TWI318500B - Surface acoustic wave apparatus - Google Patents

Description

1318500 九、發明說明： t 明 /^屬 】 發明領域 本發明係大致有關於表面聲波(SAW)裝置。更特別的 5是，本發明係有關於使用表面聲波諧振器（SAW諧振器）或 具有VHF與騰頻帶巾之諧振特徵_振雜組構成為譜 振器濾波器之表面聲波濾波器（S AW諧振器濾波器）。 本申請案係根據及主張先前在2〇〇5年7月6日申請之曰 本專利申請案第2005-197364號的優先權利益，其整個内容 1〇 被納入此處做為參考。 t先前技術；1 發明背景 近來，SAW裝置在電信部門廣泛地被使用。特別是， SAW諧振器或SAW諧振器濾波器（此後被稱為SAW諧振器 15裝置）可被小型化且具有較低成本及在行動電話與汽車遙 控無鍵登入系統之類大量被使用。 SAW諧振器裝置用配置於一壓電基體之至少一指叉狀 轉換器（IDT)電極與典型上在其兩側被提供的反射器加以 構成。在SAW諧振器裝置中，能量藉由透過mT之激化來反 2〇射壓電基體被傳播的SAW而被限制於反射器間。在此場合 下，一主要傳播模式為垂直地分配能量至SAW之傳播方向 的模式中之基本模式（此後被稱為橫向模式）。另一方面，第 二階或高階橫向模式亦為存在的，而且雖然被偶數階之模 式的振盪所激發之電荷被抵銷，因奇數階之模式所致的電 1318500 荷未被抵鎖且在猎振器特徵中出現為IL真反應。 "仏向模式所致之此亂真施加有害的影響在SAW 諧振器或SAW错振器瀘波器中之帶内紋波的情财 盈電路中之振盪頻頻跳越現象。高階橫向模式因SAW:激 5化強度分佈函數為長方形而被產生。 〃圖使用具有一 IDT丨被配置於—對反射器&、α間 之一個一埠SAW諧振器為例顯示該亂真如何因高階橫向模 式所致地被產生。雖然在圖中只顯示基本橫向模式10a與第 三階橫向模式l〇b，第五、第七與高階橫向模式依腹之孔 10 徑長度而定地存在。 爲了採取對高階橫向模式之亂真的對策，如第2圖顯示 者，其被習知SAW之激化強度分佈函數1〇與基本橫向模式 10a媒配或近似，以藉由使用c〇s函數作為重疊長度加權包 絡曲線對被連接至共同電極la、lb之多個梳形電㈣被相 15互交插的重疊部分執行加權而限制該等高階橫向模式 (如’參見審驗中之日本專利申請案第7姻95號、日本專利 開放申請案第9-270667號與第7-22898號）。 在慣常之例子中，當重疊長度加權包絡曲線沿著表面 聲波的方向被觀看時，雖然重疊長度逐漸增加，該重疊長 20度在某-改變點向下彎。此改變點存在成為只有一點。 該等重疊長度加權包絡曲線相對於表面聲波之傳播方 向的轴為鏡面對稱的。例如在固態電極組態中靠近地檢查 該對稱性質，對應於相鄰電極凸緣間之距離（即1/2表面聲波 波長)的差被產生，然而不僅在g]態電極組態巾，因電極組 1318500 構所致之表面聲波波長的對稱性質中之丨/2偏置由表面聲 波裝置的構造為明顯的，此不為本發明之根本部分，且因 而在稍後使用重疊長度加權包絡曲線之插述中未被提及。 然而如第2圖中顯示者，若梳形電極1 e之重疊部分用如 5重疊長度加權包絡曲線之COS函數被加權時，一分佈函數 11沿著IDT 1之梳形電極的重疊長度之傳播方向被改變，且 SAW之激化強度分佈函數1〇因而亦在該傳播方向被改變。 特別是，SAW諧振器濾波器因濾波器特徵使用具有在 # 該傳播方向之分佈函數的模式（縱向模式）被達成而顯著地 10 被影響。 在具有均一重疊長度之IDT電極（常態（非變跡）電極）的 * 情形中，雖然如帶寬或在所欲之頻率中的衰減量之所欲的 . 特徵可被達成，亂真因橫向模式所致地被產生。若IDT電極 用COS函數被加權，雖然亂真可被抑制，卻無法一直達成 15 —所欲的特徵。 t發明内容1 • 發明概要 所以本發明之一目標為要提供一種表面聲波裝置，其 具有用於抑制高階橫向模式之亂真及用於不改變在傳播方 20向中之一 SAW激化強度分佈函數的組構。 爲了達成上面的目標，依據本發明之一層面，其被提 供一種具有至少一指又狀轉換器之表面聲波裝置，其中該 指叉狀轉換器被配置使得分別被連接至共同電極的多個梳 形電極被相互交插，其中具有該等多個被相互交插之一區 1318500 域具有一第一重疊區以一重疊長度在沿著一表面聲波之一 傳播方向的整個區域維持為常數與一第二重疊區在該第一 重疊區的至少一側被形成而以該表面聲波之傳播方向的一 重疊長度被加權，及其中在該第二重疊區之一重疊長度加 5 權包絡曲線於該表面聲波的傳播方向具有至少二改變點。 該等第二重疊區可在該第一重疊區之二側被形成，及在該 等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線對在該第一 重疊區兩侧平行的該表面聲波傳播方向垂直地被移動。該 等第二重疊區可在該第一重疊區兩側被形成，及在該等第 10 二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線可具有在垂直於 在該第一重疊區兩侧平行的表面聲波傳播方向被移動之形 狀。該等第二重疊區可在該第一重疊區兩側被形成，及在 該等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線之一可具 有在垂直於該傳播方向以及平行於該傳播方向被移動的該 15 等第二重疊區中之其他重疊長度加權包絡曲線的形狀。該 等第二重疊區可在該第一重疊區兩側被形成，及在該等第 二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線可具有的形狀為 相對於該第一重疊區兩側之表面聲波傳播方向的軸成鏡面 對稱。該等第二重疊區可在該第一重疊區兩側被形成，及 20 在該等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線可具有 在該第一重疊區兩側為彼此不同的形狀。 爲了達成上面的目標，依據本發明之另一層面，其被 提供一種具有至少一指叉狀轉換器之表面聲波裝置，其中 該指叉狀轉換器被配置使得分別被連接至共同電極的多個 1318500 梳形電極被相互交插，其中具有該等多個被相互交插之一 區域具有-第-重疊區以一重疊長度在沿著一表面聲波之 —傳播方向的整個區域維持為常數與—第二重疊區在該第 —重疊區的兩側被形成而以該表面聲波之傳播方向的一重 5疊長度被加權，及其中在該第二重疊區之一重疊長度加權 包絡曲線於該表面聲波的傳播方向只具有一改變點，且具 有在垂直於在該第-重疊區兩側平行的表面聲波傳播方向 被移動之形狀。 λ專弟一重疊區可在該第一重疊區兩側被形成，及在 1〇該等第一重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線之一可具 有在垂直於該傳播方向以及平行於該傳播方向被移動的該 等第一重疊區中之其他重疊長度加權包絡曲線的形狀。在 該等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線於該表面 聲波的傳播方向為一變數可形成以一週期函數f(x)被呈 15現之形狀。該等第二重疊區之大小較佳地被設定為該指叉 狀轉換器之孔徑長度的5〇/〇以上。有關在該等第二重疊區中 之被加權的該重疊長度之大小較佳地被設定為該IDT之孔 徑長度的95%以下。該等共同電極可具有對應於在該等第 二重疊區中該等重疊長度加權包絡曲線之形狀。 2〇 依據本發明，橫向模式亂真被抑制，且與常態（非變跡) 電極相同之特徵被達成。 圖式簡單說明 本發明之上面與其他的目標、層面、特色與優點將由 下列咩細之描述配合附圖被讀取時變得更明白的，其中： 1318500 第1圖為顯示一個一埠SAW諧振器之圖； 第2圖為顯示對高階橫向模式採取對策的一慣常組構 之圖； 第3圖為顯示本發明的一實施例之圖； 5 第4A圖為顯示匯流排棒la、lb本身被設定為具有對應 於在重疊區B中之梳形電極lc的重疊量之加權的固態模型 形狀的例子之圖； 第4B.圖為顯不匯流排棒1 a、1 b不具有虛擬電極且被設 定為具有間隙的例子之圖； 10 第5圖為當表面聲波裝置被使用作為一帶通濾波器時 用一隨動公式所獲得成為被加權之區域的該等第二重疊區 B之寬度與在一通帶中的紋波量之百分比值間被測量之關 係的圖形呈現； 第6圖為顯示用在該等第二重疊區B中存在之加權被產 15 生之最小尖峰與最大尖峰的例子之圖； 第7圖顯示當尖峰間之最小重疊長度被改變時在濾波 器中之通帶的紋波之測量結果； 第8A圖為顯示在該等第二重疊區B中之加權的各種被 改變型態（第一部分）而作為本發明之實施例的例子之圖； 20 第8B圖為顯示在該等第二重疊區B中之加權的各種被 改變型態（第二部分）而作為本發明之實施例的例子之圖； 第9A與9B圖為顯示在一Li2B407基體上實驗式被製造 之裝置而以一個3IDT諧振器濾波器與一個一埠諧振器成為 串接連接的特徵之圖；以及 10 1318500 第9B圖為第9A圖之頻帶内側的一放大圖。 【貧施方式】 較佳實施例之詳細說明 本發明之一實施例現在將參照附圖被描述。該實施例 5之目的為描述本發明之技術領域不受限於此。 第3圖為顯示本發明之實施例的組構之圖。 如在第1圖與第2圖中顯示者，在具有一對反射電極 2a、2b與指又狀轉換器丨被配置於反射電極2a、^間之表面 聲波裝置中，於如LiTa〇3，LiNb〇3，Ι^Β4〇7與石英之壓電 10基體上被形成的反射電極2a、2b與指又狀轉換器1未被晝 出。 作為一外貌特點下，指叉狀轉換器1藉由配置多個梳形 電極1c分別被連接至將被相互交插之共同電極（匯流排 棒）la、lb而被組構。就其中有多個梳形電極ic將被相互交 15 插之區域而言，該區域具有一第一重疊區A，此處其重疊長 度在沿著表面聲波之傳播方向（圖中箭頭之方向）的整個區 域上維持為常數的，及一第二重疊區B在該第一重疊區A之 兩側被形成，此處其重疊長度在表面聲波之傳播方向被加 權。 20 以此組構下，由於該圖之重疊區A以與常態（非變 跡)IDT相同的方式產生作用，表面聲波之激化強度分佈函 數為長方形，其對應於該中心的周圍附近。在重疊區B(此 後稱為被加權之重疊區B)中，加權被執行使得激化強度以 垂直於IDT1之SAW傳播向外逐漸地降低。所以，在組合重 1318500 叠區A與重疊區B時’表面聲波之激化強度分佈函數為近似 基本橫向模式10a的形狀。在此方式下，只有基本橫向模式 10a被產生，且高階橫向模式被抑制。 另一方面，沿著表面聲波之傳播方向的重疊長度分佈 函數11因第-重疊區所致而為長方形，且因第二重疊區B 所致之重疊長度11a形成與此相疊的型態。換言之，在第二 重疊區B中’加權係以垂直於表面聲波傳播方向平行地移動 之重疊長度加權包絡曲線被執行。以此方式下，雖然重疊 長度Ua在相鄰的重疊長度間為不均一的’由於該不均一性 相對於重疊區A之重疊長度—般為小的，分佈函數η沿著該 等重疊長度之傳播方向被維持幾乎為長方形。 其結果為，其激化強度被維持為長方形而近似於在表 面聲波之傳播方向的常態（非變跡)IDT。 如上述依據本發明者，因高階橫向模式所致之亂真被 15抑制，且與常態（非變跡)IDT相同之特徵可被達成。 雖然虛擬電極一般在匯流排棒la、化上被提供，就算 該等虛擬電極未如在第从與侧之實施射顯示地被提 供，其效果可就抑制高階橫向模式類似地被達成。 在第4A1I巾，]i流排棒la、lb不具#該#虛擬電極且 2〇匯流排棒1a、lb本身被設定為具有對應於在重疊區B中之梳 形電極1C的重疊量之加權的固態模型形狀。第4B圖為匯流 排棒U、lb不具有虛擬電極且被設定為具有間隙之例子。 士然後，在該表面聲波裝置被使用作為一帶通濾波器 時’討論此處其重疊長度在沿著一表面聲波之傳播方向的 12 1318500 整個區域上維持為常數的第一重疊區A於其寬度方向之大 小，對在該第一重疊區A兩侧被形成而此處其重疊長度沿著 該表面聲波之傳播方向被加權的該第二重疊區B者的百分 比之較佳值。 5 $5圖為#表面聲《置被使⑽為m皮器時 用一隨動公式所獲得成為被加權之區域的該等第二重疊區 B之寬度與在一通帶中的紋波量之百分比值間被測量之關 係的圖形呈現 加權區域之寬度=第二重疊區B/(第—重疊區a+第二 10 重疊區Β)χ1〇〇 其被注思到’（第一重疊區Α+第二重疊區Β)對應於仍丁 之孔徑長度。 若第-重疊區B之寬度的百分比（即加權區域）為5%以 上，帶通中之紋波量可被抑制為3db或更低。 15 在此方式下，其被了解到，為了依據本發明之表面聲 波要獲得就帶通濾波器所需的特徵，加權區域之寬度(％) 為IDT之孔徑長度的5%以上。 然後，在該表面聲波裝置被使用作為一帶通濾波器 時，討論改變該等第二重疊區之加權的改變型態與特徵。 第6圖顯示在該等第二重疊中之重疊長度加權包絡 曲線對表面聲波的傳播方向之轴☆該第一重疊區兩侧為鏡 面對稱及最小尖峰與最大尖峰用存在於該等第二重疊區Β 中的加權被產生之例子。介於最小尖峰與最大尖峰間之最 小重疊長度的大小可用對最小尖蜂Ρ1之IDT的孔徑長度之 13 1318500 百分比(％)被呈現^當最小重疊長度為最大重疊長度的95〇/〇 或更少時’在重疊長度分佈函數中各尖峰間之最小重疊長 度為有效的。此乃因若最小重疊長度大於95%，該加權對 高階橫向模式之限制具有的影響报少。 5 第7圖為當尖峰間之最小重疊長度被改變時，在濾波器 之通帶中的紋波之測量結果。由此結果，其被了解若尖峰 間之最小重疊長度為95%或更少曰夺，該抑制效果對該等高 階橫向棋式被施加’且通帶巾的紋波可指數性地被減少。

在上面之實施例巾，在作為該等重疊區B中之加權的改 10變型悲下，-例子已被顯示，其已沿著第3圖中顯示之_ 曲線被改變。然而，本發明之應用不受限於此實施例。 在第8A與8B®中’在作為本發明之實施例（第一部分、 第…P刀）下’該等第二重疊區中之加權的各種例子被顯示 為其包絡曲線型態。 15 20 在第8ASI中’⑷之重疊長度加權包絡曲線為cos(或 SIN)週期函數f(x)且與第3圖顯示的實施例相同。 ⑻為二角形波之週期函數。⑷為具有1與G之交替值的 週期函數。⑷為對IDT之-部分而非其整個區域執行加權 的-例子。(e)為不同函數的組合之例子，為一個週期而 非多個週期之例子，且在例中雖然只有—個改 由於該等重疊長度加權包㈣線相對於表面聲波之傳播方 = : = :的’長度之細沿著其傳播 在第犯圖中’⑻為具有⑺型態且其加權不存在成為其 14 1318500 —部分之一區域的一型態例子。（h)為在該等重疊區B中彼 此不同的重疊長度加權包絡曲線之例子。 ⑴為該等重疊長度加權包絡曲線之一係垂直於其傳播 方向以及在該傳播方向中平行任意地被移動的其他重疊長 度加權包絡曲線之例子。在(h)或⑴其中之一的例子中由 於重疊長度之分佈函數形成幾乎為長方形，相同的效果可 被獲得。 (j)為只在該第一重疊區之一側形成該第二重疊區的例 子雖然其效果比起在該第一重疊區兩侧形成該第二重疊 10區被減小，但比起第2圖顯示之慣常常態（非冑跡）組構的較 佳效果可被達成。 在此加權之任一情形中，本發明之需求存在且本發明 的效果可被獲得。 第9八與9B圖為顯示在一贴4〇7基體上實驗式被製造 15之裝置而以一個3I〇T諧振器濾波器與一個一埠諧振器成為 串接連接的特徵之圖；以及第9B圖為第9A圖之頻帶内侧的 一放大圖。在圖中，虛線為常態（非變跡)IDT實際被測量的 特徵，及實線為當本發明被應用時的情形之特徵。 COS函數就該加權被使用，且由於IDT之數目為對 2〇以上’其就3nm皆振器濾、波器與該一料振器為夠大的， 如第6圖中顯示之加權就IDT之上側與下側為鏡面對稱的。 其亂真可被抑制及其帶寬與與帶外減輻可如常態（非變 跡)IDT之情形被達成。 如上面所設立者，依據本發明，橫向模式亂真可被抑 15 1318500 制且相同之特徵可如常態（非變跡)電極地被達成。在此方式 下SAW振器與SAW譜振器濾波器可以高自由度與優異 之特徵被設計。 雖然本發明之說明性且目前較佳的實施例已在此詳細 5地被描述’其將被了解該等發明性之觀念反而可各式地被 實她及運用’且所附之申請專利範圍被欲為被構建以除了 目别如用習知技藝被限制外將包括此類變化。 【圖式簡單說明】 第1圖為顯示一個一埠SAW諧振器之圖； 第2圖為顯不對高階横向模式採取對策的一慣常組構 之圖； 第3圖為顯示本發明的一實施例之圖； 、第4A圖為顯不匯流排棒la、11?本身被設定為具有對應 於在重豐區B中之梳形電極lc的重疊量之加權的固態模型 15形狀的例子之圖； · …第4B圖為顯不匯流排棒&、邮具有虛擬電極且被設 定為具有間隙的例子之圖； 一第5圖為當表面聲波裝置被使用作為-帶㈣波器時 隨動A式所獲得成為被加權之II域的該等第二重疊區 20 B之寬度與在一通帶中的紋波量之百分比值間被測量之關 係的圖形呈現； 第6圖為顯示用在該等第二重疊區Β中存在之加權被產 生之最小尖峰與最大尖峰的例子之圖； 第7圖顯示當尖峰間之最小重疊長度被改變時在滤波 1318500 器中之通帶的紋波之測量結果； 第8A圖為顯示在該等第二重疊區B中之加權的各種被 改變型態（第一部分）而作為本發明之實施例的例子之圖； 第8B圖為顯示在該等第二重疊區B中之加權的各種被 5 改變型態（第二部分）而作為本發明之實施例的例子之圖； 第9A與9B圖為顯示在一Li2B407基體上實驗式被製造 之裝置而以一個31D T諧振器濾波器與一個一埠諧振器成為 串接連接的特徵之圖；以及 # 第9B圖為第9A圖之頻帶内側的一放大圖。 10 【主要元件符號說明】

1...IDT la. ..共同電極 lb. ..共同電極 lc. ..梳形電極 ld. ..間隙 2a...反射器 2b...反射器 10...激化強度分佈函數 10a...基本橫向模式 10b...第三階橫向模式 11…重疊長度分佈函數 11a...重疊長度 17

Claims (1)

1318昌0及04053號專利申請案申請專利範圍修正本修正日期：％ 一g—·° 十、申請專利範圍： J年ii時正替換頁 1. -種表面聲波裝置’其具有至少一被配置俾使得分別連 接至匯流排棒的多個梳形電極係相互交插之指又狀轉 換器， 5 纟中具有該等多個相互交插之梳形電極的-區域 - 包括—個第—重疊區與兩個第二重疊區，其中該第一重 4區具有沿著—表面聲波之-傳播方向而在整個區域 _ 内維持固定之-$疊長度，以及該等第二重疊區分別在 該第-重疊區的兩側被形成且具有以該表面聲波之傳 10 播方向上加權的一重疊長度， 其中在每個該等第二重疊區之一重疊長度加權包 絡曲線於該表面聲波的傳播方向上具有至少二個改變 點’該重疊長度加權包絡曲線在該等改變點從增加至減 少或從減少至增加；以及 15 其中虛擬電極係設置在除了對應於該等改變點以 _ 夕卜之位置，該等虛擬電極之—端係連接至該等匯流排 棒，同時該等虛擬電極之另—端係面對該等多個梳形電 極之對應端。 2. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波裝置，其中在該 2〇 等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線具有-乂 形狀，該形狀係在該第一重疊區兩側上以垂直於該表面 聲波傳播方向上被平行移動。 3. 如申請專利範圍第㈣所述之表面聲波裝置，其中在 該等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線中 1318500 ,ρ8τ^-β4- 年月曰修正替換頁 之一具有該等第二重疊區中之另一重疊長度加權包 絡曲線的一形狀，該形狀在垂直於該傳播方向以及於 該傳播方向上被平行移動。 4. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波裝置，其中在該 5 等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線具有多 . 個形狀，該等形狀在該第一重疊區兩側上相對於該表面 _ 聲波傳播方向的軸成鏡面對稱。 5. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波裝置，其中在該 ^ 等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線具有多 10 個形狀，該等形狀在該第一重疊區兩側上為彼此不同。 6. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波裝置，其中在該 等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線於該表 ' 面聲波的傳播方向為一變數X時，形成以一週期函數f(x) 被呈現之形狀。 15 7.如申請專利範圍第1項所述之表面聲波裝置，其中該等 φ 第二重疊區之大小被設定為該指叉狀轉換器之孔徑長 度的5%以上。 8. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波裝置，其中有關 在該等第二重疊區中之被加權的該重疊長度之大小，最 20 小加權重疊長度被設定為該指叉狀轉換器之孔徑長度 的95%以下。 9. 如申請專利範圍第1項所述之表面聲波裝置，其中該等 匯流排棒具有對應於在該等第二重疊區中該等重疊長 度加權包絡曲線之形狀。 19 SftSi--， 年月日修正替換頁 —種表面聲波裝置，其具有至少一被配置俾使得分別連 接至匯流排棒的多個梳形電極係相互交插之指叉狀轉 換器， 其中具有該等多個被相互交插之一區域具有一個 第一重疊區與多數第二重疊區，其中該第一重疊區具有 沿著一表面聲波之一傳播方向上而在整個區域内維持 為固定之一重疊長度，以及該等第二重疊區在該第一重 疊區的兩侧被形成且具有以該表面聲波之傳播方向加 權的一重疊長度，及 其中在該等第二重疊區之重疊長度加權包絡曲線 於该表面聲波的傳播方向只具有一個改變點，且具有在 β玄第一重疊區兩側上且垂直於該表面聲波傳播方向被 平行移動之形狀，該等重疊長度加權包絡曲線在該改變 點從增加至減少或從減少至增加。 U·如申請專利範圍第10項所述之表面聲波裝置，其中在 該等第二重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線中 之一具有該等第二重疊區中之另一重疊長度加權包 絡曲線的形狀’該形狀係在垂直於該傳播方向以及於 該傳播方向上被平行移動。 12. 如申請專利範圍第1〇項所述之表面聲波裝置，其中在該 等第一重疊區中之該等重疊長度加權包絡曲線於該表 面聲波的傳播方向為一變數\時，形成以一週期函數f(x) 被呈現之形狀。 13. 如申請專利範圍第10項所述之表面聲波裝置， 1318500 η 年月日修正替換頁 其中該等第二重疊區之大小被設定為該指叉狀轉 換器之孔徑長度的5%以上。 14. 如申請專利範圍第10項所述之表面聲波裝置，其中有關 在該等第二重疊區中之被加權的該重疊長度之大小，最 5 小加權重疊長度被設定為該指叉狀轉換器之孔徑長度 . 的95%以下。 15. 如申請專利範圍第10項所述之表面聲波裝置，其中該等 ^ 匯流排棒具有對應於在該等第二重疊區中該等重疊長 度加權包絡曲線之形狀。 21 1318500 -七、指定代表圖： .(一）本案指定代表圖為：第（3 )圖。 (二)本代表圖之元件符號簡單說明： 1.. .1DT la. ..共同電極 lb. ..共同電極 lc. ..梳形電極 2a...反射器 2b...反射器 10…激化強度分佈函數 10a...基本橫向模式 11.. .重疊長度分佈函數 Φ 11a...重疊長度 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：