TW464969B - Simultaneous discharge device - Google Patents

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TW464969B
TW464969B TW086106305A TW86106305A TW464969B TW 464969 B TW464969 B TW 464969B TW 086106305 A TW086106305 A TW 086106305A TW 86106305 A TW86106305 A TW 86106305A TW 464969 B TW464969 B TW 464969B
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Kazuto Ohbuchi
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Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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Description

4 經濟部中央標準烏貝工消費合作社印製 “9.S9 A7 — B7五、發明説明（1 ) 〔發明之領域〕 本發明係與以1個高頻電源同時放電2個室，以蝕刻 或打磨半導體晶片等被處理物表面形成之薄膜之同時放電 化裝置有關^。 〔先前之技術〕 先前，以1個高頻電源同時放電2個室之同時放電化 裝置，已知有如圖5所示，將2條Rf電纜101之各一 端連接於高頻電源1 0 0之輸出接頭，將該2條Rf電纜 1 0 1之另一端分別連接於2個室1 0 2 ，1 0 3之第一 薄片狀電極104 ，105者。又，106，107係連 接接地之第2薄片狀電極。 先前之技術，因單獨放電時，雖比率無大差異，惟各 室1 0 2，1 0 3，之阻抗多少有差異，故以1個高頻電 源1 0 0同時放電2個室1 0 2，1 0 3時，由於電流易 » 流向阻抗低之一方，致有比率偏差大之問題。 如此在各室1 0 2，1 0 3產生阻抗差異，乃因第1 薄片狀電極1 0 4 ，1 0 5，第2薄片狀電極1 0 6、 1 0 7，及Rf電纜等之配設狀態，在各室1 0 2， 1 0 3間多少有差異之故。 〔發明之槪要〕 本發明係有鑑於先前之技術具有之問題而爲，其目的 在提供可以1個高頻電源同時放電2個室內，在各室以同 (請先閲讀背面之注意事項— 托本頁) 本紙張尺度適用中國國家榇準{CNS)A4規格（210X297公釐） 4 - 4 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 …A7 B7五、發明説明（2) 比率蝕刻或打磨半_導體晶片等被處理表面形成之薄膜之同 時放電化裝置。 爲解決上述課題，本發明係以1個高頻電源同時放電 2個室內之同時放電化裝置中，經寧力分割手段將前述高 頻電源連接於前述2個室。 以電力分割手段補正室間不同之阻抗，使供給各室之 電力相同，即可以1個高頻電源同時放電2個室，以同比 率蝕刻或打磨半導體晶片等被處理物表面形成之薄膜。 又，前述電力分割手段，可由連接前述2個室對應之 電極間之電極側導體板，及連接於前述高頻電源之输出電 纜端部之電源側導體板，及在任意位置連接前述電極側導 體板與電源側導體板之導體棒構成。 更可在前述電極側導體板與電源側導體板，形成嵌合 連接前述導體棒之連接孔。 因將導體棒嵌合於任意連接孔以連接電極側導體板與 電源側導體板，龙可容易且迅速補正室間不同之阻抗。 〔實施例〕 以下依附圖說明本發明之實施形態。又，本發明之裝 置所使之電極側導體板2 1及電源側導體板2 3及導體棒 2 4之導體-可用銅或鋁等導電體材料，惟以下實施形態以 銅爲例說明。 — 如圖1所示，同時放電化裝置，具備同一構成之2個 等離子處理裝置1，1 1。等離子處理裝置1，1 1，在 (請先閲讀背面之注意事項苒^本f ) 裝_ 訂 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS) A4規格（210X297公釐i 5 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 6 4 9 6 9 A7 B7五、發明説明（3 ) 基座2 ，1 2形成開Π3 ，1 3，安裝石英製室4 ，1 4 以覆蓋該開口 3，1 3。 室4 ，14 ，係由圓頂狀下半部4a，14a及筒狀 上半部4b，1 4b而成，上半部4b，1 4b設有反應 氣導入部5，1 5，並在上半部4b，1 4b外周，以室 4 ， 14之軸爲基準左右分開相對配置：連接於髙頻電源 P之第1薄片狀電極6，1 6及連接於接地之第2薄片狀 電極7，1 7。 第1薄片狀電極6，1 6及第2薄片狀電極7，1 7 ，形成向室上半部4 b，1 4 b周方向延伸之凸部6 a， 16a，7a，17a 及凹部 6b，16b，7b， 1 7 b向上下方向連續形成之櫛齒狀，具一方之薄片狀電 極之凸部6 a，1 6 a，7 a，1 7 a略以一定間隔G嚙 合於另一方之薄片狀電極之凹部6b，1 6b，7b， 1 7 b ° ^ 如此，由於向周方向及軸方向略使一對薄片狀電極6 ，1 6 ，7，1 7之間隔爲一定致電離子沿室上半部4 b ，1 4 b內周均勻發生。 又，第2薄片狀電極7，1 7之下端部7 c，1 7 c ，係在第1薄片狀電極6，1 6下方位置，包圍室4， 1 4。如此，由於以連接接地之第2薄片狀電極7，1 7 包圍等離子發生空間最下端，即可阻止荷電粒子流向晶片 w 0 —方面基座2，1 2之開口 3 ，1 3，臨由下方設置 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格（210X297公釐）产 '~' -h - I. ^^1 —I- 1^1 I Jf— Bn HI JjaJ (請先閲讀背面之注意事項再"-本頁) 464969 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4 ) 晶片w之放置台8 ，1 8 ，又在基座2 ，1 2形成連接眞 空泵之排氣通路（未圖示）。 又，第1薄片狀電極6，1 6之上端部6c，1 6c 與高頻電源P係經電力分割手段2 0連接。 電力分割手段2 0，係補正配置於室4，1 4之第1 薄片狀電極6，1 6及第2薄片狀電極7，1 7等配設狀 態差異產生之阻抗之差異，由1個高頻電源ρ供給同一電 力於各室4 ，14之構件。 電力分割手段2 0係如圖2所示，由連接第1薄片狀 電極6，1 6上端部6 c，1 6 c間之電極側銅板2 1， 及連接於高頻電源Ρ之R f電纜2 2端部之電源側銅板 2 3及在任意位置以電連接電極側銅板2 1與電源側銅板 2 3之銅棒2 4而成。在銅棒2 4兩端形成向同一方向突 出之凸部（未圖示）。 又，在各銅板，2 1 ，2 3，如圖3所示，將銅棒 I 2 4之凸部嵌合之連接孔2 5，於中心一處，左右各4處 (L1〜L4，R1〜R4)合計9處，以間隔D形成。 又，連接孔2 5之數量不受限制/可爲任意數。又，該連 接孔2 5，係設如圖4所示之縱方向長孔1個亦可。 電極側銅板2 1及電源側銅板2 3，係配設成如圖2 所示，將銅棒2 4之凸部可嵌合於對應之連接孔2 5 (例 如，電極側銅板2 1之L 2及電源側銅板2 3之1/ 2 )以 電連接電極側銅板21與電源側銅板23。 而，以銅棒2 4連接電極側銅板2 i與電源側銅板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐i 7 . (請先聞讀背面之注意事項再 t本頁) 4 6 4 9:9 A7 _B7_ 五、發明説明（5 ) 2 3時，隨室4 ，1 4間不同之阻抗，自9處中選擇銅棒 2 4之凸部嵌合之連接孔2 5，又將如圖4所示縱方向長 孔做爲連接孔2 5時，將銅棒2 4之凸部滑動選擇嵌合於 連接孔2 5中，即可將含竃力分割手段2 0之各室4 ’ 1 4之阻抗調整爲1相等。 故由於適宜選擇銅棒2 4之凸部嵌合之連接孔2 5補 正室4，1 4間不同之阻抗，即可自1個高頻電源P將同 一電力供給2個室4 ，1 4 ，以同一條件同時放電2個室 4 ，1 4 內0 而，將室4 ，1 4內減壓，自反應氣導入部5 ，1 5 將反應氣導入室4，1 4內，更將髙頻附加於第1薄片狀 電極6，1 6時，等離子沿第1與第2薄片狀電極6， 16，7，17 之凸部 6a，16a，7a，17a 與凹 部6b，1 6b ，7b，1 7b間之間隔G之部分均勻產 生於室上半部4 Η，1 4 b之內周面。 經濟部中央標準局負工消費合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項直為本頁) 故，在各室4 ，1 4內，可以同比率處理晶片W。 又，圖示例係將導體棒接合於任意連接孔以連接電極 側導體板與電源側導體板，以補正室間之阻抗，惟以電力 監視器檢測2個室之不均勻，實施回授，自動變更連接位 置亦可。又，設電力監視器處，可考慮各薄片狀電極兩端 或放置台8，1 8。 圖示之簡單說明： 圖1:本發明有關之同時放電化裝置之斷面圖。 本紙張尺度適用中國國冢標準（CNS>A4規格（210X2?7公釐X § - 6 A7 B7 五、發明説明（6 圖2 圖 4 5 圖圖 本發明有關之__同時放電化裝置之說明圖。 銅板之正面圖。 圖. 面 斷 之 〇 置 圖裝 面化 正電 之放 施時 實同 外之 另前 依先 n m I -- I ίζ - i ^^1 _ I Is--^. (請先閱讀背面之注意事項直¾本頁) 經濟部令央標隼局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210><297公釐> 9 -

Claims (1)

  1. 曰 «請委員明示，本案修---:4後是否變更原實質内盔 經濟部智慧財產局員工消費合作社印κ A Η f-]8 C：S I)h 六、申請專利範圍 第86106305號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國89年9月修正 1 . 一種同時放電化裝置•即以1個高頻電源同時放 電2個室內之同時放電化裝置•其特徵爲： 經由使用連接前述2個室對應之電極間之電極側導體 板，及在任意位置電氣式地連接電源側導體板之導體棒的 電力分割裝置連接前述高頻電源》 2. 如申請專利範圍第1項所述之同時放電化裝置中 在前述導體棒兩端，形成向同一方向突出之凸部，在 前述電極側導體板及電源側導體板，形成嵌合連接前述導 體棒凸部。 3. 如申請專利範圍第2項所述之同時放電化裝置中 前述連接孔係圓孔。 4. 如申請專利範圍第2項所述之同時放電化裝置中 前述連接孔1係向電極側銅板及電源側銅板縱方向之 長孔。 本紙張尺度遡用命國國家標準（CNS)A.l規格^(21(^ 297公釐> -1 - ------------4.Λ--------訂.-------，線 γ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
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