TWI278418B - System and method for conveying flat panel display - Google Patents

Description

1278418 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 /枣發明係相關於一種用於運送一個扁平面板顯示器的 系統及方法、且更特別的是相關於一種用於運送一個扁平 面板顯示器而可以節癌、工作空間及改善處理及設備效率的 系統及方法。 【先前技術】 一般來說，像是一種扁平面板顯示器、一種半導體晶 圓：-種液晶顯示器、以及_種光遮罩玻璃的面板係通過 -系列像是沉積、蝕刻 '脫模、淨化以及沖洗製程而被加 工。此等製程是在一個清潔室中進行的，且每個清潔室都 具有一個處理區域。 圖1 6係顯示出一個傳統式的面板運送系統。 用於進行該等製程的處理裝置丨〇〇係被配置在一個清 潔室R之中，用以增進製程的效率。 運运組件110係反應於一個面板饋送區域12〇而被設 定在該等處理裝置100上，使得該等面板可以被有效率地 心、二到δ亥處理裝置1 〇〇的面板處理區域之中。舉例來說， °亥寺運运組件係包含有用於水平且垂直地移動該等面板的 一個緩衝器或是運送器組件。 该面板係被容納在位於一個面板儲存區域13()的一個 板卡式盒140之中，而該面板儲存區域丨3 〇係在清潔室 中與面板饋送區域1 2 〇分隔開。被容納在該面板卡式盒 14〇 夕由 <〒的面板係經由一個面板運送系統被運送到該面板 1278418 饋送區域120。 該面板運送系統包含有-個像是像是一種自動防護運 輸工具的運送工具v，其係在面板儲存區4 13〇與面板饋 送區域12〇之間移動。該等面板卡式盒14〇係被負載於該 運送工具V上，並且係被運送到對應其中一個面板處理裝 置100的面板饋送區域120。 朴該運送工具v係使用像是—個驅動源的電源，並且沿 著一個在習知技術中為人所熟知的執道移動。 個饋入/儲存台架係被形成為一個桌台的形狀，而 該面板卡式盒140係被配置於其上，該饋入顯台架伟 被安裝在面板儲存區域13G及面板饋送區貞i2G中的每— 個之上。一個像是—個機械手臂而用於將該等面板—個— 個地從被配置在該台牟卜 A ^ 木上之面板卡式盒140處抽出的面板 負載組：150係被安裝在該面板饋送區域12〇之中。 17 ’使用該面板運送系統而用於將面板運送到 對應之面板處理裝置的運送程序將會被簡短地描述。 =送程序係包含有以下的步驟：負載被配置在面板 =’中的面板卡式盒並且接收複數個面板（201)、 將該面板卡式盒運送到該面板處理區 該面板處理區域（2〇3) 卸載在 在該面te + 斗、人山 中的面板卡式盒、以及將被容置 ^ ^ 的面板饋送到該面板處理裝置。 、而在上文所描述的面板運送方法之中， 序係包含有畔多牛睞 。亥運达程 有°午夕乂驟，而將程序複雜化並且很費時。 除此之外，由私 . 、一個用於運送在該面板處理裝置中被 1278418 處理之另外的運送系統應該被設定在該清潔室之中，該方 法係更加複雜，使製成的效率變差。 此外，該等台架、該等運送組件、及該等負載/卸載 組件的安裝係需要增加清潔室的空間，從而增加了清潔室 的製造成本。 為了要加工一個大尺寸的面板，儲存用、饋送用及運 送用的區域應該要相應於該大尺寸的面板而增加。這種區 域面積的增加也需要增加清潔室的空間，而使清潔室的办 間效率變差。 除此之外，由於該運送工具只是被設計成用來在的預 定區段之間（像是在儲存用、饋送用及運送用區域之間） 移動，期望該運送工具進行另外的功用是彳艮困難的。 【發明内容】 因此’本發明已經努力來解決以上所描述的問題。 本發明的—個目較要提供用於運送—個面板的系統 法所：用以減少運送步驟的數目以及節省該系統及方 法所運用處的空間。 句ί要運到這個目的，本 祐，甘a人丄 J 但回败運送| 及无山有-個用於接收複數個面板的 及，一㈣於運送該面板卡式盒的運送 送工且一徊名莽丈、丄具，其中，該i| 工口負載/卸載組件’其係被安裝 負載在-個面板處理組件上的 板處理組件虛知并二』μ 、皿及/或從一個面 被安褒在該主體上，用以㈣等面：板運运組件’其係 …亥專面板到一個面板處理區 1278418 域及/或從一個面板處理區域收集該等面板；以及，一個 舉升組件’其係將該面板卡式盒支撐在該主體之中。 在本發明的另一個方面之中，所提供的一種面板運送 方法係包含有以下的步驟··在一個面板儲存區域中負載一 個接收面板的面板卡式盒；將該面板卡式盒運送到一個面 板處理區域；以及，將被容納在該面板卡式盒中的面板從 一個運送工具處饋送到一個面板處理裝置處。 在本發明的另一個方面之中，所提供的一種面板運送 方法係包含有以下的步驟··將已被處理過的面板收集到一 個被負載在一個運送工具上的面板卡式盒；將其中收集了 已被處理過之面板的面板卡式盒運送到一個面板儲存區域 处以及將被負載在該運送工具上的面板卡式盒卸載到 該面板儲存區域。 【實施方式】 現在將詳細參照本發明的較佳實施例，該等實施例的 例子係被顯示在隨附的圖式之中。無論在任何可能的情況 了，相同的元件參考符號在全部的圖式之中將會被用來表 示相同或相似的部件。 _參照圖1到圖3，該具有創造性的面板運送系統係包 含有一個用於接收複數個面板P的面板卡式盒2;以及， 個用於將6亥面板卡式盒運送到—個面板處理區域的運 工具4 〇 如圖3所*，一個運送路徑係被形成為一種Ί 狀。也就是，-個對應於-個面板處理裝置D的面板饋送 1278418 區域A1係從一個用於將該等面板p以，，形狀儲存的 面板儲存區域A2處被分隔開。該運送工具4係沿著該 ~1 形狀的路控移動。 一個滾筒運送組件F係被設置在面板處理裝置D上， 使得该荨面板P可以被負載於該運送工具4之中，並且因 此被供應到該處理裝置D之中。 该面板卡式盒2係作用如同一個用於接收並且運送該 等面板P的托盤。也就是說，如圖4及圖5所示，該面板 卡式益2係、被形成為一種盒子的形片大、被供有複數個用 方、接收4等面板P的容置溝槽6。也就是說，該等面板p 係被負載在該面板卡式盒2之中。 。亥谷置溝槽6係被提供有一個引導溝槽^丨，使得面板 可以被-個像是運送工具4的面板饋送組件16抽出。該 引導溝槽8的_個尺寸係被決定在_個範圍之中，在該範 圍:，該面板運送組件16彳以被配置成可以反應於該面 板容置溝槽6而經由引導溝槽8將面板p抽出。 > ^面板卡式是2係以不會輕易地被外部的負載或撞擊 破‘不谷㈣傷或靜電發生的樹脂製成。該面板卡 2可以經由一種模造程序而製成。 ^ 接收了該等面板p的面板卡式盒2係相應於面板 裝置D被該運送工具4從清潔室及的儲存區域A2處運送 到。:亥運，工具4將會在下文之中被更加詳細地描述。 /運廷工具4包含有-個可移動的主體10;-個負藎 /卸載組# 12，用於將該面板卡式盒2負載於該主體1〇 10 1278418 上以及將該面板卡式盒2從該主體1〇卸下；—個面板運 送組件u’用於將被容置在該面板卡式盒2中的面板μ 送到該面板處理裝置D’·以及，一個舉升組件Μ，用於改 變該面板卡式盒2的位置，以容許該面板運送叙件14可 以將該等面板一個一個地抽出。如圖 _ 2所不，在這個實施 :之中’ -個用於以可分離的方式支擇該面板卡式盒2的 負載板件1 8係被安裝在該舉升組件丨6之中。 石亥主體10係被提供有一個空問，甘士〆 ’個工間，其中係安裝有該負載 ^件18、該面板運送組件14、及該舉升組件16。也就是 說，如圖2所示，該主體10係被形成為—個盒子的形狀。 h該主體10係被設計成用來在位於該清潔室R之中的 預定區段之間移動。在這個實施 一 、、 貝她例之中，如圖1及圖2所 不，一個引導桿B係相應於該 # + ^ 成王體1 〇的移動路徑而被安 衣在該4潔室R的一個底部 _ a ,。 |上°亥主體丨〇係被提供有一 =測益S1、’用以制出-個引導桿B的-個位置。該感 y S1可以被形成為一個紅外線感測器或是-個光學感 測器。該主體10係根據該感測器㈣偵測運作而移動。

如I:示：為了容許該主體10可以沿著在該清潔R 中的預疋路從移動，可以將， 胼輪子如圖i所示地安裝。該等 輪子係被例如是一個電動馬達所驅動。 用可以使用其他的驅動結構來移動該主體10,而不是使 用輪子。 主體可以是經由例如是—種模造製程而成 樹脂製造。 1278418 該負載板件1 8係支撐著兮 者忒面板卡式盒2，使得該面板 卡式盒2可以在一個預定位置 夏义T攸主體10分離。如圖2 所示，在這個實施例之中，琴* ， r 忒負载板件18係被提供有一 個對應該面板卡式盒2之底立β沾± # 展邛的支撐用溝槽20，並且係反 應於該主體10的一個頂部開口 22而被定位。 該負載板件1 8係被提供在一個 ^ 徊周圍邊緣處而具有一個 正方形的突出部份8a及一 /is c# jl^ 〇u 汉個溝槽8b，以便於如圖7所示 容許該舉升組件1 6可以引導力兮士麯 乂 W V在该主體1()之開口中的垂直 運動。 该負載板件18更被提供有—個引導溝槽G2，盆且有 與該面板卡式± 2之引導溝槽⑴相同的—個形狀^以 容許該面板運送組件14可以補讲兮2丨、放— J以通過5亥引導溝槽G2 (來見圖 2)。 〆 -個感測g 32係被安裝在負載板件丨8之支撐溝槽的 -個表面上’用則貞測出該面板卡式± 2的安裝。該感測 器32可以被形成為一個光學感測器或是一個界線開關。 如圖6所示，該負載/卸載組件12係作用以容易地在 面板儲存區域A2中將該面板卡式盒2負載載該主體ι〇上。 如圖i所示，在這個實施例之中，該負載/卸載組件12 係被形成為二個臂部，而該主體1〇係被座落在該等臂部 、門吸收構件1 2a係被安裝在一個介於該等臂部之間的 連接用構件上’用於該面板卡式盒2的吸收作用。 ，，由於負載/卸載組件12可以根據一種為人所熟知的技 術衣仏出來，該技術的詳細描述在本文中將予以省略。 12 1278418 該運送組件1 4係作用 宁作用以將在一個垂直方向中被負載的 面板伙遠面板卡式各9 _蛛、、， 一 ^ 處饋适到面板處理裝置D。如圖2 所示’一在這個實施例之中，該運送組# 14係包含有二組 組件’母個組件都具有—個計時輪送帶％及一個滑輪％。 士圖2所不，一個像是軸承塊體而用於以可旋轉的方 式支撑5亥寺滑輪2 6的支撐用播杜1Q γ 又存用構件2 8係被提供。一個像是 一個馬達的驅動源Μ1係被安步Λ兮 # # 本饭女表在该支撐用構件上，用以 藉者一個鍵條—扣键齿於έ日杜-V η W輪組件或疋一個齒輪對齒輪的嚙合 裝置將力矩傳送到該等滑輪26。 、如圖8所示’該面板運送組件14係對應—個面板抽出 側邊而水平地突出’使得面才反p可以被容易地供應到該面 板處理裝置D的運送部份f。 被滑輪26拉伸之輸送帶24的_個舉升區段係在一個 範圍内被伸長’在該範圍中，其係可以有效率地支樓及移 動該面板P。. 該輸送帶24係被表面處理或是被塗層而具有突出及凹 下的部位’用以減少與該面才反p的接觸面積並且防止該面 板P被刮傷。 雖然該運送組件14係包含有輸送帶24及滑輪％，本 發明並不被顯定在這種情況。 舉例來說，可以提供用來傳送面板p的滾筒。 同時，該負載板件18係被設計成用來藉著舉升組件16 而在該主體10中垂直地移動。在這個實施例之中，二個 旋轉軸桿30 (每個軸桿係被提供有一個螺釘）係被連接到 13 1278418 / :载板件18 °该等旋轉轴桿3G係被像是—個馬達的-:匚動源M2戶斤驅動，並且其旋轉運動係被轉 以位移該貞餘件18的隸運動。 種用 被固圖2所示，該等旋轉軸桿3。係被連接到 豆0之底部上的驅動源M2，用以引導兮刍 載板件18的垂直運動。 弓丨導3玄負 -個引導塊體32係被安裝在該負載板件Μ上 :寺旋轉軸桿3"、以螺釘的方式被連結於 該引導塊…的螺釘溝槽之中。該引導塊體：：在 轉軸捏Μ Μ加 唸W等塊體W到該旋 、”釘連結係容許該負載板件1 8可以進行更力 精確的運動、減少磨損、 更口 m , ^貝、以及增加耐用性。該螺釘可以被 面—固球狀螺釘、一個三角螺釘或是一個四角螺釘 :面板運送組件14將被容置於該面板卡式盒2 pp供應到面板處理裝置D的運送部份W，該舉升植 面广係位移負載板件18’用以-個-個地以從最下方的 面板的順序饋送該等面板。 下方的 :就是說’如圖9所示，在—個其中面板卡 r載在該貞載板件18上的狀態之巾，#該“= 在-個如圖10及圖η所示的方一， ㈣才干30 件18係會在該二。：二万向之甲旋轉時’該負載板 被容置在面二 移動，並且係被位移來將 式益之取下方—個容置溝槽6之中的面柘 動到該面板運送組件14之輪送帶24的表面。 在這個位置點處’該舉升機構係移 使付被容置在面板卡式…最下面的-個容置;：：之 14 1278418 中的面板p只能夠接觸到 槽6的底部隔開之輸送帶 在該容置溝槽6中 24的表面。 從該容置溝 當該輸送帶24藉荖由去 之滑輪26轉 P係被饋送 稭者由驅動源M1所驅動 動時，被配置在該輸送帶2 4之表面上的面招 到面板處理裝置D的運送部份F。 當該面板P被饋送到逯徉 y 到建迗部份F時，該舉升組件16 係以與上文所述相同的方式 J乃巧破刼作，從而以從最下方的一 個面板到最上方一個面板的 汉的項序連績地饋送該等面板（參 見圖12 )。 一個像是一個光學烕測哭十 .m 予A列裔或_個界限開關的感測器可 以被安裝在該主體10”，用以制出該負載板件的位 置，從而控制該負載板件18以容許該舉升組件16可以位 移在對應該面板卡式盒2之每個容置溝槽6的_個位置上 的負載板件。由於根據該感測器之偵測結果的控制方法在 習知技術中係為人所熟知，該方法的詳細描述在本文中將 予以省略。 在以上的描述之中，雖然該舉升組件16具有以螺釘的 方式被連結到該負載板件18的旋轉軸桿3〇，用以垂直地 移動該負載板件i 8，本發明並不被限制於這種情況。 舉例來說，一個圓筒可以被安裝在該主體1 〇之中，使 得該負載板件18可以藉著該圓筒的一個活塞桿件的線性 運動而被垂直地移動。也就是說，該舉升組件可以被形成 為各種結構。 一種使用上文所描述之面板運送系統的面板運送方法 15 1278418 將於下文之中參照隨附式被更加詳細地描述。 圖1 3係顯示出一個根據本發明之一個實施例之面板運 送方法的流程圖。 該具有創造性的面板運送方法係包含有以下的步驟： 在面板儲存區域（步驟S1)之中負載容納面板的面板卡式 盒；將該面板卡式盒運送到面板處理區域（步驟S2 );以 及’將被容納在該面板卡式盒之中的面板從該運送工具處 饋送到該面板處理裝置（步驟S3 )。 如圖6所示，在步驟S1之中，座落在面板儲存區域A2 之中的面板卡式盒2係被負載在該運送工具4的負載板件 18上。也就是說，主體1〇的負載/卸載組件12係吸收被 配置在該面板儲存區域A2之中的面板卡式盒2，並且將該 面板卡式盒2負載在如圖1所示的負載板件18上。 在這個位置點處，面板卡式盒2之容置溝槽6的係對 應如圖9所示之主體10的面板抽出側。該面板卡式盒2 係在一個其中該等面板係被容置在個別之容置溝槽6之中 的狀態中被負載。 當面板卡式盒2被負載在該逯# τ η I … 饭戶'執仕Α連迗工具4時，該面板十 式盒2係被運送到該面板饋送區域 ^ ^ Ai，而孩等面板P可Ο 在4區域處被饋送到該面板處理裝置D。 如圖1所示， 之運動的引導桿B 被安裝在該主體1 〇 使得該運送工具4 在步驟S2之中’用以引導該運送工具4 係被安裝在該清潔室R的底部上，並且 之中的感測A s 1係债測出該弓！導桿B， 可以藉著輪子而沿著預定路徑移動，用 16 1278418 以將面板卡式盒2運送到該面板饋送區域ai。 當面板卡式盒被負載於其上的運送工具4係被座落在 士應4面板處理區域D的面板饋送區域A1上時，該等面 板P係會被饋送到面板處理裝置D的運送部份F。 在步驟S3之中，負載板件18、面板運送組件14以及 牛升組件1 6係被操作以從該運送卫具4處饋送面板。 也就疋》兄，士口圖1 〇所示，該舉升組件】6係被操作以 如圖10所示地向下移動該負載板件18，使得被容置在負 ;/運廷工具4上之面板卡式盒2之最下方之容置溝槽 中的面板P可以如圖9所示地藉著接觸該面板運送組件 14的輸送帶24而進行移動。 在以上的狀態之中，當該面板運送組件14運作時，面 板P係被水平地饋送到面板處理裝置D的運送部份F，並 且移動到如圖1G ~示之該主體的面板抽出側。被負載於

In I » / , 上的面板P係被饋送到到該面板處理裝 且經由-系列的製程被處理。 田被A置在面板卡式盒2之最下面一個容置溝槽6之 ^面板P被料到該運送部份F時，該貞載板件係從最 的側邊一個一個地抽出被容納在該面板卡式盒2之中 白勺面板’同時藉菩 4 , 稭者ϋ亥舉升組件16反應該容置溝槽6而逐 漸地向下移動。处 …果，從面板卡式盒2之最下面溝槽到最 _ IHJ〉胃 Λ® ΛΑ ». 、 面板P係被有效率地饋送到該運送部份ρ， 如圖12所示者。 17 1278418 時’該等面板P可以被運送並且從該面板饋送區域A1處 被饋送到該面板處理裝置D。 雖然將被容置在該面板卡式盒2之中的面板P饋送到 面板處理裝置D係藉著該運送工具4來實現，本發明並不 被限定在這種情況之中。 舉例來說，本發明的面板運送系統可以被用來收集已 被處理的面板P1以及將被收集的面板運送到該面板儲存 區域。 法的流程圖。 該已處理面板的收集方法係包含有以下的步驟：將已 處理的面板收集於被配置在該運送工具（步驟⑷上的面 板卡式盒之中；將其中收集了該等已處理面板的面板卡式 盒運送到面板儲存區域驟 于匕U步驟S5);以及，將被負載 運送工具上的面板卡式各 式凰卸載到該面板儲存區域（步驟 在步驟S4之中，去力兮 田在4面板處理裝置D中被處理的 面板P1被座落在面板處理桊 0 丄士 . 处理衣置D的一個卸載運送部份F1 之中日$ ’ 一個預定的收章 、· ,. 木^ 1又係掖形成為使得該運送工呈 4係被座落在該收及區域之 、具 ^ 並且面板收集程序係在 個相反於面板饋送程序之 斤係在一 万白的一個相反方向中。 就疋說，該面板運送組件14 也 ^ m. r Η又被配置在该面板虛ϊ审 t置（其係在—個如圖所示 板處理 已處理的面板Ρ1。該面板、軍中運作）之卸載側上之 面板運运組件係將該等面板 18 1278418 動到該面板卡式盒2的接收區域，用以將該等面板ρι容 納在該面板卡式盒2的容置溝槽6之中。 在這個位置點處，該面板卡式 吵# 一 ！固；目汉；5^、孫 面板饋送程序的相反程序中接收該等面板。也就是說， 該 舉升組件1 6係逐漸地向上移動 面板Ρ能夠以一個從最上面一 納在該容置溝槽6之中。 該面板卡式盒2，使得該等 個到最下面一個的順序被容 當已處理的面板Ρ1被收集時，該運送工具4係沿著 在步驟S5之中的一個面板收集路徑移動，用以將該等面 板運送到面板儲存區域。當被負載在該運送工具4上的面 板卡式盒2移動到該面板儲存區域時，該負載/卸載組件 12係在步驟S6之中被操作來卸載在該面板儲存區域之中 的·面板卡式盒2，從而完成了該面板收及程序。 雖然本發明的面板運送系統是被設計成用來將已處理 勺面板運送到该面板儲存區域，本發明並不被限制於這種 情況’而是也可以被設計成用來將已處理的面板P1運送 到另一個處理組件。 根據本發明，由於該面板運送系統係被設計成用來將 旬板運送到處理組件以及用以收集已處理的面板，面板的 運送效率係可以被顯著地改善。 除此之外’由於該運送工具係被用來反應於面板處理 及儲存區域而饋送及收集面板，而不需要像是一個緩衝器 件、_ ° 個口采、機械手臂、以及類似物的各種装置（其 係已經在習知技藝中被使用過），從而節省了清潔室的工 19 Γ278418 作空間以及製造成本。 二卜，由面板運送組件及舉升組件的結構係被設計成 馮間早的，因此可以節省製造的成本。 2此之外，由於面板的饋送，收集程序 …上實現，可以明顯地改善工作效率及處理效率。 對於那些熟習該項技藝的人士來說 可以在本發明中進行各種修改及變化。:二:者的為疋： = = 了㈣心此發明的修改及變化，該等修改 γ化係落人隨附之中請專利範圍及其同等物的範嘴之 【圖式簡單說明】 在本：：：以提供對於本發明的進一步了解、並且被結合 在本申明案且構成本申請幸之立 甲月累t 伤的隨附圖式係顯示出 本…-個或多個實施例’並且與本發明的說明_起用 來解釋本發明的原理。在該等圖式之中： 立體：;1為根據本發明一個實施例之-個面板運送系統的 立體Ξ ,2為圖1所描緣之一個面板運送系統之内部結構的 回 為個面板運送系統的平面圖，該面板運送系 係被文裝在根據本發明一個實施例的一個清潔室之中/、 圖為圖1所描繪之一個面板卡式盒的立體圖； 圖5為圖4之一個内部結構的剖面圖； 圖6為說明-個狀態的立體圖，其中，目3的一個運 20 1278418 运工具係被安裝在一個面板儲存區域之中； 圖7為顯示出一個用於藉著—個舉升組件來 之-個負載板件之位置的結構之立體圖； 圖8為圖7的一個剖面圖； >圖9為說明—個狀態的剖面圖，其中，圖3的—個運 达工具係被位移到一個i ^ α η Γ W在一個面板饋送區域饋送一 個面板的位置處； 貝^ 圖10為說明一個狀態的剖 的位置被一個與J, Μ 1 /、 田個卡式盒 :们舉升組件改變時，一個面板 運迗組件而被供應； 甸板 圖11為圖10的一個立體圖； 圖12為說明一個狀態的剖面 圖10所；ΚΜ八τ 個面板係被 斤“、、、曰的一個舉升組一 一個㈣^ 個面板運达組件供應到 個破形成在-個卡式盒上的頂部容置溝槽； 圖13為一個流程圖，直 H ，、係说明根據本發明之一個實施 例的個面板饋送程序； 圖1 4為一個流程圖， 例的-個已产王" 根據本發明之-個實施 個已處理過面板的收集程序； 圖15為—個剖面圖，其係說明 面板的收集程序； 《 t 1固已處理過 圖16為—個傳統式面板運送系統的平面圖；以及 :η為說明—個傳統式面板運送程序的流程圖。 【主要元件符號說明】 面板卡式盒 21 2 運送工具 容置溝槽 引導溝槽 突出部份 溝槽 主體 負載/卸載組件 吸收構件 面板運送組件 面板饋送組件/舉升組件 負載板件 支撐用溝槽 頂部開口 輸送帶 計時輸送帶/滑輪 支撐用構件 旋轉軸桿 感測器/引導塊體 處理裝置 運送組件 面板饋送區域 面板儲存區域 面板卡式盒 面板負載組件 22 1278418 201 面板 202 面板處理區域 203 面板處理區域 A1 面板饋送區域 A2 面板儲存區域 B 引導桿 D 面板處理裝置 F 滾筒運送組件 FI 卸載運送部份 G1 引導溝槽 G2 引導溝槽 Ml 驅動源 M2 驅動源 P 面板 PI 已被處理的面板 R 清潔室 SI 步驟/感測器 S2 步驟 S3 步驟 S4 步驟 S5 步驟 S6 步驟 V 運送工具 23

Claims (1)

1278418 十、申請專利範圍： 1. 一種面板運送系統，其係包含有·· 一個面板卡式盆，用於接收複數個面板；以及 一個運送工具，用於運送該面板卡式盒； 其中，該運送工具係包含有： 一個負载/卸載組件，其係被安裝在主體上，用以負 載在一個面板處理組件上的面板卡式盒及/或從一個面板 處理組件處卸載該面板卡式盒，· 一個面板運送組件，其係被安裝在該主體上，用以用 以饋送該#面板到一個面板處王里區域及，或從—個面板處 理區域收集該等面板；以及 一個舉升組件，其係將該面板卡式盒支撐在該主體之 中 〇 2·如中請專利範圍帛丨項所述的面板運送系統，立 中’ Μ板運送組件係被形成為—對輸送帶/滑輪組件:戈 是滾筒’用以水平地移動該等面板。 3_如申請專利範㈣丨項所述的面板運送“，盆 中舉升組件係被設計成用以在_個方向中移動該面板 卡式盒’其中，該等面板係被疊置在該面板卡式盒之中。 如申請專利_ 3項所述的面板運送系統，其 中"亥舉升組件係被設計成用來移動該面板卡式盒，使得 被容置在該面板卡式盒之中的面板能夠被一個一個地以從 最下面一個到最上面一個的順序被抽出。 5.如申請專利範圍第3項所述的面板運送系統，其 24 1278418 中，該舉升組件係被設計成用來移動該面板卡式盒，使得 該等面板能夠被一個一個地以從最上方的側邊到最上方的 側邊的順序被容置在該面板卡式盒的一個面板容納區域之 中 〇 6·如申請專利範圍第丨項所述的面板運送系統，其 中，該面板卡式盒係被提供有一個面板容納區域，在該區 域中，該等面板可以藉著一個介於它們之間的空間被疊 置。 7 ·如申請專利範圍第6項所述的面板運送系統，其 中，該面板容納區域係被提供有複數個溝槽，用於水平地 容納該等面板。 8. —種面板運送方法，其係包含有以下的步驟： 在一個面板儲存區域之中負載一個容置面板的面板卡 式盒； 將該面板卡式盒運送到一個面板處理區域；以及 將被容納在該面板卡式盒中的面板從一個運送工具處 饋送到一個面板處理裝置。 9·如申請專利範圍第8項所述的面板運送方法，其 中，在饋送該等面板的步驟之中，被疊置在該面板卡式盒 之中的面板係—個一個地以從最下面一個到最上面一個的 順序被饋送。 10· 一種面板運送方法’其係、包含有以下的步驟： 將已被處理的面板收集在一個被負载於一個運送工具 的面板卡式盒之中； 25 1278418 將其中收集著已被處理面板的面板卡式盒運送到 面板儲存區域；以及 ' 將被負載在該運送工具上的面板卡式盒卸載到該 儲存區域。 11 ·如申請專利範圍第1 〇項所述的面板運送系統 中’在收集已被處理之面板的步驟中’该寺已被處理 板係一個一個地以從最上方的側邊到最上方的側邊的 被容置在一個面板容納區域之中。 十一、圖式： 如次頁 一個 面板 ，其 的面 順序 26