TW593096B - Load storage apparatus - Google Patents

Load storage apparatus Download PDF

Info

Publication number
TW593096B
TW593096B TW091119497A TW91119497A TW593096B TW 593096 B TW593096 B TW 593096B TW 091119497 A TW091119497 A TW 091119497A TW 91119497 A TW91119497 A TW 91119497A TW 593096 B TW593096 B TW 593096B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
goods
transfer
learning
receiving
distance
Prior art date
Application number
TW091119497A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitaka Inui
Original Assignee
Daifuku Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Kk filed Critical Daifuku Kk
Application granted granted Critical
Publication of TW593096B publication Critical patent/TW593096B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/137Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00Material or article handling
    • Y10S414/135Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

593096 五、發明說明(1 ) 【發明所屬技術領域】 本發明係有關貨品保管裝置,該貨品保管裝置用於例如 ,在潔淨室內進行貨品保管。 【習知技術之說明】 習知,作爲保管於這種貨品保管裝置中的貨品,係具有 插入收納有晶片、液晶板之匣(容器)。在承接該匣之棚架 之各貨品承接部係構成爲:設有進行匣之定位的銷,且於 匣上設有嵌合至上述銷的孔部,藉由上述定位銷與孔部的 嵌合而防止支撐於棚架之貨品承接部之匣自規定位置偏離 、無法在出庫作業時正常地取出該匣、或在運轉時之振動 或地震時產生匣的掉落事故。 【發明所欲解決之問題】 如上所述,在構成將定位銷設於棚架之各貨品承接部上 後,棚架在呈立體性地爲具多數貨品承接部之大型棚架的 情況下,由於棚架本身的初期尺寸誤差、棚架裝配時的水 平精度或垂直精度的誤差等原因,造成從相對該棚架的出 入庫用移載裝置之移載作用部所見,於各貨品承接部上的 定位銷的位置或距離產生微小誤差,其結果,設定於上述 移載裝置之移載作用部上之各貨品承接部間之用以承接傳 遞匣的動作距離爲設計上之一定値後,則貨品承接部側之 定位銷與匣側之孔部呈正常嵌合,產生無法進行正常的匣 入庫作業之貨品承接部。因此,在過去,實際上在開始出 入庫作業之前,調整員係分別對於全數貨品承接部而使上 593096 五、 發明說明 ( 2; ) 述 移 載 裝 置 作 動 測 定相 對 各 貨 品承 接 部 的 移 載 作用 部 之 適 當 地 動 作距 離 進 行 將-其、 記4彔之 調 整 作 業 〇 但 是 在 上 述 的 調 整 作 業 中 係 具 有 必 須 要 求 較 多 時 間 和 勞 力 之 問 題 另 外 具 有伴 隨 調 整 人 丨口丨 的技 術 水 準 在 上 述 調 整 中 係 有 產 生 誤 差 之 虞 0 本 發 明 有 鑑 於 上 述 習 知 之 問 題 5 其 巨 的在於 提 供 —^ 種 貨 品保 管 裝 置 針 對 棚 架 之 各 貨 品承 接 部 使 白 動 地 且 效 率 爲 佳 地 學 習 移 載 裝 置 之 移 載 作用 部 之 適 當 動 作距 離 , 在 實 際 的 出 入 庫 作 業 時 根 據 該 學 習 値 > 提 供 安全 且 正 常 地 進 行出 入 庫 作 業 〇 可 實 現上述 巨 的 之 本 發 明 之 貨 品保 管 裝 置 係 具 備 有 : 棚 架 具 有 收 納 貨 品 之 多 個 貨 品承 接 部 > 移 載 裝 置 學 習 裝 置 5 其特 徵 在 於 移 載 裝 置 係 具 備 移 載 作用 部 , 爲 藉 由 包括相 對 上 述 各 貨 品 承 接 部 之 遠 近 方 向 之 移 動 的 貨 品承 接 傳 遞 動 作 而在 與 貨 品承 接 部 之 間承 接 傳 遞 貨 品 學 習 裝 置 按 照 下 述 方 式形成 該 方 式 爲 • 該 學 習 裝 置 係 以 採 用 設 置 於 上 述 棚 架 中 的 各 貨 品承 接 部 中 之 被 檢 測 部 和 用 以 檢 測 該 被 檢 測 部 之 檢 測 裝 置 , 且 設 置 於 上 述 移 載 作用 部 上 以 便計 測 使 上 述 移 載 作 用 部 從 對 應 於 各 貨 品承 接 部 的 基 準 位 置 靠 近 移 動 至 該 貨 品 承 接 部 而 移 動 時 截 至 上 述 檢 測 裝 置 檢 測 出 該 貨 品 承 接 部的 被 檢 測 部 時 的 移 動 距 離 根 據 該 測 定 値 演 算 由 各 貨 品 承 接 部 之 移 載 作 用 部 之 上 述 基 準 位 置 到 貨 品 承 接 傳 遞 位 置 的 移 動 距 -4 離 於各 貨 品承 接 部 中 , 將 593096 五、發明說明(3) 上述移動距離作爲學習移動距離而記憶,在實際運轉時, 根據該學習移動距離而驅動移載作用部。 若藉由上述本發明之構成,在實際的出入庫作業之前, 使移載作用部位於相對各貨品承接部的基準位置(在後述 的實施例中,爲後退限度位置),使該移載作用部對於貨 品承接部而接近移動。另外,自動地求出移動到貨品承接 部側之檢測裝置在檢測貨品承接部側之被檢測部之位置時 之該移載作用部的移動距離、亦即,各貨品承接部的測定 値。 然而,若移載作用部側之檢測裝置檢測出貨品承接部側 之被檢測部的位置爲移載作用部之貨品承接傳遞位置,則 使該測定値作爲由各貨品承接部之移載作用部之上述基準 位置、到貨品承接傳遞位置之學習移動距離來記憶,當移 載作用部側之檢測裝置檢測出貨品檢測部側之被檢測部的 位置,爲距移載作用部之貨品承接傳遞位置呈一定距離之 靠觀察者側的位置時,進行將上述一定距離値與上述測定 値加法運算’且作爲各貨品承接部之學習移動距離而記億 〇 在實際的出入庫作業時,根據對應於出入庫作業對象之 貨品承接部之學習移動距離而使移載作用部動作,藉此, 當上述移載作用部移動到相對出入庫作業對象之貨品承接 部之貨品承接傳遞位置時,該移載作用部與貨品承接部之 間的相對位置關係係如初期,因此,可正常且安全地進行 593096 五、 發明說明 ( 4; ) 該 移 載 作用 部 與 該 貨 品承 接 部 之 間的貨品承接傳遞作用 〇 如 上 所述 若 藉 由—本-發 明 之 貨 品保管裝置,可自動 地 效 率 佳 地學 習 相 對 棚 架之 各 貨 品 承接部之移載作用部 的 移 動 距 離 ,亦 Μ j \\\ 藉 由 人 工之 情 況 般 的誤差。而在實際的 出 入 庫 作 業 時, 僅 僅 根 據 針對 每 個 貨 品承接部設定的學習 移 動 距 離 値 ,使 移 載 作用 部作 動 , 即 可正常且安全地進行 移 載 作 用 部 與各 貨 品承 接 部之 間 的 貨 品承接傳遞作用。於 是 如 \八 刖 所 述, 在各 貨 品 承接 部 上 設 置疋位銷’即使在由 於 棚 架 本身的初 期 尺 寸 誤 差、 棚 架 裝 配時的水平精度或垂 直 m 度 的 誤 差, 而 對 於 該 棚架 造 成 由 移載作用部所見之各 貨 品 承 接 部 上之定位 銷 位 置或 距 離 產 生微小誤差的情況下 , 仍 可 將 該 定位 銷 作用 正 常機 能 且 可安全的貨品保管。 有 關 實施 上 述 本 發 明之 貨 品 保 管裝置,設於移載作用 部 之 上 述 檢測 裝 置 係 以 可拆卸 白 如 的方式安裝於該移載 作用 部 上 〇 其原 因 在於 : 在將 上 述 檢 測裝置以固定方式設 置 於 移 載 作 用部 上 的 場 合 ,在 該 檢 測 裝置之安裝位置上, 必 須 選 擇 不 對在 實 際 出 入 庫時所 處 理 之貨品造成干涉的位 置 > 但 是 若 檢測 裝 置 可 白 由拆卸於 移 載作用部,則無關此 種 安 裝 位 置 之限 制 將 檢 測裝 置 設 置 於最適於貨品承接部 側 之 被 檢 測 部之 檢 測 的 最 佳位 置 便 可進行良好的檢測動 作 0 另 外 亦增加 設 置 貨 品承 接 部 側 之被檢測部的位置選項 〇 在 採 用上 述 構 成 之 情況 下 上 述移載作用部係可構 成如 下 5 即 • 三几 • 叹 有 定 .爲 〖承 :接傳遞 1貨品 -6 - 3之貨品定位裝置(於 後 述 593096 五、 發明說明 ( 5〕 的 實 施 例 中 爲 定 位 銷 ) ,以i 該貨品 定位裝 置 而 使 安 裝於 移 載 作用 部 上時之 上 述 檢 測 裝 置定位 〇 藉 由 此 種 構 成 可 提 高 檢 測裝置 安 裝於 移 載 作用 部上 之 位 置 m 度 進 而 可 提 局 學 習 精度。 且 由於在 檢 測 裝 置中 並 未 設 置 專 用 的定位 裝 置 故在成本方面亦: 爲: 有: 利 0 此外 上 述 各 貨 品 承 接 部中的被 檢 測部 可 設 置 於 貨品 承 接 部 中 的 任 意 位 置 且 亦 可 添設專 用 之其 他 構 件 來形成 被 檢 測 部 但 是 最 好 將 各 品承接 部 之移 載 裝 置 側 之前 丄山 m 部 作 爲 被 檢 測 部 而利 用 〇 藉 由 此 種 構 成 不 僅 迦 J \ \\ 須 構成被 檢 測部 專 用 之 其 他構 件 且 由 於 被 檢 測 部 爲 貨 品 承 接部的 、上 刖 端部 故可在 不受 其 他 部 分 之 影 響 下 正 確 地 進 行 檢測。 作 爲 本 發 明 可 適 用 的 棚 架 係可考 慮 各種 形式 〇 例如, 可 採 用 白 由 繞 垂 直 軸 心 旋 轉 之 旋轉棚 架 。在 此 情 況 下 ,貨 品 承 接 部 於 其 旋 轉 周 向 設 置 多 個,但 是 ,上 述 移 載 裝 置係 設 置 於 該 旋 轉 棚 架 之 橫 向 外 側 ,其移 載 作用 部 係 可 構 成如 下 : 在 上 述 旋 轉 棚 架 之 貨 品 承 接部內 , 位在 鄰 接 於 該 移載 裝 置 之 旋 轉 周 向 之 貨 品承 接 傳 遞位置 的 貨品 承 接 部 之 間進 行 貨 品承 接 傳 遞 〇 另 外 , 上 述 旋轉周 向 之貨 品承 接 部 群係 呈 上 下 設 置 多 層 於 該 旋 轉 垂 直 軸心之 方 向, 伴 隨 於此 ,上 述 移 載 裝 置 之 移 載 作 用 部 按 照 係構成 爲 可升 降 之 方 式而對 應 於各 層 之 貨 品承 接 部 〇 埋 有 亦 可 具 有 設 置 於 移 載裝置 -7- 周 圍之 固 定 棚 架 。在 此 593096 五、發明說明(6) 情況,移載裝置之移載作用部係構成爲可繞垂直軸心旋轉 之方式而對應-其〜周〜圍之各貨品承接部。另外,當上下設置 有該種多層貨品承接部時,上述移載裝置之移載作用部係 構成爲可升降之方式而對應各層之貨品承接部。 如上述之旋轉棚架和固定棚架係可如後述實施例所示, 亦可倂設於1個移載裝置上。另外,由該旋轉棚架和固定 棚架、以及它們共用之移載裝置所形成的貨品保管裝置, 係可呈隔離狀態設置於潔淨室內。 然而,如上述之旋轉棚架、固定棚架,棚架之貨品承接 部設於上下多層,上述移載裝置之移載作用部係構成爲可 升降之方式而對應各層之貨品承接部的情況下,則在各貨 品承接部中設有升降距離學習用之被檢測部,在上述移載 裝置中設有檢測上述升降距離學習用之被檢測部的檢測裝 置,上述學習裝置係可構成如下:將上述移載作用部由基 準高度(例如從下降限高度)上升時,測定出截至以對各 貨品承接部之升降距離學習用被檢測部所檢測出之升降距 離,根據該測定値,運算由各層貨品承接部之各移載作用 部之上述基準高度、至貨品承接傳遞高度之升降距離,在 各貨品承接部中作爲學習升降距離而記憶,在實際運轉時 ,根據該學習升降距離使移載作用部升降驅動。 藉由此種構成,在貨品承接部沿上下設置多層的棚架中 ,由於即使在各層的貨品承接部之間之上下方向間距產生 偏移的情況下,仍根據記憶於各層貨品承接部之學習升降 593096 五、 發明說明 ( 、 ) 距 離 而使 移 載 作 用 部 升 降 驅 動 故使 移 載 作用 部 確 實 地位 於 對 出 入 庫 對 象 貨 品 承 接 部 爲 適 當 之 貨 品 承 接 傳 遞 局 度 > -- 藉 此 可 正 常 且 安 全 地 進 行 貨 品承 接 傳 遞 〇 還 有 如 上 述 之 固 定 棚 架 棚 架 之 貨 品承 接 部 係 設 於 上 述 移 載 裝 置 之 周 圍 上 述 移 載 裝 置 之 移 載 作用 部 係 爲 : 以 可 繞 垂 直 軸 心 旋 轉 之 構 造 來 對 應 周 向 之各 貨 品承 接 部 在 此 情 況下 於 各 貨 品承 接 部 中 係 設 有 旋 轉 角 學 習 用 之 被 檢 測 部 在 上 述 移 載 裝 置 中 係 設 有 檢 測 上 述 旋 轉 角 學 習 用 之 被 檢 測 部 之 檢 測 裝 置 上 述 學 習 裝 置 係按 照 下 述 方 式而 構 成 即 ; 當 由 基 準 位 置 使 上 述 移 載 作用 部 旋 轉 時 測 定 出 截 至 以 對 應 之 周 向 之 各 貨 品 承 接 部 之 旋 轉 角 學 習 用 被 檢 測 部 所 檢 測 出 之 旋 轉 角 在各 貨 品 承 接 部 中 作 爲 學 習 旋 轉 角 而記 億 > 在 實 際 運 轉 時 5 根 據 該 學 習 旋 轉 角 而使 移 載 作 用 部 旋 轉 升 降 驅 動 〇 藉 由 此 種 構 造 即使在 周 向 各 貨 品承 接 部 之 周 向 之 間 距 (角度) 產 生 偏 移 因 根 據 每 次 記 憶 在 周 向 各 貨 品 承 接 部 之 學 習 旋 轉 角 而使 移 載 作用 部 旋 轉 驅 動 故使 移 載 作用 部 確 實 地位於 對 出 入 庫 對 象 之 貨 品承 接 部 爲 關 於在 旋 轉 周 向 上 適 當 地 貨 品承 接 傳 遞 位 置 藉 此 ’ 可 正 常 且 安 全 地 進 行 貨 品承 接 傳 遞 〇 此外 , 如 上 述 固 定 棚 架 J 當 該 貨 品保 管 裝 置 爲 下 述 的 實 施 例 中 給 出 的 貨 品 保 管 裝 置 其 中 當 該 貨 品承 接 部 呈 多 數 且 上 下 方 向 亦 配 設 多 層 在 移 -9 載 裝 置 之 周 向 上 的 情 況下
五、發明說明(8 ) %或如上述亦倂設有旋轉棚架時,在如後數實施例所示之 胃品保管-裝〜置的情況下,在固定棚架之各貨品承接部或旋 轉棚架之各貨品承接部上,設有上述3種被檢測部的同時 ’在移載裝置側上設有上述3種檢測裝置,但是,實際上 $由1個或2個被檢測部來兼用各貨品承接部之3種被檢 測部,也可由1個或2個檢測裝置來兼用移載裝置側之3 種檢測裝置。 在上述貨品承接部設置升降距離學習用被檢測部或旋轉 角學習用被檢測部的情況下,可將該等被檢測部構成在各 貨品承接部之移載裝置側之前端面。由於該等被檢測部係 對應於檢測裝置之檢測方式所構成,故可根據需要而將反 射帶或磁性板貼付在上述貨品承接部的前端面,依據情況 ,可維持該貨品承接部之前端面以作爲被檢測部。 本發明之其他各種特徵,係可由下述依據附圖所說明之 本發明較佳實施例而容易地理解。 【本發明較佳實施例之詳細說明】 以下依據圖式第1至10圖,說明本發明之第1實施例 〇 如第1至3圖所示,設置有貨品保管裝置1 0之潔淨室1 係爲··從頂棚2側朝室內供給經淨化之氣體A,將構成爲 使室內從上往下流動之氣體A排出至座板3下側之下流方 式。該貨品保管裝置1 〇係由矩形箱狀之環壁體11、設置 於該環壁體11內之旋轉棚架21、移載裝置51、以及固定 -10- 593096 五、發明說明(9) 棚架1 0 1等所構成。 上述環壁體1 1係由框架體1 2、下部外板1 3、上部外〜板〜 1 4等所構成,該下部外板1 3係安裝於框架體1 2的外側的 下半部,而該上部外板1 4係安裝於框架體1 2外側之上半 部。此時,下部外板1 3或上部外板1 4之至少一部分、主 要是上部外板1 4方面爲採用樹脂製等透明板,藉此,構 成可由外側掌握環壁體11內之貨品保管室(貨品保管空間 )1 5之狀況。再者,傾斜地對上述環壁體11之至少一處之 角部、且上下方向之一定範圍(例如,上部外板1 4所配 設之上下方向範圍內的4個角部1 6 )進行切割。 由上述所構成之環壁體11係使上下呈開放狀,因此, 來自頂棚2側之淸潔氣體A藉由在環壁體1 1內部由上向 下通過,而使該環壁體1 1內之貨品保管室1 5保持在淸潔 的環境氣體中。此外,環壁體11係經由設在框架體1 2下 部之腳座1 7而安裝於座板3上。 如第1圖、第3圖至第5圖所示,在靠近上述貨品保管 室1 5內之一側的位置上設置有旋轉棚架2 1。該旋轉棚架 2 1係設呈可自由繞縱向之旋轉棚架軸心22旋轉的同時, 在以該旋轉棚架軸心22爲中心之旋轉圓路徑23上設有多 個貨品承接部(棚架的貨品承接部之一例)32。 即,在座板3上,設置有底板24,在該底板24上,經 由將上述旋轉棚架22作爲中心之圓狀LM導向裝置25而 設有圓板狀之旋轉體26。從該旋轉體26之中央部分,在 -11- 593096 五、發明說明(1〇) 以位於旋轉棚架軸心22上之狀態下立設有六角筒狀之縱 軸體,在該縱軸體27之頂端設有封閉板27A。另外, 從該封閉板27A之中央部分所立設之縱向銷28,在上述環 壁體1 1上部之支撐板1 8上經由軸承裝置29而呈自由空 轉狀地被支撐。 六角之環狀板30係分別經由周向多個安裝構件3 1而安 裝於上述縱軸體27之上下方向之多處,且使上述貨品承 接部32設於該等各環狀板30之周向等間距間隔開之多處 (具體來說,爲6處)。該等貨品承接部32係將其基端經 由連結件33而連結於上述環狀板30之周邊,藉此,在由 該環狀板30呈輻射狀朝橫向外方突出的狀態下,以懸臂 狀而被支撐於環狀板30上。 在各貨品承接部32上,形成由上下方向及環狀板30所 見爲開放於離心方向(外側)之凹部3 4,並且在該凹部3 4 周邊之適當處(1處至多處,在圖示例中爲3處)立設有定 位銷35。此外,在貨品承接部32的基端部分上,構成存 貨檢測裝置之一部分的反射鏡36係爲在自由端部分上構 成位階檢測裝置之一部分的反射帶,係分別將其鏡面朝向 後述移載裝置51之移載軸心52而設置。 在上述旋轉棚架21上,係倂設有使該旋轉棚架21旋轉 之旋轉棚架驅動裝置4 1。亦即,旋轉驅動部42設置於上 述底板24之角落,在由該旋轉驅動部42朝下之驅動軸43 上則設有驅動齒輪44。在上述旋轉體26之周緣上設有環 -12- 593096 五、發明說明(11 ) 形齒輪45,上述驅動齒輪44係經常地嚙合至環形齒輪45 。在此’旋轉驅動部42係由AC伺服馬達或減速-機筹4&合 所形成,且構成應可正逆向驅動上述驅動軸4 3。 從而,藉由以旋轉棚架驅動裝置41之旋轉驅動部42而 沿正逆向地驅動驅動軸43,則將經由驅動齒輪44和環形 齒輪4 5之旋轉棚架2 1可繞旋轉棚架2 2正逆向旋轉。此 時,旋轉棚架21係構成爲可進行最大爲達到丨80°之旋轉 。藉由以上述之參照標號22至45所示構件而構成作爲一 例之旋轉棚架2 1。 亦即,在座板3上設有基底框架54,從該基底框架54 立設有支柱體5 5,並且在該支柱體5 5的前面側設有導軌 5 6,在此,支柱體5 5係如第8圖所示,由左右一對側構 件55A、嵌合於該對側構件55A之間的後構件55B、以及 嵌合於該後構件55B內側之左右一對側架構件55C所形成 ,在該左右一對側架構件55C之前面側分別設有上述導軌 56。另外,在支柱體55之上端設有上框架57(參照第7圖) ,同時在左右一對側架構件55C之前側上分別設有蓋體58 〇 於上述導軌56方面,升降部60爲經由被導向體59被 支撐呈可自由升降狀’且併設有升降驅動該升降部60之 升降驅動裝置61。上述升降部60係藉由縱向構件60A、 以及橫向構件60B形成,該縱向構件60A係安裝於上述被 導向體59上,而該橫向構件60B爲連接設置呈從該縱向 -13- 593096 五、發明說明(12 ) 構件60A的底端朝向前方,從側面看,該升降部60呈L 上述升降驅動裝置61由下述構件構成,即:驅動輪體 62,係軸支撐於上述支柱體55之下端(基底框架54內); 從動輪體63,爲軸撐上述支柱體55的頂端(上框架57內) ;捲掛轉動體(正時皮帶等)64,爲捲繞於兩輪體62、63 之間;導向輪體65,爲設於上述驅動輪體62附近;旋轉 驅動部66,係連結連動至上述驅動輪體62等。在此,各 輪體62、63、65分別形成左右一對,而捲掛轉動體64億 張設呈左右一對 ° 然而,左右一對捲掛轉動體64係區分爲捲繞於驅動輪 體62之下位轉動部64A、以及捲繞於從動輪體63之上位 轉動部64B,相對支柱體55而位於前面側之下位轉動部 64A的自由端(上端)與上位轉動部64B的自由端(下端)係 被連結於上述被導向體59側,另外,在對於支柱體55而 位在後面側之下位轉動部64A的自由端(上端)與上位轉動 部64B的自由端(下端)之間夾設有張力調整器67。上述旋 轉驅動部66由可正逆向驅動之AC伺服馬達、減速機之組 合所形成,在其驅動軸68上安裝有上述驅動輪體62,再 者,以連結連動有脈衝編碼器66A(第11圖)。 在上述升降部6 0之橫向構件60B上,爲支撐有經由該 軸承72且以與上述移載軸心52呈同心狀之縱軸71,旋轉 體70爲固定支撐於該縱軸71上。從而,旋轉體70可繞 -14- 593096 五、發明說明(彳3) 上述移載軸心5 2旋轉自如,藉由旋轉驅動裝置7 3而旋轉 驅動。 一s 旋轉驅動裝置73係構成如下旋轉驅動部74,係由上述 縱向構件60A跨越橫向構件60B所設置;驅動輪體76,係 安裝於朝下之的驅動軸75上;從動輪體77,係安裝於上 述縱軸7 1上;無端轉動體(正時皮帶等)78,係捲繞於兩 輪體76、77之間;多數之導向輪體79,係設置於橫向構 件6 0B內等。上述旋轉驅動部74係由可正逆向驅動之步 進馬達等所構成。此外,在從動輪體77上,爲了檢測時 旋轉體70之方向,而固定有配合旋轉棚架2 1之貨品承接 部32以及後述之4個方向之固定棚架101之貨品支撐部 103方向的定位檢測板80,在該定位檢測板80內部,係 倂設有;HP感測器80A,爲檢測出對應於旋轉棚架21之 貨品承接部32的定位檢測板80 ;定位感測器80B,爲檢 測出對應於固定棚架101之貨品承接部103之各定位檢測 板80。 上述移載作用部81爲叉狀且構成如下:前後方之支撐 板81A,其呈自由進退於前後水平方向狀而被支撐在可繞 移載軸心52旋轉自如的旋轉體70上;以及偏離限位板 81B’係由該支撐板81A之中央部分立設。另外,在上述 偏離限位板81B前方,由支撐板81A上之多處立設有定位 銷82。 在上述旋轉體70上,沿前後方向設置有左右一對導軌 -15- 593096 五、發明說明(ι〇 構件8 3,且在該等導軌構件8 3間之中央位置上設有前後 方向之導向體84。而在上述支撐板81A後端之下底面側上 ,係設有外嵌於上述導向體84、且構成LM導向件之被導 向體85。此外,在偏離限位板8 1 B上,設置有檢測上述反 射鏡36與反射帶37(參照第5圖)的光電開關89。 使上述移載作用部81進退於前後方向之進退驅動裝置 90係構成如下:螺稈91,爲沿上述導向體84設置;螺帽 體92,爲設置於上述移載作用部8 1之下面側、且螺鎖至 上述螺稈9 1 ;旋轉驅動部94,爲裝載於上述旋轉體70上 、且通過帶式連動裝置93連動連結於上述螺桿9 1。旋轉 驅動部94係由可正逆向驅動之步進馬達等所構成。另外 ,還同時設置有HP感測器95 (第1 1圖),該HP感測器95 檢測移載作用部81處於最大退回的狀態(牽引極限狀態) 的情況。 另外,上述移載作用部81中的支撐板8 1 A係對於上述 貨品承接部32之凹部34呈自由升降狀。而在上述支柱體 55上,設置有防塵皮帶87,其可允許被導向體59側之升 降、且封閉兩個蓋體58之間的間隙,另外,在旋轉體70 上’設置有防塵皮帶88,該防塵皮帶88爲允許移載作用 部8 1的前後運動,並且封閉導向體8 4的上方。 藉由以上述標號52至95所示之構件,便形成作爲一例 之移載裝置51。而移載裝置51之移載作用部81係爲:可 繞與上述旋轉棚架軸心2 2平行的移載軸心5 2旋轉,並且 -16- 593096 五、發明說明(15 ) 在呈重疊於相切至上述旋轉圓路徑23之移載圓路徑53上 進行作用。 ——__ 如第1圖、第3圖、第9圖、第1〇圖所示,上述固定 棚架101爲,在上述貨品保管室15內被設在上述移載圓 路徑53上之4處(單處或多處)。亦即,在環壁體11內, 於框架體12之上下方向之多處上,在上述移載圓路徑53 之外側架設有水平方向之扁鋼1 02,在各扁鋼1 02上支撐 有作爲棚架之貨品承接部之一例的貨品支撐部1 03。該等 貨品支撐部1 03爲呈水平板狀之物,其基端經由連結件 1 04而結合至扁鋼1 〇2,且以突出於移載圓路徑53側之以 懸臂方式支撐。 而在貨品支撐部103上,形成有上下及移載圓路徑53 側敞開的凹部105,且在該凹部105周邊之適當處(1至多 處,在圖示例中爲3處)立設有定位銷1 06。此外,將上述 凹部105內構成爲可升降通過上述移載作用部81之支撐 板81A。藉由上述標號102至106所示之構件而構成作爲 一例之固定棚架1 0 1。 此’在貨品支撐部1 0 3之基端部分上構成爲存貨檢測裝 置之一部分的反射鏡1 07、以及在自由端部分上構成位階 檢測裝置之一部分的反射帶1 08,係附設呈將其鏡面以朝 向移載裝置51之移載軸心52。該等反射鏡107與反射帶 1 08係分別藉由通過上述光電開關89所檢測。 如第1圖至第3圖、以及第9圖所不,在上述固定棚架 -17- 593096 五、發明說明(16 ) 1 〇 1側係設有入庫用貨品處理部111和出庫用貨品處理部 1 1 6。亦即,在環壁體11之下部外板1 3中,形成有入庫 用貫穿部112和出庫用貫穿部117,在通過這些貫穿部 1 1 2、11 7且跨越環壁體內外之狀態下設有上述貨品處理部 111 、 116 〇 各貨品處理部11 1、1 1 6之內端部分係爲:以平面所視 爲以彎曲的方式進入設於貨品保管室1 5內之一端角部的2 個固定棚架丨〇1內,在各固定棚架101之貨品處理部111 、1 1 6之內端部分進入的部分’將上下規定層數的貨品支 撐部103去除。 上述貨品處理部111、Π 6之內端部分係爲:構成爲與 貨品支撐部103相同而可使移載裝置51作用,且設有同 樣之內部定位銷11 3、1 1 8。此外,在上述貨品處理部1 11 、1 1 6之外端部分上亦設有同樣地外部定位銷11 4、11 9。 此外,在貨品處理部111、11 6上,雖然圖中未示,然係 設有可升降之皮帶傳送裝置等傳送裝置。另外,在各貨品 處理部111、11 6之內端部分上亦與貨品支撐部1 0 3相同 地,分別設有反射帶1 08,爲將其鏡面朝向移載裝置5 1之 移載軸心52構成位階檢測裝置之一部分。這些反射帶1 〇8 係藉由上述光電開關89所檢測。 如上所述,在保持淸潔環境氣體之環壁體11內,設置 有旋轉棚架21、移載裝置51以及固疋棚架101»在旋轉 棚架21上,沿上下分多層設置有多個貨品承接部32,該 -18- 593096 五、發明說明(17 ) 多個貨品承接部32沿旋轉圓路徑23並排且可成整體旋轉 ’在固定棚架101上,沿上下分-多f設置有沿移載圓路徑 53並排之固定的貨品支撐部1〇3。另外,移載裝置51構 成爲可對應於旋轉棚架21之貨品承接部32或固定棚架 1〇1之貨品支撐部103之上下各層而作用的方式形成。此 外’以該等旋轉棚架21、移載裝置51、以及固定棚架101 所處理之貨品,亦即爲匣1 20,係於其下面側中,以容許 上述定位銷35、82、106、113、114、118、119之嵌合的 嵌合部1 2 1係形成爲凹入之長孔狀。 以下,說明在上述第1實施例中之貨品保管裝置使用方 法。 在具有貨品保管裝置1 〇之潔淨室1內,將由頂棚2側 供給到室內之淨化氣體A藉由排出於座板3下側之下流方 式而確保淸潔地環境氣體,使來自該潔淨室1頂棚2側之 一部分淨化氣體A下流至貨品保管裝置1 〇之環壁體π內 ’藉此,該環壁體11內部亦可確保淸潔地環境氣體。 以此種潔淨室1而將匣120入庫至貨品保管裝置10內 以進行保管的情況下,首先,藉由人工操作或入庫裝置而 將欲入庫之匣1 2 0載置於入庫用貨品處理部1 1 1的外端部 分’使其底面之嵌合部1 2 1嵌合至與外部定位銷1 1 4。如 此,經由該入庫用貨品處理部1 1 1所具有的傳送裝置,而 將載置於入庫用處理部1 1 1之外端部之的匣丨20暫時抬起 、般送,通過入庫用貫穿部1 1 2而使位於入庫用貨品處理 -19- 593096 五、發明說明(18 ) 部1 1 1之內端部分的狀態下降下,藉此,使其底面之嵌合 部1 2 1嵌合至內部定位銷1 1 3。 接著,從入庫用貨品處理部1 1 1的內端部分將匣1 20藉 由移載裝置51所接收。此時,如第6圖之實線所示,在 使空的移載作用部8 1退入到旋轉體70區域內的狀態下, 使該移載作用部81之旋轉和升降同時地進行、或使任何 一方先進行,再按照前後的順序進行。 即,移載作用部81之旋轉係爲:藉由旋轉驅動裝置7 3 之旋轉驅動部74而經由驅動軸75使驅動輪體76正逆向 旋轉。藉此,經由無端轉動體78或從動輪體77而使縱軸 7 1正逆向旋轉,藉此,可經由旋轉體70而使移載作用部 8 1繞移載軸心5 2旋轉。 此外,移載作用部8 1之升降係爲:界由於升降驅動裝 置6 1中之旋轉驅動部6 6、經由驅動軸6 8而使驅動輪體 62朝正逆向旋轉。藉此,使轉動體64正逆向轉動,由此 ,可經由被導向體59或升降部60而使移載作用部81升 降。 如此而使在移載作用邰81中進行旋轉和升降運動,而 可將該移載作用部81位於入庫用貨品處理部111內端部 分之稍下方之位階。 然後,使移載作用部81進行突出作動。亦即,藉由進 退驅動裝置90中之旋轉驅動部94而經由帶式連動裝置93 使螺桿91旋轉,使螺帽體9 2移動以可使移載作用部81 -20 - 593096 五、發明說明(19) 自旋轉體70突出移動。此時之移載作用部81係以導向體 84和被導向體85導向而呈-直4泉狀移動。其結果,可使移 載作用部8 1,位於裝置於入庫用貨品處理部1 1 1之內端部 分之匣120的正下方。 在此狀態下,界猶如前所述之升降驅動裝置61之動作 ,經由升降部60等而使移載作用部81稍稍上升。其結果 是’該移載作用部81通過入庫用處理部ill之內端部分 的凹處而上升,在此過程中而將裝載於入庫用貨品處理部 1 1 1之內端部分之匣1 20抬起,然而,此時定位銷82係嵌 合至匣底面之嵌合部121。之後,使進退驅動裝置90以與 上述相反之方式作動,使移載作用部81退入移動至旋轉 體70側,藉此而可將匣1 20取回到旋轉體70之上方位置 〇 之後,與上述相同地藉由旋轉體70使移載作用部8 1旋 轉的同時,根據需要而使其升降,藉此,使匣1 2 0位在相 對於作爲標的之固定棚架1 〇 1之作爲標的之位階的貨品支 撐部1 0 3,亦即,位於標的之貨品支撐部1 〇 3的稍上方的 位階處。 接著,與上述相同地使移載作用部8 1對於旋轉體70突 出移動,藉此而使所支撐之匣1 2 0移動到標的貨品支撐部 1 0 3之正上方位置。然後,使移載作用部8丨稍稍下降而將 該匣120載置於貨品支撐部1〇3上。此時,使匣底面之嵌 合部1 2 1嵌合至定位銷1 〇 6。之後,藉由使移載作用部8 1 -21 - 593096 五、發明說明(2〇) 退入,將供給至入庫用貨品處理部1 1 1之內端部分的匣 120入庫至固定棚架101上、以結束一連串之匣入庫作業 〇 另外,移動到入庫用貨品處理部1 1 1之內端部分的匣 1 20亦可入庫至旋轉棚架2 1上。亦即,如上述,將位於入 庫用貨品處理部1 1 1的內端部分之匣1 2 0於藉由移載裝置 5 1承接之作業中,先行使旋轉棚架21旋轉、進行匣入庫 的備。 該旋轉棚架21之旋轉係進行如下,即:使旋轉棚架驅 動裝置41中之旋轉驅動部42啓動,經由驅動軸43而使 驅動齒輪44正逆向旋轉的同時使環形齒輪45正逆向轉動 ,於此經由縱軸體27等而使貨品承接部32群繞旋轉棚架 軸心22旋轉。而由於貨品承接部32群係在旋轉圓路徑23 上旋轉運動,故當入庫所需之貨品承接部32到達與移載 圓路徑53交接之位置時,係可使該旋轉停止。 此外,旋轉棚架2 1之旋轉係爲:在截至於與移載圓路 徑53交接位置上之入庫標的之貨品承接部32之旋轉距離 較短方向上,以最大1 80 °於正向或逆向進行旋轉,藉此 可有效地進行入庫標的之貨品承接部32之調用(移載裝置 5 1朝向匣承接傳遞位置的調用)。此外,在通過移載裝置 51來接收匣120之作業中,先使旋轉棚架21旋轉、進行 入庫準備,而可提高整體作業效率。另外,想當然爾,在 入庫標的之貨品承接部32從最初而位於移載裝置5 1之匣 -22 - 593096 五、發明說明(21 ) 承接傳遞位置時,旋轉棚架2 1的旋轉是不進行的。 如上所述,若使入-庫標^的之貨品承接部3 2停止在調用 位置(移載裝置5 1之匣承接傳遞位置),則與上述相同地 使移載裝置51作用,以將由移載作用部8 1所支撐之匣 1 20移載至如第1圖和第5圖所示之貨品承接部32上。此 時,使匣底面之嵌合部121與定位銷35嵌合。藉此,將 位於入庫用貨品處理部111之內端部分之匣1 20移載於旋 轉棚架2 1之入庫標的之貨品承接部3 2上而結束一連串的 入庫作業結束。 另外’保管於固定棚架1 〇 1中之匣1 20亦可利用如上述 之移載裝置51之作動或旋轉棚架21之旋轉,而可移動到 旋轉棚架2 1中任意貨品承接部32上以進行保管。於此作 業時’將收固定棚架1 〇 1之匣1 20以移載裝置5 1承接的 作業中,先使旋轉棚架21旋轉、進行入庫準備,藉此而 可提高整體的作業效率。在此情況下,當入庫標的之貨品 承接部32從最初便位於調用位置(移載裝置51之匣承接 傳遞位置)時,旋轉棚架2 1之旋轉是不進行的。 藉由使移載裝置51作動呈與上述相反的操作,進行匣 1 20之出庫作業。亦即,支撐於旋轉棚架2 1之貨品承接部 32之匣120內、出庫標的之匣120或支撐於固定棚架ΐ(π 之貨品支撐部103之匣120內,可將出庫標的之匣120搬 運出到出庫用貨品處理部1 1 6內端部分。運出到該出庫用 貨品處理部11 6內端部分的匣1 2 0通藉由出庫用貨品處理 -23 - 593096 五、發明說明(22 ) 部116所具有之搬送裝置而經由出庫用貫穿部117搬運至 出庫用貨品處理部1 1 6之外端部分,藉此而結束出庫作業 〇 此外,保管於旋轉棚架21中之匣120亦可通過移載裝 置51的作動或旋轉棚架21之旋轉而移動到固定棚架1〇1 、進行保管。 在如上述各出入庫作業中,位於匣1 20之嵌合部1 2 1的 定位銷 35、82、106、1 13、114、1 18、1 19,爲藉由嵌合 而可防範爲然地防止因旋轉中離心力的使匣1 2 0從規定位 置移動所造成之各種事故,例如,與其他匣或組成構件等 接觸的事故、或無法使匣1 20正常地進行移載動作、掉落 事故等。 如上所述,移載裝置5 1係爲:僅使移載作用部8 1繞移 載軸心5 2旋轉而不進行行駛移動,故而無須行駛移動等 所用之佔用空間,因而可簡潔地構成包括旋轉棚架2 1和 固定棚架101之設備整體。另外,亦容易使設備整體的貨 品(匣120)的保管量增加,即使在如使潔淨室1之淸潔空 間盡可能地窄化之處,亦可容易地採用本發明之貨品保管 裝置。 此外,在環壁體1 1內,淨化氣體A爲藉由下流之方式 而流動,以將旋轉棚架21或移載裝置51等產生之灰麈可 由該流動帶出、快速地將其去除。從而,貨品保管室i 5 內係可保持充分地淸潔度,而適於要求在淸潔之環境氣體 -24- 593096 五、發明說明(23 ) 內保管之貨品(匣1 20 )的保管。 爲進行上述匣一 1-5办之出入庫,相對於旋轉棚架2 1之貨 品承接部32、固定棚架101貨品支撐部1〇3,、庫用貨品 處理部1 1 1、以及出庫用貨品處理部1 1 6,移載裝置5 1移 載作用部81之旋轉、升降和進退動作係預先學習各部32 、103、111、116之位置,亦即,預先學習旋轉角度、對 於下降限度之升降距離、以及進退距離。該學習係以由電 腦形成之的學習裝置1 23而將設計時之設計値藉由補償處 理來進行。第11圖表示該學習裝置123之方塊圖。 在學習裝置123中,設有升降距離檢測部124、XY學習 部127、以及Z學習部128。升降距離檢測部124係爲: 藉由計數由升降驅動裝置6 1旋轉驅動部66的衝編碼器 66A所輸出的脈衝,而求出移載作用部81之升降距離。 XY學習部127係爲:學習對於全數貨品承接傳遞對象( 位於與旋轉棚架2 1移載裝置5 1鄰接的出入庫位置的各層 貨品承接部32、各固定棚架101中的各層貨品支撐部1〇3 、以及出入庫用貨品處理部1 1 1、1 1 6 )爲來自移載作用部 81之基準高度的升降距離(X座標値),來自於基準位置旋 轉角(Y座標値)。在此,升降方向基準高度指係爲:如升 降部60位於下降限度位置時,旋轉方向之基準位置係爲 :如移載作用部81在與旋轉棚架21之貨品承接部32之 間進行貨品承接傳遞的方向(正對旋轉棚架軸心22之方向) 時’此時,HP (原始位置)感測器8 0 A檢測出1個定位檢測 -25- 593096 五、發明說明(24 ) 板80。 說明升降位置(X方向位置)之學習方法後,首先,作爲 — 前提條件,安裝於移載裝置5 1之升降部60上之5個定位 檢測板80係爲:安裝呈分別對應於平面所視之移載裝置 51周13之5個貨品承接傳遞fef象。在移載作用部81處於 基準高度(升降部60處於下降限位置)之狀態下,使移載 作用部81旋轉,HP(原始位置)感測器80A在檢測出相對 應之1個定位檢測板80,此時,使移載作用部81停止。 於是,由從平面所視,移載作用部81係在與旋轉棚架21 之貨品承接部32之間呈現進行貨品承接傳遞之方向。在 此狀態,當藉由升降部60使移載作用部81上升後,則每 當移載作用部81與位於鄰接於旋轉棚架21中的移載裝置 5 1的出入庫位置的各層貨品承接部32鄰接時,升降部60 側(安裝於移載作用部8 1上)的光電開關89檢測各層貨品 承接部32的被檢測部(反射帶37 ),因此,在該檢測時, 由升降距離檢測部1 24、讀取升降距離値(來自基準高度之 上下方向距離値),記憶於旋轉棚架21之縱一列份的各層 貨品承接部32的升降距離値(X座標値)。 若結束旋轉棚架21之縱一列份的各層貨品承接部32之 升降距離値(X座標値)的學習,則按照規定角度使旋轉棚 架2 1旋轉,使下一縱列之各層貨品承接部32位於與移載 裝置51鄰接之出入庫位置後,如上所述,記憶該縱一列 份的各層貨品承接部32之升降距離値(X座標値)。以下, -26- 593096 五、發明說明(25 ) 反覆進行該操作,進行相對旋轉棚架21之全數貨品承接 部32之升離値(X座標値)的學習。 然後,雖對於各固定棚架1 0 1之貨品支撐部1 03來學習 上述的升降距離値(X座標値),然因藉由使移載作用部8 i 旋轉而將定位檢測板80以定位感測器80B依次檢測,因 此,當定位感測器80B檢測出對應於1個固定棚架1 〇 1之 定位檢測板80時便使移載作用部8 1停止。在此狀態,與 針對上述旋轉棚架2 1之各層貨品承接部32學習升降距離 値(X座標値)的情況相同,使移載作用部8 1由基準高度上 升,將各層貨品支撐部103之被檢測部(反射帶1〇8)以 升降部60側(安裝於移載作用部8 1上)之光電開關89檢 測時,讀取來自升降距離檢測部1 24之升降距離値(來自 基準高度之上下方向距離値),記憶對於1個固定棚架1 〇 1 中之縱一列份的各層貨品支撐部1〇3(當在固定棚架1〇1中 ’設置出入庫用貨品處理部111、11 6時,亦包括該出入 庫貨品處理部1 1 1、1 1 6 )的升降距離値(X座標値)。 若結束對於1個固定棚架1 〇 1之學習作業,則再次使移 載作用部8 1旋轉,在定位感測器80B檢測到與下一固定 棚架101相對應的定位檢測板80之位置使移載作用部81 停止’學習記憶相對該固定棚架1 〇 1的縱一列份的各層貨 品支撐部1 03之上述升降距離値(X座標値)。 如上所述’若相對全數之貨品承接傳遞對象(位於與旋 轉棚架2 1中的移載裝置5 1鄰接的出入庫位置的各層貨品 -27- 593096 五、發明說明(26 ) 承接部32,各固定棚架101中的各層貨品支撐部1〇3,以 及出入庫用貨品處理部111、116)之移載作用部si來自 準高度之升降距離(X座標値)的學習記憶結束,則接著進 行相對該全數之貨品承接傳遞對象之移載作用部8 1來自 基準位置之旋轉角(Y座標値)的學習。 亦即,根據預先學習、記憶之升降距離(X座標値),將 移載作用部81 (升降部60)從基準高度(下降限度位置)上 升到例如最初之層的貨品承接傳遞對象位階處而使其停止 。在該狀態旋轉移載作用部8 1後,則升降部60側(安裝 於移載作用部8 1 )之光電開關89依次檢測出位於該位階處 之各貨品承接傳遞對象(位於與旋轉棚架21中的移載裝置 51鄰接的出入庫位置的貨品承接部32,各固定棚架1〇1 中的貨品支撐部103,或出入庫用貨品處理部111、116) 之作爲被檢測部的反射帶37或108,同時HP感測器80A 或定位感測器80B均檢測定位檢測板80,因此,HP感測 器80A在檢測出相對應之定位檢測板80的時間點(移載作 用部81在與旋轉棚架2 1之間進行貨品承接傳遞之位置) 下,即,移載作用部81從位於基準位置時起,對輸出給 旋轉驅動部74之脈衝次數進行計數,上述光電開關89將 檢測到各貨品承接傳遞對象的反射帶37或108時之脈衝 次數,作爲從基準位置到周向各貨品承接傳遞對象(位於 與旋轉棚架2 1中之移載裝置5 1鄰接之出入庫位置的貨品 承接部3 2,各固定棚架1 0 1之貨品支撐部1 〇 3或出入庫貨 -28- 593096 五、發明說明(27 ) 品處理部1 1 1、11 6 )之移載作用部8 1的旋轉角(γ座標値) >進-行I 憶。 若結束1層份的旋轉角(γ座標値)之學習,接著便根據 預先學習記憶之升降距離(X座標値),使移載作用部8 1 ( 升降部60)從基準高度(下降限高度)上升到例如第2層之 貨品承接傳遞對象位階、且使其停止。之後,按照與上述 相同的方式進行作業’使由基準位置到周向各貨品承接傳 遞對象(位於與旋轉棚架21中的移載裝置51鄰接之出入 庫位置的貨品承接部3 2,各固定棚架1 0 1中的貨品支撐部 1 03 )的移載作用部8 1旋轉角(Y座標値)進行學習記憶。 此外,作爲在上述學習作業時所使用之移載裝置5 1側 的檢測裝置,雖顯示出安裝於移載作用部81上之1個光 電感測器89,但是該光電感測器8 9僅爲例示,實際上, 對檢測作爲被檢測部的反射帶37、1 08情況良好的部位上 ,係可區分設置升降距離學習用檢測裝置和旋轉角學習用 檢測裝置。 另外,就以上之學習値、特別是升降距離(X座標値)來 說,因不超過由移載作用部81所見之各貨品承接傳遞對 象的基準位置,故藉由貨品承接傳遞對象側之被檢測都或 移載裝置側之檢測裝置的位置,而考慮該學習升降距離(X 座標値)相當於相對各貨品承接傳遞對象的貨品掏起位階 的情況、相對於貨品卸下位階的情況、考慮均不相當之純 基準位階的情況。從而,對於貨品承接傳遞對象之移載作 -29 - 593096 五、發明說明(28) 用部81的貨品承接傳遞動作中,由於必須使移載作用部 8 1停止於貨品掏起位階和貨品卸下位階,故根據需―要^必 須將一定升降距離値加算或減算於上述學習升降距離値(X 座標値)、求出每個貨品承接傳遞對象升降貨品掬起時的 實際升降距離(X座標値)與貨品卸下時升降距離(χ座標値) ’將其作爲最終學習値而進行記憶。 如上所述,結束對於全數貨品承接傳遞對象之升降距離 (X座標値)與旋轉角(Υ座標角)的學習,在作成χγ表後, 則接著學習相對各貨品承接傳遞對象之移載作用部8 1的 進出移動距離(Ζ座標値)。 Ζ學習部128係爲求出朝向移載作用部81周圍各部32 、103、111、116之移載作用部81的退出距離。即,該移 載作用部8 1之退出距離的學習如第1 2圖所示,採用借助 該移載作用部81的定位銷82而固定於移載作用部81上 之叉部教導用單元1 3 1而進行。 在該叉部教導用單元1 3 1上,設置有作爲檢測裝置之一 例的光電開關1 32。該光電開關1 32係爲:當移載作用部 81由正對於各部(各貨品承接傳遞對象)32、103、111、 116之後退限度位置而僅進出移動規定距離時,以上述各 部32、103、111、116的規定位置、亦即爲凹部34、105 之一方前端部34Α、105Α來隔斷光軸,藉此而檢測出該前 端部34Α、105Α。另外,在上述叉部教導用單元131中, 設有對應於移載作用部81之定位銷82的孔部133,插入 -30- 593096 五、發明說明(29 ) 至該孔部1 3 3、藉由將定位銷82和孔部1 3 3相互固定之治 一具一4 34 ’以可拆卸的方式將叉部教導用單元1 3丨安裝於移 載作用部8 1上。 在根據以Z學習部128之各貨品承接傳遞對象32、1〇3 、1 1 1、1 1 6之移載作用部81之進出移動距離的學習方法 進行說明時,首先,在移載作用部81上使用該移載作用 部8 1之定位銷82和治具1 34、而使叉部教導用單元1 3 1 固定。接著,根據以上述XY學習部27求出的XY表,使 升降驅動裝置61之旋轉驅動部66與旋轉驅動裝置73之 旋轉驅動部7 4啓動,在處於基準位置的狀態、亦即處於 HP感測器95動作之後退限度度位置的狀態下,使移載作 用部81正位於貨品承接傳遞對象32、103、111、116之1 。然後,脈衝驅動退出驅動裝置90之旋轉驅動部94、使 該移載作用部81進行進出移動,檢測光電開關132已動 作時之輸出脈衝次數、亦即,由後退限度位置到光電開關 132檢測凹部34、105之前端部34A、105A規定位置之移 載作用部81的進出移動距離,且記憶該移動距離値Q(第 1 2圖)。之後,將一定距離値p、亦即從上述規定位置到 移載作用部81到達凹部34、105內的貨品掬起或貨品卸 下位置的一定進出移動距離値進行加法運算,求出關於貨 品承接傳遞對象3 2、1 0 3、111、11 6之一的進出移動距離 値。 對全數貨品承接傳遞對象3 2、1 0 3、1 1 1、1 1 6,依次進 -31 - 593096 五、發明說明(3〇) 行上述學習作業’學習記憶全數來自貨品承接傳遞對象3 2 、1 0 3、111、1 1 6各移載作用部8 1之後退限度|置的進出 移動距離P,亦即,學習記憶Z座標値。另外,在學習作 業結束後,藉由移載作用部81將叉部教導用單元1 3 1卸 下。 如上所述,若作爲移載裝置51之貨品承接傳遞對象, 旋轉棚架2 1之全數貨品承接部3 2、各固定棚架1 〇 1之全 數貨品支撐部1 0 3、裝配於特定的固定棚架1 〇丨上之出入 庫貨品處理部1 11、1 1 6之學習作業若結束,則在後的際 運轉時、亦即先前已說明之實際出入庫作業時,根據針對 作爲上述各部32、103、111、116內之作爲出入庫對象之 1個,而學習記憶X至Z的各座標値,亦即,根據旋轉周 向之基準位置(由平面所示,在正對於旋轉棚架2 1之貨品 承接部32的位置上,HP感測器80A爲開啓(ON)之位置) 之移載作用部81的旋轉角値、來自下降限度位置之移載 作用部8 1之上升距離値(貨品抄上時和貨品卸下時爲不同) 、以及來自後退限度位置之移載作用部81的進出移動距 離値,而自動控制升降驅動裝置6 1、旋轉驅動裝置7 3、 以及退出驅動裝置90,以確實地進行出入庫作業安全。 此外,全數之出入庫作業並不是從移載作用部81位於 旋轉周向之基準位置(HP感測器80A動作的位置)、且非由 下降限度位置之狀態開始,而是例如停止在已結束入庫作 業之位置的移載作用部81爲了下次的出庫而被啓動時等 -32- 593096 五、發明說明(31 ) 情況下’進行關於移載作用部8 1之目前位置的上述X、Y -各座標値、以及關於下次貨品承接傳遞對象位置所學習記 憶之上述X、Y各座標値之間的比較運算處理,根據其差 値而進行移載作用部8 1之正反旋轉和升降驅動。 下面根據第1 3圖來說明本發明之第2至第5實施例。 第1 3圖(a )係表示第2實施例,構成爲,倂設有2個具 有旋轉圓路徑2 3之旋轉棚架2 1,在其中間設置具有移載 圓路徑53之1個移載裝置51,在該移載裝置53上設置有 固定棚架101(在圖示實例中爲2個)。 另外’第1 3圖(b )係表示第3實施例,構成爲,以圍繞 具有移載圓路徑5 3之1個移載裝置5 1般地,分別設置具 有旋轉圓路徑23之3個旋轉棚架21,在移載裝置51移載 圓路徑53上設有固定棚架ι〇ι(在圖示實例中爲2個)。 此外’第1 3圖(c )係表示第4實施例,其構成爲,並排 設置分別具有移載圓路徑53之2個移載裝置51,在等兩 移載裝置51之中間橫側方上設有具有旋轉圓路徑2 3之1 個旋轉棚架21 ’在各移載裝置51的移載圓路徑53上,設 置有固定棚架101(在圖示實例中爲4個)。 還有,第1 3圖(d)係表示第5實施例,構成爲,以呈交 互並列狀地配置分別具有移載圓路徑53之2個移載裝置 5 1、以及分別具有旋轉圓路徑23之的2個旋轉棚架2 1、 或是將周向上之移載裝置51與旋轉硼呈交互並列狀,各 移載裝置51的移載圓路徑53上設有固定棚架101(在圖示 -33- 593096 五、發明說明(32 ) 實例中各具有3個)。 又’在上述實施例中,雖揭示出將旋-轉—體〜70呈可繞移 載軸心5 2旋轉的形式以作爲移載裝置5 1,但是,其亦可 包括移載作用部81、而將移載裝置51整體可繞於位在例 如支柱體5 5之部分的移載軸心旋轉等形式。 另外,在以上之實施例中,雖在移載圓路徑53上之多 處,設有固定棚架101,但是,亦可設置1個固定棚架 101 ° 此外’在以上之實施例中,旋轉棚架21係爲可自由正 逆旋轉’最大爲構成進行180°旋轉方式,但是亦可實現 正逆向旋轉爲180°以上之形式或旋轉僅僅沿1個方向進 行的形式等。 還有,在以上之實施例中,雖構成爲在對於固定棚架 101之移載裝置51的作業中,旋轉棚架21先進行旋轉以 進行出入庫準備,但是,亦可在結束對於固定棚架101之 移載裝置5 1的作業後,旋轉棚架2 1旋轉以進行出入庫準 備。 此外,在以上之實施例中,對應最遠離旋轉棚架2 1的2 個固定棚架1 0 1,雖設有入庫用貨品處理部1 1 1和出庫用 貨品處理部1 1 6,但是,也可採用對應於接近旋轉棚架21 的固定棚架101與最遠離該旋轉棚架21的2個固定棚架 1 0 1,設置入庫用貨品處理部111和出庫用貨品處理部1 1 6 。在此情況,也可分兩側,設置2組入庫用貨品處理部 -34- 593096 五、發明說明(33 ) 1 1 1和出庫用貨品處理部1 1 6。 下面根據第1 4圖來說明本發明的第6實施例。 在上述第1至第5實施例中,貨品保管裝置雖具有旋轉 棚架21、移載裝置51、以及固定棚架1〇1,但是第14圖 所示第6實施例的貨品保管裝置1 40不具有旋轉棚架2 1, 而係爲從前後夾持具有移載作用部81之移載裝置51,的方 式,而將形成有上述凹部105的多個貨品支撐部1〇3呈前 後倂設於已倂設在左右橫向之2個固定棚架1 〇丨,中。移載 裝置51’係構成如下:自由升降之升降體141,係設置於 前後2組固定棚架1 〇 Γ間之通路內,且其長度與該通路之 長度基本相等,該升降體可升降;移動體142,該移動體 1 4 2支撐於該升降體1 4 1上,其可沿上述通路的長度方向( 左右橫向)自由往復移動;移載作用部81,係設於上述移 動體1 42上,沿前後方向移動,對於各貨品支撐部丨〇3的 匣120的移載。 將此種貨品保管裝置1 0 4之移載作用部8 1之退出距離 的學習以與第1實施例相同地採用第1 2圖所示之叉部教 導用單元1 3 1,藉此,與第1實施例相同,即使在固定棚 架101的上下層和中層之貨品支撐部103中,定位銷1〇6 有微小偏離的情況下,仍可無障礙地進行移載,另外,不 必如習知般在開始啓動前調整人員係必須對各層之各貨品 支撐部103來調整使匣120移動的進退距離,而可自動有 效地進行調整,可避免調整產生誤差的危險。 -35- 593096 五、發明說明(34 ) 此外,以上之實施例雖構成爲將移載作用部81作用於 匣120的底面,但是,也可採用使作用部81卡合於 由匣1 20的側部或上部朝向側方突出的被卡止部的卡合形 式。 還有,在以上之實施例中,雖揭示出作爲貨品之匣120 ,但是,也可對匣以外的物品例如支撐貨品之傳送用板等 進行處理。 又,在以上之實施例中,在叉部教導用單元1 3 1上,作 爲檢測貨品承接部32的凹部34或貨品支撐部1 〇3的凹部 105之一方的前端部34A、105A之裝置,雖設有光電開關 1 32,但是不限於光電開關,也可設置接近開關等的其他 檢測裝置。此外,採用叉部教導用單元1 3 1而進行移載作 用部81之退出移動距離的測定的方法,即使在採用塔式 起重機的自動倉庫中亦可作爲測定該叉部之退出距離的方 法。 另外,在以上之實施例中’旋轉棚架2 1、移載裝置5 1 、51’、固定棚架101、1〇1’雖設置在淸潔環境氣體中,但 是’也可將它們設置在沒有環境氣體淨化裝置之一般場所 〇 圖式簡單說明 弟1圖之貨品保管裝置之橫向剖面平面圖係表示本發明 第1實施例。 第2圖爲該貨品保管裝置之外觀立體圖。 -36- 593096 五、發明說明(35 ) % 3圖爲該負品保管裝置之縱向剖面側視圖。 第4圖爲該貨品保管裝置中之旋轉棚架下部局部側視圖 〇 第5圖爲在該貨品保管裝置中之旋轉棚架上部之局部側 視圖。 第6圖爲在該貨品保管裝置中之移載裝置下部之局部側 視圖。 弟7 Η爲該k品保管裝置中之移載裝置上部之局部側視 圖。 第8圖爲在該貨品保管裝置中之移載裝置之局部平面圖 〇 第9圖爲在該貨品保管裝置中之固定棚架之側視圖。 第10圖爲該貨品保管裝置中之固定棚架之平面圖。 第11圖爲該貨品保管裝置中之學習裝置之方塊圖。 第12圖爲在該貨品保管裝置中之移載作用部之學習用 單元之安裝圖。 第13圖爲表示本發明第2至5實施例,(a)爲表示第2 實施例之槪略平面圖,(b)爲表示第3實施例之槪略平面 圖’(c)爲表示第4實施例之槪略平面圖,(d)爲表示第5 實施例之槪略平面圖。 第14圖爲表示本發明第6實施例之貨品保管裝置之局 部立體圖。 -37- 593096 五、發明說明(36 ) 【圖式符號說明】 A :氣體 1 :潔淨室 3 :座板 I 0 :貨品保管裝置 II :環壁體 1 2 :框架體 1 3 :下部外板 1 4 :上部外板 1 5 :貨品保管室 1 7 :腳座 21 :旋轉棚架 22 :旋轉棚架軸心 23 :旋轉圓路徑 24 :底板 25 :導向裝置 26 :旋轉體 27A :封閉板 27 :縱軸體 28 :縱向銷 29 :軸承裝置 30 :環狀板 3 1 :安裝構件
-38- 593096 五、發明說明(37 ) 32 :貨品承接部 3 3 :連結件 34 :凹部 3 4A :前端部 3 5 :定位銷 36 :反射鏡 37 :反射帶 4 1 :旋轉棚架驅動裝置 42 :旋轉驅動部 4 3 :驅動軸 4 4 :驅動齒輪 45 :環形齒輪 51 :移載裝置 51’ :移載裝置 52 :移載軸心 54 :基底框架 5 5 :支柱體 55B :後構件 5 5A :側構件 5 5C :側架構件 5 6 :導軌 5 7 :上框架 58 :蓋體 -39 - 593096 五、發明說明(38) 59 :被導向體 60 :升降部 60B :橫向構件 60A :縱向構件 6 1 :升降驅動裝置 62 :驅動輪體 63 :從動輪體 64A :下位轉動部 64B :上位轉動部 64 :捲掛轉動體 66A :脈衝編碼器 66 :旋轉驅動部 67 :張力調整器 6 8 :驅動軸 70 :旋轉體 71 :縱軸 73 :旋轉驅動裝置 74 :旋轉驅動部 78 :無端轉動體 79 :導向輪體 80A : HP感測器 80B :定位感測 80 :定位檢測板 -40 - 593096 五、發明說明(39 ) 8 1 A :支撐板 8 1 :移載作用部 8 1 B :限位板 82 :定位銷 83 :導軌構件 89 :光電開關 91 :螺桿 92 :螺母體 94 :旋轉驅動部 95 : HP感測器 1 0 1 :固定棚架 10Γ :固定棚架 1 0 2 :扁鋼 103 :貨品支撐部 104 :連結件 105 :凹部 105A :前端部 106 :定位銷 1 0 7 :反射鏡 108 :反射帶 I 1 1 :貨品處理部 II 2 :入庫用貫穿部 1 1 6 :貨品處理部 -41 - 593096 五、發明說明(4〇) 1 1 7 :出庫用貫穿部 120 :匣 一'— 123 :學習裝置 124 :升降距離檢測部 127 : XY學習部 1 2 8 : Z學習部 1 3 1 :叉部教導用單元 1 3 2 :光電開關 1 3 3 :孔部 1 3 4 :治具 140 :貨品保管裝置 141 :升降體 142 :移動體 -42-

Claims (1)

  1. 593096 六、申請專利範圍 1. 一種貨品保管裝置,爲具備有具有承接貨品之多個貨品 承接部之棚架、移載機構、學習裝置,其特徵在於, 移載裝置係具備移載作用部,爲藉由包括相對上述各 貨品承接部之遠近方向之移動的貨品承接傳遞動作,而 在其與貨品承接部之間承接傳遞貨品,學習裝置按照下 述方式形成,該方式爲:該學習裝置係以採用設置於上 述棚架中的各貨品承接部中之被檢測部和用以檢測該被 檢測部之檢測裝置,設置於上述移載作用部上,以便計 測使上述移載作用部從對應於各貨品承接部的基準位置 靠近移動至該貨品承接部而移動時,截至上述檢測裝置 檢測出該貨品承接部的被檢測部時的移動距離,根據該 測定値,演算由各貨品承接部之移載作用部之上述基準 位置到貨品承接傳遞位置的移動距離,於各貨品承接部 中,將上述移動距離作爲學習移動距離而記憶,在實際 運轉時,根據該學習移動距離而驅動移載作用部。 2 ·如申請專利範圍第1項之貨品保管裝置,其中上述檢測 裝置係以可拆卸自如的方式安裝於上述移載作用部上。 3 ·如申請專利範圍第2項之貨品保管裝置,其中上述移載 作用部係構成爲:設有定位承接傳遞貨品之貨品定位機 構,藉由該貨品定位機構’而使安裝於移載作用部時之 上述檢測機構定位。 4 ·如申請專利範圍第1至3項中任一項之貨品保管裝置, 其中上述各貨品承接部之被檢測部爲各貨品承接部之移 -43- 593096 Λ 六、申請專利範圍 載裝置側的前端部。 5.如申請專利範圍第1項之貨品保管裝置,該貨品爲設於 上下多層,上述移載裝置之移載作用部係以可對應於各 層之貨品承接部而構成,其中在各貨品承接部中設有升 降距離學習用之被檢測部,在上述移載裝置中設有檢測 上述升降距離學習用之被檢測部的檢測裝置,上述學習 裝置係構成爲:使上述移載作用部由基準高度升降時, 測定截至以對應各層貨品承接部之升降距離學習用被檢 測部的檢測裝置爲止的升降距離,根據該測定値,將由 針對各層貨品承接部之移載作用部的基準高度到貨品承 接傳遞高度的升降距離進行運算,針對各貨品承接部將 該升降距離作爲學習升降距離而記憶,在實際運轉時, 根據該學習升降距離使移載作用部升降驅動。. 6 ·如申請專利範圍第1項之貨品保管裝置,上述棚架之貨 品承接部係包括設於上述移載裝置周圍之物,上述移載 裝置之移載作用部係構成爲可對應於周向各貨品承接部 而可繞垂直軸心旋轉之貨品保管設備中,其中在各貨品 承接部上設有旋轉角學習用之被檢測部,在上述移載裝 置中設有檢測上述旋轉角學習用之被檢測部的檢測裝置 ’上述學習裝置係構成爲:使上述移載作用部從基準位 置旋轉時,測定截至以對應周向各貨品承接部之旋轉角 學習用被檢測部時以檢測裝置所測出的旋轉角,針對各 貨品承接部將上述旋轉角作爲學習旋轉角記憶,在實際 -44- 593096
    六、申請專利範圍 運轉時,根據該學習旋轉角使移載作用部旋轉升降驅動 〇 7 ·如申請專利範圍第5項之貨品保管裝置,其中上述貨品 承接部之升降距離學習用被檢測部或旋轉角學習用被檢 測部係被構成在各貨品承接部之移載裝置側的前端面。
    -45-
TW091119497A 2001-08-31 2002-08-28 Load storage apparatus TW593096B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001262582A JP3832292B2 (ja) 2001-08-31 2001-08-31 荷保管設備

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW593096B true TW593096B (en) 2004-06-21

Family

ID=19089460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW091119497A TW593096B (en) 2001-08-31 2002-08-28 Load storage apparatus

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7003375B2 (zh)
JP (1) JP3832292B2 (zh)
KR (1) KR100520453B1 (zh)
CN (1) CN1206142C (zh)
TW (1) TW593096B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI558633B (zh) * 2015-12-28 2016-11-21 Automated storage systems

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080019804A1 (en) * 2004-06-14 2008-01-24 Hirata Corporation Container Opening-Closing Apparatus and Container-Placement-Position Adjustment Method for the Same
JP4505743B2 (ja) * 2005-01-13 2010-07-21 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4502127B2 (ja) * 2005-04-01 2010-07-14 株式会社ダイフク カセット保管及び被処理板の処理設備
CN100452341C (zh) * 2006-08-11 2009-01-14 上海华虹Nec电子有限公司 中电流注入设备与标准机械接口的通讯和控制方法
JP4756367B2 (ja) * 2006-08-17 2011-08-24 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP5062485B2 (ja) * 2008-04-09 2012-10-31 株式会社ダイフク 物品搬送設備
DE112009001863A5 (de) * 2008-08-01 2011-11-24 Ulvac, Inc. Einlernverfahren für einen Überführungsroboter
TWI680928B (zh) 2009-04-10 2020-01-01 美商辛波提克有限責任公司 垂直升降系統及在多層儲存結構往返運送空的貨箱單元之方法
US9321591B2 (en) 2009-04-10 2016-04-26 Symbotic, LLC Autonomous transports for storage and retrieval systems
US8200363B2 (en) * 2009-05-08 2012-06-12 Mark Cook Transport trailer and method
US9499338B2 (en) 2010-12-15 2016-11-22 Symbotic, LLC Automated bot transfer arm drive system
US10822168B2 (en) 2010-12-15 2020-11-03 Symbotic Llc Warehousing scalable storage structure
US11078017B2 (en) 2010-12-15 2021-08-03 Symbotic Llc Automated bot with transfer arm
US9187244B2 (en) 2010-12-15 2015-11-17 Symbotic, LLC BOT payload alignment and sensing
US9561905B2 (en) 2010-12-15 2017-02-07 Symbotic, LLC Autonomous transport vehicle
US8696010B2 (en) 2010-12-15 2014-04-15 Symbotic, LLC Suspension system for autonomous transports
US8965619B2 (en) 2010-12-15 2015-02-24 Symbotic, LLC Bot having high speed stability
CN102114961B (zh) * 2010-12-31 2012-12-12 苏州艾隆科技有限公司 旋转式自动上药机
US10894663B2 (en) 2013-09-13 2021-01-19 Symbotic Llc Automated storage and retrieval system
KR101640122B1 (ko) * 2014-05-14 2016-07-22 주식회사 에스에프에이 스토커 티칭 방법 및 그 시스템
KR101985618B1 (ko) * 2018-04-28 2019-06-03 한남건 물품공급장치
IT201900025408A1 (it) * 2019-12-23 2021-06-23 Tecnomeccanica Magrini S R L Magazzino automatico.
CN212402323U (zh) * 2020-05-29 2021-01-26 盟立自动化股份有限公司 储料设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04292312A (ja) 1991-03-19 1992-10-16 Murata Mach Ltd クリーン倉庫
JP3011034B2 (ja) 1994-10-31 2000-02-21 村田機械株式会社 自動倉庫
JP3852137B2 (ja) 1996-09-24 2006-11-29 アシスト シンコー株式会社 床貫通型の保管棚装置
JPH10279023A (ja) 1997-03-31 1998-10-20 Murata Mach Ltd 自動倉庫
NL1006461C2 (nl) * 1997-07-03 1999-01-05 Asm Int Opslagsamenstel voor wafers.
JP2987148B1 (ja) * 1999-01-26 1999-12-06 国際電気株式会社 基板処理装置
US6464789B1 (en) * 1999-06-11 2002-10-15 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus
US6856863B1 (en) * 2000-07-27 2005-02-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for automatic calibration of robots
US6591160B2 (en) * 2000-12-04 2003-07-08 Asyst Technologies, Inc. Self teaching robot
US6582182B2 (en) * 2001-06-04 2003-06-24 Intrabay Automation, Inc. Semiconductor wafer storage kiosk
JP3832293B2 (ja) * 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI558633B (zh) * 2015-12-28 2016-11-21 Automated storage systems

Also Published As

Publication number Publication date
US20030046023A1 (en) 2003-03-06
JP3832292B2 (ja) 2006-10-11
KR100520453B1 (ko) 2005-10-11
JP2003072912A (ja) 2003-03-12
CN1406840A (zh) 2003-04-02
US7003375B2 (en) 2006-02-21
KR20030019870A (ko) 2003-03-07
CN1206142C (zh) 2005-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW593096B (en) Load storage apparatus
JP3832293B2 (ja) 荷保管設備
US10233039B2 (en) Raising/lowering conveyance apparatus for article conveying container with container condition sensors
JP3832294B2 (ja) 荷保管設備
WO2022022203A1 (zh) 转运装置、机器人、分拣系统及分拣方法
JP3832295B2 (ja) 荷取り扱い設備
JP4394027B2 (ja) 天井走行車システム
JP2008120586A (ja) 物品収納装置
JP6183714B2 (ja) コンテナ昇降搬送装置
JP7322905B2 (ja) パレット検査装置
JP2010285279A (ja) 装置前自動倉庫
KR20020069107A (ko) 물품취급설비
JP3885232B2 (ja) 搬送台車
JP4941728B2 (ja) 物品搬送装置
KR101975900B1 (ko) 중력을 이용한 자재 적재 기구
JP2005272107A (ja) 物品搬送装置
JP2575717B2 (ja) 半導体基板または液晶基板の搬送装置
JP2009203028A (ja) 物品搬送装置
JP3832253B2 (ja) 荷保管設備
JP2004157885A (ja) 移動体の位置検出装置
JPH05291382A (ja) 薄板収納装置
JPH0645012Y2 (ja) エレベータ式駐車装置のパレット移送装置
JP3753002B2 (ja) 移載装置
JP2520716B2 (ja) 倉庫設備における荷姿検出装置
JP2544216B2 (ja) 自動倉庫

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees