TWI316875B - Functional droplet coating apparatus,display,and electronic device - Google Patents

Description

1316875 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於喷墨法之功能液滴塗佈裝置、使用該塗佈 裝置而製造之顯不裝置及使用該顯示裝置而製造之電子機 【先前技術】

藉由噴墨法塗佈功能液滴之方法，已知以喷墨法形成液 晶面板的配向膜之方法（例如，專利文獻υ。此外，已知一 種方法，其在配向膜之製作方法具有特徵，利用喷出口吹 出-種以上的配向膜原料，使配向膜形成鑲丧狀 利文獻2)。 寻 【專利文獻1】曰本特開平3 — 249623號公報 【專利文獻2】曰本特開平1〇— 197873號公報 (發明所欲解決之問題） 至=等能液滴_將功能液滴噴出 =。因開始將功能液滴噴出至_件基板後的 = 使其乾燥時間不同。 、砰間而 現在從功能液滴噴出頭所喷出之功能 相同，J 所具備’係與從其所噴出之功能液滴大致 並顯不液體特性。 A板之主例如’最初從功能液滴噴出頭將功能液滴噴出5 基板之時間比現在早一個小昧… 同噴出至 滴在-小時門η 夺之時’最初所喷出之功能液 間係與放置於室溫下者有同樣的狀態。 1 】I84].d〇c 1316875 在β亥種狀態之功能液滴’所喷出形狀之中央部的功能液 滴厚度會變薄，與中央部的功能液滴厚度相比，靠近功能 液滴外廓部分之厚度會變厚。之後，將該種現象稱為「增 厚」。 fs生該「增厚」時’喷出至基板上之功能液滴之膜會失 去均勻性，功能液滴之膜構成彩色濾光片時，難以確保所 希望的顏色特性。此外’功能液滴之膜在]EL (Electro Luminescence :電激發光）螢光體、或功能液滴之膜在eld (Electro Luminescence Display :電激發光顯示器）的有機 EL 元件的各顯示要素、或LCD (Liquid Crystal Display :液晶 顯示器）的導通布線、配向膜等發生該「增厚」時，可能會 損害各要素所要求之功能。 本發明係鑑於上述課題而成者，其目的係在將功能液滴 喷出至基板上之塗佈步驟與使喷出至基板上之功能液滴乾 燥之乾燥步驟間，藉由基板載置於同一載置台時迅速實施 k佈至乾燥，並依必要重覆一次以上前述塗佈·乾燥步驟， 以防止基板上之功能液滴之「增厚」，且防止基板破損。 【發明内容】 為解決上述課題，本發明中 本發明中，其要旨係具備以下構件：

頭喷出至前述基板之前 則述功能液滴乾燥。 ni841.doc 1316875 藉此，從功能液滴噴出頭噴出功能液滴，塗 置Γ板之功能液滴’且乾燥單元覆蓋载置台所 ^之基板的一部份或全部’可使從功能液滴嘴出頭喷： 基板之功能液滴乾燥。在將讀㈣^至基板 ❹驟與使喷出至基板上之功能液滴乾燥 - 错由基板仍載置於載置台時移動，可防止基板上之:= 滴之「增厚」，且防止基板破損。 力此液 本發明之功能液滴塗佈裝置之前述乾燥單元， 具備減壓乾燥功能。 曰係 藉此，因本發明之功能液滴塗佈裝置之乾 減壓乾燥功能，故可將以液狀嘴出 ^ %糸具備 π ^ |扳而塗佈之液滴铲 溶媒乾燥。藉由將乾燥單元内部減麼，可以較低心 較短時間將功能液滴乾燥，並可防止基板 ^且 「增厚」。 力此液滴之 =發明之功能液滴塗佈裝置，其要旨係將以下步驟 !欠以上：塗佈步驟’其從前述功能液滴嘴出頭噴出 月|卜功能液滴，再將前述功能液滴塗佈於前述載置 述基板，·及乾燥步驟，其以前述乾燥單元覆:前述 所載置之前述基板的一部份或全部，且將從前述功 肊：/贺出頭喷出至前述基板之前述功能液滴乾燥。 藉此，因本發明之功能液滴塗佈裝置係將以下步驟至I 次以上：塗佈步驟，其從功能液滴喷出頭噴出功！ 攻/，再將功能液滴塗佈於載置台所載置之基板；及 步驟’其以乾燥單元覆蓋載置台所載置之基板的—部= 111841.doc 1316875 全部’且將從功能液滴喷出頭噴出至基板之功能液滴乾 燥，故可防止基板上之功能液滴之「增厚」，且基板載置於 載置台時，藉由來回進行塗佈步驟與乾燥步驟，故可防止 基板破損。 本發明之功能液滴塗佈裝置’其要旨係藉由前述乾燥單 元與前述載置台，形成前述乾燥步驟中的減壓室。 藉此，因本發明之功能液滴塗佈裝置係藉由乾燥單元與 載置台，形成乾燥步驟中的減壓室，故可維持減壓室的密 閉性，並可得到所希望的減壓。因此，可以短時間將塗佈 於載置台所载置基板之功能液滴乾燥，並可防止基板上之 功能液滴之「增厚」。 本發明之功能液滴塗佈裝置，其要旨係藉由前述乾燥單 元與前述基板’形成前述乾燥步驟中的減壓室。 藉此，因本發明之功能液滴塗佈裝置係藉由乾燥單元與 基板，形成乾燥步驟中的減壓室，故在大型功能液滴之情 • 況時，藉由以乾燥單元覆蓋基板之功能液滴乾燥所需之 處，可形成乾燥步驟中的減壓室而進行乾燥。因此，可防 止基板上之功能液滴之「增厚」。 本發明之顯示裝置，其要旨係其為使用本發明之功能液 滴塗佈裝置而製造者。 藉此，因本發明之顯示裝置係使用本發明之功能液滴塗 佈裝置而製造者，故可防止基板上之功能液滴之「増厚」， 防止基板破損，且可提供高品質又高良率之顯示裝置。 本發明之電子機器，其要旨係具有本發明之顯示裝置。 111841.doc 1316875 具有本發明之顯示裝置 器。 藉此，因本發明之電子機器係 故可提供兩品質又廉價之電子機 【實施方式】 以下，依據圖面 (實施例1) 說明將本發明具體化之實施例。 圖1係顯示將本發明具體化之功能液滴塗佈裝置之功能 液滴喷出至基板而塗佈功能液滴之塗佈步驟與可移動載置

有基板之載置台之裁罟A σ移動步驟、及使功能液滴乾燥之 乾燥步驟的關係流程圖。另外 另外，圖1所記載之構件的號碼係 對應圖2〜圖4所記載之構件的號碼。 々驟si中載置台5係載置基板5()。作為載置台移動步驟 之步驟S2中’將載置台5移動至描畫單元3下的特定位置。 作為塗佈步驟之步驟S3中，從功能液滴喷出頭η喷出功能 液滴，以製造所希望的圖案。功能液滴10的材質等係如 後述。功能液滴喷出頭U有使用喷墨法者、使用分配器方 式者，滴下方式者等。 步驟S4中，判斷功能液滴 疋占乾岛。將功能液滴1〇喷 出至基板50,以較產生前述之「增厚」現象之時間（之後， 稱為增厚產生時間）具某種程度余裕而達到比增厚產生時 間短之時間（之後，稱為防止增厚 、女、 旱野間）時，必須判斷功能液 滴1 0為乾燥而終止來自功能 ,^ J貫出碩11之功能液滴10的 喷出，以進入步驟S5。此外’開始將功能液滴1〇喷出至基 板50後㈣出經過相在防止增 : J門吋為不發生厂增 厚」現象’不需乾燥。繼續步驟S3之將功能液_喷出至 I1184I.doc -10- 1316875 丞板50 作為載置台移動步驟 台5之肤離^ 少驟85中，在基板50載置於載置 口 5之狀態下，將載置台$ 一 作為乾燥步驟之步驟86中，以作早7的特定位置。 乾燥室2。覆蓋二八I以作為具乾燥單元4之減壓室之 中，將具乾^，=，5°。作為乾燥步驟之步驟87 之乾燥。、70之6燥至2°中減壓而進行功能液滴1。 步驟S8中，判斷是否 蛊鄱罢“ 成圖案。未完成圖案時，藉由作 下的特定位番 鳩9’將載置台5移動至描畫單元3 . °回到步驟^，從功能液滴喷出頭11進行功 此液滴10之噴出而在基 案前至少重覆•…案。因此，直到完成圖 載置台5拆下基板50而結束作業 從 ：人以上該處理。此外，完成圖案時， “圖2〜圖4係顯示將本發明具體化之功能液滴塗佈裳置6 椒式圖。 圖2係顯示本發明之功能液滴塗佈裝置中，功能液物 至基板上之狀態的模式圖。 功能=滴塗佈裝置係具備以下構件：框體!、载置台單元 2為旦早兀3、及乾燥單元4。载置台單元2係具備載置台^ 其係載置有基板50、及載置台軌道6，其可將載置台5移動 或疋位；藉由载置台控制部(未圖示)及用 或定位之載置台驅動部（未圖示），將载置台5移動至所:望動 的位置（之後，稱為塗佈位置）P1而定位。此外，载置么端 面5a係在與乾躁單元4之間所用之面。詳細如後所述。° 111841.doc 1316875 描晝單元3係具備以下 功能液滴10噴出至Λ 午.功能液滴喷出頭11，其係將 係保持功能液滴噴•功能液滴噴出頭驅動部山，其 示X相方向、.方㈣訪相對於基板5G將與圖中所 動部12b，其係保對之位置變更，·功能液滴喷出頭驅 於基板50將與圖中所示γ轴動和a’並可相對 供應管(未圖示)，1係 之位置變更，功能液滴 制健存功能液滴I及功能液滴噴出控 制4 (未圖不），其係進行 ^工 場所及所希望蜃夕士 液滴喷出頭11將所希望 功旎液滴10喷出至基板50之控制。 乾燥單元4係且借以丁摄Μ + 〇Λ Λ 八肴下構件：乾燥室2〇,其係作為且凹邱 3室；減壓管21’其係連通乾燥室20;減壓管（未 圖不)，其係連接減壓管21;乾燥室保持部 乾燥室2。及減壓管21;乾燥室驅動部23,其 = :移動或定位於圖中所示γ轴…及乾操室控制:： (未圖不）’其係控制乾燥室驅動部23的移動或定位。此外， 在乾燥室20的㈣室端面係具備作為彈性 室襯墊20c。 ^ 其次’說明框體丄、載置台單元2、描晝單元3、及乾燥單 兀4之相互關係"在框⑴上係配設載置台單元2、描書單元 3、及乾燥單元4。具有載置台單元2之載置台5係藉由載置 台控制部（未圖示）與乾燥室驅動部（未圖示 y J砂動載置台 軌道6’相對於描晝單元3而以特定位置(之後，稱為塗佈位 置）P1定位。 111841.doc -12- .1316875 :由功能液滴1〇的黏性、表面張力及 噴出頭η所具備的功能液滴〗。出力-液滴 條件，功能液滴喷出頭驅動部I2b決:將

與基板5G之距離朝圖中γ軸方向移動。t噴出碩U

移Γ:二噴:頭驅動部12,圖中x轴方向㈣方向 之相對位===:基:一 功能液滴喷出頭驅動部_軸二制:z= 從功能液滴喷出頭u喷出功能液滴向的移動，再 制部（未圖示）係記惰右_去# 在力月匕液滴喷出控 噴出資料 隐有關所希望的圖案之喷出資料，依據該 轴科’進行功能液滴喷出頭驅動部12a之X軸方向與2 抑制°的移動’及從功能液滴噴出頭11噴出功能液滴10之 =:再者，噴出複數種功能液滴10時，利用功能液滴喷 ‘e動部12b’亦變更功能液滴喷出頭"與基板之距 離。 在此’說明基板50的材質。基板5〇最好係無機物質或有 物質所構成之物質。具體而言’有玻璃、石英、半導體 土反聚亞醯胺膜、布、環氧樹脂、偏光板、彩色濾光片 基板、螢光發光基板、EL基板、有機肛基板、〉夜晶面板基 板等’但本發明並不侷限於此。 此外’說明基板50的大小。電視等所使用之顯示裝置的 大小，較大者有厚度約〇·5〜1毫米、寬約2公尺、高約 尺左右者。 /、人，s兒明功能液滴丨〇的材質。功能液滴丨〇係由擴散於 111841.doc -13 - 1316875 溶媒之無機物質或 的微粒子係有以銀為、所構成之微粒子所構成。具體 贫為耳之數奈米大小的金屬及拉 呈導電性之有機物質、，… 0金屬及藉由乾刼而 由乾燥而呈光電功能二=絕緣性之物質、及藉 晶面板等的配向膜物f、彩色 ’使用領域方面有液 塗裝物質、描晝圖晝物質、作為顯示 =“、 電性導電性之圖案物質、具 、具 關食品製造之顯示物質等。 緣造之圖案物質、及有 其次，說明基板5〇载置於 台㈣板5。之間減慶而載置之；:之方二有藉由在載置 5〇之間，介以彈性槿杜 或在载置台5與基板 彈構件而機械地载置之方法等。 從功能液滴噴出頭U喷出功能 到達前述防止增厚時間時，停n二過時間 功能液滴!。的噴出。此時：自广液滴喷出頭"之 位置之狀態下停止。纟維持基板50與載置台5之相對 發明之功能液滴塗佈裝置中，基板移動至用 :圖至土板上之功能液滴乾燥之乾燥單元下之狀態的 挨式圖。 圖2中在分止來自功能液滴噴出頭“之功能液滴嗔出 的狀態下’載置台5與載置於载置台5之基板％係藉由載置 口 ^制未圖不）及載置台驅動部（未圖示），從塗佈位置Η 沿著載置台軌道6而開始移動（载置台移動步驟）。 /載置台5到達乾燥位置P2時，載置台控制部（未圖示）及 載置台驅動部（未圖示）停止載置台5。 I11841.doc -14- 1316875 圖4係顯示乾燥單元覆蓋部分或全部基板，且使噴出至基 板上之功能液滴乾燥之狀態的模式圖。 載置台5到達乾燥位置P2(參照圖3)而停止時，藉由乾燥 單元4所具備的乾燥室控制部(未圖示)而使乾燥室驅動部 在紙面y方開始移動。藉由該移動，保持於乾燥室驅動部 23之乾燥室保持部22、乾燥室2〇及減壓管Η亦移動。 直到將乾燥室20的乾燥室端面㈣與載置台5的载置台端 面5a相密著為止，持續移動乾燥室驅動部23。在乾燥室端 面20b係配設作為由矽橡膠等所構成之彈性構件之乾燥室 襯墊2〇c’以提升乾燥室端面細與载置台端面5a之密著 性。如此’製作在乾燥室2〇的凹部2〇a與載置台5或基板％ 之間密閉之空間（之後，稱為室阳，將部分或全部基板5〇 收容於室25内而包覆，形成密閉狀態。在載置台5與基板50 之間有基板50厚度量的階差，藉由乾燥室襯墊1的彈性而 吸收’可構成室25。 其人使連接減壓管21之減㈣（未 25中的壓力。稭此’從功能液滴喷出頭U噴出至基板5〇而 塗佈之功能液滴1 〇係具有減愿^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 主祀麻功此，其為使功能液滴 10所含之溶媒沸點或基發 …、知點低下，可將功能液滴1 0乾燥。 另外，為得到基板5 〇所塗 土怖之功能液滴10之所希望功能， 也可加熱至焙燒溫度。 以特定條件乾燥時，停

減屋泵（未圖示）而回到大氣壓 後，藉由乾燥室控制部丨夫Θ U 工，七 （未圖不）將乾燥室驅動部23移動至紙 面上方，並將載置台5盥乾 乾备至20分開而消除室25。 llJ841.doc 1316875 在此，塗佈於基板50之功能液滴1〇 再彦刹田拍印 <的圖案未完成時， 載置台控制部（未圖示）及^ 將載晉;及戟置口驅動部（未圖示） 載置《 5移動至塗佈位置以，藉由描 板5〇之功能液滴10的嗔出。再 早：3而持續對基 達到防止增厚時間昧二：贺出經過時間再度 A;fe5〇 ·，夕覆一次以上進行該作業。對 滴Μ之塗佈及乾燥結束時，從載置台5拆下 使用本發明之功能液滴塗佈裝置而製造之顯示裝置係有 液曰曰面板、EL顯示裝置、有機FL顯示裝置等，本發 不裝置並不褐限於該等’其可廣泛適用於顯示裝置。 具有本發明之顯示裝置之電子機器係有行動電話、手 錶、印表機、投影機1色電視等，本發明之電子機器並 不侷限於該等，其可廣泛適用於電子機器。 以下，記載實施例1之效果。 (1)在功此液滴喷出至基板50上之塗佈步驟與使喷出至基 板50上之功能液滴10乾燥之乾燥步驟之間’藉由基板5〇 = 置於載置台5時至少來回重覆一次以上，可防止基板5〇上之 功能液滴10之「增厚」。 (2)由於可以更短時間實現塗佈步驟與乾燥步驟之移動 故可防止基板50上之功能液滴丨〇之「增厚」而不會使生產 性低下。 (3)由於不需從載置台5拆下基板5〇而可進行塗佈步驟與 乾燥步驟之移動’故可防止基板5〇破損。 以下，記載前述實施例之變形例。 111841.doc •16- 1316875 」變形例1)在載置台5載置基板5〇，且在描晝單元3與乾燥 早兀4之間至少來回重覆—次以上，但也可在載置台$載置 基板5〇,且使描畫單元3與乾燥單元4交互在載置台5上移 動至彡重覆一二欠以上塗佈步驟與乾燥步驟。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示將本發明具體化之功能液滴塗佈裝置之功能 液滴噴出至基板而塗佈功能液滴之塗佈步驟與可移動載置 有基板之載置台之載置台移動步驟、及使功能液滴乾燥之 乾燥步驟的關係流程圖。 圖2係顯示本發明之功能液滴塗佈裝置中，功能液滴喷出 至基板上之狀態的模式圖。 、圖3係顯示本發明之功能液滴塗佈裝置中，基板移動至用 使嘴出至基板上之功能液滴乾燥之乾燥單之狀 模式圖。 圖4係顯示乾燥單元覆蓋部分或全部基板，錢喷出至基 板上之功能液滴乾燥之狀態的模式圖。 【主要元件符號說明】 1 框體 2 載置台單元 3 描晝單元 4 乾燥單元 5 載置台 5a 載置台端面 6 載置台軌道 111841.doc 1316875 10 功能液滴 11 功能液滴喷出頭 11a 喷嘴 12a、12b 功能液滴喷出頭驅動部 20 作為減壓室之乾燥室 20a 凹部 20b 乾燥室端面 20c 作為彈性構件之乾燥室襯墊 21 減壓管 22 乾燥室保持部 23 乾燥室驅動部 25 室 50 基板 PI 塗佈位置 P2 乾燥位置 111841.doc -18-

Claims (1)

1. 對S月㈤修汶)正^ -----—II .1 1 ^ \ 1316寒7520421號專利申請案 t文ί請專利範圍替換本(98年8月） 十、申請專利範圍： 1. -種功能液滴塗佈裝置，其特徵係具備以下構件： 功能液滴噴出頭，其用以喷出功能液滴； 載置台，其用以載置基板，該基板係塗佈有從前述功 能液滴噴出頭所噴出之前述功能液滴；及 乾操單元，其覆蓋前述載置台所载置之前述基板的一 :份或全部，且使用於將從前述功能液滴喷出頭嘴出至 前述基板之前述功能液滴乾燥之乾燥步驟； 上述基板係於載置於同一載置台上之狀態下，實施塗 佈至乾燥； 藉由前述乾燥單元與前述載置台，形成前述乾燥 中的減壓室； 其中將以下步驟至少重覆一次以上：塗佈步驟，其從 前述功能液滴喷出頭噴出前述功能液滴，再將前述功能 液滴塗佈於前述載置台所載置之前述基板；及前述乾2 步驟，其以前述乾燥單元覆蓋前述載置台所載置之前述 基板的一部份或全部，且將從前述功能液滴喷出頭噴出 至前述基板之前述功能液滴乾燥。 2. 如請求項丨之功能液滴塗佈裝置’其中前述乾燥單元具備 減Μ乾燥功能。 3. 如4求項1或2之功能液滴塗佈裝置，其中藉由前述乾燥 單元與前述基板’形成前述乾燥步驟中的減壓室。 4. 如請求項1或2之功能液滴塗佈裝置，其中藉由前述乾燥 單元與前述基板，形成前述乾燥步驟中的減壓室。 11184I-980803.doc