1277460 τ (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種對基材塗敷塗敷液的塗工用模頭、 塗工裝置、塗工用模頭之製造方法。 【先前技術】 以往，在液晶用彩色濾光器的製造步驟中，對於玻璃 基板等的基材，用以形成r、g、b各色的層或形成表面 鲁 保護層及柱材的形成，而塗敷液狀的光阻。上述的光阻之 塗敷由於需要高精確度塗敷，因此使用一般在基材表面供 給過剩量的液滴，高速旋轉基材使液滴薄薄地均勻展開之 旋塗方式。但是，在該方法中，由於所供給的光阻大半飛 散至周圍，因此光阻的消耗量變多，造成價格變高的問 題。 因此，考慮以從塗工用模頭對基材塗敷塗敷液之方法 取代上述方法。 _ 然而，從塗工用模頭塗敷塗敷液的方法中，將產生在 塗敷液中延伸至基材的移動方向之紋路或延伸至基材的橫 向之不均。 【發明內容】 本發明係考慮上述問題點而硏創者，目的在於提供一 種可進行液晶用彩色濾光片在製造時所要求的高精確度塗 敷之塗工用模頭、塗工裝置、塗工用模頭之製造方法。 -5- 1277460 f 1 (2) 在本發明者等硏究檢討在使用模頭的塗敷時 定的結果，發現藉由使與模頭之前端側面之塗敷 接觸角大於與唇面之塗敷液相對的接觸角，可將 外部的塗敷液距離模頭之點保持在前端側面與唇 線之邊緣部，以達成本發明。 本發明係具有對於基材吐出塗敷液之塗工用 特徵在於具備有：位於基材側的前端且與細縫相 形成的唇面；與唇面相對傾斜的前端側面；前端 面以前端側面之塗敷液相對的接觸角大於與唇面 相對的接觸角之方式構成。 本發明之塗工用模頭係前端側面與唇面以與 之塗敷液相對的接觸角大於與唇面的塗敷液相對 5度以上之方式構成。 本發明之塗工用模頭係前端側面的表面材質 表面材質彼此不同。 本發明之塗工用模頭係前端側面的表面粗糙 的表面粗糙度彼此不同。 本發明之塗工用模頭係在前端側面與唇面之 界線，該邊界線的筆直度及與細縫相對的平行度 // m/m，在前端側面與唇面之邊界區域上與塗敷 接觸角大的區域及小的區域之間設有接觸角邊界 觸角邊界線與前端側面及唇部的邊界線接設爲5 下。 本發明之塗工裝置，其特徵在於具備有：對 軸珠之穩 液相對的 軸珠之最 面的邊界 模頭，其 對垂直而 側面與唇 的塗敷液 前端側面 的接觸角 與唇面的 度與唇面 間設有邊 皆低於5 液相對之 線，該接 // m/m 以 於基材吐 -6- 1277460 彳、(3) 出塗敷液之塗工用模頭塗工用模頭，該塗工用模頭係具 有：位於基材側的前端且與細縫相對垂直而形成的唇面； 與唇面相對傾斜的前端側面；前端側面與唇面以前端側面 之塗敷液相對的接觸角大於與唇面的塗敷液相對的接觸角 之方式構成，以及以塗工用模頭所吐出的塗敷液塗敷在基 材表面之方式’在塗工用模頭的前端接近基材的狀態下使 塗工用模頭與基材相對移動之手段。 根據本構成，可使塗敷時的軸珠穩定，防止在塗敷時 產生條紋或段差。因此，藉由將本發明之模頭用於液晶用 彩色瀘光片之製造的抗蝕劑塗敷，可進行液晶用彩色濾光 片所要求的高精確度塗敷，且省略習知所進行的旋塗步 驟，謀求降低成本。 本發明之塗工用模頭，係具有對於基材吐出塗敷液之 塗工用模頭，其特徵在於具備有：位於基材側的前端且與 細縫相對垂直而形成的唇面；與唇面相對傾斜的前端側 面，唇面的表面粗糙度設爲Rmax0.3以下。 本發明之塗工用模頭，係在唇面的表面進行鏡面硏磨 加工。 本發明之塗工用模頭，係在唇面的表面進行電解硏磨 修整硏磨加工作爲鏡面硏磨加工。 又，根據本發明，提供一種藉著使唇部的表面粗細度 變小，使與唇部的塗敷液相對的接觸角之局部變化變小， 使塗敷液容易在塗敷寬度方向移動，可縮短軸珠的形成時 間。因而，藉由應用於液晶用彩色濾光片製造時的抗鈾劑 •Ί · 1277460 ,，(4) 塗敷’可極力縮短抑制塗工開始端部之膜厚不良區域 進行如液晶用彩色濾光片製造時所要求的高精確度塗 塗工用模頭。 本發明之塗工用模頭，係前端側面與唇面以與前 面之塗敷液相對的接觸角大於與唇面的塗敷液相對的 角之方式構成。 又，根據本發明，提供一種軸珠的最外部之塗敷 離模頭的點可保持在前端側面與唇部的邊界線之邊緣 因而，藉由應用在液晶用彩色濾光片製造時之抗蝕 敷，可將塗敷厚度的不均抑制在極小，且進行液晶用 濾光片製造時所要求的高精確度塗敷之塗工用模頭。 本發明之塗工用模頭，係前端側面進行含有1至 的氟樹脂之無電解鎳電鍍。 本發明之塗工用模頭，係前端側面的表面粗糙度 面的表面粗糙度彼此不同。 根據本發明，提供一種軸珠的最外部之塗敷液距 頭的點可保持在前端側面與唇部的邊界線之邊緣部 而，藉由應用在液晶用彩色濾光片製造時之抗蝕劑塗 可將塗敷厚度的不均抑制在極小，且進行液晶用彩色 片製造時所要求的高精確度塗敷之塗工用模頭。 本發明之塗工用模頭，係在前端側面與唇面之間 邊界線，該邊界線的筆直度及與細縫相對的平行度皆 2 // m/m 〇 根據本發明，提供一種藉由應用在液晶用彩色濾 ，且 敷之 端側 接觸 液距 部。 劑塗 彩色 10% 與唇 離模 。因 敷， 濾光 設有 低於 光片 -8- 1277460 (5) 製造時之抗蝕劑塗敷，在可將塗工開始端部之膜厚不良區 域抑制在極短之同時，極力縮小抑制塗敷厚度的不均，且 進行液晶用彩色濾光片製造時所要求的高精確度塗敷之塗 工用模頭。
本發明之塗工用模頭，在前端側面與唇面之邊界區域 上與塗敷液相對之接觸角大的區域及小的區域之間設有接 觸角邊界線，該接觸角邊界線與前端側面及唇部的邊界線 設爲2 // m/m以下。 根據本發明，提供一種藉由應用在液晶用彩色濾光片 製造時之抗蝕劑塗敷，可極力縮小抑制塗敷厚度的不均， 且進行液晶用彩色濾光片製造時所要求的高精確度塗敷之 塗工用模頭。 本發明之塗工裝置，其特徵在於具備有：對於基材吐 出塗敷液之塗工用模頭，該塗工用模頭係具有：位於基材 側的前端且與細縫相對垂直而形成的唇面；與唇面相對傾 斜的前端側面，唇面的表面粗糙度設爲Rmax0.3以下；以 及以塗工用模頭所吐出的塗敷液塗敷在基材表面之方式， 在塗工用模頭的前端接近基材的狀態下使塗工用模頭與基 材相對移動之手段。 根據本發明，提供一種藉由應用在液晶用彩色濾光片 ' 製造時之抗蝕劑塗敷，在可將塗工開始端部之膜厚不良區 域抑制在極短之同時，極力縮小抑制塗敷厚度的不均，且 進行液晶用彩色濾光片製造時所要求的高精確度塗敷之塗 工裝置。 -9- 1277460 ' (6) 本發明之塗工用模頭之製造方法，其特徵在於，係具 有對於基材吐出塗敷液之塗工用模頭，該塗工用模,頭係具 有：位於基材側的前端且與細縫相對垂直而形成的唇面； 與唇面相對傾斜的前端側面，唇面的表面粗糙度設爲 Rmax0.3以下，在唇面的表面進行鏡面硏磨力卩工。 根據本發明，提供一種藉著使唇部的表面粗細度變 小’使與唇部的塗敷液相對的接觸角之局部變化變小，使 塗敷液容易在塗敷寬度方向移動，可縮短軸珠的形成時 間。因而，藉由應用於液晶用彩色濾光片製造時的抗蝕劑 塗敷，可極力縮短抑制塗工開始端部之膜厚不良區域，且 進行如液晶用彩色濾光片製造時所要求的高精確度塗敷之 塗工用模頭之製造方法。 此外，本發明之塗工用模頭及塗工裝置，當然亦可使 用在液晶彩色濾光片製造用以外的塗敷。 【實施方式】 [用以實施發明之最佳實施形態] [發明之第1實施形態] 本發明之塗工用模頭的基板形態係形成所謂與模頭的 前端側面之塗敷液相對的接觸角大於唇面（亦稱爲唇部）之 塗敷液相對的接觸角之構成。 藉由該構成，使進行塗敷之唇部與基材之間所形成的 軸珠穩定，可進行高速精確度塗敷。在此，與模頭的前端 側面之塗敷液相對的接觸角及與唇部的塗敷液相對的接觸 -10- 1277460 (7) 角之差小及使軸珠穩定之效果變小，因此以高於5度以上 最佳。又，若該差愈大則軸珠的穩定效果愈大，則可對應 塗敷速度增大等的塗敷條件之情況，因此以設定爲較大爲 佳，具體而言，以設定爲1 0度以上最理想，更以設定爲 20度以上最爲理想。 使與模頭的前端側面之塗敷液相對的接觸角大於與唇 部的塗敷液相對的接觸角的手段，係在前端側面與唇部中 任一方或在雙方的表面上進行電鍍、覆蓋等的表面處理， 或是製造前端側面與唇部作爲其他零件，舉出上述前端側 面的表面材質與唇部的表面材質彼此互異。又，上述前端 側面的表面粗糙度與唇部的表面粗糙度彼此互異甚爲有 效。再者，亦可組合上述手段。 本發明之模頭係如上所述，使與模頭的前端側面之塗 敷液相對的接觸角大於與唇部的塗敷液相對的接觸角，軸 珠的最外部之液體從模頭分離之點保持在前端側面與唇部 i 的邊界上。該邊界線的真#度及與細縫相對的平行度對於 塗敷不勻的抑制來說甚爲重要，在期望如彩色濾光片之高 精確度塗敷時，期望極力縮小該筆直度及平行度，具體而 言，以設爲rnjljl下較佳。再者，微觀上述前端側面與 唇部之邊界區域，前端側面及/或唇部係不一定至上述邊 界線爲止形成固定的接觸角。 例如，在前端側面進行覆蓋而增大接觸角時，例如在 唇部施加遮罩僅在前端側面進行覆蓋，在覆蓋所形成的表 面層之端緣不一定與上述邊界線一致，依據場情況不同而 -11 - 1277460 1 (8) 不會到達上述邊界線，或超越邊界線。 因此，當接觸角大的區域與小的區域之間的接觸角邊 界線具有上述前端側面與唇部之邊界線不一致之情況。當 該差大時，成爲塗敷不勻的原因。因此，如彩色濾光器製 造般期望高精確度的情況，接觸角大的區域與小的區域之 間的接觸角邊界線、前端側面與唇部的邊界線之偏移以極 小較理想，具體而言，以低於5 // m/m以下較佳。 本發明之塗工裝置係具備有：上述構成之塗工用模 頭；將該塗敷用模頭所吐出的塗敷液塗敷在基材表面，俾 使將上述塗敷用模頭之前端與上述基材鄰接的狀態下，使 上述塗工用模頭與基材相對移動之手段之構成，根據該構 、、 成，基材進行高精確度塗敷。 U 本發明之塗工用模頭及塗工裝置由於可進行高精確度 塗敷，因此在液晶彩色濾光片的製造步驟中，對於玻璃等 的基材塗敷液狀的抗蝕劑，用以形成R、G、B的各色之 層或表面保護層及柱材的形成，不需施加旋塗步驟，可進 行所期望的精確度之塗敷。此外，當然亦可使用在該用途 以外的塗敷。 以下，參照圖面，說明本發明之最佳實施形態。第1 圖係本發明一實施形態之塗工用模頭1 2的槪略斜視圖及 其一部份之放大剖面圖。第2圖係放大該模頭1 2之前端 部的槪略斜視圖。該模頭12係與習知之情況相同，具 有：吐出用以塗敷的塗敷液之細縫1 2a、在其前端兩側與 該細縫1 2 a大致形成直角之唇面（唇部）1 2 b、位於其外側 -12- 1277460 • (9) 位置並與唇部1 2b相對而傾斜的前端側面1 2c。該模頭i 2 之全體係以不銹鋼形成。 ，
. ' "N 唇面（唇部）12b的寬度d —般係設定在(1 右。又，唇部12b係以露出模頭12的母材之形態，使表 面在RmaxO.l至0.4左右。另外，前端側面12c係將母材 表面完成在Rmax 0.1至0.4左右之後，於其上電鍍或覆蓋 與塗敷液相對濕潤性差的材料，以形成表面層13。因 而，前端側面1 2C係形成與塗敷液相對濕潤性差（接觸角 大）的表面。 在此，表面層1 3的形成係可列舉：混合無電解鎳電 鍍、氟樹脂之無電解鎳電鍍、氟樹脂覆蓋等之表面處理。 表面層1 3的材質選定以與塗敷液相對的接觸角大於與唇 部1 2b的塗敷液相對的接觸角之方式，例如以大於5度的 方式，又以大於1 〇度以上，更以大於20度以上的方式選 定最爲理想。 更具體而言，使用液晶用彩色濾光片製造時所使用的 液狀抗蝕劑時，由於與唇部1 2 .b的塗敷液相對之接觸角爲 7至1 〇度左右，因此以無電解鎳電鍍形成表面層1 3時， 使接觸角成爲20度左右，可確保10度以上之差。又，以 氟樹脂覆蓋形成表面層13時，接觸角成爲50度左右，可 確保40度以上之差。此外，單獨覆蓋氟樹脂與進行無電 解鎳電鍍相比時，接觸角變大而耐久性的點較差，但藉著 在無電解鎳電鍍混入氟樹脂，與無電解鎳電鍍相比接觸角 大，且耐久性與氟樹脂覆蓋相比可提昇。因而，鎳與氟樹 -13- 1277460 (10) 脂之混合比例因應所期望的特性適當做選擇亦可。 面層1 3的區域係至少在塗敷時塗敷液有回流之 域。 r 如第2圖所示，在前端側面12 c所形成的表 係正確形成在唇部1 2 b與前端側面1 2 c之邊界線上 位置。再者，唇部1 2 b與前端側面1 2 c之表面層 界線1 4在形成直線狀之同時，其邊界線1 4的筆直 細縫1 2 a相對的平行度皆以成爲5 // m/m以下的 作。 在此，正確形成表面層13在與唇部丨2b與前 1 2 c之邊界線上一致的位置，且邊界線1 4的筆直 細縫1 2a相對的平行度設爲5 // m/m以下時，如第 所示，不僅在模頭12的前端側面12c上，亦可 鍍、覆蓋等在唇部12b上形成表面層13，然後， 圖（b)所示，硏磨唇部12b除去該部分之表面層1: 邊界線1 4成爲所期望的筆直度、平行度亦可。 使用該模頭1 2進行塗敷時，如第4圖所示， 台（未圖不）所保持的基材1的表面近接配置模gj 前端，使基材1與模頭12 —邊相對移動，一邊從 出塗敷液，在唇部1 2b與基材1之間形成軸珠3， 珠3的塗敷液塗敷在基材1的表面。 在此，由於使模頭1 2的前端側面1 2 c比軸珠 觸的唇部1 2b與塗敷液相對的接觸角大，因而導致 液相對之濕潤性變差，因此在進行塗工時，軸珠3 形成表 虞的區 面層13 .一致的 13之邊 :度及與 方式製 ‘端側面 :度及與 3 圖（a) 藉由電 如第3 3，且使 在卡盤 雪12之 :模頭吐 將該軸 3所接 :與塗敷 的最外 -14- 1277460 (11) 部之塗敷液距離模頭之點A、B係保持 部12b與濕潤性較差的前端側面12c 5 部，大致上不變動。因此，在塗工中， 材1上所形成的塗敷層4不致產生如習 〆— 可形成厚度不均極小（例如厚度爲ί ± 3 i 此，藉由將該模頭1 2用於液晶用彩色 蝕劑塗敷，可進行液晶用彩色濾光片所 Γ----------) (例如厚度不均之厚度低於3 p下）之 所進行的旋塗步驟。 》^ 此外，在上述實施形態中，以唇部 面，在模頭1 2的前端側面1 2 c形成與 差（接觸角大）的表面層13，雖接觸角大 本發明並不限定於此，亦可在唇部12b 料之表面層，將前端側面1 2 c設爲母材 1 2 b形成濕潤性佳的材料之表面層，在丨 形成濕潤性差的材料之表面層等的變更 再者’變更唇部1 2 b及前端側面1 : 係不限於電鍍、覆蓋等的表面處理，可 如，第5圖所示的模頭1 2 A係以其他 部1 2b的部分1 6與形成前端側面〗2 ^ ^ 材料。又，第6圖所示的模頭1 2 B雖 體，但加大唇部12b的表面粗糙度且與 潤（接觸角縮小），縮小前端側面1 2c的 敷液相對濕潤性差（接觸角大）。根據上 在濕潤性最佳的唇 :邊界線1 4的邊緣 軸珠3穩定，在基 知的條紋或段差， 又下）的塗敷層。因 濾光片之製造的抗 要求的塗敷精確度 塗工，可省略習知 1 2 b做爲母材的表 塗敷液相對濕潤性 於唇部12b，但是 形成濕潤性佳的材 的表面，或在唇部 前端側面i2c進行 〇 2 C的接觸角之方法 進行適當變更。例 構件形成：形成唇 1勺部分17，改變其 以相同材料構成全 塗敷液相對容易濕 表面粗糙度，與塗 述構成，使前端側 -15- 1277460 (12) 面1 2c的接觸角大於唇部的接觸角。此外，採用適當組合 在變更唇部12b及前端側面12c的接觸角時，使唇部12b 及前端側面1 2c的表面材質不同時，使表面粗糙度不同的 方法。 又，在前端側面1 2 c與唇部1 2 b的邊界區域上，雖在 與塗敷液相對的接觸角大的區域與小的區域之間產生接觸 角邊界線14a，但該接觸角邊界線14a係以接近前端側面 12c與唇部12b之邊界線14較佳，期望兩者皆成爲m 以下（第4圖）。 繼而，根據第7圖至第9圖說明本發明之比較例。 如第7圖所示，將基材保持在卡盤台5，在該基材1 的表面鄰接配置具有一般構造的唇部與前端側面之塗工用 模頭2的前端。然後，使基材1與模頭2相對移動，且從 模頭2吐出液狀的抗蝕劑，在基材表面塗敷抗鈾劑形成塗 敷層4。然後，高速旋轉基材1且使塗敷層4的厚度均 勻。在此，在基材1塗敷抗蝕劑之後，高速旋轉基材1使 膜厚均一化的原因在於，在藉由模頭2的塗敷中，如下所 述，在塗敷層4將產生條紋4a或段差4b，無法將塗敷厚 的不均抑制在容許範圍內。然而，在該方法中’由於需要 藉由模頭塗敷的步驟、及之後的旋塗步驟兩個步驟’將使 成本變高。 繼而，說明藉由模頭2進行塗敷的塗敷厚度之不均的 產生原因。模頭2係如第8圖所示，係具有：吐出用以 塗敷之抗蝕劑（所謂塗敷液）之細縫2a、在其前端側於該細 -16- 1277460 (13) 縫大致形成直角的唇部2b、位於其外側的位置與唇部2b 相對而傾斜的前端側面2 c，在塗敷時，在唇部2 b與基材 1之間形成塗敷液的滯留（軸珠）3，該軸珠3的塗敷液塗敷 在基材1的表面。在塗敷中，使該軸珠3穩定，保持固定 的形狀，亦即軸珠3的最外部之塗敷液距離模頭2之點 A、B未保持在模頭2的邊緣部，如箭頭C所示，從唇部 2b回到前端側面2c，在前端側面2c上移動，如箭頭D所 示，多在唇部2b移動，使軸珠3不穩定地移動。繼而， 當點A、B的移動在模頭2的寬度方向局部產生時，產生 在延伸在基材的移動方向之條紋4a(參照第7圖），在全部 寬度全體性產生時，產生延伸在基材的橫方向之段差 4b ° 因此，將軸珠3的最外部之液體距離模頭2之點A、 B保持在固定位置，使軸珠3穩定，如第9圖所示，考慮 在唇部2b的外側端部形成銳角狀的邊緣2d之模頭2A。 但是，上述構成的模頭2A與第7圖所示的模頭2相比， 雖可將軸珠3穩定在某程度，但無法充分控制軸珠3的最 外部之塗敷液距離模頭2的點A、B之不穩定移動，因 此，多少減低條紋或段差些許程度，但是亦無法進行在液 晶用彩色濾光器製造時所要求的高精確度塗敷。 相對於此，根據本申請案，在塗工中可穩定維持軸珠 3，在基材1上所形成的塗敷層4不會產生條紋或段差。 [具體的實施例] -17- 1277460 (14) 繼而，說明本發明之具體實施例。 (1) 使用模頭12模頭 模頭12的材質：不銹鋼 唇部12b的材質：寬度5 00 // m 表面母材（不銹鋼） 表面粗糙度Rmax0.4 與下述的塗敷液相對之接觸角 約1 5度 唇部12b與前端側面12c之邊界的筆直度：5〆 以下 (2) 使用塗敷液
有機溶劑系彩色抗蝕劑 粘度：5cP 表面張力：25達因/cm (3) 塗敷條件 如第4圖所示，向下配置模頭12，以80mm/秒的速 度水平移動其下方的基材1，塗敷塗敷液約1 〇 # m左右的 厚度。 (4) 結果 在塗敷結束之後，目視檢查所形成的塗敷層時，無法 看到條紋或段差。使該塗敷層乾燥之後，測定厚度時，厚 度爲1 · 5 // m，塗敷厚度的不均爲± 2 %以下。因而，所獲 得的塗敷層在彩色濾光片所要求的厚度不均之允許範圍 內’因而，如習知所示’不進行旋塗而可用於彩色濾光 片0 -18- 1277460 (15) 如以上所述，本發明之塗工用模頭係藉由使與模頭之 前端側面之塗敷液相對的接觸角大於與唇部的塗敷液相對 的接觸角，在塗敷動作中使軸珠最外部的塗敷液距離模頭 之點保持在前端側面與唇部之邊界線，可使軸珠穩定。因 此，具有可防止塗敷層產生紋路或段差，可將厚度不均抑 制爲極小之效果。然後，由於本發明之模頭可進行高速之 高精確度塗敷，因此藉由將此應用在液晶用彩色濾光片的 製造之抗蝕劑的塗敷，可省略習知進行的旋塗步驟，可獲 得所謂謀求成本降低之效果。 [發明之第2實施形態] 以下，參照圖面詳細說明本發明之實施形態。 第1 〇圖係應用本發明一實施形態之塗工用模頭1 0 1 的槪略斜視圖及其一部份之放大剖面圖。第1 1圖係放大 該模頭1 〇 1之前端部的槪略斜視圖。 該實施形態之模頭1 0 1係具有：吐出用以塗敷的塗敷 液之細縫1 11、在其前端兩側與上述細縫1 1大致形成直 角之唇面（唇部）1 1 2、位於其外側位置且與唇部1 1 2相對 而傾斜的前端側面1 1 3。該模頭1 0 1係全體由不銹鋼所形 成。唇部112的寬度d —般係設定在〆0.1mm至1.0 mm)左 右。 又，唇部1 1 2係以露出模頭1 0 1的母材之狀態，以 ELID硏磨加工作爲表面的硏磨方法，完成表面粗糙度 Rmax0.05左右。在此，表面粗糙度Rmax以JISB060 1爲 -19- 1277460 (16) 依據，定義爲對象面全域之最大高度，此外，該測定方法 係設爲JISB060 1所依1據的蝕針式測定方法。 在此，表面粗糙度Rmax0.05係表示最大高度0.05// m。此外，JISB0601 係與 IS0486-1982、 IS03276-1975、 IS04287-1-1984、 IS04287/2-1984 以及 IS04288-1985 對 應。 另外，前端側面1 1 3係於其上與塗敷液相對電鍍或覆 蓋濕潤性差的材料以形成表面層1 1 4。因而，前端側面 1 1 3形成與塗敷液相對濕潤性差（接觸角大）的表面。在 此，表面層1 1 4的形成係進行含有氟樹脂1至1 0 %的無電 解鎳電鍍處理。 使用液晶用彩色濾光片的製造所使用的液狀抗蝕劑作 爲塗敷液時，與唇部1 1 2的塗敷液相對之接觸角爲7至 1〇度左右，在形成表面層114時施加含有氟樹脂1至 10%的無電解鎳電鍍處理時，接觸角成爲55度左右，可 確保40度以上的差。若氟樹脂的含有率在；[〇%以內，則 與母材之硬度（洛氏硬度HRC4 5 - 5 5 )相同程度，可維持唇 部1 1 2的表面之耐磨耗性。此外，當氟樹脂的含有率少於 1 %時，與唇部1 1 2的塗敷液相對之接觸角變小。又，當 氟樹脂的含有率多於1 0%時，無法維持唇部1 1 2的表面之 耐磨耗性。此外，形成表面層1 1 4之區域亦可設爲至少在 塗敷時塗敷液回流的某區域。 如第1 1圖所示，使形成於前端側面1 1 3之表面層 1 1 4正確形成於唇部1 1 2與表面層1 1 4之邊界線n 5 一致 -20- 1277460 (17) 的位置。再者’唇部1 1 2與前端側面1 1 3之表面層1 i 4之 邊界線11 5在形成直線狀之同時，與該邊界線丨〗5的筆直 度及細縫1 1 1相封的平行度皆以成爲2 // m/m以下的方式 製作。 在此，使表面層114正確形成在與唇部112與表面層 1 1 4之邊界線一致的位置，且將邊界線1 1 5的筆直度及與 細縫1 1 1相對的平行度設爲2 // m/m以下，如第1 2圖（a) 所示，不僅模頭1 〇 1的前端側面1 1 3，藉由電鍍、覆蓋等 在唇部112形成表面層114，然後，如第12圖（b)所示， 硏磨唇部112’除去該部分之表面層114，且將邊界線15 設成所期望的筆直度之方式亦可。此外，邊界線1 1 5的筆 直度係藉由JISB060 1所依據的蝕針式測定方法進行測 定。 使用該模頭101進行塗敷時，如第13圖所示，在卡 盤台（未圖示）所保持的基材（所謂基板）102表面鄰接配置 模頭1 0 1的前端，使基板1 02與模頭1 01相對而移動且從 模頭1 0 1吐出塗敷液，在唇部1 1 2與基板1 〇 2之間形成軸 珠103，在基板102的表面塗敷該軸珠103的塗敷液。 在此，第14圖（a)係從模頭101吐出塗敷液之狀態的 槪略斜視圖。又，如第14圖所示，以習知的游離硏磨粒 硏磨模頭1 0 1的唇部1 1 2的表面時，表面粗糙度變大，由 於與唇部1 1 2的塗敷液相對之接觸角的局部變化變大，因 此塗敷液難以移動至塗敷寬度方向，使軸珠l〇3a的形成 時間變長。因此，如第15圖（a)所示，用以形成軸珠103a -21 - 1277460 (18) 的塗敷液量（初期軸珠量）變多，基板1 02上所形成的塗敷 層係使塗工開始端部之膜厚變厚’使塗工開始端部之膜厚 均一化之膜厚不良域變長。 因此，如第1 4圖（c)所示’藉由以E LID硏磨加工硏 磨模頭1 〇 1的唇部1 1 2之表面’使表面粗糙度變小。因 而，由於與唇部1 1 2的塗敷液相對之接觸角的局部變化變 小，因此塗敷液容易移動到塗敷寬度方向，可縮短軸珠 1 0 3 b的形成時間。因此，如第1 5圖（b)所示，用以形成軸 珠1 0 3 b的初期軸珠量抑制爲極少，基板1 〇 2上所形成的 塗敷層1 〇 4可形成使塗工開始端部之膜厚均一化的膜厚不 良區域極短（例如5mm以內的）之塗敷層104。因此，藉由 用於液晶用彩色濾光片的製造之抗蝕劑塗敷，可進行液晶 用彩色濾光片在製造時所要求的塗敷精確度（例如塗工開 始端部之膜厚不良區域在5mm以內）之塗工。 此外，以ELID硏磨加工進行硏磨之表面粗糙度低於 RmaxO.3以下，在唇部1 12具有鏡面性，使與唇部1 12的 塗敷液相對的接觸角之局部變化縮小，使塗敷液容易移動 至塗敷寬度方向，在縮短軸珠1 03的形成時間上，以將表 面粗糙度設爲RmaxO.l最佳，更以將表面粗糙度設爲 Rmax0.05 最佳。 又，將模頭1 〇 1的前端側面1 1 3比軸珠1 0 3所接觸的 唇部1 1 2與塗敷液相對之接觸角變大之方式，使與塗敷液 相對之濕潤性變差，因此在塗敷中，軸珠1 0 3的最外部之 塗敷液距離模頭之點A、B係保持在濕潤性佳的唇部1 1 2 -22- 1277460 (19) 與濕潤性差的前端側面1 1 3之邊界線即邊緣部’大致上沒 有變動。 因此，塗敷中軸珠103係穩定，在基板102上所形成" 的塗敷層1 04上大致沒有產生如習知所生成的條紋或段 差，可形成厚度不均極小（例如厚度在± 1 . 5 %以內的）之塗 敷層1 04。因此，藉由液晶用彩色濾光片在製造時之抗蝕 劑塗敷，可進行液晶用彩色濾光片在製造時所要求的塗敷 精確度（例如厚度不均在厚度±1.5 %以內）之塗敷。 此外，在上述實施形態中，模頭1 〇 1的唇部作爲母材 的表面，藉由在前端側面1 1 3對與塗敷液相對濕潤性差 (接觸角大）的表面層114進行電鍍、覆蓋等表面處理而形 成，雖比唇部1 1 2更使接觸角變大，但本發明作爲變更唇 部1 1 2及前端側面1 1 3之接觸角的方法並不在此限。例 如，如第1 6圖所示，以其他構件形成用以形成唇部1 1 2 的部分及形成前端側面1 1 3的部分，其表面材質不同亦 可。又，如第1 7圖所示，以相同材料構成全體亦可，但 使唇部1 1 2的表面粗糙度變小且與塗敷液相對難以濕潤 (接觸角變大），藉由表面粗糙不同，使前端側面1 1 3的接 觸角大於唇部1 1 2的接觸角。此外，變更唇部1 1 2及前端 側面1 1 3的接觸角，亦可採用使唇部1 1 2及前端側面1 1 3 的表面材質不同，且適當組合使表面粗糙度不同之方法。 又，在前端側面部1 1 3與唇部1 1 2的邊界區域中，再 與塗敷液相對的接觸角大的區域以及小的區域之間雖產生 接觸角邊界線11 5 a，但該接觸角邊界線Π 5 a以接近前端 -23- 1277460 (20) 側面部1 1 3與唇部1 1 2的邊界1 1 5較理想，兩者皆以成爲 2 // m以下最佳（第13圖）。 繼而，依據第1 8圖至第20圖說明本發明之比較例。 如第18圖所示，將基板102保持在卡盤台105，在 該基板1 02的表面鄰接配置具有一般構造的唇部與前端側 面之塗工用模頭1的前端。繼而，使基板1 02與模頭1 0 1 相對移動，且從模頭1 0 1吐出液狀的抗蝕劑，在基板表面 塗敷抗蝕劑形成塗敷層1 04。然後，高速旋轉基板1 02， 使塗敷層104的厚度均一。然而，在該方法中，由於需要 利用模頭進行的塗敷步驟及之後的旋塗步驟兩個步驟，故 成本較高。又，週知有日本國專利第320 1 1 95號公報之模 頭1 0 1的塗敷步驟，使塗敷層1 〇4的厚度均一之方法。在 此’在液晶用彩色濾光片製造時之規格中，要求使塗敷層 104的厚度均一化的膜厚不良區域從塗敷開始端部104a 抑制在塗敷方向5mm以內。然而，在模頭101的塗敷 中，難以將膜厚不良區域從塗敷開始端部1 04a抑制在塗 敷方向5mm以內。 繼而’說明藉由模頭1 0 1進行塗敷的塗敷開始端部 l〇4a的膜厚不良區域之產生原因。模頭101係具備有： 如第1 9圖所示，吐出應塗敷的抗鈾劑（所謂塗敷液）之細 縫1 Π ;在細縫1 1 1的前端兩側大致直角形成於細縫1 1 1 之唇部1 1 2 ;及位於唇部1 1 2的外側，與唇部11 2相對而 傾斜的前端側面1 1 3。在塗敷時，在唇部1 1 2與基板1 02 之間形成塗敷液的滯留（軸珠μ 03，該軸珠103的塗敷液 -24- 1277460 (21) 塗敷於表面基板1 02的表面。在塗敷開始時’從該細縫 1 11吐出的塗敷液在唇部11 2的塗敷方向移動’以形成軸 珠1 0 3。若其形成時間較短，則縮短在塗敷開始端部之膜 厚均一化爲止的膜厚不良區域。然而，實際上與唇部112 表面的最後完成之硏磨有關，委託硏磨機的性能或手工作 業，將使表面粗糙度變大，藉由表面的凹凸，使與唇部 1 1 2的塗敷液相對的接觸角局部變化，阻礙塗敷液的移 動。然後，塗敷液難以移動到塗敷寬度方向，使軸珠103 的形成時間變長時，用以形成軸珠1 03的塗敷液量（初期 軸珠量）變多，因此在塗敷開始端部使膜厚變厚，在塗敷 開始端部的膜厚均一化爲止之膜厚不良區域變長。 又，在藉由模頭1 〇 1的塗敷中，如下所述，在塗敷層 104產生條紋141或段差142，無法將塗敷厚度的不均抑 制在容許範圍內。在此，說明藉由模頭1的塗敷之塗敷厚 部的不均之產生原因。在第19圖中，在塗敷進行中，軸 珠1 03穩定，且保持固定形狀，亦即，軸珠1 03的最外部 之塗敷液距離模頭1 〇 1的點A、B若保持在模頭1 〇 1的唇 部1 1 2與前端側面1 1 3的邊界線（邊緣部）上，則不會產生 塗敷層104的厚度不均。然而，實際上，軸珠103的最外 部之塗敷液距離模頭1 〇 1的點A、B若保持在模頭1 〇 1的 邊緣部上，則如箭頭C所示，從唇部1 1 2轉回到前端側面 1 1 3，在前端側面1 1 3上移動，如箭頭D所示，多在唇部 1 12移動，多使軸珠103不穩定地變化。然後，在模頭 101的寬度方向上局部產生點A、B之移動時，產生延伸 -25- 1277460 (22) 於基板的移動方向之條紋1 4 1 (參照第1 8圖），在 全體產生條紋時，在延伸於基板的橫方向上 142 ° . 因此，軸珠1 03的最外部之塗敷液距離模頭 A、B若保持在固定位置，使軸珠1 〇 3穩定，如| 示，週知有在唇部Π 2的外側端部形成銳角狀的 之模頭1 0 1 A。然而，該構成的模頭1 〇 1 A係與_ 示的模頭1 0 1相比，雖可某程度穩定軸珠1 03， 分抑制軸珠1 〇 3的最外部之塗敷液距離模頭1 A、B之不穩定移動，因此條紋或段差僅減少些 無法進行對於液晶用彩色濾光片在製造時所要求 度塗敷。 相對於此，根據本發明，藉著使唇部的表面 小，使與唇部的塗敷液相對的接觸角之局部變化 塗敷液容易在塗敷寬度方向移動，可縮短軸珠 間。因而，藉由應用於液晶用彩色濾光片製造時 塗敷，可極力縮短抑制塗工開始端部之膜厚不良 進行如液晶用彩色濾光片製造時所要求的高精確 又，根據本發明，軸珠的最外部之塗敷液距 點可保持在前端側面與唇部的邊界線之邊緣部。 由應用在液晶用彩色濾光片製造時之抗蝕劑塗敷 敷厚度的不均抑制在極小，且進行液晶用彩色濾 時所要求的高精確度塗敷。 又，根據本發明，藉由應用在液晶用彩色濾 全部寬度 產生段差 1 0 1的點 I 2 0圖所 邊緣1 1 8 5 19圖所 但無法充 0 1 A的點 微程度， 的局精確 粗細度變 變小，使 的形成時 的抗蝕劑 區域，且 度塗敷。 離模頭的 因而，藉 ，可將塗 光片製造 光片製造 -26 - (23) 1277460 時之抗蝕劑塗敷，在可將塗工開始端部之膜厚不良區域抑 制在極短之同時，極力縮小抑制塗敷厚度的不均，且進.行 液晶甩彩色濾光片製造時所要求的高精確度塗敷。 【圖式簡單說明】 第1圖係應用本發明第1實施形態之塗工用模頭的槪 略斜視圖及其一部份之放大剖面圖。 第2圖係放大第1圖所示的模頭之前端部的槪略斜視 圖。 第3圖（a)及（b)係說明第1圖所示的模頭之製造步驟 的槪略斜視圖。 第4圖係利用第1圖的模頭在基材表面塗敷塗敷液之 狀態的槪略剖面圖。 第5圖係本發明之其他實施形態的模頭之前端部的槪 略斜視圖。 第6圖係本發明之另一實施形態的模頭之前端部的槪 略斜視圖。 第7圖係利用比較例的模頭在基板表面塗敷塗敷液的 狀態之槪略斜視圖。 第8圖係利用比較例的模頭在基板表面塗敷塗敷液的 狀態之槪略剖面圖。 第9圖係利用比較例的其他模頭在基板表面塗敷塗敷 液的狀態之槪略剖面圖。 第1 〇圖係應用本發明第2實施形態之塗工用模頭的 ‘27- (24) 1277460 槪略斜視圖及其一部份之放大剖面圖。 第π圖係放大第1 0圖所示模頭之前端部的槪略斜視 圖。 第12圖（a)及（b)係說明第10圖所示的模頭之製造步 驟的槪略斜視圖。 第1 3圖係利用第1 〇圖的模頭在基板表面塗敷塗敷液 的狀態之槪略剖面圖。 第14圖（a)至（c)係從各模頭吐出塗敷液之狀態的槪略 斜視圖，以游離硏磨粒硏磨唇面表面時之唇面表面的放大 剖面圖，以ELID硏磨加工硏磨唇面表面時的唇面表面之 放大剖面圖。 第15圖（a)及（b)係以游離硏磨粒硏磨各唇面表面時所 形成的初期軸珠之槪略剖面圖，以EL ID硏磨加工硏磨唇 面表面時所形成的初期軸珠之槪略剖面圖。 第1 6圖係本發明之其他實施形態的模頭之前端部的 槪略斜視圖。 馨 第1 7圖係本發明之另一實施形態的模頭之前端部的 槪略斜視圖。 第1 8圖係利用比較例的模頭在基板表面塗敷塗敷液 的狀態之槪略斜視圖。 第1 9圖係利用比較例的模頭在基板表面塗敷塗敷液 的狀態之槪略剖面圖。 第20圖係利用比較例的其他模頭在基板表面塗敷塗 敷液的狀態之槪略剖面圖。 -28- (25)1277460 主要 ϊ 2、 12a、 12b、 13、 12c、 14、 3、1 4 14a、 5、1 4a、 4b、 2d 1 02 10 4a 元件對照表 12A、2A、101、1 01 A 模頭 2a > 111 細縫 2b 、 112 唇部面 114 表面層 2c 、 113 前端側面 115 邊界線 03 ' 103b 軸珠 塗敷層 115a 接觸角邊界線 05 卡盤台 14 1 條紋 142 段差 邊緣 基板 塗敷開始端部
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