正記憶體224爲揮發性記憶 體，是本發明之修正值保持部的一個例子。而且，識別^ 訊儲存部230爲非揮發性記憶體。而且，比較器212爲本 發明之測定部的一個例子。 ~

首先，在DUT150的測試之前，時序設定記憶體216 保持利用時序修正部220的修正中所使用的，表示預定的 時序之時序資料。時序資湘於糾正時序産生部2〇6之特 性的參差不齊，並藉由使系統控制裝置11〇執行元件程 式，可設定與時序產生部206對應的值。而且，時序校正 記憶體218爲了在時序産生部2〇6所預定的時序供給測試 信號，保持對時序設定記憶體216保持的時序資料進行校 正之時序校準資料。時序校準資料藉由執行時序産生部 206的時序校準而得到，並利用系統控制裝置110從資料 庫120被抽出且被設定於時序校正記憶體218中。另外， 時序貧料及時序校準資料爲本發明之修正值的一個例子。 而且，在DUT150的測試之前，準位設定記憶體222 保持利用準位修正部226的修正情使用的，表示預定的 設，電壓之準位資料。準㈣湘於糾正驅魅2ι〇及比 較器212之特性的參差不齊，並藉由使系統控制裝置ιι〇 執行元件程式，可設定與驅動器210及比較器212對應的 值。而且，準位校正記憶體224爲了使驅動器2ι〇及比較 13 1353516 爲第93123202號中文說明書無劃線修正#--- ----- i月曰I正曰月5曰 1 m β· I___ I 212在預定的設定電壓進行動作，保持對準位設定 體222保持的準位資料進行枯 心 维眘MW: f &之準位校準資料。準位校 :及比較器212神位校準而得 n :糸統控制裝置110從資料庫120被抽出且被設 ^準位校正記憶體224中。另外，準位資料及準位校準 貧料4本發明之修正值的一個例子。

/識別資訊儲存部230儲存測試裝置1〇〇的識別資訊即 系統ID、測試板200的識別資訊即板1〇、保持測試板· 的槽232的識別資訊即槽ID等，並使系統控制裝置ιι〇 根據該系統ID、該板ID及槽ID，從資料庫12〇中選擇抽 出之時序鮮倾及準域準資料分別被設定於時序校正 記憶，218及準位校正記憶體224。作爲其他的實施形態， 識別資訊儲存部230也可儲存有時序校準資料及準位校準 貝料，並在DUT150的測試之前，在時序校正記憶體218 及準位校正記憶體224中分別進行設定。 當開始DUT150的測試時，圖案産生部2〇2根據從系 統控制裝置11 〇所取得的測試資料，産生用於供給DUT15〇 的測試信號’並供給到波形整形部208及邏輯比較部214。 而且，周期産生部204産生基準周期，並供給到時序產生 部206。時序產生部206根據周期産生部204産生的基準 周期’産生用於向DUT150供給測試信號的時序及用於比 較來自DUT150的輸出信號的時序，並供給到波形整形部 208及邏輯比較部214。此時，時序修正部220根據時序設 定記憶體216保持的時序資料及時序校正記憶體218保持 1353516 爲第93123202號中文說明書無劃年5月5日’ 的時序校準資料，對時序産生部206産生的時序，即 D UT15 0供給測試信號的時序及比較測試信號的時序進行 修正。 波形整形部208將圖案産生部202産生的測試信號整 形爲向DUT150的施加波形，並在時序産生部206産生的 時序輸出。驅動器210將利用波形整形部208被整形爲施 加波形的測試信號，放大爲從電壓放大部228所供給之一 定的設定電壓並交付DUT150。而且，比較器212從驅動 器210接收來自與所交付的測試信號對應之DUT150的輸 出信號，並與電壓放大部228所供給之一定的閾值電壓進 行比較’且將比較結果輸出到邏輯比較部214。此時，準 位修正部226根據準位設定記憶體222保持的準位資料及 準位校正記憶體保持的準位校準資料，對電壓放大部228 向驅動器210及比較器212供給之閾值電壓的電壓準位進 行修正。 邏輯比較部214將從圖案産生部202所供給的測試信 號和從比較器212所供給的比較結果，在時序産生部206 所供給的時序進行比較。而且，邏輯比較部214將測試信 號和輸出信號的比較結果依次在失效記憶體（fail mem〇ry) 中進行儲存。而且，系統控制裝置110在測試順序結束後， 解析失效§己憶體中所儲存的比較結果，進行DUT150的好 壞判定。 如利用關於本實施形態的測試裝置1〇〇,系統控制裝 置110根據測試模組146的識別資訊儲存部230儲存的各 15 1353516

胃第93123202號中文說明書無劃線修i 種資訊，從資料庫120自動抽出並供給時序補正部22〇及 準位補正部226所使用的校準資料，並在時序校正記憶體 218及準位校正記憶體224進行保存，所以能夠防止錯誤 地設定校準資料。因此，可利用適當的校準資料精度良好 地進行DUT150的測試。 圖3所示爲關於本實施形態的識別資訊儲存部23〇之 資料構成的一個例子。識別資訊儲存部23〇儲存有系統 鲁 ID300、板ID302、槽ID304、校準標誌306及校準日期和 時間308。系統ID300爲測試裝置1〇〇的識別資訊即測試 裝置識別資訊的一個例子，是爲每個圖丨所示的測試裝置 1〇〇分配的唯一的識別資訊。板ID302爲測試模組146的 識別資訊即測試模組識別資訊的一個例子，是在測試裝置 1〇〇内爲母個測試板200分配的唯一的識別資訊。槽ID304 爲保持有測試板200的槽232的識別資訊即槽識別資訊的 一個例子’由系統控制裝置110而利用匯流排144的識別 資訊對保持有測試板2〇〇的槽232進行判別，並在測試裝 • 置100内對每個槽232被唯一地分配。 而且’校準標誌306爲本發明之錯誤標誌的一個例 子’表示在時序産生部206的時序校準、或驅動器210或 比較器212的準位校準中，在時序校正記憶體218應保持 之時序校準資料、或準位校正記憶體224應保持之準位校 準資料的產生中’是否産生錯誤。校準日期和時間308爲 本發明之產生日期和時間的一個例子，表示時序校正記憶 體218應保持之時序校準資料、及準也校正記憶體224應 1353516

Ρ年5月5日 爲第93123202號中文說明書無劃*修科龜^ 保持之準位校準資料所產生的日期和時間。 如利用關於本實施形態的測試裝置1〇〇，則藉由使非 ^發性記憶斷識师_存部23()儲存上卿樣的各種 二、訊，即使在測試裝置1〇〇的電源被切斷的情況下，也可 預先保持各種資訊。所以，當測試裝置⑽的電源再次接 '時了根據識別資§fl儲存部230儲存的各種資訊，從資 料庫120中自動地抽出校準資料並可利用適當的校準資 料而精度良好地進行DUT150的測試。 圖4所示爲關於本實施形態的資料庫12〇之資料構成 的一個例子。資料庫120儲存有系統ID402、板ID4〇4、 槽jD406、权準日期和時間4〇8及校準資料41〇彼此對應 =多數個校準文件400。資料庫12〇儲存有關於多數個測 試裝置1〇〇分別具有的多數個測試模組146 400。 仪平乂什 系統ID402、板ID404、槽ID406及校準日期和時間 ’爲表示分別與圖3所示的系統ID3〇〇、板1〇3〇2、槽 ID304、校準標誌、306及校準日期和時間3〇8相同之内容 的資訊。校準資料410包括由系統ID3〇〇、板1]〇3〇2及槽 ID304所識別的測試模組146具有之時序校正記憶體218 應保持的時序校準資料、及準位校正記憶體224應保持的 準位校準資料。 如利用關於本實施形態的測試裝置1〇〇,由於是根據 上述那樣的各種資訊，自動地選擇抽出校準資料4丨〇，所 以即使在測5式板200被錯誤地插入到與所需的測試芽置 17 1353516 爲第931232G2號中文說明謇無劃線修$ 100不同的測試裝置刚中的情況下，和被錯誤地插入到 與戶^需的槽232不同的槽232中的情況下，也可防止與時 序校正記憶體218及準位校正記憶體224應保持之校準資 料410不同的校準資料410被保持。 圖5所示爲關於本實施形態的校準資料樣之產生處 1的一個例子。圖5所示之校準資料的產生處理爲本 ^月之修正值管理方法的—部分。首先，线㈣裝置ιι〇 糟由執仃权準程式’執行用於對驅動II 210及比較器212 的。又疋電壓進行％^之準位校準，並產生準位校準資料 (S500)。然後’當在準位校準中不産生錯誤，準位校準 資料的產生成功時（S51G:YES)，系統控制裝置u ^於對時序產生部·産生的時序進行校正之時序校 準，並產生時序校準資料（S52〇)。 然後，當在時序校準中不産生錯誤’時序校準資料的 產士成功日夺⑻30:YES) ’系統控制裝置11〇根據在準 及Ϊ序校準中取得的各種資訊’製作校準文件400 ^存於㈣庫m中（S540)。具體地說，系統控制裝 置110產生與表7F執行校準的測試模組146的板卿4、 包括該測試模組146的測試裝置刚的系統ID4G2、 該測試模組146的測試板細之槽232的槽腳6、及表 不執行校準的日期和時_校準日期和時間3G8之校 料410彼此對應的校準文件·，麵存於資料庫12〇中。 12〇 统f制裝置U〇將與在SM〇儲存於資料庫 U0中之校準文件4〇0的系統m4〇2、板職4、槽职 1353516 胃胃93123202號中文說明書無劃線[修正本 年月 1 修·修嬲:r 年5月5曰 及校準日期和時間408，表示同一内容之系統ID300、板 ID302、槽ID304、及校準日期和時間308、以及表示校準 正常結束的校準標誌306，儲存於由該板ID302所識別之 測試模組146具有的識別資訊儲存部230中（S550)。 另一方面，當在準位校準中産生錯誤，準位校準資料 的產生失敗時（S510:NO) ’而且當在時序校準中産生錯 誤’時序校準資料的產生失敗時（S53〇 : NO)，系統控制 裝置110藉由在顯示裝置上顯示錯誤標諸'資訊，通知用戶 校準未正常結束（S560)。而且，系統控制裝置110將表 不校準未正常進行，在校準資料410的產生中產生錯誤之 事項的校準標誌306，儲存於識.別資訊儲存部23〇中 (S570)。 如上所述，藉由將各種資訊預先儲存 識別資訊儲存部230中，可在圖6所示之校== 1 出：：，從資料庫120中選擇抽出適合測試模組146 >又準純410。而且，藉由使識別f 校準標賴6,朗確騎衫存麵 可防止錯誤使用不恰#的校準資料彻。X早貝料41〇’ 圖6所示爲關於本實施形態的校準資 理的-個例子。圖6所示之校準資料41。的 發明之修正值管理方法的—部分。首先， ^置.、 系統控制裝置= 議㈣彻日__ 。錢，^統控制裝 4 爲第 93123202 4 爲第 93123202 飞多儿口别.j %.ψ 「00军 m 置根據從識別資訊儲存部230抽出的校3Q6 後，在校準ί中疋否産生錯誤（S610)。然 NO)，条：二 校準正常結束的情況下（S61〇 : *的校準曰二ί :根f從識別資訊儲存部230所抽 (S62〇)。 、b1 08，判斷校準資料410是否還有效 期和_校準日期和時間3〇8與現在的日 所確定_ = = ’如從校準日期和時間未經過預定 ❹心、BUS02G:N〇) ’則判斷校準資料420有效， 準別資訊健存部230所抽出的各種資訊，選擇校 呈_却，^且從貧料412〇抽出校準資料41〇(如0)。 :;230二ί Ϊ控制裝置U〇選擇含有與從識別資訊儲存 =3〇 :抽出的系統咖〇、板肪〇2、槽删*、及校準 =D4〇6、及校準日期和時間的校準文件權。然後， ^應”2、板ID撕、槽ID侧、及校準日期和時間 8 ,抽出貧料庫12〇儲存的校準資料“❻。 S63〇中從識別資訊儲存部230所抽出的 、板ID302、槽ID3〇4、及校準日期和時間· 表不相同内容之系統卿2、板ID4〇4、槽m條及 曰期和時間408 #校準文件4⑻存在於資料庫m中 需的校準資料410的抽出成功（S640·· YES)，則系統 制裝置110將含有抽出的校準資料41〇之時序校準^料 準位校準負料’分別在時序校正記憶體218及準位校正記 20 Ϊ353516 爲第93123202號中文說明書無劃線，正|月日婊赞以月5日 憶體224中進行保持（S650)。 然後，在測試模組146中，時序修正部220根據時序 权正記憶體218所保持的時序校準資料’對時序産生部2〇6 産生的時序進行校正。而且，準位修正部226根據準位校 正屺憶體224所保持的準位校準資料，對電壓放大部228 向驅動器210及比較器212所供給的電壓進行校正。然後， 執行DUT150的測試。 … 另一方面，當校準標誌306表示在校準資料41〇的產 生中産生錯誤時（S610 : YES)，從校準日期和時間3〇8 =過預K的顧時（簡：卿），含有與從識別 資訊儲存部230所抽出的系統11)3〇〇、板ID3〇2、槽ID3〇4、 及杈準日期和時間308表示相同内容之系統ID4〇2、板 ID404、槽ID406、及校準日期和時間4〇8的校準文件4〇〇 未儲存於資料庫120中，所需的校準資料彻的抽出失敗 時（S640:NO) ’系'統控制裝置11〇藉由在顯示褒置上顯 不錯誤標誌資訊，從而通知用戶不能取得校準資料41〇 (S660)。然後’系統控制裝置11()藉由進行圖$所示的 ，準資料的產生處理，而產生新的校準資料41〇並儲 子於資料庫12G中（S67G)。然後’也可藉由再次進行圖 6所示之校準資料的抽出處理，而抽出校準資料41〇， ，將校準資料410包含的時序校準資料及準位校準資料， 分別保持在時序校正記憶體218及準位校正記憶體224中。 如上所述，藉由利用系統11)4〇2、板ID4〇4、槽 父準日期和時間408等各種資訊’對校準資料41〇進行管 21 1353516 -你止HMU.刚年5月5 E 眷月日絛正替換] 爲第93123202號中文說明書無劃線修正本 11)0 vh1 ▼^ 理，可自動地向測試模組146供給適當的校準資料41〇， 並進行測試。而且，如從校準日期和時間3〇8經過一定的 期間，則藉由不使用校準資料41〇，而產生新的校準資料 410’可抑制g測試模組146等的劣化所造成之測試精度的 下降，並總是維持高測定精度，正確地進行DUT15〇的測 試0 圖7所示爲關於本實施形態的系統控制裝置11〇之硬 體構成的一個例子。系統控制裝置11〇包括具有利用主控 制器1082相互連接的CPU1000，RAJVQ020，圖形控制器 薦及顯示裝置1080之CPU周邊部、具有利用輸出入控 制器1084與主控制器1〇82連接的通信介面1〇3〇,硬碟驅 動器1040及CD —ROM驅動器1〇60之輸出入部、具有與 輸出入控制器1084連接的R〇Ml〇l〇、軟碟驅動器1〇5〇 及輸出入晶片1070之傳統（legacy)輸出入部。 主控制1082將以高傳輸速率訪問καΜ1〇2〇的 CPU1000及圖形控制器1〇75與連接。cpm〇〇〇 根據ROM1010及RAM1020所儲存的程式進行動作，並進 行各部的控制。圖形控制器1075取得CPU1000等在 RAM1020内所設置的幀緩衝寄存器上產生的圖像資料，並 在顯示裝置1080上進行顯示。作爲其替代方式，圖形記憶 體1075也可將用於儲存CPU1000等產生的圖像資料之^ 緩衝寄存|§設置於内部。 輸出入控制器1084將比較高速的輸出入裝置即通信 面1030、硬碟驅動器1〇40及CD — ROM驅動器1060盘 22 1353516 修正咖:100 年月 10B. ^

爲第93123202號中文說明書無劃線修 主控制器1082連接。通信介面1〇3〇通過通信網路與其他 裝置進行通彳§。硬碟驅動II 1Q4G儲存系統控制裝置11〇 使用的程式及資料eCD〜R〇M驅動器1〇6〇&cd — ROM1095 f買取程式或資料，並通過^奶猶向輸出入晶 片1070提供。 而且，在輸出入控制器腦上，連接有軟碟驅動器 1050和輸出入晶片1070等比較低速的輸出入裝置、 romioio〇rOM1010儲存在系統控制裝置ιι〇的起動時 cpuiooo執行的引導程式、依存於純控制裝f ιι〇的硬 體的程式等。軟碟驅動器1〇5〇從軟碟1〇9〇讀取程式或資 料，並通過RAM1020向輪出入晶片1〇7〇提供。輸出入晶 片1070通過軟碟1〇90和例如並口、串口、鍵盤口、 口等連接各種輸出入裝置。 被提供給系統控制裝置11〇的程式，儲存於軟碟 1090、CD-ROM1095或IC卡等記錄媒體中，並由用戶提 供私式從5己錄媒體被讀出，並通過輸出入晶片在系 統控制裝置110上被安褒，且在系統控制裝置11〇中被 行。 ^在系統控制裝置110中被安裝且被執行的程式，可使 系統控制裝置liO，作爲抽出識別資訊儲存部所儲存 的系統1咖0、板ID3〇2、槽刪4、校準標諸3〇6及校準 日期和時間308之識別資訊抽出裝置；將與利用識別資訊 抽出裝置取得的系統ID300、板ID302、校準標誌306及 权準日期和時間308同一内容的系統1〇4〇2、板ID4〇4、 23 1353516 爲第93123202號中文說明書無劃線修正本 槽ID406及校準日期和時間4〇8所對應儲細校準資料 彻，從資料庫120抽出之修正值抽出裝置；使利用修正值 ^出裝置抽出的鮮麟彻包含的時序校準及準位校準 資料’在時序校正記憶H 218及準位校正記憶體224中分 別被保持之修正健縣置；利料序校正錢體218及 準位校正記憶Μ 224所分別保持的時序鮮及準位校準資

料，使時序修正部220及準位修正部226修正測試信號之 測試信號修正裝置而發揮機能。 以上所5F的程式賴組，也可儲存於外部的記錄媒體 t。作爲記錄媒體，除了軟碟1〇9〇、Cd_r〇Mi〇95以外， 還可使用DVD和PD等光學記錄媒體、MD等光電磁記錄 媒體、磁帶媒體、IC卡等半導體記憶鮮。Μ，也可將 與專用通信網路和因細連接的伺服H統巾所設置的硬 碟或RAM等贿裝置作爲記錄雜使用，並通過通信網 路130向系統控制裝置ho提供程式。

修正門期·10Π年S ^上_實施形態對本發明進行了說明，但本發明的 技術範圍並不限定於上述實施形態所記述的範圍。可在上 述實施形態上加以多種多樣的變更或改良。由權利要求的 記述可知，這種加讀更或改良的形態也包含在本發明的 技術範圍中。 由上述說明可知’如利用本發明，藉由適當地修正向 被測試元件供齡说錢㈣序、對制試元件之測試信 號的電壓準位，可提供-種轉高敎精度並正確地對被 測試元件進行測試之測試裝置。 24 1353516 爲第93123202號中文說明書無 -修正賺職 1年5方了百^ 年4 J•修正替換頁 - -___ 雖然本發明已以較佳實補揭露如上，財並 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 和範圍内，當可作些許之更動與卿，因此本發明 被 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 又 【圖式簡單說明】 圖1所不爲測試裝置1〇〇之整體構成的一個例子。 圖2所示爲測試模組146之機能構成的一個例子。 圖3所示爲識別資訊儲存部23〇之資料構成的一個例

圖4所示爲資料庫12〇之資料構成的一個例子。 圖5所示爲校準資料410之產生處理的一個例子。 圖6所示爲校準資料410之抽出處理的一個例子。 圖7所示爲系統控制裝置11〇之硬體構成的一個例子。 【主要元件符號說明】

1〇〇 :測試裝置 110 :系統控制裝置 12〇 :資料庫 130 :通信網路 140 :觀察單元 142 :觀察控制裝置 144 :匯流排

146 :測試模組 150 ： DUT 2〇〇 :測試板 25 1353516

202 :圖案産生部 204 :周期産生部 206 :時序産生部 208 :波形整形部 210 :驅動器 212 :比較器 214 :邏輯比較器 216 :時序設定記憶體 • 218 :時序校正記憶體 220 :時序修正部 222 :準位設定記憶體 224 :準位校正記憶體 226 :準位修正部 228 :電壓放大部 230 :識別資訊儲存部 232 :槽

φ 300 :系統 ID

302 :板ID 304 :槽 ID 306 :校準標誌 308 :校準日期和時間 400 :校準文件 402 :系統ID 404 :板ID 26 1353516 14415pif2 ' f------一—— #〇叫日絛錢換冥

406 :槽 ID 408 :校準曰期和時間 410 :校準資料

1000 ： CPU

1010 : ROM

1020 ： RAM 1030 :通信介面 1040 :硬碟驅動器 1050 :軟碟驅動器 1060 : CD —ROM 驅動器 1070 ·輸出入晶片 1075:圖形控制器 1080 :顯示裝置 1082 :主控制器 1084 :輸出入控制器 1090 :軟碟

1095 ： CD-ROM 27

Claims (1)

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期:100年7月曰 14415pif2 爲第93123202號中文專利範圍無劃線修 七、申請專利範圍： 丨J試， 1.-種測試裝置，適用於對一被測試元件 該測試裝置包括： 一測試模組，具有： 一修正裳置’帛以修正供給至該卿 測試信號的特性、或修正對從該被測試元 信號進行測定之測定裝置之特性； ^之輪出 •情使用持;:’用以保持該修正裝置的修正 一識別資訊儲存裝置，用以儲存 之識別資訊的—測試模組識別資訊； M板組 修正值資料庫，係相對於該測試模组識別資訊 資訊所識別之該測試模組的該修;值伴 持裝置應保持之該修正值進行儲存；錢 保 賴模資訊儲存裝置儲存之該 •值，並在該修正值保持農===料庫儲存的該修正 於：2.如申請專利範圍第1項所述之測試裝置，其特徵在 的一 狀朗試信號 位。 、 件之該该測試信號的電壓準 於 申°月專利&圍第2項所述之賊裝置，其特徵在 28 1353516 14415pif2 * 爲第93123202號中文專利範圍無劃線修正本 修正日期:1〇〇年7月29日 =試模組更包括一時序產生裝置用以産生供給至 μ被測忒7〇件之該測試信號的該時序； ’、 該修正值保持裝置包括： 序的-時;f係保持用於表示預定之_ 置在預定持爲了使該時序產生農 校正之一時序，而對該時序資料進行 該修正裝置包括一時序修 ^ 正值的該時序資料及該時序校準^，’‘爲該修 所産生之該時序進行修正。奴準貝# ·亥時序產生裝置 於：4.如申請專利範圍第2項所述之測試裝置，其特徵在 件之模組更包括用於供給該測試信號至該被測試元 ^交ΐί 用於收取來自該測試元件之輸出信號的一 該修正值保持裝置包括： 定電㈣"T立設定記憶體’係保持用於表示預定之一設 疋電麼的一準位資料；以及 比較位校正記憶體’係保持爲了使該驅動器或該 行校正之-準位校準g遂進仃動作，而對該準位資料進 正值農置，用以根據作爲該修 貝科及該準位校準資料，對該驅動器或該比 29 1353516 14415pif2 修正曰期:100年7月29日 爲第93123202號中文專利範圍無割線修正本 較器的該設定電壓進行修正。 於： 5.如申請專利範圍第2項所述之測試裝置，其特徵在 該識別資訊儲存裝置用以更儲存為該測試裝置識別資 §孔之該測试裝置的識別資訊； 該修正值資料庫相對於該測試模組識別資訊及該測試 裝置識別資訊，而儲存前述修正值；以及 該控制裝置係相對於該識別資訊儲存裝置所儲存的該 測試模組識別資訊及賴試裝置酬資訊，而抽出該修正 值資料庫賴存的該修正值，域持於祕正值保持裝置 中。 6.如申明專魏u第2項所述之測試裝置， 於更包括： 仅姓：，、可裝卸地保持設有該修正裝置、該修正值 保持裝置及賴別資赠存裝置的—測試板； 訊儲存裝置用以更儲存保持有為-槽識別資 孔之s亥測试板之該槽的識別資訊； 心丨ί =庫係相對於該測試模組識別資訊及該槽 識別貧訊，而儲存該修正值；以及 該控制裝置係相對於該識別資訊該 槽識別貧訊及該測試裝置墦S丨丨次 盧娇Μqα π π 識別貝訊，而抽出該修正值資料 庫所儲存的祕正值，料躲_ 7.如申請專利範_ 2 值保縣 於 項所述之測試裝置，其特徵在 30 1353516 14415pif2 爲第93123202號中文專利範圍無劃線修正# 修. 正曰期·划年玥四日 該識別資訊儲存裝置用以更錯存有 值保持裝置應保持之該修正_產生修正 錯誤標誌；以及 産生錯誤的一 該控制裝置在根據該識別資訊儲存 試模組識別資訊而從該修正值資料庫抽出該 ^識別#訊儲存襄置儲存有用於表示在該修正值的 中産生錯糾該錯誤標誌、，則產生新的該修正值。 於：8.如申物咖第2項所述之賴裝置，其特徵在 該識別資訊儲存裝置用以更儲存有該修 應保持之該修正值所產生的一產生日期和時間；^寺裝置 古式模據該識別f_存裝置所儲存的該測 識別-貝訊而從該修正值資料庫抽出該修正值時，如 於 值了生日期和_經過—預定期間，則產生新的該修正 9.如申π專利範圍第2項所述之測試裝置，其特徵在 儲控繼置在該修正值資料縣儲存有與該識別資訊 :子、置所儲存之該測試模組識別資訊對應的該修正值 時’產生新的該修正值。 10.如申請專利範圍第2項所述之測試裝置，其特徵在 於： 該修正值保持裝置爲揮發性記憶體 ，而該識別資訊儲 予裝置爲非揮發性記憶體。 31 I4415pif2 爲第93123202辦文辩蟎圍無劃線修正本 修正曰期·_】〇〇年7月29曰 11 ‘種修正值管理方法，係爲在 挪試的-測試裝置中，管理用於 件進行 之測試信號的特性或對該被測試‘ 試元件 ::定的-測定部的特性之-修正值=:=進 =具有修正該測試信號的特性或該測定部的特性之一 ，邛、保持在利用該修正部的修正中所使用兮佟正佶沾 一修正值保持部、及儲存作為使用該修正值的 _ ^ ίΓ 之―識別資賴存部_測試模组 二:儲存部所儲存的該測試模組識別資訊 ^識別貝訊抽出階段； =於_賴_難訊，贱存酬試元 持部應象 枓庫中，抽出與在該識別資訊獲取階 =:=試模組識別資訊對崎的該修正值之- =修正值保持部將在該修正值抽出階段所抽出的該修 值進仃保持之一修正值保持階段；以及 該修正部利用該修正值保持部所保持的該修正值，對 該測試信號進行修正之—測試信歸正階段。 12·如申請專利範圍第u項所述之修正值管理方法， 八特徵在於更包括： 產生該修正值保持部應保持的該修正值之一修正值產 玍階段； 32 14415pif2 ______ 粧日咖㈣29/ 二t修正值產生階段所產生的該修正值，盘罝有， 她 測試模組聰訊對“ 貝针犀十進仃儲存之一修正值儲 該識識:=_別之該測試模組具有的 資訊儲存階段。 則试核組識別資訊之-識別 爲在修正特性的控制裝置用的控制程式產品，係 供給至該二==試；試裝置中’用於控制 所輸出的輸出信號進行測定被:丨試元件 制農置用的程式，· ㈣叙㈣特性之修正的控 或該具=測試信號的特性 正中所使用的一修正狀一;：^利用該修正部的修 測試模組之識別資訊的-職模2^、及儲存作為一 儲存部的該測試模組中，而抽出該識 的該測試模組識別資訊之-識別資訊抽出震ί所儲存 資件識別貧訊’從儲存該測試模組識別 貧訊所識別的該測試模組具有的 值的-修正值資料庫中，抽出與利=:= 件識—對應儲存_= 保持:=;:==的:r值在該修正值 33 1353516

14415pif2 爲第93123202號中文專利範圍無劃線修正本修正日期:100年7月29日 利用該修正值保持部所保持的該修正值，在該修正部 對該測試信號進行修正之一測試信號修正裝置而發揮機 能0 34 1353516 ^—-—— 5月5曰 爲第93123202號中文說明書無劃線f 4明$修; 四、 指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：圖（2 )。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明·· 144 :匯流排 146 :測試模組 150 ： DUT 200 :測試板 202:圖案産生部 204 :周期産生部 206 :時序産生部 208 :波形整形部 210 :驅動器 212 :比較器 214:邏輯比較器 216 :時序設定記憶體 218 :時序校正記憶體 220 :時序修正部 222 :準位設定記憶體 224 :準位校正記憶體 226 :準位修正部 228 :電壓放大部 230 :識別資訊儲存部 232 :槽 五、 本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵 的化學式： 無