CN1893268B - 表面声波装置 - Google Patents

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Abstract

一种表面声波装置，其具有可以抑制更高次横向模式的乱真的结构，并且该结构不会改变传播方向上的SAW激励强度分布。该表面声波装置具有至少一个叉指换能器，所述叉指换能器被设置成分别与共用电极相连接的多个梳形电极相交错，其中，具有所述多个交错的梳形电极的区域具有第一交叠区域和形成在该第一交叠区域的至少一侧的第二交叠区域，该第一交叠区域具有在沿着表面声波传播方向的整个区域上恒定的交叠长度，而该第二交叠区域具有沿着所述表面声波传播方向加权的交叠长度，并且其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线在所述表面声波传播方向上具有至少两个改变点。

Description

表面声波装置
技术领域
本发明一般涉及一种表面声波(SAW)装置。更具体地，本发明涉及这样一种表面声波滤波器(SAW谐振器滤波器)，即，其被构成为使用在VHF和UHF频带具有谐振特性的表面声波谐振器(SAW谐振器)或谐振器的谐振器滤波器。
背景技术
近来，在电信行业中广泛使用SAW器件。特别地，SAW谐振器或SAW谐振器滤波器(以下称为SAW谐振器器件)可以被小型化，损耗较低，并且在移动电话、车辆的遥控车门开关系统等中大量使用。
SAW谐振器器件由设置在压电基片上的至少一个叉指换能器(IDT)电极以及通常设置在其两侧上的反射器构成。在该SAW谐振器器件中，通过反射因激励IDT而在压电基片上传播的SAW，将能量限定在反射器之间。在这种情况下，主传播模式是将能量垂直分配到SAW的传播方向的模式中的基本模式(以下称为横向模式)。另一方面，也存在二次或更高次横向模式，并且尽管消除了由偶数次模式的振荡激励的电荷，但是由奇数次模式激励的电荷没有被消除并且在谐振器特性中表现为乱真(spurious)响应。
由于更高次横向模式导致的该乱真产生有害影响，如在SAW谐振器的情况下在振荡电路中的振荡跳频现象或者在SAW谐振器滤波器中的带内纹波(in-band ripple)。因为SAW的激励强度分布呈矩形，所以生成更高次横向模式。
图1表示使用具有设置在一对反射器2a、2b之间的一个(1个)IDT1的单端口SAW谐振器的示例，如何由于更高次横向模式而产生乱真。尽管在图中只显示了基本横向模式10a和三次横向模式10b，但是取决于IDT的开口长度(aperture 1ength)，还存在五次、七次和更高次横向模式。
为了对更高次横向模式的乱真采取对策，如图2所示，已知的是通过使用余弦(COS)函数作为交叠长度加权(weight)包络曲线，来对与共用电极1a、1b相连接的多个梳形电极1c交错的交叠部分进行加权，而用基本横向模式10a匹配或逼近SAW的激励强度分布10，以限制更高次横向模式(例如参见日本专利申请特公平7-28195、日本专利申请特开平9-270667和7-22898)。
在传统示例中，当沿着表面声波的方向观看交叠长度加权包络曲线时，尽管交叠长度逐渐增加，但是交叠长度在一定改变点处向下转。该改变点仅作为一个点存在。
交叠长度加权包络曲线相对于作为表面声波的传播方向的轴线镜像对称。严格地检查该对称性质，例如在实心电极结构中，产生与相邻电极指之间的距离(即，1/2表面声波波长)相对应的差异，然而，这不限于在实心电极结构中，从表面声波装置的结构也可以明显看出由于电极结构导致在表面声波波长的对称性质中的1/2偏移，这并不是本发明的本质部分，因此在稍后利用交叠长度加权包络曲线所作的描述中并没有提及。
然而，如图2所示，如果利用余弦函数作为交叠长度加权包络曲线对梳形电极1c的交叠部分进行加权，则沿着IDT 1的梳形电极的交叠长度的传播方向的分布11改变了，因此在传播方向上，SAW的激励强度分布10也改变了。
特别地，因为滤波器特性是使用具有沿着传播方向的分布的模式(纵向模式)获得的，所以SAW谐振器滤波器受到显著的影响。
在具有一致交叠长度的IDT电极(正常(非切趾)IDT电极)的情况下，尽管可以获得期望特性，例如带宽或期望频率下的衰减量，但是由于横向模式而产生了乱真。如果利用余弦函数对IDT电极进行加权，则尽管可以抑制乱真，但是却不能非常频繁地获得期望特性。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种表面声波装置，其具有抑制更高次横向模式的乱真的结构，并且该结构不改变传播方向上的SAW激励强度分布。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种表面声波装置，其具有至少一个叉指换能器，所述叉指换能器被设置成使得分别与汇流条相连接的多个梳形电极相交错，其中，具有所述多个交错的梳形电极的区域包括第一交叠区域和分别形成在该第一交叠区域的两侧的两个第二交叠区域，该第一交叠区域具有在沿着表面声波的传播方向的整个区域上恒定的交叠长度，而该第二交叠区域具有沿着所述表面声波的传播方向加权的交叠长度，并且其中，各所述第二交叠区域中加权的交叠长度的包络曲线在所述表面声波的传播方向上具有至少两个改变点，并且其中除对应于所述改变点的位置以外，提供有假电极，所述假电极的一端与所述汇流条连接，而所述假电极的另一端面向所述多个梳形电极的对应端。
所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线可以具有这样的形状，即，在所述第一交叠区域的两侧与所述表面声波传播方向相垂直地平行移动后的形状。所述第二交叠区域可以形成在所述第一交叠区域的两侧，并且所述第二交叠区域中的其中一条交叠长度加权包络曲线可以具有这样的形状，即，将所述第二交叠区域中的另一条交叠长度加权包络曲线与所述传播方向相垂直地并沿着所述传播方向平行移动后的形状。所述第二交叠区域可以形成在所述第一交叠区域的两侧，并且所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线可以具有这样的形状，即，在所述第一交叠区域的两侧相对于所述表面声波的传播方向的轴线镜像对称的形状。所述第二交叠区域可以形成在所述第一交叠区域的两侧，并且所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线可以在所述第一交叠区域的两侧具有彼此不同的形状。
为了实现上述目的，根据本发明的另一方面，提供了一种表面声波装置，其具有至少一个叉指换能器，所述叉指换能器被设置成使得分别与汇流条相连接的多个梳形电极相交错，其中，具有所述多个交错的梳形电极的区域具有第一交叠区域和形成在该第一交叠区域的两侧的第二交叠区域，该第一交叠区域具有在沿着表面声波的传播方向的整个区域上恒定的交叠长度，而该第二交叠区域具有沿着所述表面声波的传播方向加权的交叠长度，其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线沿着所述表面声波的传播方向仅具有一个改变点，并且具有这样的形状，即，在所述第一交叠区域的两侧与所述表面声波传播方向相垂直地平行移动后的形状，其中除对应于所述改变点的位置以外，提供有假电极，所述假电极的一端与所述汇流条连接，而所述假电极的另一端面向所述多个梳形电极的对应端。
所述第二交叠区域中的其中一条交叠长度加权包络曲线可以具有这样的形状，即，将所述第二交叠区域中的另一条交叠长度加权包络曲线与所述传播方向相垂直地并沿着所述传播方向平行移动后的形状。所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线可以形成这样的形状，即，当所述表面声波的传播方向为变量x时，该形状由周期函数f(x)表示。优选地将所述第二交叠区域的尺寸设定为所述叉指换能器的开口长度的5％或更大。对于在所述第二交叠区域中加权的交叠长度的尺寸，优选地将最小加权交叠长度设定为所述IDT的开口长度的95％或更小。所述共用电极具有与所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线相对应的形状。
根据本发明，抑制了横向模式乱真，从而获得与正常(非切趾)电极相同的特性。
附图说明
结合附图，从下面的详细描述中将更清楚本发明的上述和其它目的、方面、特征和优点，在附图中：
图1是表示单端口(one-port)SAW谐振器的视图；
图2是表示对更高次横向模式的乱真采取对策的传统结构的视图；
图3是表示本发明的一实施例的视图；
图4A是表示这样的示例的视图，其中将汇流条(bus bar)1a、1b自身设定为具有与交叠区域B中的梳形电极1c的交叠量的加权相对应的实心图案形状；
图4B是表示其中汇流条1a、1b并不具有假电极(dummy electrode)且设定为具有间隙的示例的视图；
图5是一曲线图，表示通过下面等式获得的值(其为第二交叠区域B(加权区域)的宽度百分比)与在将表面声波装置用作带通滤波器时通带中的纹波大小之间的测量关系；
图6是表示在第二交叠区域B中存在通过加权生成的最小峰和最大峰的示例的视图；
图7表示当改变峰之间的最小交叠长度时对滤波器的通带中的纹波的测量结果；
图8A是表示作为本发明实施例，第二交叠区域B中的加权的各种改变图案(部分1)的示例的视图；
图8B是表示作为本发明实施例，第二交叠区域B中的加权的各种改变图案(部分2)的示例的视图；
图9A和图9B是表示在Li2B4O7基片上试验制成的器件的特性的视图，该器件具有级联连接的3IDT谐振器滤波器和单端口谐振器；以及
图9B是图9A的频带内的放大视图。
具体实施方式
下面将参照附图描述本发明的实施例。该实施例用于描述本发明，本发明的技术范围不限于此。
图3是表示本发明实施例的构成的视图。
如以上图1和图2所示，在具有一对反射电极2a、2b以及设置在所述反射电极2a、2b之间的叉指换能器1的表面声波装置中，反射电极2a、2b和叉指换能器1形成在未示出的压电基片(例如LiTaO3、LiNbO3、Li2B4O7和石英基片)上。
作为特征，通过交错地设置分别与公共电极(汇流条)1a、1b相连接的多个梳形电极1c而构成叉指换能器1。对于其中多个梳形电极1c交错的区域，该区域具有第一交叠区域A和形成在该第一交叠区域A的两侧的第二交叠区域B，在该第一交叠区域，在沿着表面声波的传播方向(图中的箭头方向)的整个区域上交叠长度恒定，而在该第二交叠区域B，在表面声波的传播方向上交叠长度被加权。
通过该结构，由于图中交叠区域A以与正常(非切趾)IDT相同的方式工作，所以表面声波的激励强度分布呈矩形，这与中央附近相对应。在交叠区域B(以下称为加权的交叠区域B)中，执行加权以使激励强度在与IDT 1的SAW传播相垂直的方向上向外侧逐渐减弱。因此，当结合交叠区域A和交叠区域B时，表面声波的激励强度分布呈与基本横向模式10a相近的形状。这样，只生成基本横向模式10a而抑制了更高次横向模式。
另一方面，沿着表面声波的传播方向的交叠长度分布11由于第一交叠区域A而呈矩形，而由于第二交叠区域B出现的交叠长度11a形成与交叠长度分布11相交叠的图案。换言之，在第二交叠区域B中，进行加权，从而使交叠长度加权包络线垂直于表面声波传播方向平行移动。这样，尽管交叠长度11a在相邻交叠长度之间不均匀，但是由于该不均匀性的差异相对于交叠区域A的交叠长度一般较小，所以分布11沿着交叠长度的传播方向大致保持了矩形形状。
结果，激励强度在表面声波的传播方向上保持了与正常(非切趾)IDT相近的矩形形状。
如上所述，根据本发明，抑制了由于更高次横向模式导致的乱真，从而可以获得与正常(非切趾)电极相同的特性。
尽管在汇流条1a、1b上通常设有假电极，但是即使如图4A和图4B的实施例所示在交叠区域B中不设假电极，也同样可以获得抑制更高次横向模式的效果。
在图4A中，汇流条1a、1b并不具有假电极，并且汇流条1a、1b自身被设定为具有与交叠区域B中的梳形电极1c的交叠量的加权相对应的实心图案形状。图4B是这样的示例，即，汇流条1a、1b并不具有假电极并被设定为具有间隙(gap)。
接下来将讨论当将表面声波装置用作带通滤波器时，第一交叠区域A的宽度方向尺寸与第二交叠区域B的宽度方向尺寸的百分比的优选值，在第一交叠区域A处，在沿着表面声波的传播方向的整个区域上交叠长度恒定，而第二交叠区域B形成在第一交叠区域A的两侧，并且在该处，交叠长度沿着表面声波的传播方向被加权。
图5是通过下面等式获得的值(其为第二交叠区域B(加权区域)的宽度百分比)，与在将该表面声波装置用作带通滤波器时的通带中纹波大小之间的测量关系的曲线图。
加权区域的宽度＝第二交叠区域B/(第一交叠区域A+第二交叠区域B)×100
应注意，(第一交叠区域A+第二交叠区域B)与IDT的开口长度相对应。
如果第二交叠区域B(即，加权区域)的宽度百分比为5％或更大，则可以将通带中的纹波大小抑制为3db或更小。
这样，应理解，为使根据本发明的表面声波装置获得带通滤波器所需的特性，加权区域的宽度(％)可以是IDT开口长度的5％或更大。
接下来，将讨论第二交叠区域中的加权的变化图案和在将该表面声波装置用作带通滤波器时的特性。
图6表示一示例，其中第二交叠区域B中的交叠长度加权包络曲线相对于作为表面声波的传播方向的轴线在第一交叠区域的两侧镜像对称，并且在第二交叠区域B中存在通过加权而生成的最小峰和最大峰。在最小峰P1与最大峰P2之间的最小交叠长度的大小可以由对最小峰P1的IDT开口长度的百分比(％)来表示。在交叠长度分布中各峰之间的最小交叠长度在该最小交叠长度是最大交叠长度的95％或更小时有效。这是因为，如果最小交叠长度大于95％，则加权对更高次横向模式的限制几乎没有效果。
图7是当峰之间的最小交叠长度改变时对滤波器的通带中的纹波的测量结果。根据该结果，可以理解的是，如果峰之间的最小交叠长度是95％或更小，则对更高次横向模式施加了抑制效果，从而可以呈指数地减少通带中的纹波。
在上述实施例中，作为第二交叠区域B中的加权的变化图案，已经显示了沿着图3所示的正弦(SIN)曲线改变的示例。然而，本发明的应用并不限于该实施例。
在图8A和图8B中，作为本发明的实施例(部分1和部分2)，显示了在第二交叠区域中加权的各种示例作为其包络曲线图案。
在图8A中，(a)的交叠长度加权包络曲线是余弦(或正弦)周期函数f(x)，并与图3中所示的实施例相同。
(b)是三角波周期函数。(c)是1和0值交替的周期函数。(d)是对IDT的一部分(而不是其全部区域)进行加权的示例。(e)是不同函数组合的示例。(f)是一个(1个)周期(而不是多个周期)的示例，并且在该示例中，尽管只存在一个(1个)变化点，但是由于交叠长度加权包络曲线相对于作为表面声波的传播方向的轴线并不镜像对称，所以沿着传播方向，交叠长度的分布形成了大致矩形的形状。
在图8B中，(g)是这样的图案示例，即，其具有(f)的图案和作为其一部分不存在加权的区域。(h)是在第二交叠区域B中交叠长度加权包络曲线彼此不同的示例。
(i)是这样的示例，即，其中一条交叠长度加权包络曲线是将另一条交叠长度加权包络曲线垂直于所述传播方向并沿着所述传播方向任意地平行移动得到的。在(h)或(i)中的任一情况下，由于交叠长度的分布形成了大致矩形形状，所以可以获得相同的效果。
(j)是只在第一交叠区域的一侧形成第二交叠区域的示例。尽管与在第一交叠区域的两侧形成第二交叠区域的情况相比效果有所降低，但是与图2中所示的传统的正常(非切趾)结构相比可以获得更好的效果。
在这种加权的任一情况下，存在对本发明的需要，并且可以获得本发明的效果。
图9A表示通过试验在Li2B4O7基片上制成的器件的特性，该器件具有级联连接的3IDT谐振器滤波器和单端口谐振器。图9B是图9A的频带内的放大视图。在这些图中，虚线是正常(非切趾)IDT的实际测量特性，而实线是在应用本发明的情况下的特性。
使用余弦函数进行加权，并且由于IDT对的数量为100或更多(这对于3IDT谐振器滤波器和该单端口谐振器来说足够大)，所以如图6所示的加权对于IDT的上下两侧镜像对称。如在正常(非切趾)IDT情况下一样，可以抑制乱真，从而可以获得带宽和带外衰减特性(dampingcharacteristic)。
如上所述，根据本发明，可以抑制横向模式乱真，从而可以获得与正常(非切趾)电极相同的特性。这样，可以以高自由度和良好的特性设计SAW谐振器和SAW谐振器滤波器。
尽管这里详细地描述了本发明的说明性的且是当前优选的实施例，但是应理解本发明的原理可以以其它各种方式体现和实施，并且所附权利要求应被解释为包括这种改变，但由现有技术限制的除外。
本申请基于2005年7月6日提交的在先日本专利申请No.2005-197364并要求其优先权，通过引用并入其全部内容。

Claims (15)

1.一种表面声波装置，其具有至少一个叉指换能器，所述叉指换能器被设置成使得分别与汇流条相连接的多个梳形电极相交错，
其中，具有所述多个交错的梳形电极的区域包括第一交叠区域和分别形成在该第一交叠区域的两侧的两个第二交叠区域，该第一交叠区域具有在沿着表面声波的传播方向的整个区域上恒定的交叠长度，而该第二交叠区域具有沿着所述表面声波的传播方向加权的交叠长度，并且
其中，各所述第二交叠区域中加权的交叠长度的包络曲线在所述表面声波的传播方向上具有至少两个改变点，并且其中除对应于所述改变点的位置以外，提供有假电极，所述假电极的一端与所述汇流条连接，而所述假电极的另一端面向所述多个梳形电极的对应端。
2.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线具有这样的形状，即，在所述第一交叠区域的两侧与所述表面声波传播方向相垂直地平行移动后的形状。
3.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域中的其中一条交叠长度加权包络曲线具有这样的形状，即，将所述第二交叠区域中的另一条交叠长度加权包络曲线与所述传播方向相垂直地并沿着所述传播方向平行移动后的形状。
4.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线具有这样的形状，即，在所述第一交叠区域的两侧相对于所述表面声波的传播方向的轴线镜像对称的形状。
5.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线在所述第一交叠区域的两侧具有彼此不同的形状。
6.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线形成由周期函数f(x)代表的形状，该周期函数f(x)表示随所述表面声波的传播方向x而周期性改变的形状。
7.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域的尺寸被设定为所述叉指换能器的开口长度的5％或更大。
8.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，对于在所述第二交叠区域中加权的交叠长度的尺寸，将最小的加权的交叠长度设定为所述叉指换能器的开口长度的95％或更小。
9.根据权利要求1所述的表面声波装置，
其中，所述汇流条具有与所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线相对应的形状。
10.一种表面声波装置，其具有至少一个叉指换能器，所述叉指换能器被设置成使得分别与汇流条相连接的多个梳形电极相交错，
其中，具有所述多个交错的梳形电极的区域具有第一交叠区域和形成在该第一交叠区域的两侧的第二交叠区域，该第一交叠区域具有在沿着表面声波的传播方向的整个区域上恒定的交叠长度，而该第二交叠区域具有沿着所述表面声波的传播方向加权的交叠长度，
其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线沿着所述表面声波的传播方向仅具有一个改变点，并且具有这样的形状，即，在所述第一交叠区域的两侧与所述表面声波传播方向相垂直地平行移动后的形状，
其中除对应于所述改变点的位置以外，提供有假电极，所述假电极的一端与所述汇流条连接，而所述假电极的另一端面向所述多个梳形电极的对应端。
11.根据权利要求10所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域中的其中一条交叠长度加权包络曲线具有这样的形状，即，将所述第二交叠区域中的另一条交叠长度加权包络曲线与所述传播方向相垂直地并沿着所述传播方向平行移动后的形状。
12.根据权利要求10所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线形成由周期函数f(x)代表的形状，该周期函数f(x)表示随所述表面声波的传播方向x而周期性改变的形状。
13.根据权利要求10所述的表面声波装置，
其中，所述第二交叠区域的尺寸被设定为所述叉指换能器的开口长度的5％或更大。
14.根据权利要求10所述的表面声波装置，
其中，对于在所述第二交叠区域中加权的交叠长度的尺寸，将最小的加权的交叠长度设定为所述叉指换能器的开口长度的95％或更小。
15.根据权利要求10所述的表面声波装置，
其中，所述汇流条具有与所述第二交叠区域中的交叠长度加权包络曲线相对应的形状。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2007108269A1 (ja) * 2006-03-17 2009-08-06 株式会社村田製作所 弾性波共振子
CN102449905B (zh) 2009-06-04 2014-06-18 株式会社村田制作所 弹性波谐振器、梯形滤波器及双工器
US9048807B2 (en) * 2010-03-18 2015-06-02 University Of Maine System Board Of Trustees Surface acoustic wave resonator with an open circuit grating for high temperature environments
JP5614461B2 (ja) * 2011-02-08 2014-10-29 株式会社村田製作所 ラダー型フィルタ装置及び弾性波共振子
JP5872196B2 (ja) * 2011-06-29 2016-03-01 京セラ株式会社 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置
JP5882842B2 (ja) * 2012-01-31 2016-03-09 京セラ株式会社 弾性表面波素子および弾性表面波装置
WO2015182521A1 (ja) 2014-05-26 2015-12-03 株式会社村田製作所 弾性波装置及びラダー型フィルタ
CN104990638B (zh) * 2015-06-30 2018-06-22 深圳华远微电科技有限公司 一种基于无线温度传感器的芯片
KR102205186B1 (ko) * 2017-12-27 2021-01-20 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 필터
WO2019172374A1 (ja) * 2018-03-09 2019-09-12 株式会社村田製作所 弾性波装置
JP7008549B2 (ja) * 2018-03-16 2022-01-25 富士フイルムヘルスケア株式会社 超音波診断装置
CN108566176B (zh) * 2018-04-12 2021-04-06 无锡市好达电子股份有限公司 一种声表面波谐振器的杂波抑制方法
US11171627B2 (en) 2018-10-01 2021-11-09 Qorvo Us, Inc. Wave apodization for guided SAW resonators

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10309250A1 (de) * 2003-03-03 2004-09-16 Epcos Ag Elektroakustischer Wandler für mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement
JP7028195B2 (ja) * 2019-01-10 2022-03-02 株式会社デンソー 開閉部材制御装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58143620A (ja) * 1982-02-22 1983-08-26 Toshiba Corp 弾性表面波共振器
DE3519853A1 (de) * 1985-06-03 1986-12-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Elektrisches filter mit akustischen wellen
JP2664228B2 (ja) * 1988-12-23 1997-10-15 株式会社日立製作所 弾性表面波装置
JP3289410B2 (ja) 1993-06-30 2002-06-04 株式会社村田製作所 表面波素子
JPH0728195A (ja) 1993-07-15 1995-01-31 Konica Corp ハロゲン化銀感光材料
JPH07162261A (ja) * 1993-12-09 1995-06-23 Sanyo Electric Co Ltd 多重電極型弾性表面波フィルタ
JP3119579B2 (ja) 1996-04-01 2000-12-25 弘明 佐藤 弾性表面波共振子
JP3863712B2 (ja) * 2000-09-06 2006-12-27 株式会社日立製作所 弾性表面波共振器
JP3498729B2 (ja) * 2001-05-23 2004-02-16 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子
DE10135871B4 (de) 2001-07-24 2012-10-25 Epcos Ag Wandler für Oberflächenwellen mit verbesserter Unterdrückung störender Anregung
SG112100A1 (en) * 2003-11-18 2005-06-29 Fujitsu Media Devices Ltd Surface acoustic device
JP4246604B2 (ja) * 2003-11-18 2009-04-02 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波デバイス

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10309250A1 (de) * 2003-03-03 2004-09-16 Epcos Ag Elektroakustischer Wandler für mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement
JP7028195B2 (ja) * 2019-01-10 2022-03-02 株式会社デンソー 開閉部材制御装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100680675B1 (ko) 2007-02-09
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