494466 ΑΊ Β7 五、發明説明（1 ) 發明所購持術領城 本發明係將盤板（tray)上之1C予Μ移送，例如將之插 接在老化測試（burn-in)製程所用基板上之1C插座，或反 之將1C自插座拔取而移送至盤板上，所用之1C裝卸裝置及 其裝卸頭有關者。 >义件夕抟街 Μ往，經製造完成之IC(IC package),係在高溫下例 如在120〜130TC予Μ —定時間之通電作老化測試（burn-in test),然後再進行電氣方面的動作試驗。在上述之老化 測試製程，係Μ將1C裝設在基板上所排列之複數之1C插座 ，亦即，Μ電氣連接之狀態下，將基板送入老化測試爐內 。因此，在老化測試製程之前後，則需對基板上之1C插座 施予將1C移送並予Μ裝卸，1C裝卸裝置係為因應此一作業 而使用。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第24圖是表示Μ往之1C裝卸裝置之一例子之斜視圖。 圖中，搭載有複數之1C插座（圖中未示出）之基板（測試用 基板）1,係經由基板搬送部2,自基板匣UagaZine)3，逐 個予Μ搬出。在基板搬送部2之附近，則設有收容複數之 盤板4之盤板收容部5。各別之盤板4上，則可載置複數 之1C (圖上未示出）。 基板1與盤板4之間之1C移送係經由機器人本體6執 行，而在機器人本體6,裝載有兩具用以吸住1C並予保持 之裝卸頭7。該兩具裝卸頭7之裝設間距，可相應基板1上 之1C插座之間距以及盤板4之1C收容間距而予Μ調整。又 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 1 38909 494466 Λ 7 Β7 五、發明説明（2 ) 在機器人本體6,另裝載有搬送盤板4所用之盤板夾爪部8 〇 其次，說明相關之操作情形。例如，擬將盤板收容部 5所收容之盤板4上之1C移裝於基板1上之1C插座時，則 由機器人本體6將裝卸頭7移動至盤板4之1C上面，並將 兩個1C予以吸著。然後，再將裝卸頭7移動至基板1之1C 插座上面，將1C插裝於1C插座內，並解除吸著。 此時，在1C插座設有用Μ開閉接觸器（contact)之蓋 罩，經以裝卸頭7將此蓋罩按壓，使接觸器在開啟狀態下 將1C放置在1C插座上。然後，將裝卸頭7往上移動，藉此 K解除蓋罩之按壓，使接觸器閉合，便可使1C保持於1C插 座內。又，在裝卸頭7的1C之定位，係將1C之肩部以夾爪（ 未圖示）自四方予K矯正之方式而行之。 如此，自盤板4將1C每次兩個移裝至基板1之1C插座 內，迄至基板1之全部1C插座裝滿，其次之基板1再由基 板搬送部2予Μ供給。又，盤板4之全部1C如均已移出， 則由盤板夾爪部8可再供給新的盤板4。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如上所述，將在1C插座已將1C裝妥之基板予Μ收容在 測試爐（未圖示），而進行老化測試。經老化測試後，再與 上述相反的操作順序，將1C插座之1C移回至盤板4。 本發明所欲解決夕誤頴 如上述構成之以往之1C裝卸裝置，則在基板1上與盤板 4上之間，裝卸頭7必需往復操作多次，致作業效率低， 1C之移送時間耗時。又，對1C插座裝卸1C之際，一般乃須 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 2 38909 494466 A7 B7 五、發明説明（3 ) 藉由裝卸頭之插座按壓部（未圖示）來按壓插座之蓋罩，然 而1C插座因需因應所欲裝之1C而有各種不同之尺寸，故須 預先儲備眾多具有能對應於各種1C插座尺寸之插座按壓部 之裝卸頭，而每在1C及其插座之種類改變時即必需將裝卸 頭整體予Μ改換。惟，因此種裝卸頭之換裝操作，需停止 運轉約達15至20分鐘Μ上，招致作業效率之低下。特別是 隨着多種類而少量生產方式之製品增多，裝卸頭之改換次 數也跟著增加，其在改換所耗時間以及所需勞力所造成對 作業效率面之影響非常之大。 另一方面，雖然也有一種利用裝載有眾多能對應特定 尺寸之1C之裝卸頭之機器人，俾同時移送多數1C之裝置， 但乃如上逑，不適於多種類而少量方式之生產，致忙碌於 應付異於所對應之尺寸不同之尺寸之期間，裝置全部則將 被迫停止。 本發明係針對解決上述問題為課題而完成者，其目的 乃在於能求得可提昇作業效率，且可縮短基板與盤板之間 之1C移送時間之1C裝卸裝置Κ及其裝卸頭。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 解決間頴夕丰段 一種1C裝卸裝置，具備有：一盤板供給部，用Μ供給 裝載有複數個1C之盤板；一基板供給部，用以供給具有由 按壓可動部而使之位移即可將1C裝卸之複數個1C座之基； 一機器人本體，用以在供給於盤板供給部之盤板與供給於 基板供給部之基板之間，將1C予Κ移送；一裝卸頭，具有 被支撐在機器人本體之裝卸頭本體，及複數個分別用Κ吸 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 3 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（4 ) 著保持1C之保持部，該保持部係可轉動移動地裝載於裝卸 頭本體上，且將用以定心1C之定心凹部，與用K按壓可動 部之插座按壓部一體形成而成之定心具，可裝卸地支撐在 該裝卸頭本體；Μ及一控制部，用Μ控制機器人本體及裝 卸頭之動作。 申請專利範圍第2項之發明之1C裝卸裝置，係具備設 在機器人本體動作範圍内，具有將在盤板與基板間移送途 中之1C予以收容之複數之1C支持部之暫置台者。 申請專利範圍第3項之發明之1C裝卸裝置，係在機器 人本體之動作範圍內，配置可將尺寸相異之複數組之定心 具（centering jig)予Μ放置之定心具存放台者。 申請專利範圍第4項之發明之1C裝卸裝置之裝卸頭， 係具備有：一裝卸頭本體，被支撐在機器人本體；及複數 個保持部，用Μ吸著保持1C,係可轉動移動地裝載在裝卸 頭本體，且分別設有於對1C插座裝卸1C時用Μ按壓該1C插 座的可動部之插座按壓部者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 申請專利範圍第5項之發明之1C裝卸裝置之裝卸頭， 係在各保持部分別設有可分別上下動作，用Μ吸著1C之吸 著組合體，而將此等複數之吸著組合體予Μ上下動作之共 通之吸著部驅動裝置係設在裝卸頭本體上者。 申請專利範圍第6項之發明之1C裝卸裝置之裝卸頭， 係在裝卸頭本體設有將複數之保持部予Μ固定而可回轉的 分度（index)板，又使用具有與分度板相對向之旋轉致動 器，Μ及Μ繞着此旋轉致動器轉軸旋轉而用Μ抬舉吸著組 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 4 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 , 心 ，解設 ，之以 定 定er, ,, 推 具係動 頭定 頭 K 係 頭轉及之 在ap頭 。頭缸一且其復 卸之 卸用置 卸回 ，輪 係(t卸者 卸氣第 ，，往 裝成 裝而裝 装可器心 ，拔 裝達裝一的部條作 之形 。之 ，除 之 而動偏 頭推 之馬 之第沒 端齒而 置體者 置器解 置 定致之 卸之 置服 置一出 後一沒 裝一部裝持具 裝 固轉移 裝置 裝伺裝；可之；出 卸部持卸夾心 卸 Μ 旋位 之位 卸之 卸架且 缸稈之 裝壓保裝之定 裝予之器 卸之 裝動裝頭，氣推桿 ο1C按各1C住之1C部向持 裝部1C移1C頭架一二推 者 之座在 之夾通 之 持對夾 之持 之動 之卸頭 第第二 置明插 撐明以 共 明 保相使 明保 明轉 明裝頭 該之第 裝 發及支發予之 發之板 Μ 發於 發部 發一卸 在沒及 動 之部態 之具住 之數度轉 之對 之持之 ··裝合出一 驅 項凹狀 項心夾 項 複分回 項具 項保 項有在结上第 部 7 心之 8 定的 9 將與軸10心11使12具定係線依 著 第定卸 第 將器 第 有有轉 第定 第有 第用固 其軸可 吸 圍之裝圍有持 。圍 設具器 Q 圍定0圍設圍使被 ，之 ， C 者 之範 1以範設夾者範體用動者範決 範體範體係缸桿桿 面 輪利位予利部之體利本使致置利以Μ利本利本部氣推推 心專定別專持數本專頭又轉裝專用 έ 專頭專頭端二 一 二 偏請Μ分請保複頭請卸 ，旋除請有Κ3請卸請卸前第第第 之申用可申各等卸申裝板此解申設 1 申裝申裝有一在在 體 將， 在此裝 在度着具 具 Η 在 在具；可接 合 係具 係除在 係分繞心 心 ί 係 係其桿有連 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 5 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（6 ) 作；Μ及一小齒輪，其係用以與齒條相嚙合，Μ使保持部 轉動移動者。 發明夕g淪形態 以下就本發明之實施之形態，依附圖加以說明之。 管浦？之形雜1 第1圖係本發明之實施之形態1所示1C裝卸裝置之斜 視圖。第2圖係第1圖之裝置之平面圖。在設置台11之上 面設有可將堆積多層之複數之盤板（tray)4慢慢推昇而供 給之兩台盤板推昇裝置12及16,各盤板4係構成為可將複 數之1C 13予Μ定位而裝載。 可供盤板提昇裝置12或16移送盤板移送之用之盤板台 (tray table)14,係鄰接於盤板推昇裝置12之一側而設置 。盤板台14設有可支撐兩個盤板4並能旋轉之盤板接受台 15,而將此盤板接受台15回轉180° ,便可使盤板接受台 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 15上之兩個盤板4之位置互相調換。在盤板推昇裝置12、 16與盤板台14之間之盤板4之搬送，係由盤板搬送裝置17 所執行。又，盤板供給部18即係由上述之盤板推昇裝置12 與16,盤板台14M及盤板搬送裝置17所構成。 可昇降地收容有複數之基板老化測試基板1之基板架 19,係安置在裝置台11上之規定位置。在裝置台11上面設 有作為基板供給部之基板台20,此基板台20設有可支撐兩 個基板1並能旋轉之基板接受台21,而將此基板接受台21 旋轉180° ,便可使基板接受台21之兩個基板1之位置互相 調換。在基板架19與基板台20之間之基板1之搬送，係由 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 6 38909 494466 A7 B7 五、發明説明（7 ) 在裝置台11上所設基板搬送裝置23所執行。 又，在裝置台11上面，設有在盤板台14上之盤板4與 基板台20上之基板1之間將1C予以移送之機器人本體24。 在此機器人本體24,則可上下動作地支撐有可同時移送複 數個（在此為三個）IC 13之裝卸頭25,此外，在利用機器 人本體24的裝卸頭25之移動範圍內，設有用Μ支撐將裝載 於裝卸頭25之複數組之定心具（centering jig)27之定心 具存放台（centering jig stocker)28。在此定心具存放 台28上面，則存放著可對應於相異尺寸之1C 13之複數組 之備用定心具27。 在裝置台11上所設透明之蓋罩29則固定有操作盤30。 在裝置台11之內，則收容有具有程序控制器而用Μ控制機 器人本體24Μ及裝卸頭25之動作，同時，控制本裝置全體 蓮轉之控制部70,操作盤30係電性連接於此控制部70。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在裝置台11上面之機器人本體24之動作範圍内，設有 具有用Μ收容在盤板4與基板1之間，被移送途中之1C 13之複數之1C支持部31a之暫置台（temporary storing stage)31,暫置台31之1C支持部31a係對應於複數（在此為 兩種）之尺寸之1C 13而予Μ形成者。 其次，將有關本裝置全體之基本動作予Μ說明之。 先將裝載有老化測試前之1C 13之複數之盤板4 Μ積層方 式予Μ收容之盤板匣（tray magazine)4A載置於盤板推昇 裝置12,同時將老化測試後之複數之基板1予以收容之 基板架19,裝结在規定之位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 7 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（ 盤匣 作板 操盤 將將 , 即 後 ， 然12 置 裝 轉 邊 始 開 作 操M 予 昇 推 媛 媛 4 板 盤 之 内 昇部 推頂 板最 盤 而 受送 接搬 板被 盤亦 之 4 14板 台盤 板個 盤 一 至次 送而 锻 ϋν f 17轉 置 反 裝即 送14 搬台 板板 由 ， 則後 4 此 板 〇 1 5 盤 1 之 台 台 板 基 在 送 搬 ii 板 基 個 兩 將 地 樣 同 Ο 上 之 4 11 台 板 盤 至 面 上 台 板 基 至 動 移 5 2 頭 卸 裝 將 4 2 體 本 人 器 機 由 態 狀 此 在 三 之 後 試 測 過 經 將 上 1X 板 基 之
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13之尺寸有變更時，則將有關 1C 13之種類資料輸入於操作盤30。依此，裝卸頭25將被 移動至備用定心具存放台28上，自動進行更換為能對應於 1C 13尺寸之定心具27。在本例子，由於在一個裝卸頭25 上裝載有三個定心具27,因此這些三個定心具27需要全部 換成為相異之尺寸者。 如上所述，由於裝卸頭25每次可移送複數（在本例子 為三個）IC 13,故裝卸頭25在基板1上與盤板4上之間往 復的次數將會減少，因而可使作業效率提高，而作業時間 可予Μ縮短。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，基板1之更換係藉基板台20,盤板4之更換係藉盤 板台14而均能瞬時完成，所以並無此等更換作業所造成之 裝置被迫停止之時間，故作業效率可更為提昇。又，對於 1C 13之種類之變更，則不再需要調換整個裝卸頭25,而 僅將定心具27施予短時間之自動方式之更換即可，故有關 改變1C 13之種類所附帶之作業之效率亦得以提高。 又，1C 13之移動順序，並不限定於上面所述者。例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ 297公釐） 9 38909 494466 A7 B7 五、發明説明（10 ) 如，最初先將盤板4上之測試前之1C 13予Μ移送至暫置 台3 1上，亦靥可行。 又，如將已空出之盤板4或已空出之基板1中任一先 搬送至盤板台14或基板台20之上，即可不必使用暫置台31 便可將測試前之1C 13與測試後之1C 13互相對換。另，如 預先空出最初之盤板4之三個份1C位置或基板1之三個1C 插座1Α,亦不必使用暫置台31,即可將測試前之IC13與測 試後之1C 13互相調換。 其次，就第1圖之1C裝卸裝置之各部予Μ詳细的說明 。第3圖係表示基板1之一例子之平面圖。在圖中，基板1 之上面，排列著複數之1C插座1Α,並設有對此等1C插座1Α 通電所需用之配線圖形（未圖示）。又，在基板1之一端部 設有連接器1Β可供插入老化測試爐（未圖示）內之連接部而 予Μ電氣連接。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第4圖係表示1C插座1Α之一例之平面圖，第5圖是第 4圖之斷面圖，第6圖是第4圖之蓋罩予Κ按壓之狀態之 平面圖，第7圖是第6圖之斷面圖。1C插座1Α之基座35上 ,可彈性變形之複數之接觸銷36係對應於1C 13之外部導 線而設置。此等接觸銷36靠其彈性力可由上面壓住外部導 線。又，基座35上，設有可做為與全部接觸銷36相接合的 可動部之蓋罩37。在蓋罩37之中央部，設有可讓IC13穿過 之開口 37a。 如此構成之1C插座1A,在裝卸1C 13時，蓋罩37係由 裝卸頭25(第1圖）予以均勻按壓。因此，全部之接觸器銷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 10 38909 494466 A7 _B7__ 五、發明説明（11 ) 36即彈性變形，如第7圖所示般，使外部導線13a解放。 當蓋罩37之按壓被解除時，蓋罩37即向上移動，接觸器銷 36即恢復其原狀，外部導線13a即被接觸器銷36所壓住。 如此，外部導線13a與接觸器銷36即可電氣連接。 其次，就裝卸頭25之構造予Μ說明。第8圖係表示第 1圖之裝卸頭25之正面圖，第9圖是第8圖之ΙΧ-ΙΧ線之 斷面圖。在圖中，由機器人本體24所支持而可上下動作之 裝卸頭軸41之下端，固定有裝卸頭架42。在此頭架42,將 介Μ間隔件（spacer)44裝設有伺服馬達43。由伺服馬達43 所轉動之軸45,係在間隔件之內側經由球軸承46予K支承 0 在軸45上，Μ螺栓48連结有與該軸45 —同旋轉之分度 (index plate)板.47。在該分度板47上，則Μ分度板47之 中心為中心而Μ放射狀配置有用Μ將1C 13吸附保持之第1 至第3保持部49Α〜49C。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 各保持部49Α〜49C具有固定於分度板47之保持部架50 。又，各保持部49Α〜49C經由LM軸承（Linear Motion Bearing)50A設有如第9圖所示之可上下方向往復移動之 吸著組合體（suction assembly)54。此吸著組合體54,具 有用以吸住1C 13之吸著軸51,固定於吸著軸51而形成扣 合部52a之板52,以及與吸著軸51相平行而固定於板52而 經由LM軸承50A所承導之兩根導稈53。又，吸著組合體54 係由螺旋彈簧55施加向第9圖之下方之彈簧力。 此外，各保持部49A〜49C具有將1C 13予Μ定中心之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 11 38909 494466 A7 B7 五、發明説明（12 ) 定心具2 7。此等定心具2 7 ,則設有將I C 1 3予以定位之定 心凹部27a。此定心凹部27a之側壁，係圼可供與1C 13之 外部導線13a接觸之推拔（taper)斜面。又，定心凹部27a 之側壁，為使定心能順利而施以鏡面加工。又，在定心 具27之下端部之定心凹部27a之周圍，一體形成有用 Μ將1C插座1A蓋罩37予以均勻按壓之插座按壓部27b。 再者，如第10圖及第11圖所示，在定心具27分別設有 :可供吸著軸51之前端部貫穿之軸孔27c,可供導桿53插 入之兩個導孔27d,被推壓於保持部架50之推拔狀定位基 準面27e, Μ及推拔狀之夾持（clamp)面27f。 在各保持部架50,設有保持定心具27之保持機構56。 此保持機構56具有K支點銷57為中心回轉之夾持器（ clamper),固定在此夾持器58之槓桿59, Μ及向按壓定心 具27之夾持面27f之方向對夾持器58施加彈簧力之螺旋彈 簧60。如上述，保持部49A〜49C分別設有保持部架50,吸 著組合體5 4 ,螺旋彈簧5 5 ,定心具2 7 ,以及保持機構5 6。 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在頭架42, K上下並排方式固定有對向著分度板47之 第一及第二之旋轉致動器（氣動致動器）61及62,此等旋轉 致動器61及62,則分別連接有繞着其軸回轉即能向第9圖 所示之上下方向移動之偏心輪63及64。偏心輪63係與板52 之扣合部5 2 a抵接，偏心輪6 4則與槓桿5 9抵接。 本例之裝卸頭本體69設有：裝卸頭軸41,頭架42,伺 服馬達43,軸45,分度板47,第一及第二旋轉致動器61及 62, Μ及偏心輪63及64。又，吸著部驅動裝置65則具有第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 12 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（13) 一旋轉致動器61及偏心輪63。而，夾具Uig)解除裝置66 則具有第二旋轉致動器6 2及偏心輪6 4。 在如此之裝卸頭25,經由伺服馬達43之驅動使軸45回 轉，同時分度板47亦回轉。由於在分度板47上固定有三個 保持部49A〜49C,故控制伺服馬達43,便可將保持部49A 〜49C由第8圖之狀態轉動移動至如第12圖或第13圖所示 之狀態。然後，在第8圖之狀態則為保持部49 A,在第12 圖之狀態則為保持部4 9 B ,在第1 3圖之狀態則為保持部4 9 C ,分別進行各自所對應之作業，亦即1C 13之裝卸作業Μ 及定心具27之交換作業。 其次，將裝卸頭25之動作加Μ說明之。如欲將由裝卸 頭25所保持之測試前之1C 13予以連接至已空出之1C插座 1Α時，則如第14圖所示，先將裝卸頭25移動至1C插座1Α 之正上方。此時，吸著組合體54,便藉由偏心輪63抗拒螺 旋彈簧55之彈力而被推上來，使得吸著軸51之前端部所吸 著之1C 13乃在定心凹部27a之內側被定心而予Μ保持。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 然後，如第15圖所示，裝卸頭25整體往下移動，由定 心具27之插座按壓部27b將1C插座1Α之蓋罩37壓下推壓接 觸器銷36而使其彈性變形。其次，如第16圖所示，由第一 旋轉致動器61使偏心輪63向如圖之下方回轉移動，因而與 扣合部5 2 a間之扣合狀態被解除。因此，吸著組合體5 4便 藉螺旋彈簧55之彈簧力並由LM軸承50A之導引下向下移動， 使得IC13由定心具27上移動至1C插座1A上。 _然後，解除吸著軸51對於1C 13之吸著，並使裝卸頭25 3 8 9 0 9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐1 13 494466 A7 B7 五、發明説明（l4) 向上移動至規定之高度。此時，1C插座1A之接觸器銷36 復元，而與1C 13之外部導線13a接觸，同時蓋罩37向上移 動至原位。其次，伺服馬達43被驅動，分度板47按規定之 角度而回轉，同時裝卸頭25被移動至次一個1C插座1A之上 。如此，與上述同樣地，1C 13被連接至1C插座1A上。 在保持部49A〜49C所保持之測試前之三個1C 13全部 被連接至1C插座1A之後，按照與上述相逆反之順序，連接 在1C插座1A而經測試後之1C 13將被裝卸頭25予以拔取， 並移送至盤板4之上。 其次，就1C 13之種類（尺寸）有改變時，將1C裝卸裝 置之動作情形加以說明之。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 作業員先對第1圖之操作盤30,輸入Μ種類變更蓮轉 之指令，同時將有關新1C 13之種類以及使用之1C插座1 A 等資料中必要之資料予Μ輸入。據此，機器人本體24得獲 控制，裝卸頭25乃被移動至定心具存放台28之上。在控制 部70之記憶體中，有關定心具存放台28上面之各定心具27 之存放位置則業已預先予Κ輸入而加Μ記憶，因之裝卸頭 25可即依據此一資料而正確的移動至目前所載放之定心具 27之存放位置上。 然後，第二旋轉致動器62被驅動，偏心輪64被轉動移 動，槓桿59被推壓。而夾持器58即抗拒螺旋彈簧60之彈力 而向如第8圖之順時鐘方向回轉。據此，夾持器58將自定 心具27之夾持面27f離開。在此狀態，裝卸頭25將向上移 動，因而將定心具27予以釋放。頭一個定心具27被釋放後 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 14 3 8 9 09 494466 A7 _ B7 五、發明説明（15 ) ,分度板47即轉動，同時裝卸頭25被移動，因而所餘兩個 定心具27將依序被釋放於定心具存放台28之上。 全部定心具被釋放後，裝卸頭25即如第17圖所示移動 至次一擬裝上之定心具27之上方。此時，保持部49A之夾 持器58係在開啟狀態。然後，如第18圖所示裝卸頭25將向 下移動至定心具27之上方，第二旋轉致動器62被驅動，Μ 解除偏心滾軸64對於槓桿59之推壓。结果，夾持器58即為 螺旋彈簧60所推壓而被推向於定心具27之夾持面27f。因 此，定心具27便以被定位在保持部49A之狀態下，得K保 持之。 然後，如第19圖所示，裝卸頭25即向上移動。然後， 轉動分度板47,同時裝卸頭25則移動至次一個定心具27之 上方，並與上述同樣地，對保持部49B及49C亦分別依序裝 上定心具2 7 ,即可完成定心具2 7之交換作業。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如使用備有此種裝卸頭25之1C裝卸裝置，即使予Μ變 更測試對象1C 13之大小規格，則亦不再需要將整個裝卸 頭25予Κ調換，所Μ可節省裝卸頭25之更換時間，因而可 將作業效率大幅予以提昇。而且，如將有關1C 13之資料 預先記憶在控制部70,即能自動執行定心具27之更換作業 ，故作業效率可更上一層。 又，由於使用伺服馬達43及分度板47等簡單之構造， 即可將三個保持部49Α〜49C之位置很容易地轉動並分度定 位（indexing)。又，由於僅藉一個吸著部驅動裝置65，即 可將三個保持部49A〜49C之吸著軸51予Μ移動，整體構造 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） " 15 38909 494466 A7 B7 五、發明説明（16 ) 簡單而精巧。而且，由於僅藉一個夾具解除裝'置66即可將 三個保持部49A〜49C之定心具27予K裝卸，所Μ構造既簡 單又使全體更見精巧。 又，由於在定心具27設有推拔狀之定位基準面27d, Μ及夾持面27f,故可Μ精簡之構造進行定心具27之定位， 避免定心具27之互相干涉。 此外，如1C 13之尺寸有變更時，1C插座1Α之尺寸亦 須跟著改變，但由於預先已將相應於1C 13尺寸之插座按 壓部27b形成在定心具27上，故僅將定心具27予Κ交換， 也可同時對應於1C插座1A之尺寸變更，是故裝卸頭25之構 造很簡單。 啻賺夕形態2 其次，第20圖係依據本發明之實施形態2之裝卸頭之 正面圖。圖中，固定於分度板47之小齒輪71係Μ分度板47 之回轉中心為中心而與分度板47—體回轉。在頭架42,固 定有向圖中之左右延伸之齒條導（rack guide)72。與小齒 輪71相嚙合之齒條73係可沿齒條導72做往復動作。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在頭架42,固定有氣缸支持部74。在此氣缸支持部74 則固定有第一氣缸75之能出沒之第一推桿76之前端部。第 一氣缸75之後端部則固定有第二氣缸77之後端部。而第二 氣缸77,則具有在第一推稈76軸線上能出沒之第二推桿78 ，此第二推桿78之前端部則對於齒條73而固定。其他之構 造，則與上述實施之形態1相同。 _其次，說明相關動作。如第20圖所示，兩個氣缸75與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 16 38909 494466 A7 B7 五、發明説明（17 ) 77之推稈76、78在突出之狀態，乃是保持部49 A位在其作 業位置。由此狀態，如將第一氣缸75之第一推桿76予以後 退，則因第一推桿76之前端部係固定於氣缸支持部74,故 如第21圖所示，第一氣缸75之本體將向圖之右方移動。因 而第二氣缸77,即將以其第二推桿78在突出狀態下，整體 向右方移動，齒條73亦隨第一推桿76之後退量向圖之右方 移動。 因齒條73之移動，小齒輪71即與分度板47同時回轉。 因此，如第21圖，保持部49B就移動至其作業位置。再由 此狀態，如將第二氣缸77之第二桿78向圖之右方予Μ後退 時，如第22圖所示，齒條73亦隨其後退量向圖之右方移動 ，使小齒輪71與分度板47亦同時回轉。因此，保持部49C 可移動至其作業位置。將保持部49Α〜49CK逆反方向回轉 移動時，可Κ與上述相反之順序予以控制氣缸75與77。 以此種裝卸頭25,將兩個氣缸75、77之推桿76、78分 別前進或後退之簡單之控制，即可使三個保持部49Α〜49C 很正確而且迅速地回轉移動。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 管施之形態3 在上述實施形態1,係伺服馬達43直接轉動分度板， 惟，例如第23圖所示，在伺服馬達81之軸上裝設蝸桿82, 再將與此蝸桿82相嚙合之蝸輪83固定於分度板47也可。 又，在上述之例子，係就具有三個保持部49Α〜49C之 裝卸頭25加以說明，但保持部之數目並不予限制，只要是 有複數個即可，因此，如予增加保持部之數目，在基板1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 17 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（18 ) 與盤板4之間之裝卸頭2 5之移動次數則可更加予Μ減少。 又，在上述之例子係僅使兩種定心具27可予交換之情 形加以說明，但若將備用定心具存放台28之面積予Μ加大 ,則也可存放三種Μ上之備用定心具。 又，上述實施型態係就有關老化測試製程加Μ說明， 然若對於老化測試製程之前及之後所作電氣動作試驗，只 要亦有必要將1C裝卸於1C插座時，本發明之裝置亦可加Μ 適用。 發明夕效果 如以上之說明，申請專利範圍第1項之發明之1C裝卸 裝置，因設有可回轉移動而具複數之保持部之裝卸頭，因 而在基板上或在盤板上可連續的對複數個之1C進行裝卸作 業，且可同時保持複數個之I並予移送，因此可使作業效 率提高並縮短作業時間。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 申請專利範圍第2項之發明之1C裝卸裝置，由於在機 器人本體之動作範圍內，設有具備將在盤板與基板之間移 送途中之1C予以收容之複數之1C支持部之暫置台，故在滿 載1C狀態之基板與盤板之間可進行1C之置換作業，可使作 業效率更加提昇。 申請專利範圍第3項之發明之1C裝卸裝置，由於在機器 人本體之動作範圍内，配置有可存放尺寸相異之複數組定心 具之定心具存放台，因此，更換定心具之作業可由機器人 本體以自動方式進行，因此，隨著改變1C尺寸所需之定心 具更換作業可Κ很容易的Κ短時間完成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 18 38909 494466 A7 B7 五、發明説明 19 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 , , 各動構 ，頭 及輪便 ，之時寸 ，將裝 頭在 頭 在移使 頭卸 ，心置 頭成更尺 頭且在 卸 此業高 卸 設下可 卸裝器偏裝 卸 形變之 卸 ，設 裝因作提 裝地上 ， 裝在動之動 。裝體寸座 裝部置 之 ，卸可 之動 Μ 此 之 設致體驅動之一尺插 之持裝 置 部裝而 置 移予因 置板 轉合部 移置係TCTC置保除 裝持行因 裝下體 ， 裝度旋組著下裝部在付 裝各解 卸保進 ， 卸 上合體 卸 分之著吸上卸 壓而應 卸在具 裝之地TC裝 別組本 裝 之向吸 之做裝按因時 裝設夾 1C數缅之1C分著頭1C動對舉造體1C座 ，同1C別之 之 複連個 之 可吸卸 之 轉相抬 構合之 插部可 之分通 明之TC數 明 體之裝 明 可板能 單組明 與持即 。明 器共 發 動之複 發 合數在 發之度 而簡著 發部保 ，造 發持之 之 移個送 之 組複設 之 部分轉W吸之凹 各換構 之夾 器 項轉數移 。項 著等置 項持 與回而 之項心 在更之 項之持 4 回 複並間 5 吸此裝 6 保有 軸因部 7 定設以 頭 8 具夾 第可對 持時第 之將動 。第 之具轉 ，持第之 別予卸第心之 圍有可 保業圍ICK 驅 巧圍數 用之置 保圍位 分具裝 圍定數 範設上 時作範著用部 精範複使器裝 之範定地心簡範住複 利頭板同短利吸將著體利有於動動數利1C卸定精利夾等 專卸 盤可縮 專 Μ 並吸 整專定 由致驅 複專以 裝將 可專以 此 請裝或 ， ，請用 ，之 而請固 且轉部 令請用 可僅故 請用除 申在上 且率申 將部通 單申將 ，旋 著別申 將具要 ，申將解 於板並效 於 持共簡 於體著吸分 於 心只更 於 Μ 由基 ，業 由保之造 由本繞之可 由定 ，變 由用 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（ 20 巧 精 為 更 體 整 而 單 簡 造 構 使 可 而 因 禮 本 頭 卸 , 卸 頭裝 卸在 裝設 之板 置度 裝分 卸之 裝轉 1C回 之 Μ 明可 發而 之部 項持 9 保 第之 圍數 範複 利有 專定 請固 申將 於 由 及夾 , 之 器輸 動 心 致偏 轉之 旋移 之位 向器 對持 相夾 板令 度而 分轉 與回 有軸 具轉 用器 使 動 且致 並轉 , 旋 體該 本著 頭繞 將 可 即 置 裝 除 解 具 夾 之 單 簡 造 構 由 經 可 故 置 裝 除 解 具 頭 卸 裝 之 置 裝 卸 〇 裝 放1C 釋之 別明 分發 Μ 之 予項 具10 心第 定 圍 之範 部利 持專 保請 之申 數 複 成 達 之可 位即 定造 Μ 構 予之 置巧 位精 之Μ 具故 心 ， 定具 的 心 部定 持在 保設 。 於面業 對準作 相基位 Μ 位定 用定之 將狀具 於拔心 由推定 , 體 頭本 。 卸頭動 裝卸移 之裝轉 置在回 裝設地 卸達實 裝馬確 1C服更 之伺部 明之持 發動保 之移使 項轉可 11回即 第部造 圍持構 範保之 利使單 專Μ簡 請用以 申將而 於因 由 ， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 , 齒式 頭小方 卸使制 裝 ，控 之作之 置動單 裝沒簡 卸出Μ 裝之能 1C桿而 之 推因。 明之 ，動 發些動移 之 這移轉 項 由轉回 12藉回 Κ 第 而部予 圍缸 持部 範氣保持 利個使保 專兩以 將 請用 ，的 申使轉確 於回正 由輪很 明 說 屋 簡 之 而 圖 之 置 裝 卸 裝 C I—I 之 11 態 形 之 施 實 明 發 本 依 示 表 為 圖 1 第 圖 視 斜 圖 面 平 之 置 裝 之 圖 11 第 為 圖 2 第 圖 面 平 之 子 例1 之 板 基 示 表 圖 3 第 圖 面 平 之 子 例1 之 座 插 C I 示 表 圖 4 第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 20 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（ 2 1 第 第第第 5 6 圖 面 平 之 下 態 狀 壓 按 〇 在 圖罩 面蓋 斷 之 之圖 圖 4 4 第 第 示 為表 圖圖 圖 面 斷 之 圖 6 第 為 圖 7 圖 面 正 之 頭 卸 裝 之 圖 1 第 示 表 圖 8 9 第 第第第 圖 so® 圖 斷 — 具 -I定 IX之 之圖 圖 0〇 8 第 第 示 為表 ΡΕ ΓΟ 圖 圖 態 狀 之 後 33 移 轉 回M 予 部 〇 持 圖保 面之 側 圖 之 8 圖第 10將 第示 為表 圖圖 圖 面 正 態 狀 之 後 動 移 轉 回Μ 予 部 持 保 之 圖 2 1Χ 第 將 示 表 圖 3 11 第 圖 面 正 面 斷 之 形 情 業 作 接 键 C I—I 在 頭 卸 裝 之 圖 8 第 示 表 圖 4 1 第 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖 態 狀 之 下 壓Μ 予 罩 蓋 之 座 插 C I—· 之 圖 4 11 第 將 示 表 圖 5 1 ο 第圖 面 斷 斷 之 態 狀 之 上 Kn S 插 C I—I 至 降 下 C T1 之 圖 5 11 第 將 示 表 圖 6 1X 第 圖 面 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之 形 情 業 作 換 交 具 心 定 在 頭 卸 裝 之 圖 8 第 示 表 圖 7 1X 第 圖 面 正 之 移 下 向 頭 卸 裝 將 上 具 心 定 之 圖 7 1—I 第 在 示 〇 表圖 圖面 18斷 第之 態 狀 移 上 向 頭 圖| 卸 面 裝 正 之 之 妥 頭 裝 卸 已 裝| 具 之 、/b2 定 態 之 形i 圖 之 18施 第 。實 將圖明 示面發 表斷本 圖之圖 19態20 第狀第 之 動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 2 1 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（2 2 ) 第21圖表示將第20圖之保持部予Μ回轉移動後之狀態 正面圖。 第22圖表示第21圖之保持部予Κ回轉移動後之狀態正 面圖。 第23圖為表示依本發明實施之形態3之裝卸頭之正面 圖。 第24圖表示Κ往之1C裝卸裝置之一例子之斜視圖。 圖而符虢^說明 1 基板
1 A 1C插座 4 盤板 13 1C 18 盤板供給部 2 0 基板台（基板供給部） 2 4 機器人本體 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 25 裝卸頭 2 7 定心具 27a定心凹部 27b插座按壓部 27e定位基準面 28 定心具存放台 31 暫置台 31a 1C支持部 37 蓋罩（可動部） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 22 3 8 9 0 9 494466 A7 B7 五、發明説明（2 3 ) 42 頭架 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 43 , 8 1 伺 服 馬 達 47 分 度 板 49 A 〜49C 保持部 54 吸 著 組 合 體 58 夾 持 器 61 第 一 旋 轉 致 動 器 62 , 64 偏心輪 63 第 二 旋 轉 致 動 器 65 吸 著 部 驅 動 裝 置 66 夾 具 解 除 裝 置 69 裝 卸 頭 本 體 70 控 制 部 71 小 齒 輪 72 齒 條 75 第 一 氣 缸 76 第 一 推 桿 77 第 二 氣 缸 78 第 二 推 桿 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 23 3 890 9