TW526387B - Positive type resist composition - Google Patents

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Hiroshi Moriuma
Yoshiyuki Takata
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Sumitomo Chemical Co
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526387 A7 _____ B7 五、發明說明（1 ) 發明背景 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種正性類型阻劑組成物其係敏感於輻 射線如紫外線及深紫外線，其中包括激發雷射、電子束、 離子束及X-射線，且適於用在產生半導體積體電路。 使用阻劑組成物的平版印刷方法通常已被接受用在半 導體積體電路細微加工之中。在此阻劑組成物之中，正性 工作型態係廣汎的使用，此係因爲其一般有優越的解析度 °此正性阻劑一般包含鹼可溶解的成分及輻射線敏感性成 分。尤其是，酚醛淸漆一醌重氮基類型阻劑係已知的其含 有酚醛淸漆樹脂作爲鹼可溶解的成分及醌重氮基化合物作 爲輻射線敏感性成分，且利用經由輻射線之作用降解醌重 氮基化合物以產生羧基基團，其可將化合物由鹼不溶的改 變爲鹼可溶解的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 近年來，依據較高整合水準的需求，已變得須要積體 電路其具有在次微米水準的較細微電路及圖樣形成。結果 ，已變得有需要具有較高解析度的正型阻劑組成物。爲滿 足此需求，所謂的化學的放大類型阻劑，其利用化學的酸 產生劑放大作用，亦已用於某些領域。然而，仍持續的須 要酚醛淸漆-醌重氮基阻劑。 經由增強輻射線敏感性醌重氮基化合物用量，可改進 酚醛淸漆-醌重氮基類型正性阻劑之解析能力。然而，有 其限制，因爲阻劑之光吸收變得如此大而使得外形惡化且 不可得到長方形圖樣形狀，當醌重氮基化合物用量爲太多 。JP - A - 61 - 141441揭示一種增進敏感性、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4 - 526387 A7 B7 五、發明說明（2 ) 耐熱性及其它者，其係由在2 4 —三羥 1 ，2 -萘并醌重氮基磺酸酯類之外加入未酯 ，4 -三羥基苯甲酮，其係輻射線敏感性成分。 JP-A-l-289947> JP-A-2 、JP — A3 - 191351及其它者揭示一 基苯甲酮的 化的2，3 此外， ~ 2 5 6 0 性、解析度及其它者，其係由在鹼可溶 敏感性成分之外加入各種聚氫酚化合物。 本發明目的一在進一步的改良其中 脂及輻射線敏感性成分的正性阻劑之解 劑性能退化。由結果硏究顯示，本案發 種增進敏感 解的樹脂及輻射線 內含驗 析度而 明人已 加入特定化合物，可進一步的改進一種含有鹼 脂及輻射線敏感性成分正型阻劑組成物的解析 完成本發明。 可溶解的樹 未使其它阻 發現，經由 可溶解的樹 度。因此已 本發明槪要 本發明提供一種正型阻劑組成物，其中包含驗可溶解 的樹脂、輻射線敏感性成分及由下式（I )代表之經苯基 酮化合物： --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (〇H)
(I) 其中R1、、R3、114及1^5係獨立代表氫、烷基 或烷氧基且η代表1至3之整數。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5- 526387 Α7 Β7 五、發明說明（3) 本發明較佳的具體之實施例 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在式（I )中，R ’ 、R 2、R 3、R 4及R 5爲相互間 相同或不同的，且分別地爲氫、烷基或烷氧基。此烷基一 般可帶有約1至5個碳原子；烷氧基一般可帶有約1至3 碳原子且較佳者爲甲氧基或乙氧基；η，代表在苯環上羥 基基團之數目，可爲1至3。此外，宜使RhR2及R3 中二種爲氫。餘下的一個適當地爲氫或院基。較佳者位在 苯環上的R 4及R 5分別地爲氫。 由式（I )代表之羥苯基酮化合物其特定之實施例包 括以下化合物： A : 2/ —羥基乙醯苯酮， B:3>-羥基乙醯苯酮， C: 4：/ —羥基乙醯苯酮， D: -羥基苯丙酮， E : 3 ' -羥基苯丙酮， F : 4 / -羥基苯丙酮， G:2>，4 — —二羥基乙醯苯酮， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 H:2>，5>-二羥基乙醯苯酮， I -二羥基乙醯苯酮， :3> ，4，一二羥基乙醯苯酮， K:3，，5，一二羥基乙醯苯酮， L : ，5，—三羥基乙醯苯酮， Μ : 4 > —經基—3 —甲基乙醯苯酮， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6- 526387 Α7 Β7 五、發明說明（4 ) N : 2 羥基一 5 — -甲基乙醯苯酮，及其類似者 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中’當在式（I)中代表苯環上羥基基團之數目的 η爲1 ’較佳者爲其中此羥基基團位於3 一或4 一位置（ 其係相對於羰基）之化合物，如3 丫 -羥基乙醯苯酮、 4 > 一羥基乙醯苯酮及4 / 一羥基苯丙酮。當η.2或3 ’較佳者爲其中一羥基基團位於2 -位置的化合物，如 2 — ’ 4 / —二羥基乙醯苯酮、2 — ，5 / —二羥基乙醯 苯酮、2 — ，6 — -二羥基乙醯苯酮及2 — ，3, ，5^ 三羥基乙醯苯酮。 本發明正型阻劑組成物包含鹼可溶解的樹脂及輻射線 每文感性成分。那些通常用於此技術領域者可使用作爲鹼可 溶解的樹脂或輻射線敏感性成分。作爲此鹼可溶解的樹脂 之實施例，可提及聚乙烯基酚、酚醛淸漆樹脂、及其類似 者。其中’酚醛淸漆樹脂爲較佳的。酚醛淸漆樹脂通常可 得自於酸催化劑存在下縮合酚化合物與醛。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 用於製備酚醛淸漆樹脂的酚化合物之實施例包括酚、 鄰一甲酚、間一甲酚、對一甲酉分，2 ，3 —二甲苯醇、2 ，5 —二甲苯醇、3 ，4 一二甲苯醇、3 ，5 —二甲苯醇 、2 ’ 3 ’ 5 —三甲基酚、2 -第三丁基酚、3第三丁基 酚、.4 一第三丁基酚、2 —第三丁基—4 一甲基酚、2 -第三丁基一 5 —甲基酚、2 —甲基間苯二酚、4 一甲基間 苯二酚、5 —甲基間苯二酚、2 —甲氧基酚、3 —甲氧基 酚、4 —甲氧基酚、2 ，3 —二甲氧基苯、2 ，5 —二甲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 526387 A7 B7 五、發明說明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 氧基酚、3 ，5 —二甲氧基酚、2 —甲氧基間苯二酚、2 一乙基酚、3 —乙基酚、4 一乙基酚、2 ，5 —二乙基酣 、3 ，5 —二乙基酚、2，3 ，5 —三乙基酚及聚羥基三 苯基甲烷化合物，其可得自縮合二甲苯醇及羥基苯甲醛。 此類酚化合物可單獨使用或合倂二種或更多種使用。 用於製備酚醛淸漆樹脂的醛之實施例包括脂肪族的醒 如甲醛、乙醛、丙醛、正丁基醛、異丁基醛及叔戊醛；脂 肪族環的醛如環己烷醛、環戊烷醛及糠醛；芳香族醛如苯 甲醛、鄰一羥基苯甲醛、間一羥基苯甲醛、對一羥基苯甲 醛、鄰一對甲氧苯甲醛、間一大茴香醛及對-大茴香醛； 及芳香族-脂肪族的醛如苯基乙醛。此類醛可單獨使用或 合倂二種或更多種使用。在此類醛之中，宜使用甲醛，因 爲其在工業上之易獲得性。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用於酚化合物與醛化合物之縮合的酸催化劑之實施 例包括無機酸如氯化氫酸、硫酸、過氯酸及磷酸；有機酸 如甲酸、乙酸、草酸、三氯乙酸及對一甲苯磺酸酸；及二 價金屬鹽類如乙酸鋅、氯化鋅及乙酸鎂。此類酸觸媒可單 獨使用或合倂二種或更多種使用。此縮合反應可依據一般 方法執行，例如，在溫度6 0至1 2 0 °C範圍之中執行2 至3 0小時。 ，較佳者在經由縮合反應得到的酚醛淸漆樹脂中較低分 子量分層之含量被降低，例如，經由分層作用。尤其是， 宜使對應於分子量在1 ，〇 〇 〇或更低者之聚合物的樹脂 之圖樣面積在2 5 %或更低，更佳者2 0 %或更低，佔總 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -8- 526387 A7 B7 五、發明說明（6) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖樣面積（除了未反應的作爲生料的酚化合物之區域）。 t此圖樣面積意指經由帶有2 5 4 n m U V偵測器的 G P C測量的區域。分子量在此意指使用聚苯乙烯作爲標 '準所得到之値。爲執行分層作用，可採用的方法包括：一 種方法其中將酚醛淸漆樹脂溶於良好的溶劑，且然後將溶 液倒至水中以沈澱較高分子量的分層；以及一種方法其中 將該溶液混合以不良溶劑如戊烷、己烷或庚烷，且將其中 主要內含較高分子量的較低分層分離出。良好的溶劑之實 施例包括醇類如甲醇及乙醇，酮如丙酮、甲基乙基酮及甲 基異丁基酮，乙二醇醚類如乙基賽璐蘇，乙二醇醚酯類如 乙基賽璐蘇乙酸酯，醚類如四氫呋喃，或其它者。 一般用作輻射線敏感性成分爲醌重氮基化合物，如具 有酚類羥基基團化合物的鄰-醌重氮基磺酸酯類。較佳者 使用1，2 -萘并醌重氮基一 5 -或4 一磺酸酯類，或具 有至少三個酣類羥基基團的聚羥基化合物之1 ，2 -苯并 醌重氮基- 4磺酸酯類。此類輻射線敏感性醌重氮基化合 物可單獨使用或合倂二種或更多種使用種使用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具有酚類羥基基團以便使用醌疊氮化物磺酸作酯化的 化合物之實施例包括三-、四或五-羥基苯甲酮；及多-核酸淸漆化合物如二-核’四-核，五-核或六-核化 合物.，其中複數的酚核可視需要地經取代以烷基，尤其是 酚核、甲酚核、二甲苯醇核或其類似者，係結合以任何所 欲求之程度而加入亞甲基。 一種鄰-醌重氮基磺酸酯類可得自經由將如上述之具 10 S (CNS)A4 ^ (210 X 297 }冬 526387 A7 B7 五、發明說明（7) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 有酚類羥基基團的化合物經反應以鄰-醌重氮基磺醯基鹵 化物，在鹼存在下如三乙胺，且在適當的溶劑之中。於完 成反應之後，可經由適當的後處理分離出所欲求之醌重氮 基磺酸酯類。該後處理包括，例如一種方法其中將反應物 質混合以水而沈澱出所欲求之化合物，經過濾並作乾燥以 生成粉末形式之產物；以及一種方法其中反應物質係處理 以阻劑溶劑如2 -庚酮，用水淸洗，相分離，經由蒸餾或 平衡快速蒸餾而脫去溶劑，以生成在阻劑溶劑及其它者之 中的溶液形式之產物。平衡快速蒸餾在此意指一種連續蒸 餾而其執行係經由揮發部分的液體混合物，將所製作的蒸 汽相充分地接觸液相，且當達成平衡時可分離蒸汽及液相 。此方法適於濃度在加熱敏感性物質，因爲揮發功效非常 良好，此揮發發生在短時間之內且快速達成介於蒸汽與液 相之間的平衡。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明中，除上述之此鹼可溶解的樹脂及輻射線敏感 性成分之外，包括由式（I )代表之羥苯基酮化合物以作 爲較低分子量鹼可溶解的成分。尤其是’經由使用酚醒淸 漆樹脂其可作高效應運用，此樹脂中較低分子量的分層如 上述降低作爲鹼可溶解的樹脂，且加入如本發明中定義之 羥苯基酮化合物。此外，除本發明中定義之羥苯基酮化合 物之外，其係有效的可共使用鹼可溶解的酚化合物而其分 子量在1 ’ 〇 〇 〇或更低。此作共使用的具有較低分子量 的鹼可溶解的酚化合物’宜爲一化合物其在分子結構中具 有至少二種酚類羥基基團，且此外，其具有至少二種苯環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） 526387 A7 B7 五、發明說明（8) --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其在分子結構中具有羥基基團。此外，其係一般適當的’ 在此將作共使用的鹼可溶解的具有較低的分子量的酚化合 物不帶有羰基基團。特定的實施例包括揭示於J P - A -1 - 2 8 9 9 4 7，JP-A-2-2560 ’ JP - A - 2 - 275995，JP — A - 3 — 191351 及 JP — A— 5 — 232697 之化合物。 --線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在本發明阻劑組成物中，輻射線敏感性成分之一般用 量在約1 0至1 0 0重量份，基於1 0 0重量份的此鹼可 溶解的成份之總重，其包括本發明的鹼可溶解的樹脂、羥 苯基酮化合物及若有使用的其它較低分子量的鹼可溶解的 酚化合物，雖然此使用量取決於阻劑類型而變化。輻射線 敏感性成分較佳的含量在約1 0至5 0重量份，基於 1 0 0重量份的如上述之鹼可溶解的成份。此外，宜使內 含的羥苯基酮式（I )化合物在3至4 0%重量比，基於 上述鹼可溶解的成份的總量。此外，當使用除了式（I ) 之外的較低分子量的酚化合物，宜使式（I )羥苯基酮化 合物與除了其本身以外的較低分子量的酚化合物（其係較 低分子量的鹼可溶解的成份）的總量，在3至4 0 %重量 比範圍之中，基於此鹼可溶解的成份的總量。 本發明正型阻劑組成物包含此鹼可溶解的樹脂、輻射 線敏感性成分，且其中包括如上述式（I )羥苯基酮化合 物的低分子量鹼可溶解的成分。此外，本發明正型阻劑組 成物可包含此鹼可溶解的樹脂以外的樹脂，如須要，與少 量之各種慣常用於此技術領域的添加劑，如染料及界面活 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） 526387 A7 B7 五、發明說明（9) 性劑。進一步的，其亦有效的包含可由鹼分解的化合物’ 如酸產生劑，提出於JP — A — 10 — 213905 ’其 經由鹼-顯影溶液之作用而產生酸。加入此鹼-可分解的 化合物可貢獻圖樣外形之改良。 本發明正型阻劑組成物係以阻劑溶液的形式，施用在 基底如矽晶圓上，此阻劑溶液之製備可經由將上述之成分 溶解在一溶劑之中。任何溶劑其可溶解此成分，有適當的 乾燥速率且於溶劑揮發之後可造成均勻且光滑塗層膜者’ 均可使用於此阻劑溶液。此溶劑可爲慣常用於此技術領域 者。此溶劑之實施例包括乙二醇醚酯類如乙基賽璐蘇乙酸 酯、甲基賽璐蘇乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯及丙二醇 單乙醚乙酸酯；乙二醇醚類如乙基賽璐蘇、甲基賽璐蘇、 丙二醇單甲基醚及丙二醇單乙醚·，酯類如乳酸乙酯、乙酸 丁酯、乙酸戊酯及丙酮酸乙酯；酮類如丙酮、甲基異丁基 酮、2 -庚酮及環己酮；及環酯類如τ 一丁內酯。此類溶 劑可單獨使甩或合倂二種或更多種使用。 經由將阻劑溶液施用在基底上並作乾燥而形成阻劑膜 ，經以輻射線照射而作圖樣化。然後，於執行後曝光烘烤 之後，若須要，使用鹼顯影劑將此經照射後之阻劑膜顯影 。使用在此的鹼顯影劑可爲各種已知於此發明技術領域的 水溶性鹼溶液。廣汎使用的顯影劑一般包括四甲基銨氫氧 化物之水溶液及（2 -羥乙基）三甲基銨氫氧化物（一般 稱爲膽驗）之水溶液。 本發明將參照實施例而更明確地作敘述，其不應解釋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 526387 A7 B7 五、發明說明（i〇) 爲本發明範圍上的限制。在實施例中，代表含量或用量之 百分比’部分及比例係採用重量基礎，除非另有說明。經 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由G P C測量的重量平均分子量値係以聚苯乙烯作爲標準 〇 參考例1 (製備酚醛淸漆樹脂） 在一裝有回流管、攪拌器及溫度計之反應容器中，注 入4 7 9 · 7部分的混合的間一 /對一甲酚而其中包含 6 1 · 6 %的間一甲酚、1 1 5 · 1部分的對一甲.酚、 268 · 75部分的2，5 —二甲苯醇、39 · 3部分的 草酸二水合物，2 6 1 · 8份的9 0 %水溶性乙酸溶液及 8 0 3 · 1部分的甲基異丁基酮，且將此混合物加熱至 8 0 °C。於3 0分鐘內，在此混合物中逐滴加入 4 6 3 · 2部分的3 7 %福馬林。將此混合物加熱至高達 9 2 °C且允許在此溫度保持回流而反應1 3小時。於反應 結束之後，加入4 8 6 · 2部分的甲基異丁基酮且以 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 8 2 3 · 2部分的水淸洗此混合物，接著作相分離。重 覆此操作6次。之後，將此油相濃縮以生成酚醛淸漆樹脂 在甲基異丁基酮中之溶液。此樹脂之重量平均分子量在約 4，4 0 0。以甲基異丁基酮將此溶液稀釋爲濃度在2 0 %。，在4 0 0份的此2 0 %溶液中加入5 4 5 ，2部分的 正-庚烷，且附以攪拌。在6 0 °C進一步的攪拌混合物 3 0分鐘，靜置且作相分離。然後’取7 6 · 3部分的低 層而以4 0 0份的2 -庚酮稀釋’且作濃縮以生成2 —庚 -13- 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） 526387 A7 __ B7 _ 五、發明說明（1]) 酮溶液其中內含3 8 · 2 %的酚醛淸漆。此酚醛淸漆樹脂 稱爲樹脂R 1 。此樹脂之重量平均分子量在約7，2 0 0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，且在GPC圖形中，對應於分子量1 ，〇〇〇或更低者 其面積比例在約2 0 %。 參考例2 (製備另一酚醛淸漆樹脂） 在一裝有回流管、攪拌器及溫度計之反應容器中注入 7 0 2 · 1部分的混合的間—/對一甲酚其中包含 6 1 · 6 %的間—甲酉分與3 7 9 · 2部分的對—甲.酣、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 5 . 5部分的草酸二水合物、3 3 7 · 9部分的9 0 % 水溶性乙酸溶液、1 0 0 8份的甲基異丁基酮及1 2 3部 分的水，且將混合物加熱至8 0 °C。於1小時內在此混合 物中逐滴加入4 9 2 · 9部分的3 7 %福馬林。將此混合 物加熱且在保持回流下允許在此溫度反應1 2小時。於反 應結束之後，以甲基異丁基酮稀釋混合物，然後用水淸洗 且乾燥以得到甲基異丁基酮溶液，其中內含4 0 . 1 %的 酚醛淸漆樹脂。在一底部裝有滴液龍頭之燒瓶之中，注入 2 0 0份的酚醛淸漆樹脂溶液，且以3 3 5部分的甲基異 丁基酮作稀釋。於其中加入4 1 2部分的正-庚烷。在 6 0 °C將此混合物進一步的攪拌且使其靜置，接著作相分 離。.然後，取下層酚醛淸漆樹脂溶液，以2 -庚酮稀釋且 作濃縮以生成2 -庚酮溶液，其中內含3 6 · 0 %的酚醛 淸漆。此酚醛淸漆樹脂稱爲樹脂R 2。此樹脂之重量平均 分子量在約9 ，800，且在GPC圖形中，對應於分子 -1ZL- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 526387 A7 B7 五、發明說明（12) 量1，0 0 0或更低者其面積比例在約4 %。 在實施例及比較例中阻劑組成物之製備及評估如下。 以下列出通常用於以下實施例及比較例的樹脂、輻射線敏 感性成分及較低分子量的鹼可溶解的成分，。 樹脂：一種混合物其固體含量比爲8 5 / 1 5的得自 參考例1及2的相應的2 -庚酮之溶液樹脂R 1與樹脂 R 2。 輻射線敏感性成分： p A c 1 ’ 一種光敏劑，一種下列縮合反應之中的 其具有由下式代 縮合產物’其中4，一亞甲基雙〔2 —（2 —羥基一 5 —甲爷基）—3 ，6 —二甲基酣與1 ，2 —萘并Ϊ昆重氮 基一 5 —磺酸氯化物之莫耳比在1 : 2 表之結構：
0H CH' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) P A C 2，一種光敏劑：一種縮合反應之中的縮合 產物，其中2 ，3 ，4 一三羥基苯甲酮與1 ，2 —萘并醌 重氮，基—5 -磺酸氯化物之莫耳比在1 : 2。 較低分子量的鹼可溶解的成份（符號中除了 X之外， 均相同於那些上列所用者）： 3/ —羥基乙醯苯酮， 用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 526387 A7 _B7_ 五、發明說明（13) C: 4/ 一羥基乙醯苯酮， F:4>—羥基苯丙酮， a ，9 / a — 二苯并哌喃1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) G: 2/，一二羥基乙醯苯酮， Η ·· 2 / ，5 / —二羥基乙醯苯酮， 1:2/，6>-二羥基乙醯苯酮， L:2，，3>，5 —三羥基乙醯苯酮， X:4— (1^，2^，3/，4^，4 六氫—6 > —羥基螺〔環己烷一 1 ，9 — 一 4 / a -基）間苯二酚其係由下式代表：
0H Λ
施例與比較例 將以下成分混合且由氟樹脂濾膜過瀘以生成阻劑溶液 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 樹脂 (固體含量） 部分* 輻射.線敏感性成分= 光敏劑P A C 1 光敏劑P A C 2 5部分 7 5部分 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16- 526387 A7 B7 五、發明說明（14) 較低分子量的鹼可溶解的成份： 化合物X 2 · 0部分 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在表1中之化合物 1 · 0部分 1，1—雙（4 —羥苯基）環己烷 0.5部分 驗-降解化合物. N -（ 2 —醒基冰片丨兀一 1 〇 —基硫釀氧基）號拍酿亞 胺 0 · 5部分. 溶劑： 2 —庚酮 5 6 · 5部分* * T — 丁內酯 0 · 5部分 * 固體含量 * * 2 -庚酮包括源自酚醛淸漆樹脂溶液之用量。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將上述所製備之阻劑溶液在矽晶圓上作旋轉塗覆而此 矽晶圓係處理的以六甲基二矽氮烷者，且在直接熱板上於 9 0 °C作預烘烤6 0秒以形成阻劑膜，其厚度在1 · 0 6 // m。將此阻劑膜照光於線一空間圖樣上，使用i 一射線 步進器〔、、NSR-2005 i 9 C "，由 Nikon 製作， NA = 〇 · 57，σ = 0 · 60〕逐步的變化照光量。然 後，將此經照光的阻劑膜在熱板上於1 1 〇 °c作後照光烘 烤6. 0秒，且在一 2 · 3 8 %水溶性四甲基銨氫氧化物溶 液之中作槳划顯影6 0秒。經由掃描示電子顯微鏡觀察此 顯影圖樣，且由以下方法評估圖樣有效的敏感性及解析度 。其結果展示於表1。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17- 526387 A7 _____________ B7 五、發明說明（15) 有效的敏感性：此係由橫切面上使〇 · 3 5 // m線一 空間圖樣變得1 : 1時的照光量表現。 解析度：此係由在線-空間圖樣上最小線之寬度表現 ，其係由有效的敏感性照光量所分離者。 表1 編號 較低的分子 有效的 解析度 量鹼可溶解 敏感性 的成分 毫秒 β ιη- 實施例 1 B 300 0.30 2 C 300 0.30 3 F 300 0.29 4 G 300 0.30 5 Η 320 0.29 6 1 340 0.28 7 L 300 0.30 比較例 X1 260 0.32 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '%, --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 1 在比較例中，總共僅3部分的化合物X用作較低分子量的 鹼可.溶解的成分。 本發明正型阻劑組成物具卓越的解析度。此外’其具 有與阻劑所須要的其它的性能之間良好的平衡’例如敏感 性。因此，此組成物可有效使半導體積體電路更精細。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

  1. 526387
    τ、申請專利範圍 1 一'種正型阻劑組成物，其中包含驗可溶解的樹脂 、輻射線敏感性成分及由下式（I )代表的羥苯基酮化合 物：
    (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (I) 其中R1、R2，R3，R4及R5係獨立代表氫、烷基 或烷氧基，且η代表1至3之整數。 2 ·如申請專利範圍第1項之正型阻劑組成物，其中 二種的R1、R2及R3爲氫。 3 ·如申請專利範圍第2項之正型阻劑組成物，其中 所有R1、R2及R3爲氫，或二種的R1、R2及R3爲氫 而餘下者爲烷基。 4 ·如申請專利範圍第1項之正型阻劑組成物，其中 在式（I )中η爲1 ，且羥基基團位於3 —或4 一位置， 其係相對於羰基。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 ·如申請專利範圍第1項之正型阻劑組成物，其中 在式（I )中η爲2或3且羥基基團位於2 —位置，其係 相對於羰基。 • 6 ·如申請專利範圍第1項之正型阻劑組成物，其中 此鹼可溶解的樹脂爲酚醛淸漆樹脂，且對應於聚合物其分 子量在1 ’ 0 0 0或更低的樹脂之圖樣面積在2 5%或更 低’其係佔總圖樣面積，除了未反應的酚化合物之區域外 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 526387 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 7 .如申請專利範圍第6項之正型阻劑組成物，其中 除了羥苯基酮化合物之外，進一步的包含鹼可溶解的其分 子量在1，0 0 0或更低的酚化合物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線 摩： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20-
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