TW422941B - A positive resist composition - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 42 的 41_B7_五、發明說明（1 ) 發明背景 本發明是閼於一種正梨光粗劑組成物，其組成包括鹺 溶件酚菸樹脂和輻射敏威性酲二疊氙化合物，本發明组 成物適用於半導體積體電路之精撤加工製程。 相關技術描述 關於半導醱積體電路之精_加工製程，一般採用之光 刻術會用到光阻劑組成物。就光阻劑組成物而言，有很 多情況會採用正型光胆劑，因為其解析度通常都相當優 異。正型光阻劑組成物一般傜由鹼溶性成分和輻射敏感 性成分組成β明確的說，其組成包括酚醛樹脂（鹼溶性 成分）和礙二壘m化合物（輻射敏感性成分）。關於此類 酚醛-醍二》氪型正型光阻劑俗利用到一項事實，亦即 其中的醍二叠氮化合物原為鹼不溶性，但經輻射作用之 後會分解出羧基，而使化合物變為鹼溶性。 近年來積體電路越變越細以便具備更高的集積化程度 ,因此有需要用到次微米级之匾案形成方法。而高解析 度正塱光阻劑組成物正符合所需。為獲致較細画栗，所 謂化學增幅型光阻劑（偽利用産酸劑獲得化學增幅效應） 也開始應用在某些領域。然而所謂酚経-醇二疊氮型光 阻劑之需要性仍繼缠存在。 當酲二蠹氮化合物之含量增加些許程度時酚醛-匿二 «氤塱正型光阳劑之解析度即可獲得改良。但顆二II氮 化合物之含量如果增加太多，則光阻劑之吸光性將會變 得太高而導致輪廓受損，以致於無法獲致方形圍案》 -3 - -----I------^裝----I--訂---—--- 線 1 - -<請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 422941 A7 B7 五、發明說明（ 本發明之目的是要在不過度降飫光m劑其他性能之情 況下改良酚醛-酲二褥氮型正型光阻劑之解析度。 本發明群研究的結果發現，由驗溶性酚醛樹脂和輻射 敏威性酲二鼉氪化合物组成之酚醛-酲二叠氪型正型光 阻劑中只要添加某種化合物，其解析度即可獲得改良。 因而本發明乃得以完成》 發明簡述 本發明提供一種正塑光陌劑組成物，其組成包括酚醛 樹脂、輻射敏感性磨二》氮化合物和如化學式（1)所示 之硫Dili酮化合物：

(I ) {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R 1 且代表氳原子、鹵素原子、烷基、烷氣基、芳基、羧基 或烷氣羰基。 發明詳述 本發明光阳劑組成物之組成包括酚醛樹脂（龄溶性成 分）和酲二《氪化合物（輻射敏感性成分一般用來做 為此類正型光阻劑組成物之鹼溶性成分之酚醛樹脂皆可 做為本發明正型光阻劑之酚醛樹脂成分使用。一般來説 ，在酸觸媒存在的倩況下使苯酚化合物與醛類進行縮合 反_卽可製得此種酚醛樹脂。 -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7422941_B7五、發明說明（a ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 郯3,丁 丁苯苯酚間酚2,基二單 如正環、基 4 間醛和些 、 、三三間基苯基苯 、羥用物 例 、 、醛乙3,、香醛這 酚酚第第基氧基氣基酚二利合 ，醛is甲對 ，醛茴乙 。 苯甲2-2-甲甲氣甲乙苯5-可化 類乙己苯 、薛甲大基可 括二 、 、2-2~甲2-3-基 1> 物酚 醛基環如醛甲苯間苯均 包5-酚酚 、、二 、 '乙 、<;0 苯 族甲如例甲苯基 、如用 子2,苯苯酚酚3-酚酚二萘化些 脂三例，苯基羥醛例使 例 '基基苯二2,苯苯5-基烷這 括 、，類基甲鄰香 ，ΑΠ 的酚甲 丁基苯 、基基3,羥甲 。 包醛類醛甲二 、ί回類混 物甲三三甲間酚氣乙 、二基得 子丁醛族對5-醛大醛上 合二5-第5-基苯甲2-酚3-苯製 例異族芳 、2,甲鄰族以 化3-3,4-«甲基二 、苯 1’三應。之 、環.，醛、苯 、脂種 -酚2,2,'TS5-氣5-酚基，基反可類醛脂醛甲醛基醛芳兩 5 苯、 、酚 Η 、甲3,茶乙酚羥合均醛丁 ，烯苯甲甲甲.，或 ， 之酚酚苯 I 酚4-、兒二萊多縮用的正醛丙基苯二苯醛獨 用甲甲基 1 二 、酚基5-2-和之使脂 、豆基甲基5-基草單 所對二丁 2 苯酚苯丁2,、萘醛合樹醛巴喃間甲3,羥香頬 脂、5-三 '間苯基三 、酚基甲混醛丙和呋、二 、對和醛 樹酚 3’第 U 基基氣第酚苯羥苯上·、醛和醛4-醛、醛些 薛甲 '3-r 甲氣甲4-苯基二基以備醛烯醛甲 2’甲醛香這 齡間酚 、^|4甲二 、基乙 7 羥種製乙丙糠苯 、苯甲 ϊϋ 。 備 '甲酚 . 、3-5-酚乙三1.,輿兩來 、 、 、基薛基苯大醛 製酚二苯-4酚 、2,一一4-5-、酚或用醛醛醛甲甲甲基對皮 甲4-基基二酚、苯 ，3,萘甲獨 甲己戊鄰苯二羥 、桂 I--------- ----- -------—訂---I--- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 422941 B7_ 五、發明說明U ) 薛類中以甲醛為較佳，因為其在工業上較容易取得。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在笨酚化合物與醛類化合物之縮合反應中使用的酸觸 媒之例子包括無機酸類，例如鹽酸、硫酸、過氯酸和磷 酸；有機酸類，例如甲酸、乙酸、草酸、三氨乙酸和對 甲苯磺酸醅；二價金屬鹽類，例如乙酸鋅、氣化鋅和乙 酸鎂。這®酸觸媒單獨或兩種以上混合使用均可。缩合 反應可根據一般常用的方法進行，例如在6G-I2(rc之溫 度範圍内進行2 - 3 0小時之反應。 縮合反應製得之酚醛樹脂最好是利用分餾之類方法降 低其中低分子S成分之含董。明確的説，相對於不包含 未反應苯酚化合物之酚醛樹脂總量基底，分子量在1,000 以下成分之含垦以降低到2551以下為較佳。當含量是以 膠透層析術（GPC)之圓案面積表示時，其中圖案面積傺 代表2 5 4 η I»紫外線偵檢器測得之值，然後以聚苯乙烯為 標準液得到其分子量》 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若將分子量1,000以下之低分子量鹸溶性苯酚化合物加 到酚薛樹脂中，對於高分子量成分之加強是有效果的。 ft類低分子量鹼溶性苯酚化合物在其分子構造中最好至 少具有兩個酚式羥基。其例子參見日本專利JP-A-2-275955 號（相當於 USP5,456,955 加上 USP5,456, 996)和 JP-A-2-2560 號和.IP -A- 4- 37750號中掲示之化合物。當使用低分子量 鹼溶性苯酚化合物時，相對於酚醛樹脂和低分子量鹼溶 性苯酚化合物總量基底，其含量以介於3-40重量；S之間 為較佳。此種低分子量驗溶性苯酚化合物可視為本發明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_五、發明說明（π ) 齡濟性成分之一部份〇 在一般酚薛-鋇二驀氤型正型光阻劑中常用到的輻射 敏感性成分為醍二®氮化合物，其同樣可做為本發明輻 射敏_性酲二*氮化合物使用。通常其係一種具有酚式 羥基之鄰酲二®氮磺酸酯化合物。較佳的是至少具有三 傾酚式羥基之多羥基化合物之1,2 -萘醇二蠱氮-5 -或4-磺酸酷，或1,2-苯并顆二饗氮-4-磺酸酯。這些輻射敏 感性酲二曼氮化合物單獨或兩種以上混合使用均可。 這些酯類可在驗（例如溶於適當溶劑中之三乙胺等）存 在的情況下利用上逑具有酚式羥基之化合物與鄰醍二叠 氮磺醯鹵之反應製得。在反蘸完成之後，所要之酲二叠 磺酸酯可利用適當的後處理進行單離。眈類後處理程序 包括，例如，使反鼴團塊與水混合産生所要化合物沈澱 ，然後過濾及乾燥得到粉狀産物之方法；用光阻溶劑， 例如2 -庚酮等處理反應園塊，然後水洗，相分離，再利 用蒸餾或平衡急驟蒸餾進行溶劑汽提，最後得到溶於光 阻溶劑中之溶液塱態産物之方法；等等。此處所提到之 平衡急驟蒸餾俗指一種連鑲蒸餾方法，先蒸發一部份液 體混合物，所産生的部份氣相與液相充份接觸，當達到 平衡時，氣液兩相再行分離。此種方法因為蒸發是在瞬 間库生，而a氣液兩相之間的平衡很快就可以達到，因 此蒸發效率拫高，適合用來濃縮熱敏感性物質。 在本發明正型光附劑組成物中齡溶性成分（其中含有 酚薛樹脂，必要時還可含有低分子量鹸溶性苯酚化合物） — γ — ---------- ----裝 -------訂--------* 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 422941 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7_五、發明說明（k ) 與輻射敏感性醌二耰氮化合物之比例偽依光陌劑種類而 定。相對於1 0 0重鼉份的鹼溶性成分總量基底，酲二壘 氮化合物之比例一般偽介於約ί 0 - 1 (3 0重量份之間，較佳 的是介於約10 - 5 0重鼉份之間。 本發明正型光阻劑組成物之組成包括如上述化學式（I ) 所示之硫nit酮化合物，加上鹼溶性成分和屏二壘氮化合 物。在化學式（1)中，鹵素原子包括氟、氣、溴等·，烷 基和烷氧基（包括烷氣羰基中的烷氣基成分），分別含約 1-6個硕原子；芳基可為苯基或萘基，其中還可具有取 代基，例如含1 - (5個碩原子之烷基、含1 - 6摘磺原子之烷 氣基、鹵基或硝基。明確的説，化學式（1>中硫Dil_i 合物之例子包括：碕Dm _、 1-氣硫Dili酮、2 -氯硫岫圈、 3-氣硫舳酮、4-氯硫舢酮、卜甲基硫妯_、2 -甲基硫ΙΠί R、3 -甲基硫DIB酮、4 -甲基硫邮酮、1-乙基硫_酮、2-乙基硫舳酮、3 -乙基硫妯_、4 -乙基硫舳酮、卜異丙基 硫_酮、2 -異丙基硫Dlii_、3 -異丙基硫岫酮、4 -異丙基硫妯酮，2,4-二乙基硫爾' 2,7-二乙基硫Dili醒、3-甲氧基硫01酮' i-氣-4-丙氧基硫岫酮、2-(三氟甲基）硫邮酮、2-溴硫_酮、羥胺 硫0ft酮*甲基硫蚰酮-1-羧酸酯和甲基7-甲基硫W謂-3-羧酸酯。 這些硫nil(酮化合物單獨或兩種以上混合使用均可。一 般而言，相對於1 〇 〇重量份酚菘樹脂和低分子量鹼溶 性苯酚化合物總最基底，硫ηϋι _化合物之含量以介於約 (].()1 - 5重量份之間為較佳。此含麗如果太低，本發明之 效果將顯得不足，但含量如果太高，Κ而降低其敏感性。 本發明正塱光阻劑組成物之基本成分包括上述酚醛樹 -8 - -----------------I---—訂--I----- I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 422941 A7 _B7五、發明說明（7 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 正有加分號酸 使圓率之用酸酸£ 酸基10線顯像一和 明含添鹼 ο 生 中晶速膜使乙乙¥3乙甲^0射性顯。液 發可的有39産 劑矽燥塗可、醚 、、 輻鹼性液溶 本還型含21用 溶在乾的皆蘇乙罾酯酮-T用用鹼溶水 ,時典中0-作 在佈的整劑珞一 U 乙丙 y 膜時之水銨 外要種其-1之。先塗度平溶賽醇 f 酸如如 阻要用性甲 i 賓 另必各若，液廓傜才適勻的基二EI乳例例。光必使鹼四 P 基 α -中 像輪，後備均型乙丙 W 如 ，，可的，處種化 物外域外如顯案時之具成典酸和 例類類均成烤此各氣 合之領此例性圖物 ，Μ 形中乙酯 f ，酮醢用形烘 c 之氫 化脂術 。，_ 良成液，可域如酸 U 類.，環使後光像知括 酮樹技等果由改組溶解卽領例乙IF酯酯；合之曝顯熟包 DdJst屬劑效緒可劑劑溶後術，醚EI;乙酮混燥後行家液 9 硫酚所性有夠入阻 m 分之技酯甲 d 醚酸己上乾行進大像 * 和 了在活具能加光光成掉屬醚一 醇酮環以經進膜中顯 物除量而樣其之型得將發所醇醇 Ϊ 二丙和種她着阻域的 合中少界同，物正製可蒸。二二 # 丙和酮兩液接光領用 化物及、也劑合明而。被用乙丙 i 基酯庚或溶。的術使 ® 成以料，酸化發解而劑使括 、||乙戊2獨劑茱過技泛 #組，染物産性本溶上溶合包蘇SB和酸、單阻圖射屬廣 二劑脂如合之解用分板當適子珞 1 酸乙酮劑光成照所 ， ®m 樹例化出分使成基此皆例賽Sr醇 、基溶佈形對為説 '光他，性提鹼在述類因劑其基.，二酷丁些绝射液可來 脂型其劑解中。 上之，溶，甲酯丙 丁異這 照像液般 *裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Λ7 422G41 B7_ 五、發明說明（^ ) 氫氣化（2 -羥乙基）三甲銨水溶液（一般稱為膽鹼h 實施例 本發明以下將參照對本發明範圍不具有限制性之各宵 施例做更詳盡之説明。實例中，百分率，份和比率偽基 於含最或用鼍，除非另有指明。重釁平均分子量傺利用 _透層析術以聚苯乙烯做為標準液潮定。 參考例U酚醛樹脂之製備） 於一反應容器中裝入4 7 9 · 7份由6 2 3；間甲酚與1 1 5 . 1份 對甲酚組成之混合間/對甲酚、2 6 8 . 7 5份2 , 5-二甲酚、 3 9 · 3份草酸二水合物、2 δί· Γ份9 0 S：醋酸水溶液和8 0 3 . 1丨士 份重甲基異丁基酮，將混合物加熱到80°〇。接著以30分 鐘的時間滴人4 6 3 . 2份3 7 3ί福馬林，所得狺合物加熱到9 2 °C ,在該溫度且保持回流之狀態下進行1 3小時之反_ ^反 應結束之後再加入486. 2份甲基異丁基_，用1823. 2份 水洗滌混合物之後分離出油相，此段操作電複進行六次 。接箸將油相濃縮，得到溶於甲基異丁基酮之酚醛樹脂 溶液。所得樹脂之重均分子量約4 , 4 0 0。然後用甲基異 丁基酮稀釋到2 0 3!濃度。於4 0 0份之2 0 S!溶液中攪拌加入 545. 2份正庚烷。再以30分鐘的時間於60°C之溫度進一 步攪拌混合物，予以靜置以進行相分離。接箸，7 6 . 3份 的下層用4 0 0份2 -庚酮稀釋之後濃縮得到1 0 9 . 7份溶於2 -庚銅之酚醛樹脂溶液。此一酚醛樹脂稱為樹脂A ,其重 均分子最約7 , 2 0 0 , G P C圏案中相當於分子量1 , 0 0 0以下 範閑之面積比約為205；。 -1 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------1訂---------線— 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 422941 A7 B7_ 五、發明說明（9 ) 蓥者例2 (酚薛樹脂之製備） 於一反應容器中裝入4 8 6 . 6份間甲酚、2 1 9 . 6份2，5 -二 申酚、3 1 . 8份草酸二水合物、2 1 4 . 2份9 0 3S醋酸水溶液和 0 3 5 . Π份甲基異丁基酮，將混合物加熱到8 0°C。接著以 3 0分鐘的畤間滴人4 5 0 · 3柺，3 7 S；福馬林，所得混合物加 熱到9 2 °C，在該溫度Μ保持回流之狀態下進行1 1小時之 反應β反應結束之後再加入461. 5份甲基異丁基_，用1500 份水洗滌混合物之後分離出油相，此段操作重複進行六 次^接箸將油相濃縮，得到溶於甲基異丁基_之酚醛樹 脂溶液。所得樹脂之重均分子量約4，8 0 0。然後用甲基 異丁基_稀釋到22%濃度。於40(3份之22%溶液中攪拌加 入2 7 1 . 2份正庚烷^再以3 Q分鐘的時間於6 (TC之溫度進 一步攪拌混合物，予以靜置以進行相分離。接箸，91,4 份的下層用400份、2-庚_稀釋之後濃縮得到135.8份溶 於2 -庚_之酚醛樹脂溶液。此一酚醛樹脂稱為樹脂Β , 其重均分子悬約Β, 100, GPC圖案中相當於分子量1,000 以下範圍之面積比約為20¾。 實施例1-4和比較例卜2 於2-庚酮溶劑中混合Μ溶入總量11份，參考例1和2 製得之酚醛樹脂A和B (混合比如表ί所示，依固體成 分為準}、4份重4 , 4 ' - ( 2 -羥苯亞甲基）二-2，S -二甲酚 (做為添加劑，偽一種低分子量苯酚化合物8份重2， ii-雙{4-羥-3- (2 -羥-5-甲基苯甲基）-2,5 -二甲基苯甲基] -4 -甲基苯酚（如以下化學式所示） -1 1- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------裝-------訂-------- 線 (請L閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 422941 五、發明說明（α )

與1,2 -桊醒二#氮-5-磺酵氣在反應莫耳比1:2.2之情況 下進行縮合得到之産物（粉狀，做為輻射敏感性成分）、 硫ms酮化合物（添加量如表1所示）和2 -庚_溶_，添加 的2 -庚酮加上從酚醛樹脂溶液中所産生者總最為5 G粉。 硫_酮化合物： 丨）：硫nn酮 E : 2 -氣硫Μ _ P : '-KAYACURE ITX",日本化渠股份有限公司 産品（2 -異丙基硫__與4 -異丙基硫舳酮之混合物）。 分別製得之溶液利用氟樹脂過濾器過濾得到光Μ _溶 液。利用旋轉塗佈方法將光胆劑溶液塗佈在用六甲基矽 氨烷處理過之矽晶圓上，然後在直接接觸之熱板上以 9 (TC之溫度預烘烤fi η秒鐘，形成厚0 . 8 5 ；u m之光m糢。 接著用I線步進機（” N S R - 2 0 0 5 i 9 C n，尼康股份有限公司 公司製，ΝΑ = 0.57, σ=0·60)對帶有光咀膜之晶圓進行 曝光，曝光時偽採用曝光劑最逐步改變之線-間隔闺案 。然後在熱板上以1 1 ϋ °C之溫度後曝光烘烤6 0秒鐘，接 著用2 · 3 8 %氫氣化四甲銨溶液進行6 0秒鐘的槳式顯像。 利用掃描式電子顯微鏡覼察顯像圖案。各圖案之有效 敏感度和解析度根據下述方法評估，結果示於表1中。 -1 2 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝·--- I---訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 422041 A7 _B7_五、發明說明（U ) 有效敏感度：«線-間隔圖案截商1: 1處之曝光 劑最 解析度：在有效敏烕度條件下經曝光分離的線-間隔 _案中最小之線寬。 表 1 編號 樹脂 硫nil酮化合物 有效敏_度解析度 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 A/B=30/70 A/B=30/70 A/B二30/70 A/R= 1 5/85

Ο . 2 D 0 . 2 份 Ε Ο 2 份 F Ο . 3 份 F 310毫秒 0.255^ m 350毫秒 Q .25 μ » 3 5 Ο 毫秒 Ο . 2 5 Λί m 3 5 0 ¾ fΦ 0.25// « -------：------裝--------訂 <請7t-閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Η:較例 1 Α/8 = 30/70 無 200 毫秒 0.30yum 比較例 2 A/B= 60/40 無 360 毫秒 0·27αβ 線 較但 fch, 物高 産提 例有 較略 比雖 各度 與析 物解 産之 例 CM 施例 實較 各比 1 ο 出異 看優 以較 可比 1 度 表析 從解 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例 較 fcb 舆 物 産 C 例異 施優 實較 各tb ，都 商度 方析 一 解 另和 0 度 差誠 較敏 L.J 卻較 度hh 威物 敏廉 其 2 羥 4 2-和 T酚 >-3苯 備羥基 製 4 甲 [ I 之 物 合6,基 ί 2 ft份申 m3 苯 餐e基 二40甲 _ 入二 件溶5-感中2’ 敏烷)- 射！T 基 輻二甲 {份苯 U03* Γ甲 考於" i 5 參 - 雙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 422941 B7_ 五、發明說明（^ ) 粉]，2 -赛酲二#氮-5 -磺醯氣（莫耳比1 : 2 · U。然後滴入 ί 8 . 1份三乙胺，所得混合物進行度應直到偵測不出有1 , 2 -萘酲二《氮-5 -磺醯氣為止。反窸結束之後，所得反 應圃塊用4 . 5份乙酸攪拌1小時，然後用2 ίΠ份2 -庚酮和 4 (U份去離子水洗滌去除其中的金屬物質和氣離子。經 相分離之後，2 -庚_層進行平衡急驟蒸餾，其中氣液兩 柙偽互相接觸，當達到平時，阐相分離，然後濃縮到固 髅含霞：37 . 5 Si之稈度。如此卽製得〗5 9 . 0份溶於2 -庚酮之 辭二#氮磺酸酯溶液。 重複實施例3稈序，但其中粉狀輻射敏感性成分改用參 考例3製得之溶於2 -庚酮之酲二黌氪磺酸酯溶液（添加 量按固體成分計算為6份），而且添加的2 -庚酮加上從溶 液中所産生者總量為5 8份。得到的結果與實施例3類似。 根據本發明，添加硫UH _化合物到酚醛樹脂和匿二薷 氮化合物中可製得具優異解析度之正梨光m劑組成物。 此外，本發明Μ成物也具備良好的光阻劑性能，例如敏 感度、聚焦景深、輪廓等。因眈本發明組成物能夠有效 應用於半導體積體電路之精微加工製程中。 — ----------—--- . I — I 1 I I — . -------- I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ， , 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 口 2941 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 一種卍型光阳劑組成物，其包括酣醛樹脂、輻射敏 感性_ :二罨氮化合物和如式（I >所示之硫Dtil _化合物 R8 9 R1

   (I ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ,且代表氫原子、齒素原子、烷基、烷氧基、芳基、 羧基或烷氣羰基。 .如申請專利範圍第1項之正塱光m劑組成物，其中相 對於不包含未反應苯酚化合物之酚薛樹脂總量基底， 分子最在1,00(1以下酚醛樹脂成分之含量在25¾以下， 當含最是以膠透層析術之圖案而積表示時，其中圖案 商積傺代表2 5 4 n m紫外線偵檢器測得之值，然後以聚 苯乙烯為標準液得到其分子鼉。 •如申請專利範圍第1項之正型光瞄劑組成物，其進一 步的組成是時，相對於酚菘樹脂和低分子鼍鹸溶性苯 酚化合物總量某底，低分子最鹾溶性苯酚化合物之 含量係介於3 - 4 G重鼍％之間。 .如申謫專利範圍第ί項之正犁光阻劑紐成物，其中在 式（I )中之硫帥酮化合物係從下述群中選出：硫M _、 1 -氯硫_顚、2 -氯硫__、3 -氨硫mil酮、4 -氣硫Dili _ 、1-甲棊硫2 -甲基硫Dill酮、3 -甲基碕（HU酮、4-甲棊硫ntli酮、1 -乙基硫_ _、 2 -乙基硫_酮、3 -乙基 -15^ ---------------裝 - ------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A8422941 § 六、申請專利範圍 1 同 1 Η 围 一 ώ ώ Η π π 硫硫Γαιί 、酮 0 0 m 硫 硫基 基丙 乙異 -C, 基 甲 和 酸 羧 基硫 丙基 異甲 C 2 、 醋 、酮酸 _atli羧 0111硫3~ 硫基 基丙 丙異 異4- 麵 Dili 硫 基 甲 物 成 組 0 阳 光 型 ΙΈ 之 項. 3 第 或 項 11 第 圍1Q 範於 利對 專相 Ϊ明中 申其 如 ， 份 ❶ 酣 苯 性 溶 齡 景 子 分 低 和 脂 樹0 約 於 介 係 晕 含 之 物 合 化mπώ 硫 底 苺 鼍 總 物 合 化 間 之 份 量 If. --------------裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .- -線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）