TW508988B - Nozzle plate member for supplying fluids in dispersed manner and manufacturing method of the same - Google Patents

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508988 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【技術領域】 本發明係關於分散流體並供應之噴嘴板構件（也稱氣 體擴散板）及其製造方法，尤其，關於分散使用於半導體 裝置或液晶製造裝置之成膜工程之氣體使其流出之成膜用 噴嘴板構件及其製造方法。 【相關技術】 於半導體製造裝置或液晶之顯示基板製造工程，將氣 體噴吹於基板以化學性氣相成長（C V D )等進行成膜。 於此成膜工程，矽烷氣體、氧氣等之1種或2種以上氣體 係依各氣體供應，在基板正前將複數氣體混合成均勻，而 成膜於基板。於上述成膜工程，到基板正前分散供應複數 .氣體，必須在基板面混合成均勻而依各氣體供應。 於此，以往所使用如第2 6 ( a ) 、（ b )圖所示， 作爲流體將氣體階段性地分散從多數孔所供應之噴嘴板進 行檢討。第2 6 ( a )係氣體供應噴嘴板之剖面圖，第 2 6 ( b )圖係剖面圖。如第2 6 ( a ) 、（ b )圖所示 ，氣體供應噴嘴板係疊層板狀金屬構件（40) 、（41 )、（42)。在金屬構件（40)係以機械加工形成有 A氣之路徑孔（4 3)與其分岐部（44)及B氣之路徑 孔（4 7 )，在金屬構件（4 1 )係以機械加工形成有A 氣之路徑孔（4 5 )及B氣之路徑孔（4 8 )與其分岐部 (49)，在金屬構件（4 2 )係以機械加工形成有A氣 之路徑孔（46)及B氣之路徑孔（50)，將這些金屬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "" s HI n Kn HH ϋ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508988 A7 B7 五、發明説明（2 ) 構件（4 0 ) 、（ 4 1 ) 、（ 4 2 )加以焊錫接合（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) soldering )、使用電子光束焊接（electron beam welding )加以接合，或使用螺栓接合疊層爲一體成形。 在疊層金屬構件（40) 、（41) 、（42)之氣 體供應噴嘴板，A氣係通過路徑孔（43)，在分岐部（ 44)被分岐，分散爲多數，通過路徑孔（45)、( 4 6 )流出，而供應於成膜域。又，B氣係通過路徑孔（ 47) 、(48)，在分岐部（44)被分岐，分散爲多 數，通過路徑孔（5 0 )流出，而供應於成膜域。並且， A氣與B氣係在基板正前被混合，在基板形成膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於上述第2 6圖所示之氣體供應噴嘴板，雖然可分散 氣體供應者，但是軟焊接合、使用電子光束之接合、螺栓 旋緊接合，在密封性、氣體路徑用孔之接合部之狀況等具 有問題。於軟焊接合，由於軟焊時因捲入氣體所發生之針 孔，致使密封性會降低。又，從軟焊料等成分發生氣體， 將損及半導體製造或液晶基板製造時所需之淸淨性，軟焊 料在接合時熔出，有時將埋塡精密而細腻之氣體路徑用孔 、分岐部，具有損及氣體路徑用孔之尺寸與機能之點之問 題。爲了解決軟焊料在接合時熔出埋塡氣體路徑用孔之問 題，雖然嘗試使用軟焊箔，但是必須將軟焊箔加工成配合 精密而細腻之氣體路徑用孔分岐部之形狀，其將需要工數 具有成本偏高之問題。又耐熱溫度有界限，具有不能對應 成膜時之約4 0 0 °C左右溫度之問題。 使用電子光束焊接接合金屬構件之工法，欲對應成形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) " 一一 508988 φ年7月qg修正/更正/¾ 第90109313號專利申請案 中文說明書修正頁 國91年5月修正 五、發明説明（j (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在金屬構件之多數精密而微細氣體路徑用孔或所有分岐部 ，以確保密封性，接合成無孔堵塞係困難之事。又，電子 光束接合因必須在局真空室內進行，所以受到其高真空室 尺寸之制約不能製作大型之氣體分散噴嘴板，又有成本偏 高之問題。 使用螺栓旋緊接合，係配置襯墊以確保密封性者，但 是將襯墊加工成配合精密而微細之氣體路徑用孔，分岐部 形狀配置時，就需要配置襯墊之空間，具有不能符合使用 者要求之設計自由度之問題，花費工數有成本偏高之問題 ，又，於襯墊欲確保密封之完全性爲困難之事。尤其這些 成膜係在高溫下進行之情形居多所以耐熱性也成爲間題， 於使用襯墊之方法係在耐熱溫度上也有問題。 本發明係關於分散疊層形成流體路徑之複數金屬構件 之氣體而供應之噴嘴板構件，提供一種在其接合部具有高 密封性，並且，不至於降低其精度高之流體路徑孔及分岐 部之機能，又即使在高真空、高溫下使用也具高可靠性之 流體噴嘴板構件及其製造方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【發明槪要】 本發明係提供一種基本上具有下述構造，分散流體而 供應之噴嘴板構件。 (a )具有流體路徑及與分岐部，在板面之周邊部形 成有環狀溝或環狀突出部之複數平板狀金屬構件’與 (b )嵌合疊層上述平板狀金屬構件之上述環狀溝與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -6 - 508988 五、發明説明（4 ) 另外平板狀金屬構件之環狀突出部，其被疊層之面使用鍛 壓（press forging)所接合。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 並且，提供一種：在上述平板狀金屬構件之流體路徑 及分岐部周圍設環狀溝，所對向之另外平板狀金屬構件設 有環狀突出部，在上述環狀溝插入上述環狀突出部使用鍛 壓所接合之噴嘴板構件。 並且，提供一種：上述流體路徑及分岐部，依各種流 體種類形成，將上述流體以各種類分散使其流出之噴嘴板 構件，在所疊層之金屬構件之接合面之對向位置，且將流 體依各種類區隔之位置設環狀溝與環狀突出部，在上述環 狀溝插入上述環狀突出部，使用鍛壓所接合之噴嘴板構件 〇 又，提供一種：形成上述流體路徑及分岐部之金屬構 件接合面之對向位置分別設有環狀溝，插入疊層塡充上述 各個環狀溝之中間金屬構件，使用鍛壓所接合之噴嘴板構 件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，上述流體路徑及分岐部係依各流體之種類形成 ，且在將流體依各種類區隔位置分別設有環狀溝，插入塡 充上述各個環狀溝之中間金屬構件使用鍛壓所接合之噴嘴 板構件。 又，在特定之上述平板狀金屬構件之面設貫通另外平 板狀金屬構件之凸部，在此凸部可設流體路徑。 上述板狀金屬構件，係锻壓容易之點來說使用鋁或鋁 合金較宜。 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） 508988

五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又’上述鋁或鋁合金構成所形成之流體路徑及分岐部 ’雖然爲了防蝕施加表面處理者較佳。因成膜用之氣體通 常爲腐蝕性所致。 分散上述流體供應之噴嘴板構件，係作爲分散供應半 導體或液晶顯示器之成膜形成用之氣體之噴嘴板，尤其較 佳地被使用。 分散供應上述流體之噴嘴板構件之製造方法，係具有 下述工程。 (a )準備形成有流體路徑及分岐部之複數平板狀金 屬構件， (b )嵌合設於上述平板狀金屬構件周邊之環狀溝與 另外平板狀金屬構件之環狀突出部，加以疊層，使用鍛壓 接合之方法。 並且，提供一種：在上述被疊層之平板狀金屬構件之 接合面設有環狀溝，在對向之另外平板狀金屬構件設環狀 突出部，在上述環狀溝插入上述環狀突出部，使用鍛壓所 接合之噴嘴板構件之製造方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，上述被疊層之平板狀金屬構件之接合面設有環 狀溝，所對向之另外平板狀金屬構件也設環狀溝，插入於 嵌合於這些溝之中間構件，可使用鍛壓接合。 上述，上述板狀金屬構件，係使用鋁或鋁合金較佳。 並且，將形成有上述鋁或鋁合金構件之流體路徑及分 岐部預先爲了防蝕施加表面處理，但是從防止腐蝕之點來 說較佳。 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 508988 A7 B7 五、發明説明（6 ) 又，上述鍛壓，經驗上以壓力3〜100kg f/ m m 2進行較佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 並且，上述鍛壓所以在3 0 0〜5 0 0 °C進行，因可 將鋁與鋁合金之鍛壓壓接在短時間進行，可縮短生產時間 所以較佳。 【發明之實施形態】 本發明之流體分散噴嘴板，或氣體分散板，係無論氣 體、液體可分散供應任意流體之噴嘴板。此噴嘴板係疊層 形成有流體路徑及/或分岐部之複數板狀金屬構件將流體 分散流出者，所以將疊層之金屬構件之接合面使用鍛壓接 合，因固相擴散而接合，而具有優異密封性。 本發明之流體分散噴嘴板，係無論氣體、液體可分散 流出任意流體者，例如作爲流體分散氣體使其流出之成膜 用氣體分散噴嘴板或氣體分散板使用，使用於半導體製造 或液晶基板製造之成膜裝置，具體上爲使用於化學性氣相 成長（CVD)處理裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用化學性氣相成長（C V D )處理進行成膜時，異 種氣體係直到化學性氣相成長（C V D )處理之成膜即前 不會混合，由氣體分散噴嘴板之氣體路徑或分岐部，依各 氣體之種類，階段性地，廣域地均勻地分散噴吹於目的基 板者。異種氣體，係依各氣體均勻地分散噴吹，所以，異 種氣體係在目的基板即前，可確實且均勻地混合。 欲使氣體均勻分散噴吹時，設於氣體分散板流出側之 本紙張尺度it用中周國家標準( CNS ) A4規格(210X297公釐） 508988 A7 '_ B7 _ 五、發明説明（7 ) 氣體路徑孔，係將直徑1 m m左右之小徑孔分散設置多數 較佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此噴嘴板’尤其將半導體或T F T液晶顯示器使用 C V D ( chemical vapor deposition )成膜所用之噴嘴板’ 例如爲寬度500〜1000mm，長度600〜 1 2 0 〇mm，厚度1 5〜3 〇mm之板狀噴嘴板構件。 從板狀之一面側供應氣體，從具有多數噴嘴孔之另面向基 板面流出成膜用之氣體。爲了成膜所供應之氣體’係例如 矽烷氣（S i Η 4 )，氧氣等。 噴嘴板之另一構造形態係具有以下形態。 在上述疊層之金屬構件之接合面對向位置設環狀溝與 環狀突出部，在環狀溝插入環狀突出部加以鍛壓接合，就 可確保高度密封性，可完全防止流體之洩漏。 在設於上述疊層之金屬構件接合面之環狀突出部設置 流體路徑孔，也可在環狀溝插入環狀突出部加以鍛壓接合 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，金屬構件接合面之環狀溝與環狀突出部，爲設於 依各流體種類別所區隔位置，由於在環狀溝插入環狀突出 部加以鍛壓接合，就可確保依流體之種類別所形成之流體 路徑與分岐部之密封性，不會從金屬構件接合面之流體路 徑或分岐部之連接部漏出流體。 又，在所疊層之金屬構件接合面之對向位置，分別設 環狀溝，插入塡滿於環狀溝之中間金屬構件藉鍛壓壓縮加 以接合，就可確保高度密封性，流體不至於漏出。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 一 Λ 508988 A7 _^___B7_ 五、發明説明（8 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，在金屬構件接合面之對向位置且在將流體依各種 類所區隔位置分別設環狀溝，插入塡滿於各個環狀溝之中 間金屬構件藉鍛壓壓縮加以接合，就可確保依流體種類形 成之流體路徑與分岐部之密封性，不會從金屬構件接合面 之流體路徑或分岐部連接部漏出流體。 尤其，疊層形成本發明之流體路徑及/或分岐部之複 數金屬構件，分散流體使其流出之噴嘴板，係作爲成膜用 氣體分散噴嘴板可確保高度之密封性。 本發明之流體迴路構件之流體路徑及/或分岐部，係 依流體之各種類所形成者，在將流體依各種類區隔之位置 ，設接合面之環狀溝與環狀突出部。具體上爲流體路徑孔 周圍，分岐部周圍，另外也設於板狀金屬構件外周部較佳 〇 作爲構成本發明之流體用噴嘴板構件之金屬構件，係 使用鋁或鋁合金，例如J I S Η 4 0 0 0所規定之 1050，30 03，5052，6 061，6063 爲 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 較佳。銘或銘合金構件之材質並非特別限定於上例，但是 使用內部缺陷少之軋壓板，鍛造件較佳。 又所疊層之鋁或鋁合金構件若同一材料時，因鍛壓壓 縮時之變形而接合部爲物理上容易金屬接合，但是不同材 料也可接合。_ 茲於鋁及其合金之鍛壓條件及效果說明如下。疊層經 鹼液洗淨之淸淨表面狀態之鋁，在從3 0 〇到5 〇 〇 °C溫 度範圍，使用沖壓以3〜100kg i/mm 2，例如壓縮 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） -11 - 508988 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 0〜6 0秒鐘時接合面將被金屬接合。鋁及其合金之常 溫之耐力雖然爲約7 k g f/mm 2左右，但是在3 〇 〇。(： 以上時將變成5 k g f/mm 2以下，發生塑性變形，此時 進行固相接合。準備2支直徑2 0mm之鋁合金5 0 5 2 桿，在一支之面設直徑6mm，深度5 mm凹部，在另桿 之面設直徑5 · 8mm，長度8mm之凸部，嵌合兩者， 在溫度40 0 t，壓力14 kg f/mm 2施加鍛壓。其後 ，係採取包含接合部之抗拉試片進行抗拉試驗，但是抗拉 強度係約2 2 k g f /m m 2，具與母材相同之強度。又， 即使將接合部使用顯微鏡觀察，金屬組織係完全連續，成 爲均勻。像這樣，曉得了於上述鍛壓接合得到了完全之金 屬接合狀態。從種種實驗，若溫度爲3 0 0〜5 0 〇 ， 鍛壓力爲3〜100kg f/mm 2，在接合部得到了完全 均勻之金屬組織。此際，也曉得了溫度低時，需要高鍛壓 力，溫度高時以低的鍛壓力即可。 上述係鋁及其合金之例，但是依要求於流體迴路構件 之耐熱溫度變更合金組成，也可變更另外可鍛壓之另外金 屬材料。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，設於本發明疊層金屬構件接合面之環狀溝，環狀 突出部，係例如以機械加工成形，但是只要可得到與機械 加工同等之尺寸精度或表面性狀則也可使用其他加工方法 。例如形成於鋁或其合金構件接合面之環狀溝，環狀突出 部，係在鍛壓前，洗淨表面較佳。例如使用硝酸去除表面 之油，經水洗，使用鹼溶液進行蝕刻之鹼性處理，再以硝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 508988 β年5月丨—日修正/更正/務充 五、發明説明（4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 酉文之洗淨’水洗，熱水洗等工程適當組合使表面淸淨。又 ’疊層之金屬構件爲鋁或其合金時，鍛壓溫度爲在3 〇 〇 〜5 0 0 °C範圍較佳。 又，在形成於本發明所疊層之金屬構件之流體路徑及 /或分岐部表面，對應於流體種類爲了防蝕施加化學皮膜 處理，陽極氧化處理等表面處理較佳。具體上爲形成於所 疊層之鋁或其合金構件之氣體路徑及/或分岐部爲了對應 於氣體種類之防蝕所需之化學皮膜處理，陽極氧化處理等 進行表面處理，成爲成膜用氣體分散板。茲就本發明之實 施形態參照圖式詳細說明如下。 實施例1 茲就本發明之實施例1參照第1圖〜第1 2圖說明如 下。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1圖係疊層本發明之實施例1之鋁或鋁合金板之噴 嘴板構件之剖面圖，第2圖〜第8圖係用來說明構成噴嘴 板構件之鋁板之圖。第9圖係表示金屬構件之疊層之斜視 圖。第1 0圖〜第1 2圖係表示以鍛壓接合面之環狀溝與 環狀突出部之接合形態之圖。 如第1圖，第2圖，第9圖所示，氣體分散板，係疊 層形成氣體路徑孔或分岐部之鋁板（1 0 )、（ 2 0 )、 (3 0 )者，依A氣與B氣之各種類之氣體路徑及分岐’ 階段性地寬廣地分散噴吹。 關於鋁板（1 0 )，表示於第3 ( a ) 、( b )、( 適用中國國家標準（CNS ) A_4規格（210 X 29*7公釐] -13- 508988 年；月Π日修正/¾正/補充

五、發明説明（A C )圖及第4 ( a ) 、（ b )圖。第3 ( a )圖係鋁板（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 0 )之外側面（氣體供應側）之平面圖，第3 ( b )圖 係鋁板（1 0 )之剖面圖，第3 ( c )圖係鋁板（1 〇 ) 之接合面之平面圖。第4 ( a )圖係表示銘板（1 0)之 外側面（氣體供應側）之斜視圖，第4 ( b )圖係表示銘 板（1 0 )之接合面之斜視圖。 在鋁板（1 0 )係如第3 ( a ) 、( b ) 、（ c )圖 及第4 ( a ) 、（ b )圖所示，形成有從外側面（1 1 ) 通到接合面（1 2 )之A氣之路徑孔（1 )與Η型之A氣 分岐部（2 )，及B氣之路徑孔（5 )。又在接合面（ 1 2 )於外周形成有環狀突出部（1 3 )及在B氣之路徑 孔（5 )周圍形成有環狀突出部（1 4 )。 關於鋁板（2 0 )，表示於第5 ( a ) 、( b )、( c)圖及第6 (a) 、 （b)圖。第5 (a)圖係與鋁板 (20)之鋁板（10)接合面之平面圖。第5 (b)圖 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 係鋁板（2 0 )之剖面圖，第5 ( c )圖係鋁板（2 0 ) 與鋁板（30)之接合面之平面圖。第6 (a)圖係表示 鋁板（2 0 )之鋁板（1 0 )之接合面之斜視圖，第6 ( b )圖係表示鋁板（2 0 )之鋁板（3 0 )之接合面之斜 視圖。 鋁板（2 0 )係如第5 ( a ) 、( b ) 、（ c )圖及 第6 (a) 、 （b)圖所示，形成有從接合面（21)通 到相反側之接合面（2 2 )之複數（於此圖爲6個）之A 氣之路徑孔（3 ) 。A氣之路徑孔（3 )係設於對應於形 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 508988 q(年π月μ日修正/更正/潘充 A7 B7 五、發明説明（& (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 成在鋁板（1 0 )之A氣Η型溝狀之分岐部（2 )位置。 又從接合面（2 1 )通到接合面（2 2 )之Β氣路徑孔（ 6 )與成爲肋骨型形成有溝狀之Β氣分岐部（7) 。6氣 之路徑孔（6 )係設於對應於鋁板（1 〇 )之氣體路徑孔 (5 )之位置。 在鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )，係在外周形成有 環狀溝（2 5 )及在Β氣之路徑孔（6 )周圍形成有環狀 溝（2 8 )。環狀溝（2 5 )係形成在對向於鋁板（1 0 )之接合面（1 2 )之環狀突出部（1 3 )位置，又，環 狀溝（2 6 )係形成於對向在鋁板（1 0 )之接合面（ 1 2 )之環狀突出部（1 4 )位置。 又，在鋁板（2 0 )之接合面（2 2 )，係在外周形 成有環狀突出部（2 3 )及在Α氣之路徑孔（3 )周圍形 成有環狀突出部（24)。 鋁板（30)係如第7(a) 、 (b) 、 （c)圖及 第8 ( a ) 、（ b )圖所示。第7 ( a )圖係與鋁板（ 經濟部智慧財產局K工消費合作社印製 30)之鋁板（20)接合面之平面圖。第7 (b)圖係 鋁板（3 0 )之剖面圖，第7 ( c )圖係鋁板（3 0 )之 外側面（氣體流出側）之平面圖。第8 ( a )圖係表示銘 板（3 0 )之鋁板（2 0 )之接合面之斜視圖’第8 ( b )圖係表示鋁板（3 0 )之外側面（氣體流出側）之斜視 圖。 鋁板（3 0 )係如第7 ( a ) 、( b ) 、（ c )圖及 第8(a) 、（b)圖所示，從接合面（31)形成適合 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（公慶） -15- 508988 6c 卞 A7 B7

五、發明説明（A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於氣體流出面（3 2 )之複數（圖上係6個）A氣路徑孔 (4 )，及形成複數（圖上係1 2個）B氣之路徑孔（8 )° 複數之A氣路徑孔（4 )係分別對應位置設有鋁板（ 2 0 )之複數A氣路徑孔（3 )，又複數之B氣路徑孔（ 8 )係形成於鋁板（2 0 )之肋骨型設於對應於溝狀B氣 分岐部（7 )位置。 又，在鋁板（3 0 )之接合面（3 1 )，在外周形成 環狀部（3 5 )及在A氣路徑孔（4 )周圍形成有環狀溝 (36)。外周之環狀溝（3 5 )係形成於對向於鋁板（ 20)之接合面（22)之環狀突出部（23)位置，環 狀溝（3 6 )係形成於對向於鋁板（2 0 )之接合面（ 22)之環狀突出部（24)位置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 按，在鋁板（3 0 )雖然圖示A氣之路徑孔6個，B 氣之路徑孔1 2個，但是，此係使容易看圖面加以簡化者 ，實際上係將多數·之氣體路徑孔寬廣地分散設置氣體分散 板。又，作爲氣體分岐部雖然圖示了 Η型，肋骨型者，但 是只要分岐氣體可寬廣地分散者即可。 形成爲如此之鋁板（1 0 ) 、（20) 、（30) ’ 係疊層成如第2圖，第9圖所示。鋁板（1 0)之Α氣路 徑孔（1 )之分岐部（2 )係連接於鋁板（2 0 )之複數 A氣路徑孔（3 )，複數之A氣路徑孔（3 )係分別連接 於鋁板（3 0 )之A氣路徑孔（4 )。又’鉬板（1 0 ) 之B氣路徑孔（5 )係連接於鋁板（2 〇 )之B氣路徑孔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -16- 508988 4丨年？月^修正/更亚/魯光 A7 -__ B7___ 五、發明説明（士 (6 ) ，B氣路徑孔（6 )之分岐部（7 )係連接於鋁板 (3 〇 )之複數b氣路徑孔（8 )。 又’鋁板（1 0 )之接合面（1 2 )外周之環狀突出 部（1 3 )，係與鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )之環狀 溝（2 5 )組合，鋁板（1 〇 )之接合面（1 2 )之環狀 突出部（1 4 )，係與鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )之 環狀溝（2 6 )組合。 又，同樣地鋁板（2 0 )之接合面（2 2 )外周之環 狀突出部（2 3 )，係與鋁板（3 0 )之接合面（3 1 ) 之環狀部（3 5 )組合，鋁板（2 0 )之接合面（2 2 ) 之環狀突出部（2 4 )係與鋁板（3 0 )之接合面（3 1 )之環狀溝（3 6 )組合。 像這樣，對準鋁板（1 0 ) 、（20) 、（ 3 0 )之 A氣路徑孔與其分岐部及B氣路徑孔與其分岐部，又組合 環狀溝與環狀突出部施加鍛壓接合，將鋁板（1 0 )、（ 20) 、 （30)成爲一體來製造氣體分散噴嘴板。 組合環狀溝與環狀突出部，就關於鍛壓所接合之部分 ，參照第1 0圖〜第1 2圖再說明如下。 第10圖〜第12圖係放大表示第2圖所示之疊層鋁 板（1 0 )與鋁板（2 0 )之環狀溝與環狀突出部剖面之 圖。 首先，如第1 0圖所示，在鋁板（1 〇 )之接合面（ 1 2 )，係在B氣路徑孔（5 )周圍設有環狀突出部（ 14)，在鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )，作爲B氣路 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -# 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 508988 A7 B7 五、發明説明（15) 徑孔（6 )用設有環狀溝（2 6 )。接著，如第1 1圖所 示，在鋁板（20)之環狀溝（2 6)插入鋁板（1 〇) 之環狀突出部（14)，藉將此鍛壓，如第12圖所示， 在鋁板（20)之環狀溝（2 6)，塡充鋁板（10)$ 環狀突出部（14)接合。 具體地說明環狀溝與環狀突出部之關係如下。 將環狀溝（26)之寬度視爲a，將環狀突出部（ 1 4 )之寬度視爲c，將高度視爲d時，具有下列關係較 佳。 a X b ^ c X d 及b < d 由這些關係，使用鍛壓在環狀溝（2 6 )內塡充環狀 突出部（1 4 )，以確保密封性。 並且，成爲a>c ，在環狀溝（26)插入環狀突出 部（1 4 )使組合變成容易。但是，即使滿足a > c之關 係，若環狀突出部（1 4 )寬度c爲較環狀溝（2 6 )之 寬度a太小時，鍛壓時，環狀突出部（1 4 )就折彎，成 爲在環狀溝（2 6 )不能塡充環狀突出部（1 4 )，所以 ，環狀突出部（1 4)之寬度c，使其不會較環狀溝（ 2 6 )之寬度a成爲太小較佳。又，即使於3^〇:時，在 環狀突出部先端形成推拔，可勉強壓入時，就可確保密封 性。 按，關於環狀突出部（14)與環狀溝（26)做了 說明，但是，其他之環狀突出部與環狀溝也同樣被插入， 本紙張尺度適用中國國家標準（€奶）八4祕（21(^297公釐)~ "' ---------! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508988 ◊ '、年可月’广曰修正/更正/補充 五、發明説明（4 將此施加鍛壓壓縮加以接合。 像這樣，疊層鋁板（1 〇 ) 、(20) 、（ 3 0 )之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 氣體分散噴嘴板，係如第1圖所示，A氣係通過路徑孔（ 1 )，在分岐部（2 )寬廣地分散，通過多數路徑孔（3 )、（4 )流出而供應於成膜側。又，B氣係通過路徑孔 (5 ) 、( 6 )，在分岐部（7 )寬廣地分散，通過多數 路徑孔（8 )流出而供應於成膜側。A氣與B氣係在基板 正前混合，在基板（3 7 )形成膜（3 8 )。 如第1圖所示，鋁板（1 〇 )之接合面（1 2 )與銘 板（2 0 )之接合面（2 1 )，係B氣之路徑孔（5 )與 氣體路徑孔（6 )之連接部爲其周圍在環狀突出部（1 4 )與環狀溝（2 6 )鍛壓被接合所以可確保密封性，不會 從此連接部漏出B氣，又其他氣體也不會進入。又，金屬 構件（1 0 )之接合面（1 2 )與金屬構件（2 0 )之接 合面（2 1 )，係在外周環狀突出部（1 3 )與環狀溝（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 5 )加以鍛壓接合，所以可確保密封性，因此從氣體分 散噴嘴板向外周不會漏出A氣。同樣，金屬構件（2 0 ) 之接合面（22)與金屬構件（3 0)之接合面（3 1 ) ，係A氣之路徑孔（3 )與氣體路徑孔（4 )之連接部周 圍爲在環狀突出部（2 4 )與環狀溝（3 6 )被鍛壓壓縮 接合，所以可確保密封性，不會從此連接部漏出A氣，又 也不會進入其他氣體。又，金屬構件（2 0 )之接合面（ 2 2 )與金屬構件（3 0 )之接合面（3 1 )係在外周環 狀突出部（2 3 )與環狀溝（3 5 )被鍛壓壓縮接合，所 本&張尺度適用中國國家標率( CNS ) A4規格（27^297公釐1 -19- 經濟部智慈財產局Μ工消費合作社印製 508988 W年〒月ηβ修正/:更必/齋| 五、發明説明（士 以可確保密封性，不會從氣體分散板向外部漏出。 實施例2 關於本發明之實施例2，參照第1 3圖〜第1 5圖說 明如下。 實施例2係關於設在所疊層之金屬構件之接合面之環 狀突出部與環狀溝位置之其他實施例。 第1 3 ( a )圖係金屬構件（1 〇 )之外側面（氣體 供應側）之平面圖，第1 3 ( b )圖係金屬構件（1 〇 ) 之剖面圖，第1 3 ( c )圖係金屬構件（1 〇 )之接合面 之平面圖。第14 (a)圖係金屬構件（20)之接合面 之平面圖，第14 (b)圖係金屬構件（20)之剖面圖 ，第14 (c)圖係金屬構件（20)之金屬構件（30 )之接合面之平面圖。第15 (a)圖係金屬構件（30 )之金屬構件（20)之接合面之平面圖，第15 (b) 圖係金屬構件（3 0 )之剖面圖，第1 5 ( c )圖係金屬 構件（3 0 )之外側面（氣體流出側）之平面圖。 金屬構件（1 0 )係如第1 3 ( a ) 、（ b ) 、（ c )圖所示，形成有A氣之路徑孔（1 )與Η型而溝狀之分 岐部（2 )及Β氣路徑孔（5 )，在接合面（1 2 )係在 Α氣之分岐部（2 )周圍形成有環狀突出部（1 5 )及Β 氣路徑孔（5 )周圍形成有環狀突出部（1 4 )。 金屬構件（2 0 )係如第1 4 ( a ) 、（ b ) 、（ c )圖所示，A氣之複數路徑孔（3 )爲形成於對應於金屬 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-20- 508988 q(年τ月rp修正/更养/補克 五、發明説明（4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 構件（1 0 )之Η型溝狀之分岐部（2 )位置，形成有B ^之路徑孔（5 )所連接之路徑孔（6 )與肋骨型而溝狀 之B氣分岐部（7 )。 在金屬構件（2 0 )之接合面（2 1 )，係在環狀溝 (2 7 )及氣體路徑孔（6 )周圍形成有環狀溝（2 6 ) 。環狀溝（2 7 )係形成於對向金屬構件（1 〇 )之環狀 突出部（1 5 )之位置，環狀溝（2 6 )係形成於金屬構 件（1 0.)之環狀突出部（1 4 )對向之位置。 又，在金屬構件（2 0 )之其他接合面（2 2 )，在 外周形成環狀突出部（2 3)及在氣體路徑孔（3)周圍 形成環狀突出部（2 4 )。 金屬構件（3 0 )係如第1 5 ( a ) 、（ b ) 、（ c )圖所示，形成A氣之複數路徑孔（4)，及形成B氣之 複數路徑孔（8 )。複數之氣體路徑孔（4 )係分別對應 於金屬構件（2 0 )之複數氣體路徑孔（3 )與分別對應 之位置，複數之氣體路徑孔（8 )係肋骨型而設於對應於 氣體分岐部（7 )位置。 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 又，在金屬構件（30)之接合面（31)，在外周 形成環狀部（3 5 )及在A氣路徑孔（4 )周圍形成有環 狀溝（3 6 )。環狀部（3 5 )係形成於金屬構件（2 0 )接合面（2 2 )之環狀突出部（2 3 )所對向之位置， 環狀溝（3 6 )係形成於金屬構件（2 0 )接合面（2 2 )之環狀突出部（2 4 )所對向之位置。 如第1 3圖〜第1 5圖所示，鍛壓接合形成有氣體路 本紙張尺度適用中國國家標準（cns )Α4規格（210x 297公釐） -21 - 508988 4年1?月(Γ丨日修正/更导 五、發明説明（4 徑孔，分岐部，環狀突出部與環狀溝之金屬構件（1 〇 ) 、(20) 、(30)，來製造氣體分散噴嘴板。於此氣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 體分散噴嘴板，金屬構件（1 〇 )之接合面（1 2 )與金 屬構件（2 0 )之接合面（2 1 ) ’係氣體路徑孔（5 ) 與氣體路徑孔（6 )之連接部周圍爲在環狀突出部（1 4 )與環狀溝（2 6 )鍛壓接合·又分岐部（2 )與複數氣 體路徑孔（3 )之連接部周圍爲在環狀突出部（1 5 )與 環狀溝（2 7 )被鍛壓接合確保密封性不會有氣體之漏出 ，也不會進入其他氣體。 金屬構件（2 0 )之接合面（2 2 )與金屬構件（ 30)之接合面（31) ’係於第2圖〜第9圖所說明同 樣，氣體路徑孔（3 )與氣體路徑孔（4 )之連接部周圍 由環狀突出部（2 4 )與環狀溝（3 6 )所密封，又金屬 構件（2 0 )之接合面（2 2 )與金屬構件（3 0 )之接 合面（3 1 )因以外周之環狀突出部（2 3 )與環狀部（ 3 5 )所密封，所以不會有氣體之漏出，也不會進入其他 氣體。 經濟部智慧財4局員工消費合作钍印製 實施例3 關於本發明之實施例3，參照第1 6圖說明如下。 實施例3係表示疊層3枚金屬構件，將3種類之氣體 依氣體之各種類階段性地•寬廣性地使其分散之氣體分散 噴嘴板。 第1 6圖係疊層4枚板狀金屬構件之氣體分散噴嘴板 本m度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X 297公釐） ^ 一~ -22- 508988 年 月,日修正/臭夺/得患 A7 B7 五、發明説明（土 t剖面圖，將關於疊層4枚金屬構件（7 1 ) 、(72) ' (7 3 ) 、（ 7 4 )之氣體分散板說明如下。 金屬構件（7 1 )與金屬構件（7 2 )，係外周之環 狀突出部（7 5 )與環狀溝（7 6 )，或氣體路徑孔之連 接部周圍爲由環狀突出部（8 1 )與環狀溝（8 2 )鍛壓 接合。按，由環狀突出部與環狀溝之接合，雖然設置成在 各個氣體路徑，分岐部不會混合異種氣體，但是於第1 6 圖係省略只圖示一部而已。 金屬構件（7 2 )與金屬構件（7 3 )係在外周環狀 突出部（7 7 )與環狀溝（7 8 )，或氣體路徑孔之連接 部周圍以環狀突出部（8 3)與環狀溝（84)鍛壓接合 〇 金屬構件（7 3 )與金屬構件（7 4 )係在外周環狀 突出部（7 9 )與環狀溝（8 0 )，或氣體路徑孔之連接 部周圍以環狀突出部（8 5 )與環狀溝（8 6 )鍛壓接合 〇 於疊層4枚金屬構件（71) 、（72) 、（73) ，（7 4 )之氣體分散噴嘴板’ A氣係通過路徑孔（ 10 1)，在分岐部（1 0 2 )寬廣地被分散，通過多數 路徑孔（1 0 3 ) '(104)' ( 1 0 5 )而流出，供 應於成膜側。 又，B氣係通過路徑孔（1 1 1 ) 、（ 1 1 2 )、（ 113)，在分岐部（1 1 4 )寬廣地被分散，從多數路 徑孔（1 1 5 )供應於成膜側。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製

-23- 508988 、年巧月P日修正/ n敢 五、發明説明（4 又，C氣係通過路徑孔（121) 、 （122)，在 分岐部（1 2 3 )寬廣地被分散，通過多數之路徑孔（ 1 2 4 )、（ 1 2 5 )流出而供應於成膜側。 階段性地寬廣地所分散之A氣，B氣，C氣，係分別 從多數之孔供應於成膜側在基板之正前被混合以形成膜。 實施例4 關於本發明之實施例4，參照第1 7圖〜第1 9圖說 明如下。 實施例4係在所疊層之金屬構件之接合面之對向位置 分別設環狀溝，在環狀溝插入中間金屬構件，加以鍛壓接 合者。 第1 7圖係將所疊層之鋁板（1 〇 )與鋁板（2 0 ) 之氣體路徑孔（5 )與氣體路徑孔（6 )周圍之接合部放 大之圖。在鋁板（1 0 )之接合面（1 2 )在氣體路徑孔 (5 )周圍形成環狀溝（6 0 )，又，在鋁板（2 0 )之 接合面（2 1 )在氣體路徑孔（6 )周圍形成環狀溝（ 5 9 )。在環狀溝（5 9 ) 、（ 6 0 )插入中間金屬構件 (6 1 )。作爲中間金屬構件使用與鋁板（1 0 )、（ 2 0 )相同材質之鋁較佳，但是也可使用另外之鋁材質。 環狀溝（5 9 ) 、（ 6 0 )與中間金屬構件（6 1 ) ，係環狀溝（59) 、（60)之寬度B，D，深度A， C中間金屬構件（6 1 )之寬度F，長度爲E時，成爲如 下之關係較佳。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -24- Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508988 年7月Η日修正止, 五、發明説明（土 A + CSE，（AxB + CxD)$ExF，

B g F，D ^ F 在鋁板（1 0 )之環狀溝（6 0 )與鋁板（2 0 )之 環狀溝（5 9 )插入中間金屬構件（6 1 )，施加鍛壓在 環狀溝（5 9 ) 、（ 6 0 )塡充中間金屬構件（6 1 )以 形成接合部。藉此確保密封性，氣體就變成不會漏。 第1 8圖，第1 9圖係將所疊層之鋁板（1 0 )與鋁 板（2 0 )之氣體路徑孔（5 )與氣體路徑孔（6 )周圍 之接合部放大表示之圖，而表示環狀溝形狀與中間金屬構 件另一'例之圖。 第1 8圖所示者，係在鋁板（1 0 )之接合面（1 2 )於氣體路徑孔（5 )周圍形成剖面梯形之環狀溝（6 3 )，又在鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )於氣體路徑孔（ 6 )周圍形成剖面梯形之環狀溝（6 2 )，插入對應於環 狀溝（6 2 )、（ 6 3 )之梯形之6角形金屬中間構件（ 64)，經鍛壓在環狀溝（62) 、（63)塡充金屬中 間構件（6 4 )以形成接合部，確保密封性。 第1 9圖所示者，係在銘板（1 〇 )之接合面（1 2 )於氣體路徑孔（5 )周圍形成剖面〕？字形之環狀溝（ 6 6)，又在鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )於氣體路徑 孔（6 )周圍形成剖面3字形之環狀溝（6 5 )，在π字 形環狀溝（6 5 )、（ 6 6 )插入長圓形之金屬中間構件 (67)，經鍛壓在環狀溝（6 5 ) 、（ 6 6 )塡充金屬 中間構件（6 7 )以形成接合部，確保密封性。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-25- 508988 A7 __^___B7___ 五、發明説明（23 ) 第1 8圖所示形狀之環狀溝與中間金屬構件，係環狀 溝之機械加工爲容易，又對於環狀溝組合中間構件時插入 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 變成容易。 第1 8圖所示形狀之中間金屬構件，係對於環狀溝組 合中間構件時插入變成容易。 實施例5 關於本發明之實施例5，參照第20圖〜第2 2圖說 明如下。 實施例5係表示設於所疊層金屬構件之接合面之對向 位置之環狀溝與環狀突出部之形狀例之圖。 第2 0圖所示者，係在鋁板（1 0)之接合面（1 2 )於氣體路徑孔（5 )周圍形成剖面〕字形之環狀溝（ 5 3) 5在鋁板（20)之接合面（21)於氣體路徑孔 (6 )周圍形成剖面π字形之環狀溝（5 1 )者，在環狀 溝（51)設推拔（52)在環狀溝使環狀突出部之插入 變成容易。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2 1圖所示者，係在鋁板（1 0)之接合面（1 2 )於氣體路徑孔（5 )周圍形成推拔（5 6 )之剖面〕字 形之環狀突出部（55)，在鋁板（20)之接合面（ 2 1 )於氣體路徑孔（6 )周圍形成剖面3字形之環狀溝 (54)者，在環狀突出部（55)設推拔（56)在環 狀溝使環狀突出部之插入變成容易。 第2 2圖所示者，係在鋁板（1 0 )之接合面（1 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26 - 508988 年 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7

五、發明説明（A )於氣體路徑孔（5 )周圍形成剖面梯形之環狀突出部（ 5 8 )，在鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )於氣體路徑孔 (6 )之用層形成剖面梯形之環狀溝（5 7 )，環狀溝， 環狀突出部之機械加工爲容易，又其組合時插入將變成容 易。 實施例6 關於本發明之實施例6，參照第2 3圖〜第2 5圖說 明如下。 第2 3圖係表示實施例6之金屬構件之疊層之斜視圖 ’第24 (a) ，（b)圖，第25圖係所疊層之金屬構 件之接合面剖面圖。 實施例6，係表示關於疊層上述實施例1所說明鋁板 (10) 、（ 2 0 )之氣體分散噴嘴板，鋁板（1 0 )與 鋁板（2 0 )之B氣路徑孔（6 )連接之變形例。 如第2 3圖所示，在鋁板（1 〇 )，形成有從外側面 (1 1 )通到接合面（1 2 )之A氣路徑孔（1 )與孔（ 6 9)。在鋁板（2 0 )之接合面（2 1 )，於外周具環 狀溝（2 5 )，突出形成A氣路徑孔（3 )及B氣路徑孔 (6 )之圓筒（6 8 )。 如第2 4 ( a )圖所示，鋁板（1 〇 )之孔（6 9 ) 係從接合面（1 2 )向外側面（1 1 )形成有推拔。鋁板 (2 0 )之圓筒部（6 8 )係附有推拔，形成有氣體之路 徑孔（6 )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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q阵可月口日修正/惠立/翁I 五、發明説明（2¾ 疊層鋁板（10) 、 （20)·····，合計A氣 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 路徑孔與其分岐部及B氣路徑孔與其分岐部，又組合環狀 溝與環狀突出部加以鍛壓壓縮進行接合，但是實際上在銘 板（1 〇 )之孔（6 9 )，插入附推拔圓筒（6 8 )，如 第2 4 ( b )圖所示，成爲B氣路徑孔。 第2 5圖係在鋁板（1 0 )之孔（6 9 )之接合面（ 1 2 )側，設有去角部（7 0 )，使鋁板（2 0 )之附推 拔圓筒（6 8 )變成容易插入。 【產業上之利用可能性】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如以上所說明，依據本發明，藉將疊層之金屬構件之 接合面，使用鍛壓接合，就可具有優異之密封性。尤其在 形成流體路徑及/或分岐部之複數板狀金屬構件之接合面 之對向位置設環狀溝與環狀突出部加以鍛壓接合就可確保 高度之密封性，具有不會有氣體等流體漏出之效果。又， 在形成流體路徑及/或分岐部之複數金屬構件之接合面之 對向位置分別設環狀溝插入中間金屬構件加以接合就可確 保高度密封性，具有不會有氣體等流體漏出之效果。 並且，將接合用之環狀溝與環狀突出部進行機械加工 成形，鍛壓接合者，因不使用接合材等之介在物，所以使 用時不會從接合用介在物等發生氣體，可保持配設本發明 之噴嘴板之C V D裝置內之淸淨性。又，接合時，不會有 於焊錫工法所見到之軟焊料之熔出等，也不會堵塞經精密 加工之孔或溝。又，不需要如0 -環之密封構件，可使用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X297公釐） -28- 508988 A7 ___^_B7 _ 五、發明説明（26 ) 到所疊層之金屬板，例如鋁或鋁合金之耐熱溫度。又，依 耐熱溫度變更鋁合金之組成，或可變更其他可壓接之金屬 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 材料。 又，成爲氣體路徑或分岐部之精密孔及溝係可用機械 加工形成所以設計之自由度大。與氣體路徑或分岐部之加 工，同時加工鍛壓接合所需之凹凸（環狀溝與環狀突出部 )即可，接合係組合金屬板，藉同時鍛壓，就可低價製造 。並且，鍛壓時只要使用沖壓加工即可，所以具有也可容 易對應大尺寸之效果 圖式之簡單說明 第1圖係本發明例1之氣體分散噴嘴板之剖面圖。 第2圖係表示構成本發明例1之氣體分散噴嘴板之鋁 板之圖。 第3圖係表示本發明例1之金屬構件之疊層態樣之圖 〇 第4圖係表示構成本發明例1之氣體分散噴嘴板之鋁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 板之圖。 第5圖係表示構成本發明例1之氣體分散噴嘴板之鋁 板之圖。 第6圖係表示構成本發明之實施例1之氣體分散噴嘴 板之鋁板之圖。 第7圖係表示構成本發明之實施例1之氣體分散噴嘴 板之鋁板之圖。 ^氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 508988 A7 B7 五、發明説明（27) 第8圖係表示構成本發明之實施例1之氣體分散噴嘴 板之鋁板之圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第9圖係表示本發明例1之金屬構件之疊層態樣之圖 〇 第10圖係表示本發明例1之鋁板接合面之環狀溝與 環狀突出部之圖。 第1 1圖係表示本發明例1之鋁板接合面之環狀溝與 環狀突出部之圖。 第12圖係表示本發明例1之鋁板接合面之環狀溝與 環狀突出部之圖。 第1 3圖係表示本發明例2之金屬構件之環狀突出部 與環狀溝位置之圖。 第1 4圖係表示本發明例2之金屬構件之環狀突出部 與環狀溝位置之圖。 第1 5圖係表示本發明例2之金屬構件之環狀突出部 與環狀溝位置之圖。 第1 6圖係表示本發明例2之氣體分散噴嘴板之剖面 圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 7圖係表示本發明例4之金屬構件之接合面之環 狀溝之圖。 第1 8圖係表示本發明例4之金屬構件之接合面之環 狀溝之圖。 第1 9圖係表示本發明例4之金屬構件之接合面之環 狀溝之圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 508988 A7 _ ._ B7 五、發明説明（28 ) 第2 0圖係表示本發明例5之金屬構件之接合面之環 狀溝與環狀突出部之圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第2 1圖係表示本發明例5之金屬構件之接合面之環 狀溝與環狀突出部之圖。 第2 2圖係表示本發明例5之金屬耩件之接合面之環 狀溝與環狀突出部之圖。 第2 3圖係表示於本發明例6之金屬構件之疊層態樣 之圖。 第2 4圖係表示於本發明例6之金屬構件之接合面之 剖面圖。 第2 5圖係表示於本發明例6之金屬構件之接合面之 剖面圖。 第2 6圖係用來說明習知技術之氣體分散噴嘴板之圖 主要元件對照表 1、 5、6、47、3、4、8、48、46、50、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3、4 5 :氣體路徑孔 2、 44、 7、 49:分岐部 40、41、42、71、72:金屬構件 10、20、3 0 :鋁板 1 1 :外側面 工2、21、22、31:接合面 13、 14、 15、 23、 24、 75、 81:環狀突出 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 508988 A7 B7 五、發明説明（29 ) 部 25、26、28、36、35、27:環狀溝 3 2 :氣體流出面 6 1 :中間金屬構件 6 9 :孔 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -32-

Claims (1)

1. 508988 ABCD (::f丨！e月，修正/更正/播充 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 第 9010931: 3號專利申請案 1 1 中文申 請 專 利 範 圍 修 正 本 1 1 民國 91 年5 月 修 正 請 1 I 先 聞 讀 1 1 1 1 . 一種分散流體 並 供 應 之 噴 嘴 板 構件 > 其 係 具 有 下 背 面 之 卜 列構造者 ： 注 意 事 1 1 (a )具有流體路 徑 及 與 分 岐 部 在板 面 之 周 邊 部 7 項 再 1 ▲ 形成有環 狀溝或環狀突出部之複數平板狀金屬 構 件 j 與 寫 本 百 f I (b )嵌合疊層上 述 平 板 狀 金 屬 構 件之 環 狀 溝 與 其 他 1 1 1 平板狀金 屬構件之環狀 突 出 部 其 被 疊 層之 面 爲 使 用 鍛 壓 1 1 (pressforging )所接合 < D 1 1 2 · 如申請專利範 圍 第 1 項 之 分 散 流體 並 供 應 之 噴 嘴 訂 I 板構件， 其中更且，在 上 述 板 狀 金 屬 構 件之 流 體 路 徑 及 分 1 I 岐部之周 圍，設環狀溝 } 在 其 他 板 狀 金 屬構 件 設 xm 狀 突 出 1 1 ( 部，在上 述環狀溝插入 上 述 環 狀 突 出 部 ，使 用 鍛 壓 加 以 接 1 1 合。 Ψ 3 · 如申請專利範 圍 第 1 項 之 分 散 流體 並 供 應 之 噴 嘴 1 I 板構件， 其中更且，上 述 流 體 路 徑 及 分 岐部 5 係 依 各 流 體 1 1 種類所形 成，在所疊層 之 金 屬 構 件 之 接 合面 之 對 向 位 置 ， f 且在依各 流體種類所區 隔 之 位 置 設 環 狀 溝與 TEsa 狀 突 出 部 5 1 1 在上述環 狀溝嵌合上述環狀突出部， 使用 鍛壓 加 以 接 合 〇 1 1 4 · 如申請專利範 圍 第 1 項 之 分 散 流體 並 供 應 之 噴 嘴 1 板構件， 其中更且，形 成 上 述 流 體 路 徑 及分 岐 部 之 複 數板 I | 狀金屬構 :件之接合面之 對 向 位 置 分 別 設 環狀 溝 ， 插 入 塡 充 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公羡） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508988 A8 B8 ⑨年V月'，修正/晃芬/樣息 g88 六、申請專利範圍 上述各個環狀溝之中間金屬構件，加以疊層，使用鍛壓加 以接合。 5 ·如申請專利範圍第1項之分散流體並供應之噴嘴 板構件，其中更且，上述流體路徑及分岐部係依各流體種 類形成，且在將流體依各種類所區隔之位置分別設環狀溝 ，插入塡充上述各個環狀溝之中間金屬構件，使用鍛壓加 以接合。 6 ·如申請專利範圍第1項之分散流體並供應之噴嘴 板構件，其中在特定之上述平板狀金屬構件之面設有貫通 另外平板狀金屬構件之凸部，在該凸部設有流體路徑。 7 ·如申請專利範圍第1項之分散流體並供應之噴嘴 板構件，其中上述金屬構件，係鋁或鋁合金。 8 ·如申請專利範圍第7項之分散流體並供應之噴嘴 板構件，其中上述鋁或鋁合金構件所形成之流體路徑及分 岐部，係施加有爲了防蝕之表面處理。 9 ·如申請專利範圍第1項之分散流體並供應之噴嘴 板構件，其中上述分散流體並供應之噴嘴板構件，係分散 供應半導體或液晶顯示器之成膜用之氣體之噴嘴板。 1 0 · —種分散流體並供應之噴嘴板構件之製造方法 ，其係具有下列工程： (a )準備在流體路徑及與分岐部接合之周邊部，形 成環狀溝或環狀突出部之複數平板狀金屬構件.， (b )嵌合疊層設於上述平板狀金屬構件周邊部之環 狀溝與另外平板狀金屬構件之環狀突出部，將該板狀金屬 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公^ ' 一' -2- —ur—P------、玎------mT (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 508988 A8 B8 (：1. Φ - Λ, -x：： - D8_ 六、申請專利範圍 構件使用鍛壓（pressforging )所接合。 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項之分散流體並供應之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 噴嘴板構件之製造方法，其中更且，在上述被疊層之平板 狀金屬構件之上述流體路徑及分岐部之周圍之接合面設環 狀溝，在對向之其他平板狀金屬構件設環狀突出部，在上 述環狀溝插入上述環狀突出部，使用鍛壓加以接合。 1 2 ·如申請專利範圍第1 〇項之分散流體並供應之 噴嘴板構件之製造方法，其中更且，在上述被疊層之平板 狀金屬構件之上述流體路徑及分岐部之周圍之接合面設環 狀溝，在對向之其他平板狀金屬構件設環狀溝，插入嵌合 於這些溝之中間構件，使用鍛壓加以接合。 1 3 .如申請專利範圍第1 〇項之分散流體並供應之 噴嘴板構件之製造方法，其中上述板狀金屬構件，係鋁或 鉬合金。 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項之分散流體並供應之 噴嘴板構件之製造方法，其中形成有上述鋁或鋁合金構件 之流體路徑及分岐部，預先爲了防蝕具有施加表面處理之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 工程。 1 5 .如申請專利範圍第1 3項之分散流體並供應之 噴嘴板構件之製造方法，其中上述鍛壓，係以壓力3〜 1 0 0 k g f /m m 2 進行。 1 6 ·如申請專利範圍第1 3項之分散流體並供應之 噴嘴板構件之製造方法，其中上述鍛壓，係以3 0 0〜 5 0 0乞進行。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) _ —