576014 A7 B7 五、發明説明（彳） 一·發明所屬之技術領域 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於不使用價格高的測量裝置，而且作業員 即使不具有局度的專門知識和經驗，藉由頻率特性測量値 自動讀取反共振頻率和共振頻率、衰減，可以容易忠實推 斷利用於模擬和伺服調整之機械模型的便宜的電動機控制 裝置之機械模型推斷裝置。 二·先前技術 習知上，半導體製造裝置和工作母機等之定位裝置或 者使用在產業用機械臂之電動機控制裝置，係如第15圖。 第1 5圖係顯示習知技術之電動機控制裝置的整體構成 圖，以定位裝置爲例做說明。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖中，2係伺服控制裝置、3係旋轉檢測器、4係電動機 、5係傳達機構、6係可動部、7係非可動部，在此情形，構 成負荷機械之傳達機構5與可動部6細分別爲滾珠導螺桿、 工作台，非可動部7係基座。另外，8係動作指令信號、9係 旋轉檢測器信號、10係控制信號。另外，17係信號產生器 、18係FFT分析儀，其都是使用爲掌握負荷機械的頻率特性 而進行控制裝置的伺服調整所必要之裝置。 在此種電動機控制裝置中，首先，信號產生器17輸出 動作指定信號8後，該動作指令信號8被送往伺服控制裝置2 。接著，被輸入伺服控制裝置2的動作指令信號8被當成控 制信號10而送往電動機4，藉由電動機4的旋轉力，透過傳 達機構5而使可動部6動作。然後，旋轉檢測器3將電動機4 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 公釐） 576014 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（2 ) 的旋轉檢測信號9經由伺服控制裝置2而送往FFT分析儀1 8。 之後，在FFT分析儀18中，利用由信號產生器17所取得之動 作指令信號8與由伺服控制裝置2所取得之旋轉檢測信號9 ’ 將其進行高速傅利葉運算後，算出頻率特性，由該算出之 結果，判定負荷機械的特性。 可是，在習知技術中，爲了測量負荷機械的頻率特性 ，由於需要價格高的FFT分析儀18之故，有設備成本高的問 題。另外，爲了判定在FFT分析儀1 8所測量的頻率特性，對 於作業員，需要讀取共振頻率和反共振頻率、衰減等之高 度專門知識、經驗之故，有花時間和勞力之問題。 因此，在進行電動機控制裝置之伺服調整之際，由實 際測量所獲得之頻率特性，自動讀取反共振頻率和共振頻 率、衰減，可以模組化能夠利用在該控制裝置之模擬和伺 服調整之機械的特性之裝置乃被需求著。 本發明係爲了解決上述課題而完成者，其目的在於提 供：不使用價格高的測量裝置，而且作業員即使不具有高 度的專門知識和經驗，藉由頻率特性測量値自動讀取反共 振頻率和共振頻率、衰減，可以容易推斷利用於模擬和伺 服調整之機械模型的便宜的電動機控制裝置之機械模型推 斷裝置。 三·發明內容 發明揭示 爲了解決上述問題，關於申請專利範圍第1項之發明的 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 576014 A7 B7 五、發明説明（3 ) 電動機控制裝置之機械模型推斷裝置，係一種具備：驅動 負荷機械之電動機、及檢測前述電動機之旋轉角度之旋轉 檢測器、及控制前述電動機之伺服控制裝置之電動機控制 裝置，其係具備：對前述伺服控制裝置輸出使前述電動機 動作用之動作指令信號之運算裝置、及預先輸入在前述運 算裝置之剛體模型以及N慣性模型（N爲2以上之整數）之頻 率特性式，前述運算裝置係設置：由前述動作指令信號與 由前述伺服控制裝置而輸入前述運算裝置之前述旋轉檢測 器的信號，測量頻率特性之頻率特性測量部、及由在前述 頻率特性測量部所測量的頻率特性的形狀，自動算出成爲 共振頻率與反共振頻率之突起形狀之頻率特性峰値檢測部 、及由在前述頻率特性峰値檢測部所檢測之共振頻率以及 反共振頻率，推斷衰減之衰減推斷値解析部、及對於在前 述N慣性模型之頻率特性式以及前述剛體模型之頻率特性式 所算出的頻率特性，分別算出與前述測量所得之頻率特性 的誤差之頻率特性誤差計算部、及比較在前述頻率特性誤 差計算部中所獲得之前述N慣性模型之頻率特性的計算値與 測量値之最小誤差與前述剛體模型之頻率特性之計算値與 測量値的最小誤差，判定其中一方之模型的誤差少者爲實 際的模型之機械模型判定部。 另外，申請專利範圍第2項之發明，係如申請專利範圍 第1項記載之電動機控制裝置之機械模型推斷裝置，前述頻 率特性誤差計算部，係藉由在前述頻率特性式曲線適合由 前述動作指令信號與前述旋轉檢測器之信號所求得之頻率 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣·
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -6 - 576014 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7_五、發明説明（4 ) 特性，以算出頻率特性之計算値與測量値之誤差者。 另外，關於申請專利範圍第3項之發明的電動機控制裝 置之機械模型推斷裝置，係一種具備：驅動負荷之電動機 、及檢測前述負荷機械的振動之振動檢測器、及控制前述 電動機之伺服控制裝置之電動機控制裝置，具備：對前述 伺服控制裝置輸出使前述電動機動作用之動作指令信號之 運算裝置、及預先輸入在前述運算裝置之剛體模型以及N慣 性模型（N爲2以上之整數）之頻率特性式，前述運算裝置 係設置：由前述動作指令信號與由前述伺服控制裝置而輸 入前述運算裝置之前述振動檢測器的信號，測量頻率特性 之頻率特性測量部、及由在前述頻率特性測量部所測量的 頻率特性的形狀，自動算出成爲共振頻率與反共振頻率之 突起形狀之頻率特性峰値檢測部、及由在前述頻率特性峰 値檢測部所檢測之共振頻率以及反共振頻率，推斷衰減之 衰減推斷値解析部、及對於在前述N慣性模型之頻率特性式 以及前述剛體模型之頻率特性式所算出的頻率特性，分別 算出與前述測量所得之頻率特性的誤差之頻率特性誤差計 算部、及比較在前述頻率特性誤差計算部中所獲得之前述N 慣性模型之頻率特性的計算値與測量値之最小誤差與前述 剛體模型之頻率特性之計算値與測量値的最小誤差，判定 其中一方之模型的誤差少者爲實際的模型之機械模型判定 部。 另外，申請專利範圍第4項之發明係如申請專利範圍第 3項記載之電動機控制裝置之機械模型推斷裝置，前述頻率 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 576014 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 牛寺性ΐ吳差計算部係藉由在前述頻率特性式曲線適合由前述 動作指令信號與前述振動檢測器之信號所求得之頻率特性 ’以算出頻率特性之計算値與測量値之誤差者。 四·實施方式 以下，依據圖面說明本發明之實施例。 [第1實施例] 第1圖係具備顯示本發明之第丨實施例之機械模型推斷 裝置之電動機控制裝置的整體構成圖，第2圖係顯示運算裝 置之構成的方塊圖。另外，關於本發明之構成要素與習知 技術相同者，賦予相同圖號，省略說明，而且僅就不同點 進行說明。 圖中，1係運算裝置、1Α係頻率特性測量部、1Β係頻率 特性峰値檢測部、1C係衰減推斷値解析部、1D係頻率特性 誤差計算部、1Ε係機械模型判定部、19係輸入裝置、20係 頻率特性式、21係輸出裝置。 本發明與習知技術不同之點，係如下述： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 即具備：對伺服控制裝置2輸入使電動機4動作用之動 作指令信號8之運算裝置1、以及預先輸入在運算裝置1之剛 體模型以及2慣性模型之頻率特性式20。 另外，在運算裝置1設置有：由前述動作指令信號8與 由前述伺服控制裝置2而輸入前述運算裝置1之前述旋轉檢 測器3的信號9，測量負荷機械的頻率特性之頻率特性測量 部1Α、及由在頻率特性測量部1 Α所測量的頻率特性的形狀 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -8 - 576014 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ______ B7五、發明説明（6 ) ，自動算出成爲共振頻率與反共振頻率之突起形狀之頻率 特性峰値檢測部1B、及由在頻率特性峰値檢測部1B所檢測 之共振頻率以及反共振頻率，推斷衰減之衰減推斷値解析 部1C、及對於在2慣性模型之頻率特性式20以及剛體模型之 頻率特性式20所算出的頻率特性，分別算出與前述測量所 得之頻率特性的誤差之頻率特性誤差計算部1C、及比較在 頻率特性誤差計算部1D中所獲得之2慣性模型之頻率特性的 計算値與測量値之最小誤差與剛體模型之頻率特性之計算 値與測量値的最小誤差，判定其中一方之模型的誤差少者 爲實際的模型之機械模型判定部1E。 另外，頻率特性誤差計算部1D係藉由在頻率特性式20 曲線適合由動作指令信號8與旋轉檢測器3之信號9所求得之 頻率特性，算出頻率特性之計算値與測量値。 接著，說明動作。 第3圖係顯示在第1實施例之運算裝置之運算操作順序 中，關於頻率特性之測量的流程圖，第4圖係顯示在第1實 施例之運算裝置之運算操作順序中，關於由測量之頻率特 性値判定機械模型之操作之流程圖。 關於運算裝置1之運算操作順序，分成：測量頻率特性 之步驟ST卜步驟ST5之各步驟（第3圖），與比較依據頻率 特性式20之模型與測量之頻率特性，模型化機械之特性之 步驟ST6〜步驟ST11之各步驟（第4圖）。 I 另外，在各步驟中，步驟ST4、5之處理，係對應第2圖 所示之運算裝置1的頻率特性測量部1A，步驟ST6、7之處理 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9 - 576014 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) ，係對應頻率特性峰値檢測部1B。另外’步驟ST8之處理係 對應衰減推斷値解析部1C，同時，步驟ST9、1〇係對應頻率 特性誤差計算部1D，步驟ST1 1之處理係對應機械模型判定 部1E。 首先，關於步驟ST1〜步驟ST5之頻率特性之測量，利 用第3圖說明。 首先，在步驟ST1中，運算裝置1製作動作指令信號8。 接著，在步驟ST2中，將由運算裝置1所輸出的動作指 令信號8傳送給伺服控制裝置2。藉由此，將與動作指令信 號8等效之控制信號10送往電動機4，該電動機4動作，透過 傳達機構5，可動部6動作，可動部6發生振動。 然後，在步驟ST3中，旋轉檢測器3檢測電動機4的旋轉 動作時的旋轉檢測器信號9，經由伺服控制裝置2，將旋轉 檢測器信號9送往運算裝置1。 之後，在步驟ST4中，在運算裝置1將動作指令信號8與 旋轉檢測器信號9例如進行FFT運算，進行頻率分析。 在步驟ST5中，由在運算裝置1中進行頻率分析之動作 指令信號8與旋轉檢測器信號9算出頻率特性。藉由至此之 處理，完成頻率特性之測量。 接著，說明步驟ST6〜步驟ST11之機械特性的模型化。 首先，關於機械特性之模型化，可以分成剛體模型以及2慣 性模型，彼等分別如第5圖、第6圖。 第5圖係顯示剛體模型之槪要。即使第1圖所示之電動 機4、傳達機構5、可動部6近似單純之剛體負荷11 ( J1 + J2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -10- 576014 Α7 Β7 五、發明説明（8 ) 者。另外，第6圖係2慣性模型之槪要。即使第丨圖所示之電 動機4、傳達機構5以及可動部6近似由電動機側負荷12 ( Π )與負荷側負荷13 (所形成之伺服控制裝置2個質量’ 與連結2個質量12、13之彈簧14a(K :彈簧常數）以及衰減 14b(D :衰減常數）所構成之2慣性模型。另外，剛體負荷11 係與電動機側負荷12和負荷側負荷13之和的（Π + ；Ι2)等效。 其中，在第5圖所示之剛體模型中，由動作指令信號8 至旋轉檢測器信號9之頻率特性Hr之模型式，係如式（1 )
Hr 式（1 ) 另外，在第6圖所示之2慣性模型中，由動作指令信號8 至旋轉檢測器信號9之頻率特性Hf之模型式，係如式（2 ) 2 D K S Η---5 + — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 1 —Η-- J\ J Ί. 式（2) κ 爲了對剛體模型之近似，如知道剛體負荷11或者電動 機側負荷12與負荷側負荷13之和（Π + Π)即可。 另外，爲了對2慣性模型之近似，如知道電動機側負荷 12 ( Π)與負荷側負荷13 (】2)以及彈簧常數Κ與衰減常數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -11 - 576014 A7 B7 五、發明説明（9 ) D即可。 第7圖係顯示第1實施例之剛體模型之頻率特性之一例 圖，第8圖係顯示第1實施例之2慣性模型之頻率特性之一例 圖，兩者都是顯示利用模型式而計算之圖。 剛體模型之式（1 )雖係如第7圖所示之平穩向右減少 之增益特性，但是，2慣性模型之式（2 )係如第8圖般地， 具有突起形狀之山谷的增益特性。稱第8圖所示之谷側爲反 共振、稱山側爲共振，由式（2 )，反共振頻率Ft可以近似 式（3)，共振頻率Fh可以近似式（4)。
(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在此情形，第8圖之低頻區域之向右傾斜之斜率係與式 (1 )近似。 因此，知道反共振頻率h、共振頻率Fh、電動機側負荷 12與負荷側負荷13之和（Π+〗2)，對2慣性模型之近似變成 可能。 另外，電動機側負荷12與負荷側負荷13之和（J1+J2 ) ，可以由負荷機械之尺寸和物理特性算出。另外，如預先 求得（】1 +】2)，可以連接在運算裝置1之輸入裝置19輸入（ 例如，記載在慣性界定方式與自動調諧：VOL. 62、NO. 4、 技報「安川電機」）。 丨» 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -12- 576014 A7 _ B7 五、發明説明（1〇 ) 由以上，比較測量之頻率特性與式（1 ) ( 2 )，可以 判定剛體磨性與2慣性模型之哪一個適合。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第9圖係顯示第1實施例之剛體模型式的曲線適合結果 之一例圖，第10圖係顯示第1實施例之2慣性模型式之曲線 適合結果之一例圖。又，圖之實線係表示測量値，虛線係 表不曲線適合結果。 第9圖由於測量結果爲由左上朝向右下而平穩變化之頻 率特性之故，可以與式（1 )之曲線少誤差地曲線適合。另 一方面，地1 0圖由於測量結果爲具有複數的山谷與山峰之 頻率特性之故，可以與式（2 )之曲線少誤差地曲線適合。 以下，利用第3圖之流程圖的步驟ST6至步驟ST11，實 行機械特性的模型化的處理。 首先，在步驟ST6中，由在步驟ST5所測量的頻率特性 ’算出山側之峰値、谷側之峰値。峰値計算之方法，可以 使用周知的複數光譜內插法和平滑化微分法等之方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，在步驟ST7中，如可以檢測山側之峰値、谷側之 峰値，可以判定爲剛體，可以只以電動機側負荷12與負荷 側負荷13之和（Π + 】2 )的負荷慣性決定剛體的參數。然後 ’在步驟ST7中，如可以檢測峰値，進入步驟ST8，藉由使 用檢測之峰値的頻率，依據周知的衰減推斷法，可以推斷 衰減。 另外，如電動機側負荷12與負荷側負荷13的（J1 + J2 ) 未確定，也可以由比谷側之峰値還低的測量的頻率特性的 低頻區域，利用式（1 )，以最小平方法算出負荷慣量（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 576014 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ B7__五、發明説明（11 ) J1+J2) 0 另外，如可以檢測複數的峰値，製作複數組之山側的 峰値、谷側的峰値之成對的組合。 然後，在步驟ST9中，藉由預先輸入在運算裝置1的2慣 性模型的頻率特性式20，即式（2 )以曲線適合假定的成爲 峰値對的組合，計算式（2 )與測量値的誤差。 分別算出利用複數的峰値的組合而曲線適合的結果與 測量的頻率特性的誤差。 知道負荷慣量（Π + 】2 )與山側之峰値、谷側之峰値對 ，即共振以及反共振頻率、衰減之故，藉由在輸入於運算 裝置1之頻率特性式20的其中之一的式（2 )帶入各値，可 以進行曲線適合。 在各組合中，與曲線適合之結果的誤差小者，係成爲 最適合於2慣性模型之山側的峰値與谷側的峰値之組合。 第11圖係顯示第1實施例的誤差大之2慣性模型式的曲 線適合結果的一例圖。另外，圖中的實線係顯示測量値， 虛線係顯示曲線適合結果。 例如，在如第10圖之共振與反共振之組合中，誤差雖 然少，但是在如第11圖之共振與反共振的組合中，誤差大 之故，知道最適合之2慣性模型的共振與反共振爲第10圖之 組合。 在步驟ST 1 0中，即使在檢測出峰値之情形，藉由輸入 在運算裝置1之頻率特性式20的其中式（1 )，算出剛體模 型之曲線適合的結果與測量的頻率特性之誤差。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 576014 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __ B7__五、發明説明（12 ) 接著，在步驟ST11中，比較2慣性模型之最小的誤差與 剛體模型之誤差，在剛體模型之誤差少之情形，可以判定 爲剛體模型。在2慣性模型之誤差少之情形，可以判定爲2 慣性模型。即比較式（2 )與測量之頻率特性之誤差，與式 (1 )與測量之頻率特性之誤差，以對式（1 )與式（2 )之 模型化，何者之誤差小，即可判斷是否最適合於模型。 第12圖係顯示不適於第1實施例之剛體模型式之曲線適 合之一例圖，第13圖係顯示不適於第1實施例之2慣性模型 式之曲線適合之一例圖。另外，圖中的實線係顯示測量値 ’虛線係顯不曲線適合結果。 例如，第1 2圖的頻率特性的測量値雖具有複數的山谷 與山峰，但是以剛體模型之式（1 )進行曲線適合之故，誤 差大。但是，如第10圖般地，在2慣性模型之式（2 )中， 誤差小之故，可以判定爲2慣性模型。 另外，第1 3圖雖然測量結果係由左上朝向右下而平穩 變化之頻率特性，但是以2慣性模型之式（2 )進行曲線適 合之故，誤差大。但是，如第9圖般地，在剛體模型之式（ 1 )中，誤差小之故，可以判定爲剛體模型。 模型之判定如結束，可以對連接在運算裝置1之輸出裝 置21輸出結果，利用於模擬和電動機控制裝置之調整。 因此，第1實施例係一種具備：驅動負荷機械之電動機 4、及檢測電動機4之旋轉角度之旋轉檢測器3、及控制電動 機4之伺服控制裝置2之電動機控制裝置，爲具備：對伺月g 控制裝置2輸出使電動機4動作用之動作指令信號8的運算裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） •15- 576014 A7 B7 五、發明説明（13 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 置1、及預先輸入在運算裝置1之剛體模型以及2慣性模型之 頻率特性式20的構成。另外，運算裝置1係設置有：由動作 指令信號8與由伺服控制裝置2而輸入運算裝置1之旋轉檢測 器3的信號9，測量負荷機械的頻率特性之頻率特性測量部 1A、及由在頻率特性測量部1A所測量的頻率特性的形狀， 自動算出成爲共振頻率與反共振頻率之突起形狀之頻率特 性峰値檢測部1B、及由在頻率特性峰値檢測部1B所檢測之 共振頻率以及反共振頻率，推斷衰減之衰減推斷値解析部 1C、及對於在2慣性模型之頻率特性式20以及剛體模型之頻 率特性式20所算出的頻率特性，分別算出與前述測量所得 之頻率特性的誤差之頻率特性誤差計算部1 C、及比較在頻 率特性誤差計算部1D中所獲得之2慣性模型之頻率特性的計 算値與測量値之最小誤差與剛體模型之頻率特性之計算値 與測量値的最小誤差，判定其中一方之模型的誤差少者爲 實際的模型之機械模型判定部1E之構成。另外，頻率特性 誤差計算部1D係藉由在頻率特性式20曲線適合由動作指令 信號8與旋轉檢測器3之信號9所求得之頻率特性，算出頻率 特性之計算値與測量値之故，可以提供：不使用價格高的 測量裝置，而且作業員即使不具有高度的專門知識和經驗 ，藉由頻率特性測量値自動讀取反共振頻率和共振頻率、 衰減，可以容易忠實推斷利用於模擬和伺服調整之機械模 型，而且便宜的電動機控制裝置之機械模型推斷裝置。 [第2實施例] 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ _ 576014 A7 B7 五、發明説明（14 ) 依據圖面說明本發明之第2實施例。 第14圖係具備顯示本發明之第2實施例的機械模型推斷 裝置之電動機控制裝置的整體構成圖。 圖中，15係將負荷機械的動作狀態當成振動位移和振 動加速度而檢測之振動檢測器，16爲前述負荷機械的振動 檢測器信號。 第2實施例係代替在第1實施例所敘述的旋轉檢測器， 在負荷機械使用振動檢測器1 5之情形，可以與第1實施例同 樣地實施。 由剛體模型之動作指令信號8至檢測器15之頻率特性Hr 係與式（1 )相同。另外，由2慣性模型之動作指令信號8至 負荷側負荷1 3的振動檢測器1 5之頻率特性Η %係如式（5 )。 Η1
Ds^K (1 1 > (1 1 Λ 1 丄 --1-- • D * s K · 1 + 1 \^\ ^2J 式（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如此，第2實施例係藉由代替第1實施例的旋轉檢測器 ，而在負荷機械使用振動檢測器1 5而實施，與第1實施例相 同，推斷測量之頻率特性的山側的峰値，推斷衰減，推斷 負荷慣量，假定決定共振，一面改變共振，與模型之頻率 特性比較，求得誤差少之共振，另外，比較剛體模型與2慣 性模型之頻率特性，判別誤差少之模型，曲線適合測量之 頻率特性，可以忠實實施模型化。 另外，在本實施例中，雖使用剛體模型與2慣性模型之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -17- 576014 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（15 ) 2種機械模型，但是也可以使用3慣性模型等之其它的模型 ，增加判別之模型的種類。 另外，在本實施例中，雖只以模型與測量之頻率特性 的誤差爲評估基準，但是也可以將共振頻率的增益値的大 小和反共振頻率與共振頻率的增益的寬幅和頻率等加在評 估基準上。 [產業上之利用可能性] 如上述般地，關於本發明之電動機控制裝置之機械模 型推斷裝置，例如可以很有用的使用在半導體製造裝置和 工作母機等之定位裝置或者產業用機械臂所使用的電動機 控制裝置的伺服調整。 五·圖示簡單說明 第1圖係顯示具備顯示本發明之第1實施例之機械模型 推斷裝置之電動機控制裝置的整體構成圖。 第2圖係顯示第1實施例之運算裝置之構成的方塊圖。 第3圖係顯示在第1實施例之運算裝置之運算操作順序 中，關於頻率特性的測量之流程圖。 第4圖係顯示在第1實施例之運算裝置之運算操作順序 中，關於依據測量之頻率特性値，判定機械模型之操作之 流程圖。 第5圖係顯示剛體模型之槪要圖。 第6圖係顯示2慣性模型之槪要圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 576014 A7 B7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（16 ) 第7圖係顯示第1實施例之剛體模型之頻率特性之一例 圖。 第8圖係顯示第1實施例之2慣性模型之頻率特性之一例 圖。 第9圖係顯示第1實施例之剛體模型式之曲線適合結果 之一例的圖例。 第10圖係顯示第1實施例之2慣性模型式之曲線適合結 果之一例圖。 第11圖係顯示第1實施例的誤差大的2慣性模型式的曲 線適合結果之一例圖。 第1 2圖係顯示不適於第1實施例之剛體模型式之曲線適 合之一例圖。 第1 3圖係顯示不適於第1實施例之2慣性模型式之曲線 適合之一例圖。 第14圖係具備顯示本發明之第2實施例之機械模型推斷 裝置之電動機控制裝置之整體構成圖。 第1 5圖係顯示習知技術之電動機控制裝置之整體構成 符號說明 1 運算裝置 2 伺服控制裝置 3 旋轉檢測器 4 電動機 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 576014 A7 B7五、發明説明（17 ) 5 傳達機構 6 可動部 7 非可動部 8 動作指令信號 9 旋轉檢測器信號 10 控制信號 19 輸入裝置 20 頻率特性式 21 輸出裝置 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -20-