4 4 07 4 7 a7 B7 經濟部中央標準局員工消斧合作社印製 五、發明説明（1 ) 【技術領域】 本發明係有關在眞空環境下藉加熱’加磨被成形材來 積層眞空稹層裝置及眞空稹層方法，更詳言之，關於做爲 被形成材，例如於製造印刷電路板之步驟，將具有由於電 路線引起之凹凸部分之電路基板表面欲積層薄膜狀光致抗 蝕劑形成厝時，或在平滑之板狀基板表面爲了裝飾積層薄 膜等，或，將薄膜狀之被形成材互相稹層時所使用之眞空 積層裝置及眞空稹層方法者° 【背景技術】 例如，欲製造印刷電路板時，爲了將電路基板之電路 從蝕刻，«鍍，軟焊等保護，具有將由支撑體薄膜及.感光 層所構成之薄膜狀光致抗蝕劑形成層熱壓著於電路基板表 面之步驟。光致抗蝕劑形成層係藉積層由加熱具有黏著性 ，而加壓電路基板表面。 然而，在稹層電路基板之薄膜狀光致抗蝕劑形成層之 表面因具有由於電路線之凹凸部分，所以，尤其若感光層 厚度較電路線厚度爲薄時，就容易在笔路基板與薄膜狀光 致抗蝕劑形成層之間發生殘留氣泡等之空隙。所發生之空 隙係，例如熔化軟焊浴等，在後續步驟之高溫處理時將發 生膨脹，而可能使薄膜狀光致抗蝕劑形成層破損等之情形 發生，而可能導致發生電路基板之保護不良或絕緣不良等 原因之虞。 像這樣，欲稹層各種被形成材時，爲了不使在被成形 (請先閲讀背面之注意事項再填穿.本頁) 本紙張尺度通用中國囷家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） 44 07 4 7 A7 B7
it 五、發明說明（2 ) 材名間發生空隙，從以往就在真空環境下藉加熱，加壓進 行稹層。 欲積餍被成形材時之先行技術，係如日本特公平 1 - 1 4 0 1 6號公報所揭示，做爲在電路基板稹層薄膜 狀光致抗蝕劑形成層之方法，使用導輥將薄狀薄膜狀光致 抗蝕劑形成層接觸於電路基板上，將被電路基板所夾餍被 密封狀態之薄膜狀光致抗蝕劑形戒層使用熱Μ著輥加熱加 壓做積層者爲人所知曉。使用於本方法之裝置，係由備有 電路基板供應辊與薄膜狀光致抗蝕劑形成層供應輥與導辊 與熱壓著輥之貼合機構，與密閉整體此貼合機構之隔間， 與減壓隔間內部之排氣機構所構成。 又，別的先行技術之真空稹層裝置，則如曰本特開昭 6 3 - 29 5 2 1 8號公報或日本特開昭 6 3 - 2 9 9 8 9 5號公報所揭示，備有：具有加熱機構 而構成可開閉隔間之上板與下板，與設於此隔間內而欲將 被形成材收容爲可密閉膜體之橡膠板，與連接於橡膠板之 真空源係爲人所知曉此真空積層裝置係將被成形材收容 於橡膠板內，閉合隔間以密閉橡膠板，而吸引驅動真空源 被成形材而將所收容之橡膠板成爲真空環境，同時，縮少 橡膠板內之容稹來加壓被成形材，而由加熱機構來加熱被 成形材者。 並且，如日本特公昭5 5 — 1 3 3 4 1號公報所揭示 ，在具有凹凸部分之電路基板表面積層薄膜狀光致抗蝕劑 形成層所使用之真空稹層方法，在電路基板表面鄰接定位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4鈮格（210 X 297公釐） % 閱 £ f
線 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 -5 - 邊 4 Q 7 4 7 A7 _._B7_ 五、發明說明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 薄暉，而將基板之凹凸部分與薄膜之光致抗蝕劑形成層之 間及支撐體側之絕對氣壓降低到1氣壓以下，仍保持電路 基板之凹凸部分與薄膜之光致抗蝕劑形成層間之減壓狀態 下因解除薄膜支撐體側之減壓，將基板之凹凸部分與薄膜 之光致抗蝕劑形成層間之接觸達到空氣壓性者爲人所知曉 。在此真空積層方法所使用之真空積層裝置係，由欲形成 -從對向之薄膜狀光致抗蝕劑形成·層所分割之隔間之上板及 下板所構成，在此上板與下板備有分別將隔間真空吸引及 開放於大氣之孔。 經濟部智慧財產局員工消t合作社印製 然而，於上述先行技術之中，日本特公平 1 — 1 4 0 1 6號公報所揭示者，係爲了將密閉整個貼合 機構之隔間內部進行減壓，其所真空吸引之容積爲大，又 ，由於隔間之密閉度低，有不能充分進行減壓之問題發生 。並且，導輥或熱壓著輥係將薄膜狀光致抗蝕劑形成層接 觸於電路基板上加熱加壓時因會變成線接觸，所以，在具 有凹凸部分之電路基板表面積層薄膜狀光致抗蝕劑形成層 等時具有埋入性不充分之問題發生。除此之外，若使用上 述輥輪時爲了避免由於基板表面之凹凸部分之緣部來損壞 光致抗蝕劑層而使用適當壓力押壓是件非常困難之事。 上述先行技術之中，日本特開昭63 — 29521 8' 號公報或日本特開昭6 3 - 2 9 9 8 9 5號公報所揭示者 ，係收容被形成材之橡膠板由於自重而下垂，而被形成材 會發生意外接觸之問題。又，因真空吸引密閉之橡膠板而 收容被形成材之橡膠板內變成真空環境，同時，由於縮小 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6 - 4407 ΑΊ A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（4 ) 橡if板內之容積來加壓被形成材，所以，會發生橡膠板內 之環境還沒有達到真空時就開始加壓之問題發生。並且， 受到加熱而也具有黏著性之被形成材被加壓於橡膠板而發 生接著之問題。 上述先行技術之中，在日本特公昭5 5 — 1 3 3 4 1 號公報所揭示者，係將被分割隔間之一方變成真空之狀態 將他方隔間開放於大氣來加壓被戒形材，所以，不能充分 地加壓被形成材，而具有不能減少發生空隙之問題。 上述先行技術之中，日本特開昭6 3_2 9 5 2 1 8 號公報或日本特開昭6 3 - 2 9 9 8 9 5號公報，及曰本 特公昭5 5 — 1 3 3 4 1號公報所揭示者，係當閉合上板 及下板時必須將形成具有氣密性隔間所用之密封構件至少 設於上板或下板之任一方之對向面。又，對於被形成材之 上板及下板大小不適合之部分，亦即，與被形成材所鄰接 之成形品之間發生甚多浪費，若配合欲積層之成形品來減 少被形成品之浪費時必須將上板及下板更換爲所適合之大 小。並且，爲了加熱整個上板及下板，若被形成材對於上 板及下板不適合時，其加熱所需之能量會變成浪費之問題 〇 本發明係有鑑於上述先行技術所開發者，其目的係提 供一種真空稹層裝置，其係防止因上板膜體之下垂引起對 於被形成材意外之接觸或隔間內之脫氣不良，而在適當真 空環境下確實地加壓被形成材而進行不發生空隙之積層作 業者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） n I n ϋ n ϋ «I n I ^· I* n 1 If 1 I I (請先閱讀背面之注意i項再填寫4^-頁) -7 - 4407 47 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第85106683號專利申請案 中文說明書修正頁走7國89年1月修正 B7 五、發明說明（5 ) 又本發明之目的，係擬提供一種可容易地配合於成形 品之大小來更換框體之大小，以減少被成形材之浪費，並 且能確保在更換爲大小有相異之框體時，所會形成之隔間 之氣密性的真空積層裝置者。 又’本發明之目的係’被加熱而賦與黏著性之被形成 材，防止其接著於欲加壓之膜體。 且又本發明之目的係適合於被形成材之大小進行加熱 ’而只加熱所需部分，來節省能源。 本發明之其他目的係提供一種真空積層裝置，其係不 必配合成形品之大小來更換框體，又，與框體之大小沒有 關係可將被形成材之間隔變窄排列，就可減少被形成材之 浪費。 本發明係又提供一種真空積層方法，其係薄膜狀互相 或該薄膜狀物與其他基材貼合時，尤其基材表面具有凹凸 時，在層間不會發生捕捉空氣或形成空隙，並且，可連續 操作貼合，並且，可簡單地對應於被積層材大小之變化， 可減低材料成本及操作成本》 且又，本發明係提供一種真空積層方法，在製造印刷 電路板所用之電路基板等基板上不會將薄膜狀光致抗蝕劑 形成層在基板與抗蝕劑之間殘留氣泡或空隙，而可有效率 確實地貼合者。 【發明之揭示】 申請專利範圍第1項之發明係爲了達成上述目的，其 特徵爲備有；設成對向而可靠近遠離’設有加熱互相對向 面加熱手段之上板及下板，與固定於上板對向面具有弾性 之膜體，與載置於下板對向面具有彈性與可撓性與伸縮性 之膜體，與載置於該下板膜體上，藉上板與下板夾持膜體 張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ^i — — !·訂------I--線 -8 ~ 440747 A 7 B7__ 五、發明説明（6 ) (請先Μ讀背面之注意事項再填襄本頁) 具有收容連續之被形成材之隔間形成爲預定大小之框體， 與連接於上述隔間內來眞空吸引隔間內之吸引手段，與連 接於下板對於上板之對向面與載置於該對向面之膜體間， 由上述吸引手段眞空吸引隔間內時*進行吸引將亀板膜雔 固持於對向面上，同時，將上述被形成材在上板膜體之間 使欲加壓之下板膜體膨脹之吸引，加壓手段。 申請專利範圍第2項之發明係爲了達成上述目的，其 特徵爲備有：設成對向而可靠近遠離，設有加熱互相對向 面加熱手段之上板及下板，對於上板或下板之任一方他方 之對向面裝設成可靠近遠離之加壓膜體，與配置於上板及 下板之間，上板與下板靠近而由於夾持於上板與下板之間 來形成收容受到稹層之被形成材之隔間之框體，與眞空吸 引隔間內之吸引手段，與由該吸引手段眞空吸引隔間內時 吸引成密接於上板或下板任一方，同時，將被彤成材在欲 積層之上板或下板之任一間能夠進行加壓，將加壓膜體從 上板或下方之任一方離開使其膨脹之吸引，加壓手段。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 申請專利範圍第3項之發明係爲了達成上述目的，根 據申請專利範圍第2項之發明，其中在與上板或下板之任 一他方之加壓膜體對向之對向面固著膜體。 申請專利範圍第4項之發明爲了達成上述目的，根據 申請專利範圍第2項或第3項之任一項之發明，其中在加 壓膜體，與設在該加壓膜體之上板或下板之間，設了密封 膜體。 申請專利範圍第5項之發明係爲了達成上述目的，根 &張尺度適用t國國家標芈（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） n "44074? A7 ________B7 _ 五'發明説明（7) (請先鬩讀背面之注意事項再填讀本頁) 據申請專利範圍第3項之發明，其中在加壓膜體，與設於 該加壓膜體之上板或下板之間，設密封膜體，將合計加壓 膜體與密封體之厚度，變成上板或下板之任一他方所固著 之膜體厚度約略相同。 申請專利範圍第6項之發明係爲了達成上述目的，根 據申腈專利範圍第4項之發明，其中將與加壓膜體與密封 膜體互相接觸面之至少一方，能夠對於加壓膜體之約略全 面擴及吸引，加壓作用成而爲凹凸面。 申請專利範圔第7項之發明係爲了達成上述目的，根 據申請專利範圍第2項或第6項之任一項之發明，其中在 加壓膜體，與設於該加歷膜體之上板或下板之間，能夠擴 及膜體之約略全面發生吸引，加壓作用，設了形成預定間 隔之間隔形成構件。 申請專利範圍第8項之發明係爲了達成上述目的，根 據申請專利範圍第2項或第7項之任一項之發明，其中加 壓膜體，與設了該加壓膜體之上板或下板接觸之面，能夠 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 。 根 面， 凸的 凹目 成述 形上 ， 成 用達 作了 壓爲 加係 ， 明 引發 吸之 生項 發 9 面第 全菌 略範 約利 之專 體請 膜申 及 擴 送材 中封 其密 ， 衝 明緩 發了 之設 項橫 1 分 任部 之之 項側 8 口αρ 第形 或成 項之 1 續 第連 圍所 範少 利至 專之 請體 申框 據出 , 剖成 的由形 目係爲 述材溝 上封之 成密材 達衝封 了緩密 爲中衝 係其緩I 明，該一 ¾¾持 之發固一 項之· ο 項成 1 9 所 第第體 圍圍條 範範棒 利利之 專專形 請請圓 申申呈 據略 根面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2[〇X297公釐） 4407 47 經濟部t夹標準局員工消费合作社印裝 A 7 B7五、發明説明（8 ) 於框體，該溝係開口宽度較緩衝密封材之直徑爲小，底寬 形成爲較開口寬度爲大。 申請專利範圍第11項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第9項或第10項之任一項之發明，其 中送出框體所連績成形品側之部分，係爲了不會接觸於上 述成形品設有缺口。 申請專利範圍第12項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第9項或第11項之任一項之發明，其 中備有冷卻稹層連續帶狀薄膜材之成形品之冷卻手段。 申請專利範圍第13項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第1項至第12項之任一項之發明，其 中吸引手段，係連接於使上板或下板所抵接之框體內周附 近之開口。 申請專利範圍第14項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第1項至第13項之任一項之發明，其 中吸引，加壓手段係連接於加壓膜髖與設了該加壓膜體之 上板或下板之間所抵接之框體內周外部及/或約略中央之 開口。 申請專利範圍第15項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第1項至第14項之任一項之發明，其 中裝設將框體對於下板定位之扣合部。 申請專利範圍第16項之發明係爲了達成上述目的’ 根據申請專利範圍第1項至第15項之任一項之發明，其 中裝設將框體對於下板扣合成不能移動扣合之扣合部。 -11 - 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X297公釐） {請先閲讀背面之注意事項再填爲本頁} 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 440747 at B7 五、發明説明（9 ) 申請專利範圍第1 7項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第2項至第16項之任一項之發明，其 中能夠固定夾持加壓膜體周園，在設有該加壓膜體之上板 或下板之任一方可自由裝卸地安裝框體。 申請專利範圍第18項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第1項至第17項之任一項之發明，其 中各膜II係由具有耐熱性之橡膠所形成，而其橡膠硬度爲 4 0 至 6 G 〇 申請專利範圍第19項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第1項至第18項之任一項之發明，其 中在相對向膜體表面分別形成梨皮面（粗面）。 申請專利範圍第2 0項之發明係爲了達成上述目的根 據申請專利範圍第1項至第19項之任一項之發明，其中 加熱手段係裝設成能夠區隔上板及下板之對向面進行加熱 0 申請專利範圍第2 1項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第1項至第2 0項之任一項之發明，其 中裝設支撑撓繞連續帶狀薄膜材之捲筒所成之被成形材之 輥輪，該輥輪係備有寬度方向調整機構，而可使輥輪朝寬 度方向調整其位置。 申請專利範圍第2 2項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圔第1項至第2.1項之任一項之發明，其 中裝設支撑撓繞連續帶狀薄膜材之捲筒所成之被成形材之 輥輪，該輥輪係備有煞車器，而能夠對於薄膜材賦與預定 本紙張尺度適用_國國家標準（〇^}厶4规格（2〖0/ 297公釐） —111 - - - - · J I ―1 1^— I I {請先聞讀背面之注意事項再填貧本頁} 訂 -12 440747 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 B7 _五、發明説明（10) 之張力。 申請專利範圍第2 3項之發明爲了達成上述目的，根 據申請專利範圍第1項至第2 2項之任一項之發明，其中 備有將由連續帶狀薄膜所成之被形成材導引至上板與下板 之間送入之薄膜入口導板。 申請專利範圍第2 4之發明係爲了達成上述目的，其 係一種眞空積層方法，其係貼合同種或異種之薄膜狀物互 相或薄膜狀物與基材，其特徵爲； 在薄膜狀物上將別的薄膜狀物或基材，或在基材上靠 近或成接觸狀態定位成對面， 將上述薄膜狀物互相之間或薄膜狀物與基材之間及其 等之周圍空間之絕對氣壓減壓爲1氣壓以下， 將上述薄膜狀物及視其需要加熱上述基材，並且， 邊維持上述減壓從上述所對面之薄膜狀物或薄膜狀物 與基材上面側或下面側之任一方將其等使用較1氣壓爲高 之壓力進行加熱以貼合互相之薄膜狀物或薄膜狀物與基材 〇 申請專利範圍第2 5之發明係爲了達成上述目的，其 係一種眞空積層方法，其係貼合具有未曝光之感光層之薄 膜狀光致抗蝕劑形成層與在表面具有凹凸之基板，其特徵 爲， 將上述光致抗蝕劑形成層之感光層表面與上述基板之 凹凸表面靠近或以接觸狀態成爲對面，在一方之上位於他 方，__— ___ -13 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐} (請先閲讀背面之注意事項再填'寫本頁} 44 07 4 7 a? Β7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明（11) 將上述光致抗蝕劑形成層與上述基板之間及其等周園 空間之絕對氣壓減壓爲1氣壓以下， 加熱上述光致抗蝕劑形成層軟化其感光層，並且，邊 維持上述減壓，從上述對面之光致抗蝕劑形成層及基板 上面側或下面側之任一方將其等較1氣壓更高壓力加壓， 來貼合光致抗蝕劑形成層及基板β 申請專利範圍第2 6項之發明係爲了達成上述目的， 其係一種眞空稹層方法，其爲貼合具有未曝光之感光靥之 薄膜狀光致抗蝕劑形成層與在表面具有凹凸之基板，其特 徴爲： 將上述光致抗蝕劑形成層之感光層表面與上述基板之 凹凸表面以靠近或接觸狀態相對面而將他方位於一方之上 9 將上述光致抗蝕劑形成層稹上述基板之間及其等周画 空間之絕對氣壓減壓爲1氣壓以下， 加熱上述光致抗蝕劑形成層軟化其感光層，並且， 邊維持上述減壓，使用從上述對面之光致抗蝕劑形成 層及基板上面側或下面側之任一方分別約略擴及到全面做 接觸而押壓之具有彈性與可撓性與伸縮性之膜體，將其等 以較1氣壓更高壓，力加壓來貼合光致抗蝕劑形成層及基板 0 申請專利範圍第2 7項之發明係爲了達成上述目的* 根據申請專利範圍第2 5或第2 6項之任一項之發明，其 中加壓時之壓力爲2氣壓以上1 0氣壓以下。_ -14 - 本紙張尺度通用令國國家標举（CNS ) Α4規格（210X297公嫠） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 440747 A7 B7 五、發明説明（12) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 申請專利範圍第2 8項之發明係爲了達成上述目的， 根據申請專利範圍第2 5至第2 8項之任一項之發明，其 中加熱時之溫度爲3 0 t以上2 0 0 °C以下。 申請專利範圍第2 9項之發明係爲了達成上述目的* 根據申請專利範圍第2 5至第2 8項之任一項之發明，其 中將凹凸表面在具有表裏兩面之基板兩面貼合具有未曝光 之感光曆之薄膜狀光致抗蝕劑形成層。 【較佳實施態樣】 本發明之上述眞空積層方法之較佳態樣係構成爲：在 上方配置固定膜（例如，耐熱性橡膠等所成膜體），在下 方配置由於壓力變化而得以變形，膨脹之可動膜（例如， 耐熱性而具有可撓性及伸縮性之橡膠等所成之膜體）之密 閉隔間內供應欲貼合之構件，將其等表面互相靠近或接觸 狀態相對面， 將上述密閉隔間內之絕對氣壓減低到1氣壓， 加熱上述密閉隔間內之上述構件，並且， 經濟部中央橾準局員Η消費合作社印製 將上述密閉隔間內減壓之狀態下在上述可動膜向上側 較1氣壓爲高之壓力，尤其施加2氣壓以上10氣壓以下 之壓力，經由上述可動膜將上述構件推壓於上述固定膜， 兩構件，亦即，將薄膜狀物互相或薄膜狀物與基材貼合。 上述製程步驟中，在減低密閉隔間內之氣壓前，將欲 貼合構件與上下膜體之間隔設定爲2〜3mm時，可防止 上下膜體，尤其下方之可動膜之變形時所發生之鮍紋，同 本紙張尺度適用t國國家橾芈（CNS > A4规格（2丨OX297公釐） 440747 A7 B7 五、發明説明（13) 時，可減少眞空吸引之容稹。 於此較佳態樣上述密閉隔間係尤其由備有固定膜之上 板，與下板，與設置於上下板間之預定尺寸之框體，與設 度於該框髏與下板之間之可動膜所構成較佳。將進行眞空 稹層領域之密閉隔間藉構成爲如此，而發揮下列等之效果 0 •對於被積層材大小之變化只更換框體就可對應。 •因加壓係由下方推上，所以，不至於發生脫氣不良，而 可做到良好之貼合。 *固定膜及可動膜也可成爲密封材發生作用，而不必署要 特別之密封機構。 又，在上述上板及下板，分別配設固定膜，而可加熱 固定膜及可動膜時，加壓時就受到加熱，而可確實地貼合 0 若將密閉隔間構成如上述時，固定膜係可固定於上板 ，或，固定膜及可動膜也可分別設置於上板或下板之密封 膜體之表面上。 經濟部中失標隼局負工消費合作社印^ 在此，由於固定膜及密封膻（若使用時），與可動膜 及密封膜體（若使用時）之厚度變成約略相等，框體之密 封性變成上下均勻，而彌補上板，下板及框體之表面精度 ，而可提高眞空度。具體上爲可舉出將厚度3 mm之固定 膜燒著固定於上板，並且，將厚度2mm之密封膜體燒著 固定於下板之後，在其上面設置厚度1 mm之可動嘆之例 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格{ 2丨0 X 2们公釐） (請先閲請背面之注意事項再填寫本頁) -16 - 4407 47 A7 B7 J[考ηΓΐ- cl 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印f 五、發明說明（14) 、於本發明之真空稹層設法，將欲貼合之構件成爲互相 對面之後*將該構件之間及其等周圍空氣之絕對氣壓降低 爲1氣壓以下，但是，較佳爲降低爲5mmHg以下。藉 此，可確實分開上述兩構件間，若與他方之對向面爲黏著 性時，就可防止不需要之結合。 於本發明之真空積層方法，加熱時之溫度爲不特別加 •以限制，而依據欲貼合之薄膜狀物或基材材質做適當之選 擇。例如，做爲薄膜狀物而使用由熱塑性樹脂所形成者時 ，加熱溫度係該樹脂要軟化所需之溫度，而選擇熱硬化性 樹脂所形成之薄膜狀物時，就是其硬化所需之溫度》然而 ，積層光致抗蝕劑形成層與基板時，溫度爲3 0°C以上 2 0 0 °C以下較佳。此係，慣用性之光致抗蝕劑形成層在 此溫度範圍內不至於損及本身特性而軟化成可以壓著於基 板之程度所致。 於本發明之真空稹層方法，加壓時之壓力係較1氣壓 更高之壓力進行，但是，若其壓力爲1氣壓以下時不能充 分獲得構件之貼合壓著力所致。又，光致抗蝕劑形成層與 基板之貼合時*上述壓力爲2氣壓以上而1 0氣壓以下較 佳β此係，若未滿2氣壓時有時光致抗蝕劑形成層對於基 板之埋入將變成不充分，若超過1 0氣壓時光致抗蝕劑靥 或基板本身可能會受到損傷。按，此時之壓力爲尤其2氣 壓至5氣壓較佳。 又，使用上述框體做爲密閉隔間時，於本發明之真空 積層方法，由於在框體之成形品送出側部分裝設緩衝材， * H 1 n I f I ϋ 1« n I n I I n I (請先閱讀背面之注意事項再•填窝本頁) 訂· · --線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17 - 經濟部_央橾準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（15) 不會留存押壓成形品引起之痕跡，而不必依成形品之大小 替代框體。 同樣之效果係，也可獲得將夾住貼合之兩構件之密封 面之一方成爲金靨製之硬構件。 並且，光致抗蝕劑形成曆積基材之貼合時，於送出貼 合形成品之側，藉由冷卻上板及下板之一方或兩方，藉貼 合時之加熱對於處於軟化狀態之光致抗蝕劑層就可防止留 存由於押懕引起之痕跡。例如，水冷上板及下板之成形送 出部側，同時，在上板外周之成彤品送出側設置空冷空氣 噴出口。按，在此所使用之空冷空氣爲去除靜竃較佳。 本發明之眞空成形方法也可適用於具有凹凸表面於其 表裏兩面之基板兩面具有未曝光感光層之薄膜狀光致抗蝕 劑形成靥貼合之用。 在依據本發明之積層方法所積層之光致抗蝕劑形成層 _基板系及光致抗蝕劑形成層一基板一光致抗蝕劑形成層 系，也可施加以下之操作。 ♦將抗蝕劑形成層以圖像方式使用UV照射加以曝光。 •從被曝光之光致抗蝕劑形成層剝離支撑體薄膜，及， •(負軟片型之光致抗蝕劑時）以圖像方式將未曝光之光 致抗蝕劑形成層部分由鹸性水溶液等加以顯像去除而在具 有凹凸部分之表面上形成光致抗蝕劑圖像。 因此，本發明係，包括依據上述本發明積層光致抗蝕 劑形成層之後包含抗蝕圖像形成爲止之方法之基板形成抗 蝕劑圖像之方法。 本紙張尺度適用中國圉家標牟（CNS) Μ規格（2丨0乂297公釐） HJ. · fn-Λ.^^— I - - 1 .^1 I C請先閲讀背面之注意事項再填本頁) ,?τ 4407 4 7 Λ7 B7 經濟部中央標隼局負工消費合作社印装 五、發明説明（16) 於本發明之較佳方法，係在光致抗蝕劑形成層之圖像 形成製程全部結束時將熔化軟焊，軟焊料，軟焊或金等之 金靥電鍍或小敷焊劑等適用於表面。由本發明沒有氣泡之 保護抗蝕劑圖像雖然以軟焊抗蝕劑發生作用，但是，這將 在上述之各個處理從高溫或化學藥品等來保護基板之電路 〇 於有關本發明之眞空稹層裝置，係在下板之膜體定位 適合於被成形品大小之大小相配之框體而載置爲不能移動 ，將被形成材位於框體積上板之間，而靠近上板與下板將 框體夾持於上板及下板膜體之間而收容連續之被成形材之 狀態下由膜體之彈性加以密封來形成隔間。吸引軀動吸引 ，加壓手段將下板膜體固持於對向面上，由吸引手段眞空 吸引隔間內。隔間之容積不至於發生變化而被成形材將處 於眞空環境下。此時，上板及下板之膜體係，依據成形材 大小之框體大小所菡隔之加熱手段之加熱保存熱量。其後 ，將吸引，加壓手段之吸引驅動切換爲加壓驅動使下板膜 體膨脹時，被形成材將在上板膜體之間受到加壓。此時， 被形成材將由膜體所保有之熱量加熱。即使被成形材受到 加熱，加壓而接著於膜膣時，由於在膜體形成有梨皮面（ 粗面），所以容易脫模。 又，有關本發明之眞空擠層裝置，係在對於上板或下 板任一方之他方之對向面裝設成可接觸分離之加軀膜體， 與在上板與竃板之他方對向面之間配置框體’收容靠近上 板與下板所稹層之被成形材之狀態下形成隔間。吸引作用 本紙張尺度逋用中國國家標芈（CNS ) Μ规格（210 X 297公ft > 10 ------------装------訂------嚷 (請先閲讀背面之注意事項再填'穿Γ本頁) 440747 Α7 Β7 經濟部中央標隼局員工消貧合作社印袈 五、發明説明（17) 吸引，加壓手段將加壓膜體密接於上板或下板之任一方而 使隔間內之容積不發生變化之狀態下，驅動吸引手段眞空 吸引隔間內，接著切換吸引，加壓手段而將加壓膜體加壓 作用使上板或下板之任一方分開膨脹，而在加壓膜體與上 板或下板之任一他方之間加壓被形成材同時由加熱手段之 熱量加以加熱。 若被成形材一方之面在平滑面他方之面具有凹凸時， 沒有設加壓膜體之上板或下板之任一他方之對向面係成爲 平滑面。又，被形成材之兩面具有凹凸時，在沒有設加壓 膜體之上板或下板之任一他方之對向固定膜體。 加壓膜體與設有加工膜體之上板或下板之間設密封膜 體時，將可提高形成隔間時之框體之密封性。又，此時， 將與加壓膜體與密封膜體互相接觸之面變成凹凸面時，吸 引，加壓作用將均勻擴及框贐之內側全面。上板或下板之 對向面之一方設加壓膜體設成接觸分開，在他方固定膜體 時，將設於上板或下板一方之加壓膜體與密封膜體合在一 起之厚度若成爲與他方膜體之厚度約略變成相同時，則密 封性會更加提升。 設有加Μ膜體與此加靨膜體之上板或下板之間形成預 定間隔之間裝設隔形成構件時，或加壓膜體之設有該加壓 膜體之上板或與下接觸之面形成凹凸面時，吸引，加壓作 用將均匀地擴及框體之內側全面。 將吸引手段上板或下板連接成開口於所抵接之框體之 內周附近時，吸引作用將均勻地擴及框體之內側全面。又 (請先閲讀背面之注意事項再本頁> 本紙張尺度適用中圉國家橾牵（CNS } A4規格（210X 公釐） 20 44 07 4 7 A； Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（18) ，將吸引，加壓手段在加壓膜體與該加Μ膜體之上板或下 板之間，連接成開口於所抵接之框體之內周附近及/或約 略中央時，吸引，加軀作用將擴及加壓膜體之全面。 框體係由扣合部對於下板定位，同時，扣合成不能移 動。又，框體係如夾持加壓膜體周圍，也可裝卸自由地安 裝在設有該加Μ膜體之上板或下板之任一方。 上述各膜镫係由具有耐熱性之橡膠所形成，其橡膠硬 度係4 0至6 0爲佳。 若成形品除了由膜體之加壓以外也可以受到加壓時， 具有與膜體大小約略相同大小，送出成形品之部分使用設 有緩衝密封材之框體。靠近上板與下板而將框體夾持於上 板及下板膜體之間時，則將緩衝密封材係在前面之製程步 驟所稹層之成形品以彈性方式夾住於上板膜體間之狀態加 以密封來形成隔間。連績之成形品之成形材係，可用配合 框體送入部分寬度之節距送入，而可減少被形成材變成浪 费之部分。又，被積層之成形品係因由緩衝密封材彈性方 式押壓，所以，不留存其押壓痕跡。 在框體之至少連績之成形品被送出側之部分橫設緩衝 密封材時，送出連績之成形品，而形成下一欲積層被成形 材所需之隔間時，連績之成形品由於緩衝密封材與和此對 向之上板或電板之間所夾住而押壓，所以，不容易殘留由 此押壓所形成之痕跡。 若將緩衝密封材成爲剖面略呈圚形之棒條體時，送出 連續之成形品，而形成稹層下一被形成材所需之隔間，將 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙乐尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ2ξ»·7公釐） -21 - 44074 A7 87 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 五、發明説明（19) 連續之成形品夾住於緩衝密封材與和此對向之上板或下板 之間而押壓時，由於押壓寬度會變窄，所以不容易留下押 壓引起之痕跡。又，將固持緩衝密封材之溝形成於框體， 將該溝之開口宽度變成較緩衝密封材直徑更小’將底寬度 較開口寬度形成爲大時，不會將緩衝密封材從溝跳出地加 以固持，同時，爲了形成隔間對於對向之上板或下板當押 壓緩衝密封材時，不會妨礙緩衝密封材之變形。 在送出框體之連續成形品側之部分設缺口時，爲了積 層下一被成彤材而形成隔間，將連績之成形品在框體與和 此對向之上板或下板之間夾住成形品押壓。 備有冷卻所稹層連縯帶狀薄膜材之成形品之冷卻手段 時，由於貼合時之加熱處於軟化狀態之成形品會受到冷卻 ，送出連續之成形品，爲了稹層下一被成形材形成隔間， 將連續之成形品夾住於與此對向之上板或下板之間而押壓 時，可防止因押壓所留存之痕跡。 裝設支撑由捲繞連續帶狀薄膜材之捲筒所形成之被形 成材之輥輪，在該輥輪備帶寬度方向調整機構時，由於捲 筒寬度方向之位置偏差而在被形成材發生皺紋時，調整其 寬度方向之位置。 裝設支撑由捲繞連續帶狀薄膜材之捲筒所形成之被形 成材之輥輪，在該輥輪備有煞車器時，由於對於薄膜材給 匕—— -—— 與預定之張力可防止薄膜材發生I软。 若備有將由連繽帶狀薄膜材所成之被成形材導引至上 板與下板之間送入之薄膜入口導板時，在近於上板下板之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS > A4規格（210'乂 297公釐} -22 - 440747 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（20) 場所被形成材將受到導引。 又，若依據本發明之眞空積層方法係，構件之貼合不 像如輥壓輥輪等由線狀之壓力，較1氣壓更高壓力將均勻 地施加於全體被稹層構件，所以，在表面具有凹凸部分之 構件表面稹層薄膜狀物時，也不會在層間殘留空氣或空隙 ，進行貼合作業。又，因可以將被積層構件不斷地供給及 積層，所以，可做到連績性之貼合處理。 【圖式之簡單說明】 第1圖係表示將有關本發明之眞空積層裝置，在電路 基板表面積曆連續薄膜狀光致抗蝕劑形成層所使用時之一 實施形態之縱剖正面圈。 第2圖係第1圇所示眞空稹層裝置之放大縱剖側面圖 α 第3圖係表示將框醴載置於下板狀態之平面圈。 第4圖係表示將第2圇所示眞空積層裝置之框體夾持 於上板積下板膜體之間狀態之圖。 第5圖係表示從第4之狀態眞空吸引之隔間內，同時 ，膨脹下板膜體將被成形材加熱加壓之狀態。 第6圖係表示有關本發明之眞空積層裝置庾用其他框 體之實施形態之圖 第7圖係表示從第6圖之狀態將框體夾持於上板與下 板膜體之間狀態之圖。 第8圖係表示第4圖所示有關本發明之眞空積層裝® 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格{ 210Χ 297公釐） i - I 1 j : ! - -I ^n. n^i It {讀先Μ讀背面之注意事項再填w本頁) 訂 東 440747 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 _____ B7 __五、發明説明（21) 之其他使用例之圚。 第9圖係表示第6圖所示有關本發明之眞空積層裝置 之其他使用例之圈。 第10圖係表示有關眞空稹層裝置之第3實施例之形 態之縱剖側面圈。 第11圖係表示有關眞空稹層裝置之第4實施例之形 態之縱剖側面圖。 第1 2圖係第1 1圖所示上板之底面圖。 第1 3圖係第1 1圖所示下板之平面圖。 第1. 4圖係第1 1圖所示下板之部分放大剖面圖。 第15圖係第11圚所示辊輪之剖面圖。 第16圖依表示有關本發明之眞空稹層裝置之動作周 期之一實施例形態之時間圖表。 【實施發明之最佳形態】 茲邊參照圖面詳細說明本發明一實施形態，但是，發 明爲並非限定於此實施例者。按，於圖面同一符號將變成 同一部分或相當部分。 有關本發明之眞空積層裝置係，如第1圖所示約略， 相對向可靠近遠離所配設之上板1及下板2，與載匱在此 上板1及下板2之對向面分別所設之膜體3、二4」與下板 2之膜體4上，藉靠近上板1與下板2被膜體3，4所夾 持，形成收容於連績被成形材Η之隔間5之框體6 ’與眞 空吸引所形成隔間5 (第4圖）內之吸引手段，與備有將 (讀先閱讀背面之注意事項再疼寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ规格（210Χ297公釐） -24 - 44 07 4 7 at Β7 經濟部中央標準局負工消費合作.社印装 五、發明説明（22) 膜體4固定於下板2之對向面，或膨脹於上板1之膜膛3 側之吸引，加壓手段。於此實施形態，固定上板，下板爲 由升降手段（省略圖示）所支撑，對於上板而下板可靠近 分開移動地構成。 上板1係如第2圖之剖面圖所示，由略呈矩形之板狀 體所成者，在其下面有GiL J1JL J)從被成形材Η送入側到送 出所稹層之成形品L側之方向（第1圇及第4圖之左右方 向）延伸所形成。在凹部1 0內經由設有加熱 手段，而設有構成對向面之平板1 3。在平板1 3表面固 定有膜體3較上板1之凹部側緣面1 0 a向下方露出。對 於膜體3之平板13之固定係，雖然由接著等進行，但是 只要膜體3，4不會從平板1 3脫落者，並非限制其手段 。在上板1再能夠開口於膜體3之角隅部附近表面，吸引 管14由螺帽15安裝，在此吸引管14經由開閉閥連接 了眞空泵等之吸引手段（省略圖示）。 下板2係由整合於上板1之大小之略呈矩彤之板狀體 所成，在其上面，係與上板1同樣地，凹部2 0形成爲從 被成形材Η之送入側到送出所積層之成形品L之成形品L 側之方向（在第1圇及第4圖之左右方向）延伸。在凹部 2 0內經由隔熱材2 1裝設加熱手段2 2 ，而設有構成對 向面之平板2 3。在平板2 3表面上載置有膜體4。下板 2之凹部側緣面2 G a係形成爲較膜體4表面位於更高位 置（參照第3圖），設有對於從被成形材Η送入側到送出 所稹層成形品L側之方向向直交方向之扣合.溝2 4 (.參照 ----—.----杜衣— (請先閲讀背面之注意事項再填乂馬本頁) 訂 良 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2ίΟΧ297公釐） -25 - 440747 A7 B7 五、發明説明（23) 第3圖）。在下板2再於膜體4之角隔附近（參照第3圖 )，能夠開口於膜體4與平板23之間，有吸引，加壓管 (請先閲讀究面之注意事項再填寫本頁) 2 5使用螺帽2 6安裝。在此加壓管2 5則經由開閉閥連 接眞空，壓縮泵等之吸引，加壓手段（省略圖示）。 框® 6係由得以耐壓力之不銹鋼，或電鍍鉻等施加防 銹加工之鐵或鋁等之金屬製剛體所成，而載置於下板2之 膜體4上者，而互相靠近上板1與下板2時，設於各個平 板1 3，2 3之膜體3，4所夾住形成於隔間5之環狀本 體3 0 ，與形成於其外周而耐於壓力由對於下板2之定位 所用之肋片3 1所構成。本體3 0係適合於由連嫌被成形 材Η積層成形品L所需之節距（參照第3圖），並且，具 有圍繞吸引管1 4及吸引，加壓管2 5中之分別至少一個 開口之大小，將寬度（板厚）成爲較薄，將髙度形成爲從 下板2之凹部側綠面2 0 a表面突出預定量。又，肋片 經濟部中央橾隼局員工消費合作社印策 3 1之送入被成形材Η側到送出所稹層之成形品L側之方 向與平行側方3 1 a，係能夠構成框體6對於下板2定位 之扣合部，形成爲扣合於下板2之凹部2 0側壁之寬度。 並且，在框體6之肋片側方3_ 1 a，形成有扣合於下板2 扣合溝2 4之扣合部3 2。 加熱手段1 2 ，2 2係若爲此形態時，由從送入被成 形材Η側到送出被稹層成形品L側之方向所區分之複數電 氣加熱器所構成。藉連接電源於預定電氣加熱器，配合所 使用框體大小，亦即，所積層成形品L之大小，及從連續 之被成形材Η_稹層成形品L所用之節距加熱膜賸3 ，4 ， 本紙悵尺度遠用t國國家標準（CNS ) Α4说格（2丁0乂297公釐) ~ ' 44 07 4 7 經濟部中央橾率局員工消費合作社印製 __B7五、發明説明（24) 防止不需要部分之加熱來達成被成形材Η之確實稹層同時 達成節省能源。按，加熱手段1 2，2 2 ，並非限制於使 甩電氣加熱器之此實施形態，而視其需要只要能夠加熱膜 體之所需部分者，例如，也可以使用形成循環油或蒸氣等 加熱流體之流路，或m磁感應加熱等。 此實施形態之膜體3係至少具有耐熱性與彈性之例如 矽橡膠（橡膠硬度Hs (JIS A ) : 40至60程度 )所形成者。又，膜體4係除了與膜體3同樣之耐熱性與 彈性之外，由具有可撓性及伸縮性之矽橡膠所成。並且， 在膜體3，4之相對向各個表面，形成有微細表面粗度之 梨皮面（省略圖示）。按，膜體3，4之材質係，並非限 定於此實施形態者，只要具有耐熱性，彈性，及加上具有 可撓性，伸縮性者即可，而也可由合成樹脂纖維等所構成 ΰ 茲就構成爲如此之有關使用本發明眞空積層裝置之一 例，做爲被成形材Η在電路基板4 0表面稹層由支撑體對 膜及感光層所成之連績薄膜狀光致抗蝕劑形成層4 1之情 形說明如下。在此情形，係如第1圖所示，在眞空稹層裝 置之被成形材Η送入側（圖面右側）配置了定位作業支撑 台4 2，而設有支撑捲繞薄膜狀光致抗蝕劑形成層4 1之 捲筒輥輪，4 3，及支撑載置電路基板4 0之薄膜4 4之輥 輪4 5。薄膜4 4係若只稹層電路基板4 Q單面之光致抗 蝕劑時就使用載體薄膜（earner film)，若在電路基板 4 0兩面稹層光致抗蝕劑時則使用與薄膜狀光致抗蝕劑形 (請先閲讀背面之注意事項再填这Γ本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4规格（210X297公釐） -27 - 440747 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 五、發明説明（25) 成層4 i同樣者。定位作業支撑台4 2係具有可載置複數 電路基板4 0 (例如2片）之寬度（第1圇之左右方向） 。按，在輥輪4 3附近，爲了剝離貼有薄膜狀光致抗蝕劑 形成層4 1之感光層之保護薄膜後捲取設有收緊輥輪< take-upro I 1 )(省略圖示）。 在積層眞空積層裝置之成形品送出側（圖面左側）配 置有成形品支撑台5 0，而裝設有備有做爲被成形材Η在 電路基板4 0表面加熱加壓支撑體薄膜及感光層所成之薄 膜狀光致抗蝕劑形成層41，將連續成形品引拉送出之夾 具機構等（省略圖示）。 支撑薄膜4 1 ，4 4捲筒之輥輪4 3，4 5分別設有 煞車器（省略了圖示），當連績之成形品由送出手段所拉 動時，薄膜狀光致抗蝕劑形成層4 1爲經由導輥4 6從上 板1之膜體3稍爲離開之狀態張設，並且，由載置薄膜 4 4之電路基板4 0之自重能夠稍爲從薄膜狀光致抗蝕劑 形成層4 1離開，而調整其煞車力。 茲就本發明得以使用之薄膜狀光致抗蝕劑形成層，基 板等說明如下。 本發明所使用之薄膜狀光致抗蝕劑形成層通常係叫做 「乾薄膜抗蝕劑」，而在UV照射之圖像性曝光之後，藉 由去除抗蝕劑層之未曝光部分或曝光部分具有可生成抗蝕 劑圖像之感光層者，該感光層通常係成爲一方之面由聚酯 等所成之支撑體薄膜，而他方之面爲由聚乙烯等所成之保 護薄膜所包覆之3層構造，而使用於基板時，通常去防保 (請先間讀背面之注意事項再填'寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) Α4現格（210X297公釐） -28 - 440747 A7 B7 經濟部中央樣隼局員工消费合作社印策 五、發明説明（26) 護薄膜。若想光層爲由負軟片作用之物質所成時，就是去 除未曝光部分，並且，曝光部分將成爲抗蝕劑圖像留下來 。另一方面，感光層具有正軟片作用之物質所成時未曝光 部分將形成抗蝕劑圖像。形成感光層之這些物質係較其等 被覆蓋之支撑體薄膜其强度遠低，並且，若在高溫使用時 非常地軟，且變成具有黏著性。所以，本發明之眞空積層 方法爲了逋用於光致抗蝕劑形成層，通常爲由支撑體薄膜 與抗蝕劑層之2層構造所使用。支撑體薄膜係可將光致抗 蝕劑形成層有時從具有凹凸部分之基板表面離開保持，並 且，將感光厝（光致抗蝕劑層）强迫性地順應於凹凸部分 做爲壓力傳達體發生作用。 當實施本發明時形成感光層之有用物質係詳細記載於 美國專利第3 4 6 9 9 8 2號及同第3 5 2 6 5 0 4號之 各說明書。光致抗蝕劑層係以負軟片性地作用之光硬化性 物質或正軟片性地作用之光可溶性或光減感性物質所形成 。將這些之任一感光性物質在薄膜狀支撑體上成爲層加以 塗層就可形成感光層。 光硬化性物質係由U V照射所曝光時而硬化者，並且 ，較佳爲由光聚合性，光交叉結合性及光二聚化性物質中 選擇之。這種物質通常係具有乙烯性不飽和或苯酮型之基 爲其特徵，並且，這些係例如詳細記載於美國專利第 2760863號，同第3418295號，同第 3649268號，同第3607264號，同第 3 6 2 2 3 3 4號及法國專利第7 2 1 1 6 5 8號之各說 本紙張尺度適用中國國家操隼（CNS ) Λ4規格{ 210X297公釐）乂 ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 440747 A7B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（27) 明書。尤其較佳者揭示有得以附加聚合之乙烯性不飽和化 合物（單聚體），高分子有機聚合物及由UV照射而從酮 活性化之聚合開始劑所成之光聚合性物質。在上述專利說 明書中，係由種類適當之乙烯性不飽和化合物，熱塑性聚 合物，由UV照射可活性化之附加聚合開始劑及其他成分 。其他適當之乙烯性不飽和單聚體係揭示於美國專利第 33060023號，同第3261686號及同第 3 3 8 0 8 3 1號之各說明書。光聚合性物質時，雖不一 定需要交聯劑，但是，也可使用少量。除了聚合開始劑之 外之成分，例如，可塑劑，IT聚合防止劑，著色劑，塡充 劑等也在該頜域使用爲如周知可存在。又，如上述專利說 明書所揭示，某成分爲可汾演雙重功能。例如，乙烯性不 飽和單聚體係於單聚體一交聯劑系也可做爲熱塑性聚合物 所需之可塑劑發生作用。 又*做爲光可溶性或光減感性物質，有將〇- 二 迭氣適酸（naphthoquincineziazidosulfonic acid)酷薛 清漆樹脂（ncivolac resin )加以酷化者，或三經二苯 甲酮（trihydrocybenzophenone)四羥二苯甲_加以醋化 者例如與間甲苯酚（m — r e s ο 1 )型酚醛清漆樹脂混 合者等。 先行技術，使用上述光致抗蝕劑形成層係加壓輥輪或 其他方法積層於基板等欲適用之表面上。但是，先行技術 之方法係基板表面在其上之凹凸部分之側壁間若存在有變 成角隅部分時，有小的氣泡發生於凹凸部分側壁之傾向。 本紙張尺度適用中國國家橾乘（CNS ) A4規格（210X297公麈） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 440747 A7 B7 經濟部中夾標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（28) 形成抗蝕劑圖像結束後，例如，電鍍處理，軟焊及由其他 處理基板表面之露出部時，使用於其表面處理之物質，例 如，酸，軟焊其他係在存在於氣泡部分會侵入於抗蝕劑下 ，而會侵害以爲加以保護之表面，但是，本發明時由於在 層間不殘留氣泡，所以，不會發生這種不妥情形。 光致抗蝕劑形成層厚度並沒有特別限制，但是，較佳 爲約1 0至約1 Ο Ο ΑΠ1。適用光致抗蝕劑形成層之基板 表面上之凹凸部分之高度爲一般在此範圍內。此光致抗蝕 劑形成層係雖然必須順應其所適用之基板表面之高部分， 但是，較凹凸部分高度具有更小厚度之光致抗蝕劑形成層 係依本發明方法不必捕捉空氣就可積餍係已如上述。因此 ，若依據本發明之方法，在凹凸部分也不會破壞抗蝕劑， 沒有保護氣泡發生部分也不會殘留，而可將光致抗蝕劑形 成層順應凹凸部分。 在依據本發明之眞空積層方法所稹層之表面具有凹凸 之基板，係在該領域可以使用慣用之所有者，例如，可舉 出製造襯貼銅稹層板，金屬芯線基板，混成（cpmpDSit) 配線基板，高密度配線基板等之印刷配線板所用之電路基 板等。又，這些基板也可只在單面具有凹凸部分，或兩面 都具有凹凸部分。 又，本發明並非限制將薄膜狀光致抗蝕劑形成層積餍 於基板，不用說也可適用於其他薄膜狀物，例如熱塑性或 熱固性樹脂薄膜互相，或該薄膜狀物與基材，例如木板材 ，金牖板，有機材料，無機材料或複合材料所形成之板貼 本紙張尺度财SSI家標準（CNS ) A规格'(_210X297公釐} ' 一 ~ (請先閲讀背面之注意事項再^Γ本頁) 4 4 07 4 7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印聚 A 7 B7五、發明説明（29) 合之甩。在此，上述薄膜狀物互相之積層係可用同種或異 種以2層或3層以上進行積層，基材對於薄膜狀物之稹層 係只有單面，或兩面進行都可以。 茲再參照圇面，就在電路基板4 0表面積餍支撑體薄 膜及感光層所成連續之薄膜狀光致抗蝕劑形成層4 1時有 關本發明之眞空積層裝置之具體使用例說明如下。 在形成能夠載置2片以上電路基板4 0寬度之定位作 業支撑台4 2之薄膜4 4上定位載置電路基板4 (3。此時 ，電路基板4 Ο之定位係從載置於下板2之框體6之送入 側分開預定片數之電路基板4 0之距離就可進行，或，位 於定位作業支撑台4 2之薄膜4 4上已經載置之電路基板 4 0後端做爲基準隔開預定間隔進行，所以可將電路基板 4 0之定位由目視確認。 接著，下降下板2之狀態下使用送出手段拉動薄膜狀 光致抗蝕劑形成層4 1及薄膜4 4 ，而將沒有稹層之被形 成材送入於載置上板1與下板2之框體6之間。此時，藉 調整輥輪4 3 ，4 5之煞車力之調整使載置於薄膜4 4之 電路基板4 0而具有凹凸部分之表面與薄膜狀光致抗蝕劑 形成層4 1之感光層不接觸地稍爲加以分開。 若將下板2上升時，薄膜狀光致抗蝕劑形成層41及 薄膜4 4就被夾住在載置於下板2之膜體4之框體6與固 定於上板1之平板13下面之膜體3之間，而在所形成隔 間5內收容電路基板4 0 (參照第4圖）。經由開口於下 板2之膜體4與平板2 3間之吸引，加壓管2 5使用吸引 本紙張尺度適财81®家標f ( CNS ) A4规格{ 2丨0X297公釐} ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 44 0 7 4 7 經濟部央樣準局員工消费合作社印裝 A7 ____B7五、發明説明（30) ，加壓手段加以吸引，而將下板2之膜體4不離開平板 2 3之狀態下，經由開口於隔間5內之吸引管1 4使用吸 引手段不至於改變隔間5之容積進行眞空吸引。其後，使 用吸引，加壓手段在下板2之膜體4與平板2 3之間經由 吸引，加壓管2 5而供給壓縮空氣等之加壓動作流體使膜 體4膨脹，在具有彈性之膜體3 ，4間將具有凹凸部分之 電路基板4 0表面與薄膜狀光致抗蝕劑形成層4 1之感光 層互相推壓（參照第5圖）。電路基板4 0與薄膜狀光致 抗蝕劑形成層4 1由於膜體3，4分別經由平板1 3， 2 3由加熱手段1 2，2 2加熱，所以，與加壓同時加熱 。按，由於電路基板4 0之大小使用小框雔6時（參照第 3圇之鏈線），位於框雔6外側之吸引管14及吸引，加 壓管2 5係由其開閉閥加以鎖住。 結束成形後，經由吸引管14對於隔間5內供給大氣 ，同時，抽離下板2之平板2 3與膜體4之間所供給之壓 縮空氣等之加壓動作流體將膜體4返回密著於平板2 3上 之狀態。接著，下降下板2將框體6從上板1之膜體3離 開，將連績之薄膜狀光致抗蝕劑形成層4 1及薄膜4 4由 送出手段將被引拉，積層之成形品從載置於上板1與下板 2之框體6間送出。 茲就有關本發明之眞空積層裝置之其他實施形態（第 2實施形態）依據第6圖及第7圖說明如下。按，對於上 述之先前實施形態與同一部分或相當部分在圖上標示了同 一符號，而從略其說明。此實施形態與先前之實施形態祖 氏張尺度逋闵中國國家標率（CNS > Λ4规格_ (il〇_X297公釐）_ no _ ---...--.-----裝----/——訂 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 44 07 4 7 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製
五、發明説明（31) 異之點，係在於載置在下板2之膜體4之框體6 0之構造 。使用此框體6 0之情形係，也可以將所積層之成形品由 膜體3，4之加壓以外加壓之情形。 框體6 0係將全體之大小形成爲較下板2之膜體4稍 小，而當被夾住於上板1之膜體3與下板2之膜髖4之間 時，連績送出成形品側部分（園面左側）形成爲低以避免 抵接於上板1之膜體3，在此部分外側剖面呈矩形之緩衝 密封材6 1及至框體6 0之整個寬度方向横設之。緩衝密 封材6 1係由單泡性（獨立氣泡性）之海棉等具有彈性與 氣密性者所構成，其高度爲具有壓溃餘裕地設定較框體 6 0之高度更高。 由此實施形態所積層之被成形材係由板狀之基板7 0 與加熱由具有黏著性之連續薄膜7 1與載置板狀之基板 7 0之連績載體薄膜7 4所構成，以框體6 0之連續被形 成材所送入側部分（圖面右側）之本體寬度以上之間隔基 板7 0將定位於載體薄膜7 4上。 爲了框體6 Q之連續被形成材被送入側部分不位有基 板7 Q將被成形材位於上板1之膜體3與框體6 0之間， 而如第7圖所示，靠近上板1與下板2在膜體3，4間夾 持框體6 0。抵接於上板1膜膛3之緩衝密封材6 1係， 夾住於前面步驟所稹層之成形品之狀態下在高度方向被壓 溃，來保持隔間5之氣密性。因此，在所積層之緩衝密封 材6 1之押壓痕跡就不會留存，又，與欲積層基板7 0之 大小沒有關係，由一定大小之框體6 0可進行稹層，並且 本紙張尺度通用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1A (请先閲讀争面之注意事項再填裒本頁) 4 7 A7 B7 五、發明説明（32) ，可載置基板7 Q之載體薄膜7 4之定位間隔變窄，所以 ，可減少薄膜71，74之使用量。 - 有關本發明之眞空裝置係，並不限定於上述實施形態 ，例如，固定框體6，6 0也可以將上板1及下板2對於 框體6，6 0靠近遠離。又，在此時，係如第8圖所示， 從框體6之送入側（圖面右側）下方向送出側（圇面右側 )上方，跨接載置電路基板4 0之薄膜4 4 ，而可將薄膜 狀光致抗蝕劑形成層4 1與電路基板4 0之間離開爲大。 與此同樣，如第9圖所示，若依據第2實施形態之框體 6 0之送入側（圖面右側）下方向送出側（圖面左側）上 方，跨接載置基板7 0之載體薄膜7 4 ，而也可增大薄膜 7 1與基板7 0之間分開爲大。 又，有關本發明之眞空積層裝置係，並非限制於做爲 被形成材欲積層具有如基板與薄膜之剛性者與具有可撓性 之情形，如薄膜與薄膜具有可撓性之薄者互相貼合地進行 稹層時也可使用。 【實施例1】 並且，爲了將本發明之效果更加清楚地表示，使用上 述本發明之眞空槙層裝置，在電路基板實際適用光致抗蝕 劑時，調査該光致抗蝕劑層之埋入性之試驗實施例表示如 下。 在具有種種高度電路線之笔路基板將薄膜狀光致抗蝕 劑形成層由下述步驟（1 )至（3 )所成本發明之眞空稹 本紙張尺度適用令國國家橾挲（CNS ) A4規格（2!OX 297公釐） ----—^----裝------訂------泉j " c讀先閱讀背面之注意事碩再填Λ·本頁) 一 ： . .—I 1 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 440747 A7 B7 五 '發明説明（33) 層方法進行貼合作業： (1 )設置於上板之固定膜與設置於框體與該框體下之可 動膜所形成之密閉隔間內，使具有光致抗蝕劑形成層之感 光層與電路基板之電路線之面互相成爲對面，將上述光致 抗蝕劑形成層與電路基板配置成靠近狀態， (2 )在電路基板與光致抗蝕劑形成層間之領域中，及其 等周圍之領域中之絕對氣壓減壓爲5 mm Hg以下，並且 (3)邊維持步驟（2)之減壓，經由上述可動膜以預定 氣壓加壓將光致抗蝕劑形成層與電路基板壓住於上板之固 定膜，將光致抗蝕劑形成層對準於電路基板表面之霉路線 〇 在本試驗例所使用之上述光致抗蝕劑形成層之感光層 係含有得以附加聚合之乙烯性不飽和丙烯樹脂，單聚體及 光開始劑，而由碳酸鈉水溶液顯像就可形成圚像。 茲將所獲得結果彙整表示於下表I。 經濟部中央橾隼局員工消費合作•杜印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲了比較，做爲對照，使用與上述同樣之電路基板及 光致抗蝕劑形成層，使用記載於日本特公昭5 5 — 1 3 3 4 1號公報之眞空積層裝置，亦即，貼合時不加强 迫性之壓力，而在大氣壓下進行貼合之結果一併表示於表 1 〇 本紙張尺度適用中國菌家揉準{ CNS } A4规格（2f〇X297公釐） -36 - 440747 A7 87 五、發明説明（34) 【表1】 試驗 號碼 抗蝕劑 之厚度 (^ tn ) 電路線 之高度 (^ m ) 加壓時 之壓力 (氣壓） 埋入性 1 62 70 2 良好 本 2 50 70 4 良好 發 3 30 40 2 良好 明 4 25 35 3 良好 5 15 17.5 3 良好 6 62 70 - 不良 對 7 50 50 - 一部分有氣泡 8 37.5 35 - 一部分有氣泡 9 25 17.5 - 一部分有氣泡 照 10 — 50 35 - 良好 11 37.5 17.5 - 良好 經濟部中央棣準局員工消費合作杜印製 ---Ϊ--,n-----裝-- (請先閱讀背面之注意事項再^ST本頁) *1Γ 由表1所示結果就可清楚，若依據本發明，電路基板 上之電路線高度，亦即，即使基材表面之凹凸之凸部高度 與光致抗蝕劑形成層厚度相同，或高時，完全不會發生氣 泡或空隙等而可用良好之埋入性貼合。與此相對*先行技 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -37 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ^^〇?47 A7 ______ B7五、發明説明（35) 術之方法，若光致抗蝕劑之厚度較電路線高度爲大時（試 驗號碼1 0及1 1 )雖然沒有問題，但是，相同或小時（ 試驗號碼6〜9)就會發生氣泡等而不適當。 茲就有關本發明之眞空積層裝置之另外實施形態（第 3實施形態），依據第10圖說明如下。按，上述與先前 實施形態同一部分或相當部分，係於圖標示同一符號而從 略其說明。第1 0圖係表示於此實施形態之眞空積層裝置 之縱剖側面圖，此實施形態與上述實施形態大爲相異之點 ，係概略大約，下板之模體4係成爲加壓膜體發揮功能， 與此另外之密封膜體8 0配置於加壓膜體4與平板2 3之 間之點。 上板1之槙膜係燒著於平板13之下板2所對向之下 面加以固定。下板2之平板2 3上載置有密封膜體8 0 ，在此密封模體8 Q上載置有做爲加壓膜體之膜體4。在 此實施形態之膜體3，密封膜體8 0及膜體4之厚度，係 例如膜體3之厚度係設定爲3mm，又，密封膜體8 0之 厚度爲2mm而膜體4之厚度係設定爲lmm，合計下板 2之兩膜體8 0 ，4之厚度，係成爲與上板1之膜體3之 厚度成爲相同。由於將此厚度變成相同，上升下板2而將 布 爲 成 形 ， 2 面 時管 皮 間壓 梨 之加。有 4 ， 間別 醴引之分 膜吸 4 面 之。體之 2 升膜向 板提與對 下加 ο 所 與更 8 4 3 可體體 體將膜膜 膜性封與 於封密 3 住密於體 夾之口膜 6 5 開在 體間成 框隔設 (_先閱讀背面之注意事項再填.爲本頁) 裝- -訂
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If I釐 29 8 3 44Q747 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印褽 五 、發明説明 ( 36) ! 1 狀 之 凹 凸 0 由 於 在 膜 體 3 與 膜 體 4 所 對 向 之 面 分 別 所 形 成 1 | 之 梨 皮 面 i 在 膜 體 3 與 膜 體 4 之 間 若 欲 積 層 薄 膜 狀 光 致 抗 I 1 | 蝕 劑 形 成 層 4 1 時 9 就 可 將 對 於 薄 膜 狀 光 致 抗 蝕 劑 形 成 層 請 1 1 4 1 之 膜 體 3 稹 膜 髓 4 之 加 壓 壓 力 分布 變 成 均 勻 > 又 9 欲 先 閲 1 I 1 Γ 搬 出 所 稹 層 之 成 形 器 L 時 9 就 可 從 成 形 器 L 之 膜 體 3 及 膜 背 ώ 之 1 1 體 4 之 脫 模 變 成 容 易 0 又 由 於 密 封 膜 體 8 0 與 膜 體 4 之 注 意 事 t 1 接 觸 面 分 別 形 成 凹 凸 y 由 吸 引 ， 加 壓 手 段 之 膜 體 4 對 於 密 項 再 1 填 1 裝 I 封 膜 體 8 0 之 密 貼 或 從 密 封 膜 體 8 0 分 離 膜 體 4 而 膨 脹 寫 本 百 之 吸 引 加 m 作 用 可 對 於 膜 體 4 之 全 面 成 爲 均 勻 0 又 t 膜 1 1 I 體 3 與 膜 體 4 所 對 向 之 面 分 別 形 成 之 梨 皮 面 係布 網 狀 等 ， 1 1 I 只 要 可 將 上 述 之 均 勻 之 壓 力 分 布 與 滿 足 容 易 脫 模 性 者 就 可 1 1 訂 1 以 0 膜 體 3 與 膜 體 4 所 對 向 之面 所 形 成 之 梨 皮 面 深 度 9 係 例 如 如 3 7 μ m 設 定 在 3 0 4 5 m 程 度 之 範 圍 0 並 1 1 且 ， 分 別 形 成 於 密 封 膜 體 8 0 與 膜 體 4 之 接 觸 面 之 格 子 狀 t I 凹 凸 之 深 度 ϊ 係 例 如 1 0 0 m 設 定 於 9 0 1 1 0 li m 1 •泉 程 度 之 範 圍 0 1 | 在框 體 6 之 肋 片 3 1 之 兩 側 方 3 1 a 分別 穿 設 有 孔 1 1 8 1 又 ， 在 下 板 之 側 緣 面 爲 了 與 孔 整 合 豎 設 扣 合 銷 8 2 1 1 ， 定 位 框 體 時 並 且 ， 構 成 固 持爲 不 能 移 動 之 扣 合 部 〇 並 Γ 且 9 在 與 上 板 1 下 面 之 銷 8 2 整 合 之 位 置 1 設 有 可 扣 合 銷 1 |身 8 2 之 孔 8 3 ◦ 1 1 按 > 在 此 實 施 形 態 9 在 上 板 1 之 平 板 1 3 固 著 膜 體 3 \ 1 I 9 此 膜 體 3 與 下 板 2 之 膜 體 4 將 被 成 形 材 Η 加 熱 加 壓 之 例 1 1 1 子 做 了 說 明 但 是 y 例 如 做 爲 被 成 形 材 Η 在 —^. 方 之 面 積 餍 1 1 本紙張尺度適用中國國家捸準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） 44074 7 A7 B7 經濟部4-央橾隼局員工消費合作社印装 五 '發明説明（37) 具有形成電路之銅箔圖樣之基板4 0與薄膜狀光致抗蝕劑 形成層4 4時，在設有基板4 0之銅箔圖樣之面將薄膜狀 光致抗蝕劑形成層4 4不能發生空氣之捕捉或空隙由膜體 稹層，並且，將沒有設銅箔圖樣之面形成爲平滑時*在上 板1之膜體3下面也可設具有剛性之平滑板。 茲就有關本發明之眞空稹層裝置之另外實施形態（第 4實施形態），依據第11圖至第15圖說明如下。按， 與上述先前之實施形態同一部分或相當部分，係於圓檫示 同一符號而從略其說明。在實施形態之眞空稹層裝置與上 述實施形態大爲相異之點，係概略，吸引手段係沿著在上 板1之框體8 5所抵接之內周連接爲複數開口，吸引，加 壓手段係膜體4與下板2間之框體8 5沿著抵接之內周連 接成複數，連接於及/或約略開口於中央，由吸引，加壓 手段將膜體4對於平板2 3密著，或，將從平板2 3離開 膜體4膨脹之吸引，加壓作用，及至膜體4全面均勻地擴 及，在膜體4與平板2 3之間配置預定之間隔所需之間隔 形成構件8 6，框體8 5係將膜體4之周圍在下板2之間 夾持固定安裝成裝卸自由，爲了確保形成隔間5時之上板 1與框體8 5間之氣密性起見，由剖面圓形之環狀棒條體 所成之緩衝密封材8 8設於框體8 5，及將連續之帶狀薄 膜材所稹層之成形品L送出側部分（第I 1圖之左側）裝 設有冷卻手段89，90。 在上板1之下面，如沿著所抵接之框體8 5內周形成 凹部1 0 0，而在此凹部1 0 0內有隔熱材1 0 1 ，加熱 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X2们公釐） 40 44〇74 7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（38) 器1 2 ，平板1 3及膜體3在與凹部1 〇 〇之側壁面之間 收容成具有間隙S。如第1 1圖所示，相當於上述實施形 態之吸引管之吸引管路14形成爲霣通於上板1之上面與 凹部1 0 0之間，在圖第1 2圖底面圖以虛線所示，設於 上板1之凹部1 0 0之隔熱材1 0 1上面，形成溝1 0 2 形成爲格子狀，與上板1之間構成吸引通路。在吸引管路 1 4連接有眞空泵等之吸引手段，藉此，沿著上板1之框 體8 5所抵接之內周連接吸引手段使其具有複數開□。在 形成隔間5之狀態下若驅動吸引手段時，就從隔熱材 1 0 1外周側面與凹部側壁面間之間隙S經由上板1之凹 部1 0 0間之吸引通路及吸引管路1 4吸引隔間5內之空 氣。又，於此寊施形態由於在隔熱材101形成格子狀之 溝1 0 2構成吸引通路之例子加以說明，但是，在上板1 之隔熱材1 0 1接.觸之面形成格子狀溝等，只要沿著上板 1之框體8 5所抵接之內周連接吸引手段面能夠形成複數 開口者並非限定於此。在欲送出稹層上板1所連續之帶狀 薄膜材之成形路L側（第1 1圖左側），裝設有做爲冷卻 手段8 9之冷卻水循環管路1 0 5及冷卻空氣通路1 0 6 ________ 。冷卻水循環管路1 〇 5係如第1 2圖所示，在送出成形 路側向寬度方向所連通之複數管路1 〇 5 a，1 0 5 b •.與形成連接於此管路l〇5a，105b. . ·之入 口 口105(：及出口口 l〇5d* * 所構成者，爲了稹 層被成形材Η靠近上板1與下板2而形成隔間5時，上板 1之加熱器1 2之熱爲了不使其傳播到上板1與框體8 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0乂297公釐） ---*. ·--厂-----裝------訂------浪 (請先閲讀背面之注意事項再填SC本頁) 440747 Λ 7 Β7 五、發明説明（39) 間所夾住之帶狀薄膜材所致者。冷卻空氣通路1 〇 6係在 隔熱材1 0 1等之外周側面與凹部1 〇 〇之側壁面間之間 隔S開口有噴射口 1 〇 6 a，分開上板1與下板2而開放 隔間5時，藉由加熱加壓連績之帶狀薄膜材對於積層之成 彤品L噴出冷卻空氣加以冷卻。又，從噴射口 1 〇 6 a噴 出之冷卻空氣係爲了防止對於成形品附著粉塵而去除靜電 而成爲離子化者較佳。第1 1圚所示符號1 〇 7係，對於 電熱器等之加熱手段1 2供給電氣所需，及檢測加熱手段 1 2所加熱之平板1 3之溫度而進行回饋控制所用之熱電 電偶所用之端子。 濟 部 夬 標 準 局 貝 工 消 費 合 社 印 製 (讀先閣讀背面之注意事項再^C本買) 在下板，如第1 1圖所示，相當於上述實施形態之吸 引，加壓管之吸引，加壓管路2 5形成爲貫通下板2，並 且，在吸引，加壓管路2 5之中間連通了吸引管路1 1 0 。在吸引管路110與吸引手段之間，爲了能夠將道些繼 續性地連接設有閥（從略圖示）。此吸引通路1 1 0係， 連接有上板1之吸引通路14與共同之或其他之吸引手段 (從略圖示），若欲對於隔間5進行眞空吸引時爲了膜體 4不離開平板2 3 ，開啓閥門而由吸引，加壓手段之吸引 —同進行吸引作用，吸引，加壓手段能夠使膜體4膨脹將 空氣等之作為體供給吸引，加壓管路2 5時關閉閥門。 在平板2 3.與膜體_4之間，配置了做爲間隔形成構件使用 衝孔機對於板材穿設孔8 6 a之衝孔金屬板8 6 ，在平板 2 3與膜體4之間形成有預定之間隔。於此實施形態，衝 孔金屬板8 6所穿設之孔8 6 a與板材所留下部分之面積 本紙張尺度遥用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 42 - 440747 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 Α7 87 五、發明説明（40) 比係設定爲約略5 0 %程度。其理由係孔8 6 a之面稹比 變成較5 0%更高時衝孔金屬板8 6之强度將變弱，又低 於5 0 %爲低時，將不容易將吸引，加壓作用及至全面變 成均勻。又，所穿設之孔8 6 a之直徑係由吸引，加壓手 段之驅動而吸引膜體4時，將形成爲膜體4不發生變形之 程度。 衝孔金屬板8 6係由於衝孔機穿設孔8 6 a時去除一 方之面所形成之毛邊成爲平滑面，而如第1 4圖所示，將 去除毛邊之平滑面與膜體4接觸做爲上側面，而使用衝孔 機穿設孔8 6 a時將形成於相反面之帶狀凹部8 6 a能夠 接觸於平板2 3配置成下側面。藉此種配置將由吸引，加 壓手段之吸引，加壓作用擴及到膜體4與平板2 3間之全 面，同時，經由平板將加熱器2 2之熱就可有效率地傳播 給膜體4。按，間隔形成構件係於此實施形態，使用衝孔 金屬板8 6之例做了說明，但是，並非限於此者，例如也 可以使用金靥網等。又，除了間隔形成材之配置之外，或 ，替代間隔形成構件之配置，也可將與膜體4之平板2 3 接觸之面形成爲凸面。 下板2之隔^勢直丄1__土，係與上板1之隔熱材1 0 1 同樣，與下板2接觸之面形成格子狀之溝1 1 6，而與下 板之間構成吸引，加壓通路。藉此，沿著膜體4與下板2 間之框體8 5所抵接之內周能夠有複數開口連接吸引*加 壓手段。又，隔熱材1 1 5係在隔熱材1 1 5，加熱器 2 2 ，及平板2 3 ，於第1 1圖之剖面圇及第1 3圖之平 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格{ 2丨0X297公釐） ---r.------裝------訂------轧 {請先閱讀背面之注意事項再填、寫本頁) 440747 A7 B7 五、發明説明（41) 面圚如虛線所示，如連通配置吸引，加壓管器2 5與衝孔 金屬板8 6之膜體4及平板2 3間之空間約略中央連通吸 引，加壓管器2 5設有孔1 1 7。像這樣，沿著膜體4與 下板2間之框體8 5所抵接之內周具有複數開口連接吸引 ，加壓手段，爲了連通配置了吸引，加壓管器2 5與衝孔 金屬板8 6之膜體4及平板2 3間之空間約略中央之孔 1 1 7，在平板2 3與膜體4之間形成預定之間隔做適當 之組合，形成隔間5而驅動吸引，加壓手段時，吸引，加 壓作用爲從隔熱材115之外周側面及至膜體4全面將均 勻地發生作用。按，與上板1之吸引通路同樣，吸引，加 壓通路係在下板2形成溝等，沿著膜體4與下板2間之框 體8 5所抵接之內周連接吸引，加壓手段而能夠形成複數 開口者則並非限定於此。 翅濟部中央橾準局員工消費合作社印策 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於此實施彤態之框體8 6係，由於膜體4之劣化褥要 更換時可容易更換，並且，形成隔間5時爲了保持更加氣 密性，將膜體4之周圍由下板2之間夾持固定，而如第 1 1圖之鏈線及第1 3圖所示，對於下板2使用螺栓 1 1 8安裝成可裝卸。如第1 4圖所示框體8 5上面與送 入於隔間5內之被成形f Η之間K f隔間5內被眞空吸 引之後，膨脹膜體4而加壓被形成材時，由膜體4之膨脹 之變形爲了薄膜材不發生鮍紋設定爲2〜3mm。在框體 8 5上面，係如第1 3圖所示，此實施形態時爲了固持緩 衝密封材8 8所需之溝1 1 9形成爲及至全面，緩衝密封 材8 8係形成爲剖面園形之棒條體所成之環狀。溝1 1 9 本紙張尺度通用中國國家橾準（CNS ) A4現格（210X297公釐） ，』 -44 - 440747 經濟部中央標準局員工消費合作杜印褽 A 7 B7 五、發明説明（42) 係開口寬度較緩衝密封材8 8之直徑稍小，底寬爲較開口 之寬度形成爲稍大*藉此，剖面圓形之緩衝密封材8 8被 固持於溝119而不會跳出。又，形成隔間5時，由於緩 衝密封材8 8受到上板1之押壓而發生彈性變形時，不會 妨礙緩衝密封材8 8之變形。所以，於積層連績帶狀薄膜 材時，若形成隔間5時，在上板1與框體8 5間即使夾住 積層連縝帶狀薄膜材之成形品L時，成形品L上不會形成 由於押壓引起之痕跡，並且，可確實地保持隔間5之氣密 性。 送出積層了框體8 5之連績帶狀薄膜材之成形品L側 (第1 1圖左側）係，形成隔間5時連縝之帶狀薄膜材不 會與框體接觸，設有缺口 1 2 0。靠近上板1與下板2而 形成隔間5時，連續帶狀薄膜不會在上板1與框體8 5之 間受到押壓，而將在上板1與剖面圓形之緩衝密封材5 間受到押壓，但是，由於剖面園形之緩衝密封材8 5受到 押屋部分將變成寬度窄之線狀。 在送出積層了連績帶狀薄膜材之成形品L側（第1 1 圖左側），爲了積厝被成形材靠近上板1與下板2而夾住 框體8 5形成隔間5時，爲了下板2之加熱器2 2之熱不 會傳播到被夾住於上板1與框體8 5間之帶狀薄膜材，做 爲冷卻手段9 0之冷卻水循環管器1 2 5裝設有與上板1 同樣之冷卻水循環通路1 0 5。像這樣，由於在送出積層 了連績帶狀薄膜材之成形品側裝設有冷卻手段8 9，9 0 ，做爲連績帶狀薄膜材將薄膜狀光致抗蝕劑形成層貼合於 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS) A4現格（210X29?公釐） ------------裝------訂------涑 <請先閱讀背面之注意事項再填真本頁) -45 - 440747 A7 _B7 五、發明説明（43)
基板積層時，結束積層而開放之隔間5之外送出積層品L ，爲了開始下一成形周期形成隔間5時，由於貼合時之加 熱處於軟化狀態之積層品L之光致抗蝕劑層被夾住於上板 1與緩衝密封材8 5之間而受到押壓就可防止留存其痕跡 Ο 經濟部中央樣隼局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填爲本頁) 於此實施形態之眞空稹層裝置，支撑捲繞與上述第1 賁施形態同樣之連續帶狀薄膜材4 1之輥輪4 3，與將連 續帶狀薄膜材位於上板與下板上之框體間之薄膜入口導板 1 3 0裝設於眞空積層裝置之被成形材Η之送入側（第1 1圖右側）。輥輪4 3係備有防止連續之帶狀薄膜材發生 皴紋對於連續之帶狀薄膜材給與預定張力之煞車器，同時 ，爲了對應發生皺紋時調整輥輪宽度方向之位置備有寬度 方向調整機構。如第1 5圖所示，輥輪4 3係概略由軸 1 3 1，與對於插通捲繞連績帶狀薄膜材4 1之捲筒之軸 1 31裝設成可轉動之輥輪本體1 3 2，與將輥輪本體 1 3 2對於軸1 3 1向軸向移動之調節構件1 3 3所構成 。按，於此資施形態曾就輥輪4 3加以說明，但是，例如 ，如於第1實施形態所說明，在電路基板4 0兩面稹層薄 膜狀光致抗蝕劑形成層所用之薄膜，或支撑對於搬運電路 基板4 0所需之載體薄膜等捲繞連縝薄膜4 4之捲筒之輥 輪4 5 (參照第1圖），當然也可成爲與辊輪4 3同樣之 構造。 在軸1 3 1 ，係於中間部設有軸環1 3 1 a，而在一 端側（第1 5圖左側）形成螺旋部1 3 1 b。調節構件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 46 - 經濟部中央橾準局負工消費合作杜印製 44 07 4 7 A 7 _____ B7 五、發明説明（44) 1 3 3，係對於軸1 3 1可向軸方移動且由鍵1 3 4外嵌 成不能朝軸周圍轉動者，在一端側外周形成螺旋部 1 3 3 a，在他端側設有軸環1 3 3 b。輥輪本體1 3 2 係對於軸1 3 1及與此外嵌之調節構件1 3 3插嵌成可朝 軸周圍轉動者，在他端側（第1 5圖右側）內周設有對於 軸1 3 1具有滑動面之軸環1 3 2 a，在中間部內周設有 對於調節構件1 3 3具有滑動面之套筒1 3 2 b。 調節構件1 3 3之軸環1 3 3 b係配置於軸1 3 1之 軸環1 3 1 a與輥輪本體1 3 2之套筒1 3 2 b間，軸1 3 1之軸環1 3 1 a與在調節構件1 3 3之軸環1 3 3 b 間設有使兩軸環1 3 1 a，1 3 3 b分開而施壓之壓縮彈 簧1 3 5，將調節構件1 3 3之一端面抗衡壓縮彈簧 1 3 5之施壓力而調節押壓之寬度方向調節螺帽1 3 6螺 合於軸1 3 1之螺旋部1 3 1 b。在調節構件1 3 3之中 間部，由軟木等所形成之一對摩擦環1 3 8，1 3 9外嵌 成位於輥輪本體1 3 2之套筒1 3 2 b之兩側，在調節構 件1 3 3之螺旋部1 3 3 a螺合張力調節螺帽1 4 0，此 張力調節螺帽1 4 0與張力調節螺帽1 4 0所螺合側之摩 擦環1 3 8之間，有押壓構件1 4 1向調節構件1 3 3之 軸向可移動地，並且，由鍵1 4 2外嵌成不能朝軸周圍轉 動，在張力調節螺帽1 4 0與押壓構件1 4 1之間，設有 調節構件1 3 3之軸環1 3 3 b與押壓構件1 4 1經由摩 擦環1 3 8，1 3 9將輥輪本體1 3 2之套筒1 3 2b從 兩側夾住所施壓之壓縮彈簧1 4 3。 本紙張尺度適用中國闺家搮準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ---Ϊ--,-----裝------訂------泉 (請先閲讀背面之注意事項再填鸡本頁) 經濟部中央標荜局負工消费合作社印製 440747 A7 _____B7 五、發明説明（45) ~ 若將宽度方向調節螺帽1 3 6栓緊向第1 5圖之右側 移動時，調節構伴i 3 3係抗衡彈簧1 3 5向第1 5圖之 右側移動，若將寬度方向調整螺帽1 3 6鬆開向第1 5ffl 之左側移動時，調節檐件1 3 3係由於彈簧1 3 5之施jg 力將向第1 5圖之左側移動，經由摩擦環1 3 8 ，1 3 9 夾住於調節構件1 3 3之軸環1 3 3 b與押壓構件χ 4 1 間之套筒1 3 2 b就移動，就可調節輥輪本體1 3 2之寬 度方向之位置。又，將張力螺帽1 4 0栓緊欲向第丨5ffl 之右側移動時，就經由彈簧1 4 3而押壓構件1 4 1就;向 第1 5圖之右側移動，由於押壓構件1 4 1及調節構件1 3 3之軸環1 3 3 b經由摩擦環1 3 8，1 3 9對於輥輪 本體1 3 2之套筒1 3 2 b推壓之力量就增大而增加摩擦 力，而被拉出之連績帶狀薄膜材之張力就會增加。另一方 面，將張力調節螺帽1 4 0鬆開向第1 5圖之左側移動時 ，就經由彈簧1 4 3之摩擦環1 3 8，1 3 9押壓構件 1 4 1及調節構件1 3 3之軸環1 3 3 b之輥輪本體 1 3 2之套筒1 3 2 b推壓之施壓力就減少摩擦力，而連 續帶狀薄膜材之張力就會降低。 薄膜入口導板係由於摩擦阻力之減少與防止薄 膜材之擦傷，接觸於薄膜材之先端部分將至少形成爲R形 狀，同時，在其__面^9氟_代乙稀（tetrafluoroethylene )樹脂等之氟樹脂層所形成而成之板狀者。於此實施形 態，替代如上述具有預定直徑之導輥4 6 (參照第1圖） 由於採用薄板狀之導板就可靠近上板1配Η，所以，可以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ---V--..----^------1T------朿 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Α7 Β7 440747 五、發明説明（46) 減少薄膜材之浪费。 又，在此實施形態，係與上述第3實施形態同樣，在 上板1之平板13使用燒著等固著，而由此膜體3與下板 2之膜體4將被成形材Η進行加熱加壓之例做了說明，但 是，例如使用被成形材Η在一方之面稹層形成電路具有銅 箔圖樣之基板4 0與薄膜狀光致抗蝕劑形成層4 4時，將 在設有基板4 0之銅箔圖樣之面積層薄膜狀光致抗蝕劑形 成層4 4，稹層成不發生捕捉空氣或空隙，並且，將沒有 裝設基板4 0之銅箔圖樣之面形成爲平滑時，在上板1之 膜體3下面具有剛性之平滑板，或，不裝設上板1之膜體 3露出平板1 3之平滑面，而也構成爲押壓沒有設基板 4 0銅箔圖樣之面。 茲就構成爲如各實施形態有關本發明之眞空積層裝置 之動作周期之一實施形態依據第16圖說明如下。有關本 發明之眞空積層裝置，其起始狀態係對於上板1由於下板 2下降致使收容被成形材之隔間5變成開放之狀態。若被 成形材係連績之帶狀薄膜材，送出手段爲夾住薄膜於夾具 所夾持狀態下拉動時，移動送出手段之夾具而拉動薄膜材 ，將被成形材移動至收容於隔間5內之位置（6秒）。並 且，上升下板2形成隔間5 (2秒），使用吸引手段開始 眞空吸引。若結束隔間5內之眞空吸引之後（4 0秒）， 使用加壓，吸引手段之驅動使下板2之膜體膨脹而加壓被 形成材（5秒），若結東積層之後就下降下板2而開放隔 間5。在調整時間就進行下一成形周期所需之定位等（4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4見格（210Χ：297公釐） -----V----^—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 -49 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 時結 合之 一 貼合 5 ， 貼 5 即行 昭亦進 公，下 特置態 本裝狀 日層之 用積層 使空成 , 眞形 層之劑 成載蝕 形記抗。 劑所致 2 蝕報光表 抗公持於 致號把示 光 1 以表 及 4 封併 板 3 密一 基 3 於也 路 1 由果 440747 A7 _____B7 五、發明説明（47) 秒）。按，在此動作周期所示時間爲其一例，但是並非限 定於此者。又，下一成形周期之被成形材之定位齿可從結 束送出手段之夾具移動而上升下板時才開始。 【實施例2】 爲了更加清楚本發明之效果，調査了使用上述本發明 之第4實施形態之眞空稹層裝置，對於電路基板實際適用 光致抗蝕劑層時與緩衝密封材之間所加壓之光致抗蝕劑餍 表面外觀及光致抗蝕劑層之厚度變化。 在此實施例，與上述實施例1同樣之步驟（1)至（ 3 )在《路基板貼合薄膜狀光致抗蝕劑形成層時，在眞空 積層裝置送出側由剖面呈圓形之棒條體所成之緩衝密封材 ，加壓前周期所積層之成形品之結果表示於表2。爲了比 較，與上述實施例1同樣做了對照，使用與上述同樣之電 本紙浪尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -----------裝------訂------溧 {請先閲讀背面之注意事項再填裒本頁) ' 50 * 440747 A7 B7 五、發明説明（48) 【表2】 試驗 號碼 抗蝕劑 之厚度 外觀 剖面抗蝕劑之 之厚度（p m ) 本 1 62 無變化 60 發 2 50 無變化 49 明 3 35 無變化 33 對 4 62 有條紋 5 照 5 50 有條紋 4 6 35 有條紋 0 經濟部中央標準局貝工消费合作枉印製 由表2之結果就可清楚，依據本發明之剖面圓形之棒 條體所成之緩衝密封材夾住在眞空積層裝置之送出側所稹 層之成形品而進行貼合外觀上也沒有變化，又，幾乎看不 出光致抗蝕劑之厚度變化。與此相較，先行技術之方法， 係在基板上幾乎不會留下光致抗蝕劑，因若在此部分具有 電路等部分時將變成形成不良所以不適當。 【產業上之利用可能性】 有關本發明之眞空稹層裝置，係如以上所說明，由於 固著上板膜體，構成爲下板膜體膨脹，上板膜體由於自重 -----------^------1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21 ϋ X 25>7公釐） 51 經濟部中央標準局員工消費合作社印？i 44074 7A7 ____B7___五、發明説明（49) 等而不會下垂，所以，若被彤成材意外地接觸或隔間內不 會發生脫氣不良，所以，可在適當眞空下進行稹層。又， 將框體夾持於上板及下板膜體形成隔間之構成，所以， 配合成形品大小就可容易地更換框體之大小，並且，可將 大小不同之框體確實地密封。除此之外，可使被形成材之 定位間隔變窄，而可減少被成形材之浪费。 又，若依據有關本發明之眞空積層裝置時，如上述， 對於上板或下板之任一方之他方之對向面裝設成可接觸分 離之加壓膜體，與在上板或下方之他方之對向面之間配置 框體，而因收容靠近上板與下板所積層之被成形材之狀態 下形成隔間，所以，藉選擇框體之大小就可容易對應稹層 品之大小。並且，將加壓膜髖密接於上板或下板之任一方 加以吸引而不變化隔間內之容稹之狀態下進行眞空吸引， 其後因由加壓膜體稹層被形成材，所以，不留存空氣於被 成形材可安定地進行積層。 被成形材一方之面爲平滑面而他方面具有凹凸時，由 於將沒有設加壓膜體之上板或下板之任一他方之對向面成 爲平滑面，被成形材之平滑面側被推壓於上板或下板之任 一他方之平滑面，而被成形材之他方之凹凸面受加壓膜體 押壓而被積層。又，被成形材之兩面具有凹凸時，由於在 沒有設加壓膜體之上板或下板之任一他方之對向而固定膜 體被成形材兩方之凹凸面就受到加壓膜體所押壓而被稹層 。像這樣，依據被形成材之態樣可稹層被形成材。 若加懕膜體與設此加壓膜體之上板或下板之間設密封 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨OX297公釐）.^ ----i--.ί----社衣------IT------Vi c請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 44 074 7 A 7 B7 五、發明説明（50) (請先閱讀背面之注意事項再填萬.本頁) 膜體時，可提升形成隔間時之框膻之密封性。又，在此情 況時，將互相接觸於加壓膜體與密封膜膛之面做爲凹凸面 時加壓膜體之框體所抵接之內側全面可搪及均勻之吸引， 加壓作用，在被成形材不至於發生皺紋可均勻地稹層。在 上板或下板之對向面之一方可接觸分離地設加壓膜體，在 他方固定膜體時，由於將設於上板或下板一方之加懕膜體 與密封膜體之合計厚度變成與他方膜體厚度約略相同，就 可更加提升密封性。 在加壓膜體與設有加壓膜體之上板或下板之間裝設形 成預定間隔之間隔形成構件時，加壓膜體之框體所抵接之 內側全面均勻地擴及吸引，加壓作用，對於被形成材不至 於發生皴紋可均勻地積層。又，加壓膜體與裝設該加壓膜 體之上板或下板接觸之面，及至膜體約略全面發生吸引， 加壓作用而形成凹凸面時，就再均勻地擴及吸引，加壓作 用。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印袈 若將吸引手段連接於上板或下板之所抵接之框體內周 附近開口時，吸引作用及至框體內側全面均勻地作用，而 可將隔間內均勻地安定進行眞空吸引。又，將吸引，加壓 手段連接於加懕膜體與裝設該加壓膜體之上板與下板之間 ，開口於所抵接之框體內周附近及/或約略中央時，由於 吸引，加壓作用從加壓膜體之周圍及/或中央擴及到全面 ，所以，可將加壓膜體均勻地安定密著或膨脹。 由於將框體夾持於上板與下板之間就可形成隔間，所 以，可依搛稹層品大小選擇框體，對於下板定位同時裝設 本紙張尺度適用中國國家標挛（CNS ) ΑΊ規格（2丨OX297公釐） 440747 at B7 五、發明説明（51) 扣合成不能移動之扣合部時，可將所選擇之框板對於下板 容易定位，固定。又，框體係夾持固定膜體周圍一般，而 也可裝卸地安裝設有該加壓膜體之上板或下板之任一方。 上述各膜體係由具有耐熱性之橡膠所形成，若將其橡 膠硬度定爲4 0至6 0時，加壓被形成材同時形成隔間時 可確保維持密封性所需之可撓性，彈性，伸縮性。 又，若在接觸於被形成材之膜體表面形成梨皮面（粗 面）時，從所稹層之成形品不必接著膜體就可脫模。 若裝設加熱手段可將上板及下板區分加熱時，可配合 適合於成形品大小之框體大小進行加熱，所以，不僅可防 止不需要部分之加熱，同時，也可節省能源。 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 (請先閱讀背面之注意事項再填穿.本頁) 若框體之至少連續成形品所送出側之部分橫設緩衝密 封材時，送出連續成彤品，爲了積層下一被成形材而形成 隔間時，連績成形品將被夾住於緩衝密封材與此對向之上 板或下板之間而受到押壓，所以，不至於留下對於成形品 之押壓引起之痕跡，不必依成形品之大小配合框體之大小 ，或不必限定送入被成形材之節距，可減少被成形材之浪 費。 若將緩衝密封材形成爲剖面約略圓形之棒條體時，送 出連績成形品，而爲了積層下一被成形材形成隔間，將連 績之成形品夾持於緩衝密封材與和此對向之上板或下板之 間押壓時，由於押壓寬度會變窄所以不容易因押壓而留下 痕跡。又，將固持緩衝密封材之溝形成框體，該溝之開口 宽度成爲較緩衝密封材之直徑爲小，將底宽較開口宽度形 本紙張尺度適用t國國家棣車（CNS ) A4^ ( 2丨0X297公釐） r』 44 07 4 7 A7 B7 五、發明説明（52) 成爲大時，將緩衝密封材固持成不會從溝跳出，同時，爲 了形成隔間在所對向之上板或下板押壓緩衝密封材時，不 會妨礙緩衝密封材之變形。因此，若欲稹層連續帶狀薄膜 材時，形成隔間時，即使夾住積厝連續帶狀薄膜材之成形 品L，也不至於由於押壓而在成形品形成痕跡，並且，可 確實地保持隔間之氣封性。 若在框體之連續成形品送出側之部分設缺口時，稹層 下一被成形材而形成隔間，不必將連續成形品於框體與和 此對向之上板或下板之間夾住成形品押壓。 備有冷卻連續帶狀薄膜材所稹層之成形品之冷卻手段 時，貼合時之加熱處於軟化狀態之成彤品會受到冷卻，送 出連續成形品，形成積層下一被成形材所需之隔間，將連 績成形品夾住於緩衝密封材與和此對向之上板或下板之間 押壓時，就可防止由於押壓彈引起之痕跡。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填W本頁) 裝設支撑捲繞連績帶狀薄膜材之捲筒所成被成形材之 輥輪，在該輥輪備有寬度方向調整機構時，由於捲筒之寬 度方向之位置偏離而在被形成材發生鮍紋時，就可調整其 寬度方向之位置。 裝設支撑捲繞連績帶狀薄膜材之捲筒所成被成形材之 輥輪，若在該輥輪備有煞車器時，由於對於薄膜材給與預 定之張力就可防止發生薄膜材之啵紋。 若備有將連續帶狀薄膜材所成之被成形材導引至上板 與下板而送入之薄膜入口導板時，在靠近上扳或下板之處 所可導引被成形材，因此，就可減少被成形材之浪費。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -55 - 4 7 π 4 Α7Β7 V 1 J i η -*'1 U,.··- 五、發明說明 .又， 狀物互相 就可貼合 面之基材 間也不會 至於在積 進行電路 並且 作，並且 進處理操 可大幅度 (¾) 本.發明之真 或薄膜狀物 ，尤其在印 表面貼合光 捕捉空氣或 層成形品發 基板之電路 ，若依據本 ，在欲進行 作之簡化及 降低材料成 空積層方 與其他基 刷電路板 致抗蝕劑 發生空隙 生外觀不 之抗蝕劑 發明方法 稹層之處 被稹層材 本* 法係可 材不會 用之電 等非常 。因此 良或接 之保護 ，可連 理隔間 大小變 將同種或異種之薄膜 在這些層間捕捉空氣 路基板等具有凹凸表 薄之薄膜狀物時在層 ，若依據本發明，不 著不良，尤其可確實 績進行上述之貼合操 採用了框體，就可促 化之對應之簡化，而 <請先閲讀背面之注意事項再墣贫本1) 〔符號之說明〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 上 板 2 下 板 3 膜 體 4 被 成形 材 5 限 ΓΤΠ 室（ 隔間） 6 框 體 1 1 > 2 1 隔 熱材 1 2 •2 2 加 熱手 段 1 3 •2 3 平 板 1 4 吸 引管 1 5 ‘2 6 螺 帽 本紙張尺度適用中@國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）