JP5872089B1 - シャワープレート装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基板の表面にガスを吹き付ける、シャワープレート装置であって、
前記シャワープレート装置は、ガスを吹き付けるシャワープレートを備えており、
前記シャワープレートは、複数のプレートを備えており、
前記複数のプレートは、隣り合うプレート同士がシール部材を介して互いに面接触するよう積層されており、
最も基板側の第1プレートには、複数のガス吹付孔及び複数のガス回収孔が形成されていることを特徴とする。
(1)前記シャワープレート装置は、移動する前記基板に対してガスを吹き付けるようになっており、
前記第1プレートには、前記ガス吹付孔が、前記基板の移動方向に対して直交する方向に沿って、第1所定間隔を有して配列されて、ガス吹付孔列を形成しており、また、前記ガス回収孔が、前記基板の移動方向に対して直交する方向に沿って、第2所定間隔を有して配列されて、ガス回収孔列を形成しており、
前記ガス吹付孔列と前記ガス回収孔列とが、前記基板の移動方向に沿って、第3所定間隔を有して交互に配置されている。
(2)前記構成(1)において、前記第1プレートには、前記各ガス吹付孔列を囲むように第1傾斜溝が形成されており、また、前記各ガス回収孔列を囲むように第2傾斜溝が形成されている。
(3)前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第2プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する第2吹付孔と、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する第2回収孔と、前記各第2回収孔と連通する1つの第2回収集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記各第2吹付孔と連通する第3吹付孔と、前記第2回収集合孔と連通する第3回収孔と、前記各第3吹付孔と連通する1つの第3吹付集合孔と、を備えており、
前記第3吹付集合孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第3回収孔と前記ガス回収部とが接続されている。
(4)前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第2プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する第2吹付孔と、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する第2回収孔と、前記各第2吹付孔と連通する1つの第2吹付集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記第2吹付集合孔と連通する第3吹付孔と、前記各第2回収孔と連通する第3回収孔と、前記各第3回収孔と連通する1つの第3回収集合孔と、を備えており、
前記第3吹付孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第3回収集合孔と前記ガス回収部とが接続されている。
(5)前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第1プレートは、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する1つの第11回収集合孔、を備えており、
前記第2プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する第21吹付孔と、前記第11回収集合孔と連通する第22回収孔と、前記各第21吹付孔と連通する1つの第23吹付集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記第22回収孔と連通する第31回収孔と、前記第23吹付集合孔と連通する第32吹付孔と、を備えており、
前記第32吹付孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第31回収孔と前記ガス回収部とが接続されている。
(6)前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第1プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する1つの第12吹付集合孔、を備えており、
前記第2プレートは、前記第12吹付集合孔と連通する第24吹付孔と、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する第25回収孔と、前記各第25回収孔と連通する1つの第26回収集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記第24吹付孔と連通する第33吹付孔と、前記第26回収集合孔と連通する第34回収孔と、を備えており、
前記第33吹付孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第34回収孔と前記ガス回収部とが接続されている。
(7)前記構成(3)〜(6)のいずれか1つの構成において、前記第1プレート、前記第2プレート及び前記第3プレートにおける、各吹付孔と吹付集合孔、及び、各回収孔と回収集合孔とは、プレートに加工された溝状の連絡通路によって連通しており、
前記連絡通路における、前記各吹付孔と前記吹付集合孔との距離は、それぞれ同じとなっており、また、前記各回収孔と前記回収集合孔との距離は、それぞれ同じとなっている。
(8)前記シャワープレート装置は、前記基板の側方及び下方を囲むボックスを備えており、
前記シャワープレートは、前記ボックスの上壁を構成している。
上記第1実施形態では、第2プレート4にガス回収のための第2連絡通路44が設けられ、第3プレート5にガス吹付のための第3連絡通路54が設けられているが、第2プレート4にガス吹付のための連絡通路が設けられ、第3プレート5にガス回収のための連絡通路が設けられても良い。
上記第1実施形態では、第2プレート4にガス回収のための第2連絡通路44が設けられ、第3プレート5にガス吹付のための第3連絡通路54が設けられているが、第1プレート3にガス回収のための連絡通路が設けられ、第2プレート4にガス吹付のための連絡通路が設けられても良い。
上記第2実施形態では、第2プレート4にガス吹付のための第4連絡通路46が設けられ、第3プレート5にガス回収のための第5連絡通路56が設けられているが、第1プレート3にガス吹付のための連絡通路が設けられ、第2プレート4にガス回収のための連絡通路が設けられても良い。
3 第1プレート
31 ガス吹付孔 32 ガス回収孔 33 第1傾斜溝 34 第2傾斜溝
35 第11回収集合孔 36 第11連絡通路
37 第12吹付集合孔 38 第12連絡通路
4 第2プレート
41 第2吹付孔 42 第2回収孔 43 第2回収集合孔 44 第2連絡通路
45 第2吹付集合孔 46 第4連絡通路
471 第21吹付孔 472 第22回収孔 473 第23吹付集合孔
474 第21連絡通路
481 第24吹付孔 482 第25回収孔 483 第26回収集合孔
484 第22連絡通路
5 第3プレート
51 第3吹付孔 52 第3回収孔 53 第3吹付集合孔 54 第3連絡通路
55 第3回収集合孔 56 第5連絡通路
571 第31回収孔 572 第32吹付孔
581 第33吹付孔 582 第34回収孔
6 ガス供給部
61 ガス供給路 611 形成壁
7 ガス回収部
71 ガス回収路 711 形成壁
8 シール部材 9 シール部材
10 シャワープレート装置
11 基板
12 ボックス
12a 側壁 12b 床板 12c 孔 12d スリット
13 チャンバー
14 支柱
15 反応室
16 搬送ローラ
Claims (8)
- 基板の表面にガスを吹き付ける、シャワープレート装置であって、
前記シャワープレート装置は、ガスを吹き付けるシャワープレートを備えており、
前記シャワープレートは、複数のプレートを備えており、
前記複数のプレートは、隣り合うプレート同士がシール部材を介して互いに面接触するよう積層されており、
最も基板側の第1プレートには、複数のガス吹付孔及び複数のガス回収孔が形成されており、
前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第2プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する第2吹付孔と、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する第2回収孔と、前記各第2回収孔と連通する1つの第2回収集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記各第2吹付孔と連通する第3吹付孔と、前記第2回収集合孔と連通する第3回収孔と、前記各第3吹付孔と連通する1つの第3吹付集合孔と、を備えており、
前記第3吹付集合孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第3回収孔と前記ガス回収部とが接続されており、
前記第1プレート、前記第2プレート及び前記第3プレートにおける、各吹付孔と吹付集合孔、及び、各回収孔と回収集合孔とは、プレートに加工された溝状の連絡通路によって連通しており、
各吹付孔と吹付集合孔とを連通する連絡通路と、各回収孔と回収集合孔とを連通する連絡通路とは、異なるプレートに形成されていることを特徴とする、シャワープレート装置。 - 基板の表面にガスを吹き付ける、シャワープレート装置であって、
前記シャワープレート装置は、ガスを吹き付けるシャワープレートを備えており、
前記シャワープレートは、複数のプレートを備えており、
前記複数のプレートは、隣り合うプレート同士がシール部材を介して互いに面接触するよう積層されており、
最も基板側の第1プレートには、複数のガス吹付孔及び複数のガス回収孔が形成されており、
前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第2プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する第2吹付孔と、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する第2回収孔と、前記各第2吹付孔と連通する1つの第2吹付集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記第2吹付集合孔と連通する第3吹付孔と、前記各第2回収孔と連通する第3回収孔と、前記各第3回収孔と連通する1つの第3回収集合孔と、を備えており、
前記第3吹付孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第3回収集合孔と前記ガス回収部とが接続されており、
前記第1プレート、前記第2プレート及び前記第3プレートにおける、各吹付孔と吹付集合孔、及び、各回収孔と回収集合孔とは、プレートに加工された溝状の連絡通路によって連通しており、
各吹付孔と吹付集合孔とを連通する連絡通路と、各回収孔と回収集合孔とを連通する連絡通路とは、異なるプレートに形成されていることを特徴とする、シャワープレート装置。 - 基板の表面にガスを吹き付ける、シャワープレート装置であって、
前記シャワープレート装置は、ガスを吹き付けるシャワープレートを備えており、
前記シャワープレートは、複数のプレートを備えており、
前記複数のプレートは、隣り合うプレート同士がシール部材を介して互いに面接触するよう積層されており、
最も基板側の第1プレートには、複数のガス吹付孔及び複数のガス回収孔が形成されており、
前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第1プレートは、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する1つの第11回収集合孔、を備えており、
前記第2プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する第21吹付孔と、前記第11回収集合孔と連通する第22回収孔と、前記各第21吹付孔と連通する1つの第23吹付集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記第22回収孔と連通する第31回収孔と、前記第23吹付集合孔と連通する第32吹付孔と、を備えており、
前記第32吹付孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第31回収孔と前記ガス回収部とが接続されており、
前記第1プレート、前記第2プレート及び前記第3プレートにおける、各吹付孔と吹付集合孔、及び、各回収孔と回収集合孔とは、プレートに加工された溝状の連絡通路によって連通しており、
各吹付孔と吹付集合孔とを連通する連絡通路と、各回収孔と回収集合孔とを連通する連絡通路とは、異なるプレートに形成されていることを特徴とする、シャワープレート装置。 - 基板の表面にガスを吹き付ける、シャワープレート装置であって、
前記シャワープレート装置は、ガスを吹き付けるシャワープレートを備えており、
前記シャワープレートは、複数のプレートを備えており、
前記複数のプレートは、隣り合うプレート同士がシール部材を介して互いに面接触するよう積層されており、
最も基板側の第1プレートには、複数のガス吹付孔及び複数のガス回収孔が形成されており、
前記シャワープレート装置は、基板側から順に、前記第1プレート、第2プレート、第3プレートを備えており、
さらに、ガスを供給するガス供給部と、ガスを回収するガス回収部と、を備えており、
前記第1プレートは、前記第1プレートの前記各ガス吹付孔と連通する1つの第12吹付集合孔、を備えており、
前記第2プレートは、前記第12吹付集合孔と連通する第24吹付孔と、前記第1プレートの前記各ガス回収孔と連通する第25回収孔と、前記各第25回収孔と連通する1つの第26回収集合孔と、を備えており、
前記第3プレートは、前記第24吹付孔と連通する第33吹付孔と、前記第26回収集合孔と連通する第34回収孔と、を備えており、
前記第33吹付孔と前記ガス供給部とが接続され、前記第34回収孔と前記ガス回収部とが接続されており、
前記第1プレート、前記第2プレート及び前記第3プレートにおける、各吹付孔と吹付集合孔、及び、各回収孔と回収集合孔とは、プレートに加工された溝状の連絡通路によって連通しており、
各吹付孔と吹付集合孔とを連通する連絡通路と、各回収孔と回収集合孔とを連通する連絡通路とは、異なるプレートに形成されていることを特徴とする、シャワープレート装置。 - 前記シャワープレート装置は、移動する前記基板に対してガスを吹き付けるようになっており、
前記第1プレートには、前記ガス吹付孔が、前記基板の移動方向に対して直交する方向に沿って、第1所定間隔を有して配列されて、ガス吹付孔列を形成しており、また、前記ガス回収孔が、前記基板の移動方向に対して直交する方向に沿って、第2所定間隔を有して配列されて、ガス回収孔列を形成しており、
前記ガス吹付孔列と前記ガス回収孔列とが、前記基板の移動方向に沿って、第3所定間隔を有して交互に配置されている、請求項1〜4のいずれか1つに記載のシャワープレート装置。 - 前記第1プレートには、前記各ガス吹付孔列を囲むように第1傾斜溝が形成されており、また、前記各ガス回収孔列を囲むように第2傾斜溝が形成されている、請求項5記載のシャワープレート装置。
- 前記連絡通路における、前記各吹付孔と前記吹付集合孔との距離は、それぞれ同じとなっており、また、前記各回収孔と前記回収集合孔との距離は、それぞれ同じとなっており、
前記シール部材は、前記第1プレート、前記第2プレート及び前記第3プレートと外寸が同形のシート形状を有しており、当接する前記第1プレート、前記第2プレート、前記第3プレートの表面に形成された孔や溝と同じ形状の孔が形成されている、請求項1〜6のいずれか1つに記載のシャワープレート装置。 - 前記シャワープレート装置は、前記基板の側方及び下方を囲むボックスを備えており、
前記シャワープレートは、前記ボックスの上壁を構成している、請求項1〜7のいずれか1つに記載のシャワープレート装置。
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