TWI278415B - Substrate-storing container - Google Patents

Description

1278415 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於使用於，由半導體晶圓或罩玻璃等所形 成之基板之、收納、輸送、保管、加工等之基板收納容器 〇 更詳述的說，關於調整基板收納容器之內外氣壓差之 過濾器或基板之支承構造。 【先前技術】 最近在於半導體業界，由於更爲提高生產性起見，開 始使用3 00mm之大直徑尺寸之由矽晶圓、或玻璃晶圓所 形成之基板。此種基板係可以貢獻於晶片尺寸之大型化、 以及提高生產性。惟支承於水平方向或豎立於垂直方向均 具有由自重容易撓曲之特徵’所以被要求須不致破損地收 納於規定之基板收納容器而安全地處理。 此規定之基板收納容器係’例如於第1 7圖（有顯示 一部份）所示，由：整列（整齊的排列）收納複數枚之基 板W之前面開啓式之容器主體1及用於開關該容器主體1 之開口之正面（前面）之不圖示之蓋體、以及關閉此蓋體 時介置於容器主體1與蓋體之間以資封密之封密墊圈所構 成。而如該圖所示地豎立於垂直方向之狀態來處理之情形 也有，惟基本上係以水平狀態地實施各處理。且具有防止 基板W之破損之功能（參照日本專利公報特開平2 0 0 0 — 159288 號）。 1278415 (2) 按基板W乃，關於其從基板收納容器之取出 ，在於生產過程中，係藉由自動機器以水平方向實 。惟在於檢查等特別的過程（製程）係，將容器主 開口之正方，朝向上方，而以豎立於垂直方向狀態 動或自動機器實施（參照第17圖）。此時，蓋體 後，基板W係只由據於下方位置之後保持器8 ( R e t a i n e r )所支承。 基板收納容器之容器主體1係，在其內部兩側 有水平的支承基板W之棚架2。於內部背面設有後 8 (參照第1 8圖）。該後保持器8係支承基板W 周緣，在於載置（loading)基板W時做爲定位基本 載置位置之功能。又在於蓋體之內面裝著有個別的 板W之前部周緣之前保持器。 容器主體1之後保持器8、及蓋體之前保持器 觸於基板W而予以保護之觀點而言，使用比棚架 有柔軟性之材料所形成。與基板W之接觸部以規 隔地並排設置複數之淺的收納溝8 0，各收納溝8 0 成爲，具有斜面之斷面略U字形或略V字形。其 度係設定於比棚架2之基板載置位置爲高之位置（ 18圖），當閉合蓋體而基板W之從棚架2稍微抬 ，用於減少基板W與棚架2之接觸摩擦，由而抑 止由磨耗粉所致之基板W之污染。 此種基板收納容器係除了防止基板W之破損 外，也不會招致基板W之污染之很高之密封性、 或插入 施處理 體1之 ，以手 被拆下 Rear — ，配設 保持器 之後部 反W之 支承基 係以接 2更具 定之間 係被形 中心高 參照第 高之際 制。防 功能之 或在於 -6- (3) 1278415 航空機輸送或底架內之高速輸送等而在於內外間發生壓力 差，由此壓力差而蓋體密著於容器主體1上而其開閉變爲 困難之可能。爲了解消此弊害，先前技術已提案有，除了 容器主體1、蓋體、及封密用墊圈之外，備有以蓋體封密 之容器主體用之內壓調整機構之具有過濾器之基板收納容 器（參照日本專利公報特開平1 1 — 23 3 607號）。 先前之基板收納容器乃具有上述之構成。如有裝設過 濾器時，係在於容器主體1上設置螺紋孔，在該螺紋孔中 螺栓嵌合樹脂製之內壓調整機構才行，所以用於成形容器 主體1之金屬模之構造有複雜化之問題。 詳述之，如果以金屬模來成形容器主體1時，無論如 何均須要離模時之旋轉機構，所以無法簡素化該金屬模之 構造。當然除了此技術之外，亦有人提案，在於容器主體 1上設置卡止爪，在此卡止爪上保持內壓調整機構之技術 ，惟此時也由於無法迴避離模時之讓切部用之滑動機構， 所以也不能迴避金屬模構造之複雜化。 再者，不管任一方法，由於在於容器主體1上嵌合保 持內壓調整機構之關係，在搬送時，在於容器主體1與內 壓調整機構之間發生摩擦、發生磨耗粉、有污染基板W 或污染基板處理用之無塵環境之虞。 再者，先前之基板收納容器乃，如第1 8圖所示，當 從容器主體1拆除蓋體之後，基板W係無法完全地後保 持器8之收納溝8 0內之斜面滑落而停止於中途、或基板 W之載置位置係從正規之位置偏移，由而發生載置之漏失 •Ί - 1278415 (4) 或基板W與取出機器人之基板挾接用手發生碰衝而使基 板W破損之問題。

發生這些問題之原因’可舉出：基板w之直徑大而 容易撓曲爲其原因之一。又可舉出拆下蓋體時’該與基板 W接觸之棚架2之摩擦阻力大’而成爲滑移斜面時之力 係另一原因，加上，近年來不但在於基板 W之表面，於 基板W之背面也做爲顆粒（Particulate )對策之一環而施 予鏡面加工，所以由鏡面與鏡面而使基板W與棚架2之 摩擦阻力之增加更加嚴重。

再者，如果將容器主體1之開口之正面朝向上方，以 使基板W豎立之狀態實施處理時，基板W即形成爲只藉 後保持器8之很淺之收納溝8 0所支承’因此基板W有傾 斜於前、後其中之一方向之傾向。此時，將發生基板w 接觸於棚架2或鄰接之基板W傾倒於不同方向，在於容 器主體1之開口側使基板W與另一基板W接觸而有招致 破損或引起污染之問題。 【發明內容】 本發明係鑑於上述之情形所創作。提供一種可以防止 :隨應於磨耗粉之發生而污染基板、或污染基板處理用之 無塵環境之基板收納容器爲目的。 再者，本發明係提供一種，使棚架之摩擦阻力減低、 抑制基板之摩擦阻力，又以豎立基板實施處理時，可以抑 制基板之傾斜，防止基板與棚架接觸、或基板之互相接觸 -8- 1278415 (5) ，而使基板破損之基板收納容器爲目的。 爲了達成上述目的，本發明乃採取：該容器主體係前 面開啓式箱，而在此容器主體內收容基板之基板收納容器 中，包含有：用於開閉容器主體之正面之蓋體、及安裝於 容器主體及蓋體之至少其中之一方，用於調整由蓋體所封 閉之容器主體之內壓之內壓調整機構所構成爲其特徵。 又其內壓調整機構係由：安裝筒、及將嵌入於該安裝 筒之中空之過濾器保持具、以及保持於此過濾器保持具內 之過濾器而構成爲宜。 又在於容器主體與蓋體之至少其中之一方可以設置安 裝筒用之孔，在該安裝筒孔之近傍可以形成內壓調整機構 用之導向肋。 又由安裝筒之外周面凸出可卡止於安裝孔之凸緣，將 過濾器保持具分割成爲互相面對之一對保持具，且將各保 持具形成爲略筒形狀，而將各保持具之面對部擴展於其寬 度方向做爲過濾器挾持部亦可採用。 又，在於容器主體之內部兩側分別設置基板支承用之 棚架，在於容器主體之內部兩側與棚架之中，至少在於各 棚架之基板接觸領域之一部份，形成了比棚架之非基板接 觸領域而其摩擦阻力小之低摩擦阻力部亦可以。 在於容器主體之內部背面設置基板支承用之溝’而將 該溝之剖面形狀形成爲，對於基板之水平方向之中心線而 非對稱狀。 又使低摩擦阻力部之算術平均粗糙度爲，以平均粗糙 -9 - (6) 1278415 度（Ra)而大於0.2a爲合宜。 本案之申請專利之範圍所述之容器主體乃該開口係由 蓋體所開閉，惟該蓋體上內藏由蓋體之周面出沒複數之卡 止爪等之施鎖用之鎖閂機構亦，可以其他方式亦可以。 基板係包含至少單數、複數枚之半導體晶片或光蝕罩 玻璃等。 內壓調整機構可以安裝於容器主體、或安裝於蓋體、 或分別地安裝於容器主體及蓋體。在該內壓調整機構之安 裝筒之凸緣或過濾器係單數或複數任一種均可用。 過濾器保持具係具有可撓性或彈性或不具有均可用。 又，導向肋係可以形成爲各種之筒形，平面視半圓弧 形C字形、U字形等，此等向肋可設於安裝孔周緣之全部 、或設於一部份。 低摩擦阻力部可設於棚架之全基板接觸領域、或分別 設於容器主體之內部兩側及棚架之基板接觸領域。如在於 容器主體之內部背面設置基板支承用之溝時，在此溝之至 少一部份可以設置低摩擦阻力部。 所謂，算術平均粗糙度（Ra )乃指，從粗糙曲線朝其 平均線之方向抽取基準長度，在此抽取部份之方向以X 軸、縱倍率之方向地，以 Y軸爲y = f ( X )來表示時，以 規定之式所求之値。 依本發明時，在於內壓調整機構之過濾器保持具上保 持過濾器，將此過濾器保持具嵌入於安裝筒，在於容器主 體及/或蓋體上之安裝孔安裝了安裝筒，就不須用螺栓而 -10- 1278415 (7) 在於容器主體及/或蓋體上可以安裝內壓調整機構。 再者’如果，在於棚架之基板接觸領域形成摩擦阻力 少之低摩擦阻力部時，基板不會有停止於保持器之收納溝 之中途之情形。所以可以解消基板之位置脫離正規之位置 、或基板挾接用機器手與基板碰觸（干涉）致使基板破損 等等問題也。 【實施方式】 下面參照附圖，說明本發明之合宜之實施形態。本實 施形態之基板收納容器乃，如第1圖乃至第5圖所示具備 有：整齊地排列地收納複數枚之基板W之容器主體1、及 封密可能地開閉該容器主體1之開口之蓋體3 0、及分別 嵌著於這些容器主體1及蓋體30之設置部10而用於調整 以蓋體30所封閉之容器主體1之內壓之內壓調整機構40 所構成。 該內壓調整機構40乃由具有彈性之安裝筒4 1及嵌入 於此安裝筒內而被保護之過濾器保持具43、以及保持於 此過濾器保持具43內之複數個之過濾器46所構成。 複數枚之基板W乃，如第1圖所示，例如可舉例爲 (25枚、26枚等）之半導體晶圓，更詳細的說，可使用 3 0 0 m m之圓形之晶圓。 容器主體1乃，如第1圖所示例如使用透明之聚碳酸 酯等而形成正面開口之前面開啓式箱型。在互面向之內部 兩側，分別上下方向並行排列地配設複數之棚架2，而互 -11 - 1278415 (8) 相面向之棚架2係以規定之節距水平的支承排列於上下方 向之複數枚之基板W。該容器主體1係在其底部裝卸自如 地裝著有，具有用於區別基板收納容器之種類之貫穿孔之 平面略Y字形之底板3，而在該底板3之前部兩側及後部 ，分別形成剖面呈略V字形之加工裝置用之定位構件4。 又，容器主體1之一側部下方係，如第1圖所示做爲 內壓調整機構用之設置部1 0。在此設置部1 0貫穿鑽孔做 爲圓狀之安裝孔。 容器主體1之天板上，裝卸自如地裝著平面略矩形之 把手5，由此把手5之保持於不圖示之稱謂OHT (架空吊 重輸送機）之自動搬送機構，由而基板收納容器係搬送於 製造過程內。 容器主體1之開口之正面周緣有朝寬度方向外部地成 一體地形成如第1圖所示之蓋體嵌合用之周緣部6，在該 周緣部6之兩側，分別成一體的凸出形成具備有蓋體3 0 用之卡止溝之卡止部7。 又，容器主體1之內部背面，左右並列地設置用於支 承基板W之後部周緣之複數之後保持器8。 在於容器主體1之外部兩側，裝卸自如地分別裝著有 手動運送用之握持把手9。各握持把手9乃在於基板收納 容器中所收納之基板W之處於水平狀態或處於垂直狀態 ，均能使作業員安定地握持容器主體1起見，被形成爲， 具備有略直角之二個握持部之逆L字形、L字形或U字形 等。 -12- 1278415 (9) 蓋體30乃，如第1圖乃至第3圖所示，被形成爲四 角隅被修圓之橫向長之略矩形，在其內面（背面）凸出形 成嵌合於容器主體1之周緣部6之級階部3 1，在此級階 部3 1將裝著，以預定之節距，上下方向水平地整齊排列 地支承複數枚之基板W之具有彈性之前保持器3 2。在此 蓋體3 0之級階部3 1將嵌合無端狀之封密用墊圈3 3。由 此封密用墊圈3 3來確保閉合時之密封性。 蓋體3 0之兩側，分別擺動自如地支承有卡合於容器 主體1之卡止部7之一對卡止片34。 又，蓋體3 0之下側部乃，如第1圖及第2圖所示， 做爲內壓調整機構用之設置部1 〇，在此設置部1 0貫穿鑽 孔形成圓形安裝孔1 1。在此安裝孔1 1之周緣近傍以略半 圓弧形地凸出形成有如第3圖所示之內壓調整機構用之導 向肋12。 再者，容器主體1，底板3，把手5，一對之握持用 把手9，及蓋體3 0乃，例如使用由：聚碳酸酯、聚醚醯 亞胺、聚醚、醚酮、環狀烯烴樹脂等等之熱可塑性樹脂而 成形。 內壓調整機構40乃，如第3圖、第4圖所示，由： 裝卸自如地嵌入於設置部1 0之安裝孔1 1之具有彈性之安 裝筒4 1，及裝卸自如地密嵌（無間隙之嵌合）於此安裝 筒4 1之軸方向，而一部份露出之中空之過濾器保持具4 3 、及保持於此過濾器保持具43內之複數之過濾器（過濾 片）46所構成，而用於抑制防止由於基板收納容器之內 -13- 1278415 (10) 外間之壓力差而蓋體3 0密著於容器主體1致使其開閉變 爲困難者。 安裝筒4 1乃例如使用聚矽氧橡膠等所形成，被形成 爲第4圖下方之開口一端面大，同圖上方之開口另一端面 小之略圓筒形。在其周面成一體地形成並排於軸方向之嵌 合卡止於安裝孔1 1之周緣部用之複數之凸緣42。 過濾器保持具4 3係被形成爲剖面略Τ字形或漏斗形 且具備有，互相面向地接著或熔著之一對保持具44，44Α ，而具有可連通於經密封之基板收納容器之內外之功能。 各保持具44，44Α乃如第4圖所示，被形成爲基本 上細長之略圓筒形。而其端部之面向接觸部係被擴大於其 半徑外方向由而形成備有凹部之過濾器挾持部45。以此 過濾器挾持部45之凹部來密封挾持複數之過濾器（過濾 片）46 〇 安裝筒4 1及過濾器保持具43之材料乃可以使用例如 :聚丙烯、聚乙烯、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸（乙二醇） 酯等之熱可塑性樹脂、殼體用之聚酯系彈性體、聚烯烴系 彈性體、聚乙烯系彈性體等之熱可塑性彈性體、氟橡膠、 EPDM橡膠、丁酯橡膠、腈橡膠、聚矽氧橡膠、聚氨酯橡 膠等。 複數之過濾器（過濾片）46係，如第5圖所示，由 :四氟化乙烯、聚酯纖維、多孔質鐵氟龍（商標名）膜、 玻璃纖維等所成之分子過濾用過濾器、或在於活性碳纖維 等之濾材上擔持了化學吸收劑之化學過濾器所構成。此複 -14- 1278415 (11) 數之過濾器46乃，在於一對之保持具44，44A之過濾器 挾持部之凹部間，以複數之保護構件47所挾持之層疊狀 態地被保護。各保護構件47係與過濾器46同樣，被形成 爲薄的圓板形成且被形成多數之流通孔。 又，複數之過濾器46係雖然可以使用同性能之型式 ，惟以不同性能之型式所形成爲更合宜。例如組合分子過 濾分子型及化學過濾型者，就不但可以防止基板之微顆粒 之污染，同時可以防止有機氣體之污染。 在於上述構成中，欲安裝內壓調整機構4 0時，即首 先，在於一對之保持具44，44A之過濾器挾持部45間， 介著保護構件47層疊複數之過濾器46由而形成過濾器保 持具43。 將此過濾器保持具43，從安裝筒4 1之開口一端面側 而朝向開口另一端面方向地予以密嵌，使保持具44 A之 一部份貫穿凸出，同時在於各設置部1 〇之安裝孔1 1彈性 變形安裝筒4 1地密嵌安裝筒4 1，此後，對於安裝孔1 1 之表背周緣部分別卡止從安裝筒41之外周面展伸而出之 凸緣42，就可以在容器主體1及蓋體3 0上分別簡單的安 裝內壓調整機構40。 依上述構成時，在於容器主體1及蓋體30上設置安 裝孔11，而在於安裝孔Π中將具有簡單構成之安裝筒41 只藉彈性變形而裝卸，就可以完成固定內壓調整機構40 ，所以完全沒有設置加工費時之螺紋孔。用於成形容器主 體1之金屬模之構造不會有複雜化之情形。其他洗淨時， -15- 1278415 (12) 由谷器主體1及蓋體3 0而使內壓調整機構4 〇變形就可以 簡單的可以卸下。而在於洗淨後同樣可以安裝。又在於容 器主體1上完全不需要設置卡止爪，所以離模時之讓切（ under - cut)部迴避用之滑動機構也不需要，可以求出金 屬模構造之簡素化也。 再者’也不需使硬度或剛性高之樹脂互相嚙合，因而 在於搬送時，於容器主體1與內壓調整機構4 〇之間發生 摩擦’發生樹脂粉之情形，由而可以有效的解消基板W 或基板處理用之無塵環境之污染之虞。又安裝筒41係由 具有可撓性之彈性材料所形成，在於與安裝孔1 1之間會 形成封密，所以完全不需要另設0形環等之別的封密件 ’所以可以削減零件件數、及大幅度地提高組裝作業之作 業性。 又，沿著安裝孔1 1之周圍凸出形成導向肋1 2，所以 對於內壓調整機構40不會有使基板收納容器碰接或損害 。並且也可以大大地期待可抑制位置之偏位。又，過濾器 保持具43之周圍乃由安裝筒4 1所被覆保護，可能顯著地 提高其封密性，有效的可以防止空氣之漏洩。 接著，第6圖及第7圖係表示本發明之第2實施形 態。此例，係將安裝筒4 1之開口另一端擴大形成而使過 濾器保持具43容易插入，而由安裝筒41之內周面中央附 近朝半徑內方向地凸出區劃支承片4 8，令此區劃支承片 40支承過濾器保持具43之保持具44。 在於安裝筒4 1之開口另端面之周緣部’以規定之間 -16- 1278415 (13) 隔，而朝半徑內方向凸該用於限制嵌入之過濾器保持具 4 3之脫落之剖面略半圓形之卡止肋條4 9。又區劃支承片 4 8係被形成爲平面環狀，在其中心之貫穿孔之周圍成一 體地形成朝第7圖之下方向延伸之圓筒形之周緣部5 0。 本周緣部50係貫通至過濾器保持具43之保持具44。其 他部份乃與上述實施形態同樣，因此省略其說明。 在本實施形態也可以期待與上述實施形態同樣之作用 效果。並且如對於區劃支承片4 8之周緣部5 0中插入過濾 器保持具4 3之保持具4 4 ’就算是稍傾斜狀地安裝過滤器 保持具4 3時，由於很容易補正位置，顯然可以大大地提 高方便性。 又，過濾器46之周圍係由安裝筒41之區劃支承片 4 8所保護，由而空氣之洩漏很少，可以達成防止基板收 納容器之被污染也。 第8圖乃至第1 6圖係表示本發明之第3實施形態。 本例乃，於支承基板W之側部周緣之複數之棚架2之基 板接觸領域22之至少一部份，形成比棚架2之非基板接 觸領域摩擦阻力小之低摩擦阻力部23，而於支承基板W 之後部周緣之後保持器8上並列地設置複數之收納溝8 0 ，而使各收納溝8 0與翻倒限制構件8 1予以成一體化者。 複數之棚架2係如第8圖乃至第10圖所示，成一體 地形成於容器主體1之內部兩側，以上下方向規定之節距 並行排置而成，由而達成以規定的節距將該上下方向排列 之複數枚之基板W水平地予以支承之功能。 -17- 1278415 (14) 各棚架2乃如第9圖及第1 1圖所示，能對應於基板 W之側部周緣地任意一側部係被形成爲彎曲之略板片，於 前部另一側，沿著基板W之側部周緣地形成防止飛出用 凸起20，將成爲後部之擋止器之側部即形成有用於插入 •拔出基板W時之定位用之斷面略V字形之傾斜面2 1。 防止飛出用凸起20乃被形成爲相當於基板W之厚度之高 度，具體的說形成爲0.3〜0.7 mm之範圍之高度。 各棚架2之前部一側及後部之傾斜面，換言之，基板 接觸領域22之至少一部份（第1 1圖或第12圖之凹入部 份）係被形成爲比棚架2之非基板接觸領域而摩擦阻力小 之低摩擦阻力部23。該低摩擦阻力部23之算術表面粗糙 度乃依照JIS B 060 1 - 200 1測定之情形爲設定於以平均粗 糙度（Ra)爲 0.2a(0.2#m)以上，最好係 0.3a(0.3/z m)〜6.3a (6.3// m)之範圍。 低摩擦阻力部23係對於使用於棚架2之成形之金屬 模上部份地施予梨子皮加工等等縮皴加工（t e X t u r i n g )而 在於成形時將它轉印於棚架2之表面地予以實施。對於金 屬模之縮皺加工乃，藉噴砂、放電加工、鈾刻等實施。 低摩擦阻力部23之算術表面粗糙度之定爲平均粗糙 度（Ra)而大於 0.2a(0.2//m)之理由乃，如果小於 0.2a ( 0.2// m)時與基板W之摩擦阻力維持大之原狀，而 將容器主體1從豎立之縱置狀態變更爲橫置狀態時，基板 W係不能順暢的從後保持器8移動而停止於中途，使基板 偏移，發生無法拾取或招致基板W之破損。 -18- 1278415 (15) 又低摩擦阻力部23之算術表面粗糙度之最好定於以 平均粗糙度（Ra)而在於〇.3a(0.3/zm)乃至6.3a(6.3 // m )之範圍之理由係，由於成形條件或抽氣之狀態而會 左右轉印精度。設於該範圍性就可以圖量產時之安定性之 緣故。 又，平均粗糙度（Ra)超過（大於）6.3a(6.3//m) 時，雖然摩擦阻力尙稱良好，惟在於成形後，從金屬模離 模時，在於棚架2形成之縮皺部份發生損傷、或成爲阻力 而發生不容易從金屬模離模之情形。 各後保持器8係如第9圖、第1 0圖、第1 4圖所示， 與其所互相面向之前保持器3 2同樣，起於個別的接觸於 基板W且保護基板W之觀點，使用比棚架2更爲具有柔 軟性之材料來形成。該與基板W之接觸部係以規定之間 隔，上下方向並設複數之收納溝8 0，在於各收納溝8 0戊 一體地設置用於限制豎立之基板W之翻倒之翻倒限制構 件81。 各收納溝8 0係被形成爲具有斜面之剖面略U字形成 略V字形。又各翻倒限制構件8 1即如第1 5圖所示由從 收納溝8 0之水平方向之中心線而據於一方之位置之垂直 壁8 1、及從中心線而據於另一方位置之傾斜面8 3所形成 由而有將收納溝80之剖面形狀做爲對於基板W之水平方 向之中心線而成爲非對稱之功用。 如上所述之後保持器8，乃當蓋體3 0嵌合閉合容器 主體1之開口之正面時與前保持器3 2 —齊，介著收納溝 -19- 1278415 (16) 8 〇從棚架2掏起基板W之周緣而以翻倒限制構件8 1之中 心部來挾持。相反地，由容器主體1之正面拆下蓋體3 0 時即以翻倒限制構件8 1之傾斜面8 3使基板W之後部周 緣滑移至棚架2。關於其他部份即由於與上述實施形態相 同，因此省略其說明。 依上述構成時，當拆下蓋體3 0時，基板W乃從後保 持器8而滑移至各棚架2，惟由於該棚架2之基板接觸領 域22形成有摩擦阻力小之低摩擦阻力部2 3，所以基板W 不會發生由摩擦力而停止於後保持器8之收納溝80之中 途之情形，所以得於解除，基板W之載置位置之正規之 位置偏移發生載置之誤失、或取出機器人之基板挾接用手 與基板W發生干涉，使基板W破損之問題。 再者，如第16圖所示，將容器主體1之開口正面朝 向上方，以基板W豎立狀態實施處理時，由於後保持器8 之形成淺收納溝80之翻倒限制構件8 1之形狀係被形成爲 對於基板W之水平方向之中心線而呈顯非對稱狀，所以 可以將複數枚之基板W全部傾斜於同一方向。因而可以 排除：基板收納容器W之接觸於棚架2，鄰接之基板W 倒向於不同之方向、或在於容器主體1之開口側而相鄰之 基板W互相接觸招致破損或污染之虞。 再者，在於上述實施例2係舉例爲，於棚架2之前部 一側與後部之傾斜面2 1分別地形成了低摩擦阻力部23。 惟並不侷限於此構成，形成於棚架2或連續於此棚架2之 容器主體1之內部兩側也可以。或在於後保持器8之收納 -20- 1278415 (17) 溝80之一部份或全部形成低摩擦阻力部23亦可行。 下面說明本發明之基板收納容器之實施例及比較例。 實施例 使用聚碳酸酯射出成形如第8圖所示之基板收納容器 之容器主體，在此容器主體之各棚架，以縮鈹加工而在此 容器主體之各棚架形成了表面粗糙度爲平均粗糙度（Ra) 爲〇.3a ( 0.3// m)之低摩擦阻力部。表面粗糙度係使用探 針接觸方式之表面粗糙計（三豐製型式商品名 SAFU TE S T 5 0 1 )來測定，在棚架上支承基板（3 〇 〇 0 mm 之晶 圓（矽晶圓））。而以全尺範範50N之推拉計（AEKO Enginering公司製，商品名AWF— 50)來測定將此晶圓移 動於水平方向時之摩擦阻力。測定結果彙集於表1。此測 定係從下層而以第1層、第5層、第10層、第15層、第 20層、第25層之大處來測定，算出其平均値。 比較例 使用聚碳酸酯，射出成形如第8圖所示之容器主體， 在此容器主體之各棚架上不施予縮皺加工，而將棚架之表 面粗糙度做爲平均粗糙度以（Ra )爲小於〇. 1 a ( 〇 · 1 // m )° 並且在於棚體支承0 3 00mm之晶圓。而以全規格 50N之推拉計（AEKO Enginering公司製商品名AWF— 50 )來測定，其結果彙集於表1。其他部份即採取與實施例 -21 - 1278415 (18) 相同。 表1 表面粗糙度 棚架與晶圓之摩擦 阻力値N R a ( // m) 平均値 最大値 最小値 實施例 0.3a 0.19 0.25 0.15 比較例 0.1a 1.28 1.96 0.49 由表1可以了解，實施例之棚架與晶圓之摩擦阻力係 降低到1 /6，又證實了晶圓之從後保持器是收納溝而圓滑 (順暢）地滑移到棚架之情形。 產業上之利用可能性 依本發明乃具有有效的防止，隨伴於磨耗粉之發生所 致之對於基板或基板處理用之無塵環境之污染之效果。 又，具有使棚架之摩擦阻力變小由而可以抑制基板之 破損之效果。 再者’在於豎立基板實施處理時，可以有效的防止基 板之傾斜，避免基板與棚架之接觸、或基板與基板互相接 觸而導致破損之情形。 【圖式簡單說明】 第1圖表示本發明之基板收納容器之實施形態之分解 斜視說明圖。 -22- 1278415 (19) 第2圖表示本發明之基板收納容器之實施形態之蓋體 之模式說明圖。 第3圖係第2圖之要部斜視說明圖。 第4圖表示本發明之基板收納容器之實施形態之內壓 調整機構之剖面說明圖。 第5圖表示本發明之基板收納容器之實施形態之過濾 器等之斜視說明圖。 第6圖表示本發明之基板收納容器之第2實施形態之 分解說明圖。 第7圖表示本發明之基板收納容器之第2實施形態之 內壓調整機構之剖面說明圖。 第8圖表示本發明之基板收納容器之第3實施形態 之分解斜視說明圖。 第9圖·表示第8圖之橫斷面說明圖。 第10圖表示第8圖之縱斷面說明圖。 第1 1圖表示本發明之基板收納容器之第3實施形態 之棚架之平面圖。 第1 2圖表示本發明之基板收納容器之第3實施形態 之棚架之正面圖。 第1 3圖表示本發明之基板收納容器之第3實施形態 之棚架之部份剖面說明圖。 第1 4圖表示本發明之基板收納容器之第3實施形態 之扣件之支承基板之狀態之模式說明圖。 第1 5圖表示本發明之基板收納容器之第3實施形態 -23- 1278415 (20) 之從容器主體拆下蓋體，而於棚架支承基板狀態之模式說 明圖。 第1 6圖表示本發明之基板收納容器之第3實施形態 之將容器朝上方向之狀態之模式說明圖。 第1 7圖表示使先前技術之基板收納容器豎立，以使 基板豎立狀態來處理之剖面說明圖。 第1 8圖表示使先前技術之基板收納容器之棚架而將 基板水平狀地支承之狀態之剖份剖面說明圖。 元件對照表 1 :容器主體 2 :棚架 3 :底板 4 :定位構件 5 :把手 6 :周緣部 7 :卡止部 8 :後保持器 9 :握持把手 1 〇 :設置部 1 1 :安裝孔 12 :導向肋 20 :防止飛出用凸起 21 :傾斜面 -24- 1278415 (21) 22 :基本接觸領域 23 :低摩擦阻力部 3 0 :蓋部 3 1 :級階部 32 :前保持器 33 :墊圈 34 :卡止片

40 :內壓調整機構 41 :安裝筒 42 :凸緣 43 :過濾器保持具 4 4，4 4 A :保持具 45 :過濾器挾持具 4 6 :過濾器

47 :保護構件 4 8 :區劃支承片 4 9 :卡止肋條 5 0 :周緣部 8 0 :收納溝 8 1 :翻倒限制構件 82 :垂直壁 8 3 :傾斜面 W :基板 -25-

Claims (1)

1278415 (1) 拾、申請專利範圍 1 . 一種基板收納容器，係以前開式箱體作爲容器體 ’在此容器主體內收容基板之基板收納容器，其特徵爲： 包含：用於開關容器主體正面之蓋體，及 安裝於容器主體及蓋體之至少其中一方，調整蓋體所 封閉容器主體之內壓之內壓調整機構。 2.如申請專利範圍第1項所述之基板收納容器，其 中內壓調整機構，係由··安裝筒；及將嵌入該安裝筒之中 空過濾器保持具；及保持於此過濾器保持具內之過濾器所 構成。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之基板收納容器，其 中在容器主體與蓋體之至少其中一方設置安裝筒用之安裝 孔，在該安裝孔附近形成內壓調整機構用之導向肋。 4 ·如申請專利範圍第2項所述之基板收納容器，其 中在容器主體與蓋體之至少其中一方設置安裝筒用之安裝 孔，在該安裝孔附近形成內壓調整機構用之導向助。 5 ·如申請專利範圍第3項所述之基板收納容器，其 中由安裝筒外周面突出可卡止安裝孔之凸緣，將過濾器保 持具分割成互相面對的一對保持具，並將各保持具形成大 致筒形狀，而將各保持具之面對部朝其寬度方向擴張形成 過濾器挾持部。 6 ·如申請專利範圍第4項所述之基板收納容器，其 中由安裝筒外周面突出可卡止安裝孔之凸緣，將過濾器保 持具分割成互相面對的一對保持具，並將各保持具形成大 -26- 1278415 (2) 致筒形狀，而將各保持具之面對部朝其寬度方向擴張形成 過濾器挾持部。 7. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述之 基板收納容器’其中在容器主體之內部兩側分別設置基板 支承用棚架，在容器主體內部兩側與棚架之中，至少各棚 架之基板接觸領域之一部份’形成摩擦阻力’較棚架之非 基板接觸領域小的低摩擦阻力部。 8. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述之 基板收納容器，其中在容器主體之內部背面設置基板支承 用溝，將溝之剖面形狀相對於基板之水平方向中心線而成 非對稱狀。 9. 如申請專利範圍第7項所述之基板收納容器，其 中在容器主體之內部背面設置基板支承用溝’將溝之剖面 形狀相對於基板之水平方向中心線形成非對稱狀。 10. 如申請專利範圍第7項所述之基板收納容器，其 中低摩擦阻力部之算術平均粗糙度以平均粗糙度（Ra )大 於 0 · 2 a 〇 11. 如申請專利範圍第8項所述之基板收納容器’其 中低摩擦阻力部之算術平均粗糙度以平均粗糙度（Ra )大 於 0.2a。 12. 如申請專利範圍第9項所述之基板收納容器’其 中低摩擦阻力部之算術平均粗糙度以平均粗糙度（Ra )大 於 0 · 2 a ° -27-