KR19980033607A - 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스에 관한 것으로서, 특히 선단에 로봇이 장착되고 스크류축의 작동에 따라 횡방향으로 이송되는 장착부재와, 상기 장착부재의 선단에 결합된 프레임과, 상기 프레임에서 승강 작동되는 픽커 조립체와, 상기 픽커 조립체에 간격 조절 가능케 일렬로 결합되며 각각 승강 작동되는 복수 개의 픽커 및 상기 픽커 들의 간격을 가변시키는 픽커 간격 조절 수단을 포함한다.

따라서, 본 발명에서는 픽커의 간격을 조절하는 링크와 이를 지지하는 링 샤프트가 일렬로 배열됨으로써 각 픽커간의 거리가 균일하고 정확하게 유지되고, 픽커의 개수에 관계없이 설치가 가능하며, 구조가 간략화 됨과 동시에 부품수가 절감되고, 이에 따라 장치 전체가 소형화되고 코스트가 현저하게 절감된다.

Description

반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스

본 발명은 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스(PICK AND PLACE)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유저(USER) 트레이에서 테스트(TEST) 트레이로 또는 테스트 트레이에서 유저 트레이로 반도체 소자를 흡착하여 이동시키는 픽 엔드 플레이스의 구조를 더욱 간략화시킨 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자의 검사는 컴퓨터를 이용한 프로그램을 테스터에 실행시켜 패키지된 소자의 전기적인 특성이나 기능적 특성 등을 신속한 시간 내에 검사하여 양품과 불량품을 판별하거나 선별하게 된다.

그리고, 여기에서 얻어지는 데이터를 수집하여 통계적 기법에 의한 분석 활동을 수행하고, 분석된 데이터를 해당 공정으로 피드백(FEED BACK) 함으로써 공정의 안정화와 소자의 균일한 품질을 유지할 수 있게 되며, 이러한 모든 업무가 컴퓨터와, 그 컴퓨터의 소프트웨어, 하드웨어 및 컴퓨터에 연결되는 주변 기기인 핸들러, 비디오 키보드 터미널 등에 의해 이루어진다.

또한, 완성된 패키지의 전기적인 특성 및 기능을 측정하는 검사는 측정 소자의 입, 출력핀 및 제품의 공급 전압에 대하여 정전류를 인가하고, 이때 발생하는 부전압이 규정 내에 있는 가를 검사하여 측정되고 있는 소자가 소켓 내에 정확하게 안착되었는지와 조립시 와이어 본딩은 정확하게 연결되었는지 등을 검사하는 콘택 테스트(CONTACT TEST)와, 측정 소자의 입, 출력핀에 대하여 정전압을 인가하여 누손 전류를 측정하는 리키지 테스트(LEAKAGE TEST)와, 소자의 동작 상태에 따라 작동 및 대기 전류로 구분되는 평균 전류를 측정하는 전류 테스트 등으로 이루어진다.

이와 같은 소자의 각종 검사를 행하기 위한 검사 장치는 도 1 에 도시한 바와 같이 다수의 소자를 안착시킨 복수 개의 유저 트레이(10)가 스토커(11) 내에 투입되면, 픽 엔드 플레이스 로봇(12)의 작동에 따라 테스트 트레이(13)에 안착된 후 별도의 이송 수단에 의해 테스터(14)에 결합됨으로써 프로그램에 의해 검사된 데이터가 모니터(15)를 통하여 나타나게 되는 것이다.

종래에 이와 같이 로봇에 의해 작동되어 소자를 흡착한 후 유저 트레이에서 테스트 트레이로 또는 테스트 트레이에서 유저 트레이로 안착시키는 픽 엔드 플레이스는 소자를 흡착하는 픽커들의 간격을 조절하고 지지하기 위한 링크들이 서로 지그재그 형태로 배열되어 연결되고, 상기 링크들을 지지하는 링 샤프트가 각각 상하 2열로 배열됨에 따라 장치 전체가 대형화됨과 동시에 부품수의 증가로 코스트가 상승되는 등의 여러 가지 문제점들이 내재되어 있었다.

따라서, 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 구조를 간략화하고 부품수를 최소화하여 코스트를 절감함과 동시에 장치를 소형화할 수 있는 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스를 제공하는데 있다.

도 1 은 일반적인 반도체 소자 검사 장치를 도시한 개략도이다.

도 2 는 본 발명에 의한 픽 엔드 플레이스를 나타내는 전체 사시도이다.

도 3 은 본 발명에 의한 픽 엔드 플레이스를 나타내는 일측면도이다.

도 4 는 본 발명에 의한 픽 엔드 플레이스를 나타내는 배면도이다.

도 5 는 본 발명에 의한 픽커의 결합 상태를 나타내는 도면이다.

도 6 은 본 발명에 의한 픽커를 도시한 사시도이다.

도 7 은 본 발명에 의한 픽커의 요부를 도시한 개략도이다.

도 8 은 본 발명에 의한 픽커의 요부를 도시한 일부 사시도이다.

도 9 는 본 발명에 의한 픽 엔드 플레이스에서 픽커 간격 조절 수단 수단을 도시한 사시도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

20: 장착부재 20a: 로봇 고정부

30: 프레임 40: 픽커 조립체

50: 픽커 51: 픽커 베이스

52: 픽커 실린더 53: 슬라이드 부재

54: 스프링 55: 진공 패드

56: 링크 샤프트 57: 링크

58: 링크 링 60: 픽커 간격 조절 수단

61,62: 간격 조절 실린더 63: 고정 브라켓

64,65: 고정 블록

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스는, 선단에 로봇이 장착되고 스크류축의 작동에 따라 횡방향으로 이송되는 장착부재와, 상기 장착부재의 선단에 결합된 프레임과, 상기 프레임에서 승강 작동되는 픽커 조립체와, 상기 픽커 조립체에 간격 조절 가능케 일렬로 결합되며 각각 승강 작동되는 복수 개의 픽커 및 상기 픽커들의 간격을 가변시키는 픽커 간격 조절 수단을 포함한다.

따라서, 본 발명에서는 픽커의 간격을 조절하는 링크와 이를 지지하는 링 샤프트가 일렬로 배열됨으로써 각 픽커 간의 거리가 균일하고 정확하게 유지되고, 픽커의 개수에 관계없이 설치가 가능하며, 구조가 간략화 됨과 동시에 부품수가 절감되고, 이에 따라 장치 전체가 소형화되고 코스트가 현저하게 절감되는 것이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명한다.

도 2 는 본 발명에 의한 픽 엔드 플레이스를 나타내는 사시도이고, 도 3 은 본 발명에 의한 픽 엔드 플레이스의 일측면도이며, 도 4 는 본 발명에 의한 픽 엔드 플레이스의 배면도로서, 부호 (20)은 선단에 로봇이 장착되는 로봇 고정부(20a)가 형성된 장착부재를 나타내며, 상기 장착부재(20)에는 프레임(30)이 결합되어 있다.

상기 장착부재(20)의 배면 측에는 장치 전체를 횡방향으로 이송시키는 스크류축(21)이 결합되며, 그 전면 측에 결합된 브라켓(22) 내에는 복수 개의 에어 조절 밸브(23)들이 횡방향으로 배열되어 있다.

상기 프레임(30)에는 복수 개의 튜브 가이드(31)(32)가 설치되고, 그 배면 측에는 승강 실린더(33)가 장착되며, 상기 프레임(30)의 하측에는 유저 또는 테스트 트레이(T)에 안착된 소자를 흡착하기 위한 픽커 조립체(40)가 소정의 거리만큼 승강 가능하게 결합되어 있고, 상기 픽커 조립체(40)는 프레임(30)에 형성된 가이드(34)상에서 슬라이드 되는 가이드 블록(41)을 구비하여 승강 실린더(33)의 작동에 따라 수직 방향으로 승강 작동하게 된다.

상기 픽커 조립체(40)는 유저 또는 테스트 트레이(T)내에 안착된 소자들을 흡착하여 이동시키는 픽커(50)들을 구비하며, 상기 픽커(50)들은 픽커 간격 조절 수단(60)의 작동에 따라 적정의 간격으로 조절되어 소자들을 흡착하게 된다.

상기 픽커(50)는 복수 개, 예컨대 8개가 일렬로 배열되어 필요에 따라 픽커 간격 조절 수단(60)의 작동에 의해 간격이 넓어지거나 좁혀지도록 구성되어 있다.

상기 픽커(50)들은 도 5 및 도 6 에 도시한 바와 같이 소정의 간격을 두고 배열된 복수 개의 픽커 베이스(51)와, 상기 픽커 베이스(51)의 배면 측에 장착된 픽커 실린더(52), 그리고 상기 픽커 실린더(52)의 작동에 따라 전진되는 슬라이드 부재(53)를 포함한다.

또한, 상기 픽커 실린더(52)는 작동에 따라 전 후진되는 로드(52a)를 포함하고, 상기 로드(52a)의 선단에는 스프링(54)을 개재하여 슬라이드 부재(53)가 결합되며, 상기 슬라이드 부재(53)에는 진공력에 의해 소자를 흡착하는 진공 패드(55)가 장착되어 있다.

상기 스프링(54)은 소자의 흡착시 가해지는 충격력을 완충하여 소자를 보호하게 된다.

한편, 상기 픽커 베이스(51)에는 도 7 및 도 8 에 도시한 바와 같이 링크 샤프트(56)가 내부에 결합되어 있고, 상기 링크 샤프트(56)에는 장공(57a)을 형성시킨 링크(57)가 각각 연결된다.

그리고, 상기 링크 샤프트(56)에는 링크(57)의 결합 위치가 일정하게 유지하도록 하는 복수 개의 링크 링(58)이 양측에 삽입 고정된다.

상기 링크 링(58)은 링크 샤프트(56)에 삽입된 링크(57)의 위치에 따라 각각 다른 크기의 폭을 가지며, 복수 개의 링크(57)를 링크 샤프트(56)에 삽입된 링크(57)의 양측 또는 그 사이에 삽입하여 링크(57)의 위치가 일정하게 유지하도록 지지하게 되는 것이다.

한편, 상기 픽커 간격 조절 수단(60)은 도 9 에 도시한 바와 같이 횡방향으로 작동되는 한 쌍의 간격 조절 실린더(61)(62)와, 상기 간격 조절 실린더(61)(62)를 픽커 조립체(40)에 고정하는 고정 브라켓(63)과, 상기 간격 조절 실린더(61)(62)의 양측에 결합되어 양 끝단에 위치된 픽커 베이스(51)에 장착되는 고정 블록(64)(65)을 구비한다.

상기 간격 조절 실린더(61)(62)는 서로 반대 방향으로 대향하는 로드(61a)(62a)를 구비하고 있다.

그리고, 상기 고정 브라켓(63)은 도 2 에서 볼 때 오른 쪽에서 네 번째 픽커(50)의 픽커 베이스(51)를 고정하게 되며, 상기 간격 조절 실린더(61)(62)중 하나는 상기 고정 브라켓(63)에 고정된 픽커(50)를 중심으로 오른 쪽에 배열된 세 개의 픽커(50)의 간격을 넓히거나 좁히고 다른 하나는 그 반대측에 배열된 네 개의 픽커(50)를 넓히거나 좁히게 되는 것이다.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스는, 도시하지 로봇의 작동에 따라 적정의 위치에서 스크류축(21)이 작동하면 픽 엔드 플레이스 장치 전체가 횡측으로 이동되어 스토커 내에 위치된 유저 트레이(T)상에 위치하게 되는데, 이때 픽커 간격 조절 수단(60)이 작동하여 각각의 픽커(50)들의 간격을 최소한으로 좁히게 된다.

즉, 한 쌍의 간격 조절 실린더(61)(62)가 작동하여 로드(61a)(62a)를 후진시키면 고정 브라켓(63)에 고정된 픽커(50)를 중심으로 각각의 링크(57)들이 장공(57a)내에서 슬라이딩됨과 동시에 이동된 각각의 픽커 베이스(51)들이 서로 밀접하게 밀착됨으로써 각각의 픽커(50)들의 간격이 최소한으로 좁혀지게 되는 것이다.

이어서, 승강 실린더(33)가 작동하여 픽커 조립체(40)를 하강시킨 후에는 픽커(50)들이 하강하여 유저 트레이(T)내의 소자들을 흡착하게 된다.

즉, 상기 픽커 조립체(40)가 유저 트레이(T)의 상측에 적정의 간격을 두고 위치된 상태에서 픽커 실린더(52)가 작동하면 로드(52a)가 전진하여 슬라이드 부재(53)를 하강시키게 되고, 상기 슬라이드 부재(53)가 하강하여 선단에 장착된 진공 패드(55)가 소자의 표면에 밀착되면 진공력이 작용하여 유저 트레이(T)내에 안착된 소자를 흡착하게 되는 것이다.

상기 진공 패드(55)에 의해 소자를 흡착할 때 충격력이 가해지면 로드(52a)와 슬라이드 부재(53)의 사이에 개재된 스프링(54)의 탄성력에 의한 완충 작용으로 충격력을 흡수 및 차단하여 소자를 보호하게 된다.

그리고, 상기 진공 패드(55)에 흡착된 소자들은 상술한 픽커 실린더(52), 승강 실린더(33), 스크류축(21) 및 도시하지 않은 로봇의 작동에 의해 테스트 트레이 내에 안착되어 테스터에 의한 검사가 가능케 된다.

이때, 테스트 트레이 내로 소자를 안착시키는 경우에는 픽커(50)의 간격이 넓혀지는데, 이는 간격 조절 실린더(61)(62)가 작동하여 로드(61a)(62a)를 전진시키면 양 끝단의 고정 블록(64)(65)에 장착된 픽커 베이스(51)가 횡 방향으로 이완함과 동시에 링크(57) 내의 장공(57a)내에 결합된 링크 샤프트(56)가 슬라이딩함으로써 각각의 픽커(50)들의 간격은 도 7 및 도 8 에 도시한 바와 같이 넓혀진 상태를 유지하게 되는 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 픽커의 간격을 조절하는 링크와 이를 지지하는 링 샤프트가 일렬로 배열됨으로써 각 픽커 간의 거리가 균일하고 정확하게 유지되고, 픽커의 개수에 관계없이 설치가 가능하며, 구조가 간략화 됨과 동시에 부품수가 절감되고, 이에 따라 장치 전체가 소형화되고 코스트가 현저하게 절감되는 등의 여러 가지 효과가 있다.

Claims (5)

1. 선단에 로봇이 장착되고 스크류축의 작동에 따라 횡방향으로 이송되는 장착부재;

   상기 장착부재의 선단에 결합된 프레임;

   상기 프레임에서 승강 작동되는 픽커 조립체;

   상기 픽커 조립체에 간격 조절 가능케 일렬로 결합되며 각각 승강 작동되는 복수 개의 픽커 및;

   상기 픽커들의 간격을 가변시키는 픽커 간격 조절 수단을 포함하는 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 픽커는 복수 개의 픽커 베이스와, 상기 픽커 베이스 내에 결합된 링크 샤프트와, 상기 링크 샤프트에 연결된 장공을 갖는 링크와, 상기 링크를 지지하는 복수 개의 링크 링과, 상기 픽커 베이스의 상측에 슬라이딩 가능케 결합되어 픽커 실린더의 작동에 따라 승강되는 슬라이드 부재와, 상기 슬라이드 부재에 결합되어 소자를 흡착하는 진공 패드를 포함하는 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 픽커는 슬라이드 부재와 픽커 실린더의 사이에 스프링이 개재되어 소자에 가해지는 충격력을 완충시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 픽커 간격 조절 수단은 횡방향으로 작동되어 픽커의 간격을 넓히거나 좁히는 간격 조절 실린더와, 상기 간격 조절 실린더의 작동에 따라 동작하며 일렬로 배열된 픽커의 양 끝단에 위치된 픽커에 고정된 고정 블록을 포함하는 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스.
5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,

   상기 픽커 간격 조절 수단은 픽커중 적어도 하나를 고정시키는 고정 브라켓을 포함하고, 상기 고정 브라켓에 고정된 픽커는 횡방향으로의 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사 장치의 픽 엔드 플레이스.