JP3852137B2 - 床貫通型の保管棚装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、主にクリーンルームに設置される保管棚装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造は、「クリーンルーム」と呼ばれる特殊な部屋で行われる。この部屋は、クリーンな状態を維持するために、次のような構造になっていることが多い。
(1)天井からフィルタを通した清浄な空気を吹き出すようになっている。
(2)床は「グレーチング」と呼ばれる「すのこ状」の板、あるいは「パンチングメタル」と呼ばれる複数の空気貫通穴をもつ板から構成されている。半導体製造のための装置は、通常、この床面上に設置される。
(3)床下は、天井からの空気の流れが床面を通過しやすいように、また、クリーンルームを運転するための機械類を納めるために大きな空間になっている。
【0003】
ところで、クリーンルームは、単位面積当たりのコスト(建設費、維持費とも)が高いので、極力、床面積を有効に使用したいという要求がある。
【0004】
半導体製造の工程上必要な設備として、製造過程にある半導体材料(ウェーハ)を一時保管しておく「ストッカ(保管棚装置)」がある。先の理由により、ストッカは、できるだけ小さな占有面積で、できるだけ多くのウェーハを保管できることが望まれる。
【0005】
従来のストッカは、他の半導体製造装置と同様に、クリーンルームの床面上に設置されている。図9は従来のストッカの構成を示し、(a)は平面図、(b)は側面図である。
【0006】
このストッカ200は、クリーンルームのグレーチング床G上に設置されており、外壁構造をなす筐体201に、平面状の左右の保管棚ユニット202を間隔をおいて対面配置している。保管棚ユニット202には、水平方向及び上下方向に格子状に多数の保管部203が確保されており、各保管部203に保管物Hを格納できるようになっている。また、保管棚ユニット202間の端部に位置させて、筐体201には、外部との間で保管物Hを出し入れするための受け渡し部(I/Oポート)205が設けられている。
【0007】
左右の保管棚ユニット202の間には、受け渡し部205と保管部203との間で保管物Hの移載を行うスタッカ(移載装置)210が設備されている。
このスタッカ210は、保管棚ユニット202の間を通って水平方向に延びる走行レール211と、走行レール211上を走行する走行台車212の上に立設された昇降コラム215と、昇降コラム215に支持され昇降駆動される昇降台216と、昇降台216上に装備された2軸水平ロボット217とからなり、2軸水平ロボット217の先端のハンドによって保管物Hを把持するようになっている。
【0008】
このストッカ200における保管物Hの入庫手順は以下の通りである。
(1)予め、スタッカ210は、2軸水平ロボット217のアームを縮めた状態で例えば初期位置に待機している。
(2)その状態で、人手またはロボット等により、受け渡し部205に保管物Hを置く。
(3)移載の指令により、スタッカ210が動作し、待機位置から走行および昇降を行って、昇降台216を受け渡し部205まで移動させる。
(4)受け渡し部205に昇降台216が移動したら、2軸水平ロボット217のアームを伸ばし、ハンドを受け渡し部205内に挿入する。
(5)そして、保管物Hをハンドでつかむ。
(6)その状態で、2軸水平ロボット217のアームを縮め、保管物Hをストッカ200内に引き込む。
(7)次いで、走行および昇降を行い、保管物Hを、保管すべき保管部203の位置まで移動する。
(8)移動したら、2軸水平ロボット217のアームを伸ばし、ハンドを保管部203内に挿入する。
(9)そして、保管物Hを保管部203の棚上に降ろす。
(10)次に、2軸水平ロボット217のアームを縮め、ハンドを保管部203から出し、待機位置に移動して、次の動作の指示があるまで待機する。
【0009】
保管物Hを出庫する際の動作は、上記の動作において、受け渡し部205と保管部203を入れ替えた動作を行えばよい。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述したように、クリーンルームのストッカは、できるだけ小さな占有面積で、できるだけ多くのウェーハを保管できることが要求される。
【0011】
この点、上記従来のストッカは、クリーンルームの床面から天井までの寸法(通常、約3.5m)に納まる高さに設定されているので、保管部を多くしようとした場合、水平方向の占有面積が増大してしまい、先の要求に応えることができない。
【0012】
そこで、先の要求に応える策として、これまで使用していなかった床下の空間を利用し、グレーチング床の一部を開口して、天井から床下までのめいっぱいの高さをもつ、高さの高いストッカの実現が望まれている。
【0013】
しかし、高さの高いストッカを具体化するために、上記従来例の構造を踏襲したまま、単純に高さ方向の寸法を大きくすると、走行台車212によって水平方向に移動する昇降コラム215の寸法が長くなり、走行動作の起動・停止時に、昇降コラム215に大きな転倒モーメントが発生することになる。例えば、昇降コラムの長さを2倍にすると、単純に計算して、重量が2倍、重心高さが2倍になるので、転倒モーメントは4倍になる。したがって、走行をガイドする機構への負荷が増大し、昇降コラムはもちろん、ガイド機構や走行駆動系の構造や重量が肥大化し、設備が大型になる上、コストアップとなるという問題がある。
【0014】
それに対処するため、円筒形の保管棚の内部に円筒座標型のスタッカを配設することが考えられる。図10は円筒座標型のストッカ100の構成を示す。図(a)は縦断面図、図(b)は上面図である。
このストッカ100では、円筒形の保管棚101を筐体102に一体形成し、その内部にスタッカ105を配設している。スタッカ105は、垂直に立設された昇降コラム106と、昇降コラム106を保管棚101の中心軸線Lの回りに矢印(ロ)のように旋回させる旋回機構107と、昇降コラム106に沿って矢印(イ)のように昇降させられる昇降台(昇降旋回体に相当)108と、昇降台108上に矢印(ハ)のように伸縮する伸縮機構(図示略)を介して装備された保管物H保持用のハンド109とからなる。
【0015】
この円筒座標型のストッカ100の場合、昇降コラム105自体を水平方向に走行させるわけではないから、走行のためのガイド機構等が不要で、設備の肥大化を防止することができる。したがって、高さ寸法を増大させることが容易である。
【0016】
ところで、ストッカ100の組立作業は、できるだけクリーンルーム内で行わず、別の場所で組み立てた後でクリーンルーム内に搬入するようにしたい。これは、ストッカ製造者の便宜のためと、組立作業による塵埃の発生を抑えたいためである。
【0017】
しかし、旋回軸である昇降コラム105の最下部と最上部を支持している筐体102は、実現しなければならない精度と比較して寸法誤差が大きく、しかも溶接構造やボルトで組み立てる構造なので、部品単体の製作精度のみでは、必要な組立精度を実現することができない。図11に示すように、旋回軸の中心L1、即ち昇降台108を支持する昇降コラム105の旋回中心と、保管棚101の中心軸線Lとが精度良く一致していないと、保管物Hに対するハンド109の位置がずれるため、保持動作に支障を来す可能性がある。そのため、搬入・据え付け後に、特に昇降コラム105の上端の回転支持位置を、図10に示す位置調整機構110で調整する必要がある。
【0018】
このストッカ100の搬入・据え付け作業は以下のように行うことになる。
(1)ほとんど組み上がった状態のストッカ100を、クリーンルームに搬入する。
(2)ストッカ100の筐体102を据え付け場所に据え付ける。
(3)ストッカ100全体の水準を出す。
(4)昇降コラム108の最上部の回転支持部の取り付け位置を水平方向に調整し、昇降コラム108を鉛直に立てる。
以上のように旋回中心と保管棚101の中心軸線を一致させることにより、入出庫動作が支障なく行えるようになる。
【0019】
しかし、単純に高さ方向の寸法を大きくして、天井から床下までのめいっぱいの高さをもつストッカを実現しようとすると、以下のような問題がある。
【0020】
即ち、ストッカは、一体構造では高さ寸法が大き過ぎて、クリーンルーム内に搬入できない。搬入するには、搬入可能な大きさの複数のユニットに分割し、搬入後に容易に組立できる構造にする必要があるが、単純に分割するだけでは、ますます前記の旋回中心と保管棚の中心軸線の一致が難しくなる。
【0021】
本発明は、上記事情を考慮し、組立て、据付けが容易にでき、しかもスタッカの旋回中心と保管棚の中心軸線を容易に精度良く一致させ得る床貫通型の保管棚装置を提供することを目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、床を貫通し、床下空間から床上空間に延びる円筒形の保管棚と、保管棚の内部に配設された円筒座標型のスタッカとを備えた床貫通型の保管棚装置であって、前記保管棚を、それを収容保持する筐体を備えた床下ユニット及び床上ユニットと、床上ユニットに形成した切欠部に嵌まる受け渡し部ユニットの3つに分割して互いに連結可能とすると共に、前記切欠部の高さ範囲を、床上ユニットの下端から受け渡し部ユニットの上端までの範囲に設定し、床下ユニット及び床上ユニットの各筐体部に対して各保管棚部を水平方向に位置調整可能とし、且つこれら各ユニットの筐体部で保管棚部の荷重を支持するようにしたことを特徴とする。
【0023】
請求項2の発明は、請求項1において、前記スタッカが、前記保管棚の中心軸線に沿って昇降し且つ同中心軸線回りに旋回する昇降旋回体の昇降案内用の昇降コラムを有し、該昇降コラムが上下方向に連結可能に複数に分割され、且つ昇降コラムの分割面の1つが、前記床上ユニットに形成した切欠部の高さ範囲内にあることを特徴とする。
【0024】
請求項3の発明は、請求項2において、前記昇降コラムが、最上部と最下部で前記筐体に支持され、最上部には昇降コラムの水平方向支持位置を調整する位置調整機構が設けられていることを特徴とする。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は実施形態のストッカ(保管棚装置)Mの全体構成を示す縦断面図、図2及び図3は同ストッカを組立てている様子を示す斜視図である。
このストッカMは、クリーンルームCRのグレーチング床Gを貫通し、床下空間YKの床面Yから床上空間(クリーンルームCR)の天井T近くまでの目いっぱいの高さを有するものであり、床下空間YKから床上空間に延びる円筒形の保管棚2及びそれを収容保持する角形の筐体1と、保管棚2の内部に配設された円筒座標型のスタッカ105とを備えたものである。
【0026】
このストッカMは、上下に複数のユニットに分割されている。グレーチング床Gより上側(以下、床上という)は、床上ユニットAと、I/Oポートユニット(受け渡し部ユニット)Eとに分割され、グレーチング床Gより下側(以下、床下という)は、上側の床下UユニットBと、その下側の床下LユニットCと、さらにその下側の機械室ユニットDとに分割されている。また、昇降コラム106は、上部、中部、下部に3ユニットに分割され、上部ユニット106Aは床上ユニットAに組み込まれ、下部ユニット10Cは機械室ユニットDに組み込まれている。また、中間部ユニット106Bは単独で用意されている。
【0027】
図4、図5はそれぞれ床下UユニットBと床上ユニットAの構成の詳細を示している。図1〜図5の適宜の図に示すように、床上ユニットA、床下UユニットB、床下LユニットCは、それぞれ筐体2を適当高さで分割した筐体部1A、1B、1Cと、保管棚2を適当高さで分割した保管棚部2A、2B、2Cをそれぞれ備える。また、これらユニットA、B、Cの各筐体部1A、1B、1Cには、保管棚部2A、2B、2Cのフランジ部13A、13B、13Cを載置するよう保管棚部2A、2B、2Cの荷重を支持する支持部12A、12B、12Cが設けられている。床下UユニットBの保管棚部2Bの上端は、筐体部1Bよりも高い位置に設定され、据付け状態でグレーチング床Gよりも上方に突出するようになっている。なお、機械室ユニットDには筐体1Dのみで、保管棚部は設けられていない。
【0028】
また、機械室ユニットDのベース部5と、その上に位置する床下LユニットCの保管棚部6の接続部には、水平方向の位置決めを行い、水平方向に両者を連結する水平位置合わせ機構6が設けられている。同様に、床下UユニットBと床下LユニットCの両保管棚部2B、2Cの接合部には水平位置合わせ機構7が設けられ、床上ユニットAと床下UユニットBの両保管棚部2A、2Bの接合部には水平位置合わせ機構8が設けられ、床上ユニットAの上端に配置した位置合わせ部材10と、同ユニットAの保管棚部2Aの接合部には水平位置合わせ機構9が設けられている。位置合わせ部材10は、昇降コラム106の上端を回転支持するものであり、位置合わせ部材10を水平位置調整機構11で位置調整することにより、保管棚2と昇降コラム106の相対位置を精度良く位置合わせできるようになっている。
【0029】
床上ユニットAは側面の一部に切欠部4が設けられており、その切欠部4にI/OポートユニットEが嵌まるようになっている。この場合の切欠部4の高さ範囲は、床上ユニットAの下端から、I/OポートユニットEの上端までの寸法に設定されている。また、昇降コラム106の中間ユニット106Bと上部ユニット106Aの合わせ面(分割面)が、その切欠部4の高さ範囲内にある。
【0030】
据付け時点での保管棚2の水平方向の位置決めは、スタッカ105の最下部と最上部の位置を基準にして行い、保管棚部2A,2B、2C同士の連結は、水平方向の位置のみを決める位置合わせ機構7、8によって行う。なお、位置合わせ機構7、8を合わせることにより、スタッカ105の旋回中心L1と回転棚2の中心軸線Lが一致するようになっている。よって、スタッカ105の最上部の取り付け位置を調整しても、それに伴って保管棚2も移動するので、常に、保管棚2の中心軸線Lとスタッカ105の旋回中心L1とが一致することになる。
【0031】
次に作用を説明する。
保管物を入出庫する動作は従来例と同様であるので、ここでは説明しない。
ストッカMの搬入・据え付け作業は以下の通りに行う。図6〜図8を用いて説明する。各項の符号は図の符号を対応している。ユニットの搬入は、グレーチング床Gの上の部屋(クリーンルームCR)から行う。
(a)まず最初に、機械室ユニットDを床上から床下に降ろし、
(b)床面Yに据え付け、水準を出す。
(c)次に、床下LユニットCを床上から床下に降ろし、
(d)機械室ユニットDに重ね、筐体部1D、1C同士を連結する。また、スタッカ106の下部の位置決め基準を兼ねたベース部5と、床下LユニットCの保管棚部2Cとを水平位置合わせ機構6で連結する。
(e)昇降コラム106の中間部ユニット106Bを床上から床下に降ろし、
(f)機械室ユニットDの昇降コラムか部ユニット106Cと連結する。
(g)次に、床下UユニットBを床上から床下に降ろし、
(h)床下LユニットCに重ね、筐体部1B、1C同士、保管棚2B、2C同士を連結する。
(i)次に、床上ユニットAをグレーチング床G上で横移動させ、
(j)切欠部4から、床下UユニットB上に移動して重ね、筐体部1A、1B同士、保管棚2A、2B同士、昇降コラムのユニット106A、106B同士を連結する。
(k)、(l)I/OポートユニットEを床上ユニットAの切欠部4に嵌め込み連結する。
(m)スタッカの旋回軸の上端支持部の取り付け位置を水平方向に調整し、旋回軸、この場合昇降コラム106を鉛直に立てる。これに伴い、保管棚2も移動し、保管棚2の中心軸線Lとスタッカ105の旋回中心とが一致する。この際、保管棚2の上から下までの中心軸線とスタッカ105の旋回中心とが精度良く一致することになり、組み立てが完了する。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1発明によれば、保管棚を、筐体を含めて搬入可能な大きさのユニットに分割し、各筐体部に対して各保管棚部を水平方向に位置調整可能とし且つこれら各ユニットの筐体部で保管棚部の荷重を支持するようにしたので、搬入と据付けの容易な、天井から床下までの目いっぱいの高さをもつストッカを実現することができる。しかも、保管棚の荷重は筐体で受け持つが、保管棚を筐体に対して水平方向位置調整可能としたので、搬入、据付け後に、スタッカと保管棚部とを簡単に位置合わせすることができる。よって、スタッカの旋回中心を保管棚の中心軸線に精度良く位置合わせすることができ、スタッカの動作に支障を生じることがなくなる。
【0033】
また、請求項2の発明のように昇降コラムを分割すれば、連結作業も簡単にできる。また、請求項3の発明によれば、昇降コラムを最上部で位置調整するだけで、鉛直に立てることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の全体構成を示す縦断面図である。
【図2】本発明の実施形態の床下側の構成を示す分解斜視図である。
【図3】本発明の実施形態の床上側の構成を示す分解斜視図である。
【図4】(a)は本発明の実施形態の床下Uユニットの斜視図、(b)は保管棚部2Bを載せる前の部分斜視図である。
【図5】本発明の実施形態の床上ユニットの斜視図である。
【図6】本発明の実施形態の組立て工程図(a)〜(d)である。
【図7】本発明の実施形態の組立て工程図(e)〜(h)である。
【図8】本発明の実施形態の組立て工程図(i)〜(l)である。
【図9】従来例のストッカの構成図で、(a)は平面図、(b)は側断面図である。
【図10】本発明者が案出した円筒座標型のストッカの構成図で、(a)は縦断面図、(b)は上面図である。
【図11】図10のストッカの旋回中心と保管棚の中心軸線の関係の説明に用いる平面図である。
【符号の説明】
M スタッカ(保管棚装置)
1 筐体
1A,1B,1C,1D 筐体部
2A,2B,2C 保管棚部
4 切欠部
6,7,8,9 水平位置合わせ機構
11 水平位置調整機構
105 ストッカ
106 昇降コラム
G グレーチング床
CR クリーンルーム(床上空間)
YK 床下空間
A 床上ユニット
B 床下Uユニット
C 床下Lユニット
E I/Oポートユニット(受け渡し部ユニット)
L 保管棚の中心軸線
L1 スタッカの旋回中心
Claims (3)
- 床を貫通し、床下空間から床上空間に延びる円筒形の保管棚と、保管棚の内部に配設された円筒座標型のスタッカとを備えた床貫通型の保管棚装置であって、
前記保管棚を、それを収容保持する筐体を備えた床下ユニット及び床上ユニットと、床上ユニットに形成した切欠部に嵌まる受け渡し部ユニットの3つに分割して互いに連結可能とすると共に、
前記切欠部の高さ範囲を、床上ユニットの下端から受け渡し部ユニットの上端までの範囲に設定し、
床下ユニット及び床上ユニットの各筐体部に対して各保管棚部を水平方向に位置調整可能とし、且つこれら各ユニットの筐体部で保管棚部の荷重を支持するようにしたことを特徴とする床貫通型の保管棚装置。 - 前記スタッカが、前記保管棚の中心軸線に沿って昇降し且つ同中心軸線回りに旋回する昇降旋回体の昇降案内用の昇降コラムを有し、該昇降コラムが上下方向に連結可能に複数に分割され、且つ昇降コラムの分割面の1つが、前記床上ユニットに形成した切欠部の高さ範囲内にあることを特徴とする請求項1記載の床貫通型の保管棚装置。
- 前記昇降コラムが、最上部と最下部で前記筐体に支持され、最上部には昇降コラムの水平方向支持位置を調整する位置調整機構が設けられていることを特徴とする請求項2記載の床貫通型の保管棚装置。
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