KR20010014170A - 쌍극 정전 척에서 플라즈마 바이어스 전압을 오프셋하기위한 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 정전 척 전력 공급원의 참조 노드의 참조 전압을 제어하기 위해 배치되는 제어 회로로서, 상기 정전 척 전력 공급원은 제 1 내장 전도체와 제 2 내장 전도체를 가지는 쌍극 정전 척에 기판을 죄도록 배치되고, 상기 정전 척 전력 공급원은 상기 제 1 내장 전도체와 연결되기 위해 배치되는 제 1 출력부를 가지며, 상기 제 1 출력부는 상기 참조 전압에 대해 제 1 출력 전압을 가지고, 상기 정전 척 전력 공급원은 상기 제 2 내장 전도체에 연결하기 위해 배치되는 제 2 출력부를 가지며, 상기 제 2 출력부는 상기 참조 전압에 대해 제 2 출력 전압을 가지면서, 상기 제어 회로는:상기 제 1 출력부와 직렬로 연결되는 제 1 저항;상기 제 1 저항에서의 제 1 전압 강하를 감지하기 위해 상기 제 1 저항에 연결되는 제 1 증폭기;상기 제 2 출력부에 직렬로 연결되는 제 2 저항; 그리고상기 제 2 저항에서의 제 2 전압 강하를 감지하기 위해 상기 제 2 저항에 연결되는 제 2 증폭기;로 구성되는 것을 특징으로 하는 제어 회로.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 제어 전압을 생성하기 위해 상기 제 1 증폭기와 상기 제 2 증폭기의 출력부에 연결되는 차동 증폭기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 회로.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제어 전압은, 상기 제어 전압에 따라, 상기 참조 노드의 상기 전위 수준을 출력하기 위해 배치되는 공급 회로로 입력되는 것을 특징으로 하는 제어 회로.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 저항과 상기 제 2 저항은 상기 쌍극 정전 척 물질에 대해 106-1018오옴센티미터의 저항 범위에서 작동하는 것을 특징으로 하는 제어 회로.
- 쌍극 정전 척과 연결하기 위해 배치되는 전력 공급원으로서, 상기 쌍극 정전 척은 제 1 내장 전도체와 제 2 내장 전도체를 가지며, 상기 전력 공급원은:참조 노드;상기 제 1 내장 전도체와 연결하기 위해 배치되는 제 1 출력부 - 상기 제 1 출력부는 상기 참조 노드에 대해 제 1 출력 전압을 가지고;상기 제 2 내장 전도체와 연결하기 위해 배치되는 제 2 출력부 - 상기 제 2 출력부는 상기 참조 노드에 대해 제 2 출력 전압을 가지며; 그리고상기 제 1 출력부의 제 1 전류와 상기 제 2 출력부의 제 2 전류 사이의 전류차를 감지하기 위해 상기 제 1 출력부와 상기 제 2 출력부에 연결되는 제어 회로;로 구성되고,상기 제어 회로는 상기 참조 노드의 전위 수준을 제어하기 위해 상기 제어 회로의 제어 출력 상의 제어 전압을 출력하고, 상기 제어 전압은 상기 전류차에 비례하는 것을 특징으로 하는 전력 공급원.
- 제 5 항에 있어서, 상기 제어 회로는:상기 제 1 출력부와 직렬로 연결되는 제 1 저항;상기 제 1 저항에서의 제 1 전압 강하를 감지하기 위해 상기 제 1 저항에 연결되는 제 1 증폭기;상기 제 2 출력부와 직렬로 연결되는 제 2 저항; 그리고상기 제 2 저항에서의 제 2 전압 강하를 감지하기 위해 상기 제 2 저항에 연결되는 제 2 증폭기;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급원.
- 제 6 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 제어 전압을 생성하기 위해 상기 제 1 증폭기와 상기 제 2 증폭기의 출력부에 연결되는 차동 증폭기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전력 공급원.
- 제 7 항에 있어서, 상기 전력 공급원은 상기 제어 전압을 수신하기 위해 배치되는 공급 회로를 추가로 포함하고, 상기 공급 회로는 상기 참조 노드의 상기 전위 수준을, 상기 제어 전압에 따라, 출력하는 것을 특징으로 하는 전력 공급원.
- 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 저항, 상기 제 2 저항, 상기 제 1 전류, 그리고 상기 제 2 전류는 상기 척에 대해 약 106-1018 오옴센티미터의 저항률 범위에서 작동하는 것을 특징으로 하는 전력 공급원.
- 플라즈마 공정 챔버에서, 척에 기판을 죄기 위한 방법으로서,제 1 내장 전도체와 제 2 내장 전도체를 가지는 척을 제공하고;참조 노드를 가지는 제 1 전력 공급원을 제공하며 - 상기 제 1 전력 공급원은 제 1 출력부와 제 2 출력부를 가지고, 상기 제 1 전력 공급원은 상기 제 1 출력부의 제 1 전류와 상기 제 2 출력부의 제 2 전류를 사이의 전류차를 감지하기 위해 상기 제 1 출력부와 상기 제 2 출력부에 연결되는 제어 회로를 추가로 포함하며, 상기 제어 회로는 상기 참조 노드의 전위 수준을 제어하기 위해 상기 제어 회로의 상기 제어 출력의 제어 전압을 출력하고, 상기 제어 전압은 상기 전류차에 비례하며;상기 제 1 출력부에 상기 제 1 내장 전도체를 연결하고; 그리고상기 제 2 출력부에 상기 제 2 내장 전도체를 연결하는; 이상의 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 제 1 출력부와 직렬연결되는 제 1 저항과, 상기 제 2 출력부와 직렬연결되는 제 2 저항을 포함하고, 상기 제어 회로는 상기 제 1 저항에서의 전압 강하를 감지하기 위한 제 1 증폭기와, 상기 제 2 저항에서의 전압 강하를 감지하기 위한 제 2 증폭기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 11 항에 있어서, 상기 제 1 저항과 상기 제 2 저항은 같은 값을 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 11 항에 있어서, 상기 제 1 저항은 약 500 킬로오옴 +/-1%의 값을 가지고, 상기 제 2 저항도 약 500 킬로오옴 +/-1%의 값을 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 11 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 제어 전압을 생성하기 위해 상기 제 1 증폭기와 상기 제 2 증폭기의 출력부에 연결되는 차동 증폭기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 제어 전압은 상기 제 1 전력 공급원의 제 2 전력 공급원에 연결되고, 상기 제 2 전력 공급원은 상기 제어 전압에 따라, 상기 참조 노드의 상기 전위 수준을 출력하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 척은 1010-1011오옴센티미터 범위의 저항을 가지는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 정전 척 전력 공급원의 참조 노드의 참조 전압을 제어하기 위해 배치되는 제어 회로로서, 상기 정전 척 전력 공급원은 기판을 쌍극 정전 척에 죄기 위해 배치되고, 상기 쌍극 정전 척은 제 1 내장 전도체와 제 2 내장 전도체를 가지며, 상기 정전 척 전력 공급원은 상기 제 1 내장 전도체와 연결하기 위해 배치되는 제 1 출력부를 가지고, 상기 제 1 출력부는 상기 참조 전압에 대해 제 1 출력 전압을 가지며, 상기 정전 척 전력 공급원은 상기 제 2 내장 전도체와 연결하기 위해 배치되는 제 2 출력부를 가지고, 상기 제 2 출력부는 상기 참조 전압에 대해 제 1 출력 전압을 가지면서, 상기 제어 회로는:상기 제 1 출력부와 직렬연결되는 제 1 저항 수단;상기 제 1 저항 수단에서의 제 1 전압 강하를 감지하기 위해 상기 제 1 저항 수단에 연결되는 제 1 감지 수단;상기 제 2 출력부와 직렬연결되는 제 2 저항 수단;상기 제 2 저항 수단에서의 제 2 전압 강하를 감지하기 위해 상기 제 2 저항 수단에 연결되는 제 2 감지 수단;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 제어 회로.
- 제 17 항에 있어서, 상기 제어 회로는 상기 제어 전압을 생성하기 위해 상기 제 1 증폭기와 상기 제 2 감지 수단에 연결되는 차동 증폭 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 회로.
- 제 17 항에 있어서, 상기 제어 전압은 회로 수단으로 입력되고, 상기 회로 수단은 상기 참조 노드의 상기 전위 수준을, 상기 제어 전압에 따라, 출력하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 제어 회로.
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