CN1829919A - 测试装置、修正值管理方法及程式 - Google Patents

Abstract

一种测试装置、修正值管理方法及程式。该测试装置包括测试模组、修正值资料库与控制装置。此测试模组具有用于对供给至DUT的测试信号的时序或对DUT的测试信号电压准位进行修正的修正部、保持利用修正部的修正中所使用的修正值的修正值保持部、及储存作为测试模组的识别资讯的一测试模组识别资讯的识别资讯储存部。修正值资料库是相对于测试模组识别资讯，将修正值保持部应保持的修正值进行储存；控制装置是相对于识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯，抽出修正值资料库储存的修正值，并在修正值保持部中进行保持。

Description

测试装置、修正值管理方法及程式

技术领域

本发明是有关于一种测试装置、修正值管理方法及程式，且特别是有关于一种藉由对供给至被测试元件的测试信号的时序或对被测试元件的测试信号的电压准位，在每测试模组进行修正，从而精度良好地对被测试元件进行测试的测试装置。

背景技术

在习知的测试装置中，在被测试元件的测试之前，对产生用于供给至被测试元件的测试信号的时序的时序产生部、被测试元件，进行用于进行测试信号的交换的驱动器和比较器等的校准，谋求在被测试元件的测试中的测定精度的提高。由于目前未发现先行技术文献的存在，所以省略关于先行技术文献的记述。

在习知的测试装置中，测试模组将时序产生部、驱动器、比较器等的校准资料保持在挥发性记忆体中并进行测试。所以，当测试装置的电源被切断时，校准资料从测试模组丢失。因此，测试装置的用户在再次进行测试时要人为地选择性抽出适当的校准资料，并供给测试模组进行保存。如采用这种方法，在校准资料的选择中可能产生人为的差错，有时无法精度良好地进行被测试元件的测试。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种能够解决上述课题的测试装置、修正值管理方法及程式。该目的利用请求范围中的独立项所记述的特征的组合而达成。而且，从属项规定了本发明的更加有利的具体例子。

如利用本发明的第1形态，为一种对被测试元件进行测试的测试装置，其包括测试模组，是具有用于对供给至被测试元件的测试信号的时序或对被测试元件的测试信号电压准位进行修正的修正部、保持利用修正部的修正中所使用的修正值的修正值保持部、及储存作为测试模组的识别资讯的一测试模组识别资讯的识别资讯储存部；修正值资料库，是相对于测试模组识别资讯，将由该测试元件识别资讯所识别的测试模组具有的修正值保持部应保持的修正值进行储存；控制装置，是相对于识别资讯储存部储存的测试模组识别资讯，而抽出修正值资料库储存的修正值，并在修正值保持部中进行保持。

依照本发明的较佳实施例所述，上述的测试模组更包括用于产生供给至测试元件的测试信号的时序的时序产生部。上述的修正值保持部包括：时序设定记忆体，保持用于表示预定的时序的时序资料；及时序校正记忆体，保持为了使时序产生部在预定的时序供给测试信号，而对时序资料进行校正的时序校准资料。上述的修正部包括根据作为修正值的时序资料及时序校准资料，对时序产生部所产生的时序进行修正的时序修正部。

依照本发明的较佳实施例所述，上述的测试模组更包括用于供给测试信号至被测试元件的驱动器或用于收取来自测试元件的输出信号的比较器。上述的修正值保持部包括：准位设定记忆体，是保持用于表示预定的设定电压的准位资料；及准位校正记忆体，是保持为了使驱动器或比较器在预定的设定电压进行动作，而对准位资料进行校正的准位校准资料。上述的修正部包括根据作为修正值的准位资料及准位校准资料，对驱动器或比较器的设定电压进行修正的准位修正部。

依照本发明的较佳实施例所述，上述的识别资讯储存部还储存作为测试装置的识别资讯的一测试装置识别资讯。上述的修正值资料库相对于测试模组识别资讯及测试装置识别资讯，储存修正值。上述的控制装置相对于识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯及测试装置识别资讯，而抽出修正值资料库所储存的修正值，并保持于修正值保持部中。

依照本发明的较佳实施例所述，更包括用于可装卸地保持设有修正部、修正值保持部及設於识别资讯储存部的测试板的多数个槽。上述的识别资讯储存部还储存保持有测试板的槽的识别资讯即槽识别资讯。上述的修正值资料库相对于测试模组识别资讯及槽识别资讯，而储存修正值。上述的控制装置相对于识别资讯储存部所储存的槽识别资讯及测试装置识别资讯，而抽出修正值资料库所储存的修正值，并保持于修正值保持部中。

依照本发明的较佳实施例所述，上述的识别资讯储存部还储存有用于表示在修正值保持部应保持的修正值的产生中是否产生错误的错误标志。上述的控制装置在根据识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯而从修正值资料库抽出修正值时，如果识别资讯储存部储存有用于表示在修正值的产生中产生错误的错误标志，则产生新的修正值。

依照本发明的较佳实施例所述，上述的识别资讯储存部还储存有修正值保持部应保持的修正值所产生的产生日期和时间。上述的控制装置在根据识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯而从修正值资料库抽出修正值时，如果产生日期和时间经过一预定期间，则产生新的修正值。控制装置在修正值资料库未储存有与识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯相对于的修正值时，也可产生新的修正值。修正值保持部为挥发性记忆体，识别资讯储存部也可为非挥发性记忆体。

而且，如利用本发明的第2形态，为一种在对被测试元件进行测试的测试装置中，管理用于修正将测试信号供给被测试元件的时序或对被测试元件的测试信号电压准位的修正值的修正值管理方法；包括从具有修正时序或电压准位的修正部、保持在利用修正部的修正中所使用的修正值的修正值保持部、及储存作为测试模组的识别资讯的一测试模组识别资讯的识别资讯储存部的测试模组中，抽出识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯的识别资讯抽出阶段；相对于测试模组识别资讯，从储存该测试模组识别资讯所识别的测试模组具有的修正值保持部应保持的修正值的修正值资料库中，抽出与在识别资讯获取阶段所取得的测试模组识别资讯相对于储存的修正值的修正值抽出阶段；修正值保持部将在修正值抽出阶段所抽出的修正值进行保持的修正值保持阶段；修正部利用修正值保持部所保持的修正值，对测试信号进行修正的测试信号修正阶段。

依照本发明的较佳实施例所述，更包括产生修正值保持部应保持的修正值的修正值产生阶段；将在修正值产生阶段所产生的修正值，与具有修正值保持部的测试模组的测试模组识别资讯相对于在修正值资料库中进行储存的修正值储存阶段；在由测试模组识别资讯所识别的测试模组具有的识别资讯储存部中，储存测试模组识别资讯的识别资讯储存阶段。

而且，如利用本发明的第3形态，为一种在对被测试元件进行测试的测试装置中，用于控制向被测试元件供给测试信号的时序或对被测试元件的测试信号电压准位的修正的控制装置用的程式；可使控制装置，作为从具有修正时序或电压准位的修正部、保持在利用修正部的修正中所使用的修正值的修正值保持部、及储存作为测试模组的识别资讯的一测试模组识别资讯的识别资讯储存部的测试模组中，抽出识别资讯储存部所储存的测试模组识别资讯的识别资讯抽出装置；相对于测试模组识别资讯，从储存该测试模组识别资讯所识别的测试模组具有的修正值保持部应保持的修正值的修正值资料库中，抽出与利用识别资讯获取装置所取得的测试模组识别资讯相对于储存的修正值的修正值抽出装置；使利用修正值抽出装置抽出的修正值在修正值保持部被保持的修正值保持装置；利用修正值保持部所保持的修正值，在修正部对测试信号进行修正的测试信号修正装置而发挥机能。

另外上述的发明的概要并未列举本发明的所有必要特征，这些特征群的子集也可又形成发明。

如利用本发明，可提供一种藉由适当地修正向被测试元件供给测试信号的时序、对被测试元件的测试信号的电压准位，从而可维持高测定精度并正确地对被测试元件进行测试的测试装置。

为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1所示为测试装置100的整体构成的一个例子。

图2所示为测试模组146的机能构成的一个例子。

图3所示为识别资讯储存部230的资料构成的一个例子。

图4所示为资料库120的资料构成的一个例子。

图5所示为校准资料410的产生处理的一个例子。

图6所示为校准资料410的抽出处理的一个例子。

图7所示为系统控制装置110的硬体构成的一个例子。

100：测试装置             110：系统控制装置

120：资料库               130：通信网路

140：观察单元             142：观察控制装置

144：汇流排               146：测试模组

150：DUT                  200：测试板

202：图案产生部           204：周期产生部

206：时序产生部           208：波形整形部

210：驱动器               212：比较器

214：逻辑比较器           216：时序设定记忆体

218：时序校正记忆体       220：时序修正部

222：准位设定记忆体       224：准位校正记忆体

226：准位修正部           228：电压放大部

230：识别资讯储存部       232：槽

300：系统ID               302：板ID

304：槽ID                 306：校准标志

308：校准日期和时间       400：校准文件

402：系统ID               404：板ID

406：槽ID                 408：校准日期和时间

410：校准资料             1000：CPU

1010：ROM                 1020：RAM

1030：通信介面            1040：硬碟驱动器

1050：软碟驱动器          1060：CD-ROM驱动器

1070：输出入晶片          1075：图形控制器

1080：显示装置            1082：主控制器

1084：输出入控制器        1090：软碟

1095：CD-ROM

具体实施方式

图1所示为关于本发明的一实施形态的测试装置100的整体构成的一个例子。测试装置100利用开放式体系结构实现，而作为向DUT(DeviceUnder Test：被测试元件)150供给测试信号的测试模组146，使用基于开放式体系结构的模组。测试模组146产生测试信号并供给到DUT150，且将DUT150根据测试信号进行动作后输出的输出信号与期望值进行比较，判断DUT150的好坏。关于本实施形态的测试装置100的目的在于，藉由根据测试模组146储存的各种资讯，测试模组146将测试信号的产生或比较中所使用的校准资料，从资料库120中自动选择抽出，从而利用适当的校准资料而精度良好地进行DUT150的测试。

测试装置100包括系统控制装置110、资料库120、通信网路130及多数个观察单元140。系统控制装置110通过通信网路130与资料库120及多数个观察单元140进行通信。另外，资料库120为本发明的修正值资料库的一个例子，也可为与系统控制装置110直接连接或系统控制装置110所内置的硬碟。而且，观察单元140具有观察控制装置142、多数个汇流排144及多数个测试模组146。多数个汇流排144与多数个测试模组146分别对应设置，而观察控制装置142通过多数个汇流排144分别与对应的多数个测试模组146进行通信。

系统控制装置110根据资料库120所储存的测试程式及测试资料、以及校准程式及校准资料，对利用多数个观察单元140的测试顺序以及校准顺序进行控制。观察控制装置142根据系统控制装置110的控制，对多数个测试模组146的测试顺序以及校准顺序进行控制。

系统控制装置110在DUT150的测试之前，藉由执行校准程式而执行测试模组146的校准。而且，资料库120将由校准所得到的校准资料与各种资讯一起进行储存。然后，系统控制装置110藉由执行测试程式，而根据各种资讯选择性抽出资料库120所储存的校准资料，并通过观察控制装置142供给到测试模组146且被保持。

观察控制装置142通过系统控制装置110从资料库120取得测试资料，并储存于DUT150的测试所使用的测试模组146中。而且，观察控制装置142指示测试模组146开始基于测试程式及测试资料的测试。而且，观察控制装置142从例如测试模组146接收表示测试已结束的中断等，并根据测试结果使各模组进行下面的测试。多数个观察控制装置142也可分别依据多数个DUT150的测试结果而控制多数个测试模组146，并对多数个DUT150并行执行不同的测试顺序。

多数个测试模组146与DUT150所具有的多数个终端的每一部分分别连接，并根据测试程式及测试资料进行DUT150的测试。在DUT150的测试中，测试模组146根据测试程式所确定的测试顺序，由测试资料产生测试信号，并向测试模组146所分别连接的DUT150的终端供给测试信号。而且，取得DUT150根据测试信号进行动作后所输出的输出信号，并与期望值进行比较，且储存比较结果。此时，测试模组146藉由利用从系统控制装置110所供给的校准资料，可使测试信号的产生或比较中的测定精度提高。

如利用关于本实施形态的测试装置100，藉由利用各种资讯对测试模组146的校准资料进行管理，当执行利用该测试模组146的测试时，可自动地向该测试模组146供给适当的校准资料，并利用该校准资料进行测试。因此，能够防止在校准资料的选择中的人为错误的发生，所以可提高测试中的测定精度，并正确地进行DUT150的测试。

另外，在本实施形态中，是利用使系统控制装置110及观察控制装置142作为本发明的控制装置发挥机能的例子进行说明，但在其他例子中，也可使多数个测试模组146分别具有模组控制装置。而且，既可使系统控制装置110、观察控制装置142及模组控制装置分担或协同，作为本发明的控制装置发挥机能，也可使系统控制装置110、观察控制装置142及模组控制装置中的一部分，作为本发明的控制装置发挥机能。

图2所示为关于本实施形态的测试模组146的机能构成的一个例子。测试模组146具有测试板200、图案产生部202、周期产生部204、时序产生部206、波形整形部208、驱动器210、比较器212、逻辑比较部214、时序设定记忆体216、时序校正记忆体218、时序修正部220、准位设定记忆体222、准位校正记忆体224、准位修正部226、电压放大部228、识别资讯储存部230及槽232。

槽232可装卸地保持在测试板200上，并中继测试板200和汇流排144的通信。在测试板200上设有图案产生部202、周期产生部204、时序产生部206、波形整形部208、驱动器210、比较器212、逻辑比较部214、时序设定记忆体216、时序校正记忆体218、时序修正部220、准位设定记忆体222、准位校正记忆体224、准位修正部226、电压放大部228及识别资讯储存部230。

另外，时序修正部220及准位修正部226为本发明的修正部的一个例子，对供给DUT150的测试信号的特性或用于测定从DUT150所输出的输出信号的测定部的特性进行修正。而且，在其他例子中，如测试模组146为类比模组，则本发明的修正部也可为修正对DUT150所输入的输出信号进行过滤的滤波器的透过频带的滤波器频率修正部。

而且，时序设定记忆体216、时序校正记忆体218、准位设定记忆体222及准位校正记忆体224为挥发性记忆体，是本发明的修正值保持部的一个例子。而且，识别资讯储存部230为非挥发性记忆体。而且，比较器212为本发明的测定部的一个例子。

首先，在DUT150的测试之前，时序设定记忆体216保持利用时序修正部220的修正中所使用的，表示预定的时序的时序资料。时序资料用于纠正时序产生部206的特性的参差不齐，并藉由使系统控制装置110执行元件程式，可设定与时序产生部206对应的值。而且，时序校正记忆体218为了在时序产生部206所预定的时序供给测试信号，保持对时序设定记忆体216保持的时序资料进行校正的时序校准资料。时序校准资料藉由执行时序产生部206的时序校准而得到，并利用系统控制装置110从资料库120被抽出且被设定于时序校正记忆体218中。另外，时序资料及时序校准资料为本发明的修正值的一个例子。

而且，在DUT150的测试之前，准位设定记忆体222保持利用准位修正部226的修正中所使用的，表示预定的设定电压的准位资料。准位资料用于纠正驱动器210及比较器212的特性的参差不齐，并藉由使系统控制装置110执行元件程式，可设定与驱动器210及比较器212对应的值。而且，准位校正记忆体224为了使驱动器210及比较器212在预定的设定电压进行动作，，保持对准位设定记忆体222保持的准位资料进行校正的准位校准资料。准位校准资料藉由执行驱动器210及比较器212的准位校准而得到，并利用系统控制装置110从资料库120被抽出且被设定于准位校正记忆体224中。另外，准位资料及准位校准资料为本发明的修正值的一个例子。

识别资讯储存部230储存测试装置100的识别资讯即系统ID、测试板200的识别资讯即板ID、保持测试板200的槽232的识别资讯即槽ID等，并使系统控制装置110根据该系统ID、该板ID及槽ID，从资料库120中选择抽出的时序校准资料及准位校准资料分别被设定于时序校正记忆体218及准位校正记忆体224。作为其他的实施形态，识别资讯储存部230也可储存有时序校准资料及准位校准资料，并在DUT150的测试之前，在时序校正记忆体218及准位校正记忆体224中分别进行设定。

当开始DUT150的测试时，图案产生部202根据从系统控制装置110所取得的测试资料，产生用于供给DUT150的测试信号，并供给到波形整形部208及逻辑比较部214。而且，周期产生部204产生基准周期，并供给到时序产生部206。时序产生部206根据周期产生部204产生的基准周期，产生用于向DUT150供给测试信号的时序及用于比较来自DUT150的输出信号的时序，并供给到波形整形部208及逻辑比较部214。此时，时序修正部220根据时序设定记忆体216保持的时序资料及时序校正记忆体218保持的时序校准资料，对时序产生部206产生的时序，即DUT150供给测试信号的时序及比较测试信号的时序进行修正。

波形整形部208将图案产生部202产生的测试信号整形为向DUT150的施加波形，并在时序产生部206产生的时序输出。驱动器210将利用波形整形部208被整形为施加波形的测试信号，放大为从电压放大部228所供给的一定的设定电压并交付DUT150。而且，比较器212从驱动器210接收来自与所交付的测试信号对应的DUT150的输出信号，并与电压放大部228所供给的一定的阈值电压进行比较，且将比较结果输出到逻辑比较部214。此时，准位修正部226根据准位设定记忆体222保持的准位资料及准位校正记忆体保持的准位校准资料，对电压放大部228向驱动器210及比较器212供给的阈值电压的电压准位进行修正。

逻辑比较部214将从图案产生部202所供给的测试信号和从比较器212所供给的比较结果，在时序产生部206所供给的时序进行比较。而且，逻辑比较部214将测试信号和输出信号的比较结果依次在失效记忆体(failmemory)中进行储存。而且，系统控制装置110在测试顺序结束后，解析失效记忆体中所储存的比较结果，进行DUT150的好坏判定。

如利用关于本实施形态的测试装置100，系统控制装置110根据测试模组146的识别资讯储存部230储存的各种资讯，从资料库120自动抽出并供给时序补正部220及准位补正部226所使用的校准资料，并在时序校正记忆体218及准位校正记忆体224进行保存，所以能够防止错误地设定校准资料。因此，可利用适当的校准资料精度良好地进行DUT150的测试。

图3所示为关于本实施形态的识别资讯储存部230的资料构成的一个例子。识别资讯储存部230储存有系统ID300、板ID302、槽ID304、校准标志306及校准日期和时间308。系统ID300为测试装置100的识别资讯即测试装置识别资讯的一个例子，是为每个图1所示的测试装置100分配的唯一的识别资讯。板ID302为测试模组146的识别资讯即测试模组识别资讯的一个例子，是在测试装置100内为每个测试板200分配的唯一的识别资讯。槽ID304为保持有测试板200的槽232的识别资讯即槽识别资讯的一个例子，由系统控制装置110而利用汇流排144的识别资讯对保持有测试板200的槽232进行判别，并在测试装置100内对每个槽232作唯一地分配。

而且，校准标志306为本发明的错误标志的一个例子，表示在时序产生部206的时序校准、或驱动器210或比较器212的准位校准中，在时序校正记忆体218应保持的时序校准资料、或准位校正记忆体224应保持的准位校准资料的产生中，是否产生错误。校准日期和时间308为本发明的产生日期和时间的一个例子，表示时序校正记忆体218应保持的时序校准资料、及准位校正记忆体224应保持的准位校准资料所产生的日期和时间。

如利用关于本实施形态的测试装置100，则藉由使非挥发性记忆体即识别资讯储存部230储存上述那样的各种资讯，即使在测试装置100的电源被切断的情况下，也可预先保持各种资讯。所以，当测试装置100的电源再次接通时，可根据识别资讯储存部230储存的各种资讯，从资料库120中自动地抽出校准资料，并可利用适当的校准资料而精度良好地进行DUT150的测试。

图4所示为关于本实施形态的资料库120的资料构成的一个例子。资料库120储存有系统ID402、板ID404、槽ID406、校准日期和时间408及校准资料410彼此对应的多数个校准文件400。资料库120储存有关于多数个测试装置100分别具有的多数个测试模组146的校准文件400。

系统ID402、板ID404、槽ID406及校准日期和时间408，为表示分别与图3所示的系统ID300、板ID302、槽ID304、校准标志306及校准日期和时间308相同的内容的资讯。校准资料410包括由系统ID300、板ID302及槽ID304所识别的测试模组146具有的时序校正记忆体218应保持的时序校准资料、及准位校正记忆体224应保持的准位校准资料。

如利用关于本实施形态的测试装置100，由于是根据上述那样的各种资讯，自动地选择抽出校准资料410，所以即使在测试板200被错误地插入到与所需的测试装置100不同的测试装置100中的情况下，和被错误地插入到与所需的槽232不同的槽232中的情况下，也可防止与时序校正记忆体218及准位校正记忆体224应保持的校准资料410不同的校准资料410被保持。

图5所示为关于本实施形态的校准资料410的产生处理的一个例子。图5所示的校准资料410的产生处理为本发明的修正值管理方法的一部分。首先，系统控制装置110藉由执行校准程式，执行用于对驱动器210及比较器212的设定电压进行校正的准位校准，并产生准位校准资料(S500)。然后，当在准位校准中不产生错误，准位校准资料的产生成功时(S510：是)，系统控制装置110执行用于对时序产生部206产生的时序进行校正的时序校准，并产生时序校准资料(S520)。

然后，当在时序校准中不产生错误，时序校准资料的产生成功时(S530：是)，系统控制装置110根据在准位校准及时序校准中取得的各种资讯，制作校准文件400并储存于资料库120中(S540)。具体地说，系统控制装置110产生：执行校准的测试模组146的板ID404、包括该测试模组146的测试装置100的系统ID402、保持该测试模组146的测试板200的槽232的槽ID406、及与表示执行校准的日期和时间的校准日期和时间308的校准资料410彼此对应的校准文件400，并储存于资料库120中。

而且，系统控制装置110将与在S540储存于资料库120中的校准文件400的系统ID402、板ID404、槽ID406及校准日期和时间408，表示同一内容的系统ID300、板ID302、槽ID304、及校准日期和时间308、以及表示校准正常结束的校准标志306，储存于由该板ID302所识别的测试模组146具有的识别资讯储存部230中(S550)。

另一方面，当在准位校准中产生错误，准位校准资料的产生失败时(S510：否)，而且当在时序校准中产生错误，时序校准资料的产生失败时(S530：否)，系统控制装置110藉由在显示装置上显示错误标志资讯，通知用户校准未正常结束(S560)。而且，系统控制装置110将表示校准未正常进行，在校准资料410的产生中产生错误的事项的校准标志306，储存于识别资讯储存部230中(S570)。

如上所述，藉由将各种资讯预先储存于资料库120和识别资讯储存部230中，可在图6所示的校准资料410的抽出处理中，从资料库120中选择抽出适合测试模组146的校准资料410。而且，藉由使识别资讯储存部230储存校准标志306，并明确记录是否存在适当的校准资料410，可防止错误使用不恰当的校准资料410。

图6所示为关于本实施形态的校准资料410的抽出处理的一个例子。图6所示的校准资料410的抽出处理为本发明的修正值管理方法的一部分。首先，系统控制装置110从识别资讯储存部230抽出各种资讯(S600)。具体地说，系统控制装置110抽出系统ID300、板ID302、槽ID304、校准标志306及校准日期和时间308。然后，系统控制装置110根据从识别资讯储存部230抽出的校准标志306，判断在校准资料410的产生中是否产生错误(S610)。然后，在校准标志306表示校准正常结束的情况下(S610：否)，系统控制装置110根据从识别资讯储存部230所抽出的校准日期和时间308，判断校准资料410是否还有效(S620)。

系统控制装置110将校准日期和时间308与现在的日期和时间进行比较，如从校准日期和时间308未经过预定所确定的期间(S620：否)，则判断校准资料420有效，并根据从识别资讯储存部230所抽出的各种资讯，选择校准文件400，且从资料库120抽出校准资料410(S630)。具体地说，系统控制装置110选择含有与从识别资讯储存部230所抽出的系统ID300、板ID302、槽ID304、及校准日期和时间308表示相同内容的系统ID402、板ID404、槽ID406、及校准日期和时间408的校准文件400。然后，对应系统ID402、板ID404、槽ID406、及校准日期和时间408，抽出资料库120储存的校准资料410。

如含有与在S630中从识别资讯储存部230所抽出的系统ID 300、板ID302、槽ID304、及校准日期和时间308表示相同内容的系统ID402、板ID404、槽ID406、及校准日期和时间408的校准文件400存在于资料库120中，所需的校准资料410的抽出成功(S640：是)，则系统控制装置110将含有抽出的校准资料410的时序校准资料及准位校准资料，分别在时序校正记忆体218及准位校正记忆体224中进行保持(S650)。

然后，在测试模组146中，时序修正部220根据时序校正记忆体218所保持的时序校准资料，对时序产生部206产生的时序进行校正。而且，准位修正部226根据准位校正记忆体224所保持的准位校准资料，对电压放大部228向驱动器210及比较器212所供给的电压进行校正。然后，执行DUT150的测试。

另一方面，当校准标志306表示在校准资料410的产生中产生错误时(S610：是)，从校准日期和时间308经过预定的一定的期间时(S620：是)，含有与从识别资讯储存部230所抽出的系统ID300、板ID302、槽ID304、及校准日期和时间308表示相同内容的系统ID402、板ID404、槽ID406、及校准日期和时间408的校准文件400未储存于资料库120中，所需的校准资料410的抽出失败时(S640：否)，系统控制装置110藉由在显示装置上显示错误标志资讯，从而通知用户不能取得校准资料410(S660)。然后，系统控制装置110藉由进行图5所示的校准资料410的产生处理，而产生新的校准资料410并储存于资料库120中(S670)。然后，也可藉由再次进行图6所示的校准资料410的抽出处理，而抽出校准资料410，并将校准资料410包含的时序校准资料及准位校准资料，分别保持在时序校正记忆体218及准位校正记忆体224中。

如上所述，藉由利用系统ID402、板ID404、槽ID406、校准日期和时间408等各种资讯，对校准资料410进行管理，可自动地向测试模组146供给适当的校准资料410，并进行测试。而且，如从校准日期和时间308经过一定的期间，则藉由不使用校准资料410，而产生新的校准资料410，可抑制因测试模组146等的劣化所造成的测试精度的下降，并总是维持高测定精度，正确地进行DUT150的测试。

图7所示为关于本实施形态的系统控制装置110的硬体构成的一个例子。系统控制装置110包括具有利用主控制器1082相互连接的CPU1000，RAM1020，图形控制器1075及显示装置1080的CPU周边部、具有利用输出入控制器1084与主控制器1082连接的通信介面1030，硬碟驱动器1040及CD-ROM驱动器1060的输出入部、具有与输出入控制器1084连接的ROM1010、软碟驱动器1050及输出入晶片1070的传统(legacy)输出入部。

主控制器1082将以高传输速率访问RAM1020的CPU1000及图形控制器1075与RAM1020连接。CPU1000根据ROM1010及RAM1020所储存的程式进行动作，并进行各部的控制。图形控制器1075取得CPU1000等在RAM1020内所设置的帧缓冲寄存器上产生的图象资料，并在显示装置1080上进行显示。作为其替代方式，图形记忆体1075也可将用于储存CPU1000等产生的图象资料的帧缓冲寄存器设置于内部。

输出入控制器1084将比较高速的输出入装置即通信介面1030、硬碟驱动器1040及CD-ROM驱动器1060与主控制器1082连接。通信介面1030通过通信网路与其他装置进行通信。硬碟驱动器1040储存系统控制装置110使用的程式及资料。CD-ROM驱动器1060从CD-ROM1095读取程式或资料，并通过RAM1020向输出入晶片1070提供。

而且，在输出入控制器1084上，连接有软碟驱动器1050和输出入晶片1070等比较低速的输出入装置、ROM1010。ROM1010储存在系统控制装置110的起动时CPU1000执行的引导程式、依存于系统控制装置110的硬体的程式等。软碟驱动器1050从软碟1090读取程式或资料，并通过RAM1020向输出入晶片1070提供。输出入晶片1070通过软碟1090和例如并口、串口、键盘口、滑鼠口等连接各种输出入装置。

被提供给系统控制装置110的程式，储存于软碟1090、CD-ROM1095或IC卡等记录媒体中，并由用户提供。程式从记录媒体被读出，并通过输出入晶片1070在系统控制装置110上被安装，且在系统控制装置110中被执行。

在系统控制装置110中被安装且被执行的程式，可使系统控制装置110，作为抽出识别资讯储存部230所储存的系统ID300、板ID302、槽ID304、校准标志306及校准日期和时间308的识别资讯抽出装置；将与利用识别资讯抽出装置取得的系统ID300、板ID302、校准标志306及校准日期和时间308同一内容的系统ID402、板ID404、槽ID406及校准日期和时间408所对应储存的校准资料410，从资料库120抽出的修正值抽出装置；使利用修正值抽出装置抽出的校准资料410包含的时序校准及准位校准资料，在时序校正记忆体218及准位校正记忆体224中分别被保持的修正值保持装置；利用时序校正记忆体218及准位校正记忆体224所分别保持的时序校准及准位校准资料，使时序修正部220及准位修正部226修正测试信号的测试信号修正装置而发挥机能。

以上所示的程式或模组，也可储存于外部的记录媒体中。作为记录媒体，除了软碟1090、CD-ROM1095以外，还可使用DVD和PD等光学记录媒体、MD等光电磁记录媒体、磁带媒体、IC卡等半导体记忆体等。而且，也可将与专用通信网路和因特网连接的伺服器系统中所设置的硬碟或RAM等储存装置作为记录媒体使用，并通过通信网路130向系统控制装置110提供程式。

以上利用实施形态对本发明进行了说明，但本发明的技术范围并不限定于上述实施形态所记述的范围。可在上述实施形态上加以多种多样的变更或改良。由权利要求的记述可知，这种加以变更或改良的形态也包含在本发明的技术范围中。

由上述说明可知，如利用本发明，藉由适当地修正向被测试元件供给测试信号的时序、对被测试元件的测试信号的电压准位，可提供一种维持高测定精度并正确地对被测试元件进行测试的测试装置。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求所界定为准。

Claims (13)

1.一种测试装置，适用于对一被测试元件进行测试，该测试装置包括：

一测试模组，具有：

一修正部，用于修正供给至该被测试元件的一测试信号的特性或对从该被测试元件所输出的输出信号进行测定的测定部的特性；

一修正值保持部，用以保持该修正部的修正中所使用的一修正值；

以及

一识别资讯储存部，用以储存作为该测试模组的识别资讯的一测试模组识别资讯；

一修正值资料库，是相对于该测试模组识别资讯，而将该测试模组识别资讯所识别的该测试模组的该修正值保持部应保持的该修正值进行储存；以及

一控制装置，是相对于该识别资讯储存部储存的该测试模组识别资讯，而抽出该修正值资料库储存的该修正值，并在该修正值保持部中进行保持。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于：

该修正部修正供给至该被测试元件的该测试信号的一时序或相对于该被测试元件的该该测试信号的电压准位。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

该测试模组更包括一时序产生部，是用于产生供给至该被测试元件的该测试信号的该时序；

该修正值保持部包括：

一时序设定记忆体，是保持用于表示预定的该时序的一时序资料；以及

一时序校正记忆体，是保持为了使该时序产生部在预定的该时序供给该测试信号，而对该时序资料进行校正的一时序校准资料；

该修正部包括一时序修正部，是根据作为该修正值的该时序资料及该时序校准资料，对该时序产生部所产生的该时序进行修正。

4.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

该测试模组更包括用于供给该测试信号至该被测试元件的一驱动器或用于收取来自该测试元件的输出信号的一比较器；

该修正值保持部包括：

一准位设定记忆体，是保持一准位资料，该准位资料用于表示预定的一设定电压；以及

一准位校正记忆体，是保持一准位校准资料，该准位校准资料为了使该驱动器或该比较器在预定的该设定电压进行动作，而对该准位资料进行校正；

该修正部包括一准位修正部，是根据作为该修正值的该准位资料及该准位校准资料，对该驱动器或该比较器的该设定电压进行修正。

5.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

该识别资讯储存部更储存该测试装置的识别资讯的该测试装置识别资讯；

该修正值资料库相对于该测试模组识别资讯及该测试装置识别资讯，而储存前述修正值；以及

该控制装置是相对于该识别资讯储存部所储存的该测试模组识别资讯及该测试装置识别资讯，而抽出该修正值资料库所储存的该修正值，并保持于该修正值保持部中。

6.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于更包括：

多数个槽，是用于可装卸地保持设有该修正部、该修正值保持部及設於该识别资讯储存部的一测试板；

该识别资讯储存部更储存有该槽的识别资讯中的一槽识别资讯，其中该测试板保持于该槽；

该修正值资料库是相对于该测试模组识别资讯及该槽识别资讯，而储存该修正值；以及

该控制装置是相对于该识别资讯储存部所储存的该槽识别资讯及该测试装置识别资讯，而抽出该修正值资料库所储存的该修正值，并保持于该修正值保持部中。

7.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

该识别资讯储存部更储存有一错误标志，该错误标志用于表示在该修正值保持部应保持的该修正值的产生中是否产生错误；以及

该控制装置在根据该识别资讯储存部所储存的该测试模组识别资讯而从该修正值资料库抽出该修正值时，如果该识别资讯储存部储存有用于表示在该修正值的产生中产生错误的该错误标志，则产生新的该修正值。

8.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

该识别资讯储存部更储存有该修正值保持部应保持的该修正值所产生的一产生日期和时间；以及

该控制装置在根据该识别资讯储存部所储存的该测试模组识别资讯而从该修正值资料库抽出该修正值时，如果该产生日期和时间经过一预定期间，则产生新的该修正值。

9.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

该控制装置在该修正值资料库未储存有与该识别资讯储存部所储存的该测试模组识别资讯对应的该修正值时，产生新的该修正值。

10.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

该修正值保持部为挥发性记忆体，而该识别资讯储存部为非挥发性记忆体。

11.一种修正值管理方法，是在对一被测试元件进行测试的一测试装置中，管理一修正值，该修正值用于修正供给至该被测试元件的测试信号的特性或对该被测试元件所输出的输出信号进行测定的一测定部的特性，

该修正值管理方法包括：

一识别资讯抽出阶段，从一测试模组中抽出一识别资讯储存部所储存的一测试模组识别资讯，该测试模组具有修正该测试信号的特性或该测定部的特性的一修正部、保持在利用该修正部的修正中所使用该修正值的一修正值保持部、及储存作为该测试模组的一识别资讯的该测试模组识别资讯的一识别资讯储存部；

一修正值抽出阶段，相对于该测试模组识别资讯，从储存该测试模组识别资讯所识别的该测试模组具有的该修正值保持部应保持的该修正值的修正值资料库中，抽出与在该识别资讯获取阶段所取得的该测试模组识别资讯对应储存的该修正值；

一修正值保持阶段，该修正值保持部将在该修正值抽出阶段所抽出的该修正值进行保持；以及

一测试信号修正阶段，该修正部利用该修正值保持部所保持的该修正值，对该测试信号进行修正。

12.根据权利要求11所述的修正值管理方法，其特征在于更包括：

一修正值产生阶段，产生该修正值保持部应保持的该修正值；

一修正值储存阶段，将在该修正值产生阶段所产生的该修正值，对应于该测试模组的该测试模组识别资讯，在该修正值资料库中进行储存，其中该测试模组具有该修正值保持部；

一识别资讯储存阶段，在由该测试模组识别资讯所识别的该测试模组所具有的该识别资讯储存部中，储存该测试模组识别资讯。

13.一种程式，是在对一被测试元件进行测试的一测试装置中，用于控制供给至该被测试元件的测试信号的特性或对该被测试元件所输出的输出信号进行测定的一测定部的特性的修正的控制装置用的程式；该程序可使该控制装置作为一识别资讯抽出装置、一修正值抽出装置、一修正值保持装置以及一测试信号修正装置而发挥机能；其中

该识别资讯抽出装置，从具有修正该测试信号的特性或该测定部的特性的一修正部、保持在利用该修正部的修正中所使用的一修正值的一修正值保持部、及储存作为该测试模组的识别资讯的一测试模组识别资讯的一识别资讯储存部的该测试模组中，抽出该识别资讯储存部所储存的该测试模组识别资讯；

该修正值抽出装置，相对于该测试元件识别资讯，从储存该测试模组识别资讯所识别的该测试模组所具有的该修正值保持部应保持的该修正值的一修正值资料库中，抽出与利用该识别资讯获取装置所取得的该测试元件识别资讯对应储存的该修正值；

该修正值保持装置，使利用该修正值抽出装置抽出的该修正值在该修正值保持部被保持；以及

该测试信号修正装置，利用该修正值保持部所保持的该修正值，在该修正部对该测试信号进行修正。

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