KR100415959B1 - 하드디스크 드라이브 서스펜션용 구리합금박 - Google Patents
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Abstract
컴퓨터의 하드디스크 드라이브 서스펜션의 위치결정 정밀도를 높이는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, Ni : 1% ∼ 4.8%, Si : 0.2% ∼ 1.4%, Si 에 대한 Ni 의 함유량비가 2 ∼ 8 이 되도록 조정하고, 잔부를 실질적으로 구리 및 불가피적인 불순물로 하고, 인장강도가 650 ㎫ 이상, 개재물의 크기가 10 ㎛ 이하이고, 또한 5 ∼ 10 ㎛ 크기의 개재물 개수가 압연평행단면에서 50 개/㎟ 이하로 하고, 또한 폴리이미드와 열압착할 때의 가열조건에 상당하는 330 ℃, 2 시간의 가열전후에서의 열신축율 (△) 을,
△(%)=(l - l0)/l0×100
l0: 가열전의 시료길이, l : 가열후의 시료길이
로 했을 때, 압연평행방향에 대하여 △ 가 -0.1% ∼ ＋0.1% 인 구리함금박.
Description
본 발명은 하드 디스크 드라이브 (Hard Disc Drive) 의 서스펜션 (Suspension) 상의 배선에 사용되어, 고속신호전달이 가능한 고강도 고도전성 구리합금박에 관한 것이다.
컴퓨터의 기록장치로서 사용되는 하드디스크 드라이브에 있어서, 자기디스크의 정보를 읽는 자기헤드를 지지하기 위해, 스텐레스강 (Stainless Steel) 제의 박판을 가공한 서스펜션이 아암으로 사용되고, 이 자기헤드는 이 서스펜션의 선단에 장착된다. 자기디스크의 정보를 읽을 때나, 정보를 입력할 때에는, 서스펜션의 근원을 축으로 서스펜션이 회전함으로써, 자기헤드 (Head) 가 자기디스크의 소정 위치까지 이동하여, 신호를 주고받는다. 근년의 하드 디스크 드라이브에는, 기억용량의 향상, 신호전달의 고속화, 소형화, 높은 신뢰성이 요구된다. 이에 따라, 서스펜션 및 자기헤드를 포함한 계(系)에는, 고밀도배선, 높은 위치정보, 높은 전기전도성이 요구된다. 그리고 현재의 하드 디스크의 트랙 (tracking) 폭은 2 ㎛ 이고, 자기헤드의 위치결정은 0.2 ㎛ 이하의 정밀도로 실시되고 있다.
도 1 은 하드디스크 드라이브 서스펜션의 선단평면도이다. 하드디스크 드라이브의 자기헤드를 지지하는 서스펜션상에 배선하기 위해, 종래에는 도선이 사용되었다. 그러나, 위치정밀도, 결선, 취급의 용이성, 제조비용 등의 관점에서, 두께 18 ㎛ 정도의 구리합금박 (1) 의 배선이 폴리이미드 (Polyimide) 등의 수지 (3) 를 통하여 서스펜션 (2) 상에 접착된 것이 사용되는 경우가 증가하여 왔다.
이와 같은 서스펜션부품이 제조되는 프로세스는 다음과 같다. 먼저, 폴리이미드를 통하여 구리합금박과, 일반적으로 두께가 0.020 ㎜ 전후의 스텐레스강 (SUS304 등) 의 기판을 열압착한 3 층의 적층시트를 제조한다. 다음에 적층시트를 에칭 (etching) 가공함으로써 구리합금박, 스텐레스강 등의 기판, 폴리이미드의 소정부분을 제거하여, 소정의 형상과 배선구조를 갖는 서스펜션부품을 얻을 수 있다. 에칭은 구리합금박측과 스텐레스강 기판측의 양방으로 실시된다. 에칭후의 부품은, 스텐레스강 기판을 제거한 구리합금박 - 폴리이미드 2층적층체, 구리합금박을 제거한 폴리이미드수지 - 스텐레스강 2층적층체 및 구리합금박 - 폴리이미드 - 스텐레스강 기판의 3층적층체가 공존하게 된다.
이 배선에 사용되는 박에 요구되는 성질은 다음과 같다.
먼저, 적층시트의 제조공정, 에칭에 의한 서스펜션의 제조공정, 또한 헤드부의 조립공정을 통하여, 꺽임 등의 변형을 일으키지 않도록, 높은 강도가 필요하게 된다. 또, 적층시트를 제조할 때의 열압착시에 발생하는 구리합금박의 열신축이, 폴리이미드나 스텐레스강 등의 기판의 치수변화와 매칭 (matching) 되지 않으면 적층시트 제조시 또는 계속되는 에칭가공후에 휨을 발생시키기 때문에 하드디스크 서스펜션기구의 아암의 치수정밀도에 지장을 초래한다.
그런데, Cu-Ni-Si 계 합금을 전기·전자부품에 사용하는 것이 공지되어 있다. 일본 특허 제 2651122 호에서 제안된 전기·전자부품용 Cu-Ni-Si 계 합금의 제조방법은, Ni:4.1∼10wt%, Si:1.0∼1.5wt%, Mn:0.2wt% 이하, Zn:1.0% 이하를 함유하고, S 함유량이 15 ppm 이하이고, 잔부가 Cu 와 불가피적인 불순물로 이루어지는 구리합금의 제조방법에 관한 것이지만, 950∼1000℃ 에 1 분 이상 유지하는 용체화처리를 한 후, 적어도 300∼600℃ 의 온도범위를 10℃/sec 이상의 냉각속도로 냉각하고, 50% 이상의 가공율로 냉간압연후, 450 ∼ 550℃ 의 온도에서, 1 ∼ 30 분 열처리를 하고, 그 후 30∼80% 의 가공율로 냉간가공후, 380∼440℃ 의 온도에서 5∼180 분 열처리를 하는 방법이다. 이 방법에서, 450∼550℃ 의 전단열처리와 380∼440℃ 의 후단열처리의 2단계 열처리를 행하는 것은, 고온의 전단열처리에서는 석출을 진행시켜, 재결정을 일으키고, 저온의 후단열처리에서는 미세석출물을 형성하여 강도 및 도전율을 향상시키기 때문이다. 또한, 각 열처리 전에 냉간가공을 하는 이유는, 1 회째의 열처리전의 냉간가공, 이 열처리에서의 재결정을 촉진하기 위해서이고, 또, 2 회째의 열처리전에 냉간가공을 하는 것은, 가공경화와 이 열처리에서의 재결정을 촉진하기 위해서이다. 또한, 기술되어 있는 특성은 인장강도, 신장, 도전율이며, 열팽창율이나 열수축 등에 대해서는 기술되어 있지 않다.
본 발명자들은, 가열에 의해, 구리합금박, 스텐레스강 기재, 폴리이미드 등이 어떻게 신축되는지를 연구하였다. 그 결과, 구리합금박과 스텐레스강의 열신축은 비가역적으로 일어나는 것을 발견하였다. 즉, 가열·냉각의 사이클에 의해 최초의 온도로 되돌아갔을 때, 이들의 재료는 가열사이클 전의 치수로는 되돌아가지 않고, 수축하는 경우와 팽창하는 경우가 있다. 그리고, 더욱 연구한 결과, 구리합금의 비가역적 치수변화는 압연가공에 의해 도입된 격자결함이 가열에 의해 소실되는 과정이 관계하고 있는 것을 규명하였다.
이상적으로는, 하드디스크 서스펜션의 배선구조를 만드는 구리합금박, 스텐레스강 기재, 폴리이미드 등의 3자가 동일하게 열신축되면, 휨 등은 발생하지 않는다. 실제로는 이들이 동일하지는 않으므로, 3층을 적층한 상태에서는 각 층의 변형이 밸런스를 취해 휨이 없어도, 에칭한 단계에서 변형의 밸런스가 붕괴되어 길이방향의 휨이 발생한다. 근년의 자기헤드와 같이 높은 위치정밀도를 필요로 하는 하드디스크 드라이브 서스펜션에서는, 약간이라도 휨이 발생하면, 트랙킹성능이 불량해졌다. 따라서, 높은 위치정밀도를 얻기 위해서는, 구리합금박의 열신축을 스텐레스강 및 폴리이미드와 매칭하도록 정밀하게 컨트롤할 필요가 있는 것을알 수 있었다.
또한, 생산성의 관점에서, 서스펜션부품의 길이방향을 압연직각방향으로 채용하는 경우가 많은 점에서, 압연평행방향만의 치수변화를 컨트롤하는 것만으로는 불충분하고, 동시에 압연직각방향의 열신축을 컨트롤하지 않으면 서스펜션부품에 휨이 발생하는 경우가 있는 것을 알 수 있었다.
도 1 은 하드디스크 서스펜션의 일례를 나타낸 평면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 구리합금박
2 : 서스펜션
3 : 수지
본 발명자들은, 상기 목적을 달성하기 위해 예의 검토를 한 과정에서, 고강도를 갖는 구리합금에 착안하여, 이들을 손상시키지 않고, 하드디스크 서스펜션 배선구조의 치수변화가 엄밀하게 제어되고, 에칭성이 양호한 구리합금박을 실현할 수 있는 것에 도달하였다. 또한, 석출강화형의 고강도 구리합금으로서 알려진 Cu-Ni-Si계 합금에 착안하여 연구를 한 결과, 이하에 나타낸 식견을 얻을 수 있었다.
본 발명은 (1) 첨가원소의 성분을, 질량비율로, Ni:1%∼4.8%, Si:0.2%∼1.4% 로 하고, Si 에 대한 Ni 의 함유량비가 2∼8 로 되도록 조정하고, 잔부를 실질적으로 구리 및 불가피적인 불순물로 하고, 인장강도가 650 ㎫ 이상, 개재물의 크기가 10 ㎛ 이하이고, 또한, 5 ∼ 10 ㎛ 크기의 개재물개수가 압연평행단면에서 50 개/㎟ 이하이고, 또한 폴리이미드와 열압착할 때의 가열조건에 상당하는 330 ℃, 2 시간의 가열전후에서의 열신축율 (△) 을,
△(%)=(l - l0)/l0×100
l0: 가열전의 시료길이, l : 가열후의 시료길이
로 했을 때, 압연평행방향에 대하여 △ 가 -0.1% ∼ ＋0.1% 인 하드디스크 드라이브 서스펜션용 구리합금박 및,
(2) 첨가원소의 성분을, 질량비율로, Ni:1%∼4.8%, Si:0.2%∼1.4%, Mg, Zn, Sn, Fe, Ti, Zr, Cr, Al, Mn, Ag 및 Be 의 1 종 이상을 총량으로 0.005 ∼ 2% 로 하고, Si 에 대한 Ni 의 함유량비가 2∼8 로 되도록 조정하고, 잔부를 구리 및 불가피적인 불순물로 하고, 인장강도가 650 ㎫ 이상, 개재물의 크기가 10㎛ 이하이고, 또한, 5 ∼ 10 ㎛ 크기의 개재물 개수가 압연평행단면에서 50 개/㎟ 이하이고, 또한 폴리이미드와 열압착할 때의 가열조건에 상당하는 330 ℃, 2 시간의 가열전후에서의 열신축율 (△) 을,
△(%)=(l - l0)/l0×100
l0: 가열전의 시료길이, l : 가열후의 시료길이
로 했을 때, 압연평행방향에 대하여 △ 가 -0.1% ∼ ＋0.1% 인 하드디스크 드라이브 서스펜션용 구리합금박에 관한 것이다.
상기 (1) 또는 (2) 에 있어서, 폴리이미드와 열압착할 때의 가열에 상당하는 330℃, 2 시간의 가열전후에서의 열신축율 (△) 은, 상기한 압연평행방향의 범위에 추가로, 압연직각방향의 상기 열신축율 (△) 이 -0.02%∼＋0.04% 를 만족하는 것이 바람직하다.
(작용)
(열신축율)
상술과 같이, 구리합금박 가열냉각시의 비가역적 열신축은 압연중의 모재의 변형시에 도입된 격자결함이, 가열에 의해 소실되는 과정에서 일어나게 된다. 한편, 폴리이미드, 스텐레스강 등의 층구성재료의 열신축과 매칭하는 치수변화특성을 구리합금박이 가질 필요가 있고, 이로써 더욱 양호한 서스펜션 형상이 얻어진다. 구체적으로는, 폴리이미드와 열압착할 때의 조건에 상당하는 330℃, 2h 의 가열전후에서의 압연방향의 치수변화 (△) 를
△(%)=(l - l0)/l0×100
l0: 가열전의 시료길이, l : 가열후의 시료길이
로 했을 때, 압연평행방향에 대하여 △ 가 -0.1% ∼ ＋0.1% 로 하면 된다. 치수변화 (△) 가 -0.1% 미만이면, 구리합금박이 크게 수축되기 때문에, 냉각후의 구리합금박은 인장변형을 받고, 한편 스텐레스강 및 폴리이미드는 압축변형을 받는다. 이 상태에서 3층 적층체의 변형이 밸런스를 취하고 있으면 휨은 발생하지 않는다. 그러나, 상기의 에칭에 의해 어느 하나의 층이 제거되면, 휨이 발생한다. 다음에, 치수변화 (△) 가 ＋0.1% 보다 커지면, 상기 경우와는 반대의 변형이 발생하고, 역시 에칭후에 휨이 발생한다. 따라서, 치수변화(△) 는 -0.1% ∼ ＋0.1% 의 범위로 컨트롤할 필요가 있다.
압연에 의해 재료에 도입되는 격자결함의 배열에 방향성이 있기 때문에, 치수변화는 압연평행방향과 직각방향에서 다른 거동을 나타낸다. 또한, 압연직각방향에서 △ 를 -0.02% ∼ ＋0.04% 의 범위로 컨트롤할 필요가 있다.
이와 같은 치수변화율 특성을 얻기 위해서는, 최종압연의 가공도를 규정하고, 그리고 그 후, 조건을 조정한 변형제거소둔을 실시하면 된다. 최종압연의 가공도가 높아지면, 치수변화의 원인이 되는 격자결함이 대량으로 도입되고, 그 후 변형제거소둔을 하여도 치수변화를 요구되는 범위에 제어할 수 없다. 양호한 치수변화를 얻기 위한 가공도는 95% 이하이다. 또한, 최종압연후에 행하는 변형제거소둔에 있어서는, 소둔온도를 200∼400℃, 바람직하게는 250∼350℃, 소둔시간을 30분∼5시간, 바람직하게는 1∼4시간으로 하면 된다.
(합금조성-Ni 및 Si)
Ni 및 Si 는, 각각 합금중에 고용함으로써 합금의 강도를 높이는 작용도 있지만, 적당한 시효처리를 행함으로써, Ni 와 Si 가 상호 Ni2Si 조성의 석출물을 형성하고, 합금의 강도를 현저하게 증가시킴과 동시에 전기전도도도 현저하게 높인다. 다만, Ni 함유량이 1% (조성을 나타내는 백분율은 특별히 기입하지 않는 한 질량% 임) 미만 또는 Si 함유량이 0.2% 미만인 경우에는, 다른 성분의 복합첨가를 수반하여도 원하는 강도를 얻을 수 없다. 또, Ni 함유량이 4.8% 를 초과하거나 또는 Si 함유량이 1.4% 를 초과하는 경우에는 도전율의 저하가 현저하고, 또한 강도의 향상에 기여하지 않는 조대한 Ni-Si 입자가 모재중에 생성되어, 압연후의 파단, 핀홀발생 등에 의해 생산성의 저하를 초래하게 된다. 따라서, Ni 의 함유량을 1∼4.8%, Si 의 함유량을 0.2∼1.4% 로 정하였다. 또한, 시효처리후의 전기도전성을 보다 높이기 위해서는, 합금중의 Ni 와 Si 의 함유원자비율을 화학양론조성의 Ni2Si 의 원자비율에 접근시키는 것이 바람직하다. 양호한 전기도전성을 얻기 위한 Si 함유량에 대한 Ni 함유량의 비 (Ni 힘유량/Si 함유량) 은 2 내지 8 이 좋고, 4 가 가장 바람직하다.
(합금조성 - Mg, Zn, Sn, Fe, Ti, Zr. Cr, Al, Mn, Ag 또는 Be)
이들의 성분은 모두, Ni-Si계 구리합금의 강도를 개선하는 작용이 있다. 또 이들 중에서, Zn 에는 땜납접합부의 내열성을 개선하는 효과도 있고, Fe 에는 조직을 미세화하는 효과도 있다. 또한, Mg, Ti, Zr, Al, Mn 은, 열간압연성을 개선하는 효과도 갖는다. 이 효과는, 이들의 원소가 황과의 친화성이 강하기 때문에, 황과 화합물을 형성하여, 열간압연파괴의 원인이 되는 잉곳입계로의 황의 편석을 경감하기 위한 것이다. Mg, Zn, Sn, Fe, Ti, Zr, Cr, Al, Mn, Ag 또는 Be 의 함유량이 총량으로 0.005% 미만이면 상기 효과는 얻을 수 없고, 한편 총함유량이 2% 를 초과하면 전기도전성이 현저하게 저하된다. 따라서 이들의 함유량을 0.005 ∼ 2% 로 정한다.
(인장강도)
박의 꺽임이나 변형이 발생하지 않도록 650 ㎫ 이상의 인장강도가 필요하다. 또, 인장강도는 방향성은 거의 없지만, 압연방향에 대하여 평행방향 및 직각방향의 어느 시험편에 대해서도 상기 값을 만족할 필요가 있다.
(개재물)
본 발명에 있어서의 「개재물」이란, Cu-Ni-Si계 합금에서의 주조시의 응고과정이후, 즉 응고후의 냉각과정, 열간압연후의 냉각과정 및 시효소둔시에 고상(固相)의 매트릭스중에 석출반응에서 발생하는 석출물, 주조시의 응고과정에서 편석에 의해 발생하여 일반적으로 조대한 정(晶)출물 및 용해시의 용탕내에서의 반응에 의해 발생하는 불순물인 산화물, 황화물 등, 본 합금의 SEM 관찰에 의해 매트릭스중에 관찰되는 입자를 포괄하는 것으로 사용한다. 「개재물의 크기」는 개재물을 SEM 관찰하에서의 그 개재물을 함유하는 최소원의 직경을 말한다. 「개재물의 개수」란, 재료의 압연평행단면을 에칭후 SEM 관찰에 의해, 다수개소에 있어서 실제로 수를 센 단위평방 ㎜ 당의 개재물개수이다.
이 합금에 필요한 강도를 얻기 위한 개재물은 작지만, 10 ㎛ 를 초과하는 조대한 개재물은 강도에 기여하지 않을 뿐만 아니라, 특히 조대한 개재물은 에칭성을 저하시키고, 또한 압연공정에서 파단이나 핀홀의 원인으로 되어, 생산성을 현저하게 저하시킨다. 이와 같은 문제점을 일으키지 않기 위해서는, 이 조대한 개재물의 크기의 상한을 10 ㎛ 로 하고, 압연평행단면에서의 5 ∼ 10 ㎛ 의 크기의 개재물개수를 50개/㎟ 미만으로 하면 된다. 이하, 실시예에 의해 본 발명을 상세하게 설명한다,
(실시예)
고주파용해로에서 표 1 에 나타낸 각종 성분조성의 구리합금을 용제하고, 두께가 20 ㎜ 의 잉곳을 주조하였다. 다음에 이 잉곳을 800℃∼950℃ 에서 두께 8 ㎜ 까지 열간압연을 행하여, 표면의 스케일을 제거하기 위한 면삭을 실시한 후, 냉간압연에 의해 두께 1 ㎜ 의 판으로 하였다. 그 후, 800℃ ∼ 950℃ 의 온도에서 10분간 용체화처리를 한 후, 최종냉간압연의 가공도를 조절할 수 있도록 소정두께까지 냉간압연하였다. 그리고 또한, 400℃ ∼ 600℃ 에서 5 시간 시효를 행한 후, 최종냉간압연에서 두께 0.018 ㎜ 의 박으로 하고, 150∼500℃ 의 범위에서 1 시간의 변형제거소둔을 행하였다.
각 합금박에 대하여 「강도」, 「도전성」, 「치수변화」, 「개재물」을 평가하였다. 「강도」는 인장시험으로 인장강도를 측정하였다. 「도전성」은 도전율에 의해 나타냈다. 「열신축율」에 대해서는, 압연평행방향 및 압연직각방향을 길이방향으로 150×12.7㎜ 의 시료를 잘라낸 후, 소정 위치의 마킹 (marking) 간의 거리를 3차원 좌표측정장치를 사용하여 측정하고, 최저 300℃, 최고 330℃ 의 온도에서 최단으로 1 시간, 최장으로 2 시간 가열한 후 다시 마킹간 거리를 측정하고, 가열전후의 치수의 측정치로부터 치수의 변화율을 측정하였다. 측정치의 편차는 상기 온도 및 시간범위내에서는 측정오차내에 수납되었다. 「개재물」에 대해서는, 시료의 표면을 경면연마한 후, SEM 으로 5000배의 배율로, 1평방 ㎜ 당의 5 ㎛ 이상의 크기의 개재물수를 측정하였다.
또한 두께 0.018 ㎜, 폭 450 ㎜, 길이 5000 m 의 박을 제작하여, 생산성의 평가를 하였다. 「생산성」은 압연공정중의 파단발생상황 및 제품단계에서의 핀홀발생상황으로 평가하였다. 「파단」에 대해서는, 파단이 발생하지 않은 것을 ○, 파단한 경우를 ×로 하였다. 「핀홀」에 대해서는 1000 m 당의 직경 0.5 ㎜ 이상의 핀홀발생개수를 계측하였다.
표 1
본 발명 합금 및 비교예
표 2 에 평가결과를 나타낸다. 본 발명 합금과 비교하면 비교합금 1 은 Ni 가 낮기 때문에 강도가 떨어진다. 비교합금 2 는 Si 가 높기 때문에 도전율이 떨어진다. 비교합금 3 은 본 발명의 함유량 범위를 초과하여 부성분을 함유하기 때문에 도전율이 떨어진다. 비교합금 4 는 변형제거소둔온도가 높기 때문에 강도가 떨어지고, 비교합금 5 는 변형제거소둔온도가 낮기 때문에, 가열에 의한 치수변화가 커졌다. 비교예 2, 4, 5 에서는 개재물개수가 많기 때문에 제조공정중에서 파단이 발생하고, 핀홀의 개수가 증가한 예이다.
비교합금 6 에서는, 최종압연의 가공도가 크기 때문에 직각방향의 치수변화가 커진 예이다. 또 비교예 7 은 Ni 함유량이 적정범위를 초과하고 있기 때문에 도전율이 저하되거나 개재물수가 증가하여 파단, 핀홀의 증가를 일으킨 예이다. 비교합금 8 은 Si 함유량이 적기 때문에 강도가 저하된 예이다.
표 2
본 발명 합금 및 비교예의 특성평가 결과
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 종래에 비하여, 강도, 도전성이우수하고, 가열에 의한 치수변화가 적고, 개재물에 의한 가공정밀도의 저하가 없는, 하드디스크 드라이브 서스펜션의 배선에 적합한 구리합금박을 얻을 수 있다.
Claims (3)
- 첨가원소의 성분을, 질량비율로, Ni:1%∼4.8%, Si:0.2%∼1.4% 로 하고, Si 에 대한 Ni 의 함유량비가 2∼8 로 되도록 조정하고, 잔부를 실질적으로 구리 및 불가피적인 불순물로 하고, 인장강도가 650 ㎫ 이상, 개재물의 크기가 10 ㎛ 이하이고, 또한, 5 ∼ 10 ㎛ 크기의 개재물개수가 압연평행단면에서 50 개/㎟ 이하이고, 또한 폴리이미드와 열압착할 때의 가열조건에 상당하는 330 ℃, 2 시간의 가열전후에서의 열신축율 (△) 을,△(%)=(l - l0)/l0×100l0: 가열전의 시료길이, l : 가열후의 시료길이로 했을 때, 압연평행방향에 대하여 △ 가 -0.1% ∼ ＋0.1% 인 하드디스크 드라이브 서스펜션용 구리합금박.
- 첨가원소의 성분을, 질량비율로, Ni:1%∼4.8%, Si:0.2%∼1.4%, Mg, Zn, Sn, Fe, Ti, Zr, Cr, Al, Mn, Ag 및 Be 의 1 종 이상을 총량으로 0.005 ∼ 2% 로 하고, Si 에 대한 Ni 의 함유량비가 2∼8 로 되도록 조정하고, 잔부를 구리 및 불가피적인 불순물로 하고, 인장강도가 650 ㎫ 이상, 개재물의 크기가 10㎛ 이하이고, 또한, 5 ∼ 10 ㎛ 크기의 개재물 개수가 압연평행단면에서 50 개/㎟ 이하이고, 또한 폴리이미드와 열압착할 때의 가열조건에 상당하는 330 ℃, 2 시간의 가열전후에서의 열신축율 (△) 을,△(%)=(l - l0)/l0×100l0: 가열전의 시료길이, l : 가열후의 시료길이로 했을 때, 압연평행방향에 대하여 △ 가 -0.1% ∼ ＋0.1% 인 하드디스크 드라이브 서스펜션용 구리합금박.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 폴리이미드와 열압착할 때의 가열에 상당하는 330℃, 2 시간의 가열전후에서의 열신축율 (△) 이, 상기 범위의 값에 추가로, 압연직각방향에서 -0.02%∼＋0.04% 인 하드디스크 드라이브 서스펜션용 구리합금박.
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