TWI227925B - Picking apparatus for semiconductor device test handler - Google Patents

Description

1227925 ----------J號 91136850__年月日_修正__ 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種半導體搬運機之撿取裝置，係應 用於半導體搬運機用以撿取、傳送半導體元件，特別是一 種單一撿取裝置具有雙排的撿取器，並可相對反向移動， 而提升半導體元件的撿取速度。 【先前技術】 一般說來，記憶體或是非記憶體等半導體元件或是模 -且都疋利用線路的設計整合於一基板上，並且必須通過種 種的測試’搬運機（hand 1 er )就是用來測試這一類的半 導體元件。測試時，搬運機利用固定於主體上的傳送裝置 來傳送裝載於一盤體上的半導體元件至一平板狀梭體或是 緩衝板或是從其上傳回，此傳送裝置係可沿著χ軸或是γ軸 的方向來撿取並將半導體元件固定於特定的位置。 士請參閱「第1〜3圖」，習知用以傳送半導體元件之撿 取裝置包含有一活動塊1〇1、一垂直區塊1〇2、一提升塊 104以及一撿取塊丨05，活動塊1〇1以可沿著框架（圖中耒 示）移動的方式裝設於搬運機，並與垂直區塊1〇2耦合固 定，提升塊104固定於一線性導引模組1〇3，且該線性"導 模組M3固定於垂直區塊丨02兩侧而可上下移動，而撿取 105係耦合於提升塊丨〇4且具有複數個可藉由直空辩附 半導體元件的吸嘴l〇5a。 /土刀及附 且垂直區塊1 02的後端裝設有可將提升塊丨〇4 動裝置，例如可為一飼服馬達⑴以及受其驅動的滑 侧裝設有一傳送滑輪11 3可受到一驅動皮帶丨 \ 、低 ---- ---丨 ^日、J逆勤而受

輪112裝設於垂直區塊1〇2後端高側，而垂直區塊ι〇2 1227925 修正 曰 案號 911368^ 五、發明說明（2) 驅動滑輪112◊帶動而轉動，而傳送滑輪113之旋轉如^一 端裝設有可受傳送滑輪]1 輪113页動的低滑輪ii5，並藉由升起 皮f 1 1 7福合於一南滑於1 1 β，η 口太 , 月輪1 1 b冋時，升起皮帶1 1 7的一端 固疋在與知：升塊104相連的連接片上。 且垂直區塊102的前端利用一拉伸彈簧125連接於活 塊1〇1低側以及提升塊104，常態可提供提升塊1〇4抵抗重 力的彈力，減低伺服馬達Π1驅動升起提升塊1〇4的負荷。 而垂直區塊102的中央兩側裝設有一對限制感應器122&、 1 2 2b，用以感應位於提升塊丨〇4兩側之旗標丨2丨a、丨2 j匕 位置。 因此，當伺服馬達111驅動帶動驅動滑輪丨丨2並連動驅 動皮π114帶動傳送滑輪113、再帶動低滑輪115轉動，而 使升起皮τ 11 7以及咼滑輪11 6連結，藉由連接片丨丨$使提 升塊104上下移動。而當提升塊丨04上下移動時，限制感應 為122a、122b會感應旗標121a、121b的位置，並回傳至一 控制單元（圖中未示），藉由回傳的信號來控制伺服 111。 然而’習知的撿取裝置存在有一些問題，首先係夢由 固定裝設於撿取塊105之吸嘴105a來撿取、傳送半導體元 件，所以其間隔以及數量無法改變。舉例來說，當使用7°者 因為測試完成分類或是其他原因，需要在一列撿^器上具 有不同的間隔或是數量時’因為其結構上的設計而^其固 定無法配合使用者的需求來改變。另外，習知的撿取^置 儘管利用拉伸彈簧1 2 5來減少升起提升塊1 〇 4的負荷，作是 務上偶 反向來說，卻也造成降低提升塊104的阻力。且實 --- - - -—----- 第8頁 五、發明說明（3) ，的情況，就是當飼服馬達lu或是拉伸彈簧125有損 ^或疋=裂時，提升塊1G4會受到其重力影響而向下移 =，此時，如果活動塊1()1跟著水平位移，則會造成撿取 ^ 1^5上的半導體兀件破裂或是部分的搬 損壞。 【發明内容】 士本發，為解決上述問題而提供一種半導體搬運機之撿 ，裝置，單一撿取裝置上具有數對的撿取器，且這些撿取 器係以相反方向移冑，而可大幅增加同一時間傳送半導體 凡件的量，並可同時傳送不同間隔之半導體元件。 本卷明之另一目的係為提供一機之撿取 裝置：可輕易的撿取半導體元件，並額外負猜 本發明係為一種半導體搬運機之撿取裝置，係水爭町 活動地裝設於一位於搬運機主體頂側之框架上，迆包含有 一活動塊、一第一及第二垂直區塊、至少一對的第〆及第 二導引凡件、一第一及第二提升塊、一第一及第二檢取 塊:以及一驅動裝置。活動塊可移動地裝設於框架，第〆 及^二垂直區塊固定於活動塊兩側且相互垂直方向面對， 而第一及第二導引元件分別裝設於其上，可分別供第〆及 第二提升塊耦合裝設而可上下移動，而第一及第二撿取塊 分別可活動地裝設於第一及第二提升塊，並藉由驅動装置 驅動，使第一及第二撿取塊同時相對反相移動。 另一方面

包含有 一伺服馬達 驅動袭置更可 1227925

--篆號 911邓奶Ο 五、發明說明（4) 以及一第一及第二連接元件。伺服馬達固定於活動塊一 側，驅動滑輪裝設於其驅動軸上，藉由驅動皮帶圈繞於驅 動滑輪以及傳送滑輪，而可將動力傳輸到裝設於第一垂直 區塊高側的傳送滑輪。第一高滑輪耦合於驅動滑輪一側， 第一低滑輪可旋轉地裝設在第一垂直區塊低側，並藉由第 一提升皮帶圈繞於第一高滑輪及第一低滑輪。連接軸兩端 刀別連接於第一低滑輪以及苐^一垂直區塊之高側、第二高 滑輪，第二低滑輪可轉動地裝設於第二垂直區塊低側，並 藉由第二提升皮帶圈繞於第二高滑輪及第二低滑輪。而第 一及第二連接元件之一端分別連接第一及第二提升塊，另 一立而固疋於第一提升皮帶以及第二提升皮帶之側邊。 因此，本發明藉由一驅動裝置上具備有兩撿取塊，兩 檢取塊可以相反方向移動而能同時傳送兩倍量的半導體元 件增加測試的速度。且允許使用者依照其需求更換不同 間隔之撿取器以配合不同的盤體或板體。此外因為撿取塊 以及提升塊於向上或向下移動的負載受到撿取塊以及提升 塊的補償，故可降低伺服馬達驅動所需的力。 【實施方式】 ^ 本發明所揭露係為一種半導體搬運機之撿取裝置 參閱「第4〜7圖」，搬運機之活動塊1固定於框架（圖中 未不）’並可沿著框架移動，第一垂直區塊2以及第二垂 直區塊3分別相對垂直裝設於活動塊1的兩側，而一對第一 導引元件4以及一對第二導引元件5 (譬如可為直線線性模 組）分別垂直裝設於第一垂直區塊2以及第二垂直區塊3， 且第一導引元件4以及第二導引元件5較佳值為一對。第一

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1227925 五、發明說明（5) 提升塊6以及第二提升塊7分別裝設耦合於該對— 件4以及該對第二導引元件5之兩側末端，使得第引元 6以及第二提升塊7可以沿著第—導引元件4以 ~升塊 ，件5上下滑動，而第一撿取塊8以及第二導弓丨 =第—提升塊6以及第二提升塊7的低側=^分別固 撿取、9&用以撿取、吸取半導體元件。而第二：ϊ數 ί:以及第二提升塊H，〔二=!)巢設於 疋早疋來拆下第一及第二撿取塊8、9。田由拆却固 -側而；=塊U與一飼服馬達12共同裝設在活動堍] 以旋口1 式2::二更 動力：1 第5圈，於驅動滑輪13以及傳送滑輪14而可精傳由逆:驅 同步轉傳送滑輪14的内側，並工 以及第民滑輪17 °連接轴19兩端分別固定於第—月-1 μ 側ί —向滑輪20，並橫跨於第一及第-±古Γ网；月輪1 6 而另其中’第二高滑輪20裝設於第塊2、3頂 二另外第二低滑輪21以可轉動的區塊3的高側。 低側，並藉由第二提升皮帶22 / \於第—垂直區塊 起。 、第一兩滑輪20圈繞在 透禍^飼服馬達1 2作動時，旋轅六拉 k驅動皮帶 轉力精由驅動滑輪j 3 接在1的第 月輪20也會跟著轉動 1227925

因而第-提升皮帶18與第二提升皮帶2〇會隨之上下移動。 ^用一對第—連接元件23連接第一提升塊6的兩側 與：-k升皮帶18，❿另一對第二連接元件“連接第二提 升塊^兩側與第二提升皮帶22，並分別選擇定位於第一提 升皮wlj以及第二提升皮帶22的位置，且其中第—連接元 件23與第二連接元件24分別接合於可相反方向移動的第一 及第二提升皮帶18、22上。因此，如果藉由第一連接元件 23連接於第一提升皮帶18之第一提升塊6向上升起時，第 二提升塊7會反相而向下移動；相對的，如果第一提升塊6 向下移動，則第二提升塊7會向上移動。 同時’在第二垂直區塊3的外側具有複數個感應器 31三32、33、34用以偵測第一及第二撿取塊8、9的位置， 其藉由感應第二連接元件24上下的位置來得知。 以下詳述撿取裝置操作的流程，當活動塊1沿著框架 移動，並定位於撿取半導體元件的位置，伺服馬達丨2會被 操作驅動而轉動驅動滑輪丨3、傳送滑輪丨4，連帶第一高滑 輪16、第一低滑輪17、第二高滑輪2〇以及第二低滑輪21對 跟著轉動，進而驅動第一提升皮帶18以及第二提升皮帶22 作動。因此’一旦第一提升塊6受第一提升皮帶18帶動而 向下移動’弟一提升塊7則會向上移動。此時，假如第一 撿取塊8的吸嘴8a吸取半導體元件，則伺服馬達12會反 轉，連動傳送滑輪14反轉，使得第一提升塊6向上移動而 弟二提升塊7向下移動。 在上述的操作過程中，如果假如第二連接元件24被第 一個感應夯3 2偵測到（感應器3 1、3 2、3 3、3 4中的最中間

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_案號 9113RSM 五、發明說明（7) %撿取塊8以及第二撿取塊Θ概略位於相同的中間 a 7备如L 7 a钐止刼作並且第一以及第二提升塊 提升i二下來nw12接著操作使第二 因為第-提升塊6 :及移第動 相反方向，如果者第_、έ #弟一k升塊7執订牷幵的動作是 頂端的-個上以接ΓΓ被第一個感應器31 (最 3服Ϊ二Ϊ/ 撿取塊9向下移動至最底下的位置， β服态1 2會及相你私甘人， # φ} fl[ ^ ^動/、向上運動直到第二個感應器32再度 偵測到撿取塊8或第二撿取塊9。 丹又 由將Ξ t 2使用者想要改變半導體元件之間的間隔，可藉 提升塊6一； T t8以及第二撿取塊9選擇性地自第—及第二 掄，妙始®命从 、勹所而要間隔尺寸吸嗔的撿取 載入；有5 /且門上隔即二。舉裡來說，如果需要半導體元件 目」丄為，而取下時有7排且間隔為 :吸嘴僅需要將第一撿取塊8改為具有5排且間隔為1〇_ ::二而將第二檢取塊9改為具有7排且間隔為一 是相：I : Z為第一撿取塊6以及第二撿取塊7的移動方向 、 以向上移動之撿取塊的重力會受到另一個向 非田：上所述者，僅為本發明其中的較佳實施例而已，並 依本發明申請專利範

塊的重力所抵銷’戶斤以伺服馬達12所受到的 負載可以料Μ，而減低其㈣時的振動。 1227925 案號91136850_年月日 修正 五、發明說明（8) 圍所作的均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋

IBS 第14頁 1227925 _案號 91136850_年月日_修正 圖式簡單說明 第1圖為習知撿取裝置之前視圖； 第2圖為習知撿取裝置之後視圖； 第3圖為第1圖之前視圖； 第4圖為本發明撿取裝置之示意圖； 第5圖為第4圖之後視圖； 第6圖為第4圖之 側視圖 及 第7圖為第4圖之 部分剖 視 圖 〇 [ 圖 式符號說明】 1 活 動 塊 2 第 一 垂 直 區 塊 3 第 二 垂 直 區 塊 4 第 一 導 引 元 件 5 第 二 導 引 元 件 6 第 —_ 提 升 塊 7 第 提 升 塊 8 第 一 撿 取 塊 8 a 吸 嘴 9 第 二 檢 取 塊 9 a 吸 嘴 1 1 馬 達 區 塊 1 2 伺 服 馬 達 1 3 驅 動 滑 輪 1 4 傳 送 滑 輪 1 5 馬區 動 皮 帶

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1227925 案號91136850 年月日 修正 圖式簡單說明1617 18 19 2 0 2 1 2 2 第一咼 第一低 第一提 滑輪 滑輪 升皮帶 連接軸 第二高 第二低 4 3 a a 一 ^_-2345512334567 IX ^ ^ CD ^ ^ ow IX IX Ίχ IX IX IX 1-Η ΟΛ- οο 1± 1± IX IX 1± IX IX 1± 1± 1± IX 1± IX 1± 滑輪 滑輪 第二提升皮帶 第一連接元件 第二連接元件 感應器 活動塊 垂直區塊 線性導引模組 提升塊 撿取塊 吸嘴 伺服馬達 驅動滑輪 傳送滑輪 旋轉軸 驅動皮帶 低滑輪 南滑輪 升起皮帶

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Claims (1)

1227925 _案號91136850_年月曰 修正_ 六、申請專利範圍 1. 一種半導體搬運機之撿取裝置，係水平可移動地裝設於 一搬運機主體上端所提供之框架，用以於搬運機上某一 位置撿取半導體元件，並傳送至搬運機之另一位置，該 撿取裝置係包含有： 一活動塊，可移動地固定於該框架； 一第一垂直區塊及一第二垂直區塊，以垂直方向相 互面對且分別固定於該活動塊兩側； 至少一對第一導引元件及至少一對第二導引元件， 分別垂直地裝設於該第一垂直區塊以及該第二垂直區 塊， 一第一提升塊及一第二提升塊’相對地搞合於該第 一導引元件以及該第二導引元件，而可於其上上下移 動； 一第一撿取塊及一第二撿取塊，具有複數個可供撿 取該半導體元件之撿取器，且分別係以可拆離的方式裝 設於該第一提升塊及該第二提升塊；及 一驅動裝置，用以驅動該第一撿取塊及該第二撿取 塊以相反方向上下移動。 2. 如申請專利範圍第1項所述半導體搬運機之撿取裝置， 其中該驅動裝置係包含有： 一馬達，固接於該活動塊之一側； 一驅動滑輪，可旋轉地裝設於該馬達之一驅動軸； 一傳送滑輪，可旋轉地裝設於該第一垂直區塊之高 側；

第18頁 1227925 _案號91136850_年月曰 修正_ 六、申請專利範圍 一驅動皮帶，圈繞於該驅動滑輪以及該傳送滑輪， 而可傳送該驅動滑輪之旋轉力至該傳送滑輪； 一第一高滑輪，耦接於該驅動滑輪一側，而可與之 同步轉動； 一第一低滑輪，可轉動地裝設於該第一垂直區塊之 低側； 一第一提升皮帶，圈繞於該第一高滑輪以及該第一 低滑輪； 一連接軸，一端固定於該第一高滑輪，另一端連接 於該第二垂直區塊之高側； 一第二高滑輪，固定於該連接軸之另一端； 一第二低滑輪，可旋轉地裝設在該第二垂直區塊之 低侧； 一第二提升皮帶，圈繞於該第二高滑輪以及該第二 低滑輪；以及 一第一連接元件及一第二連接元件，一端分別固定 於該第一提升塊以及該第二提升塊，而另一端分別固定 於該第一提升皮帶以及該第二提升皮帶一側。 3. 如申請專利範圍第1項所述半導體搬運機之撿取裝置， 其中該第一撿取塊以及該第二撿取塊各包含有複數個具 有不同間隔以及數量的撿取器。 4. 如申請專利範圍第2項所述半導體搬運機之撿取裝置， 其中該第一撿取塊以及該第二撿取塊各包含有複數個具 有不同間隔以及數量的撿取器。

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