JPH08304510A

JPH08304510A - Ｉｃ着脱装置

Info

Publication number: JPH08304510A
Application number: JP11141295A
Authority: JP
Inventors: Fumihiko Ikeda; 文彦池田; Takayuki Maehara; 孝行前原; Hirobumi Tamura; 博文田村; Takeshi Kai; 剛甲斐; Mitsuzo Nemoto; 光造根本; Takashi Suzuki; 隆鈴木; Masaki Nakanishi; 正樹中西
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1995-05-10
Filing date: 1995-05-10
Publication date: 1996-11-22

Abstract

(57)【要約】【目的】優れたＩＣ搬送性を有するＩＣ着脱装置を提
供する。【構成】ＩＣ収納治具８を搬送するＩＣ収納治具用ロ
ーダ部３、ソケットがセットされているバーンインボー
ド７を搬送するバーンインボード用ローダ部１およびＩ
Ｃ収納治具用ローダ部３におけるＩＣ収納治具８にセッ
トされているＩＣをバーンインボード用ローダ部１にお
けるバーンインボード７にセットされているソケットに
搬送するＩＣハンドリング部６を有し、ＩＣの位置およ
びソケットの位置を認識する位置認識機構としてのＩＣ
認識用カメラ４およびソケット認識用カメラ５を有する
ものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ着脱装置に関し、
特に、半導体集積回路装置（本明細書においてＩＣと略
称する）の製造工程における選別工程においてバーンイ
ンボードへの効率的なＩＣの挿入および抜き取り作業が
できるＩＣ着脱技術に適用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣの製造工程における選別工程におい
て、エージングまたはバーンインと呼ばれるＩＣをスク
リーニングする工程がある。その作業はバーンインボー
ドと呼ぶ電気的特性試験用のプリント基板上の複数のソ
ケットにＩＣを収納し、そのバーンインボードをバーン
イン装置に収納して高温通電加速試験を行っている。

【０００３】バーンイン試験終了後、バーンインボード
をバーンイン装置から取り出し、バーンインボードより
ＩＣを抜き取り、ＩＣ収納治具にＩＣを収納する。この
時、バーンインボード上のソケットへのＩＣ挿入および
抜き取りをＩＣ着脱装置が行っている。

【０００４】本発明者が検討したＩＣ着脱装置におい
て、ＩＣのソケットへの挿入方法は、例えば面付けタイ
プのＩＣのハンドリングの際、ＩＣ挿入作業はＩＣ収納
治具に収納されたＩＣを位置決めされたバーンインボー
ド上の任意のソケット上へＩＣ着脱装置のＩＣハンドリ
ング部にて搬送している。ＩＣは、ソケット上における
数ｍｍの高さの地点より落下し、ソケットガイドに位置
決めされながらソケットに収納されている。この動作を
バーンインボード上の全ソケットに繰り返し行ないＩＣ
挿入を行なっている。

【０００５】また、バーンインボードは、ＩＣの品種お
よび形状などにより、電気配線およびソケットの形状と
配置が異なっている。ＩＣの形状は、多品種および多形
状にわたっており、バーンインボードもそれにあわせ多
種多様となっている。

【０００６】そのため、ＩＣ着脱装置において、多種の
ソケット配列のバーンインボードに対応するため、ソケ
ットの位置をハンドリング位置ポイントとして、初期設
定にて登録している。登録方法は、ティーチングと呼
び、大まかな位置まではデータ入力により自動設定可能
であるがソケットのバーンインボードへの組み付け精度
などの問題により、詳細ティーチングは、作業者が操作
し目視により位置合わせを行っている。

【０００７】なお、ＩＣ搬送装置について記載されてい
る文献としては、例えば特開平５−１５２３９６号公報
に記載されているものがある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前述したＩ
Ｃ着脱装置には種々の問題点があることを本発明者は見
い出した。

【０００９】すなわち、近年、ＩＣは多ピン化および小
型化が進んでいることにより、ＩＣリードピッチの狭ピ
ッチ化が要求されており、ＩＣのリードは非常に細くし
かも弱くなっている。

【００１０】そのため、特に0.４ｍｍ以下のリードピッ
チ（以下、ファインピッチと称する）のＩＣでは、高精
度な位置決め精度が必要となっている。しかしながら、
前述したＩＣ着脱装置は、ソケットへのＩＣ挿入方式が
ＩＣ落下ならい位置決め方式であることにより、ファイ
ンピッチＩＣのリードがソケットガイドなどに接触する
ので、リード曲がりおよびリードの挿入不良が発生する
という問題点がある。

【００１１】また、バーンイン装置も高機能化されてい
ることにより、バーンイン装置に簡易テスト機能を搭載
することが考えられる。その場合に、バーンイン装置で
テストした結果にもとづきバーンインボードからＩＣを
分類し抜き取る必要性があるが、前述したＩＣ着脱装置
を用いると、バーンインボードからＩＣを分類し抜き取
ることができないという問題点がある。

【００１２】本発明の目的は、優れたＩＣ搬送性を有す
るＩＣ着脱装置を提供することにある。

【００１３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を説明すれば、以下の
通りである。

【００１５】本発明のＩＣ着脱装置は、ＩＣ収納治具を
搬送するＩＣ収納治具用ローダ部、ソケットがセットさ
れているバーンインボードを搬送するバーンインボード
用ローダ部およびＩＣ収納治具用ローダ部におけるＩＣ
収納治具にセットされているＩＣをバーンインボード用
ローダ部におけるバーンインボードにセットされている
ソケットに搬送するＩＣハンドリング部を有し、ＩＣの
位置およびソケットの位置を認識する位置認識機構を有
するものとする。

【００１６】

【作用】前記した本発明のＩＣ着脱装置によれば、ＩＣ
の位置およびソケットの位置を認識する位置認識機構を
有することにより、ＩＣのハンドリング状態におけるＩ
Ｃの位置を検出することができると共にバーンインボー
ドにセットされているソケットの位置を検出することが
できる。

【００１７】そのため、ＩＣをソケットに挿入する際、
ＩＣの位置をソケットの位置に合わせて補正しながらＩ
Ｃをソケットに挿入することができることにより、ソケ
ットにＩＣの位置補正のならい機能が必要なく、ＩＣを
落下させずにダイレクトにソケットのコンタクトピン上
に挿入することができるので、ＩＣリードピッチの狭ピ
ッチ化がなされているファインピッチＩＣなどのソケッ
トへの挿入が高精度でしかも確実に行うことができる。

【００１８】また、位置認識機構および画像認識装置な
どを利用することができることにより、ＩＣの逆インデ
ックスの検査およびＩＣハンドリング部の位置ポイント
の自動ティーチングを行うことができるので、自動化率
を向上したＩＣ着脱装置とすることができる。

【００１９】さらに、バーンインボードに識別コードを
付加することによりデータベース通信システムを容易に
採用することができるので、バーンインボード・ソケッ
ト情報およびバーンインテスト結果などを識別コードを
利用してＩＣの着脱作業に採用できることにより、高効
率でしかも高機能なＩＣの着脱作業を行うことができ
る。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。なお、実施例を説明するための全図におい
て同一機能を有するものは同一の符号を付し、重複説明
は省略する。

【００２１】（実施例１）図１は、本発明の一実施例で
あるＩＣ着脱装置を示す概略構成図である。同図を用い
て、本発明のＩＣ着脱装置を具体的に説明する。

【００２２】本実施例のＩＣ着脱装置は、例えば画像認
識機構などの位置認識機構を備えているものである。

【００２３】図１に示すように、本実施例のＩＣ着脱装
置において、バーンインボードローダ部１はバーンイン
ボード７を搬送する領域であり、ＩＣ着脱ステージ２を
備えている。

【００２４】ＩＣ収納治具用ローダ部３は、ＩＣ収納治
具８を搬送する領域である。

【００２５】ＩＣハンドリング部６は、ＩＣ収納治具用
ローダ部３におけるＩＣ収納治具８からＩＣを取り出
し、バーンインボードローダ部１におけるバーンインボ
ード７にセットされているソケットにＩＣを搬送する機
能を有するものであり、位置認識機構としての例えばＣ
ＣＤ（charge coupled device)カメラなどのソケット認
識用カメラ５を備えている。

【００２６】また、バーンインボードローダ部１とＩＣ
収納治具用ローダ部３の間におけるＩＣハンドリング部
６の移動する領域に位置認識機構としての例えばＣＣＤ
カメラなどのＩＣ認識用カメラ４を備えている。

【００２７】図２は、ＩＣハンドリング部６の動きを示
す概略斜視図である。図２において、１０はＩＣ９のリ
ード、１１はＩＣ９のインデックス、１５はバーンイン
ボード７にセットされているソケットを示している。

【００２８】図３は、ソケット１５がセットされている
バーンインボード７を示す概略斜視図である。図３にお
いて、１２はボードアライメントマーク、１４はバーン
インボード基準穴を示している。

【００２９】図４は、ソケット認識用カメラ５によりソ
ケット１５を認識している状態を示す概略斜視図であ
る。また、図５は、ソケット１５にＩＣ９がセットされ
ている状態を示す概略断面図である。図４および図５に
おいて、１６はソケット認識用マーク、１７はソケット
コンタクトピン、１８はソケットモールド部を示してい
る。

【００３０】次に、本実施例のＩＣ着脱装置の動作につ
いて説明する。

【００３１】すなわち、本実施例のＩＣ着脱装置におい
て、バーンインボードローダ部１を用いて供給されたバ
ーンインボード７を搬送し、ＩＣ着脱ステージ２におい
てバーンインボード７を位置決めする。

【００３２】次に、ソケット認識用カメラ５を装備した
ＩＣハンドリング部６をバーンインボード７上の個々の
ソケット１５上に移動し、ソケット１５のソケットコン
タクトピン１７の画像をソケット認識用カメラ５により
取り込み、ソケット１５の位置を画像認識装置により演
算し、個々のソケット１５の基準位置からの位置ズレ量
（Ｘ，Ｙ，θ）を検出する。図６は、ソケット認識用カ
メラ５によりソケット１５の位置を検出している状態を
示す概略図である。

【００３３】次に、ＩＣ収納治具用ローダ部３を用いて
供給されたＩＣ収納治具８からＩＣハンドリング部６に
よりＩＣ９を取り出し、ＩＣ認識用カメラ４によりハン
ドリング状態のＩＣ９の画像を取り込み、その位置を画
像認識装置により演算し、基準ハンドリング位置からの
位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）を検出する。図７は、ＩＣ認
識用カメラ４によりＩＣ９の位置を検出している状態を
示す概略図である。

【００３４】次に、ＩＣハンドリング部６によりＩＣ９
をソケット１５上に搬送する。ＩＣ９の搬送中にＩＣハ
ンドリング位置とＩＣ９を挿入するソケット１５の両者
の位置ズレを比較演算し、ソケット１５の位置に合わせ
てＩＣ９の搬送位置をＩＣハンドリング部６により補正
する。ＩＣ９の位置補正終了後、ＩＣ９をソケット１５
に挿入するためにＩＣハンドリング部６を下降させ、ソ
ケット１５のソケットコンタクトピン１７にＩＣ９をダ
イレクトに挿入した後、ＩＣハンドリング部６からＩＣ
９を離す。

【００３５】次に、新たなソケット１５にセットするＩ
Ｃ９を搬送するためにＩＣハンドリング部６をＩＣ収納
治具用ローダ部３におけるＩＣ収納治具８の位置に移動
させる。

【００３６】次に、前述した操作を繰り返し行い、バー
ンインボード７にセットされているすべてのソケット１
５に順次ＩＣ９を挿入する。その後、別のバーンインボ
ード７を供給し同様な操作によりバーンインボード７に
セットされているソケット１５にＩＣ９を挿入していく
作業を行う。なお、図２および図３において、図示上の
簡略化によりバーンインボード７にセットされているソ
ケット１５は９個であるが、実際は例えば９６個程度と
いう多数のソケット１５がバーンインボード７にセット
されている。

【００３７】前述した本実施例のＩＣ着脱装置によれ
ば、ＩＣ９の位置およびソケット１５の位置を認識する
位置認識機構を有することにより、ＩＣ９のハンドリン
グ状態におけるＩＣ９の位置を検出することができると
共にバーンインボード７にセットされているソケット１
５の位置を検出することができる。

【００３８】そのため、ＩＣ９をソケット１５に挿入す
る際、ＩＣ９の位置をソケット１５の位置に合わせて補
正しながらＩＣ９をソケット１５に挿入することができ
ることにより、ソケット１５にＩＣ９の位置補正のなら
い機能が必要なく、ＩＣ９を落下させずにダイレクトに
ソケット１５のソケットコンタクトピン１７上に挿入す
ることができるので、ＩＣリードピッチの狭ピッチ化が
なされているファインピッチＩＣなどのソケット１５へ
の挿入を高精度にしかも確実に行うことができる。

【００３９】また、位置認識機構および画像認識装置な
どを利用することができることにより、ＩＣ９の逆イン
デックスの検査およびＩＣハンドリング部６の位置ポイ
ントの自動ティーチングを行うことができるので、自動
化率を向上したＩＣ着脱装置とすることができる。

【００４０】前述した本実施例のＩＣ着脱装置は、以下
に記載する種々の態様とすることができる。

【００４１】（１）ＩＣハンドリング部６におけるＩＣ
９の把持方法は、例えば真空吸着または機械的把持など
の多種の把持機構を採用できる。また、ＩＣハンドリン
グ部６のＩＣ９のハンドリング数は、１個、２個または
多数個とすることができる。

【００４２】（２）ＩＣ９の認識方法は、ＩＣ９の各リ
ード１０の位置を検出して、ＩＣ９の重心を求める方法
またはＩＣ９のモールド部の外形形状によるＩＣ９の位
置を求める方法などの種々の方法を適用できる。また、
ソケット１５の位置認識についても前述したことと同様
であり種々の方法を適用できる。

【００４３】また、ＩＣ９の認識の際、ＩＣ認識用カメ
ラ４上で停止させる態様またはＩＣ９の移動中に例えば
シャッタ付き認識用カメラによりＩＣ９の位置を検出す
る態様とすることができる。

【００４４】さらに、ＩＣ９の位置ズレ量を検出するの
にＩＣ９をハンドリングした状態で行う態様以外にＩＣ
収納治具８上のＩＣ９の位置ズレ量を検出する態様とす
ることができる。また、ＩＣ収納治具８上のＩＣ９を順
次あるいはすべて一括して認識を行い、ＩＣ９の位置ズ
レ量を検出することができる。

【００４５】（３）ＩＣ認識用カメラ４とソケット認識
用カメラ５とを１台の認識用カメラで両方の機能を有す
る態様とすることができる。

【００４６】また、ＩＣ９およびソケット１５の位置認
識を一度の認識により行う態様の他に、ＩＣ９またはソ
ケット１５を位置認識する際、ＩＣ９またはソケット１
５の複数の部分を検出し、それらの複数の部分を総合的
に演算することにより、ＩＣ９またはソケット１５の位
置を検出することができる。

【００４７】さらに、ＩＣ９およびソケット１５の画像
を取り込む認識用カメラは複数台設けてもよく、その場
合、各々の認識用カメラの情報を総合してＩＣ９および
ソケット１５の位置を検出することができる。

【００４８】（４）ＩＣ９とソケット１５の各々の基準
からのズレ量を別々に検出し、比較演算している態様の
他に、ＩＣ９をソケット１５に挿入する数ｍｍ手前で止
め、ＩＣ９のリード１０とソケット１５のソケットコン
タクトピン１７のズレ量をプリズムまたはミラーなどの
機構を利用して認識用カメラなどで同時に認識し、その
両者の相対的なズレ量を検出することにより、ＩＣ９を
位置を補正してソケット１５に挿入することができる。

【００４９】また、ＩＣ９の位置検出の場合はＩＣ９を
移動させる態様の他に、位置認識機構側を移動させる態
様とすることができる。また、ソケット１５の位置検出
の場合は認識用カメラ側を移動させる態様の他に、ソケ
ット１５またはバーンインボード部７側を移動させる態
様とすることができる。

【００５０】また、位置補正の際は、ＩＣ９をＩＣハン
ドリング部６にて位置補正する態様の他に、バーンイン
ボード７側を例えばＸＹθテーブルなどの機構にセット
して位置補正を行うことができる。

【００５１】また、前述した実施例のＩＣ着脱装置にお
いて、ＩＣ９の水平レベルについて説明していないが、
ＩＣ９の水平レベルを検出し、補正する手段と機能を備
えさせることができる。

【００５２】（５）バーンインボード７上のボードアラ
イメントマーク１２を認識する態様の他に、バーンイン
ボード７についている基準穴１４およびバーンインボー
ド７の外形を認識する態様とすることができる。また、
ボードアライメントマーク１２の形状は、種々の形状を
採用することができる。

【００５３】また、ソケット１５のソケットコンタクト
ピン１７を直接認識する態様の他に、ソケット１５に設
けている位置認識部であるソケット認識用マーク１６お
よび位置認識用ピンまたは穴などを認識することができ
る。ソケット１５の位置認識部はソケット１５のハウジ
ング製作の際、金型などにより作成されるマークまたは
穴などを採用することができる。また、ソケット１５の
位置認識部はソケット１５の製作後、貼りつけたマーク
または追加したピンなどを採用することができる。

【００５４】（実施例２）図８は、本発明の他の実施例
であるＩＣ着脱装置に使用するバーンインボードを示す
概略斜視図である。

【００５５】図８に示すように、本実施例のバーンイン
ボード７は、前述した実施例１のバーンインボード７の
側面に識別コード１３を取り付けている。

【００５６】識別コード１３としては、例えばバーコー
ドを用いることができる。また、例えば文字、図形また
は特殊な意味を持つ記号などを採用し、それらの読み取
り装置もそれに合わせた読み取り装置をＩＣ着脱装置に
装備する態様とすることができる。

【００５７】本実施例のバーンインボード７は、例えば
バーコードなどの識別コード１３を有することにより、
複数のバーンインボード７から任意のバーンインボード
７を識別することができる。また、識別コード１３を利
用してＩＣ９の着脱作業における情報を通信および記憶
保存するデータベース通信システムを備えているＩＣ着
脱装置とすることができる。

【００５８】例えば、本実施例のＩＣ着脱装置を用いて
ＩＣ９を搬送する際に、バーンインボード７にセットさ
れているソケット１５の位置データなどを通信できる。

【００５９】次に、本実施例のＩＣ着脱装置の動作につ
いて説明する。

【００６０】すなわち、本実施例のＩＣ着脱装置におい
て、バーンインボードローダ部１より供給されたバーン
インボード７を搬送し、ＩＣ着脱ステージ２で位置決め
する。

【００６１】本実施例のＩＣ着脱装置に例えばバーコー
ドリーダなどのＩＤ（Identity card)読み取り装置を装
備し、バーンインボード７の識別コード１３を検出す
る。

【００６２】バーンインボード７は何度も繰り返し使用
されることにより、ソケット１５の位置を検出する際に
バーンインボード７上での個々のソケット１５の相対位
置を検出させるための基準となる対角位置にある２個の
ボードアライントマーク１２をソケット認識用カメラ５
により検出し、バーンインボード７の位置ズレ量（Ｘ，
Ｙ，θ）を検出する。

【００６３】バーンインボード７上のボードアライメン
トマーク１２からのソケット１５の位置を検出し、ソケ
ット１５の位置のデータを記憶保存しているバーンイン
ボード７の場合は、前述の識別したバーンインボード７
の識別コード１３により、ＩＣ９を挿入する任意のバー
ンインボード７の個々のソケット１５の位置のデータを
データベース通信システムより読み取る。

【００６４】次に、読み取った個々のソケット１５の位
置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）とバーンインボード７の位置ズ
レ量（Ｘ，Ｙ，θ）の両者を比較演算する。

【００６５】これにより、バーンインボード７上の個々
のソケット１５の基準位置からの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，
θ）を演算する。

【００６６】バーンインボード７上のボードアライメン
トマーク１２からのソケット１５の位置を検出していな
い新規バーンインボード７の場合、ソケット認識用カメ
ラ５を装備したＩＣハンドリング部６をバーンインボー
ド７上の個々のソケット１５上に移動し、ソケット１５
のコンタクト１７をソケット認識用カメラ５により画像
を取り込み、ソケット１５の位置を画像認識装置にて演
算し、個々のソケット１５の基準位置からの位置ズレ量
（Ｘ，Ｙ，θ）を検出する。

【００６７】さらに、ボードアライメントマーク１２か
らの個々のソケット１５の位置をバーンインボード７の
位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）と比較し、個々のソケット１
５の位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）を演算する。この個々の
ソケット１５の位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）を前述の識別
したボード識別コード１３ごとにデータベース通信シス
テムに送信し、記憶保存する。

【００６８】検出したソケット１５の位置ズレ量（Ｘ，
Ｙ，θ）を用い、前述した実施例１と同様にＩＣ収納治
具用ローダ部３より供給されたＩＣ収納治具８からＩＣ
ハンドリング部６を用いてＩＣ９を取り出し、ＩＣ認識
ステージ２上へＩＣ９を搬送する。ＩＣ認識用カメラ４
によりハンドリング状態のＩＣ９の画像を取り込み、Ｉ
Ｃ９の位置を画像認識装置にて演算し、ＩＣの位置基準
ハンドリング位置からの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）を検
出する。

【００６９】認識後、ＩＣ９をソケット１５上に搬送す
る。ＩＣ９の搬送中にＩＣハンドリング位置と挿入する
ソケット１５の両者の位置ズレを比較演算し、ソケット
１５の位置に合わせ、ＩＣ９の搬送位置をＩＣハンドリ
ング部６にて補正する。

【００７０】位置補正終了後、ＩＣ９をソケット１５に
挿入するためにＩＣハンドリング部６を下降させること
により、ソケット１５のソケットコンタクトピン１７に
ＩＣ９をダイレクトに挿入した後、ＩＣハンドリング部
６からＩＣ９を離す。

【００７１】次に、新たなソケット１５にセットするＩ
Ｃ９を搬送するためにＩＣハンドリング部６をＩＣ収納
治具用ローダ部３におけるＩＣ収納治具８の位置に移動
させる。

【００７２】次に、前述した操作を繰り返し行い、バー
ンインボード７にセットされているすべてのソケット１
５に順次ＩＣ９を挿入する。その後、別のバーンインボ
ード７を供給し同様な操作によりバーンインボード７に
セットされているソケット１５にＩＣ９を挿入していく
作業を行う。

【００７３】前述した本実施例のＩＣ着脱装置によれ
ば、バーンインボード７に識別コード１３を付加してい
ることにより、データベース通信システムを容易に採用
することができるので、バーンインボード・ソケット情
報およびバーンインテスト結果などを識別コード１３を
利用してＩＣ９の着脱作業に採用できることにより、高
効率でしかも高機能なＩＣ９の着脱作業を行うことがで
きる。

【００７４】（実施例３）本発明の他の実施例としての
ＩＣ着脱装置として、ＩＣハンドリング部６の位置ポイ
ントのティーチングを画像認識を用いて自動的に行うこ
とができる。

【００７５】すなわち、あらかじめ着工するバーンイン
ボード７にセットされているソケット１５の配列パター
ンは、設計図によりソケット１５の位置を設計寸法から
ＩＣ着脱装置の制御部に記憶させる。

【００７６】次に、バーンインボードローダ部１から供
給されたバーンインボード７を搬送し、ＩＣ着脱ステー
ジ２でバーンインボード７を位置決めする。

【００７７】次に、ソケット認識用カメラ５を装備した
ＩＣハンドリング部６をバーンインボード７にセットさ
れている個々のソケット１５の設計寸法位置上に移動
し、ソケット１５の４辺のソケットコンタクトピン１７
をソケット認識用カメラ５で画像を取り込み、ソケット
１５の位置を画像認識装置により演算し、個々のソケッ
ト１５の基準位置からの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）を検
出する。これを複数のバーンインボード７について繰り
返し、その平均値をＩＣハンドリング部６の位置ポイン
トとして登録する。

【００７８】次に、あらかじめ着工するＩＣ収納治具８
の収納ポケット配列パターンは、設計図により、ポケッ
ト位置を設計寸法からＩＣ着脱装置の制御部に記憶させ
る。

【００７９】次に、ＩＣ収納治具用ローダ部３により供
給されたＩＣ収納治具８はＩＣ挿入位置で位置決めす
る。ソケット認識用カメラ５を装備したＩＣハンドリン
グ部６をＩＣ収納治具８上の四隅のポケットの設計寸法
位置上に移動し、四隅のポケットの位置をソケット認識
用カメラ５で画像を取り込み、ポケットの位置を画像認
識装置により演算し、個々のポケットの基準位置からの
位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）を検出する。これを複数のＩ
Ｃ収納治具８について繰り返し、その平均値をＩＣハン
ドリング部６の位置ポイントとして登録する。

【００８０】前述した本実施例のＩＣ着脱装置によれ
ば、ＩＣハンドリング部６の位置ポイントのティーチン
グを画像認識を用いて自動的に行うことができる。

【００８１】（実施例４）本発明の他の実施例としての
ＩＣ着脱装置として、バーンインボード情報をデータベ
ース通信システムから読み取ることにより、ソケット１
５の使用可否を判断してＩＣ９を挿入することができ
る。

【００８２】すなわち、本実施例のＩＣ着脱装置におい
て、バーンインボードローダ部１により供給されたバー
ンインボード７を搬送し、ＩＣ着脱ステージ２でバーン
インボード７を位置決めする。バーンインボード７に取
り付けた識別コード１３をバーコードリーダなどのＩＤ
読み取り装置により検出する。検出した識別コード１３
に対応するバーンインボード７にセットされている個々
のソケット１５の使用可否情報をデータベース通信シス
テムより読み取る。このソケットの使用可否情報をＩＣ
着脱装置の制御部に記憶させる。

【００８３】ＩＣ収納治具用ローダ部３により供給され
たＩＣ収納治具８からＩＣハンドリング部６によりＩＣ
９を取る。

【００８４】次に、ＩＣ９を挿入するソケット１５上に
ＩＣ９を移動させる前に、次に挿入するソケット１５の
使用可否情報を確認する。使用可能のソケット１５の場
合は、ＩＣ９をソケット１５上に移動させる。使用不可
能のソケット１５の場合は、ＩＣ９をソケット１５上に
移動させず、ＩＣ９を挿入する順にソケット１５の使用
可否を確認し、次に挿入するソケット１５を判断し、そ
のソケット１５上に移動する。

【００８５】次に、ＩＣ９をソケット１５上に移動完了
すれば、ＩＣハンドリング部６を下降し、ソケット１５
にＩＣ９を挿入し、ＩＣ９をはなす。次に、挿入するＩ
Ｃ９を取るためにＩＣ収納治具８上にＩＣハンドリング
部６を移動させる。

【００８６】この動作を繰り返し、バーンインボード７
の使用可能の全ソケット１５にＩＣ９を挿入し、次のバ
ーンインボード７を供給し同様にＩＣ９をソケット１５
に挿入していく。

【００８７】１枚のバーンインボード７にＩＣ９の挿入
が終了したら、この時のバーンインボード７の識別コー
ド１３ごとにバーンインボード７のどのソケット１５に
ＩＣ９を挿入しているのかというＩＣ挿入情報をデータ
ベース通信システムに送信する。データベース通信シス
テムでは、そのＩＣ挿入情報をデータベースに保存す
る。

【００８８】このデータベース通信システムに保存され
たＩＣ挿入情報は、バーンイン装置およびＩＣ着脱装置
のＩＣ９の抜き取り作業時に使用することができる。

【００８９】バーンイン装置によりＩＣ９をバーンイン
テスト中、バーンイン装置はＩＣ９のテストを行ない、
バーンイン試験終了時、各バーンインボード７ごとに搭
載されたソケット１５に実装されたＩＣ９のバーンイン
テスト結果を識別コード１３に対応したデータがデータ
ベース通信システムへ送信される。

【００９０】また、バーンイン装置では、使用不可能の
ソケット１５の検出が可能なため、バーンイン装置から
バーンインテスト結果と共に使用不可能のソケット１５
のデータがデータベース通信システムへ送信される。こ
の情報をデータベース通信システムは記憶保存してお
く。

【００９１】前述した本実施例ＩＣ着脱装置によれば、
バーンインボード情報をデータベース通信システムから
読み取ることにより、ソケット１５の使用可否を判断し
てＩＣ９を挿入することができる。

【００９２】（実施例５）本発明の他の実施例としての
ＩＣ着脱装置として、バーンイン装置テスト結果情報を
データベース通信システムから読み取り、バーンイン装
置テスト結果にしたがいバーンインボード７からＩＣ９
を抜き取る際、グレード分類することができる。

【００９３】すなわち、本実施例のＩＣ着脱装置におい
て、バーンインボードローダ部１により供給されたバー
ンインボード７を搬送し、ＩＣ着脱ステージ２でバーン
インボード７を位置決めする。バーンインボード７に付
加している識別コード１３を例えばバーコードリーダな
どのＩＤ読み取り装置により検出する。検出した識別コ
ード１３に対応するバーンインボード７にセットされて
いる個々のソケット１５に実装されているＩＣ９のバー
ンイン装置テスト結果をデータベース通信システムによ
り読み取る。このバーンイン装置テスト結果情報をＩＣ
着脱装置の制御部に記憶させる。

【００９４】次に、位置決めされたバーンインボード７
からＩＣハンドリング部６によりＩＣ９を抜き取る前
に、次に抜き取るＩＣ９のバーンイン装置テスト結果を
先程保存した制御部から読み出す。そのＩＣ９のテスト
結果をもとに、複数のＩＣ収納治具８よりあらかじめ設
定した分類カテゴリーにしたがいＩＣ９のグレードに合
わせＩＣ収納治具８を選択する。バーンインボード７よ
りＩＣハンドリング部６によりＩＣ９を抜き取り、選択
したＩＣ収納治具８上に移動し、ＩＣハンドリング部６
を下降し、ＩＣ収納治具８にＩＣ９を収納し、ＩＣ９を
はなす。

【００９５】次に、抜き取るＩＣ９を取るため、バーン
インボード７上の次のソケット１５上にＩＣハンドリン
グ部６を移動させる。次に抜き取るＩＣ９のバーンイン
装置テスト結果を先程保存した記憶部より読みだす。

【００９６】また、ＩＣ９を抜き取る際、データベース
通信システムに保存したＩＣ挿入情報をバーンイン装置
テスト結果と同時に読み取り、ＩＣ９の挿入されていな
いソケット１５を検出し、そのソケット１５にはＩＣ９
をハンドリングしに行かずスキップし、次のソケット１
５からＩＣ９を抜き取ることができる。

【００９７】この動作を繰り返しバーンインボード７の
全ソケット１５からＩＣ９を抜き取り、次のバーンイン
ボード７を供給し同様にＩＣ９を抜き取っていく。

【００９８】前述した本実施例のＩＣ着脱装置によれ
ば、バーンイン装置テスト結果情報をデータベース通信
システムから読み取り、バーンイン装置テスト結果にし
たがいバーンインボード７からＩＣ９を抜き取る際、グ
レード分類することができる。

【００９９】（実施例６）本発明の他の実施例としての
ＩＣ着脱装置として、バーンインボード７の識別コード
１３をバーンインボード７の生産管理に使用することが
できる。

【０１００】図９は、管理システムを備えているＩＣ着
脱装置を示す概略構成図である。図９において、１９は
ＩＣ着脱装置、２０はバーンイン装置、２１は管理シス
テムを示している。

【０１０１】すなわち、本実施例のＩＣ着脱装置におい
て、バーンインボード７の識別コード１３を読み取り、
バーンインボード７にセットされているソケット１５に
ＩＣ挿入作業が終了した時点でバーンインボード７の状
態管理モードをＩＣ実装中とし、データベース通信シス
テムに送信する。また、次にバーンインボード７がバー
ンイン装置に収納されバーンイン試験開始時にバーンイ
ンボード７の状態管理モードをバーンイン中とし、デー
タベース通信システムに送信する。

【０１０２】次に、バーンインボード７がバーンイン試
験終了時にバーンインボード７の状態管理モードをバー
ンイン完とし、データベース通信システムに送信する。

【０１０３】次に、バーンインボード７にセットされて
いるソケット１５からＩＣ９を抜き取るためにＩＣハン
ドリング部６によりＩＣ９を抜き取り、ＩＣ９をＩＣ収
納治具８に収納した時点で、バーンインボード７の状態
管理モードを待ちとし、データベース通信システムに送
信する。

【０１０４】前述したように本実施例のＩＣ着脱装置に
よれば、エージング工程内でバーンインボード７の使用
状態をバーンインボード７の状態管理モードで管理する
ことにより、使用中のバーンインボード７の枚数や使用
可能な待ち状態のバーンインボード７の枚数を把握で
き、生産管理システムとリンクすることにより効率良い
生産スケジューリングを行うことができる。

【０１０５】本実施例のＩＣ着脱装置によれば、例えば
ＩＣ着脱装置にセットされる前に仕掛っているＩＣロッ
トのうち、使用可能なバーンインボード７の枚数が足り
ない場合、同じＩＣ製品のバーンインボード７の着工状
況がリアルタイムで把握でき、そのＩＣロットのバーン
インボード７が必要枚数揃い、着工可能な時間を予測す
ることができる。また、ＩＣ９の生産が急を要するもの
であれば、必要なバーンインボード７を特急扱いとし、
ＩＣ着脱装置における抜き取り作業を他のＩＣロットよ
り先に着工させ、バーンインボード７の必要枚数を早急
に揃えることができる。

【０１０６】（実施例７）本発明の他の実施例としての
ＩＣ着脱装置として、ＩＣ９のハンドリング時のＩＣ位
置認識を利用することにより、ハンドリングしたＩＣ９
のインデックス１１の方向を検査し、そのインデックス
１１に合わせ、ＩＣ９のインデックス１１の方向を補正
し、正しいインデックス１１の方向でＩＣ９を挿入する
ことができる。

【０１０７】すなわち、本実施例のＩＣ着脱装置におい
て、ＩＣ収納治具用ローダ部３により供給されたＩＣ収
納治具８からＩＣハンドリング部６によりＩＣ９を取り
出し、ＩＣ９をＩＣ認識位置へ搬送する。ＩＣ認識用カ
メラ４によりハンドリング状態のＩＣ９の画像を取り込
み、ＩＣ９の位置を画像認識装置により演算し、ＩＣ９
の基準ハンドリング位置からの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，
θ）を検出する。

【０１０８】このとき、ＩＣ９のインデックス１１の方
向についても検査し、インデックス１１の方向が逆の場
合、１８０度あるいは９０度（２７０度）ＩＣ９をθ方
向に回転させることにより、正しいインデックス１１の
方向になるように画像認識装置で演算し、ＩＣ９の基準
ハンドリング位置からの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）を検
出する。

【０１０９】前述した作業以外は前述した実施例１のＩ
Ｃ着脱装置と同様であることにより説明を省略する。

【０１１０】前述した本実施例のＩＣ着脱装置によれ
ば、ＩＣ９のハンドリング時のＩＣ位置認識を利用する
ことにより、ハンドリングしたＩＣ９のインデックス１
１の方向を検査し、そのインデックス１１に合わせ、Ｉ
Ｃ９のインデックス１１の方向を補正し、正しいインデ
ックス１１の方向でＩＣ９を挿入することができる。

【０１１１】本発明は、前記実施例１〜７に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

【０１１２】具体的には、蓋付きソケットの場合の蓋開
閉動作および機構とプッシュロックあるいはオープント
ップとよばれるソケットの開閉動作および機構について
説明を省略しているが、これを付加したＩＣ着脱装置に
も適用できる。

【０１１３】また、認識コードの検出はバーンインボー
ドを検出した後以外にバーンインボードの搬送中におい
ても行うことができる。また、ＩＣまたはソケットなど
の検出についてもその範囲を逸脱しないタイミングによ
り検出することができる。

【０１１４】さらに、バーンインボード情報、バーンイ
ン装置テスト結果情報、バーンインボードＩＣ挿入情報
およびバーンインボード状態管理モード情報を全てデー
タベース通信システムに対応可能なものにしている態様
以外に、これらの情報のいくつかをＩＣ着脱装置および
バーンイン装置に装備させる態様とすることができる。
また、データベース通信システムを個々の情報ごとに構
築することができる。

【０１１５】また、データベース通信システムが構築さ
れていない場合は、バーンインボード情報、バーンイン
テスト結果情報、バーンインボードＩＣ挿入情報および
バーンインボード状態管理モード情報をフロッピーディ
スクを媒体として記憶保存し、ＩＣおよびバーンインボ
ードと共に各設備へ持ち運びする態様とすることができ
る。

【０１１６】

【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下の通りである。

【０１１７】（１）本発明のＩＣ着脱装置によれば、Ｉ
Ｃの位置およびソケットの位置を認識する位置認識機構
を有することにより、ＩＣのハンドリング状態における
ＩＣの位置を検出することができると共にバーンインボ
ードにセットされているソケットの位置を検出すること
ができる。

【０１１８】そのため、ＩＣをソケットに挿入する際、
ＩＣの位置をソケットの位置に合わせて補正しながらＩ
Ｃをソケットに挿入することができることにより、ソケ
ットにＩＣの位置補正のならい機能が必要なく、ＩＣを
落下させずにダイレクトにソケットのコンタクトピン上
に挿入することができるので、ＩＣリードピッチの狭ピ
ッチ化がなされているファインピッチＩＣなどのソケッ
トへの挿入を高精度にしかも確実に行うことができる。

【０１１９】また、位置認識機構および画像認識装置な
どを利用することができることにより、ＩＣの逆インデ
ックスの検査およびＩＣハンドリング部の位置ポイント
の自動ティーチングを行うことができるので、自動化率
を向上したＩＣ着脱装置とすることができる。

【０１２０】（２）本発明のＩＣ着脱装置によれば、バ
ーンインボードに識別コードを付加することにより、デ
ータベース通信システムを容易に採用することができる
ので、バーンインボード・ソケット情報およびバーンイ
ンテスト結果などを識別コードを利用してＩＣの着脱作
業に採用できることにより、高効率でしかも高機能なＩ
Ｃの着脱作業を行うことができる。

【０１２１】また、ＩＣハンドリング部の位置ポイント
のティーチングを画像認識を用いて自動的に行うことが
できる。

【０１２２】（３）本発明のＩＣ着脱装置によれば、バ
ーンインボード情報をデータベース通信システムから読
み取ることにより、ソケットの使用可否を判断してＩＣ
を挿入することができる。

【０１２３】また、バーンイン装置テスト結果情報をデ
ータベース通信システムから読み取り、バーンイン装置
テスト結果にしたがいバーンインボードからＩＣを抜き
取る際、グレード分類することができる。

【０１２４】（４）本発明のＩＣ着脱装置によれば、エ
ージング工程内でバーンインボードの使用状態をバーン
インボードの状態管理モードで管理することにより、使
用中のバーンインボードの枚数や使用可能な待ち状態の
バーンインボードの枚数を把握でき、生産管理システム
とリンクすることにより効率良い生産スケジューリング
を行うことができる。

【０１２５】また、ＩＣのハンドリング時のＩＣ位置認
識を利用することにより、ハンドリングしたＩＣインデ
ックスの方向を検査し、そのインデックスに合わせ、Ｉ
Ｃのインデックスの方向を補正し、正しいインデックス
の方向でＩＣを挿入することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるＩＣ着脱装置を示す概
略構成図である。

【図２】ＩＣハンドリング部の動きを示す概略斜視図で
ある。

【図３】ソケットがセットされているバーンインボード
を示す概略斜視図である。

【図４】ソケット認識用カメラによりソケットを認識し
ている状態を示す概略斜視図である。

【図５】ソケットにＩＣがセットされている状態を示す
概略断面図である。

【図６】ソケット認識用カメラによりソケットの位置を
検出している状態を示す概略図である。

【図７】ＩＣ認識用カメラによりＩＣ９位置を検出して
いる状態を示す概略図である。

【図８】本発明の他の実施例であるＩＣ着脱装置に使用
するバーンインボードを示す概略斜視図である。

【図９】本発明の他の実施例である管理システムを備え
ているＩＣ着脱装置を示す概略構成図である。

【符号の説明】

１バーンインボードローダ部２ＩＣ着脱ステージ３ＩＣ収納治具用ローダ部４ＩＣ認識用カメラ５ソケット認識用カメラ６ＩＣハンドリング部７バーンインボード８ＩＣ収納治具９ＩＣ１０リード１１インデックス１２ボードアライメントマーク１３識別コード１４基準穴１５ソケット１６ソケット認識用マーク１７ソケットコンタクトピン１８ソケットモールド部１９ＩＣ着脱装置２０バーンイン装置２１管理システム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者甲斐剛栃木県下都賀郡大平町大字富田800 株式会社日立製作所冷熱事業部内 (72)発明者根本光造栃木県下都賀郡大平町大字富田800 株式会社日立製作所冷熱事業部内 (72)発明者鈴木隆栃木県下都賀郡大平町大字富田800 株式会社日立製作所冷熱事業部内 (72)発明者中西正樹東京都小平市上水本町５丁目20番１号株式会社日立製作所半導体事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＩＣ収納治具を搬送するＩＣ収納治具用
ローダ部、ソケットがセットされているバーンインボー
ドを搬送するバーンインボード用ローダ部および前記Ｉ
Ｃ収納治具用ローダ部におけるＩＣ収納治具にセットさ
れているＩＣを前記バーンインボード用ローダ部におけ
るバーンインボードにセットされているソケットに搬送
するＩＣハンドリング部を有し、前記ＩＣの位置および
前記ソケットの位置を認識する位置認識機構を有するこ
とを特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項２】請求項１記載のＩＣ着脱装置において、
前記位置認識機構は、前記ＩＣの位置および前記ソケッ
トの位置を認識して検出し、その結果にもとづきＩＣの
位置を補正した後に前記ソケットに前記ＩＣを挿入する
ことを特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項３】請求項１または２記載のＩＣ着脱装置に
おいて、前記位置認識機構は、ＣＣＤカメラなどの認識
用カメラまたはシャッタ付き認識用カメラを使用してい
ることを特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項４】請求項１、２または３記載のＩＣ着脱装
置において、前記ＩＣハンドリング部は、前記位置認識
機構を用いて前記ソケットの位置を検出することにより
前記ＩＣハンドリング部の位置ポイントのティーチング
を自動的に行う手段を備えていることを特徴とするＩＣ
着脱装置。
【請求項５】請求項１、２、３または４記載のＩＣ着
脱装置において、前記位置認識機構は、前記ＩＣハンド
リング部および前記ＩＣハンドリング部の移動する領域
における前記ＩＣ収納治具用ローダ部と前記バーンイン
ボード用ローダ部との間の領域に配置されていることを
特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項６】請求項１、２、３、４または５記載のＩ
Ｃ着脱装置において、前記バーンインボードは、前記バ
ーンインボードにセットされている個々の前記ソケット
の相対位置を検出するための基準となるマークを有する
ことを特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項７】請求項１、２、３、４、５または６記載
のＩＣ着脱装置において、前記バーンインボードは、複
数の前記バーンインボードから任意の前記バーンインボ
ードを識別することができる識別コードを有することを
特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項８】請求項１、２、３、４、５、６または７
記載のＩＣ着脱装置において、前記バーンインボード
は、複数の前記バーンインボードから任意の前記バーン
インボードを識別することができる識別コードを有し、
前記識別コードを利用してＩＣの着脱作業における情報
を通信および記憶保存するデータベース通信システムを
有することを特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項９】請求項１、２、３、４、５、６、７また
は８記載のＩＣ着脱装置において、前記バーンインボー
ドは、複数の前記バーンインボードから任意の前記バー
ンインボードを識別することができる識別コードを有
し、前記識別コードを利用して任意の前記バーンインボ
ードにセットされている個々の前記ソケットの内のＩＣ
のバーンインテスト情報をＩＣ着脱装置およびＩＣ着脱
装置とシステム化されているバーンイン装置などの他の
装置に通信および記憶保存するデータベース通信システ
ムを有し、前記データベース通信システムからの情報を
利用して前記ＩＣを抜取る際、前記バーンインテスト情
報のＩＣグレードに対応して前記ソケットの内の前記Ｉ
Ｃを抜き取り、前記ＩＣの分類および選別を行うことを
特徴とするＩＣ着脱装置。