>37931 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I、發明說明（1 ) [發明所屬技術領域] 本發明為有關塗敷裝置及使用該塗敷裝置之塗敷方法。 [習知之技術] 第8圖為說明，例如特開2000-288447號公報上所公 開的’習知黏著劑的轉印塗敷裝置之概略圖。在圖上，3〇 為受到轉印塗敷的基板、31為執行電氣連接的黏著元件、 32為夾住黏著元件31的保持元件、33為移動保持元件32 之機械臂（robot)、34為填充著黏著劑之黏著劑容器、 為黏著劑由黏著劑容器34露出之黏著劑露出穴部、36為 黎著劑露出穴部35上可移動的外蓋，並在當將黏著元件 3 1與接著於黏著劑之外，關閉黏著劑露出穴部35。37為 控制黏著劑液面位置之液面位置控制器。 亦即，移動外蓋36，開放黏著劑露出穴部35，同時藉 由機械臂33移動保持元件32,而使黏著元件31與由黏著 劑露出穴部35露出的導電性黏著劑相接觸。其次，藉由機 械臂33移動保持元件32,使黏著元件31被抬起後，對準 基板30的位置加以推壓，而將導電性黏著劑轉印塗敷於基 板30之上，而使須藉由設置外蓋36等，以防止黏著劑之 揮發所引起的轉印黏著製程之缺陷。 [發明所欲解決之問題] 然而，上述習知的塗敷裝置中，黏著元件31必須以高 精度與黏著劑露出部相接觸之故，逐必須極精確地進行黏 著元件的位置控制，或必須以高精度來加工黏著元件的保 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297公釐） 請 先 閱 背 Φ 之 注 意 事 項 再 t 裝 訂 線 1 537931 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（2 持元件32，同時使黏著元件31傾斜著與黏著劑相接觸， 亦導致塗敷量不穩定之問題。本發明即係為解決上述及其他問題所完成者，其目的即在提供一種得獲致穩定的塗敷量之塗敷裝置及使用該塗 敷裝置之塗敷方法。 [解決問題之方案] 有關本發明之第1種塗敷裝置，係包含旋轉體、設置 於此旋轉體上並具備含有第丨溶劑之塗敷劑之塗敷劑貯存 槽、覆盍上述塗敷劑貯存槽，並以留有間隙之方式下於旋 轉體上在不受該旋轉體之旋轉影響下獨立設置的外蓋、向 上述塗敷劑貯存槽與外蓋間提供第2溶劑氣體之溶劑氣體 供給工具、設置於上述塗敷劑貯存槽上的外蓋之採取孔、 以及由上述採取孔採取上述塗敷劑貯存槽之塗敷劑、俾轉 印塗敷於被塗敷材上之塗敷元件。有關本發明之第2種塗敷裝置，係為於上述第丨種塗 敷裝置中，設置具有第2溶劑之溶劑貯存槽於旋轉體上， 使上述溶劑貯存槽與塗敷劑貯存槽於上述塗敷劑貯存槽之 上面相連通，俾藉由外蓋覆蓋上述溶劑貯存槽，而形成向 上述塗敷劑貯存槽與外蓋之間⑹共帛2溶齊!氣體之溶劑氣 體供給工具。有關本發明之第3種塗敷裝置，係於上述第丨或第2 種塗敷裝置中的間隙為0.01至1mm者。 有關本發明之第4種塗敷裝置，係於上述第2種塗敷 裝置中，其溶劑貯存槽至少應設於比塗敷劑貯存槽更外圍 ‘紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐 313038 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 裝 . •線· 537931 A7
經濟部'%慧財產局員工消費合作社印制衣 五、發明說明（3 )處。 有關本發明之第5種塗敷裝置，係於上述第4種塗 裝置中，其最外圈溶劑貯存槽外圍之脊部與 4 ^ IQJ (a)、與上述最外圈之溶劑貯存槽相鄰接之塗敷劑貯存枠^ 圍之脊部與外蓋間之間隙（b)之關係為a<b。 曰外 有關本發明之第6種塗敷裝置，係於上述第丨種塗砉 裝置中，在外蓋裡設置有保持第2溶劑之保持材。 有關本發明之第7種塗敷裝置，係於上述第6氇塗 裝置中，貼有作為保持材之發泡材。 、數 有關本發明之第8種塗敷裝置，係於上述第1、2、 種中任一種之塗敷裝置中，其第2溶劑與第1溶劑為相2 種類。 同 有關本發明之第9種塗敷裝置，係於上述第2種 裝置中 其外盘的一部份浸潰於溶劑貯存槽之溶劑中。 有關本發明之第10種塗敷裝置，係於上述第1、 種中任一種之塗敷裝置中，設置有延展塗敷劑貯存槽之塗 敷劑的塗刷器，以及形成於塗敷劑貯存槽上方的外蓋上， 插入有上述塗刷器之塗刷器孔。 有關本發明之第11種塗敷裝置，係於上述第9種塗敷 裝置中，藉由可滑動自如地設置在塗敷劑貯存槽上方的外 盖内側之突塊而構成塗刷器。 有關本發明之第12種塗敷裝置，係於上述第1種塗 敷裝置中，以令塗敷元件可自由插入採取孔中，並包圍於 上述採取孔之方式，於外蓋表面上設置包圍元件。 靖 先 閱 背 面 之 % 事 項 再 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 3 313038 537931
五、發明說明（4 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有關本發明之第13種塗敷裝置，係於上述第1或第 12種塗敷裝置中，於採取孔上設置有與塗敷元件插入或插 出採取孔連動之動作’而進行開關動作之開關元件。 有關本發明之第1種塗敷方法，係為使上述第1種至 第13種中任一種之塗敷裝置之旋轉體旋轉，再藉由塗敷元 件經由採取孔，採取上述塗敷劑貯存槽不同位置的上述塗 敷劑，並將其轉寫塗敷於被塗敷材之塗敷方法。 [發明的實施形態] 第1實施形態 本發明第1實施形態的塗敷裝置，係為將藉由溶劑（第 1溶劑）稀釋而成例如黏著劑等之塗敷劑轉寫塗敷於基板等 被塗敷材之裝置，並於例如旋轉盤等旋轉體中設置有含溶 劑之塗敷劑貯存槽，藉由旋轉旋轉體，使塗敷元件逐次採 取塗敷劑貯存槽不同位置之塗敷劑，俾將一定量之塗敷劑 轉寫塗敷於被塗敷材上。 此時，於旋轉體上以留有間隙之方式下，設置有覆蓋 塗敷劑貯存槽之外蓋的同時，構成經由塗敷劑貯存槽與外 蓋之間隙提供溶劑（第2溶劑）氣體之溶劑氣體供給工具， 使得以一邊抑制第1溶劑的揮發，一邊透過設置於外蓋上 之採取孔以塗敷元件進行塗敷劑之轉寫塗敷，而能夠得到 穩定之塗敷量的效果。 再者’因可防止黏著劑之揮發，使黏著劑的換裝頻度 變少’而令黏著劑的替換或旋轉盤的清掃作業等製程次數 亦可削減。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 313038 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 裝 ‘線· 537931 A7 -------—-----B7________ 五、發明說明（5 ) 上述之第1 4劑係當作塗敷劑之稀釋劑使用，而第2 洛劑與第1溶劑為相同物，故可避免帶來對塗敷劑之塗敷 性的影響。但是，若第2溶劑不會與第“容劑反應，且揮 發性並無差異等不會對塗敷劑之塗敷性帶來影響的話，則 第1 /合劑與第2岭劑不同者亦佳。另外，以不影響說明為 原則下’以下之記载並未對第1溶劑與第2溶劑加以區別。 再者，以下之實施形態中係以其他實例作為溶劑氣體 供給工具。 第1圖為說明使用本發明第丨實施形態之塗敷裝置， 轉寫塗敷塗敷劑之狀態。圖中，1為塗刷器，4 為塗敷元件，5為外蓋，7為旋轉體，8為塗敷劑貯存槽， 8 1為塗敷劑，20為被塗敷材。 第1圖為顯示使用塗刷器丨，使塗敷劑貯存槽8的塗 敷劑8 1之厚度均勻一致地形成一定厚度的塗敷劑膜，而得 到定量而穩定之塗敷量之情形，然而，並非一定要，使用 藉由自體重量而均勻一致的塗敷劑不可。 並且，為明確顯示其構造，在將外蓋5透明化的同時， 設置於外蓋5的塗刷器1與插入塗敷元件4之塗刷器孔， 以及採取孔皆省略而不予記載。 亦即’如第1圖所示，係使旋轉體7旋轉，並使用塗 刷器1延展塗敷劑81，再藉由銷（pin)等黏著元件4，將一 定量之塗敷劑81移取並轉寫塗敷於半導體基板等被塗敷 材20上。 另外’外蓋5的材質係使用不受溶劑侵蝕者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 313038 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 裝 丨線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 A7 五、發明說明（6 ) 第2實施形錐 第2(a)、（b)圖係分別為太 罢*瓜品θ 為本^明弟2實施形態之塗敷裝 置之平面圖，與（a)圖中 A綠之剖面圖。在圖中，1為 塗刷器，2為支撐塗刷器的縣 、& 1 ,丄 J心穿（arm)，3為固定旋轉體與 迴轉軸（未圖示）之螺栓，4為泠| — — 马塗敷疋件之轉寫銷，5為外 盍’ 41為設置於外蓋5上， 且堂敷το件可插入插出的採取 孔，6為溶劑貯存槽，7 Α你 " 為作為旋轉體之旋轉盤，8為塗敷 劑貯存槽，9為外蓋固定^ 疋用支柱，13為懸臂支持台，14為 芯臂口定* 15為彈* (spHng)。此圖雖顯示設置懸臂2 以固定塗刷器卜且透過彈簧15施加力量於塗刷器！上， 惟若設置汽缸（Cylinder)等施予壓力亦可。 本發明$ 2實施形態之塗敷|置為在上述帛i實施形 態之塗敷裝置中，於旋轉體7上設置溶劑貯存槽6，並使 上述溶劑貯存槽6與塗敷劑貯存槽8於上述塗敷劑貯存槽 之上面相連通，俾藉由外蓋5覆蓋溶劑貯存槽ό與塗敷劑 貯存槽8，以作為於塗敷劑貯存槽8與外蓋5的間隙中提 供之溶劑氣體供給工具。 第2圖所示的塗敷裝置中，於86ιηιηφ的旋轉盤上設置 有作為溶劑貯存槽6與塗敷劑貯存槽8之各為高7inm，深 2 mm的溝槽’由上述塗敷劑貯存槽$中，量取ice量的塗 敷劑（銀：80至90%，聚酯（p〇lyester)樹脂、聚異氰酸 (polyisocyanate)樹脂、環氧（ep0Xy)樹脂，及聚乙烯 (Polyethylene)樹脂：4 至 8%，普通石蠟（normal paraffin)， 芳香族碳化氫：8至14%，添加劑：0·1至1.0%)，放入與上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " 313038 L-------------震—— (請先閱讀背面之注音心事項再本頁) 訂· · -I線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 537931 A7 B7 五、發明說明（7 ) 述溶劑貯存槽6中所含的塗敷劑相同之溶劑到不會溢出的 程度。而且’由於溶劑的蒸發量與表面積成比例關係，溶 劑貯存槽的寬度最好大於塗敷劑貯存槽的寬度。 第3圖為於上述塗敷裝置中，以塗刷器延展塗敷劑， 使如上述般塗敷轉寫到半導體基板時，藉由旋轉體與外蓋 之間隙’顯示塗敷於被塗敷材上之塗敷劑厚度之標準偏差 變化特性圖，其橫軸為外蓋與旋轉盤的間隙（mm)，縱軸為 塗敷厚度的標準偏差（μηι)。 由圖中顯示’間隙為〇 · 〇 1至1 min範圍的塗敷量其散 亂程度小，可得到穩定的塗敷量未滿〇 〇lmm時，旋轉體 的旋轉變得困難，如超過lmm，則其散亂程度變大。 並且，於本實施形態中，溶劑貯存槽與塗敷劑貯存槽 雖設置為同心圓狀的溝槽，但並不限於此，僅為單純之凹 坑也可以，還有，上述塗敷劑貯存槽與迴轉輛成互相對稱 的形狀時，即能夠容易地轉寫塗敷。 此外，為防止塗敷劑與大氣直接接觸，使避免揮發起 =溶劑貯存槽至少應設置於塗敷劑貯存槽之更外圍較為 ^有’於第2圖中’最外圈溶劑貯存槽外圍 外蓋間之間隙⑷、與上述最外圈之溶劑貯存槽相鄰接之塗 敷心7存槽外圍之脊部與外蓋間之間隙⑻若 係，則因為氣體往壓力損失小的 :之關 之溶劑氣體能容易流通，故較為動’使溶劑貯存槽 羞3實施形熊 丨本^尺度適用中i家鮮（C^S)A4規格（210 X 297 請 先 閱 讀 背 意 事 項 再 貪 經 濟 部 智 慧 財 產 局 | 消 費 合 作 社 印 製 7 537931 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 合 社 印 製 五、發明說明（8 ) 第4圖為說明本發明第3實施形態之塗敷裝置之剖面 圖，圖中，17為保持溶劑之保持材，例如海綿（sp〇nge)等 發泡材。 本發明第3實施形態之塗敷裝置為在上述第〗實施形 態之塗敷裝置中’藉由外蓋5裡面設置有含溶劑之保持材 (海綿）17 ’使/谷劑揮發而充滿蒸氣，而可作為提供溶劑氣 體於塗敷劑貯存槽8與外蓋5間的隙間之溶劑氣體供給工 具，故可防止塗敷劑之揮發。 第4實施形態 第5圖為本發明第4實施形態的塗敷裝置之剖面圖。 圖中，51為設置於外蓋5裡面，浸潰於溶劑貯存槽6之溶 劑内之凸塊部分。 也就是，於本實施形態中，旋轉盤7的溶劑貯存槽6 之溶劑由於浸潰有外蓋5之凸塊部分，使得旋轉盤7得藉 由外蓋5而更為密閉，且外蓋5與旋轉盤7間的空間變小， 使溶劑貯存槽6之溶劑揮發而充滿蒸氣之時間也隨之變 短，故可防止塗敷劑之揮發。 此外，第5圖雖顯示了為固定外蓋而設置有支柱惟 於本實施形態中’外蓋材料比溶劑比重小時，只支持外蓋 的迴轉亦可。 第5實施形態 第6(a)、（b)圖各為本發明第5實施形態的塗敷裝置之 平面圖，與（a)圖中B-B線之剖面圖。圖中，1〇為用於包 圍採取孔所設的包圍元件之圓筒狀外壁，塗敷元件4則設
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置為可自由插入或插出採取孔41。 再者’圖中雖顯示外蓋上設置有圓筒，惟若配合銷的 I狀’四腳柱或圓頂（dome)型亦佳。一如本實施形態所示， 因圓筒10設於外蓋5,使得轉寫銷出入口附近之溶劑揮發 後的蒸氣變得不易洩漏，並且因為可以防止大氣進入外蓋 5中，故可防止塗敷劑的揮發。 塞6實施形熊 第7(a)、（b)圖為顯示本發明第6實施形態之塗敷裝置 的外蓋之採取孔周邊的放大說明圖，（a)圖為塗敷元件4插 入採取孔前之狀態，（b)圖為插入時之狀態。圖中，〖j為與 塗敷元件（轉寫銷）連動而動作之圓筒，12為轉寫銷插入部 中含有切口之橡膠板，16為橡膠板的切口，使得藉由橡膠 板12與橡膠板之切口 16構成與塗敷元件的插入插出連動 而進行開關動作的開關元件。 然而’圖中雖顯示為密閉外蓋與轉寫銷之間的間隙而 設置有橡膠，惟以遮蔽器（shutter)等來開關亦可。如（a)圖 所示，轉寫銷若無進出時，橡膠板12係保持外蓋的密閉， 如（b)圖所示，轉寫銷插入外蓋時，則將圓筒丨丨插入橡膠 板的切口 16,然後使轉寫銷4通過圓筒n。藉由如此之過 程，轉寫銷4附近的溶劑蒸氣變得不易洩漏，故可防止黏 著劑的揮發。 第7圖雖顯示與第5實施形態所用的包圍元件合併使 用時的實例，但並不僅限於此，而亦得只單獨使用開關元 件。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公麓1 ' ----- 9 313038 • ^-------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再t本頁) .- .線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 537931 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
五、發明說明（10 ) 再者，雖然為了插入塗刷器而使得溶劑的蒸氣會有經 由設於外蓋上的孔洩漏之虞，惟藉由於塗敷劑貯存槽上方 的外蓋内侧以滑動自如之方式設置之凸塊來構成塗刷器， 溶劑的蒸氣變得不易洩漏，故可防止黏著劑的揮發。 [發明之功效] 本發明之第1種塗敷裝置係包含：旋轉體；設置於此 旋轉體上，具有含第1溶劑的塗敷劑之塗敷劑貯存槽；被 覆上述塗敷劑貯存槽，並以留有間隙之方式下於旋轉體上 在不受上述回轉體之回轉影響下獨立設置的外蓋；於上述 塗敷劑貯存槽與外蓋間提供第2溶劑氣體之溶劑氣體供給 工具；設置於上述塗敷劑貯存槽上方的外蓋上之採取孔； 以及經由上述採取孔採取上述塗敷劑貯存槽之塗敷劑並轉 寫塗敷於被塗敷材上之塗敷元件，而可得到穩定的塗敷量 之效果。 本發明之第2種塗敷裝置係包含：於上述第1種塗敷 裝置中，設置具有第2溶劑之溶劑貯存槽於旋轉體上，使 上述溶劑貯存槽與塗敷劑貯存槽於上述塗敷劑貯存槽之上 面相連通，俾藉由外蓋被覆上述溶劑貯存槽，而形成向上 述塗敷劑貯存槽與外蓋之間提供第2溶劑氣體之溶劑氣體 供給工具，而可得到穩定的塗敷量之效果。 本發明之第3種塗敷裝置係於上述第i種或第2種塗 敷裝置中，使其間隙為0.0!至lmm，而可得到穩定的塗敷 量之效果。 _本發明之第4種塗敷裝i係於上述第2種塗敷裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（cnsA規格⑽x 297公复T 10 313038 (請先閱讀背面之注意事項再β本頁) 裝 丨線- 537931 A7 五、發明說明（η ) 中，使溶劑貯存槽至少設於比塗敷劑貯存槽更外圍處者， 而可得到更穩定的塗敷量之效果。 本發明之第5種塗敷裝置係於上述第4種塗敷裝置 中’其最外圈溶劑貯存槽外圍之脊部與外蓋間之間隙（a)、 與上述最外圈之溶劑貯存槽相鄰接之塗敷劑貯存槽外園之 脊部與外蓋間之間隙（b)存有a<b之關係者，而可得到更穩 定的塗敷量之效果。 本發明之第6種塗敷裝置係於上述第1種塗敷裝置 中’於外蓋裡面設置有保持第2溶劑之保持材，而可得到 穩定的塗敷量之效果。 本發明之第7種塗敷裝置係於上述第6種塗敷裝置 中，貼有作為保持材之發泡材，而可得到穩定的塗敷量之 效果。 本發明之第8種塗敷裝置係於上述第1、2、6種中任 一種之塗敷裝置中，使第2溶劑與第丨溶劑為相同者，而 具有特別能夠保持塗敷性的效果。 本發明之第9種塗敷裝置係於上述第2種塗敷裝置 中，使外蓋的一部份浸潰於溶劑貯存槽之溶劑中，而可.得 到更為穩定的塗敷量之效果。 本發明之第10種塗敷裝置係於上述第卜2、6種中任 一種之塗敷裝置，設有延展塗敷劑貯存槽之塗敷劑之塗刷 器，以及形成於塗敷劑貯存槽上方之外蓋上，插入上述塗 刷器之塗刷器孔，而可得到更為穩定的塗敷量之效果。 本發明之第11種塗敷裝置係於上述第9種塗敷裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 313038 -------------裳---- (請先閱讀背面之注意事項再頁) . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 11 537931 A7 五、發明說明（12 ) 中，以於塗敷劑貯存槽i方的外蓋内側上設置之可滑動自 如的突塊構成塗刷器，而可得到更為穩定的塗敷量之效 果。 本發明之第12種塗敷裝置係於上述第丨種塗敷裝置 於外蓋表面設包圍元件使塗敷元件可自由地插入採取 並包圍上述採取孔，而可得到更為穩定的塗敷量之效 中孔果 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之第13種塗敷裝置係於上述第丨或第12種塗 敷裝置中，於採取孔上設置與塗敷元件插入或插出採取孔 之動作連動而進行開關動作之開關元件，而可得到更為穩 定的塗敷量之效果。 本發明之第1種塗敷方法係為使上述第1至第丨3種中 任一種之塗敷裝置中所記載之旋轉體旋轉，再藉由塗敷元 件經由採取孔採取上述塗敷劑貯存槽之不同位置的上述塗 敷劑’並轉寫塗敷於被塗敷材之塗敷方法，而可得到穩定 的塗敷量之效果。 [圖式之簡單說明] 第1圖為顯示使用本發明第1實施形態之塗敷裝置轉 寫塗敷塗敷材時的狀態說明圖。 第2 (a)、（b)圖為本發明第2實施形態之塗敷裝置之平 面圖及剖面圖。 第3圖為顯示本發明第2實施形態的塗敷裝置中，藉 由旋轉體與外蓋間的間隙塗敷於被塗敷材的塗敷劑厚度之 標準偏差變化之特性圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 12 313038 -------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 訂·- -線_ 537931
五、發明說明（ 第4圖為本發明第3 第5圖為本發明第4 第6 (a)、（b)圖為本發 面圖及剖面圖。 第7 (a)、（b)圖為顯示 之外蓋的採取孔周邊之說 第8圖為習知的黏著 實施形態之塗敷裝置之剖面圖。 實施形態之塗敷裝置之剖面圖。 明第5實施形態之塗敷裝置之平 本發明第6實施形態之塗敷裝置 明圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 劑之轉寫塗敷裝置之概略圖。 [元件符號說明] 1 塗刷器 2 懸臂 3 螺栓 4 塗敷元件 5 外蓋 6 溶劑貯存槽 7 旋轉體 8 塗敷劑貯存槽 9 外蓋固定用支柱 10 包圍元件 11 圓筒 12 橡膠板 13 懸臂支持台 14 縣臂固定軸 15 彈簧 16 切口 17 保持材 20 被塗敷材 30 基板 31 黏著元件 32 保持元件 33 機械臂 34 黏著劑容器 35 黏著劑露出穴部 36 外蓋 37 液面位置控制器 41 採取孔 51 凸塊 81 塗敷劑 13(修正頁） 313038 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) · I------ ---------·