CN105446275B - 气路界面显示方法和系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气路界面显示方法和系统，其中方法包括如下步骤：步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；步骤S200，检测步长参数，当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。其通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通道，并读取下位机通道显示的所需气体种类数，减少了上位机存储并读取XML配置文件的空间和时间的浪费，有效解决了现有的气路界面边缘处的提示信息不能很好地起到提示作用的问题。

Description

气路界面显示方法和系统

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别是涉及一种气路界面显示方法和系统。

背景技术

半导体制造设备中，执行工艺时，通常用到很多不同种类的工艺气体。工艺气体进入工艺腔室，在上电极的作用下形成等离子体用于进行刻蚀、PVD(Physical VaporDeposition，物理气相沉积)、CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)等工艺，因此，气路系统是工艺腔室的一个重要辅助系统，通常气路系统包括摆阀、干泵、分子泵、气路管道和MFC(Mass Flow Controller，气体流量控制器)等装置。通过对半导体制造设备设置特定的控制软件，实现对半导体制造设备配备的气体名称、气体流量、阀门状态等信息的实时显示，不同工艺需求的半导体制造设备，气体的配备不同，其区别主要包括：气体个数、气体种类、是否为特性气体等。

目前，气体管路界面显示如图1所示(以16路气体为例)，当半导体制造设备配备的气体种类发生变化时，如半导体制造设备只需配置前6路气体时，需要手动修改XML配置文件，以实现对半导体制造设备所需配备的气体的名称、是否存在Purge阀、是否已连接等属性进行修改，并通过解析该配置文件获取相关信息，将气体管路信息通过界面显示出来(如图2所示)。由于当半导体制造设备需要配备的气体种类发生改变时，需要修改XML配置文件并通过读取该配置文件获取相关信息，才能将气体管路信息显示出来，因此，耗时较长，在时间和空间上造成了一定的浪费；并且，当半导体制造设备需要配备的气体种类较少时，界面边缘处的提示信息很难起到提示作用。

发明内容

基于此，有必要针对现有气路系统显示半导体制造设备配置的气体相关信息耗时较长的问题，提供一种气路界面显示方法和系统。

为实现本发明目的提供的一种气路界面显示方法，包括如下步骤：

步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；

步骤S200，检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。

其中，所述预设值的取值为2。

其中，所述步骤S200包括如下步骤：

步骤S210，检测所述步长参数；

步骤S220，当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界面中第1加所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述气体管路信息；

步骤S230，将N的值增大所述步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与所述步长参数之和；M为整数，初始值为2；

步骤S240，控制所述气路界面中所述第N路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第M种气体的所述气体管路信息。

其中，所述步骤S200还包括如下步骤：

步骤S250，检测所述气路界面是否显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息；

步骤S260，当所述气路界面未显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息时，返回执行所述步骤S230，直至所述气路界面显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息。

其中，所述步骤S100包括如下步骤：

读取所述上位机所能配备的所述气体种类总数和所述所需气体种类数；

根据：计算所述步长参数。

其中，还包括如下步骤：

检测所述步长参数，当所述步长参数小于所述预设值时，控制所述气路界面中所述气体管路的位置依次显示所述所需气体种类中各气体的所述气体管路信息。

相应的，为实现上述气路界面显示方法，本发明还提供了一种气路界面显示系统，包括下位机通道、计算控制模块和检测处理模块，其中：

所述下位机通道，设置在下位机工艺腔室的通道中，用于标识工艺腔室的所需气体种类数；

所述计算控制模块，用于根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；

所述检测处理模块，用于检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。

其中，所述检测处理模块包括第一检测单元、第一控制单元、第一设置单元和第二控制单元，其中：

所述第一检测单元，用于检测所述步长参数；

所述第一控制单元，用于当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界面中第1加所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述气体管路信息；

所述第一设置单元，用于将N的值增大所述步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与所述步长参数之和；M为整数，初始值为2；

所述第二控制单元，用于控制所述气路界面中所述第N路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第M种气体的所述气体管路信息。

其中，所述检测处理模块还包括第二检测单元和第三控制单元，其中：

所述第二检测单元，用于检测所述气路界面是否显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息；

所述第三控制单元，用于当所述气路界面未显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息时，返回执行所述第一设置单元，直至所述气路界面显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息。

其中，所述计算控制模块包括读取单元和计算单元，其中：

所述读取单元，用于读取所述上位机所能配备的所述气体种类总数和所述所需气体种类数；

所述计算单元，用于根据：计算所述步长参数。

其中，还包括第二处理模块，其中：

所述第二处理模块，用于当所述步长参数小于所述预设值时，控制所述气路界面中所述气体管路的位置依次显示所述所需气体种类中各气体的所述气体管路信息。

本发明提供的气路界面显示方法和系统，通过在下位机工艺腔室的通道中增加下位机通道，读取下位机通道标识的所需气体种类数，并根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数。并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息。当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。其通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通道，并由读取下位机通道标识的所需气体种类数，代替读取XML配置文件的过程，有效减少了上位机存储XML配置文件的空间和读取XML配置文件的时间的浪费，同时根据所需气体种类数，控制气路界面中的气体管路自动均匀排布，有效解决了现有的气路界面边缘处的提示信息不能很好地起到提示作用的问题。

附图说明

图1为现有的16路气路界面显示示意图；

图2为现有的6路气路界面显示示意图；

图3为气路界面显示方法一具体实施例流程图；

图4为气路界面显示方法另一具体实施例流程图；

图5为采用气路界面显示方法另一具体实施例后的气路界面显示示意图；

图6为气路界面显示系统一具体实施例示意图。

具体实施方式

为使本发明技术方案更加清楚，以下结合附图及具体实施例对本发明做进一步详细说明。

参见图3，一种气路界面显示方法，包括如下步骤：

步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息。

步骤S200，检测步长参数，当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。

本发明提供的气路界面显示方法一具体实施例，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数。并根据下位机所需气体种类数，控制气路界面以步长参数为间隔，自动均匀显示气体管路信息。其通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通道，并由读取下位机通道标识的所需气体种类数，代替读取XML配置文件的过程，有效减少了上位机存储XML配置文件的空间和读取XML配置文件的时间的浪费，同时根据所需气体种类数，控制气路界面中的气体管路自动均匀排布，有效解决了现有的气路界面边缘处的提示信息不能很好地起到提示作用的问题。

需要说明的是，气体管路信息包括气路名称、气体流量和阀门等。

其中，预设值的取值优选为2。当步长参数大于或等于2时，表明所需气体种类数小于或等于所能配备的气体种类总数的一半，此时，控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中的各气体的气体管路信息，使得位于气路界面边缘处的提示信息能够很好的起到提示作用。

参见图4，作为本发明提供的气路界面显示方法的另一具体实施例，步骤S100中，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，包括如下步骤：

步骤S110，读取上位机所能配备的气体种类总数GasLineMax和所需气体种类数GasLine_Num。

步骤S120，根据：计算步长参数Interval。

其中，步长参数Interval用于确定气路界面中气体管路显示的密集程度，通过根据即根据计算步长参数Interval，用于控制气路界面以步长参数Interval为间隔，自动均匀排布气体管路，在保证气路界面边缘处的提示信息能够很好地起到提示作用的同时，使得气路界面更美观，显示更为清晰。

参见图4，作为本发明提供的气路界面显示方法的又一具体实施例，步骤S200包括如下步骤：

步骤S210，检测步长参数。判断步长参数是否大于或等于预设值2；若是，则执行步骤S220；若否，则执行步骤S300。

步骤S220，当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中第1加步长参数路气体管路的位置显示所需气体种类中第二种气体的气体管路信息。

步骤S230，将N的值增大步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与步长参数之和；M为整数，初始值为2。

步骤S240，控制气路界面中第N路气体管路的位置显示所需气体种类中第M种气体的气体管路信息。

作为一种可实施方式，当预设值的取值为2时，气路界面中第一路气体管路的位置显示第一种气体(Gas1)的气体管路信息，包括气路名称、气体流量和阀门的打开程度等。如，上位机配备的气体种类总数为16种，下位机通道标识的所需气体种类数为8种时，计算出的步长参数等于2，即步长参数等于预设值。则首先控制气路界面中第1加步长参数路气体管路的位置(即第三路气体管路的位置)显示第二种气体的气体管路信息，然后将气路界面中第N路气体管路的位置(GasLine)设置为N+步长参数(即N+2)，并控制表征所需气体种类中气体个数的M(Gas)以1为间隔依次递增(即Gas++)，使得气路界面中第N路气体管路的位置(GasLine)显示所需气体种类中第M种气体(Gas)的气体管路信息，即气路界面中第五路气体管路的位置显示第三种气体的气体管路信息，气路界面中第七路气体管路的位置显示第四种气体的气体管路信息，气路界面中第九路气体管路的位置显示第五种气体的气体管路信息，依此类推，最终，气路界面显示如图5所示。

在此，需要说明的是，由于当检测到步长参数大于或等于预设值时，首先控制气路界面中第1加步长参数路气体管路的位置显示第二种气体的气体管路信息(即GasLine＝1+Interval，Gas＝2)。因此当将第N路气体管路的位置设置为N+步长参数时，N的取值应为整数，且初始值为1+步长参数，并且M的取值同样为整数，初始值为2。

作为本发明提供的气路界面显示方法，步骤S200还包括如下步骤：

步骤S250，检测气路界面中气体管路的位置是否显示全部所需气体种类的气体管路信息。

步骤S260，当气路界面中气体管路的位置未显示全部所需气体种类的气体管路信息时，返回步骤S230，直至气路界面中气体管路的位置显示全部所需气体种类的气体管路信息。

通过检测气路界面中气体管路的位置是否显示全部所需气体种类，当气路界面中气体管路的位置未显示全部所需气体种类的气体管路信息时，则返回执行步骤S230，继续将N的值增大步长参数，将M的值增大1，控制气路界面中第N路气体管路的位置显示所需其种类中第M种气体的气体管路信息，直至气路界面将所需气体种类中的全部气体的气体管路信息显示出来。保证了气路界面显示信息的完整性，避免了显示信息不完整导致操作人员判断失误的现象。同时，当检测到气路界面中气体管路的位置显示所需气体种类中全部气体的气体管路信息时，结束程序，进行下一步操作即可。

作为本发明提供的气路界面显示方法的再一具体实施例，还包括如下步骤：

步骤S300，当步长参数小于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置依次显示所需气体种类中各气体的气体管路信息。

作为一种可实施方式，预设值取值为2，当步长参数小于预设2时，表明所需气体种类数超过上位机所能配备的气体种类总数的一半，此时，控制气路界面中气体管路的位置按照原有顺序依次显示所需气体种类中全部气体的气体管路信息即可。

相应的，基于同一发明构思，本发明还提供了一种气路界面显示系统，由于本发明提供的气路界面显示系统的工作原理与气路界面显示方法原理相同或相似，因此重复之处，不再赘述。

参见图6，作为本发明提供的气路界面显示系统700一具体实施例，包括下位机通道(图中未示出)、计算控制模块710和检测处理模块720，其中：

下位机通道，设置在下位机工艺腔室的通道中，用于标识工艺腔室的所需气体种类数。

计算控制模块710，用于根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息。

检测处理模块720，用于检测步长参数，当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。

作为本发明提供的气路界面显示系统的又一具体实施例，计算控制模块710包括读取单元711和计算单元712，其中：

读取单元711，用于读取上位机所能配备的气体种类总数和所需气体种类数。

计算单元712，用于根据：计算步长参数。

作为本发明提供的气路界面显示系统另一具体实施例，检测处理模块720包括第一检测单元721、第一控制单元722、第一设置单元723和第二控制单元724，其中：

第一检测单元721，用于检测步长参数。

第一控制单元722，用于当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中第1加步长参数路气体管路的位置显示所需气体种类中第二种气体的气体管路信息。

第一设置单元723，用于将N的值增大步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与步长参数之和；M为整数，初始值为2。

第二控制单元724，用于控制气路界面中第N路气体管路的位置显示所需气体种类中第M种气体的气体管路信息。

作为本发明提供的气路界面显示系统再一具体实施例，检测处理模块720还包括第二检测单元725和第三控制单元726，其中：

第二检测单元725，用于检测气路界面中气体管路的位置是否显示全部所需气体种类的气体管路信息。

第三控制单元726，用于当气路界面中气体管路的位置未显示全部所需气体种类的气体管路信息时，返回执行第一设置单元723，直至气路界面中气体管路的位置显示全部所需气体种类的气体管路信息。

其中，还包括第二处理模块730，其中：

第二处理模块730，用于当步长参数小于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置依次显示所需气体种类中各气体的气体管路信息。

本发明提供的气路界面显示系统，通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通道，用于标识所需气体种类数，并根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数。控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，自动均匀排布并显示所需气体种类的气体管路信息，减少了读取XML配置文件的环节，有效解决了现有的气路界面显示方法中时间和空间上的浪费的问题。同时，使得气路界面边缘处的提示信息能够很好地起到提示作用，气路界面显示更为清晰，美观。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种气路界面显示方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；

步骤S200，检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。

2.根据权利要求1所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述预设值的取值为2。

3.根据权利要求2所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S200包括如下步骤：

步骤S210，检测所述步长参数；

步骤S220，当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界面中第1加所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述气体管路信息；

步骤S230，将N的值增大所述步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与所述步长参数之和；M为整数，初始值为2；

步骤S240，控制所述气路界面中所述第N路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第M种气体的所述气体管路信息。

4.根据权利要求3所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S200还包括如下步骤：

步骤S250，检测所述气路界面是否显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息；

步骤S260，当所述气路界面未显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息时，返回执行所述步骤S230，直至所述气路界面显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息。

5.根据权利要求1至4任一项所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S100包括如下步骤：

读取所述上位机所能配备的所述气体种类总数和所述所需气体种类数；

根据：计算所述步长参数。

6.根据权利要求5所述的气路界面显示方法，其特征在于，还包括如下步骤：

检测所述步长参数，当所述步长参数小于所述预设值时，控制所述气路界面中所述气体管路的位置依次显示所述所需气体种类中各气体的所述气体管路信息。

7.一种气路界面显示系统，其特征在于，包括下位机通道、计算控制模块和检测处理模块，其中：

所述下位机通道，设置在下位机工艺腔室的通道中，用于标识工艺腔室的所需气体种类数；

所述计算控制模块，用于根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；

所述检测处理模块，用于检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。

8.根据权利要求7所述的气路界面显示系统，其特征在于，所述检测处理模块包括第一检测单元、第一控制单元、第一设置单元和第二控制单元，其中：

所述第一检测单元，用于检测所述步长参数；

所述第一控制单元，用于当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界面中第1加所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述气体管路信息；

所述第一设置单元，用于将N的值增大所述步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与所述步长参数之和；M为整数，初始值为2；

所述第二控制单元，用于控制所述气路界面中所述第N路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第M种气体的所述气体管路信息。

9.根据权利要求8所述的气路界面显示系统，其特征在于，所述检测处理模块还包括第二检测单元和第三控制单元，其中：

所述第二检测单元，用于检测所述气路界面是否显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息；

所述第三控制单元，用于当所述气路界面未显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息时，返回执行所述第一设置单元，直至所述气路界面显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息。

10.根据权利要求7至9任一项所述的气路界面显示系统，其特征在于，所述计算控制模块包括读取单元和计算单元，其中：

所述读取单元，用于读取所述上位机所能配备的所述气体种类总数和所述所需气体种类数；

所述计算单元，用于根据：计算所述步长参数。

11.根据权利要求10所述的气路界面显示系统，其特征在于，还包括第二处理模块，其中：

所述第二处理模块，用于当所述步长参数小于所述预设值时，控制所述气路界面中所述气体管路的位置依次显示所述所需气体种类中各气体的所述气体管路信息。