TW527427B

TW527427B - Copper-alloy foil to be used for suspension member of hard-disc drive

Info

Publication number: TW527427B
Application number: TW090105909A
Authority: TW
Inventors: Yasuo Tomioka; Tetsuo Maki; Naohiko Era
Original assignee: Nippon Mining Co
Priority date: 2000-03-14
Filing date: 2001-03-13
Publication date: 2003-04-11
Also published as: SG96208A1; CN1188859C; US20020179198A1; EP1134730A2; CN1321982A; KR20010092294A; KR100415959B1; MY138128A; EP1134730A3; US6602362B2

Description

527427 A7 £7_ 五、發明説明（l ) [發明所屬之技術領域] 本發明係有關用於硬碟驅動器懸吊機構上之配線，而可做鬲速信號傳達之高強度高導電性銅合金羯。 [先前技術] 在做為電服之a己憶裝置之用之硬碟機中，為支撑用於讀取磁碟之資訊之磁頭，使用將不銹鋼（stainless steel)製之薄板加工之懸吊機構做為臂，而採磁頭裝在懸吊機構之末端。當讀取磁碟之資訊或寫入資訊時，藉由以懸吊機構之根部為軸旋轉懸吊機構，磁頭即移動至磁碟之特定位置以進行信號之交換。近年來之硬碟機中，要求提高記憶容量’信號傳達之高速化，小型化以及高可靠性。隨著，在包含懸吊機構及磁頭之系列中，更要求高精密度之配線，高度之位置精密度與高度之電導性。順便指出，現在之硬碟之軌寬為2#m，磁頭之定位之精密度為小於〇 2 Am。第1圖為硬碟驅動器懸吊機構之末端平面圖。為了在支撐硬碟機之磁頭之懸吊機構上配線，先前是使用導線。但是’在顧慮及位置精密度、結線、處理之容易度，製造成本等各方面，透過聚醯亞胺（P〇lyimide)等之樹脂了將厚度 18 # m左右之銅合金箔1之配線粘接於懸吊機構2上面之設計情形漸增。該項懸吊機構零件之製造過程如下。首先夾著聚醯亞胺製造銅合金落與通常將厚度為〇·〇2〇ιηιη左右之不銹鋼 (SUS304等）之基板壓延之三層之積層板。然後藉由蝕刻加工積層板以去除銅合金箔，不銹鋼等之基板，聚醯亞胺之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公复） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) >5口 4 527427 A7 B7 五、發明説明特定部分，而製得具有特定形狀與配線構成之懸吊機構零件。蝕件（etching)係由銅合金箔與不銹鋼基板側雙方進行。蝕刻後之零件成為去除不銹鋼基板之銅合金箔一聚醯亞胺二層積層體，去除銅合金箔之聚醯亞胺樹脂一不銹鋼二層積層體以及銅合金箱一聚醯亞胺一不銹鋼基板之三層積層體共存。鲁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用於該配線之箔所應具之性質如下。首先，透過積層板之製造工程，利用蝕刻法製造懸吊機構之工程，以及磁頭部分之組合工程，俾具有高度之強度以免發生折斷等之變形。另外，如果在製造積層板時之熱壓接時所發生之銅合金箔之熱伸縮未能與聚醯亞胺或不錄鋼等之基板之尺寸變化相符（matching)時，則在製造積層板時或後續之蝕刻加工後會發生彎曲，因此在硬碟驅動器懸吊機構之臂之尺寸之尺寸精密度發生問題。然而，在電氣•電子零件使用銅一鎳一矽系合金為習知技術。專利案第2651122號所揭、示之電氣·電子零件用之銅一鏡一碎系合金之製造方法為錄含量為4.1至10重量％，矽1.0至1.5重量％，錳少於0.2重量％，鋅少於1.0%，硫含量少於15ppm，剩下者為銅與不可避免之雜質之銅合金之製造方法，其方法係於950至1000°C下保持1分鐘以上之固溶處理（Solution treatment)後，以10°C/秒以上之冷卻速度冷卻300至600°C之溫度範圍，並以50%以上之加工率進行冷軋（cold rolling)後，在450至550°C之溫度下，進行1至30 分鐘熱處理，然後以30至80%之加工率加工後，在380至440 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 527427 A7 --~-----— _ 五、發明説明（？） ^ "" 〜 °(：之溫度下，進行5至18〇分鐘之熱處理。在該方法中，所以要進仃450至550 C之前階段熱處理與38〇至44〇。(：之後階段熱處理之2階段熱處理是因為在高溫之前階段熱處理；使其析出並發生再結晶，而在低溫之後階段熱處理中形成微細析出物以提昇強度與導電率之故。另外，在各熱處理之前進行冷加工之理由為第丨次之熱處理前之冷加工係為促進在該熱處理中之再結晶，而第2次之熱處理前進行冷加工係為加工硬化與促進該熱處理中之再結晶。另外，有敘述之特性為拉伸強度、延伸率、導電率，至於熱膨脹率與熱收縮等則無敘述。 [發明擬解決之問題] 本發明人荨針對銅合金羯、不錄鋼基材、聚醯亞胺等於加熱時如何伸縮加以研究。結果發見銅合金箔與不銹鋼之熱伸縮具有不可復原性。亦即，由於加熱、冷卻之循環 (cyele)而回到最初之溫度時，該等材料並不回復至加熱循環前之尺寸，而有收縮之情形與膨脹之情形。而且進一步研究發見銅合金之不可復原之尺寸變化與由壓延加工所引進之點陣缺陷（lattice defect)因加熱而消失之過程有關。理想上，如果用於製造声碟驅動器懸吊機構之配線構造之銅合金箔、不銹鋼基材、聚/醯亞胺等三者之熱伸縮相同時，即不致發生彎曲等。實際上，三者不相同，以層疊二層之狀態下’即使各層之形變（distortion)平衡具無—曲 ’在餘刻階段中形變之平衡會失衡而發生長度方向之幫曲。在如近年之磁頭那樣需要高度之位置精密度之硬碟驅動本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） Φ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、可丨 6 527427 五、發明説明f ，心吊機構中，一旦發生些之彎曲，則追縱（tracking)性即變差。因此，得知為了獲得高度之位置精密度，必須精密控制銅合金箔之熱伸縮與不銹鋼與聚醯亞胺相符。另外’由生產性之現點看來，懸吊機構零件之長度方向吊被‘故壓延之直角方向，因此僅控制壓延之平行方向之尺寸變化並不充分，如不同時控制壓延之直角方向之熱伸縮’則有時懸吊機構零件會發生彎曲。 [解決問題之方法] 本發明人4為達成上述目的進行銳意檢討過程中，著眼於具有高強度之銅合金，為不損及該等目的，嚴密地控 - 制硬碟懸吊機構配線構造之尺寸變化而終於完成蝕刻性良好之銅合金箔。此外，又著眼於析出硬化型之高強度銅合金之銅一鎳一矽系合金而進行研究之結果，終於得到下列之發見。本發明係有關（1)將添加元素之成分以質量比設定錄為1%至4.8%，矽為0.2%至ι·4%，鎳對矽之含量比調整為2 至8’剩下部分實質上為銅及不可避免之雜質，拉伸強度為 650MPa以上，夹雜物之大小小於1〇#m，且5至1〇#111之大小之夾雜物個數在壓延之平行剖面少於50個/mm2，且設定相同於與聚醯亞胺熱壓接時加熱條件之33(rc，2小時之加熱前後之熱伸縮率△為 Δ(%)=(1-1〇)/1〇χ 1〇〇 (但，:加熱前之試樣長度， 1 :加熱後之試樣長度）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） ------------------------裝------------------訂：...............線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 527427 A7 _— _ B7_ 五、發明説明$ ) 時，對於壓延之平行方向△為-0.1%至+0el%i硬碟驅動裔懸吊機構用之銅合金落，以及 (2)將添加元素之成分依質量比設定為鎳為1%至4.8〇/〇 ’石夕為0.2%至1.4%，鎂、鋅、錫、鐵、銻、錘、鉻、鋁、猛、銀以及鈹之一種以上之總量為0.005至2%，鎳對矽之含量比調整為2至8，剩下部分為銅及不可避免之雜質，拉伸強度為650MPa以上，夾雜物之大小小於1〇 # m，而5至 10 # m大小之夾雜物個數在壓延之平行剖面上少於5〇個 /mm2，且設定相當於與聚醯亞胺熱壓接時之加熱33〇t，2 小時之加熱前後之熱伸縮率△為 Δ (%)==(l-l〇)/l〇x 100 (但，1〇 :加熱前之試樣長度， 1 :加熱後之試樣長度）時，對於壓延之平行方向，△為-0.1%至+0.1%之硬碟驅動器懸吊機構用之銅合金箔。在上述（1)或（2)中，相當於與聚醯亞胺熱壓接時之加熱之330°C，2小時之加熱前後之熱伸縮率△加上上述壓延之平行方向之範圍，壓延之直角方向之上述熱伸縮率△宜滿足-0.02%至+0.04%。 [作用] (熱伸縮率）如上所述，銅合金箔加熱冷卻時之非回復性熱伸縮係在壓延中之母材變形時所引進之點陣缺陷因加熱而消失之過程中所導致。另一方面，銅合金箔必須具有與聚醯亞胺本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂- 527427 - A7 '____ B7 _— ’五、發明説明（6 ) ，不銹鋼等之層構成材料之熱伸縮相符之尺寸變化特性， • 藉此可以獲得更良好之懸韦機構之形狀。具體地說，在將；相當於與聚醯亞胺熱壓接時之條件之330°C，2小時之加熱前後之壓延方向之尺寸變化△設定為 Δ(%)=(1-1〇)/1〇χ 1〇〇 (但，1 :加熱前之試樣長度，礓· 1〇 :加熱後之試樣長度）時，使△對壓延之平行方向成為-0.1%至+0.1 %即可。尺寸變化△如小於-0.1 %時，銅合金箔會大大收縮，因此，冷卻後之銅合金羯會受到拉應變（tensile strain)，另一方面不錄鋼及聚醯亞胺則受到壓縮應變（compresive strain)。在該狀態下，如三層積層體之應變（strain)保持平衡即不會發生變曲。其次，如尺寸變化△大於+〇·1%，則發生與上面情形相反之應變，蝕刻後仍然發生彎曲。因此，尺寸變化 △必須控制在-0.1至+0.1%之範圍内。讀’ 由壓延而引進材料之點陣缺陷之排列具有方向性，所以尺寸變化係以壓延之平行方向與直角方向表示不同之動向。而且在壓延之直角方向時，△必須控制在_〇.02%至 +0.04%之範圍内。要獲得此種尺寸變化特性時，只要規定最終壓延之加工率，以及接著，進行調整條件之消除應力退火即可。如果最後壓延之加工率變高時，起因於尺寸變心之點陣缺陷會大量地被引進，即使接著進行消除應力退火，亦無法將尺寸變化控制於要求之範圍内。為獲得良好之尺寸變化之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐）裝------------------訂------------------線 (請先閲讀背面之注意事项再填寫本頁) 527427 A7 _____E____ 五、發明説明《）加工率為小於95%。另外要在最終壓延後進消除應力退火時，宜將退火溫度設定為200至400t，較佳為25〇至35〇。(：，退火時間為30分鐘至5小時，較佳為1至4小時。 (合金組成一鎳及矽）鎳及矽雖然藉由分別固溶於合金中以提高合金強度之作用，但藉由進行適當之時效處理，鎳與矽可以互相形成 Ni】Si組成之析出物使合金之強度顯著增加，而且顯著提高電導率。惟如鎳含量少於1%(表示組成之百分率只要不特別說明皆為質量％)或石夕含量少於〇·2%時，即使伴隨其他成分之複合添加也無法獲及企望之強度。又如鎳含量超過 4.8%或矽含量超過1.4%時，導電率顯著下降，另外又在母材中產生對k幵強度沒有貝獻之粗大鐵一梦棵粒，引起壓延後之硬損，針孔（pinhole)等以致降低生產性。因此，將鎳之含量定為1至4.8%，矽之含量定為〇·2至1.4%。另外，要更提高時效處理後之電導性，宜將合金中之鎳與矽之含有原子比率接近化學計量組成之Ni2Si之原子比率。為得到良好之電導性，鎳含量對石夕含量之比（鎳含量/矽含量）以2 乃至8為佳，4為最佳。 (合金組成一鎂、鋅、錫 '鐵、録、錯、鉻、鋁、猛、銀或鈹）此專成分皆具有改善鎳一碎系銅合金之強度之作用。又其中，鋅亦具有改善軟焊接合部之耐熱性之效果，鐵也有微細化組織之效果。另外，鎂、銻、鍅、鋁、錳也有改善熱軋性之效果。該項效果係由於該等元素與硫磺之親和本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚）

-10 - 527427 A7 ------------ -B7 _ 五、發明説明（？) 性強’與硫續形成化合物以減輕熱軋破損原因之硫磺對壞料（ingot)晶界之偏析（segregati〇n)所致。如鎂、鋅、錫、鐵、^、鍅、鉻、紹、猛、銀或皱含量不到總量之0.005%時，無法獲得上述之效果，另一方面，如總含有超過2%時，電導性即顯著下降。於是將該等之含量定為0.005至2%。 (拉伸強度）為不使箱折斷或變形，必須要有650MPa以上之拉伸強度。又拉伸強度雖然幾乎沒有方向性，惟對於壓延方向平行方向及直角方向之任何試料必須備足上面數值。 (夾雜物） 1 在本發明中之所謂「夾雜物」係包括在銅一鎳一矽系合金之鏤造時之凝固過程以後，亦即凝固後之冷卻過程，熱軋後之冷卻過程及時效退火時，在固相之矩陣中因析出反應而產生之析出物，由鑄造時之凝固過程之偏析而產生之通常粗大之結晶物以及溶解時在炼液内之反應所產生之雜質之氧化物及硫化物，藉由本合金之掃描式電子顯微鏡 (SEM)觀察在矩陣中所觀察到之棵粒。「夾雜物之大小」係指夾雜物在SEM觀察下包含該夾雜物之最小圓之直徑。所謂「夾雜物之個數」係指在蝕刻材料之壓延之平行剖面後，藉由SEM觀察到之多處位置實際上計數之每平方釐方 (mm2)之夾雜物個數。為獲得該合金之必要強度之夾雜物不大，但超過 m之粗大夾雜物不但對強度沒有幫助，尤其是粗大之夹雜物含降低蝕刻性，進而在壓延工程中成為破裂或針孔之原本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

------------------------裝----- (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 訂— :線· 11 527427 A7 _— B7 五、發明説明（9 ) 因而顯著降低生產性。為避免發生此種不良性形，如係該粗大夾雜物之大小之上限設定為1〇#m，將壓延之平行剖面之5至10 # m大小之夾雜物個數設定於少於5 〇個/mm2即可《以下，利用實施例詳細說明本發明。 [實施例] 利用高頻溶解爐熔製表丨所示之各種成分組成以鑄造厚度20mm之鑄錠（inget)。然後，將該鑄錠放在8〇〇它至95〇 C中熱軋至厚度8mm，並進行去除表面之氧化皮（scaie)2 面削後’利用冷軋製成厚度lmm之板。然後，在8〇〇艺至950 。(：之溫度下進行10分鐘之固溶處理後，進行冷軋至特定厚度俾可以調節最冷軋之加工率。然後再於4〇〇°c至6〇〇°c下進行5小時之熟化（ageing)後，以最終冷軋製成厚度 0.018mm之箔，並於150至500°C之範圍内進行一小時之消除應力退火。針對各合金箔評估其「強度」、「導電性」、「尺寸」、r 變化」及「夾雜物」。「強度」係以拉伸試驗測定其拉伸強度。「導電性」係以導電率表示。對於「熱伸縮率」係以壓延之平行方向及壓延之直角方向做為長度方向切下15〇χ 12.7mm之試樣後，以3次元座標測定裝置測定特定位置之記號間之距離，在最低300°C，最高33〇t之溫度下，加熱最短1小時，最長2小時後，再測定記號間距離，而由加熱前後之尺寸之測定值測定尺寸之變化率。測定值之誤差則納入上述溫度及時間範圍内之測定誤差内。至於「夾雜物」則將試樣做鏡面研磨後，用SEM以5000倍之倍率測定每本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -Μ _ ---------------------Φ:……——、可---------……0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 527427 A7 B7 五、發明説明（〇 ) 一平方釐米之大於5/zm大小之夾雜物數目。另外，又製作厚度0.018mm、寬450mm、長5000m之箔以評估生產性。「生產性」係以壓延工程中之斷裂發生狀況及產品階段之針孔發生狀況來評估。對於「斷裂」係以〇表示未發生斷裂，而以X表示斷裂之情形。對於「針孔」係計算每l〇〇〇m之直徑大於0.5mm之針孔發生個數。 Φ (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 527427 A7B7 1先前材料1 吟Q> ；S緣> 00 4^ U) K) ON — — to H-A o Ό 00 Os U) bo — 韌銅 K) 4^ 00 Κ) 00 00 Κ) U) to U) κ> U\ to U) U) Κ) by LTt o bo a\ to bo to s to b〇 On K) to U) to H-A to a\ — 00 rs) U) N> bo L〇 K) s to b\ bo l/l K) K) K) 佘 P 1—* 〇 ο ΟΝ Κ) Η-* Η-Α — S ο to — o p o 套〇 Lh Lh 〇 b\ o bo to 〇 o o o bo 〇 K) o o o o Lh U) o by H-* o Lh Ό 1 1 1 « 1 H-* •to 1 1 1 o — 1 着 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 p I—k Lh 1 s 1 1 1 1 ρ Η-Α 一 1 1 1 H-a — Lh o o Lh 00 o v〇 1 1 1 1 1 1 1 o b\ On 1 p 1 1 N 〇 N) 1 1 1 1 η-^ bo On 1—^ H-^ 1 O Lh o I I 1 1 〇 I ! I 1 ! o 2 1 t 1 1 1 1 1 ο 2 1 1 I 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 — S 1 1 1 1 ^Tj a> 篇 1 1 1 1 1 I o Ln 私 1 1 1 1 1 1 I 0.064 1 1 o On 1 垂 1 1 H 1 1 1 1 1 o Lh Os 窗 1 1 1 1 1 1 o bo 00 1 1 1 U) to 1 ! 1 o Lh o 1 1 N I 1 1 ο 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 — 1 1 1 1 1 1 1 p 1 1 1 1 ο L〇 U) 1 s 1 1 1 1 1 1 1 1 o be 1 1 o K) 1 〇 U) to I 1 1 > 1 1 1 1 1 1 o s 1 1 1 1 〇 S 1 1 〇 b\ K-A 1 1 1 I 1 1 1 谦 1 1 1 1 1 1 1 1 I ( 1 1 p s 1 o 1 1 0.032J 1 1 i 1 1 K 1 1 1 1 ι 言 I 1 t 1 1 1 1 o Ό 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 睡 ω ο 1 »—* U) Ν) 仁 ivo Ν) 一 U) Ν) y\ 1—a — is) Η—^ — U) bo <1 U) U) to bo U\ U) H-k LO k) b — 払 u> U) bs bo Lh k) 00 b〇 VO 00 00 00 Ό Ό N) 00 VO v〇 VO 00 〇〇 U) Lh ο ο 5; ο Ο ο U) o o O U) LT\ o 〇〇客 o o Κί o U) o U) Lh o O 〇 ο U) o U) Lh o o / 、 ^來务今(wt.%) 炸芩陶脖皆 B^i fxlhr) 20. ^i/siTrb (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂| 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 14 527427 A7 B7 五、發明説明（2 表2表不評估結果。與本發明合金比較，比較例合金j 因含鎳較低，故強度較差。比較例合金2因矽較高，所以導電率差。比較例合金3超出本發明之含量範圍且含有副成分所以導電率差。比較例合金4因消除應力退火之溫度高，所以強度差。比較例合金5因消除應力退火之溫度低，所以由於加熱所引起之尺寸變化變大。比較例2、4、5中因為夾雜物個數多，所以製造工程令發生斷裂，為針孔個數增加之例。在比較例合金6為因為最終壓延之加工率大，所以直角方向之尺寸變化變大之例。另外，比較例7為由於鎳含量超過適當範圍，所以導電率降低或夾雜物數目增加，而引起斷裂與針孔之增加之例。比較例合金8為由於矽含量少以致於強度降低之差。 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) .裝丨、tr— :線 ❶ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚） 527427 A7 B7 3 ΤΜΓ\ 明説明發五先前材料 > ^ > t 贫l ㈣ > Q) s这 00 <1 σ\ U) N) H-k s; H-* ?3 H-A — o Ό 00 <1 〇\ U\ U) to — 372 520 840 820 788 602 713 ! 814 437 810 790 790 810 803 746 810 781 744 768 799 1_____813___I 00 — 789 822 809 拉伸強度 i (N/mm2) to 00 U) 00 to U) K) LT\ U) U\ K) v〇 KJ\ — U) 導電率 (%IACS) 0.018 0.004 0.008 0.034 0.112 0.006 0.015 0.008 ! 0.010 0.020 0.013 0.005 0.002 0.022 0.028 0.045 0.014 0.002 0.002 0.016 0.002 0.008 0.007 0.009 0.018 壓延平行方向 i 熱伸縮率(％) 0.010 0.002 0.010 -0.024 0.016 0.001 0.002 0.009 ! 0.013 0.011 0.008 0.002 0.003 0.014 0.012 0.016 0.011 0.007 0.006 0.010 0.001 0.002 0.009 0.008 0.011 壓延直角方向 I — <ϊ U\ Os 00 U) o to 00 — — — — On <1 U) to to 00 00 On 夾雜物個數個/mm2 〇〇 X 〇 X X 〇 X 〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇〇斷裂之有無 1_ to U\ — 00 H-A bO — U) to U) <1 — N) On VO 00 <1 bo as U) 盒g -^ Ιϊ g Μ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂丨 # 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） 16 527427 A7 B7 五、發明說明卩 [發明之效果] 如上所述，根據本發明，即可製得強度及導電性優異 ’由加熱引起之尺寸變化少，沒有因夾雜物而降低加工精密度且適合於硬碟驅動器懸吊機構之配線之銅合金箔 [圖式之簡單說明] 第1圖為表示硬碟驅動器懸吊機構之一例之平面圖。〇元件標號對照 --------------裝：................、可------------------緣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1…銅合金箔 2···懸吊機構 3…樹脂本紙張尺度適用中國國家標準A4規格（21〇><297公釐） 17

Claims

527427 ^- η as I B8 __j公告本丨器__ 六、申請專利範圍 1· 一種硬碟驅動器懸爷機構用之銅合金箔，係將添加元素之成分依質量比設定鎳為1%至4.8%，矽為0.2%至1.4% ，鎳對矽之含量比調整為2至8，剩下部分實質上為銅及不可避免之雜質，拉伸強度為650MPa以上，夾雜物大小小於10/Z m，且5至10# m大小之夾雜物個數在壓延之平行剖面上為少於50個/mm2，另外，設定相當於與聚醯亞胺熱壓接時之加熱條件之330°C，2小時之加熱前後之熱伸縮率△為 Δ(%)=(Μ〇)/1〇χ 1〇〇 (但，1〇 :加熱前之試樣長度， 1:加熱後之試樣長度）時，對於壓延之平行方向△為_〇·1%至+〇 el〇/c)。 2· —種硬碟驅動器懸吊機構用之銅合金箔，係將添加元素之成分依質量比設定鎳為1%至4.8%、矽為〇·2%至1.4% J鎂 '鋅 '錫 '鐵 '銻、鍅、鉻、鋁、錳，銀及鈹之_ 種以上之總量為0.005至2%，鎳對石夕之含量比調整為2 至8，而剩餘部分為銅及不可避免之雜質，拉伸強度為 650MPa以上，夾雜物之大小小於i〇#m，且5至l〇#m 大小之夾雜物個數在壓延之平行剖面為小於50個/mm2 ’且設定相當於與聚醯亞胺熱壓接時之加熱之，2 小時之加熱前後之熱伸縮率△為·· Δ(%)=(Μ〇)/1〇χ 100 (但，1〇 :加熱前之試樣長度， 1 :加熱後之試樣長度）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） ..........參丨| (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· Φ 18 527427 A8 B8 C8 D8 _ 申請專利範圍時’對於壓延之平行方向之△為-0.1%至+〇·1%。 3·如申請專利範圍第1或2項之硬碟驅動器懸吊機構用之銅合金羯’其中相當於與聚醢亞胺熱壓接時之加熱之 330 C ’2小時之加熱前後之熱伸縮△加上上述範圍之值 ’在壓延之直角方向為-0.02%至+0.04%。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） ......... 裝..................?Γ------------------線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)