JPWO2008053772A1 - モータ制御装置とその制御方法 - Google Patents

モータ制御装置とその制御方法 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2008053772A1
JPWO2008053772A1 JP2008542068A JP2008542068A JPWO2008053772A1 JP WO2008053772 A1 JPWO2008053772 A1 JP WO2008053772A1 JP 2008542068 A JP2008542068 A JP 2008542068A JP 2008542068 A JP2008542068 A JP 2008542068A JP WO2008053772 A1 JPWO2008053772 A1 JP WO2008053772A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frequency
inertia
motor control
control device
torque command
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008542068A
Other languages
English (en)
Inventor
梅田 信弘
信弘 梅田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Publication of JPWO2008053772A1 publication Critical patent/JPWO2008053772A1/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P23/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
    • H02P23/04Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control specially adapted for damping motor oscillations, e.g. for reducing hunting
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/42Servomotor, servo controller kind till VSS
    • G05B2219/42093Position and current, torque control loop

Abstract

少ない稼動範囲で、摩擦や制御の影響により低周波の傾きが一定しない場合にも高精度に慣性モーメントが推定できるモータ制御装置とその制御方法を提供する。位置信号から速度信号を生成する速度信号生成部(2)と、トルク指令に基づいてモータ電流を制御する電流制御部(1)と、を備えたモータ制御装置において、多数の周波数成分を含むテストトルク指令を生成するテストトルク指令生成部(3)と、テストトルク指令に対する速度信号の応答から周波数特性を算出する周波数特性算出部(4)と 周波数特性より機械パラメータを算出する機械パラメータ算出部(6)と、を備えた。

Description

本発明は、機械モデルが推定可能なモータ制御装置に関する。
従来、機械の慣性モーメントを同定する場合には、規定パターンの動作である程度の範囲を実際に駆動し、そのとき出力されるトルク指令および速度を基に慣性モーメントを求めていた。(特許文献1)
また、周波数特性の低周波の傾きを基に慣性モーメントを求めることもあった。(特許文献2、3)
この慣性モーメントの値を利用することにより、モータ制御装置のパラメータを最適に調整することが出来、制振制御を行うフィードフォワード制御器やオブザーバのモデルに用いることで機械の特性を向上させることが出来た。
特開平9−182479号公報 特開2002−304219号公報 特開2003−79174号公報
従来の機械モデル推定装置では、特許文献1の従来技術の場合、規定パターンの動作である程度の範囲を実際に駆動するため、機械の動作範囲が取れない場合、同定動作が実施できない場合があった。また、特許文献2、3の従来技術においては、周波数特性の低周波の傾きにより慣性モーメントを求めるという手法を用いるため、摩擦や制御の影響により低周波の傾きが一定しない場合、十分な同定精度が得られない場合があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、少ない稼動範囲で、摩擦や制御の影響により低周波の傾きが一定しない場合にも高精度に慣性モーメントが推定できるモータ制御装置とその制御方法を提供することを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明は、次のようにしたのである。
請求項1記載の発明は、位置信号から速度信号を生成する速度信号生成部と、トルク指令に基づいてモータ電流を制御する電流制御部と、を備えたモータ制御装置において、 多数の周波数成分を含むテストトルク指令を生成するテストトルク指令生成部と、前記テストトルク指令に対する前記速度信号の応答から実機周波数特性を算出する実機周波数特性算出部と、前記実機周波数特性より機械パラメータを生成する機械部と、を備えることを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載のモータ制御装置において、位置指令と前記位置信号から速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令と前記速度信号から前記トルク指令を生成する速度制御部と、を備えることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1記載のモータ制御装置において、前記実機周波数特性は、共振周波数とその振幅、反共振周波数とその振幅を含むことを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1および2記載のモータ制御装置において、機械パラメータ生成部は、二慣性数式モデルの総慣性モーメントと制動係数を繰り返し微小変化させ、二慣性数式モデル周波数特性が実機周波数特性とを略一致させ、前記総慣性モーメントと前記制動係数をパラメータとして決定することを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項4記載のモータ制御装置において、前記二慣性系数式モデルを式(1)で表し、反共振周波数と共振周波数の中間周波数のゲインを式(2)で表したことを特徴とする。

ここでJは総慣性モーメント、ωは共振周波数、ωは反共振周波数、ωはテスト周波数、ζは制動係数、sはラプラス演算子である。
請求項6記載の発明は、請求項5記載のモータ制御装置において、機械パラメータ生成部は、前記実機周波数特性と前記二慣性系数式モデル周波数特性の反共振周波数から共振周波数までの範囲のゲインを比較し、前記実機周波数特性のゲインが大きければ二慣性系数式モデルの総慣性モーメントを微小増加させ、少なければ微小減少させて、略一致するまで繰り返すことを特徴とするものである。
請求項7記載の発明は、請求項6記載のモータ制御装置において、前記ゲインの大小は、反共振周波数から共振周波数までのゲイン面積を比較することにより決定することを特徴とするものである。
請求項8記載の発明は、する請求項6記載のモータ制御装置において、前記総慣性モーメントの初期値は式(3)であることを特徴とするものである。

ただし、Yは実機周波数特性の反共振周波数のdb換算ゲイン、Yは共振周波数のdb換算ゲインである。
請求項9記載の発明は、請求項6記載のモータ制御装置において、前記総慣性モーメントの初期値は式(5)であることと特徴とするものである。
J=√(ω/ω)/(ω・Y) (4)
ただしYは実機周波数特性のω=√(ω・ω)のときのゲインである。
請求項10記載の発明は、位置信号から速度信号を生成する速度信号生成部と、トルク指令に基づいてモータ電流を制御する電流制御部と、を備えたモータ制御装置の制御方法において、多数の周波数成分を含むテストトルク指令を電流制御部に入力し実機周波数特性をもとめるステップと、前記実機周波数特性と、二慣性系数式モデル周波数特性とを比較ステップと、前記実機周波数特性と前記二慣性系数式モデル周波数特性のゲインが合うように総慣性モーメントと制動係数を繰り返し微小補正するステップと、前記ゲインが略一致したら総慣性モーメントと制動系数をパラメータとして決定するステップと、を備えることを特徴とするものである。
請求項1に記載の発明によると、オープンループでの周波数解析結果を用いて慣性モーメントを同定する場合に、粘性摩擦や制御器の影響で低周波数領域の周波数特性が下がってしまう様な対象についても高精度に同定するモータ制御装置を提供できる。
請求項2に記載の発明によると、制御器により制御されたクローズドループの構成での周波数解析結果を用いて慣性モーメントを同定する場合に、粘性摩擦や制御器の影響で低周波数領域の周波数特性が下がってしまう様な対象についても高精度に同定するモータ制御装置を提供できる。
請求項3乃至9記載の発明によると、少ない稼動範囲で、摩擦や制御の影響により低周波の傾きが一定しない場合にも高精度に慣性モーメントが推定できるモータ制御装置を提供できる。
請求項10記載の発明によると、少ない稼動範囲で、摩擦や制御の影響により低周波の傾きが一定しない場合にも高精度に慣性モーメントが推定できるモータ制御装置の制御方法を提供できる。
本発明の構成を示すブロック図 本発明の構成を示すブロック図 本発明の方法を示すフローチャート 本発明の曲線適合方法を示す図 従来の方法による同定結果を示す図 本発明による同定結果を示す図
符号の説明
1 電流制御部
2 速度信号生成部
3 テストトルク指令生成部
4 周波数特性算出部
5 機械パラメータ算出部
6 機械パラメータ
7 位置制御部
8 速度制御部
11 モータ
12 位置検出器
13 機械
21 測定により得られた周波数応答
22 二慣性系モデルの周波数応答
23 評価開始点
24 評価終了点
25 剛体系モデルの周波数特性
以下、本発明の具体的実施例について、図に基づいて説明する。
図1は本発明の第1実施例の構成を示すブロック図である。図において、1は電流制御部、2は速度信号生成部、3はテストトルク指令生成部、4は周波数特性算出部、5は機械モデル算出部、6は機械モデル、11はモータ、12は位置検出器、13は機械である。電流制御部1は、トルク指令を電流指令に変換し、電流指令とモータ電流の電流偏差をPID制御処理をして電圧指令を生成し、電圧指令をPWMして電力変換器を駆動しモータに電力を供給する。速度信号生成部2は、モータに結合された位置検出器の位置信号の時間差分をとり速度信号を生成する。テストトルク指令生成部3は、モータ制御装置が通常運転モードではなくテストモードのときに多くの周波数成分を含むトルク指令を生成し電流制御部1に入力する。周波数特性算出部は、テストトルク指令が電流制御部1に入力されたときの速度信号を計測し周波数特性を算出する。機械モデル算出部5は、周波数特性の山谷の周波数を共振周波数、反共振周波数の組み合わせを推定し、いくつかの候補を抽出し、モデル化したい2慣性系を判別する。
図3に本発明の方法のフローチャートを示す。図に示すように、本発明の方法は、ステップ1〜7の7つのステップで処理を行う。ステップ1では、多くの周波数成分を含むテストトルク指令を電流制御部に入力し、速度信号の応答を計測する。ステップ2では、入力したテストトルク指令および計測した速度信号の応答を基に機械の周波数特性を演算する。ステップ3では、周波数特性演算の結果に対して、山谷の検出を行い。二慣性系モデルとしての共振周波数および反共振周波数の組み合わせを推定し、いくつかの候補を抽出する。ステップ4では、目的に応じ、モデル化したい二慣性系の組を判別する。例えば、システム全体の剛体モードの慣性モーメントを求める場合には、最も低い周波数を選択する。また、高周波の振動に対する制振制御の調整を目的とする場合には、問題となっている共振周波数とこれに対応する反共振周波数を選択する。多くの共振周波数があり、自動判別が難しい場合や、直接対象となる周波数を設定したい場合にはステップ5により、手動で共振周波数および反共振周波数を選択する。ステップ6では、選択された共振周波数および反共振周波数の組み合わせに対して二慣性系モデルの曲線適合を行うことによりモデルを調整する。ステップ7ではこの評価後のモデルから、共振周波数、反共振周波数に加え、慣性モーメントおよび振動の減衰を同定する。なお、点線部8は、 特許文献3に該当する部分である。
以下、ステップ6およびステップ7について詳細に説明する。
共振周波数ωH、反共振周波数ωL、減衰ζ、総慣性モーメントJとすると、二慣性系モデルのトルクから速度までの伝達関数は、式(1)で表される。
これを周波数領域での振幅をdb換算ゲインH(ω)として表わすと周波数ωの関数として式(2)で表わされる。ここで減衰ζが十分小さいとすると、共振周波数ωH、反共振周波数ωLの中間点は近似的に式(5)の様に表わされる。

周波数応答演算により求められた反共振周波数のゲインYL、共振周波数のゲインYHとすると、総慣性モーメントJは、式(3)により算出できる。ゲインは周辺数点の平均値を用いるのが良い。
式(5)により近似的に求めたJおよびζ=0を初期値として、式(2)を用いたモデルと、測定により得られた周波数応答演算結果との曲線適合により、パラメータを同定する。曲線適合には、最小二乗法や遺伝的アルゴリズムなど様々な方法が適用できるが、ここでは、図4に示すような反共振周波数−共振周波数間の面積比較および中間点比較について説明する。図中、測定により得られた実機周波数特性1、二慣性系数式モデル周波数特性2、評価開始点3、評価終了点4を示す。3は反共振周波数に、4は共振周波数に対応する。調整条件を示すと以下のようになる。
まず、減衰係数ζについて、周波数特性演算により得られたゲインY(ω)とすると、式(6)の条件で調整する。
ここで、δは任意の調整値 、また、総慣性モーメントJについては、以下の条件で調整する。
ここで、σは任意の調整値である。モデルを二慣性系に限定した場合、総慣性モーメントが式(7)の条件により容易に求められるため、減衰係数はモデルと測定により得られた周波数特性の一致度判定により、求めることが出来る。
システム全体の剛体モードの慣性モーメントを求める場合の具体的な同定結果の例を図3、図4に示す。図3は、従来の手法による同定結果を示す図である。図6は、本発明による同定結果を示す図である。測定した周波数特性1に対し、曲線適合により同定されたモデルは従来例が5、本発明によるモデルが2である。剛体モードの慣性モーメント真値60倍の機械に対し、従来の手法では、低周波数領域の傾きの平均値から70倍と同定されていたのに対し、本手法を用いることにより、同定値は55.5倍となり、従来の手法に比べ高精度に慣性モーメントが同定できていることがわかる。
図2は本発明の第2実施例の構成を示すブロック図である。第1実施例に位置制御部7と速度制御部8が追加されている。
また、総慣性モーメントを同定するのに共振周波数と反共振周波数の中間点の周波数をω=√(ω*ω)に選定することもできる。ζ=0のときの周波数ωでの二慣性系モデルのゲインH’(ω)は式(8)で表される。
H’(ω)=|G’(jω)|=(1/J/ω)*√(ω/ω) (8)
また実機周波数特性の中間点のゲインをYMとすると総慣性モーメントJは式(9)で表される。
J=√(ω/ω)/ω/Y (9)
これを初期値として用いて同定すればよい。
求める慣性モーメントは共振点および反共振点の周波数とゲインを用いているので、多慣性メカのモデリングにおいても、それぞれのバネ要素のバネ定数および慣性モーメントが求められるため、これに応じたフィルタの最適設定に応用することが出来る。
本発明のモータ制御装置は少ない稼動範囲で、摩擦や制御の影響が大きい場合にも高精度に慣性モーメントが推定できるので、ロボットや工作機械をはじめ一般産業機械などへの適用が期待できる。また、本発明はモータ制御装置の中に組込むことを前提としているが、慣性モーメント推定装置としても適用が可能である。

Claims (10)

  1. 位置信号から速度信号を生成する速度信号生成部と、トルク指令に基づいてモータ電流を制御する電流制御部と、を備えたモータ制御装置において、
    多数の周波数成分を含むテストトルク指令を生成するテストトルク指令生成部と、
    前記テストトルク指令に対する前記速度信号の応答から実機周波数特性を算出する実機周波数特性算出部と、
    前記実機周波数特性より機械パラメータを生成する機械パラメータ生成部と、
    を備えることを特徴とするモータ制御装置。
  2. 位置指令と前記位置信号から速度指令を生成する位置制御部と、前記速度指令と前記速度信号から前記トルク指令を生成する速度制御部と、を備えることを特徴とする請求項1記載のモータ制御装置。
  3. 前記実機周波数特性は、共振周波数とその振幅、反共振周波数とその振幅を含むことを特徴とする請求項1記載のモータ制御装置。
  4. 機械パラメータ生成部は、二慣性数式モデルの総慣性モーメントと制動係数を繰り返し微小変化させ、二慣性数式モデル周波数特性が実機周波数特性とを略一致させ、前記総慣性モーメントと前記制動係数をパラメータとして決定することを特徴とする請求項1および2記載のモータ制御装置。
  5. 前記二慣性系数式モデルを式(1)で表し、反共振周波数と共振周波数の中間周波数のゲインを式(2)で表したことを特徴とする請求項4記載のモータ制御装置。






    ここでJは総慣性モーメント、ωは共振周波数、ωは反共振周波数、ωはテスト周波数、ζは制動係数、sはラプラス演算子である。
  6. 機械パラメータ生成部は、前記実機周波数特性と前記二慣性系数式モデル周波数特性の反共振周波数から共振周波数までの範囲のゲインを比較し、前記実機周波数特性のゲインが大きければ二慣性系数式モデルの総慣性モーメントを微小増加させ、少なければ微小減少させて、略一致するまで繰り返すことを特徴とする請求項5記載のモータ制御装置。
  7. 前記ゲインの大小は、反共振周波数から共振周波数までのゲイン面積を比較することにより決定することを特徴とする請求項6記載のモータ制御装置。
  8. 前記総慣性モーメントの初期値はそれぞれ式(3)であることを特徴とする請求項6記載のモータ制御装置。



    ただし、Yは実機周波数特性の反共振周波数のdb換算ゲイン、Yは共振周波数のdb換算ゲインである。
  9. 前記総慣性モーメントの初期値は式(5)であることと特徴とする請求項6記載のモータ制御装置。
    J=√(ω/ω)/(ω・Y) (4)
    ただしYは実機周波数特性のω=√(ω・ω)のときのゲインである。
  10. 位置信号から速度信号を生成する速度信号生成部と、トルク指令に基づいてモータ電流を制御する電流制御部と、を備えたモータ制御装置の制御方法において、
    多数の周波数成分を含むテストトルク指令を電流制御部に入力し実機周波数特性をもとめるステップと、
    前記実機周波数特性と、前記二慣性系数式モデル周波数特性とを比較ステップと、
    前記実機周波数特性と前記二慣性系数式モデル周波数特性のゲインが合うように総慣性モーメントと制動係数を繰り返し微小補正するステップと、
    前記ゲインが略一致したら総慣性モーメントと制動系数をパラメータとして決定するステップと、
    を備えることを特徴とするモータ制御装置の制御方法。
JP2008542068A 2006-11-01 2007-10-25 モータ制御装置とその制御方法 Pending JPWO2008053772A1 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006297628 2006-11-01
JP2006297628 2006-11-01
PCT/JP2007/070798 WO2008053772A1 (fr) 2006-11-01 2007-10-25 Dispositif de commande de moteur et son procédé de commande

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2008053772A1 true JPWO2008053772A1 (ja) 2010-02-25

Family

ID=39344114

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008542068A Pending JPWO2008053772A1 (ja) 2006-11-01 2007-10-25 モータ制御装置とその制御方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPWO2008053772A1 (ja)
CN (1) CN101536305A (ja)
TW (1) TW200830688A (ja)
WO (1) WO2008053772A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6177705B2 (ja) * 2014-02-21 2017-08-09 三菱重工業株式会社 機械装置の制御装置及び摩擦補償用のゲイン決定方法
JP6409743B2 (ja) 2015-10-30 2018-10-24 オムロン株式会社 指令生成装置
JP7000894B2 (ja) * 2018-02-08 2022-01-19 株式会社明電舎 物理パラメータ推定方法
JP7006471B2 (ja) * 2018-04-12 2022-01-24 オムロン株式会社 状態変化検出装置及び状態変化検出方法
JP7223979B2 (ja) 2018-06-15 2023-02-17 パナソニックIpマネジメント株式会社 モータ駆動装置及びサーボ調整方法
JP7230707B2 (ja) * 2019-06-26 2023-03-01 日本精工株式会社 直動駆動装置の監視装置および直動駆動装置の監視方法
CN114002803A (zh) * 2020-07-28 2022-02-01 上海艾为电子技术股份有限公司 一种马达的驱动芯片和驱动方法、电子设备

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002304219A (ja) * 2001-04-04 2002-10-18 Yaskawa Electric Corp モータ制御装置およびメカ特性測定方法
JP4110358B2 (ja) * 2001-09-04 2008-07-02 株式会社安川電機 電動機制御装置の機械モデル推定装置
JP4501368B2 (ja) * 2003-06-27 2010-07-14 株式会社安川電機 電動機制御装置の多慣性機械モデル推定装置および電動機制御装置
JP4594165B2 (ja) * 2005-05-24 2010-12-08 株式会社日立産機システム 電動機制御装置の機械系パラメータ推定方法及びシステム

Also Published As

Publication number Publication date
TW200830688A (en) 2008-07-16
CN101536305A (zh) 2009-09-16
WO2008053772A1 (fr) 2008-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPWO2008053772A1 (ja) モータ制御装置とその制御方法
JP5980890B2 (ja) 実験モード解析を用いたフィルタ自動調整機能を有するサーボ制御装置
JP6050865B1 (ja) 評価関数によって制御ゲインをオンラインで最適化する機能を有するサーボ制御装置
KR101841134B1 (ko) 다이나모미터의 제어장치 및 이를 이용한 관성 모멘트 추정 방법
TWI647960B (zh) Speaker diaphragm state estimation method and speaker driving circuit using same
KR101597084B1 (ko) 모터 구동 장치
JP5970662B2 (ja) 電動機の制御装置に用いられる制御パラメータの調整方法、および、この制御パラメータの調整方法が用いられる電動機の制御装置
JP4973665B2 (ja) 電動機制御装置と出力フィルタ調整方法および出力フィルタ調整装置
EP2985907B1 (en) Motor drive device
JP4110358B2 (ja) 電動機制御装置の機械モデル推定装置
JP2006333594A (ja) 機械特性モデル化装置、電動機制御装置、機械制御システムおよび機械特性モデル化方法
JP2008199759A (ja) 機械モデル推定装置と機械モデル推定方法
CN109564410B (zh) 用于识别机械负载的物理参数的半自动、交互式工具
JP2021087276A (ja) モータ制御装置、およびその自動調整方法
CN109564405B (zh) 通过速度pi控制器参数和反馈滤波器时间常数的同时调谐来限制转矩噪声
CN101943889B (zh) 使电气传动系统调节器自动启动和/或运行的方法及装置
JP6645994B2 (ja) ゲインの最適化を学習する機械学習装置及び機械学習装置を備えた電動機制御装置並びに機械学習方法
JP7107496B2 (ja) 制御系設計方法及び試験システムの制御パラメータ決定方法
JP7348468B2 (ja) むだ時間推定装置及びそれを備えた試験装置
JP2020027366A (ja) モータ制御装置
KR101339357B1 (ko) 산업용 로봇 암의 자동튜닝 장치 및 방법
JP4801134B2 (ja) 振動試験装置及び振動試験方法
JP4367185B2 (ja) 制振パラメータの設定方法
CN115824814A (zh) 材料试验机
KR20190106602A (ko) 2관성계 구동기 제어 장치