CN101920247B - 测试分选机用拾放模块 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种测试分选机用拾放模块。根据本发明的测试分选机用拾放模块，仅通过替换拾放模块的拾取单元也可适用于不同装载容量的所有用户托盘，所以无需一个一个制造整个拾放模块，因此可节省制造成本。并且，由于拾放模块的主体和拾取单元通过挂接方式容易地安装或脱离，因此能够减小替换所需的物质和时间上的损失。

Description

测试分选机用拾放模块

技术领域

本发明涉及用在测试分选机的拾放模块，该拾放模块为在用于装载或排列半导体元件的互不相同的装载单元或排列单元之间移送半导体元件的拾放装置的一个模块。

背景技术

测试分选机为用于支持测试装置对经过预定的制造工艺制造的半导体元件进行测试的设备。这种测试分选机，将装载于用户托盘的半导体元件装载到测试托盘，并将装载于测试托盘的半导体元件供给到测试装置，等测试结束之后将半导体元件从测试托盘卸载到用户托盘。

这种测试分选机具有不仅在用户托盘与测试托盘之间移送半导体元件，还在如校准器(Aligner)，缓冲器，分拣台(sorting table)等互不相同的装载单元或排列单元之间移送半导体元件的拾放装置，而这种拾放装置具有至少一个拾放模块。

并且，拾放模块具有多个拾取部件(picker)，这种拾取部件根据真空力对半导体元件进行吸附而吸附或放下半导体元件。

另外，用户托盘的目的在于为了保管半导体元件而装载半导体元件，因此，优选为装载尽量多的半导体元件。但是，半导体制造工艺技术的发展，导致通过缩小具有相同功能的半导体元件的大小来增加了可装载于相同面积的用户托盘的半导体元件的数量。即，比如现有的用户托盘，一列可装载八个半导体元件，而由于半导体制造工艺的发展，使半导体元件变小，由此相同大小的用户托盘的一列可装载十个或十二个半导体元件。此时，装载于一列可装载十个或十二个半导体元件的用户托盘的半导体元件之间的间隔，相比于装载于一列可装载八个半导体元件的用户托盘的半导体元件之间的间隔更小。

因此，测试分选机从提供一列装载八个半导体元件的用户托盘变更为提供一列装载十个或十二个半导体元件的用户托盘时，或者为相反的情况时，包含于测试分选机的拾放模块的拾取部件之间的间距也需要调整。但是，由于没有研究出能够调整拾取部件之间的间隔，以共用于每个相同面积可装载的半导体元件的数量互不相同的用户托盘的调整手段，因此，当替换装载容量不同的用户托盘时，需要替换为适合于所述用户托盘的拾放模块。

并且，一个拾放模块需要拾取部件的数量满足能够吸附装载于用户托盘的一列的所有半导体元件，这样才能够缩短半导体元件的移送时间。但是，当一列装载有八个半导体元件的用户托盘替换为一列装载十个或十二个半导体元件的用户托盘时，或者与上述情况相反时，需要能够增加或减少拾取部件的数量，但是，若依现有技术的拾放模块，则不能增加或减少拾取部件的数量，因此，需要替换整个拾放模块。

即，在以往，制造出拾取部件之间的间距不同或拾取部件的数量不同的各种样式的拾放模块，并根据需要替换整个拾放模块。因此，导致制造成本增加，且导致发生替换拾放模块所需的物质和时间上的损失。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供可通过替换部分拾放模块来适用于装载容量互不相同的用户托盘，且能够容易地进行替换作业的测试分选机用拾放模块。

为了实现上述目的，根据本发明的测试分选机用拾放模块包括：具有N个真空管路的主体，所述N个为多个；拾取单元，该拾取单元形成有对应于形成在所述主体的全部所述N个真空管路或部分所述真空管路的M个真空通道，且具有与所述M个真空通道分别连通而利用通过所述真空通道传递的真空压来吸附或放下半导体元件的M个拾取部件，其中所述M满足1≤M≤N，即，M≥1，且所述M小于等于所述真空管路的数量。并且，所述拾取单元通过挂接方式可装卸地安装于所述主体。

并且，所述拾取单元的一端设有第一挂接销，所述拾取单元的另一端设有第二挂接销，所述主体的一端具有用于挂接支撑于第一挂接销的第一挂接部件，所述主体的另一端具有用于挂接支撑于第二挂接销的第二挂接部件，所述第二挂接部件可转动地设置，以解除与所述第二挂接销的挂接。

并且，所述第二挂接部件以转动轴为中心可转动地设置，且以所述转动轴为基准分为杆部和挂接支撑于所述第二挂接销的挂钩部，并且所述杆部被弹性支撑，以使所述挂钩部挂接在第二挂接销。

并且，所述拾取单元的一端形成有用于设置所述第一挂接销的第一设置槽，所述拾取单元的另一端形成有用于设置所述第二挂接销的第二设置槽。

并且，所述第一挂接销和所述第二挂接销中至少一个形成为

型销，所述

型销的一端通过连接部件固定在所述拾取单元。

并且，根据本发明的测试分选机用拾放模块还包括用于防止所述第二挂接部件任意转动的转动防止部件。

根据本发明，仅通过替换拾放模块的拾取单元(kit)就可适用于不同装载容量的全部的用户托盘，所以无需一个一个制造整个拾放模块，因此可节省制造成本。

并且，由于拾放模块的主体和拾取单元通过挂接方式容易地安装或脱离，因此能够减小替换所需的物质和时间上的损失。

并且，可通过主体下面的基准凸起和拾取单元上面的基准槽，将主体和拾取单元正确地结合，且拾取单元以第一挂接销为中心转动预定角度而从主体脱离。本发明通过这种结构可防止基准凸起和拾取单元脱离时相互干涉。

附图说明

图1为根据本发明的拾放模块的结合立体图；

图2为根据本发明的拾放模块的分解立体图；

图3为根据本发明的拾放模块的拾取单元的平面图；

图4为根据本发明的拾放模块的拾取单元的分解立体图；

图5为根据本发明的拾放模块的部分放大图；

图6的(a)至(c)为简略地示出替换根据本发明的拾放模块的拾取单元的方法的示意图；

图7为根据本发明的拾放模块的另一实施例的分解立体图；

图8a和图8b为根据本发明另一实施例的拾放模块的主要部位的部分剖面图；

图9为适用于图8a和图8b的主要部位的转动防止部件的立体图。

附图主要符号说明：100为拾放模块，110为主体，111a至111j为真空管路，112a至112j为连接块，113为第一挂接部件，114为第二挂接部件，114a为挂钩部，114b为杆部，115为基准凸起，116为设置槽，117为转动轴，118为弹性部件，120为拾取单元，121a至121h为真空通道，122a至122h为拾取部件，123为第一挂接销，124为第二挂接销，125为第一设置槽，126为第二设置槽，827为转动防止部件。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明根据本发明的优选实施例。对于重复的说明或公知的技术的说明，尽量省略或者减少其说明。

图1为根据本发明的拾放模块的结合立体图，图2为根据本发明的拾放模块的分解立体图，图3为根据本发明的拾放模块的拾取单元的平面图。

如图1至图3所示，根据本发明的拾放模块100包括安装于X-Y机械手(未图示)的主体110和可装卸地安装于主体110的拾取单元120。

主体110形成有分别与从用于发生真空压的真空压发生装置(未图示)侧延伸的真空线(未图示，形成为管)连通的十个真空管路(111a至111j)，且真空线与真空管路(111a至111j)通过连接块(112a至112j)连接。

拾取单元(kit)120以上下方向形成有对应于十个真空管路(111a至111j)中的八个真空管路(111a至111d，111g至111j)的八个真空通道(121a至121h)，且具有连通结合于八个真空管路(111a至111d，111g至111j)的八个拾取部件(122a至122h)，以用于利用通过真空压传递途径(真空线—连接块—真空管路—真空通道)传递的真空压来吸附或放下半导体元件。在此，在十个真空管路(111a至111j)中除了与八个真空通道(121a至121h)连通的八个真空管路(111a至111d，111g至111j)，剩下的两个真空管路111e、111f在拾取单元120安装到主体110时，根据拾取单元120的上面而封闭。

此时，主体110的下面在对应于真空管路(111a至111j)的位置设有O型环o，由此防止空气从真空管路(111a至111j)与真空通道(121a至121h)之间泄漏。

另外，拾取单元120通过挂接方式可装卸地安装于主体110。为此，拾取单元120的一端设有第一挂接销123，另一端设有第二挂接销124。在此，第一挂接销123设置在形成于拾取单元120一端的第一设置槽125内部，第二挂接销124设置在形成于拾取单元120另一端的第二设置槽126内部。

并且，主体110的一端具有用于挂接支撑于第一挂接销123的第一挂接部件113，另一端具有用于挂接支撑于第二挂接销124的第二挂接部件114。

在此，第一挂接部件113形成为挂钩状，由此能够更加提高与第一挂接销123的结合力。

并且，主体110的下面形成朝下侧方向突出的基准凸起115，而拾取单元120的上面，在与基准凸起115对应的位置形成用于插入基准凸起115的基准槽127。利用这种基准凸起115和基准槽127可正确地装配主体110与拾取单元120。

并且，如图4所示，第一挂接销123和第二挂接销124形成为

型销的形状，各挂接销123、124的一端插入设置在形成于拾取单元120的设置孔128a、128b。

并且，挂接销123、124的另一端通过螺栓或螺丝等连接部件C1、C2固定于拾取单元120，连接部件C1、C2插入形成于拾取单元120的连接孔129a、129b而固定。

另外，为了可解除第二挂接部件114与第二挂接销124的挂接，可转动地设置第二挂接部件114。以下，参照图5进行详细说明。

如图5所示，以设置在形成于主体110另一端的设置槽116内部的转动轴117为中心可转动地设置第二挂接部件114，该第二挂接部件114以转动轴117为基准分为挂钩部114a和杆部114b。

挂钩部114a起到挂接支撑于第二挂接销124的功能，并且用户通过杆部114b可容易地使挂钩部114a旋转。

并且，设置槽116内部设有弹性部件118，这种弹性部件118弹性支撑杆部114b，以使挂钩部114a挂接在第二挂接销124。

即，当用户对杆部114b施压时，弹性部件118被压缩的同时，将挂钩部114a与第二挂接销124的结合解除，当用户撤消施加到杆部114b的力时，挂钩部114a根据弹性部件118的恢复力而复归到原始位置。

以下，参照图6的(a)至(c)对替换根据本发明的拾放模块的拾取单元的方法进行说明。

首先，如图6的(a)所示，在主体110安装有具有八个拾取部件(122a至122h)的拾取单元120的状态下，对主体110的第二挂接部件114的杆部114b施压，由此解除第二挂接部件114的挂钩部114a与第二挂接销124的结合。

然后，如图6的(b)所示，首先将拾取单元120的另一端，即将设有第二挂接销124的部分与主体110分离之后，解除拾取单元120的第一挂接销123与主体110的第一挂接部件113之间的结合，由此将拾取单元120从主体110脱离。

如此，拾取单元120以第一挂接销123为中心转动预定角度而从主体110脱离，由此通过该结构防止主体110下面的基准凸起115与拾取单元120脱离时互相干涉。

在此，优选地，拾取单元120的设置有第一挂接销123的端部的上侧形成为圆弧状，由此，防止拾取单元120脱离时与主体110发生干涉。

并且，如图6的(c)所示，将具有十个拾取部件(122a至122j)的拾取单元120安装到主体110时，在对主体110的第二挂接部件114的杆部114b施压的状态下，使拾取单元120的第一挂接销223挂接在主体110的第一挂接部件113，之后若解除施加到杆部114b的压力，则第二挂接部件114根据弹性部件118的恢复力挂接在第二挂接销224。

图6的(c)虽然示出的是具有十个拾取部件(122a至122j)的拾取单元120，但根据实施情况，拾取部件的数量为真空管路的数量以下的任何拾取单元都可适用于主体。

另外，图7示出了代替本发明的图1至图5的第一挂接销123和第二挂接销124的结构，即可具有形成于拾取单元720一端的第一挂接槽723和形成于拾取单元720另一端的第二挂接槽724。

即，设置于拾放模块700的主体710的一端的第一挂接部件713被第一挂接槽723挂接支撑，可转动地设置于主体710另一端的第二挂接部件714被第二挂接槽724挂接支撑。

图8为根据本发明另一实施例的拾放模块的主要部位的部分剖面图。

通常，若为金属，则由于经常使用或长时间使用而有可能发生磨损。此时，对于图1所示的拾放模块100，由于第二挂接部件114任意的转动，主体110与拾取单元120之间的结合有可能被解除。并且，这种任意的转动在下列情况下同样也会发生。即，在由于操作者的失误而使得第二挂接部件114不完全地挂接在第二挂接销124的状态下，根据测试分选机的运行发生振动，或者操作者在其他作业中出现失误而无意识地触碰第二挂接部件114。

因此，图8a和图8b所示的拾放模块具有用于防止第二挂接部件814无意的转动的转动防止部件827。

如图9的立体图所示，转动防止部件827从正面看起来呈

形状，且由插入部827a和抓握部827b构成。

插入部827a插入在拾取单元820的第二设置槽826。如图8a所示，在所述插入部827a插入在拾取单元820的第二设置槽826的状态下，插入部827a的上面接触于第二挂接部814的下端，由此防止第二挂接部件814任意的转动。并且，插入部827a的下端形成有可插入球状物的插入槽827c。为此，拾取单元820的第二设置槽826，相比图1的第二设置槽126进一步朝下方延伸形成，且设有球型法兰828。

抓握部827b为用于设置者抓握的部分，该抓握部827形成为沿上下方向的较长的形状。

进而，如图8a所示，用户通过转动第二挂接部件814而将拾取单元820结合之后，将转动防止部件827的插入部827a插入到第二挂接部件814的下方，由此将拾取单元820结合到主体810。然后，如图8b所示，拔出转动防止部件827，使得第二挂接部件814可逆向转动，由此，可将拾取单元820从主体810脱离。

并且，如图9所示，转动防止部件827优选为形成有挂接孔h。这种挂接孔h用于通过用绳子829将转动防止部件827捆绑在主体810侧的方式来防止转动防止部件827丢失。当然，具有多个拾放模块时，也可以考虑用一个绳子829同时连接四个转动防止部件，并将其捆绑在主体侧。

如上所述，虽然根据本发明的具体说明是根据参照附图的实施例而进行的，但是，上述实施例仅为通过举本发明的优选实施例来进行的说明，因此，本发明并不局限于上述实施例。本发明的权利范围应当以权利要求与其等同概念来理解。

Claims (5)

1.一种测试分选机用拾放模块，其特征在于，包括：

具有N个真空管路的主体，所述N个为多个；

拾取单元，该拾取单元形成有对应于形成在所述主体的全部的所述N个真空管路或部分所述真空管路的M个真空通道，且具有与所述M个真空通道分别连通而利用通过所述真空通道传递的真空压来吸附或放下半导体元件的M个拾取部件，其中所述M≥1，且所述M小于等于所述真空管路的数量，

并且，所述拾取单元通过挂接方式可装卸地安装于所述主体，

所述拾取单元的一端设有第一挂接销，所述拾取单元的另一端设有第二挂接销，

所述主体的一端具有用于挂接支撑于第一挂接销的第一挂接部件，所述主体的另一端具有用于挂接支撑于第二挂接销的第二挂接部件，

所述第二挂接部件可转动地设置，以解除与所述第二挂接销的挂接，

所述第一挂接销和所述第二挂接销中至少一个形成为

型销，所述“

型销的一端通过连接部件固定在所述拾取单元。

2.如权利要求1所述的测试分选机用拾放模块，其特征在于，所述第二挂接部件以转动轴为中心可转动地设置，且以所述转动轴为基准分为杆部和挂接支撑于所述第二挂接销的挂钩部，

所述杆部被弹性支撑，以使所述挂钩部挂接在第二挂接销。

3.如权利要求1所述的测试分选机用拾放模块，其特征在于，所述拾取单元的一端形成有用于设置所述第一挂接销的第一设置槽，所述拾取单元的另一端形成有用于设置所述第二挂接销的第二设置槽。

4.如权利要求1所述的测试分选机用拾放模块，其特征在于，还包括用于防止所述第二挂接部件任意转动的转动防止部件。

5.一种测试分选机，其特征在于，具有如权利要求1至4中任意一项所述的拾放模块。

Images