TW555706B

TW555706B - Scribe head, scribe apparatus and scribe method using the scribe head

Info

Publication number: TW555706B
Application number: TW091116075A
Authority: TW
Inventors: Haruo Wakayama; Toshiyuki Sakai; Keiko Hayashi; Yoshitaka Nishio; Junichi Matsumoto
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd
Priority date: 2001-07-18
Filing date: 2002-07-18
Publication date: 2003-10-01
Also published as: US6901670B2; KR100573986B1; USRE41853E1; EP1408012A4; JPWO2003011777A1; CN1863740A; EP1408012A1; ATE486821T1; JP4118804B2; WO2003011777A1; US20040154456A1; DE60238198D1; CN1863740B; KR20040010678A; EP1408012B1

Description

555706 A7 _ —_ B7______—- 五、發明說明（丨）技術領域本發明係有關在平板玻璃、半導體晶圓、陶瓷等脆性材料基板上形成劃線之劃線頭及使用該劃線頭之劃線裝置以及劃線方法。背景技術圖16係表示習知劃線頭50的構造圖，圖17係表示其側視圖。使刀輪片51可旋轉的刀片支持具52 ’係透過設於支持具保持部54之鉛直方向之軸承55設置成頭部可擺動自如，藉此，伴隨本劃線頭50的移動(在圖16，係向右方向移動），刀片支持具52係按照該移動之方向擺動頭部〇在該支持具保持部54上僅隔著間隙G設有劃線單元 56。在支持具保持部54右側之既定部份，沿紙面之正交方向埋設軸承57，該軸承57的中軸57a和劃線單元56側係形成爲一體。又，支持具保持部54之左下端部係被擋塊 53所卡止。藉此，支持具保持部54係在圖示間隙G的範圍內以軸承57爲支點旋動。在劃線單元56內形成往上下延伸的氣缸室58 ’並在該氣缸室58內嵌插活塞59，而且在形成於該活塞59下端部的凹部以鬆嵌狀態容納軸承60，而其中軸60a爲活塞59 所支撐。因此，軸承6〇外周部係可旋轉自如，且其下端部從上方抵接於支持具保持部54。於是，藉由使既定壓力的空氣通過氣缸室58內，使得軸承60和活塞59 —起被往下方推，而施加既定的劃線壓(劃線負荷)於刀輪片51 °軸承 _______3_ _____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ---I----- - 訂- - - - ---•線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 555706 A7 _B7____ 五、發明說明（> ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 60係即使在支持具保持部54爲傾斜的狀況下，亦能將來自活塞59的緊壓經常往正下方傳向支持具保持部54。該劃線頭50，係如圖17所示，設置成可沿著劃線裝置66之水平方向的導軌67而移動，而且，藉由升降氣缸或馬達65的驅動而可升降自如。當劃線頭50下降時，刀輪片51即碰觸玻璃板W。之後，支持具保持部54係以軸承57爲支點旋動，據此，當於擋塊53產生間隙時，該間隙一旦被偵測得知後，即停止劃線頭50的下降。再使劃線頭50下降既定的切入量，而後，設定既定之劃線壓於氣缸室58。在圖18所示日本專利特開平8-225333號公報所示之玻璃板切斷裝置20中，爲檢測玻璃切割刀38之升降動作及所希望的劃線壓等而使用檢測部（使用壓電元件)24，並以放大部39、處理部26來處理該壓電元件所檢測出的訊號，然後利用控制部28控制線性馬達22。但是，在圖16的劃線頭50中，係需要將刀輪片51降至既定高度之馬達，以及設定所希望的劃線壓之電動氣動轉換器等複雜機構。在圖18的裝置中，也需要檢測部24 及處理其檢測訊號的電路，使劃線頭的機構複雜。另外，因爲移動件的慣性大，響應性差，難以使劃線品質穩定。另一方面，作爲電子零件材料而使用之片狀的方形玻璃，係以一塊大的玻璃板作爲母材，並切斷該母材而得到複數塊的方形玻璃。首先，於切斷之際，係讓刀輪片對於母材表面，進行往一個方向之行走作業，且依次移動開始 _____4____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 555706 A7 ____B7_ 五、發明說明（））行走位置，並重覆既定的次數，以形成並列的劃線之後，接著，將刀輪片的行走方向改變爲和前次交叉的方向，而進行形成相互交叉的劃線之交叉劃線的作業。其次，將經過如此交叉劃線的母材送至切斷機器，且於此處對母材施以既定壓力，並沿著在母材上形成的劃線，施加彎曲的力矩，據此而將母材沿著劃線而加以切斷，經此即可得到目標的片狀的方形玻璃。作爲上述劃線作業所使用之劃線裝置，係如圖19所示爲眾所周知的裝置。又，以下就該圖將左右方向作爲X方向，正交於紙面的方向作爲Y方向，而予以說明。該劃線裝置係備有：工作台70，其係經由真空吸附機構，將載置的玻璃板GL固定並可水平旋轉；及平行的一對導軌71，71，其係可移動於Y方向地支撐該工作台70 :及滾珠螺桿72，其係沿著該導軌71、71，而可移動工作台70 ;及導桿73，其係沿著X方向，而架設在工作台70 上方；及劃線頭76，其係可滑動於X方向地設置於該導桿 73上；及馬達74，其係使該劃線頭76產生滑動；及刀片支持具77，其係可升降且頭部可擺動如地設置於劃線頭76 的下方；及刀輪片78，其係可旋轉地裝設於該刀片支持具 77的下方，；以及一對CCD攝影機75，其係用以辨識標於設置在導桿73上方之工作台70上的玻璃板GL之對準標記。在如此構成的劃線裝置，係因爲玻璃板GL面上必然存在微小的凹凸及其他的要因，故爲了防止劃線頭在行走 ------5__ _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —— — — — — II 11111111 ! 555706 A7 _______ 五、發明說明（斗）時產生劃線的變形，便在劃線頭上施以防範措施。亦即如圖20所示，在劃線頭本體76A上，係透過與玻璃板GL面相正交的旋動軸79，而將刀片支持具77設置成圍繞旋動軸79之軸心擺動自如，同時又在該刀片支持具77上，將刀輪片78設置於自旋動軸79之軸心位置Qi往行走方向( 圖9箭頭符號S方向）之反方向偏離的位置Q2，據此，在劃線頭行走時，使刀輪片78跟隨劃線頭本體76A，藉此可得到刀輪片78的直進安定性，而能防止劃線上變形的產生〇但是，在前述劃線裝置當中，若在玻璃板上，只一個方向地形成劃線時並無任何問題，但在進行交叉劃線時，如圖21所示，在刀輪片78交叉通過最初形成的劃線1^〜 L3的附近，並沒有形成隨後應該形成的劃線L4〜L6，亦即產生所謂的「交點跳過」的現象。當如此之交點跳過產生於玻璃板的劃線時，則在以上述的截斷機器欲切斷玻璃板之際，無法順利地沿著劃線切斷玻璃板，其結果產生大量的不良品，而有生產效率變得非常低之問題。產生如此之問題的原因，係刀輪片交叉通過既有的劃線時，對劃線頭施加之玻璃板面方向之劃線所需的力量，被潛藏於劃線兩側的內部應力所削減之故。因此，申請人爲了解決前述的問題，提出一種劃線方法、劃線頭及使用該劃線頭之劃線裝置（日本之特願2000-142969)的方案。其內容如下：係有一劃線頭，其在行走於脆性材料基板上的劃線頭本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I I I I I I I ^^ ·1111111 ^^ · 555706 A7 _ __B7__ 五、發明說明（$ ) 本體上，將刀片支持具透過與脆性材料基板相正交的旋動軸，設置成圍繞該旋動軸的軸心擺動自如’同時亦在該刀片支持具上，將刀輪片設置於比前述旋動軸的軸心位置更往前述行走相反方向位移的位置；使用該劃線頭，於脆性材料基板的表面上相互交叉形成劃線時’劃線時控制前述刀片支持具，使其擺動範圍爲較Μ大且f以下的範圍。圖22係該一實施狀態之劃線頭的前視圖，圖23係其仰視圖。該劃線頭係具備劃線頭本體80 ;及軸承箱81 ;及刀片支持具82 ;及刀輪片83 ;以及彈壓機構84。劃線頭本體80，係其下部有缺口，在該缺口部85內容納軸承箱81。該軸承箱81，係其一端透過軸承87而連接至插穿於劃線頭本體80之水平支軸86，另一方面，他端部係和支軸86平行地設置之制止軸88相抵接於劃線頭本體80內，而在制止軸88所制止的範圍內，圍繞支軸86 的軸心旋動。刀片支持具82係在軸承箱81中，透過與脆性材料基板面相正交之旋動軸89設置成圍繞旋動軸89的軸心擺動自如。在旋動軸89和軸承箱81之間，係介裝有軸承40。另外，在旋動軸89的上方係設有彈壓機構84，該彈壓機構84之彈壓力，係透過旋轉軸89及刀片支持具82而形成能施加於刀輪片83之構成。刀輪片83，係自前述旋動軸89之軸心位置，改位移至和劃線頭行走方向S相反方向（圖22的左邊方向)而設置 _________7_-___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---— — — — — 訂^-----II--. 555706 A7 _____________B7 _ 五、發明說明（b ) 於刀片支持具82上。 ' 在此，刀片支持具82係在劃線中，控制擺動範圍A 於較〇Q爲大且2Q以下，而作爲該控制機構，係利用形成於軸承箱81下面的槽41。亦即，在使該上端部能收容於軸承箱81的槽41內之狀態下，而裝設刀片支持具82，在刀片支持具82擺動至擺動範圍的最大値時，位於刀片支持具 82上端部之四邊的角之中任何—個對角的組之角42、 45(43、44)，係抵接槽μ的兩內壁面46、47。藉此，經由調整槽41之兩內壁面46、47和刀片支持具82上端部兩側面48、49之間的間隙，而能調整刀片支持具82的擺動範圍A形成爲則述既定的範圍。因此，若作大間隙，則能增大擺動範圍A，相反地，若作小間隙，則能縮小擺動範圍 A 〇申請人所提案的劃線頭，係依據以上說明所構成，由於持續確保能維持刀輪片的直進性之刀片支持具的擺動動作，且可抑止潛在於交點附近的內部應力的影響而確保動作之故，在進行交叉劃線之際，即使對劃線頭的施加壓力維持一定，亦不會產生交點跳過，而且在劃線開始端也不會沒有形成劃線之情形，而能達成預期目的。然而，前述的劃線頭，係自該旋動軸的軸心位置改位移置至和行走方向完全相反的位置而設置於刀輪片，劃線時係以支軸側爲前首而進行行走，故和既設的劃線交叉時，或通過玻璃的起伏不平、彎曲處或玻璃表面的凹凸時，刀輪片會被頂起，刀片支持具圍繞支軸旋動並從玻璃面浮 ____8___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —— — — — — II ·11111111 . 555706 A7 ^_ B7___ 五、發明說明（7) 動。圖13係說明該現象的示意圖，符號GL、83、86係分別表示玻璃、刀輪片和支軸。亦即，一旦以支軸86爲前首而行走劃線頭(圖中箭頭符號S方向)時，在刀輪片83之刀鋒稜線83A所接觸於玻璃面GL的點P當中，相對於面向行走方向之摩擦力μ，和面向玻璃GL的厚度方向之緊壓力的合力之反作用力R ，係面向刀輪片83的中心側而產生。該反作用力R係成爲以支軸86爲中心的旋轉力矩，而作用於刀輪片83，其結果，刀輪片83係形成突向上方之狀態，圖外的刀片支持具即圍繞支軸86旋動並從玻璃面GL浮動。如上述的刀片支持具之浮動現象一旦產生，對於刀輪片83的加壓力即因前述反作用力R而被削減，其結果，即有難以獲得較深垂直裂縫之問題。若檢視藉由刀輪片83在玻璃上產生垂直裂縫的機制，首先，因由於負荷作用於刀鋒，在玻璃表面之抵接於刀鋒之處會產生彈性變形，接著，隨著刀鋒負荷的增加，在前述抵接處就產生塑性變形。當刀鋒負荷進一步增加時，即超過塑性變形的界限點，而產生脆性破壞，在玻璃的厚度方向即開始產生垂直裂縫。該垂直裂縫的產生，會在裂縫的前端達到因應於刀鋒負荷的大小及玻璃材質和厚度等的深度(距離脆性材料基板表面的距離）的時點才結束。在一定的材質、一定厚度的玻璃的情形下，可控制前述垂直裂縫前端所達之深度（以下，稱爲垂直裂縫的到達深度）的只有刀鋒負荷。亦即，若增大刀鋒負荷’刀輪片刀鋒侵入玻本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） — — — — — — — — — I — i I ! I — t !1! ^. i^v. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 555706 A7 _____B7_ 五、發明說明（β ) 璃表面的深度會變長，且因爲發生垂直裂縫的能量變大，垂直裂縫的到達深度也會變深。但是，一旦刀鋒負荷超過一定大小’亦即在得到深垂直裂縫的同時，玻璃表面附近所累積的內部變形將呈飽和狀態，於是產生和垂直裂縫不同方向之裂縫，亦即產生水平裂縫。該水平裂縫即爲產生大量切粉的原因。本發明者等更加詳細探究前述機制的結果，發現在刀鋒負荷和垂直裂縫的到達深度有如圖14所示之關係。亦即，由圖14所示之曲線圖可知，垂直裂縫的到達深度，係隨著刀鋒負荷的增大，首先存在緩慢變深的區域(A區域），接著，存在伴隨著刀鋒負荷的增大而急遽增加的區域(B區域），甚至，隨刀鋒負荷增大，也存在幾乎不增加的區域(C 區域）。然後，在該C區域內，在A區域和B區域看不到的水平裂縫係大幅增加。從以上可知，B區域，亦即經由伴隨刀鋒負荷的增大，而以相當於急遽到達深度P所增加的區域內之刀鋒負荷而予以劃線，發現可得到不伴隨前述水平裂縫的產生之較深的垂直裂縫。但是，B區域刀鋒負荷的範圍極爲狹窄，在通常劃線時的刀鋒負荷的調節上，係只有在B區域內安定，其劃線困難的問題方可解。特別是如上所述，習知技術係不能避免刀輪片浮動現象的產生，此係因對刀輪片的加壓力被前述反作用力R所削減，故在範圍極爲狹窄之前述B區域內，調節刀鋒負荷極爲困難。 ______ίο______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' " <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) !丨訂·丨丨I丨丨！-線. 555706 A7 ___B7 _ 五、發明說明（1) 另外，在交叉劃線時，如上述之爲了防止交點跳過的產生，在第2的劃線的形成之際，有必要使刀鋒負荷較第 1的劃線形成時更大幅地增加，因而刀鋒負荷往往進入前述的C區域，因此，伴隨水平裂縫的增加，而有無法避免會有多量切粉產生的問題。而且，和前述的問題所不同地，在使用前述習知之刀輪片的劃線時，玻璃的起伏、彎曲或玻璃裏面的凹凸’或由於保持刀輪片之刀片支持具或保持該刀片支持具的劃線頭的方法等的外在因素，而無法獲得安定的劃線的情況亦頻頻發生。本發明係爲了解決上述課題而創作，其第1目的係提供一簡單之機構，且提供對於種種的劃線條件，亦能適當對應之劃線頭及使用該劃線頭的劃線裝置及劃線方法。第 2目的係提供在交叉劃線之際，不產生交點跳過之現象’ 並防止刀片支持具的浮動現象，且令對刀輪片的加壓力在脆性材料基板上有效地發揮作用，而能獲得比習知技術更深的垂直裂縫之劃線頭及使用該劃線頭的劃線裝置及劃線方法。發明之揭示爲了達成上述的目的，本發明之劃線頭，其係具備形成劃線於脆性材料基板之劃線刀具，其特徵在於：藉由伺服馬達的旋轉以進行劃線刀具的升降，而且將伺服馬達的旋轉力矩作爲對劃線刀具的劃線壓予以傳遞° 藉由使用伺服馬達，劃線頭的機構即簡略化’並可提 ___η_____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · ! ί - !訂·！！！-線一 555706 A7 _ ___B7____ 五、發明說明（/。）供便宜的劃線頭及劃線裝置。此外’亦可在軟體程式上進行〇點位置的檢測，且毋需進行習知技術之接點機構之〇點位置的檢測。而且，因爲使劃線壓產生之機構其響應性良好，故亦能良好地對應於各種劃線條件。在該構成中，透過齒輪並變換前述伺服馬達的旋轉運動爲上下動作，且以旋轉力矩作爲劃線壓而予以作動之構成亦可。此外，當穿越已劃線完成之劃線來進行劃線時’係在通過該劃線時，暫時提高劃線壓亦可。或是’在該劃線頭之刀具移動於脆性材料基板上的位置，將前述伺服馬達的旋轉力矩控制於預設的制限値爲佳。而且，前述伺服馬達之係能進行位置控制爲佳。在此情形下，將前述伺服馬達所設定的脆性材料基板上面算起之下方位置，在劃線開始的大致同時再往下方設定爲佳。根據如此之構成，可避免刀輪片當穿越已劃線完成之隆起的劃線痕跡時跳躍，亦即對於「交點跳過」有效。此外，本發明之其他的劃線頭，其特徵在於：在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體中，刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸，設置成圍繞該支軸之軸心擺動自如的同時，亦在該刀片支持具中，刀輪片爲透過與脆性材料基板面平行之旋轉軸，設置成圍繞該旋轉軸之軸心旋轉自如。該另外之劃線頭，係包含上述之劃線頭之構成亦可。在本發明之劃線頭當中，前述之刀片支持具，係透過 ______12_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線· 555706 A7 __B7_ 五、發明說明（〖丨）與脆性材料基板面相正交之旋轉軸，設置成圍繞該旋轉軸之軸心擺動自如爲佳。此外，前述旋轉軸係自前述旋轉軸之軸心位置，改位移置而設置於靠近前述支軸側亦可。進而，前述支軸的軸心，係配置於前述刀輪片在劃線中，由脆性材料基板所承受之反作用力的向量上的線上或較該線更上方的位置亦可。本發明之劃線裝置，其係藉由具備形成劃線於脆性材料基板之劃線刀具的劃線頭的移動，而將脆性材料基板予以進行劃線之劃線裝置，其特徵在於：設置前述劃線頭之任何一個。此外，本發明之劃線方法，其特徵在於：一劃線頭·，其係在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體上，刀片支持具係透過與脆性材料基板面平行的支軸，設置成圍繞該支軸的軸心擺動自如的同時，亦在該刀片支持具上，刀輪片係透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸，設置成圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如；相對於前述刀輪片，令前述支軸置爲後側，而使該劃線頭行走於脆性材料基板上，並形成劃線於脆性材料基板面。在該構成中，前述之刀片支持具，係透過與脆性材料基板面相正交之旋轉軸，設置成圍繞該旋轉軸的軸心擺動自如爲佳。而且，前述旋轉軸係自前述旋轉軸的軸心位置，變換位置而設置於靠近前述支軸側亦可。 -------13_______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I I I I---訂· I--— II--· 555706 A7 ____B7_ 五、發明說明（L>) 此外，在本發明之劃線方法當中’亦可使前述刀輪片於劃線中，所承受來自脆性材料基板之反作用力的方向’ 持續維持在連結該反作用力起點和前述支軸的軸心之線上、或比該線更靠近脆性材料基板的狀態下’來進行劃線。在本發明之申請專利範圍第11項乃至第70項之劃線頭及本發明之申請專利範圍第71項乃至第74項之劃線方法，其係具有如前述之特徵，據此而能達成如下之功效。亦即，如圖13所示，藉由令支軸99在後側而使劃線頭行走(圖中箭頭符號T方向)之情形下，在刀輪片95之刀鋒稜線95A接觸於玻璃面GL的點E時，雖對於朝向行走方向之摩擦力V和朝向玻璃面GL厚度方向之緊壓力的合力，會產生反作用力X，但該反作用力X係朝向支軸99，其係不成爲使刀輪片95產生浮動之旋轉力矩。據此，即無產生如上述之刀片支持具的浮動現象，且對刀輪片95之加壓力亦無被前述反作用力X所削減之情形。其結果，對刀輪片 95之加壓力，係有效地作動於玻璃(脆性材料基板），而能獲得比習知技術更深之垂直裂縫。此處，前述刀片支持具，係透過與脆性材料基板面相正交之旋轉軸，設置成圍繞該旋轉軸的軸心擺動自如亦可，此情形時’係可提升對刀片支持具之劃線頭的行走方向之隨動性。而且’前述旋轉軸係自前述旋轉軸軸心位置，變換位置而設置於靠近前述支軸側亦可。該情形時，亦可提高對刀片支持具之劃線頭的行走方向之隨動性。 __________14__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---- I I 1 訂· I-------· 555706 A7 _____B7 _ __ 五、發明說明（A ) 此外，在前述之劃線方法及劃線頭當中’使刀輪片於劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的方向，維持在連結該反作用力起點和前述支軸的軸心之線上、或比該線更靠近脆性材料基板的狀態爲佳，據此，更能確實地消除使上述刀片支持具浮動的旋轉力矩。本發明之最佳實施形態以下，參閱圖示說明本發明之實施形態。 <實施之形態1> 圖1係表示表示本發明之第1之實施形態的劃線頭1 之側視圖，圖2係其主要部位之前視圖。該劃線頭1，係在一對的側壁2間以倒立狀態固定著伺服馬達3，且在該側壁2的下部，自側方視之，係透過支軸5而旋動自如地設置有L字狀的固定構件保持具4。在該固定構件保持具4的前方(圖2中、右邊方向），係裝設有可旋轉地支撐刀輪片6的刀片支持具7。刀片支持具7,係透過插穿有設置於該上方之旋動軸 17及該旋動軸17之軸承12，而裝設於固定構件保持具4 ’且可圍繞旋轉軸17的軸心旋動。刀輪片6，係設置於刀片支持具7中，並透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸13而圍繞旋轉軸13的軸心旋轉自如，而且，旋轉軸13係相對於刀片支持具7之旋動軸 Π之軸心，改位移置而設置於和支軸5相反的一側。在伺服馬達3之旋轉軸和支軸5上，係裝設有互相咬合的斜齒輪8。據此，藉由伺服馬達3之正反旋轉，固定本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I---訂· I---I---線一 555706 A7 --— B7____ 五、發明說明（4) 構件保持具4係以支軸5作爲支點而進行俯仰動作，而刀輪片6即上下作動。該劃線頭1本身，係設置成可沿著劃線裝置66之水平方向之導軌67而移動。又，動力傳遞機構係不自限於斜齒輪8。圖3係表示圖1所示之劃線頭1之控制系統的圖示。編碼器9係檢測伺服馬達3之旋轉狀況者。伺服放大器10係控制伺服馬達3者，根據來自編碼器9的回授訊號 ’而送出既定的驅動訊號於伺服馬達3。上位控制器11，係控制劃線頭的動作者，且對伺服放大器1〇提供位置指令訊號。其次，參閱表示圖4之刀輪片之劃線時的動作之圖示，說明圖3之控制系統的動作。劃線頭1係藉由沿著劃線裝置66之導軌67而移動，據此，劃線頭1之刀輪片6，係往圖4所示之起點a移動，當一發出自〇點位置(玻璃板W上面)僅下降X之移動至切入位置的指令，則刀輪片6係往該高度移動，並保持在該位置。而且，刀輪片6係爲了設定乘上於玻璃板W時之劃線壓P1，而將馬達3之旋轉力矩(力矩限制値)變更爲乘上力矩限制値P1。但是，該旋轉力矩P1係在刀鋒乘上於玻璃板W時，設定於不帶有基板端面之缺陷的數値。其次，以預設之對玻璃板W之乘上速度，平行移動劃線頭1，刀輪片6在b點乘上至玻璃板W後，刀輪片6即自該b的位置，移動預設之距離(b-c間），在c點，因來自 ___16___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) !丨訂·！ ! 555706 A7 ____B7__ 五、發明說明（) 上位控制器11的指令，而變更旋轉力矩(力矩限制値)爲壓入力矩限制値，且傳送適合於玻璃板W之材質等的劃線壓至刀輪片6。設定旋轉力矩P2(>P1)，一旦設定希望的劃線壓於刀輪片6，劃線頭即以預設的劃線速度移動。旋轉力矩和劃線壓之關係係預先量測並作成換算表。刀輪片6 —到達d點，劃線頭1就自前述之劃線速度，減速爲預設之自玻璃板W擺脫的擺脫速度。然後，旋轉力矩（力矩限制値)係變更爲擺脫力矩限制値P3(<P2)。而且，P3係和乘上時相同，不傳導缺陷於玻璃的端部之低力矩。在該狀態下，前進至e點。在e點，一旦自玻璃板W 抽出，藉由旋轉力矩變更爲定位之力矩，而使刀輪片6的高度係再次保持在切入位置。當以該狀態移動至f點，則一連串的劃線即告一段落。將旋轉力矩PI、P3設成比劃線時之旋轉力矩P2較小，係刀輪片6往玻璃板W乘上時或從玻璃板離開時，爲了不在玻璃板上產生無用裂縫的一種措施。自a點，f點之各個座標，係對應玻璃板W的尺寸而預設。如此，在本實施形態的劃線頭1，因係將伺服馬達3 之旋轉力矩作爲劃線壓而直接產生作用之機構，故響應性極佳，因此，如下的劃線亦爲可能。圖5係表示對於劃線完成之玻璃板W，進一步往正交方向劃線的狀態；刀輪片6於穿越隆起的劃線痕跡時，係因於該處跳過，故產生劃線無法連續的缺陷。爲了迴避該 _ 17 ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂·11!!! · 555706 A7 ____B7__ 五、發明說明（J ) 問題，係在穿越劃線痕跡時，暫時提高劃線壓即可。 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在本實施形態1，爲了能瞬間變更劃線壓，係預先輸入欲形成之劃線其交叉並成爲交點的處所的位置資料，在劃線頭1之移動時，只要瞬間加減每一通過該交點之劃線壓即可。進而詳細說明使用如上之伺服馬達劃線頭，將脆性材料基板予以進行劃線之際，其控制伺服馬達劃線頭(劃線頭 1)之位置之控制方法。首先，圖7係表示對於有關1個劃線動作之該伺服馬達劃線頭(劃線頭1)的控制方法之流程圖，圖8係表示分別以X軸動作(劃線頭在基板上移動之動作）、Z軸動作(裝設於劃線頭之刀輪片的動作)及Z軸力矩(伺服馬達的旋轉力矩)的經時變化所對應之1個劃線動作之時序圖。在此類圖中，係表示刀具由左至右在基板上移動(位在該移動方向的資料係增加），而X軸的位置資料在增加的方向進行劃線時的例子。在本實施形態，其特徵爲根據X軸的位置資料，而控制Z軸之力矩。首先，作爲X軸的位置資料，係在X軸動作開始位置及X軸動作結束位置之間，分別設定X軸起動位置、X軸切入位置、X軸押入結束位置、X軸切入結束位置、X軸劃線結束位置之各個資料。在X軸切入位置和X軸押入結束位置之間，進行控制伺服馬達之伺服放大器IN-POS訊號之OFF檢測，確認刀輪片完全乘上至基板上。X軸切入位置資料，係在劃線的動作中，將Z軸(刀輪片)移動至切 _ 18__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 555706 A7 ___B7___ 五、發明說明（β) 入位置之X軸的點。X軸押入結束位置資料，係在劃線的動作中，將ζ軸(刀輪片）自押入位置移動至切入位置X軸之點。然後，X軸切入結束位置資料，係在劃線的動作中，將ζ軸(刀輪片）自切入位置移動至待機位置X軸之點。此外，在有關Ζ軸力矩之設定資料，係設定有以下之限制値。在劃線中，刀輪片向玻璃乘上時之力矩限制値之Ζ軸乘上之力矩限制値、在劃線中，刀輪片自玻璃脫離時之力矩限制値之Ζ軸切離之力矩限制値、刀輪片自完全乘上基板上之後到結束刀輪片之押入爲止之力矩限制値的ζ軸押入之力矩限制値、然後，具有決定刀輪片位置時之力矩限制値之決定Ζ軸位置之限制値。有關1個劃線動作之該控制方法，係如圖7所示，首先，設定決定Ζ軸位置之力矩限制値而加以輸出(步驟1)。其次，將刀輪片移動至Ζ軸待機位置(圖8中Ζ1)(步驟2) 。X軸動作在切入位置以上時，將刀輪片移動至Ζ軸切入位置(圖8中Ζ2)(步驟3)。其次，設定Ζ軸乘上力矩限制値而加以輸出(步驟4)。而且，刀輪片乘上於脆性材料基板上時，因Ζ軸切入位置之刀輪片的位置偏離之故，即使伺服馬達自伺服放大器輸出之IN-POS訊號爲ON，刀輪片的位置亦會回到原來的Z軸切入位置。因此，有必要限制伺服馬達回到原來位置之力矩，而設定Z軸乘上力矩限制値。此外，Z軸乘上力矩限制値，係在刀輪片乘上至脆性材料基板上時，在脆性材料基板的端部，設定不使其產生缺口之低力矩値。於 _ . _19__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I I I 1 I I I « — — — — — — — I · 555706 _ B7___ 五、發明說明（J) 是，自伺服放大器輸出之IN_POS訊號爲OFF時，係設定 Z軸押入力矩限制値而加以輸出(步驟5)。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，將刀輪片移動至Z軸切入位置(圖8中Z3)(步驟 6)。通常，Z軸切入位置設定於距離脆性材料基板上面 0.05mm〜0.20mm之下方處。當自伺服放大器所輸出之IN_ POS訊號爲OFF，一旦確認刀輪片乘上至脆性材料基板上時，經由作爲Z軸押入力矩限制値所設定之力矩，脆性材料基板即進行劃線。此時，Z軸的位置因爲維持Z軸切入位置而位移較少，故無法在劃線上獲得適切的押入力矩(力矩未達於Z軸押入力矩限制値）。因此，將Z軸的位置，自脆性材料基板的上面設定到比Z軸切入位置更下方，而作爲Z軸押入位置，以能獲得適合於將種種的脆性材料基板進行劃線之Z軸押入力矩限制値。其次，在劃線頭之X軸移動位置成爲X軸押入結束位置資料以上之位置時，則設定Z軸切離力矩限制値而加以輸出，並將Z軸之位置作成爲Z軸切入位置。Z軸切離力矩限制値係在刀輪片自脆性材料基板切離時，設定不使脆性材料基板的端部產生缺口之低力矩値(步驟7)。然後，在劃線頭成爲X軸切入結束位置資料以上之位置時，設定Z 軸位置力矩限制値而加以輸出(步驟8)。然後’刀輪片移動至Z軸待機位置(圖8中Z1)(步驟9)。之後，X軸動作改變爲切入位置以下時，在收容劃線動作之資料後’進行重新設定(步驟1〇)，1個劃線的動作即結束。如此，在經由位置控制之伺服馬達所設定的位置係偏 ________20___— — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚1 555706 A7 _B7_ 五、發明說明（1) 離時，則限制動作的旋轉力矩，俾使其回復到伺服馬達所設定的位置，而將脆性材料基板予以進行劃線，但爲了不在脆性材料基板的端部產生缺陷而獲得良質之劃線，必須在劃線開始之大致同時，將暫時設定之Z軸位置，從脆性材料基板上面再往下方設定。而且，在圖7之流程圖中，係記載劃線頭對於該基板上之移動方向，其位置資料增加之情形，但在X軸的位置資料減少的方向進行劃線時，表示判斷之處理記號內之「以上」、「以下」用語，分別置換爲「以下」、「以上」的用語並予以進行處理。如此之一連串的處理，係可表示在圖8所示之時序圖中。亦即，起動劃線頭且在X軸切入位置當中，至此爲止位於待機位置(Z1)之刀輪片，係將Z 軸力矩作爲決定Z軸位置之力矩限制値，並移動至Z軸切入位置(Z2)。然後，直到伺服放大器輸出之IN-POS訊號 OFF被檢測出來爲止，Z軸的設定位置係作爲Z軸切入位置(Z2)，而Z軸力矩係維持於Z軸乘上力矩限制値。在伺服放大器之IN-POS訊號OFF被檢測出來後，至X軸押入結束位置爲止，Z軸的設定位置係作爲Z軸切入位置(Z3) ，且Z軸力矩係維持於Z軸押入力矩限制値。然後，自X 軸押入結束位置至X軸切入結束位置爲止之間，而Z軸的設定位置係作爲Z軸切入位置(Z2)，且Z軸力矩係維持於 Z軸切離力矩限制値。此後進而由X軸劃線結束位置，重新設定至初期狀態。如此，因爲在伺服馬達劃線頭的控制方法中採用位置 ___21 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -I I ! I I I 訂·！！！_ *5^ · 555706 A7 ____ B7___ 五、發明說明（>") 控制，以因應於劃線頭的移動，一邊變更爲適宜的、且預設的旋轉力矩的限制値，且能一邊進行脆性材料基板的劃線動作，使用於控制用的程式亦較容易操作。在本實施形態中，如圖1作爲動力傳遞機構，係使用斜齒輪8而傳遞動力於固定構件保持具4，但如圖6將伺服馬達3之旋轉軸直結於固定構件保持具4的構成亦可。在本實施形態中，係說明作爲用次將脆性材料基板之一種的玻璃板予以進行劃線之劃線刀具，其劃線頭具備超硬合金製或鑽石製之刀輪片之一例，但作爲劃線頭所具備之劃線刀具，係不自限於前述之刀輪片，包含有將鑽石點或圓形狀之刀鋒稜線的兩側，加工成圓錐或梯形狀的刀具等，而在脆性材料基板形成劃線之刀具。其次，參照圖面並說明申請專利範圍第7項乃至第9 項之劃線頭及第13項乃至第16項之劃線方法的實施形態。又，有關本發明之劃線方法，係因於劃線頭予以實施，故在此於有關劃線頭之實施形態的說明中，亦說明劃線方法之實施形態。 <實施形態2> 圖9係表示有關本發明之劃線頭之實施形態2之前視圖，圖10係其仰視圖。劃線頭90，係包含劃線頭本體92、軸承盒93、刀片支持具94、刀輪片95及彈壓機構96。劃線頭本體92，係其下部有所切割，該切割部98內容納軸承盒93。軸承盒93，其一端係透過軸承900而連結 ____22_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

555706 A7 B7 "——Ml 丨 ' !!—， ' ............. , 一五、發明說明（v\) 於插穿於劃線頭本體92之水平支軸99，另一方面，另一端係抵接於和支軸99相平地行設置於劃線頭本體92內的制止軸91，在經由制止軸91所制止的範圍內，圍繞支軸 99之軸心旋轉。刀片支持具94係設置於軸承盒93，且透過與正交脆性材料基板相正交之旋動軸97，而能圍繞旋動軸97之軸心擺動自如。在旋旋動軸97和軸承盒93之間，係介裝有軸承901。此外，在旋動軸97之上方係設有彈壓機構96，該彈壓機構之彈壓力，係透過旋動軸97及刀片支持具94 而施加於刀輪片95所構成。又，刀片支持具94，係不一定必須如上述設置成圍繞旋動軸97之軸心擺動自如，相對固定於軸承盒93亦可。此情形時，只要省略在軸承901等的擺動中所必要的零件即可。刀輪片95係設置於刀片支持具94,並透過與脆性材料基板面平行之旋轉軸913，而圍繞該旋轉軸913之軸心旋轉自如，而且，旋轉軸913係自前述旋轉軸97之軸心位置，改位移置而設置於靠近支軸99側。又，刀輪片95和旋轉軸97之位置關係係不自限於前述關係，刀輪片95的旋轉軸913，係位於旋轉軸97之軸心之正下方位置亦可。經由上述之劃線頭90而實施劃線之際，係相對於刀輪片95，將支軸99置於後側，而使劃線頭90在脆性材料基板上行走。亦即，以圖9之箭頭T所示方向使劃線頭90 行走。如此之藉由相對於刀輪片95，將支軸99置於後側 _____23 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) --------訂---------線 555706 A7 ^_B7___ 五、發明說明（y>) 並行走劃線頭，則在如圖丨3所示之刀輪片95的刀鋒稜線 MA爲在接觸於玻璃面GL的點E當中，對於面向行走方向之摩擦力V和面向玻璃GL較厚方向之緊壓力W之合力，即產生反作用力X，但該反作用力X係面向支軸99，其係不成爲使刀輪片95產生浮動之旋轉力矩。據此，即無產生如上述之刀片支持具的浮動現象，且對刀輪片95之加壓力亦無被前述反作用力X所削減之情形。其結果，對刀輪片95之加壓力，係有效地作動於脆性材料基板，而能獲得比習知技術更深之垂直裂縫。此處，如圖13所示，刀輪片95在劃線中自脆性材料基板GL所承受反作用力X的方向，係維持著存在於連結該反作用力X之起點E和支軸99之軸心的線Η，或較該線Η更靠近脆性材料基板GL的狀態即可(參照圖13中之點線箭頭X!、W!、V!)。如此，則更能確實消除使上述刀片支持具浮動之旋轉力矩的產生。當維持該狀態之際，係能適宜地調整劃線速度、相對於刀輪片95之加壓力、刀輪片95和支軸99之相對位置關係。 <實施形態3> 其次，關於本發明之實施形態3，參照圖11並加以說明。圖11係劃線頭的主要部位之前視圖，其側視圖係因和圖1同樣表現，而被省略。該劃線頭1，係在一對之側壁2間，以倒立狀態固定伺服馬達3，在該側壁2之下部，從側面看，L字狀之固 ---- ---24___ 一本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------—訂---------線. 555706 A7 ____B7__ 五、發明說明（A ) 定構件保持具4係通過支軸5而設置成旋動自如之狀態。在該固定構件保持具4的前方(圖11中，右方向），裝有可旋動地支撐刀輪片95之刀片支持具94。刀片支持具94,係透過插穿設於其上方之旋動軸17 及該旋動軸17之軸承12，裝設於固定構件保持具，且能圍繞旋動軸17之軸心旋動。刀輪片95，和上述實施形態2的情況同樣地，係裝設於刀片支持具94,且透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸 13，而圍繞該旋轉軸13之軸心旋轉自如，而且’旋轉軸 13係自刀片支持具94之旋轉軸17之軸心位置，變換位置而設置於靠近支軸5側。斜齒輪8係互相咬合而裝設於伺服馬達3之旋轉軸和支軸5。據此，經由伺服馬達3之正逆旋轉，其固定構件保持具4係以支軸5作爲支點而進行俯仰動作，刀輪片95 則可上下動作。該劃線頭本體，係設置成可沿著劃線裝置 66之水平方向之導軌67而移動(參照圖1)。而且，動力傳遞機構係不自限於斜齒輪8。而且，在本實施形態中，係使用斜齒輪8而作爲動力傳遞機構，並傳遞於固定構件保持具4之動力，但如圖12 •所示，直接連結伺服馬達3之旋轉軸於固定構件保持具4 之構成亦可。在此，如圖13所示，刀輪片95在劃線中，自脆性材料基板GL所承受的反作用力X的方向，係維持著存在於連結該反作用力X之起點E和支軸99之軸心的線H上， --------- 2^ —--—-- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公爱） <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線· 555706 有關本發明之劃線方法，以下列的條件進行劃線。刀輪片的輪子半徑刀輪片的輪子厚度刀輪片的的刀鋒角度劃線速度刀鋒負荷玻璃材質玻璃厚度劃線頭之行走方向 (比較例）比較上，如同習知技術 A7 B7 五、發明說明（y今）或較該線Η更靠近脆性材料基板GL的狀態即可(參照圖13 中之點線箭頭符號X!、W!、V!)。如此，則更能確實消除使上述刀片支持具浮動之旋轉力矩的產生情形。當維持該狀態之際，係能適宜地調整劃線速度、相對於刀輪片95之加壓力、刀輪片95和支軸99之相對位置關係。其次，係分別實施有關本發明之劃線方法和習知技術之劃線方法，並測定形成於玻璃的垂直裂縫的深度。 (實施例）係使用如圖12所示之劃線頭 2.5mm 0.65mm 1250 300mm/sec l.lkgf 碳酸鈉玻璃 0.7mm 圖12之箭頭T方向亦即係以圖12箭頭S的方向作爲劃線頭之行走方向，其他則係以和前述本發明之實施例相同的條件進行。但是，刀輪片95之旋轉軸913，其在行走時位於旋轉軸97後側之刀片支持具94之方向係和前述實施例完全相反。 26 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---! ί 訂---I I I I--^ 555706 A7 ___B7___________ 五、發明說明（/ ) (測定結果）以前述各方法進行劃線後，分別測定垂直裂縫的深度，得到以下的結果：實施例 450 // m〜500// m 比較例 110//m〜120//m 由以上結果很淸楚得知，根據本發明之劃線方法及劃線頭，以相同的刀鋒負荷，得到習知之約4倍以上之垂直裂縫。產業上利用之可能性藉由使用伺服馬達，可提供簡略化之劃線頭之機構，價廉之劃線頭及劃線裝置。此外，在軟體程式上亦可進行〇點位置的檢測，亦不需要習知技術之接點機構之〇點位置的檢測。而且，因爲產生劃線壓之機構的響應性，亦能地良好地對應於種種劃線條件。此外，進行交叉劃線之際，當然不會產生交點跳過的現象，因爲不會產生刀片支持具的浮動，在脆性材料基板上可以有效地對刀輪片之加壓力發揮作用，比起習知技術，可得到更深的垂直裂縫。因此，在有關交叉劃線後之切斷製程中，沿著劃線，而能精確地切斷玻璃板，並消除不良品的產生，較習知技術更能提高生產效率。圖式之簡單說明圖1係本發明之實施形態1之劃線頭的側視圖。圖2係該主要部位之前視圖。圖3係表不本發明劃線頭之控制系統。 _____27_______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t) <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I I I I I I I ^ ·11111111 · 555706 A7 _B7_ 五、發明說明（>) 圖4係表示實施形態1之劃線頭的刀輪片劃線時的動作圖。圖5係表示對於既已形成之劃線，交叉進行劃線時之狀態之構成圖。圖6係表示本發明其他實施形態之劃線頭。圖7係表示本發明劃線頭的控制方法之流程圖，表示 1個劃線動作。圖8係表示該控制方法之1個劃線動作之時序圖之各 X軸動作、Z軸動作及Z軸力矩之變化。圖9係表示劃線頭實施形態2之前視圖。圖10係實施形態2之仰視圖。圖11係表示本發明實施形態3之劃線頭的主要部位之前視圖。圖12係表示圖11所示劃線裝置劃線頭之其他實施形態之前視圖。圖13係說明產生於刀輪片之旋轉力矩之示意圖。圖14係表示習知劃線方法之刀鋒負荷和垂直裂縫之關係的曲線圖。圖15係表示本發明之刀鋒負荷和垂直裂縫之關係的曲線圖。圖16係表示習知劃線頭的剖面圖。圖17係圖16之側視圖。圖18係習知之其他劃線頭之構成圖。圖19係表示習知劃線裝置之槪略前視圖。 ___28_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---I----訂---------· 555706 A7 _B7_ 五、發明說明（”）圖20係表示習知之另一劃線頭之槪略圖。圖21係說明交叉點消失之現象圖示。圖22係表示習知之另一劃線頭的前視圖。圖23係圖22之仰視圖。元件符號說明 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線· 1 、 76 、 90 劃線頭 52 、 7 、 77 、 82 、 92 刀片支持具 9 編碼器 10 伺服放大器 20 玻璃切斷裝置 24 檢測部 28 控制部 39 放大部 26 處理部 22 線性馬達 38 玻璃切割刀 72 滾珠螺桿 70 工作台 71、67 導軌 73 導桿 74 馬達 6 、 78 、 83 、 95 刀輪片 76A 劃線頭本體 79 旋動軸 ___29 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 555706 A7 _B7 五、發明說明（4 ) 13 、 17 、 89 、 97 、 913 旋轉軸 84 彈壓機構 12 、 40 、 900 軸承 2 側壁 5、99 支軸 66 劃線裝置 3 伺服馬達 8 斜齒輪 5A 刀鋒棱線 93 軸承盒 99 水平支軸 91 制止軸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i I I I I I I 訂- !1!!-· ___30 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims

555706 A8B8C8D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1. 一種劃線頭，係具備於脆性材料基板形成劃線之劃線刀具；其特徵在於：藉由伺服馬達的旋轉來進行劃線刀具的升降，並將伺服馬達的旋轉力矩作爲對劃線刀具的劃線壓予以傳遞。 2. 如申請專利範圍第1項之劃線頭，其中將前述伺服馬達的旋轉運動透過齒輪轉換成上下運動，並使旋轉力矩作爲劃線壓產生作用。 3. 如申請專利範圍第1項或第2項之劃線頭，其中當穿越已劃線完成之劃線來進行劃線時，係在通過該劃線時，暫時提高劃線壓。 4. 如申請專利範圍第1項或第2項之劃線頭，其中在劃線頭之刀具於脆性材料基板移動之位置，將前述伺服馬達的旋轉力矩控制於預設之限制値。 5. 如申請專利範圍第1項或第2項之劃線頭，其中對前述伺服馬達進行位置控制。 6. 如申請專利範圍第3項之劃線頭，其中對前述伺服馬達進行位置控制。 7. 如申請專利範圍第4項之劃線頭，其中對前述伺服馬達進行位置控制。 8. 如申請專利範圍第5項之劃線頭，其中將前述伺服馬達所設定之脆性材料基板上面算起之下方位置，在劃線開始之大致同時再往下方設定。 9. 如申請專利範圍第6項之劃線頭，其中將前述伺服馬達所設定之脆性材料基板上面算起之下方位置，在劃線本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 555706 A8B8C8D8 六、申請專利範圍開始之大致同時再往下方設定。 10. 如申請專利範圍第7項之劃線頭，其中將前述伺服馬達所設定之脆性材料基板上面算起之下方位置，在劃線開始之大致同時再往下方設定。 11. 一種劃線頭，其特徵在於：在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 12. 如申請專利範圍第1項或第2項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 13. 如申請專利範圍第3項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 14·如申請專利範圍第4項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如， η 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） ........................---------------1T............— 線· (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 555706 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 15·如申請專利範圍第5項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，並且在該刀片支持具上’將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 16. 如申請專利範圍第6項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 17. 如申請專利範圍第7項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 18. 如申請專利範圍第8項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 19·如申請專利範圍第9項之劃線頭，其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) .........................费..............-訂----------------t· (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 555706 A8B8C8D8 六、申請專利範圍料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如’ 並且在該刀片支持具上，將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自女口 ° 20.如申請專利範圍第10項之劃線頭’其中在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體，將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如 ’並且在該刀片支持具上’將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如。 21·如申請專利範圍第11項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 22. 如申請專利範圍第12項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍，繞該旋動軸的軸心擺動自如。 23. 如申請專利範圍第13項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 24·如申g靑專利圍第14項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 25·如申請專利範圍第15項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 26.如申請專利範圍第16項之劃線頭，其中將前述刀 ......................................、玎................線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 555706 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 27. 如申請專利範圍第17項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 28. 如申請專利範圍第18項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 29. 如申請專利範圍第19項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 30. 如申請專利範圍第20項之劃線頭，其中將前述刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 31. 如申請專利範圍第21項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 32. 如申請專利範圍第22項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 33·如申請專利範圍第23項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 34·如申請專利範圍第24項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 35·如申請專利範圍第25項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 5 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐）~ ' A8B8C8S 555706 六、申請專利範圍 36·如申請專利範圍第26項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 37·如申請專利範圍第27項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 38.如申請專利範圍第28項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 39·如申請專利範圍第29項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 4〇·如申請專利範圍第30項之劃線頭，其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 41·如申請專利範圍第11項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 42.如申請專利範圍第12項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 43·如申請專利範圍第13項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 44.如申請專利範圍第14項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 45·如申g靑專利範圍第15項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於’前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料 _ 6 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） -------------------------t---------------IT----------------t· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5557〇6 as C8 D8 ^--- $、申請專利範圍墓板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 46. 如申請專利範圍第16項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 47. 如申請專利範圍第17項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料棊板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 48. 如申請專利範圍第18項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料棊板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 49. 如申請專利範圍第19項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料墓板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 50. 如申請專利範圍第20項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 51. 如申請專利範圍第21項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 52. 如申請專利範圍第22項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 53. 如申請專利範圍第23項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料 ......................…… (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 、言本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ' 555706 B8 C8 D8 六、申請專利範圍基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 54·如申請專利範圍第24項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 55_如申請專利範圍第25項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 56·如申請專利範圍第26項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 57.如申請專利範圍第27項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 58·如申請專利範圍第28項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 59·如申請專利範圍第29項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 60. 如申請專利範圍第30項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 61. 如申請專利範圍第31項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料 8 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 訂ί 尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 555706 A8B8C8D8 六、申請專利範圍基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 62. 如申請專利範圍第32項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 63. 如申請專利範圍第33項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 64. 如申請專利範圍第34項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 65. 如申請專利範圍第35項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 66. 如申請專利範圍第36項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 67. 如申請專利範圍第37項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 68. 如申請專利範圍第38項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 69. 如申請專利範圍第39項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁)

A8B8C8D8 555706 六、申請專利範圍基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 70·如申請專利範圍第40項之劃線頭，其中前述支軸的軸心係位於，前述刀輪片在劃線中所承受來自脆性材料基板之反作用力的向量上的線上、或比該線更上方。 71. —種劃線裝置，其係藉由將具備於脆性材料基板形成劃線之劃線刀具的劃線頭移動，而將脆性材料基板予以劃線；其特徵在於：設有申請專利範圍第1〜70項中任一項之劃線頭。 72. —種脆性材料基板之劃線方法，其特徵在於：具有劃線頭，其係在行走於脆性材料基板上之劃線頭本體上將刀片支持具透過與脆性材料基板面平行的支軸設成可圍繞該支軸的軸心擺動自如，而且在該刀片支持具上將刀輪片透過與脆性材料基板面平行的旋轉軸設成可圍繞該旋轉軸的軸心旋轉自如而構成；並且秦- 以使前述支軸位於刀輪片後側之方式使該劃線頭行走於脆性材料基板上，而於脆性材料基板面形成劃線。 73·如申請專利範圍第72項之脆性材料基板之劃線方法’其中將刀片支持具透過與脆性材料基板面正交的旋動軸設成可圍繞該旋動軸的軸心擺動自如。 74.如申請專利範圍第73項之脆性材料基板之劃線方法’其中將前述旋轉軸設成比前述旋動軸的軸心位置更靠近前述支軸側。 75·如申請專利範圍第72〜74項中任一項之脆性材料基板之劃線方法，其中使刀輪片於劃線中所承受來自 10 度迥用f國國冢標準（CNS)A4規格(210x 297公釐j-- 555706 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍脆性材料基板之反作用力的方向，維持在連結該反作用力起點與前述支軸的軸心之線上、或比該線更靠近脆性材料基板的狀態下，來進行劃線。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)