JP4779819B2 - クライオポンプ制御装置及びクライオポンプの制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係るクライオポンプ制御装置を説明するための図である。
11 クライオポンプ
12 フィン
13 排気ダクト
15 高真空処理装置
17,19,22 不活性ガス供給用管路
21 フローセンサ
23,24 分岐用管路
26 第1のバルブ
27 第2のバルブ
28 制御部
29 バルブ異常検出部
31 表示パネル
32 メッセージ表示領域
33 構成図表示領域
Claims (4)
- クライオポンプの再生処理時に不活性ガス供給装置から供給される不活性ガスを前記クライオポンプに供給するか否かの切り替えを行うバルブを備えたクライオポンプ制御装置であって、
前記不活性ガス供給装置と前記クライオポンプとの間に設けられ、前記不活性ガスを供給する複数の不活性ガス供給用経路と、
前記複数の不活性ガス供給用経路に設けられた前記バルブの異常を検出するバルブ異常検出部とを備え、
前記複数の不活性ガス供給用経路に前記バルブを設けたことを特徴とするクライオポンプ制御装置。 - 前記バルブ異常検出部が前記複数の不活性ガス供給用経路に設けられた前記バルブの異常を検出したときに、異常のあったバルブがどれなのかを表示させる表示パネルをさらに設けたことを特徴とする請求項1記載のクライオポンプ制御装置。
- 再生処理時におけるクライオポンプの制御方法であって、
前記クライオポンプと不活性ガス供給装置との間に設けられ、不活性ガスを供給する複数の不活性ガス供給用経路と、
前記複数の不活性ガス供給用経路に設けられたバルブの異常を検出するバルブ異常検出部とを備え、
前記バルブ異常検出部からの信号に応じて、前記バルブにより前記不活性ガス供給装置から供給される前記不活性ガスを前記クライオポンプに供給するか否かの選択を行うことを特徴とするクライオポンプの制御方法。 - 前記バルブ異常検出部からの信号に応じて、異常のあったバルブがどれなのかを表示パネルに表示させることを特徴とする請求項3記載のクライオポンプの制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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