45 25 2 1 A7 ________L B7 五、發明說明（ί ) 發明說明 發明背景 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是關於一種淸潔裝置及用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔方法，特別是關於一種利用雷射光自樹脂密封金 屬模移除污點的淸潔裝置及使用此淸潔裝置的方法。 相關技藝說明 樹脂密封金屬模通常用於藉由以樹脂密封丨c、Ls丨等 而製造特定產品。在用於製造特定數目的產品以後，必須 淸潔樹脂密封金屬模。此淸潔是重要的，特別是當產品數 目大的時候，當產品外觀等必須改進的時候，及當產品的 耐氣候性必須維持及改進的時候尤然。 傳統上，淸潔樹脂密封金屬模經常需要人工執行的淸潔 過程。結果，需要大量的勞力及時間以用於淸潔。此狀況 導致樹脂密封過程中人力時間增加及生產力惡化的問 題。 在狀況下，極爲期待淸潔裝置發展之進步及能夠簡化樹 脂密封金屬模之淸潔操作的淸潔方法。所期待的是，此裝 置及方法能夠減少淸潔操作的人力時間及淸潔時間，以改 進生產力。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 就一先前技藝的例子而言，日本公開特許專利申請案 1 0 - 2 5 5 5 1 0號揭示一用於車輛的照明燈透鏡《更詳言之， 所揭示者係關於一種用於車輛的照明燈透鏡，其中形成一 主要由氧化鈦製成的薄膜，其具有光介質的功能。在該揭 示的表1中，於一前照明燈透鏡-其外表面塗覆以具備光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 452521 A7 _______B7____ 五、發明說明（> ) 介質功能的薄膜-以陽光照射五小時的狀況下，在照射前 後測量透光率以觀看差異。表1顯示，在陽光照射前後， 畸變透鏡之透光率改變的測量結果，即，在污點由陽光分 解前後，透鏡之透光率的改變，陽光係500毫微米的光。 此外，在先前技藝參考案中也提到，用於車輛的前照明 燈透鏡能夠藉由紫外線以光分解畸變透鏡上的污點，以自 然維持透鏡的透明度，因爲它具備氧化鈦薄膜-其具有光 介質功能而有效形成於畸變透鏡表面上-之故。 依此方法，先前技藝參考案顯示，其上形成一薄膜之此 畸變透鏡能夠分解及移除透鏡上的污點，此提供一優點， 即，前照明燈能夠使它的外觀與照明度長久保持良好的狀 況=然而，掲示於參考案中的此薄膜只可以部分分解與移 除有機化合物的污點。 在先前技藝參考案中，未揭示移除所附著之無機物污 點。所以，難以完全淸潔包含有機材料及無機物的複雜污 點。例如，密封材料是有機材料與無機材料的化合物，有 機材料係諸如環氧樹脂等，無機材料係諸如矽石、氧化鈣 等的充塡物。關於移除此複雜污點，其通常遠比移除有機 物污點的狀況困難。同樣地，單獨利用上述淸潔方法難以 淸潔複雜污點。 至於其他先前技藝的例子，日本公開特許專利申請案卜 1 2 2 4 1 7號揭示一淸潔方法，利用淸潔模製合成樹脂所用 的金屬模。依據此方法，可以移除有機物與無機物的污 點。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） * —III --------^« — — — ( — 1— , (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4525 2 1 ΚΙ _____B7 _五、發明說明（^ ) 然而，在此方法中，如果使用參考案之第3圖所示的方 法，必須花費長時間，即，三至五小時，以完全移除整個污 點。此外，淸潔所需要的時間依照金屬楔的尺寸與骯髒程 度而定，因此，無法預期改善生產力。 本發明已經達成先前技藝所考慮到的上述特色。在一 用於樹脂密封的樹脂中，各種有機物與無機物混合在一起， 所以，每次在形成樹脂密封時，包含有機與無機物混合物 的樹脂彤成材料傾向於粘附在形成樹脂密封之一金屬模 表面。此導致污點的累積。 依據上述先前技藝的方法，例如，污點的移除是用紫外 線的光分解效應而執行，其對於物品之分解爲有機物造成 限制。 結果，無機物的污點並未分解，而是堆積在金屬模內 部。所以，不可能使金屬模內部完全淸潔。此外，關於一 由有機與無機物之複雜化合物製成的密封材料，淸潔效應 將更減小，使得更難以移除污點。 發明槪述. 所以，本發明之一目的是提供一種裝置及使用該裝置的 方法，裝置用於在短時間內淸潔樹脂密封金屬模上的污點， 即使污點是有機與無機物之複雜化合物時亦然》 依據本發明的第一特色，提供一用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔裝置，包括：一雷射光產生機具；，一第一反射機具， 用於反射雷射光產生機具所產生的雷射光；及一第二反射 機具，用於自第一反射機具接收所反射的雷射光，以照射 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 452521 ___B7___ 五、發明說明（4 ) 該金屬模的內表面。 (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) 依據本發明的第二特色，提供一用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔裝置，其如第一特色所述，又包括一轉動機具，用 於轉動該第二反射機具。 依據本發明的第三特色，提供一用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔裝置，其如第一特色所述，其中該雷射光產生機 具是一脈波形雷射產生機具，其以脈波施加雷射光。 依據本發明的第四特色，提供一用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔裝置，其如第二特色所述，其中該雷射光產生機 具是一脈波形雷射產生機具，其以脈波施加雷射光。 依據本發明的第五特色 > 提供一淸潔系統，包括：一用於 淸潔樹脂密封金屬模的淸潔裝置，其具有一雷射光產生機 具、一用於反射雷射光機具所產生的雷射光之第一反射 機具、及一用於自第一反射機具接收所反射的雷射光所 照射該金屬模內表面的第二反射機具；與一具有一薄膜的 樹脂密封金屬模，薄膜具備光介質效應，且形成於金屬模 之至少一部分。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依據本發明的第六特色，提供—淸潔系統，包括：一用於 淸潔樹脂密封金屬模的淸潔裝置，其具有一雷射光產生機. 具、一用於反射雷射光產生機具所產生的雷射光之第一 反射機具、一用於自第一反射機具接收所反射的雷射光 以照射該金屬模內表面的第二反射機具' 及一用於轉動 該第二反射機具的轉動機具；與一具有一薄膜的樹脂密封 金屬模，薄膜具備光介質效應，且形成於金屬模之至少一 本紙張尺度適用中國國家搮準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 45 25 2 1 A7 __B7______五、發明說明（f ) 部分》 依據本發明的第七特色，提供一淸潔系統，包括：一用於 淸潔樹脂密封金屬模的淸潔裝置，其具有一雷射光產生機 具、一用於反射雷射光產生機具所產生的雷射光之第一 反射機具，一用於自第一反射機具接收所反射的雷射光 以照射該金屬模內表面的第二反射機具、及一用於轉動 該第二反射機具的轉動機具,該雷射光產生機具是一脈波 形雷射產生機具，其以脈波施加雷射光；與一具有一薄膜 的樹脂密封金屬模，薄膜具備光介質效應，且形成於金屬 模之至少一部分。 依據本發明的第八特色，提供一用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔方法，包括：一用於產生雷射光的雷射光產生步 驟：一第一反射步驟，用以反射在雷射光産生步驟所產生的 雷射光；及一第二反射步驟，用於接收在第一反射步驟所 反射的反射雷射光，以施加雷射光，以照射該金屬模內表 面。 依據本發明的第九特色，提供一用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔方法，其如第八特色所述，所中該金屬模具有一 薄膜，薄膜具備光介質效應，且形成於金屬模之至少一部 分。 依據本發明的第十特色，提供一用於淸潔樹脂密封金屬 模的淸潔方法，包括：一用於產生雷射光的雷射光產生步 驟；一第一反射步驟，用於反射在雷射光產生步驟所產生 的雷射光；及一第二反射步驟，用於接收在第一反射步驟 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（210 X 297公釐） 452521 A7 B7 五、發明說明（b ) 射 反面 所表 反 雷 照 以 雷 0 以 偽 光 薄 質 光介 射光 雷一 加至 施加 以施 ’波 光 膜 内加 模施 屬條 金膜 該薄 表 内點 模污 屬雜 金複 於的 面 污 πρ ώρ 内 模 屬 金 除 移 。 解物 分合 熱化 與機 化無 氧與 光機 由有 藉有 以含 點 明 說 細 詳 列 下 由 性 特 穎 ^ Τ— 葑 與 的 目 他 其 及 上 明以 説的 單明 簡發 式本 圖 附 合第 配 圖 讀 閲 圖 視 是 _ 楚之 清明 為發 更本 以示 可顯 時， 中 其 模 屬 金 封 密 脂 樹 潔 清 有第 ，在Μ ^ 是 裝h 笔圖 潔 2 清第 的 彼 於 定 設 正 模 屬 金 線 的 圖 圖 視 ώο 之 作 所 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝---- 線 的 圖 下 況 狀 同 不 1 -在 第在,r 在示示 是顯顯 圖圖圖 3 4 5 第第第 圖 視 剖 之 作 所 之 而I 例以 一 光 之加 鏡施 形源 邊光 多一 的自 明， 發 本 於 用 像 關 的 間 之 應 明 效說 潔例 清施 與實 間佳 時 較 圖 考 參第 在考 現參 至 實 一 。之 例模 施屬 實金 佳封 較密 一 脂 之樹 明的 發明 本發 明本 説供 細提 詳將 將 ， J 圖 3 訂---------線 例 施 樹 之 明 發 本 是 圖 1A 第 線 的 圖 li 第 在 是 圖 2 作
第之 0 明 圖發 視本 側 |不 的顯 模其 屬’ 金 封 密 匕B 圖 視 剖 之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 画 視 剖 的 模 屬圖 金視 封剖 密之 Μ 作 樹所 第 線 的 _ 視 平 的 模 屬 金 第封 在密 是脂 圃樹 之 明 發 本 示 顯 其 裝多 潔一 清與 模 屬 金 封 密 脂 樹 之 _ 、 3 發元 本單 ，盪 振 光 射 雷 與 一 1括 第2ί G包 °女 2 圖 置 示 繪 所 圖 ' 5 鏡 射 反 全 完 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） A7 B7 五、發明說明（7 ) 邊形鏡7。在此事例中，可提供複數個完全反射鏡5與多 邊形鏡7… 如第4圖所示，例如，多邊形鏡7係多面體結構，且多面 體的每一表面必須較佳爲具有一平坦表面。就多面體結 構而言，它不限於特殊結構，但它必須較佳爲八面體結 構。此多邊形鏡，例如，具有單一轉軸，且它的結構可由一 轉動機具，諸如步進馬達、直流馬達、無刷馬達等，以毎 分鐘100轉或更多的速率自由轉動。 如第1圖所示，關於本發明之樹脂密封金屬模淸潔裝置 2 ,它插入開啓狀態之樹脂密封金屬模1，Γ所提供的空間 中，而淸潔操作在該處啓動。 再一次，樹脂密封金屬模淸潔裝置2包括雷射光振盪單 元3、完全反射鏡5、與多邊形鏡7。在本發明之此樹脂 密封金屬模淸潔裝置2中，一中雷射光振盪單元3施加的 雷射光4首先由完全反射凝5反射。其次，一由完全反射 鏡5以預定角反射的雷射光6由多邊形鏡7反射，多邊形 鏡7以每分鐘100轉或更多的速率依上述方式轉動。 然後，關於由多邊形鏡7反射的雷射光8。由於多邊形 鏡7如上述自由轉動，在多邊形鏡7的入射角（反射角）實. 質上改變，如第4圖所示。結果，反射光爲片丨2之形式， 其均勻照射於一樹脂密封穴1 1。另言之，如第2圖所示， 在一特定時刻進入多邊形鏡7之特定表面的雷射光相對 於入射光之一法線.而對稱反射，且此反射光待將樹脂密封 穴1 1內部之一特定部分照射成一點。然後，當多邊形鏡 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂 -------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 452521 A7 ___B7____ 五、發明說明（/ ) 在下一時刻開始轉動時，新的雷射光被反射，以接續照射 於一部分，其不同於以前照射的部分，此係由於一入射表面 與入射光形成之法線改變之故。較佳地，反射光必須照射 一部分，其在剛剛照射之部分的附近。依此方式，由於轉 動的多邊形鏡，雷射光乃一系列施加於Y方向之一線上， 如第1圖所示 以相同的方式，X方向固定，而Y方向的操作由一雷射光 執行，雷射光經歷完全反射鏡與轉動中之多邊形鏡的多重 反射，藉由，雷射光乃以連續的方式施加至穴1 1內部。 其次，因爲操作以相同的方式在X方向連續施加，照射光 在Y方向與X方向皆受控制，以允許片形之此照射。在此 事例中，完全反射鏡與多邊形鏡能以諸如中央處理單元的 操作機具操作。在此操作方法中，具備穴內骯髒程度的映 射資訊之資料可以預先準備，以致於可以參考資料，以將 照射強度集中在特別骯髒之點，導致淸潔所需要的時間較 短。 以此方式，因爲本發明之樹脂密封金屬模淸,潔裝置2能 將本身移動至X方向（13)，故可以藉由通過整個區域的雷 射光照射穴11。此外，因爲完全反射鏡5可以改變它的. 角度，且多邊形鏡可以移動至Z方向，即，在垂直方向，故 穴π的整個區域，包含上金屬模1與下金屬模1’的上、 下 '左與右部分，可由雷射光8照射·> 雖然已經針對淸潔上金屬模或下金屬模之事例而提供 說明，但本發明不只限於此事例，而是也可以同時移除上 -1 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----II ! I I--.^------- 訂·! ------線 r (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 5 2 5 2 t A7 --~~·>_____B7 &、發明說明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 金屬模與下金屬模二者的污點。在此事例中，可以提供複 數多邊形鏡7與完全反射鏡5。金屬模的上部分與下部 分可藉由將複數光瞄準多邊形鏡而同時照射，此係藉由利 用複數完全反射鏡與在完全反射鏡前部分的半鏡以將雷 射光分爲二，或藉由利用複數光源而達成。於是，在本發 明中，應用多重反射系統，利用具有反射功能的複數構件， 諸如多邊形鏡7、完全反射鏡5等，可以在X方向、Y方 向、Z方向自由照射金屬模。在本發明中，只要本發明之 標的停留在它的限制內，則可適當配置複數多邊形鏡7、 完全反射鏡5、雷射光源等，且又可適當添加光學系統， 諸如半鏡 '透鏡等。 此外，以片形施加雷射光的操作可以操作程式爲基礎而 以執行。例如，在本發明中，含有每一金屬模特別骯髒部 分之資訊的資料可以映射格式編輯而輸入，以製作操作程 式。然後，淸潔操作能以具備污點分佈的映射資訊之此程 式爲基礎而執行。本發明可以處理形狀複數之每一形式 的金屬模，且有效引導每一模的雷射光照射》 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所以，本發明之樹脂密封金屬模淸潔裝置2能以強烈的 雷射光照射穴1 1的每個地方，而只需要短的時間。因此，. 強烈的紫外線可以短時間施加至金屬模內部，導致可以在 短時間內完全移除含有有機與無機物化合物之所有形式 的污點》 在本發明之樹脂密封金屬模淸潔裝置中，較佳者爲，YAG FHG(第一諧波產生器）雷射光（ 266毫微米）、YAG THG(第 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 45 252 1 A7 _B7_ 五、發明說明（W) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 三諧波產生器）雷射光（3 5 5毫微米）等之雷射光4充當光 源。特別地，在本發明中，此雷射光的強度通常具有約5 0 0 至2000毫瓦特的輸出，及約〇.〗至〇.2平方公厘的光點 尺寸。此外，此雷射光必須較佳地以脈波施加，且脈波循 環正常必須在100至100000赫茲內，在500至50000赫 茲內更佳，或約1 0 0 0 0赫茲更佳。利用此雷射光的照射可 藉由約60至1〇〇公厘/秒的操作速率在金屬模上執行。 —具有光介質功能的氧化鈦薄膜1 〇以此雷射光照射。 氧化鈦薄膜1 0可以利用習知的方法製作》例如，氧化 鈦薄膜】0可以由有機鈦化合物 '鹵素、無機鈦化合物形 成，有機欽化合物係諸如欽醇鹽（titanium alkoxide)、 鈦螫合物（titanium chelate)、醋酸鈦（titanium acetoxUe)、化學式RaTiCl3_a等（R是單價醇有機群，諸 如烴基群、烷氧基群、乙酸基群等，而，a，是整數]或2。 當’a’是2時，R可爲相同或不同），鹵素係諸如ΤιΧ4等，無 機鈦化合物係諸如T i C丨4、T i ( S04 )等。至於利用以上化 合物產生氧化鈦薄膜10的方法有溶膠-凝膠過程、CVD 方法等。CVD方法包含，例如，M0CVD方法，其利用上述有 機鈦化合物與無機鈦化合物》 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至於其他方法，噴濺金紅石型或銳鈦礦型氧化鈦的方法 及在氧化氛圍下噴濺金屬鈦的方法是可行的。 在另一方法中，溶解於有機溶劑中的液態有機鈦化合物 溶液或分散於有機溶劑中的液態有機鈦化合物之分散液 體係用於塗覆，以藉由一有機鈦化合物或—無機鈦化合物 -1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 525 2 彳 A7 ___B7_____ 五、發明說明（（/ ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 的水解或是藉由氧化鈦的先驅物而形成一薄膜。其後，施 加氧化過程等，以使氧化鈦最終形成薄膜。在此事例中， 正在產生的氧化鈦薄膜1 0可以是金紅石型或銳鈦礦型。 此外，在形成一薄膜於金屬模表面以前，可施加諸如砂 石等的矽化合物，其後，形成一由化合物製成的薄膜，化合 物含有利用上述鈦化合物的氧化鈦化合物。較佳地，在含 有氧化鈦化合物的化合物形成於薄膜中以後，其必須加熱 以強化其與金屬模的接合，且改進它的光氧化性。在本發 明中，雖然一具有光介質功能而形成於金屬模表面上之氧 化鈦薄膜使用於本發明的較佳實施例中，但具有光介質功 能的任何化合物可施加至金屬模表面（較佳爲施加至金屬 模內表面），只要本發明之標的未改變即可。關於此化合 物，例如，可以從下列選擇或更多：SrTi〇3、ZnO' Sn02、W〇3、 Fe203、Fe03-Fe0、Bi 203 ,以添加至上述光介質、且又與 氧化鈦的上述光介質一起形成於一薄膜中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藉由以來自該光源的強烈雷射光照射由上述方式形成 的氧化鈦薄膜1 〇上之污點9 ,污點9可藉由包含光分解 與熱分解的二種分解效應移除。例如，污點9可爲充當密 封材料之環氧樹脂的餘留成份。既然1壞氧樹脂是有機物， 它可藉由氧化鈦的強烈光氧化效應而光分解。同時，由於 光點面積約爲0 . 1至0 . 2平方公厘之雷射光4的強烈光 學能量，及2 0 0毫瓦特以上（例如，5 0 0至2⑽0毫瓦特）的 輸出，污點9不只光分解，且經由碳化等而熱分解。待用 於本發明的雷射光較佳爲脈波型，但也可爲連續型。 -1 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 45 25 2 1 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（α) 由本發明之樹脂密封金屬模淸潔裝置2移除的污點狀 況及污點移除方法的其他例子顯示於第5圖中，以作比 較。第5圖顯示，在不同的照射狀況下之不同事例的淸潔 結果。 第5圖中：位準1是一事例的淸潔效應之一例，其中作 爲光源之一低壓水銀燈用於施加0 . 3 5 5微米（3 5 5毫微米） 的紫外線。在使用此光源時，污點主要只藉由光分解而分 解。 ' 位準2是一事例的淸潔效應之一例，其中使用一光介質 與一低壓水銀燈，水銀燈作爲光源，以施加0 . 3 5 5微米 (3 5 5毫微米）的紫外線。在此事例中，由於紫外線與光介 質之使用所致的直接光分解複錐效應所引起的光分解效 應，乃將污點分解。 位準3是一事例的淸潔效應之一例，其中二氧化碳雷射 作爲光源，以施加1 0 . 5 9微米（1 0 5 9毫微米）的紅外線。 在使用此光源時，污點主要只藉由熱分解而分解。 位準4是一事例的淸潔效應之一例，其中使用一光介質 與一 YAG THG(第三諧波產生器）雷射，以施加〇」55微米 (3 5 5毫微米）的紫外線。在此事例中，由於紫外線與光介. 質之使用所致的直接光分解複雜效應而引起的光分解效 應，以及由於平行使用光介質與熱分解-其由一強烈雷射 光引發-導致以上複雜的光分解所同時引起的複雜效應， 乃將污點分解。在此事例中，污點在短時間內分解，且展 示1 0 0%的淸潔效應。 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ill---------^--------訂---------線 > (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 25 2 1 A7 ____B7 五、發明說明（β ) 第5圖中，位準4對應於本發明的淸潔方法，其利用平 行使用光介質與熱分解所導致光分解之同時與複雜的效 應。與只使用光分解或熱分解以引發淸潔作用之其他事 例相比’位準4展示]〇〇%的淸潔效應，且在展示此淸潔效 應時只需要短時間，約一小時或更少。 如上述，依據本發明，樹脂密封金屬模淸潔裝置包括雷 射光振盪單元3 '完全反射鏡5與多邊形鏡7。 在一用於樹脂密封的樹脂中，所有種類的有機物與無機 物結合起來。特定產品藉由利用金屬模模製.此樹脂密封 的樹脂而製造。用於此事例之樹脂密封金屬模的表面通 常具有一樹脂密封材料，其包含在每—樹脂密封生產過程 中粘附於它的有機與無機化合物。當此樹脂密封材料與 金屬模使用很多次時，樹脂密封材料的餘留物累積而變成 複雜的污點，其含有在金屬模內表面上的有機與無機化合 物。 依據本發明，採取上述結構，同時引起光分解（光氧化） 效應與熱分解效應。結果，本發明不僅可以有效移除有機 化合物的污點，而且可以有效移除無機化合物的污點。此 外，本發明能夠從密封材料中完全移除複雜的污點，其中. 有機化合物與無機化合物混合在一起。 此外，依據本發明，強烈的紫外線雷射光可以脈波與片 的形式照射。所以，藉由來自一強烈雷射功率與脈波照射 的衝擊力等所引起之機械效應的污點移除添加至上述效 應所致的污點移除。結果，本發明不僅可以有效移除有機 -1 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·----I I I 訂· I 1 I I ! - 經濟部智慧財產局員工湞費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ">252 ί Α7 _；_Β7_ 五、發明說明（W ) 化合物的污點，而且可以有效移除無機化合物的污點《此 外，本發明能夠從密封材料中完全移除複雜的污點，其中 有機化合物與無機化合物混合在一起。只使用光氧化或 熱分解以除移此複雜的污點是困難的，或者需要長時間， 但本發明可在短時間內移除此複雜的污點，而不會在金屬 模上面產生任何刮痕。 所以，依據本發明，即使當新的污點形成於金屬模表面 上時，可以容易地移除它們。此外，沒有污點由於金屬膜 上面的刮痕而形成，所以，LS I等的品質不會由於形成在 金屬膜上面的刮痕而受到影響。 雖然已經使用特殊術語而說明本發明的較佳實施例，但 此說明純爲繪示之目的；且應瞭解，可加以改變及變化，而 不會偏離下列申請專利範圍的精神或範疇。 符號之說明 1…樹脂密封金屬模 1 ’ 樹脂密封金屬模 2…樹脂密封金屬模淸潔裝置 3…雷射光振盪單元 4.. .雷射光 . 5--·完全反射鏡 6 ...雷射光 7…多邊形鏡 8 雷射光 9.. .污點 -16- (請先閱讀背面之>i意事項再填寫本頁) 裝·--1!1 訂------ -- 線- 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 452521 A7 __B7 五、發明說明（<) ο 2 膜穴 薄封鈦密 匕 旨氧樹片
向方 X (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝----- --訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）