JPH11111836A - 浸漬式ワーク収納方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットに収容した加工済ワークを、液の抵
抗力により浮遊してカセットから飛び出すことがないよ
うに安定的且つ確実に液中に浸漬させ得るようにする。 【解決手段】 水平な取付軸１を中心に鉛直面内を回動
自在のカセットアーム２にカセット３を取り付け、上記
カセットアーム２をカセット３が横を向く第１位置Ａに
回動させた状態で該カセット３内に複数の加工済ワーク
Ｗを横向きに収容したあと、上記カセットアーム２を下
方に９０度回動させて第２位置Ｂに変移させることによ
り、上記カセット３及びワークＷを縦向きに姿勢変更し
ながら浸漬槽４内の液５中に浸漬させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨等の加工が施
されたあとの半導体ウエハや磁気ディスク基板のような
ワークを、液中に浸漬した状態で収納するための方法及
び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えばラッピングマシンやポリッシング
マシン等の平面研磨装置においては、研磨が終わったワ
ークを研磨部から取り出して一旦カセットに収容し、バ
ッチ式に次工程に送るようにしているが、その間に乾燥
による研磨剤の固着や酸化、染み等が発生し易い。この
ため、それらを防止する目的で、例えば特開平５−２４
３１９９号公報に開示されているように、ワークをカセ
ットに収容した状態で液中に浸漬させるようにしてい
る。

【０００３】ところが、従来は、カセットを横向きにし
てウエハを水平に収容した後、その姿勢のままカセット
を液中に真っ直ぐ降下させていたため、水平を向くウエ
ハの下面全面に水の抵抗力が直角に作用し、この抵抗力
によって該ウエハが浮き上がってカセット内を浮遊して
位置ずれしたり、カセットから飛び出すなどの不都合を
生じ易かった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、簡単な手段により、ワークに作用する液の抵抗力を
軽減して該ワークを安定的且つ確実に液中に浸漬させる
ことができるようにすることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明の収納方法は、水平な取付軸を中心に鉛直面内を
回動自在のカセットアームにワークを収容するためのカ
セットを取り付け、上記カセットアームをカセットが横
を向く第１位置に回動させた状態で該カセット内に複数
の加工済ワークを横向きに収容したあと、上記カセット
アームを下方に９０度回動させて第２位置に変移させる
ことにより、上記カセット及びワークを縦向きに姿勢変
更しながら浸漬槽内の液中に浸漬させることを特徴とす
るものである。

【０００６】また、本発明の収納装置は、水平な取付軸
を中心に鉛直面内を回動自在の少なくとも１つのカセッ
トアーム；上記カセットアームに取り付けられた、複数
のワークを並列状に収容するためのカセット；ワークが
収容されたカセットを液中に浸漬させるための浸漬槽；
上記カセットアームを、浸漬槽外においてカセットが横
を向く、ワークを横向きに収容するための第１位置と、
上記カセット及びワークが縦向きの姿勢で浸漬槽内の液
中に浸漬する第２位置との間を回動させる駆動手段；を
有することを特徴とするものである。

【０００７】本発明の具体的な実施態様によれば、上記
収納装置が、複数のカセットアームと、これらのカセッ
トアームを個別に駆動する複数の駆動手段とを有する。
上記カセットアームを第１位置に緩衝的に停止させるた
め、緩衝手段を設けることが望ましい。

【０００８】上記構成を有する本発明によれば、カセッ
トを取り付けたカセットアームを回動させてワークを液
中に浸漬させるという簡単な手段により、液による抵抗
力を軽減して該ワークの浮遊を防止し、該ワークを安定
的且つ確実に液中に浸漬させることがきる。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明に係る収納
装置の一実施例を示すもので、この収納装置は、ラッピ
ングマシンやポリッシングマシンのような図示しない加
工装置に付設されている。そしてこの収納装置は、機体
に取り付けられた水平な取付軸１と、該取付軸１に基端
部を支持されて鉛直面内を回動自在のカセットアーム２
と、該カセットアーム２に着脱自在に取り付けられたワ
ーク収容用のカセット３と、該カセット３に収容された
ワークＷを水等の液５中に浸漬するための浸漬槽４とを
有している。

【００１０】上記カセットアーム２は、取付軸１に回動
自在に取り付けるための取付部２ｂと、該取付部２ｂに
一端をボルト６で直角に固定された主体部２ａとによっ
て構成され、全体として略Ｌ字形をしている。液５中に
浸漬する上記主体部２ａは、液の抵抗を小さくするため
空隙部の多い矩形枠状に形成されており、その先端には
棚部材７を有し、この棚部材７上に上記カセット３が係
止状態に取り付けられている。

【００１１】一方、上記取付部２ｂの一方の側面にはプ
ーリ９が固定され、該プーリ９と、機体に取り付けられ
たモータ１０のプーリ１１との間にタイミングベルト１
２が巻き掛けられ、これらのモータ１０とタイミングベ
ルト１２とによって上記カセットアーム２が、図１に鎖
線で示すように、ワークＷを横向きに収容するための位
置である、浸漬槽４外においてカセット３を横向きにす
る第１位置Ａと、同図に実線で示すように、カセット３
及びワークＷを縦向きにした状態で浸漬槽４内の液５中
に浸漬させる第２位置Ｂとの間を、９０度回動させられ
るようになっている。

【００１２】上記第１位置Ａは、上述したように空のカ
セット３内にワークＷを収容するための位置であると同
時に、液５中から持ち上げられたワーク入りのカセット
３を次工程に送るためカセットアーム２から取り外し、
そのあとに空のカセット３をセットするための位置でも
ある。

【００１３】図中１４は、上記第１位置Ａにあるカセッ
ト３にワークＷを収容するためのロボットアームの一部
を示すもので、このロボットアーム１４の先端には、複
数の吸着孔１５ａを備えたチャックヘッド１５が設けら
れ、このチャックヘッド１５によりワークＷを吸着して
カセット３内に順次収容するようになっている。

【００１４】図示の例では、上記カセットアーム２が複
数設けられていて、それぞれがモータ１０で個別に駆動
されるようになっているが、一部又は全部のカセットア
ーム２を相互に連結して、共通のモータで駆動するよう
にしても良い。全部のカセットアーム２を１つのモータ
で駆動する場合は、各カセットアーム２を取付軸１に固
定して該取付軸１を回転自在とし、この取付軸１を上記
モータで駆動するようにすれば良い。

【００１５】また、上記カセット３は、液５の抵抗を小
さくするため空隙の多い骨組み状の構成を有しており、
その内側面の相対する位置には、板状のワークＷを並列
状に収容するための複数組の支持桟１７が形成されてい
る。上記浸漬槽４は、全部のカセットアーム２を浸漬さ
せ得るだけの横方向長さを有し、その上端部外周には、
オーバーフローした液５を受けて回収するための回収溝
１８が形成されている。

【００１６】上記構成を有する収納装置において、前段
の加工装置でワークが加工されているとき、カセットア
ーム２は図１に鎖線で示す上方の第１位置Ａに回動し、
カセット３は浸漬槽４外において横を向いた状態で待機
している。上記ワークの加工が終了すると、各ワークＷ
は、ロボットアーム１４により順次取り出されてカセッ
ト３内に水平に収容される。

【００１７】決められた枚数のワークＷがカセット３内
に収容されると、モータ１０により上記カセットアーム
２が下方に９０度回動して図１に実線で示す第２位置Ｂ
に変移し、カセット３及びワークＷを縦向きの状態で浸
漬槽４内の液５中に徐々に浸漬させる。このとき該カセ
ット３及びワークＷは、カセットアーム２の回動と共に
姿勢を水平から鉛直へと徐々に変えていき、図３に示す
ように液５中に浸漬していく過程では斜めを向いている
ため、液による抵抗力も各ワークＷに斜めに作用するこ
とになる。この結果、従来のようにワークを水平に向け
たまま液中に浸漬させる場合に比べて上向きの抵抗力は
非常に小さくなるため、液の抵抗力によってワークＷが
浮き上るおそれはない。仮に若干浮き上がったとして
も、該ワークＷ及びカセット３は縦向きに近い角度に傾
斜しているため、浮遊して左右に遊動したりカセット３
から飛び出したりすることはない。

【００１８】上記ワークＷを次工程に搬送するときは、
カセットアーム２が上方に９０度回動して第１位置Ａに
変移することによりカセット３が液中から持ち上げら
れ、この第１位置Ａで図示しない搬送手段により該カセ
ット３がカセットアーム２から取り外されて搬送され
る。そして、そのあとに空のカセットが設置されて上記
工程が繰り返される。

【００１９】なお、上記カセットアーム２が第２位置Ｂ
から第１位置Ａに回動して停止するときワークＷにショ
ックが伝わらないように、該カセットアーム２を回動終
端に緩衝的に停止させるための適宜の緩衝手段を設ける
ことが望ましい。この緩衝手段として図１には、カセッ
トアーム２が回動終端で当接する伸縮自在の接触子２１
と、該接触子２１を介して衝撃を吸収する圧縮ばね２２
とを有する緩衝手段２０が示されているが、このような
ものに限定されない。図示したようにカセットアーム２
を駆動する手段がモータ１０である場合には、上述した
ような緩衝手段２０を設ける代わりに、該モータ１０を
徐々に減速することによってカセットアーム２を緩衝的
に停止させるようにしても良い。

【００２０】また、上記実施例ではカセットアーム２を
駆動する手段としてモータ１０を使用しているが、エア
シリンダを使用することもでき。このようにエアシリン
ダを使用した場合には、上述したような緩衝手段２０を
設けるのが有効である。

【００２１】

【発明の効果】このように本発明によれば、カセットを
取り付けたカセットアームを回動させてワークを液中に
浸漬させるという簡単な手段により、液による抵抗力を
軽減して該ワークの浮遊を防止し、該ワークを安定的且
つ確実に液中に浸漬させることがきる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る収納装置の一実施例を示す断面図
である。

【図２】図１をII−II線の方向から見た場合の一部破断
正面図である。

【図３】図１の収納装置の動作途中の断面図である。

【符号の説明】 Ｗ ワーク １ 取付軸 ２ カセットアーム ３ カセット ４ 浸漬槽 ５ 液 １０ モータ Ａ 第１位置 Ｂ 第２位置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】水平な取付軸を中心に鉛直面内を回動自在
   のカセットアームに、ワークを収容するためのカセット
   を取り付け、上記カセットアームをカセットが横を向く
   第１位置に回動させた状態で該カセット内に複数の加工
   済ワークを横向きに収容したあと、上記カセットアーム
   を下方に９０度回動させて第２位置に変移させることに
   より、上記カセット及びワークを縦向きに姿勢変更しな
   がら浸漬槽内の液中に浸漬させることを特徴とする浸漬
   式ワーク収納方法。
2. 【請求項２】水平な取付軸を中心にして鉛直面内を回動
   自在の少なくとも１つのカセットアーム；上記カセット
   アームに取り付けられた、複数のワークを並列状に収容
   するためのカセット；ワークが収容されたカセットを液
   中に浸漬させるための浸漬槽；上記カセットアームを、
   浸漬槽外においてカセットが横を向く、ワークを横向き
   に収容するための第１位置と、上記カセット及びワーク
   が縦向きの姿勢で浸漬槽内の液中に浸漬する第２位置と
   の間を回動させる駆動手段；を有することを特徴とする
   浸漬式ワーク収納装置。
3. 【請求項３】請求項２に記載の収納装置において、複数
   のカセットアームと、これらのカセットアームを個別に
   駆動する複数の駆動手段とを有することを特徴とするも
   の。
4. 【請求項４】請求項２又は３に記載の収納装置におい
   て、上記カセットアームを第１位置に緩衝的に停止させ
   るための緩衝手段を有することを特徴とするもの。