TW411746B - Resist layer formation method and printed circuit board manufacturing method - Google Patents

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TW411746B
TW411746B TW088104821A TW88104821A TW411746B TW 411746 B TW411746 B TW 411746B TW 088104821 A TW088104821 A TW 088104821A TW 88104821 A TW88104821 A TW 88104821A TW 411746 B TW411746 B TW 411746B
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Ryota Bando
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Kansai Paint Co Ltd
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Description

411746 A7 . A / _____B7____ 五、發明说明(1 ) 發明背_ι 發明領 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明傺闢於一棰在具有貫穿孔<thr〇ugh via hole) 部及/或通過孔部(邸,非貫穿孔部)之基板上形成阻體 層的方法,並且偽餌於一種裂造具有貫穿孔部及,或通 過孔部之印刷電路板的方法。 習知技 當以先前技術製造具有貫穿孔部及/或通過孔部(随 後偶而僅簡稱為"通孔部"(through hole part)之印刷 電路板時,可用噴蓀,絲網印製或滾筒塗敷之方法來塗 敷液體阻體。依任何一傾之這些方法直接把液體阻體直 接塗敷在基板上均無法在通孔内形成足夠之阻體薄層, 造成了通孔内之導電層腐蝕過程中被腐蝕液局部或全部 地溶解,而導致如失聯斷電(disconnection)之缺點* 由於此問題,為了保護通孔内不受腐蝕液進入,以一 種乾式薄膜阻體,或是以请充液(filling ink>缜入通 孔後再塗敷液髏阻醸的方法在近年内通常被使用著。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 但是,请塞並不容許使通孔之陸地寬度(land width> 變狹窄,而且,它所用的乾式薄暌阻體比液體粗體更貴 ,造成生産成本增加的問題。以《充液之琪充導致工時 增加,因為在埔充通孔之後,必須有将壤充液硬化之過 程,另外若填充液埔在基板待《人部以外的地方時須將 之磨平的過程,更有在形成導體電路之後需除去®充液 的過程。 本紙張尺度適用中國國家樣準(匚奶)八4規格(210父297公釐> 411746 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明 (- ) 1 1 在 另 方 面 9 為 了 組 立 基 板 而 將 焊 阻 或層 間 絶 綠 塗 在 b 1 1 具 有 導 體 電 路 圖 形 及 貝 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 之 基 板 上 1 時 » 將 會 有 不 能 製 出 高 可 靠 度 之 高 密 度 印 刷 電 路 板 的 問 /—V 請 1 I 題 因 為 依 先 刖 任 方 法 包 含 乾 燥 薄 膜 阻 體 之 法 均 未 能 先 閲 1 I 讀 1 I 可 靠 地 镇 充 貫 穿 孔 或 通 過 孔 , 再 者 細 線 電 路 圖 形 之 空 背 ft 1 之 1 間 不 能 可 靠 地 填 入 阻 體 〇 注 意 | 故 * 本 發 明 者 致 力 於 熱 心 研 究 發 展 9 在 具 有 通 孔 部 之 事 項 1 再 I 導 電 基 板 上 或 在 導 電 基 板 的 細 線 電 路 圖 形 之 間 形 成 阻 體 填 1 本 層 以 及 發 展 —· 種 簡 CK3 単 梗 宜 的 方 法 使 通 孔 不 必 使 用 填 充 頁 1 1 液 而 可 防 止 腐 蝕 液 進 入 9 並 且 不 受 通 孔 陸地寬 度 所 影 1 i m 〇 結 果 9 他 們 發 現 到 上 述 問 題 的 解 決 而 兀 成 了 本 發 明 i I 先 成 功 地 將 液 體 阻 體 m 入 通 孔 中 並 以 前 轉 滾 筒 塗 敷 液 醱 1 訂 阻 體 而 得 到 平 滑 塗 敷 表 面 9 並 在 液 體 阻 體 乾 涸 前 以 後 1 轉 滾 筒 再 塗 敷 液 體 阻 腊 ) 而 且 這 種 方 法 亦 可 應 用 到 1 在 1 I 組 立 基 板 時 形 成 焊 阻 成 層 間 绝 緣 層 而 可 産 生 相 同 的 效 1 1 1 果 〇 1 1 發 明 概 線 I 因 此 » 根 據 本 發 明 所 提 供 者 1 1 1 . 在 一 値 具 有 通 孔 部 之 導 電 基 板 上 形 成 阻 體 層 之 方 法 l 9 薛 此 , -* 侮 具 有 貫 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 之 導 電 基 板 1 上 以 前 轉 塗 敷 滾 筒 塗 敷 液 體 阻 體 之 後 ♦ 以 後 轉 滾 筒 在 1 1 該 基 板 上 而 該 己 先 塗 敷 且 未 乾 的 液 體 阻 體 上 再 塗 上 液 髅 1 1 阻 體 » 然 後 使 塗 敷 層 乾 燥 〇 1 I 依 照 本 發 明 9 亦 另 外 提 供 4 有 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS) A4規格(210X 297公釐) 411746 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(4 ) 1 1 2 . 一 種 印 刷 電 路 板 製 造 方 法 > 它 包 括 1 1 一 值 在 具 有 貫 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 之 導 電 基 板 上 形 1 I 成 阻 體 層 之 過 程 > 它 是 在 以 刖 轉 滾 筒 將 液 體 阻 體 塗 敷 在 請 1 I 基 板 之 後 再 以 後 轉 滾 筒 將 液 醱 阻 體 在 乾 燥 前 塗 敷 到 基 先 閱 1 I 讀 1 | 板 上 面 已 先 被 塗 敷 之 液 體 阻 體 上 » 然 後 乾 燥 該 塗 敷 層 ; 背 面 | 之 1 一 個 以 所 要 圖 形 之 活 性 光 線 選 擇 性 地 照 射 該 阻 體 層 之 音 、丨丨 忍 事 1 過 程 項 \ 再 1 I —- 個 將 阻 體 層 顯 像 (develop), 若未曝光部為負阻時 4 1 馬 本 裝 可 使 之降 去 或 已 曝 光 部 為 正 阻 時 可 使 已 曝 光 部 除 去 頁 1 I 9 因 而 使 導 電 層 之 局 部 被 曝 露 出 來 之 過 程 1 1 一 偏 以 腐 蝕 將 已 曝 光 導 電 基 板 除 去 之 過 程 及 1 1 一 箱 在 必 要 時 將 剩 下 阻 體 層 除 去 之 過 程 〇 1 1 依 照 本 發 明 9 更 提 供 有 ; 吕Γ 1 3 . 一 種 印 刷 電 路 板 製 造 方 法 » 包 含 有 1 I 一 催 在 具 有 οβ- Μ 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 之 導 電 基 板 上 形 1 1 成 阻 醱 層 之 過 程 9 它是在以前轉滾筒將液體阻體塗敷在 1 1 基 板 之 後 1 再 以 後 轉 滾 筒 將 液 體 阻 體 在 乾 燥 前 塗 敷 到 基 線 I 板 上 面 該 已 先 被 塗 敷 之 液 體 阻 體 上 » 然 後 乾 燥 該 塗 敷 層; 1 1 一 偏 以 所 要 團 形 之 活 性 光 線 選 擇 性 地 照 射 該 阻 體 層 之 1 過 程 f 1 一 傾 將 m. 體 層 顯 像 若 未 曝 光 部 為 負 阻 時 可 使 之 除 去 1 1 或 已 曝 光 部 為 正 阻 時 可 使 已 曝 光 部 除 去 » 因 而 使 導 電 層 1 | 之 局 部 曝 露 出 來 之 過 程 » 1 1 m 以 腐 蝕 將 已 曝 光 導 電 5 基 板 除 去 之 過 程 • 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 卜 411746 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(4 ) 1 - 摘 將 剩 下 m 體 層 除 去 之 過 程 » 1 1 個 在 以 如 上 所 述 形 成 有 一 導 電 層 圖 形 之 基 板 上 形 成 1 I 阻 體 層 之 過 程 » 請 1 I 個 以 所 要 圖 形 之 活 性 光 線 選 擇 性 地 照 射 該 阻 體 層 之 先 閲 讀 1 1 過 程 以 及 背 I 之 1 - 個 將 阻 體 層 顯 像 » 若 未 曝 光 部 為 負 阻 時 可 使 之 除 去 i \ 或 已 曝 光 部 為 正 阻 時 可 使 已 曝 光 部 除 去 之 過 程 〇 事 項 1 再 1 j 依 照 抹 發 明 進 -- 步 亦 提 供 有 填 I 馬 本 裝 4 . —‘ 種 印 刷 電 路 板 製 造 方 法 它 包 括 有 頁 'w-· [ I 在 一 m 具 有 貝 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 之 印 刷 電 路 板 上 1 1 形 成 阻 m 層 之 過 程 9 其 中 除 了 該 二 種 孔 之 外 以 任 何 其 它 1 I 方 法 形 成 的 孔 内 部 有 導 電 層 * 並 且 板 上 有 導 電 層 及 一 導 1 訂 電 層 之 電 路 圖 形 1 該 過 程 m 疋 在 以 前 轉 塗 敷 滾 筒 將 液 髅 胆 1 體 塗 到 板 上 之 後 9 再 以 後 轉 滾 筒 將 液 體 阻 體 在 乾 m 前 塗 1 I 敷 到 該 板 上 商 已 先 被 塗 敷 之 液 體 阻 嫌 m 上 f 然 後 乾 燥 塗 敷 1 1 1 層 之 過 程 1 1 個 以 所 要 m 形 而 選 擇 性 地 照 射 阻 體 層 之 過 程 ; 及 線 I 一 掴 將 m 體 層 顯 像 9 若 未 曝 光 部 為 負 阻 時 可 使 之 除 去 1 1 或 者 已 曝 光 部 為 正 阻 體 層 時 可 使 之 除 去 之 過 程 1 圈式簡單說明 1 第 1 圈 是 實 施 本 發 明 之 % 統 之 槪 略 圈 〇 1 1 m 佯 宵 直 例 詳 湘 明 1 | 具 有 貫 穿 孔 部 而 本 發 明 裝 置 可 以 應 用 之 導 電 基 板 包 含 1 I 有 在 表 面 之 基 片 , 其 通 孔 6 内 形 成 有 導 電 層 1 而 其 待 例 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國圉家標準(CNS)A^規格(210X297公釐) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印" 411746 A7 _B7 五、發明說明(r ) 中更包含有一由塑嘐層等,如電絶緣之玻璃-環氧板為 基材之基板,其表面黏上銅箔、鋁箔等而可導電,或以 噴鍍等形成銅或某其它金屬或者是如氣化絪錫UTO)等 導電氣化物之化合物而形成可導電,該基板上設有通孔 部,其内部由鍍銅等方法形成導電層;此基板之上商以 照像等方法形成導電電路圖形;一摘含有金屬或其它導 電圖形基Η之基板,其上面設有絶緣樹脂層,非貫穿孔 是以雷射加工或照像而在該樹脂層上鑽出的,隨後在該 絶緣樹脂層以及包含非貫穿孔之内部的表面以鍍銅或其 它方法形成導電層;以及其上面有以照像或其它方法形 成導電電路圖形之基板。 依照本發明被塗敷到該有通孔之基板上面的液體阻體 為可應用到形成印刷電路板之任何液體阻體。用來組成 基板所用之負光阻,正光阻,焊阻,層間絶緣等之中任 何一種均可使用。 當本發明一種液體阻體被塗敷時,液體阻體是由前轉 滾筒在塗敷時壓入通孔以及細線之電路圆形之間I但是 滾筒之轉動會提起塗敷層並將塗敷層從通孔中迫出。然 而,當液體阻體由後轉滾筒再次塗敷時,滾筒轉動是沿 箸使液體阻體壓入通孔以及細線電路圖形之間的方法, 故而液體阻體壓入其中。以此方式,阻體層可在具有通 孔之基板上形成。亦可在一對後轉滾筒之相反側配置一 對前轉滾筒,使兩面可同時進行塗敷。 依本發明製造印刷電路板之方法,在具有通孔之基板 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ----------------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 B7_ 五、發明說明(^ ) 上而依本發明方法形成之阻體層曝光及顯像而形成阻體 圔形,接著在必要時以腐蝕除去阻體層之剩餘部份。製 造印刷電路板的方法將特別敘逑如下。 依照本發明形成阻體的方法在具有通孔的基板上所製 備之阻體層曝露到活性光線,並且被顯像而在基板上形 成陌體画形。曝露到圖形之活性光線的方法,例如,以 經由負或ΪΕ光罩而照射活性光線,並且由雷射掃描而直 接畫圖。 可用在曝光之活性光線包括有紫外線,可見光及雷射 線束(如可見光雷射及紫外線雷射),並且適當之照射量 從0.5至 2G00mj/cffl2 ,較常用為 1 至 lOOOraj/Cffl2 。至 於該活性光線之光源,傳統上用在光硬化阻體之光照射 者亦可使用,包含如超過電壓水銀燈,高電壓水銀燈, 氬氣雷射及準分芊電射(excimer laser)。 在阻體層是負型時,曝光部由該曝露所硬化,而未曝 光部份被顯像過程所除去。在阻體層為正型時,曝光部 份可以由分解或離子化法而更溶於顯像劑之中,因而在 顯像過程中被除去。 顯像是把曝光後之胆體層浸在一種適於特定型阻體之 顯像劑如酸性顯像劑、龄性顯像劑、水或有機溶劑,或 者以這些顯像劑中之一種等噴到阻體上而後清洗阻體層, 而可完成。顯像條件雖不必特別限制,通常在1 5 °C及4 0 °C 之間,及1 5秒至5分鐘之間。 依上述製成阻體圔形之基扳依需要而對上面没有阻體 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ------.---,--— 裝 - ------訂---------線 {請先閲讀背面之沒意事項再填寫本頁) 411746 A7 B7 五、發明説明(?) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖形形成之曝光部份之導電層施以腐蝕,藉此而形成電 路_形《此種腐蝕可透過依照基板上導電層型式而選擇 之腐蝕液而可完成。若導電層是以網形成,如氯化銅頚 之酸性腐蝕液,或氨基之腐蝕液可以使用β此種腐蝕可 除去由顯像曝露之導電層部份。由於阻體層亦依本發明 充分地在通孔中形成,在通孔部之中的孔於腐蝕過程中 不會溶解,故失聯斷電不會發生。 在腐蝕過程之後,阻醱層之剩餘部份是視需要而去除 。阻體層剩餘部份之除去,可以使用一種分離它可溶 解阻體層但對基板或在基板表面保有電路圖形之導電層 沒有顯箸影響。例如,鹼或酸之一種水性溶液,或一種 有機溶劑亦司使用。 具有通孔部之印刷電路板可依上述而獲得。 即使使用一種具有導電電路圖形、貫穿孔部及/或通 孔部之基板,來做為具有通孔之導電基板,一種對電绝 緣高度可篛且抗化學物質之焊阻及層間絶緣層可以容易 地被形成,因為貫穿孔及通過孔之内部以及細線電路圖 形之空間内可以完全填充阻體。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其以參照第1圖,將敘逑一實施本發明方法之条統之 例子。 此条統包括頂倒塗敷單元12用以塗敷液醱阻體到具有 通孔之導電基板1〇(隨後有時僅稱為"導電基板**)之頂拥 ,第一乾燥器14,翻轉器16用以將導電基板從頂面向上 狀態轉到底面向上狀態第二乾燥器20,以及使導電基板 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4現格(210X297公釐) 28持在 -筒支抵 滾之緊 轉.倒緊 前 一 1 之另板 器 2 基 敷帶電 塗送導 筒_賴 滾及用 - ο 4 1 1 4 成板元 構基單 。 括電空動 包導真滑 12在及止 元,以防 單 3 , 以 敷筒34上 塗滾及24 側轉32帶 。 頂後筒送 12,滾輪 411746 Α7 Β7 五、發明説明(^ ) 10移動通過這些單元之輪送帶条統22。 輪送帶糸統22包括輪送帶24及多數傾承載滾筒26,其 中至少一插是驅動馬逹(未圖示)所驅動,因而輪送帶24 可移動。被放在輸送帶24上的導電基板10在第1圖中可 以等速或斷壤地從左移動到右方 導電基板10首先由輪送帶条統22進料到頂倒塗敷單元 前轉滾筒28轉動時,其與導電基板10接觸周面沿著導 電基板10移動方向而移動。最好使前轉滾筒28之該周面 之移動速度高導電基板10移動速度G至前轉滾筒 28從進料滾筒處(未圈示)被供給液體阻體,導電基板10 之表而由前轉滾筒28塗敷上液體阻體。導電基板1ϋ被真 空單元44吸住,以保持與輪送帶24之緊密接觸,因而可 抵抗後轉滾筒3 0而移動: 後轉滾筒30轉動時,其與導電基板10接觭之周面是沿 著與導電基板10之移動相反的方向而移動。最後使後轉 滾筒30之該周面之移動速度等於或低於導電基板10之移 動速度。後轉滾筒30是從進料滾筒處(未圉示)供給液體 阻體,而導電基板10之表面由後轉滾筒30塗敷上液體阻 體。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) ----.--.--^1 裝.------ΐτ------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 411746 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(c ) ) i 1 如 上 述 > 無 論 那 一 個 已 知 滾 筒 是 颶 於 刖 轉 滾筒 28或後 1 1 轉 滾 筒 30 t 是 視 其 周 面 的 移 動 與 m 電 基 板 1 0之方向相同 1 | 或 相 反 而 定 〇 所 以 » 若 滾 筒 向 某 一 方 向 轉 動 而導 電 基 板 /-—» 請 1 I 10之移動方向相 反 的 話 t 則 此 滾 筒 在 基 板 翻 轉前 做 為 前 先 閲 1 I 讀 1 I 轉 滾 筒 > 然 後 在 基 板 翻 轉 後 則 做 為 後 轉 滾 筒 〇 背 面 | 之 1 其 次 * 導 電 基 板 10由輪送帶条統 22移動到置於第 - 乾 注 意 1 | 燥 器 14之中 * 所 在 例 如 80°C周遭溫度中被烘乾 0 事 項 1 | 再 然 後 導 電 基 板 10由輸送帶糸 統22置於翻轉單元 1 6中 填 1 裝 本 並 且 由 —1 摘 機 構 (未匾示)從頂面向上狀態翩轉成底面 頁 1 I 向 上 狀 態 〇 1 1 其 次 9 導 電 基 板 10供給到底側塗敷單元 1 8 〇 1 I 底 側 塗 敷 早 元 18就如頂側塗敷單元 12 一 樣 ,包 括 有 t 1. 刖 1 1 訂 轉 滾 筒 3 6 t 後 轉 滾 筒 38 > 支持滾子40及 4 2 及真 空 單 元 1 能 將 液 體 阻 體 塗 敷 在 導 電 基 板 10之底側 〇 1 I 其 次 9 導 電 基 板 10被置入第二乾燥器 20之 中, 此乾 1 1 燥 器 就 如 第 — 乾 燥 器 1 6 一 樣 * 將 導 電 基 板 10烘乾 〇 1 1 再 者 > 導 電 基 板 在 依 此 方 式 在 其 上 形 成 阻 體層 之 後 9 線 I 選 擇 性 地 以 所 要 圖 形 之 活 性 光 線 照 射 在 阻 體 層上 〇 阻 體 1 1 層 顯 像 * 阻 體 層 是 負 時 除 去 未 曝 光 部 份 > 若是 正 型 時 1 則 除 去 曝 光 部 份 〇 然 後 1 曝 光 後 之 導 電 層 以 蝕刻 法 移 除 1 以 造 出 印 刷 電 路 板 〇 1 1 並 且 r 若 必 要 時 在 印 刷 電 路 板 上 可 以 依 下述 方 式 形 1 I 成 另 一 阻 體 層 S m 擇 性 地 以 所 要 圖 形 之 活 性 光線 照 射 之 1 I » 随 後 顯 像 並 清 除 未 曝 光 部 份 以 便 為 了 组 成 基板 之 需 要 1 1 -1 1 - 1 1 1 1 .本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)八4現格(210X297公釐) 411746 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(1。 ) 1 1 而 在 製 成 上 而 形 成 有 另 一 阻 體 層 或 層 間 絶 緣 層 之 印 刷 電 1 1 路 板 σ 再 者 » 若 必 要 時 阻 體 層 可 在 其 它 待 性 方 面 * 如 1 1 以 活 性 光 線 加 熱 及 / 或 昭 射 來 改 善 其 抗 熱 性 (t h e r 纽 a 1 請 1 先 1 r e si stance)以及抗化學品待性β 閱 讀 1 亦 可 以 根 據 本 發 明 阻 體 I3jC£ 層 形 成 方 法 9 在 具 有 導 電 電 路 背 1 之 1 園 形 及 貫 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 9 且 以 本 發 明 之 外 的 已 意 1 知 方 法 形 成 之 基 板 上 * 形 成 焊 阻 層 或 層 間 絶 緣 層 0 事 項 1 再 I 再 者 4 在 上 逑 % 統 中 ί 導 電 基 板 之 表 面 首 先 由 刖 轉 滾 4 寫 本 1 尊 筒 塗 敷 液 體 阻 體 » 然 後 由 後 轉 滾 筒 〇 或 者 t 另 種 形 態 頁 ν_-· 1 | 亦 曰 疋 可 行 的 其 中 兩 個 前 轉 滾 筒 分 別 配 置 在 導 電 基 板 之 1 1 兩 m > 且 兩 個 後 轉 滾 筒 分 別 被 配 置 在 導 電 基 板 之 兩 倒 9 1 | 則頂面及底面旬以 同 時 被 塗 敷 液 體 阻 醱 〇 1 訂 除 了 上 逑 實 施 例 之 外 9 本 發 明 下 文 將 說 明 較 常 用 或 改 1 良 式 之 實 例 〇 1 I 刖 轉 及 後 轉 滾 筒 之 直 徑 須 予 以 小 m 化 最 好 不 超 過 1 1 1 Z 0 0 ηη , 但更常用的是不超過150*b 4 然 而 ) 若 這 滾 筒 1 ί 是 橡 m 滾 筒 時 由 於 在 塗 敷 過 程 時 可 能 彎 曲 之 故 > 其 直 線 | 徑 最 好 為 2 Οαη 或 更 大 C \ 1 當 前 轉 及 後 轉 滾 筒 為 橡 膠 滾 筒 時 9 其 使 用 的 橡 膠 材 料 1 可 為 任 何 不 溶 於 溶 劑 中 之 橡 m s 但 最 好 儘 可 能 地 軟 以 1 便 可 以 容 易 進 入 孔 中 〇 但 曰 疋 > 若 太 軟 的 話 » 就 有 耐 久 性 1 1 問 題 » 故 蕭 氏 硬 度 (shore hardness)須為 5 到 10 0, 最 1 1 好 為 8 到 7 0 t 或 更 常 用 為 1 0到 5 0 β可用之橡腠類型包含 1 I 丁 基 橡 腠 > EPT , 及E P D Η〇 導電基板之移動速度可依導 1 1 -1 2 - 1 1 I i 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X297公董) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4117攸 A7 B7 五、發明説明(") 電基板之生産鼍而變,例如,可為0.5到2〇B/Bin之間β 這些滾筒之表面速度最好高過導電基板移載速度〇到 5 0 0 % ,最好 0 到 200%。 導電基板夾在滾筒之間時,滾筒之間的壓力可以依照 相體層之所要厚度而調整,通常在1到301ig/c*2之間。 本發明將參照較常用之賁施例說明更詳細之細節如下》 管)fe例1 一値具有直徑為300yu a之通孔的Ι.ϋββ厚鍍銷基板(鍍 銅是50#·厚),在前轉及後轉速度為下,實施 塗敷Sonne LSK 110(日本關西塗料公司生産的負型液體 阻體商品名,壓克力樹脂条須紫外線處理),使用的滾 筒塗敷裝置中有前轉滾筒,後轉滾筒及在反對侧之支持 滾筒。随後在第一乾燥器周遭溫度80°C中乾燥10分鐘而 在基板頂倒形成乾燥厚度為15#ηι之阻體層。然後,基 板被翮轉成底面向上,而後前轉及後轉滾筒依頂惻塗敷 之相間方式進行塗敷,然後乾燥,則在基板之底榭上形 成乾燥厚度為15# Β之阻體層。 此胆體層經由一圖形負Η用一超過電壓水銀燈産生且 照度為20d»U/ cm 2紫外線予以照射。之後,阻體之未 曝光部份以碩酸鈉1%之水溶液在3Q°C下噴《秒而除 去,之後m體層以水清洗之。然後使用主成分為氱化_ 之蝕刻液使銅之鍍層蝕刻而除去以形成電路圖形《再者 ,電路上及通孔内剩下的阻體層用氫氣化鈉3%水溶液 將之除去,産生了具有令人谋意之通孔,且在電路及通 -1 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公嫠) I ^ ^ H 訂 n 备 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財走局員工消費合作社印製 41171# A7 B7 五、發明説明(β ) 孔内均免於失聯斷電的印刷電路板。 窖細例2 具有直徑為400# β之通孔的1.2BIB厚鍍銅基板(鍍銅厚 45 # m)上,以與實施例1柑同方式實施塗敷Sonne LD1(日 本關西塗料公司生産之負型液體阻體商品名,壓克力樹 脂条,可見光處理),在基板之頂及底锢上形成乾燥後 厚度為2[J A n之阻體層》 此陏體層經過一圖形負片以照射量3 mj / c B 2之可見 光照射之,並且以雷射光直接壷出圖形方式硬化之β之 後,在3(TC下對阻體層噴以磺酸納1%水溶液做顳像劑 達4 5秒,並且以水清洗阻體層。然後,使銅鍍屜曝露在 主成分為氣化銅之蝕刻液中使銅鍍層蝕刻而除去,以形 成一電路圖形。再者,電路上及通孔内剩下的阻體層偽 用氫氣化納3%水溶液將之除去,産生了具有令人滿意 之通孔,且在電路上及通孔内均免於失聯斷電的印刷電 路板。 啻脓柄I 3 依實施例1所取得的印刷電路板,按照與實施例i相 同方式實施塗敷Sonne Alsolder-PW-1000{日本翻西塗 料公司生産之環氧壓克力条,紫外線處理,水顯像型焊 阻之商品名),而在基扳頂及底側上形成乾燥後厚度為 2 0只B之阻體層。 通過一個功用僅在需要鍍焊之處截斷光線的光罩片以 金屬鹵化物燈照射度為400inj/CB2之紫外線,此阻體 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > Μ規格(210X297公釐) -----J-------------ΐτ------.^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 41ί?46 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明 (G ) 1 1 層 以 同 於 實 施 例 1 之 方 式 顧 像 ,除 了 顯 像劑 在 此 是用 水 1 1 以 外 然 後 在 1 4 〇 °c下加熱4 5分鐘, 會在印刷電路板上 1 1 形 成 焊 m 〇 S, 請 1 先 1 m 此 形 成 之 基 板 通 孔 部 tfr» 兀 全 充滿 了 焊 粗, 細 線 圖形 部 閲 讀 1 線 / 空 間 {1 in e/ SP a c e )- 7 5 Μ m/ 7 5 >U 1D 之電 子 顯 徹鏡 背 1 之 1 { X 4 00 >之剖面圖證明了圖形間隙為充分填滿, 且角落 注 意 1 事 之 層 厚 為 12 μ 1®以上, 足以確保電絶緣及抗化學品。 項 再 1 參 考 例 1 填 寫 本 1 裝 印 刷 電 路 板 以 相 同 於 實 施 例 2之 方 法 而取 得 除了 當 頁 1 I 基 板 塗 敷 So ΠΠ 6 LD i時, 此塗敷以前轉滾筒做成兩次。 1 1 失 聯 斷 電 發 現 在 已 塗 敷 之 印 刷 電路 板 通 孔内 〇 此乃由 1 1 於 體 層 在 通 孔 内 太 薄 * 蝕 刻 時會 使 通 孔内 銅 溶 解。 1 訂 參 考 例 2 1 依 實 施 例 1 所 取 得 之 印 刷 電 路板 依 相 同於 實 施 例1 之 1 | 方 式 塗 敷 So η η e A 1 S 0 Id e v -P W- 100 0 隨 後以 相 同 於實 施 1 | 例 3 之 步 驟 處 理 之 t 形 成 了 上 面有 焊 阻 之印 刷 電 路板 〇 ί 1 通 孔 被 發 現 局 部 (約2 % )没有完全填入阻體, 線/空間 線 | 7 5 Μ «/ 7 5 趙 之 圖 形 間 隙 之 阻體 層 厚 度是 顯 箸 地比 細 1 1 線 部 份 者 少 很 多 〇 角 m 處 之 阻 體層 厚 度 是5 到 7 M W , 1 不 足 以 達 到 嚴 苛 情 形 下 充 分 之 電絶 線 及 抗化 學 品 〇 t 前 所 逑 根 據 本 發 明 1 在具 有 通 孔部 之 導 電基 板 1 上 先 以 前 轉 動 塗 敷 再 繼 之 後 轉 動塗 敷 之 方法 邸 使在 通 1 1 孔 内 以 及 m 電 細 線 圖 形 之 間 亦 可形 成 足 夠厚 度 之 阻體 1 I 層 〇 特 別 地 9 再 次 以 後 轉 塗 敷 可使 液 體 阻體 兀 全 被壓 入 1 1 -1 5- 1 1 1 i 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 4111Τ4Θ A7 B7 五、發明説明(《4 體 不入乾式可之 板製人路 通完可 阻 而塞代乾法需 基由令電 或可高 之 ,有取入方所。此是有刷/間有 意層括來塞之板度以層具印· 及空具 , 滿體包體於明基靠 ,_ 故之 部之al 人阻種阻同發成可上 Η ,電 孔形 *緣 令 之一體不本紐之板 h 護醣 穿圖須絶 了 度與液 ,,了品基 Μ 保聯 貫路所間 成厚。用且難化學在 所失 有電板層 形夠度使而困強化成 Μ 層於 具線基及 而 足長因。的亦抗形1¾體免 及細成胆 故 有程它益窄它及層 阻中 形及組焊 , 成製,利變。緣體Γ之孔 圖部為之 間 形少較的度形絶阻’得通 路内到器 之 内減比上寛情電使而及 電孔得學 隙孔可置本地的之法 解上 電通可化 間通故裝成陸窄層方 溶路 導,而杭 線在,的有成度緣之J1驟電 有上因及 細使液髏故造寬絶明Ep®步-。具板,線 及 即充阻體會地間發 刻孔得到基體絶 以明 《 膜姐體陸層本#w蝕通獲敷之阻電 中發用薄膜 Μ 在及據φίί因之以塗部入之 孔。本使式薄膜用阻根®中意可當孔填度 通層 必乾式薄應焊 而程滿板 過全靠 -----i------.— 裝^------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 X 297公釐) 411746 .A7 B7 五、發明説明(β ) 符號之說明 10 . ——導 電 基板 12 · ——頂 側 塗敷單元 1 4 . ——第 - 乾燥器 1 6 _ · . 翻 轉 器 18 · ——底 m 塗敷單元 2 0 . .…第 二 乾燥器 2 2 . ——輪 送 帶糸統 24 , ——输 送 帶 2 6 _ ——承 載 滾筒 28 , ,36 .前轉滾筒 30, ,38 . .後轉滾筒 3 2, ,34 , 40,42. .支持滾筒 44 , ,46 . .真空單元 --- - - - n .1 0 I— t— _ _ _ I I T n —I I I I _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 本紙張尺度適用中國國家樣準(CNS ) A4規格(2丨0X297公釐)

Claims (1)

  1. D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 1 - 一 種 在 具 有 m 孔 部 之 導 電 基 板 上 形 成 阻 體 層 之 方 法 y 1 i m 眈 一 具 有 貝 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 之 導 電 基 板 上 1 I > 以 刖 轉 塗 敷 滾 筒 塗 上 液 體 阻 體 > 之 後 > 以 後 轉 滾 筒 t—V 請 1 先 1 在 該 基 板 上 面 該 己 先 被 塗 敷 且 未 乾 之 液 體 阻 體 上 再 塗 閱 tt 1 上 液 體 m 髎 > 然 後 使 塗 敷 層 乾 燥 Q 背 1 [ 之 2 * ~" 種 印 刷 電 路 板 之 製 造 方 法 1 包 括 ; ί 1 U 在 具 貫 穿 孔 部 事 有 及 / 或 通 過 孔 部 之 m 電 基 板 上 面 形 項 I 再 1 成 m 體 層 之 步 驟 9 在 以 前 轉 滾 筒 將 液 體 阻 體 塗 敷 到 基 % % 本 1 裝 板 之 後 » 再 以 後 轉 滾 筒 將 液 體 阻 體 在 乾 燥 刖 塗 敷 到 基 頁 1 ] 板 上 面 己 先 塗 敷 之 液 體 阻 體 上 > 然 後 乾 燥 ΛΤΙΐ 該 塗 敷 層; 1 1 一 以 所 要 圖 形 之 活 性 光 線 選 擇 性 地 照 射 該 阻 體 層 之 1 | 步 驟 [ 訂 —- 將 阻 體 層 顯 像 * 若 未 曝 光 部 為 負 阻 時 可 將 之 除 去 1 或 已 曝 光 部 為 正 阻 時 可 將 已 曝 光 部 除 去 9 而 使 導 電 1 I 層 之 局 部 曝 露 出 來 之 步 驟 i Ϊ 以 腐 蝕 將 已 曝 光 導 電 基 板 除 去 之 步 驟 以 及 [ 1 一 在 必 要 時 將 剩 下 之 阻 體 層 除 去 之 步 驟 線 3 ,— 種 印 刷 電 路 板 之 製 造 方 法 包 括 在 具 有 貫 穿 孔 部 及 / 或 通 過 孔 部 之 導 電 基 板 上 形 成 阻 ΒΒ» m 層 之 步 驟 在 以 刖 m 滾 筒 將 液 體 阻 體 塗 到 基 板 上 面 之 後 9 再 以 後 轉 滾 fra 周 將 液 am 展 阻 體 在 乾 燥 前 塗 到 基 板 上 面 該 已 先 塗 敷 之 液 體 阻 體 上 ♦ 然 後 乾 燥 該 塗 敷 層 ; 一 以 所 要 圖 形 之 活 性 光 線 選 擇 性 地 照 射 該 阻 體 層 之 步 驟 1 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 醫6 A8 BS C8 D8 申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 去之 成 步 去 上其及 ί 於然 及或 法電 C 除層 彤 之 除 板何層!ί體, ·,去 方刷射 之電 面 層 之。 路任電®ρ阻上 驟除 造印照 將導 上 體 將驟 電以導stig體體 步之 製之或 可使 ; 板 阻 可步 刷外有is液阻 之將 之得/ 時而 驟 基 該 時之 印之上11將體 層時 板取及 阻, 步 之 射 阻去 之孔板51筒液 體阻。路所理 負去 之 形 照 負除:部種且 h 滾之 阻負驟電項處 為除 去.,圖 地 為部括孔二並 U 轉敷 射為步刷 4 熱 部部 除驟層 性 部光包過該,lr後塗 照部之印或做 光光 板步電 擇 光曝,通了層 h 以被 地光去之 3 線 曝曝 基之導 選 曝 B 法或除電 Μ 再先 性曝除項第光 未已 電去有 光 未將方 \中導# ,已擇未之 4 圍性 若將;導除成 性 若可造及其有該後而驟選若將或範活 ,時驟光層形 活 ,時製部,部,之上步形,時 3 利一 像阻步曝體逑 之 像阻之孔驟内形上板之 _像體第專以 顯正之已阻所 •-形 顯正板穿步孔圖板該層^-顯耝圍請地 層為來將之上驟圓 層為路貫之的路在到敷 4 層正範申步 體部出刻下如步要 體部電有層成電塗敷塗所體為利據 一 m光露蝕剩以之所及阻光刷具體形之體塗該 am 部專根進 將曝曝以將在層以以將曝印一阻法層 m 前燥 Ρ 將光謓中俗 1B 部一 一 一體一;一已種在成方電體燥乾一 一曝申其板 或局 m 驟 或一 形它導液乾後 已如,路 裝^------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家榇準(CNS ) A4规格(210X297公釐)
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