TW301720B - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
TW301720B
TW301720B TW083108862A TW83108862A TW301720B TW 301720 B TW301720 B TW 301720B TW 083108862 A TW083108862 A TW 083108862A TW 83108862 A TW83108862 A TW 83108862A TW 301720 B TW301720 B TW 301720B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
coating
photoinitiator
printed
ministry
cns
Prior art date
Application number
TW083108862A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Morton Int Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Morton Int Inc filed Critical Morton Int Inc
Application granted granted Critical
Publication of TW301720B publication Critical patent/TW301720B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/0048—Photosensitive materials characterised by the solvents or agents facilitating spreading, e.g. tensio-active agents
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/075—Silicon-containing compounds
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • H05K3/0076—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the composition of the mask
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
    • Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
    • Y10S430/106—Binder containing
    • Y10S430/107—Polyamide or polyurethane
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
    • Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
    • Y10S430/106—Binder containing
    • Y10S430/111—Polymer of unsaturated acid or ester

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Paper (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
  • Telephone Function (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Colloid Chemistry (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)

Description

301720 at B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 五、發明説明（i) 本發明爲有關用以形成印刷電路板之光阻材料，特別 是有關水性，液體應用之光阻材料。 發明背景： 有用於作爲形成印刷電路，印刷板，銲料罩等等之光 阻材料之光可成像之組成物，目前已使用了一段時間。最 早的光阻材料爲溶劑性（solvent-borne)及溶劑可顯像 性的。水可顯像性光阻材料之發展代表一種降低在立即工 作區及一般環境之溶劑發散的進步。繼績加強降低由工作 區及一般環境而來的有機溶劑，驅使對水性光阻材料（以 水相液體製備及應用）之研究。 美國專利No. 5 *045，435 (其揭示之內容 在此合併作爲參考）指出一種在鹼性水溶液中可顯像之水 性光阻組成物。該組成物包括一種多官能度的單體，一種 光起始劑及一種不溶於水之羧酸化丙烯酸系共聚物之膠乳 。爲了安定上述組成物及爲了調整黏度，該專利指出以鹼 (例如氨，其他胺類或氫氧化鈉）中和上述膠乳聚合物至 至少2 5 %。 如果液體與基質之吸引力比液體內的內聚力爲高時， 液體（例如水性光阻材料之液體）將只會潤濕及覆蓋於表 面上。因此液體之表面能必須等於或低於基質之表面能， 所以爲了塗覆具有3 5 dynes / cm之表面能的銅基質， 則水的表面能7 2 dynes / c m能必須降低，此可藉助適 當的界面活性劑而完成。界面活性劑爲一種兼具有親水性 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） —* 4 * 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 _B7五、發明説明（2 ) 及疏水性之物質。界面活性劑可以分成三種主要的化學類 別：烴類，矽酮類及氟化合物，這些代表分子的疏水性部 份。疏水物則連接於親水基（可以是性質上爲陰離子性， 陽離子性或非離子性）。 申請者已發現沒有烴類界面活性劑，也沒有矽界面活 性劑爲特別適用於水性光可成像組成物中之界面活性劑。 即使發現所有的界面活性劑具相當低的表面能，但發現烴 類及矽酮界面活性劑面臨了銅基質脫濕的問題。 脫濕會產生孔隙，造成不合適之塗層。更進一步而言 ，如果光可成像組成物係用作電鍍阻劑，則由以矽酮爲主 之界面活性劑而來的矽酮可滲入鍍液中造成潛在的浴液失 效。就上述主要的界面活性劑種類中，以烴類爲主之界面 活性劑被發現在降低液體表面張力方面是最無效的，並且 不會產生缺陷塗層。更進一步而言，以烴類爲主之界面活 性劑促成塗層之總揮發性有機成份（VOCs)，此與製 造水性塗層的目的相反。 以上所參考之美國專利No. 5，045，435舉 出一些實例，其中以氟碳化物爲主之界面活性劑係用於水 性光可成像之組成物中（例如以商品名FLUORAD F C — 43 1及FC — 120出售者）。申請者已發現其中並無 任一者表現優異。FC— 120 (陰離子型的）能充份濕 潤，但提髙起泡現象。FC — 431爲非離子型的，但發 現更不適合，因爲若忽視濃度程度，其並無法去除所有的 塗層瑕疵。 .^-- (請先閱it-背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度逋用中國國家標窣（CNS > A4说格（210X297公釐） -5 - 經濟部中央棣隼局貝工消費合作社印製 B7五、發明説明（3 ) 本發明之目的乃爲提供一種用於水性光可成像組成物 之界面活性劑，具有效地降低在基質（例如銅基質）上用 於塗層之表面張力，不僅不會去除濕潤，且不會導致發泡 〇 發明總論 根據本發明，水性之光可成像組成物包括一種水相組 成物，該組成物含有A)介於約3 0及約8 Ow t %之具 有酸性官能度（例如羧酸官能度或磺酸官能度）之膠乳黏 合劑聚合物，可提供介於約5 0至約2 5 0之酸值，B ) 介於約1 5及約50wt%的a，yS —乙烯系不飽和單體 ，C)介於約〇. 1及約25wt%之光起始劑或產生自 由基之光起始劑化學系統，D)介於約1及約40wt% 之足量安定上述光可成像組成物之中和鹼及/或聚醚聚胺 基甲酸酯合併增稠劑，以作爲水相乳化劑及E )介於約 0. 3及約10wt%之界面活性劑氟脂肪族氧乙烯加合 物（以上之重童百分率乃是以成份A-E之總重爲基準） (請先軋讀背面之注意事項再填寫本1) -装· 訂 較佳體系之詳述 可用於本發明光可成像組成物之膠乳黏合劑聚合物一 般是藉由α，/9 -不飽和單體（例如乙烯基，丙烯酸酯或 苯乙烯單體）之乳化聚合而製備。使用足夠的酸官能度單 體以提供介於約5 0至約2 5 0之酸值（較好至少約 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -6 - A7 B7 301720 五、發明説明（4 ) 100)。典型的乳化聚合方法及適當乳化液之實例則示 於美國專利No. 3，929 ，743，其揭示內容則在 此合併作爲參考。適當的乳化液可以由市售而得，例如l^-eocry1* C L - 3 40 ( 4 0% 固形物 ，由 ICI Resins U. S.取得）及 AcrysolR I - 2074 (46% 固形物，取 自 Rohm及Haas)。 用於形成具酸官能之黏著劑聚合物之適合的酸官能單 體具備以下化學式： R1 *
I
CHz=C-COOH R1 f
CH,=C-COO-R2-OOC-R3-COOH R1
CH2=C-COO-R -O-P-OH OH ---------^-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ο ((
R O // -泉 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 CH2=C-CONH-R -O-P-OH OH r' Of 2 n ch2=c~coo-r -o-s-oh uo R, o ch2=c-conh-r2-o-s-oho
R
CHz=C-CONH-R4 -COOH 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7 A7 B7 經濟部中央樣芈局員工消費合作社印製
五、發明説明（5 ) 其中R1表示氫原子或甲基，R2表示（CH2) n，其中 n爲1至6之整數，R3表示具有碳數1至6之伸烷基或 伸苯基，並且R4爲相同或相異，且選自CH2及 c Η 〇 Η。 適當的酸官能單體之一些特例爲丙烯酸，甲基丙烯酸 ’順丁烯二酸，富馬酸，檸康酸，2 —丙烯醯胺基一2 — 甲基丙磺酸，2 -羥乙基丙烯醯基磷酸塩，2 -羥丙基丙 烯醯基磷酸塩，2 -羥基一 α -丙烯醯基磷酸塩等等。一 或多種這類酸官能單體可用來形成上述的黏著劑聚合物。 此種酸官能單體可與非酸性官能單體共聚合以提供所要的 酸值，這些非酸性官能單體包括丙烯酸之酯類，例如丙烯 酸甲酯，甲基丙烯酸甲酯，丙烯酸羥乙酯，甲基丙烯酸丁 酯，丙烯酸辛酯，甲基丙烯酸2 -乙氧乙酯，丙烯酸第三 丁酯，二丙烯酸1 ，5 —戊二醇酯，丙烯酸Ν，Ν —二乙 胺基乙酯，二丙烯酸乙二醇酯，二丙烯酸1 ，3 —丙二醇 酯，二丙烯酸癸二醇酯，二甲基丙烯酸癸二醇酯，二丙烯 酸1 ，4 一環己二醇酯，2 ，2 —二羥甲基丙烷二丙烯酸 酯，二丙烯酸甘油酯，二丙烯酸二縮三丙二醇酯，三丙烯 酸甘油酯，2 ，2 -二（對羥苯基）—丙烷二甲基丙烯酸 酯，二丙烯酸二縮三乙二醇酯，聚氧乙基一 2 — 2 -二（ 對羥苯基）-丙烷二甲基丙烯酸酯，二甲基丙烯酸二縮三 乙二醇酯，聚氧丙基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯，二甲基丙 烯酸乙二醇酯，二甲基丙烯酸丁二醇酯，二甲基丙烯酸1 ，3 -丙二醇酯，三甲基丙烯酸1 ，2，4 一丁三醇酯， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公H ---------1^.----„---1T------养 (請先随讀背面.V/注意事項再填寫本頁) "8 - B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（6 ) 二甲基丙烯酸2 ，2 ，4 —三甲基_1 ，3~戊二醇酯， 三甲基丙烯酸異戊四醇酯，1 ，2_二甲基丙烯酸1 一戊 基乙酯，四甲基丙烯酸異戊四醇酯，三羥甲基丙烷之三甲 基丙烯酸酯，二甲基丙烯酸1 ，5 —戊二醇酯，以及二甲 基丙烯酸1 ，4-苯二醇酯）；苯乙烯及已取代之苯乙嫌 (例如2 —甲基苯乙烯及乙烯基甲苯）以及乙烯基酯類（ 例如丙烯酸乙烯酯及甲基丙烯酸乙烯酯）^ 因此上述光可成像組成物係可接觸成像（意即乾燥至 不含黏性態），膠乳黏著劑聚合物之玻璃轉變溫度（Tg )宜至少約60 °C (以差示掃瞄熱量計DSC，20。/ mi η測量）。聚合物具有介於約5 00至約 2 0 0，〇 〇 〇之重置平均分子量（Mw)(以凝膠滲透 層析（GPS)測量，使用聚苯乙烯爲標準物）。 爲了產生影像，此種負型作用之光可成像組成物含有 可光聚合之單體，尤其是α，yS -乙烯系不飽和單體，包 括大部份的多官能度單體。 有效的單體包括以上所列用來形成黏著劑聚合物之單 體。特別適合的單體包括多官能度之丙烯酸系單體，例如 二丙烯酸三縮四乙二醇酯（TEGDA)，三羥甲基丙院 三丙烯酸酯（TMPTA)，二甲基丙烯酸丁二醇醋（ BDDMA)及三丙烯酸戊異四醇酯（PETA)。單體 部份可包括水溶性及不具水溶性之單體：然而單體部份應 含有足夠髙比例的不具水溶性單體（在2 0°C水中具有溶 解度小於約0. 3g/100mJ?)，例如約2〇莫耳％ $-- i (請先盹讀背面t注意事項再填寫本頁) 訂 泉 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS > A4規格（2丨0X297公釐） -9 - 經济部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 以上’以致於單體部份整體而言是不溶於水的。 爲了引發曝露於光化輻射之單體的聚合，該光可成像 組成物含有一種適當的光起始劑或光起始劑化學系統。適 當的光起始劑包括苯偶姻醚，聯苯醯縮酮，苯乙酮類，二 苯甲酮類及與胺類相關之化合物。較佳的起始劑爲硫吡噸 酮類（thioxanthones)，例如2 -異丙基咄噸酮，特別是 連接胺類者》 根據本發明，本發明之水性光可成像組成物包括一種 氟脂肪族之氧乙烯加合物之界面活性劑》此種界面活性劑 具有下列通式： C F a- ( C F 2 ) η" Υ - -X m — Ζ ； 其 中η = 0至 2 0 » Y = S 0 2 — Ν (C 1 — C 1 Ο 烷 基） » X = C Η 2 - C Η 2 一 -0 或 C Η ( C H 3) - C Η 2 ~ -0 ，m = 0 至 2 0 » 及 Ζ =C Η 2 - C Η 2- 0 Η 或c Η (c Η a ) - C Η 2 0 Η 0 乳化液（包括黏著劑聚合物）之安定化則是需要的。 乳化液的安定化可藉由以鹸部份中和而達成（在上述參考 的美國專利No. 5 ，045 ，435中指出）。如美國 專利申請書No. 08/1 99，037 (本申請案爲部 份繼績申請案）所指出，乳化液的安定化及黏度調整可藉 由使用聚醚聚胺基甲酸酯合併增稠劑而達成，聚醚聚胺基 甲酸酯增稠劑爲具有至少二個疏水片段（疏水性異氰酸酯 ’通常是具有2個或2個以上異氰酸酯官能性之異簏酸酯 的殘基）及至少一個親水性聚醚類片段（藉由胺基甲酸酯 〔尺度適用中國國家樣隼（CNS > A4規格（210X297公釐）ln 一 1U 一 ---------批衣------，1T------& ''ί (請先«·讀背面之注意事項再填寫本頁) 301720 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 五、發明説明（8 ) 鏈結與疏水片段連接）。作爲合併之增稠劑之嵌段聚合物 可以有許多形式，包括ABA，( A B ) η ，星形聚合物 等等》聚醚片段艿是由聚氧化烯片段形成，（如由環氧丙 烷及環氧乙烷之單體所形成）。爲了達到充足親水性，通 常至少約3莫耳％的聚氧化烯片段爲氧化乙烯是必須的。 異氰酸酯殘基之疏水性部份一般爲烷基，環烷基或芳香族 部份。聚醚聚胺基甲酸酯合併之增稠劑及功能則描述於， 例如由 A.J.M. Knoef 及 H. Slingerland所著 ' Urethane-Based Polymeric Thickeners for Aqueous Coating Sy-stems，JOCCA. 1992 ，九月，pp335 — 338 ;J .H. Bieleman 等人於 'Polymers Paint Colour Journal 〃 1986，v. 176 (4169) pp. 4 5 0 - 4 6 0 ;及A·】· Whitton 和 RE. Van Doren ， "^Ροΐγπιβ-rs Paint Colour Journal ' 1991 * v . 181( 4286) pp. 374—377。特別適合之聚醚聚胺 基甲酸酯合併之增稠劑及其合成方式則述於Emmons等人之 美國專利No. 4，079，028中，其所揭內容在此 合併作爲參考。適當的聚醚聚胺基甲酸酯合併之增稠劑也 描述於Hoy等人之美國專利No. 4，426 ，485及 Ruffner等人之美國專利No. 4，74 3，6 9 8，其 所揭內容在此合併作爲參考•適當的市售之合併增稠劑之 實例爲 DSX1 5 1 4 ( Henkel )及 Q R 7 0 8 ( Rohm 及 Haas ) ° 藉著使用聚醚聚胺基甲酸酯合併之增稠劑，則需中和 (請先陴讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} _ 11 _ 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 A7 ____B7_五、發明説明（9 ) 黏著劑聚合物膠乳之程度較小。在某些情況下則完全不需 中和。在其他情況中，則最好能中和黏著劑至上述黏合劑 聚合物之酸官能奮量的約2 0%。一般而言，將加入鹸以 中和至少約2%的黏合劑聚合物酸官能部份。中和作用可 以以氨；一級，二級或三級胺；或氫氧化物而完成。較佳 的中和鹼爲具羥基官能的三級胺》添加合併之增稠劑取代 至少部份中和劑造成更平滑一致的塗層。此種改良的塗層 品質使得由塗層中之細斑或針孔所造成的潛在電路板瑕疵 降到最小。此外當使用滾筒塗裝方式塗覆時，具有合併增 稠劑之光可成像組成物在較小的滾筒緊壓程度下，產生更 平滑的塗層。滾筒緊壓程度低則橡膠滾筒的壽命較長。 減少中和劑改善了經塗覆並乾燥後之光可成像組成物 層之抗化學性。當氨或胺類之使用量降低時，氣味隨之降 低。合併之增稠劑降低該水性光可成像組成物的黏度變動 % 。即使在高剪力下，黏度也能維持穩定。 除了上述之成份A — E外，可使用少置（以A -E之 重量計，總置通常小於約1 0w t %)的傳統添加物，包 括抗發泡劑，抗氧化劑，染料，增黏劑，滑動助劑及其他 的表面張力修飾劑。 在一個製備本發明之水性光可成像組成物之較佳方法 中，與疏水相最相容的成份（例如起始劑，抗氧化劑及染 料）係與單體部份混合以產生單體主劑，而與水相最相容 的成份（例如抗發泡劑•中和界面活性劑及合併增稠劑） 則與膠乳聚合物混合以形成聚合物混合物。將疏水相及聚 ---------1^.------ΐτ (請先时讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 12 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 _B7_五、發明説明（10 ) 合物混合物混合，以形成疏水相在水中的乳化液。隨即添 加高沸點溶劑，界面活性劑（包括滑動助劑，表面張力修 飾劑及增黏劑）； 最終之水性組成物通常有介於約2 0至約4 Ow t % 的固形物。在上述水性組成物中，黏合劑含有介於約1 Ο 及約3 Owt%之間，單體由約3至2 Owt%，起始劑 由約0. 3至約10wt%%，中和鹸及/或增稠劑由約 1. 5至約20%，並且氟脂肪族之氧乙烯加成物界面活 性劑則介於約0 . 0 6至約2 %之間。 上述組成物可以以在本技藝中用以塗佈溶劑性光可成 像組成物中之已知塗裝系統中任一者而塗覆，例如滾筒塗 覆，浸塗，噴霧塗覆或簾佈塗覆。 本發明之組成物則以傳統方式以液體組成物的狀態直 接施於金颶覆面空白積層材或聚合體支持片上以便形成乾 燥膜。經過塗覆後，將上述組成物乾燥以去除水，同時也 去除揮發性物質（例如氨或胺類，水等），以致使上述溶 液聚合物在酸性或中性水相介質中爲不可溶性。當光可成 像組成物乾燥時，該系統會凝集成連續膜。乾燥較好在些‘ 微高溫下完成，以便迅速去除水，以及趕走氨或揮發性胺 類，乾燥宜在溫度約9 0°C下完成。 在形成乾燥膜過程中，把水性組成物施於可撓性支持 薄片（例如聚對苯二甲酸乙二酯）上，隨後乾燥去除水及 揮發性物質。隨將後一種保護薄片（例如聚乙烯）施於上 述光可成像組成物層上，同時將乾燥膜輥成捲。在乾燥上 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） 13 - 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（11) 述光可成像之組成物屠過程中，發現在某些情況下最好留 有介於約1及約2w t %之殘餘水含置（相對於上述光可 成像組成物層之固形物量）。此種殘餘水份使得上述光可 成像之組成物層在層稹到基材（如銅覆面板）上時會順應 該基材之表面缺陰。 以傳統方法加工》在一般的方法中，把光可成像組成 物層（由液體組成物所形成，或由乾燥膜轉移成層）施於 銅覆面板之銅表面上。此種光可成像之組成物層則透過適 當的原圖曝露於光化輻射下。曝於光化輻射使得在曝光區 之單體聚合，產生了抗顯影劑之交聯結構。其次，令上述 組成物在稀薄的鹼性水溶液（例如1 %的碳酸鈉溶液）中 顯影》上述之鹼性溶液與黏著劑聚合物之羧酸基團造成塩 的形成，使其具可溶性且可去除。經顯影後，可使用蝕刻 劑由上述光阻材料去除的地方除去銅，以便形成印刷電路 。所剩的光阻材料則隨後以適當的脫除劑去除。 根據本發明，不僅可提供水性初步成像光阻材料，同 時也可提供形成銲料罩的組成物。銲料罩在此表示一種堅 硬的耐久層，其至少滿足Institute for Interconnecting Circuits 之 Summary of Criteria for Qua 1i f i cat i-on/Conformance 表 1 2 之 I P C — SM — 8 4 0 B 所定 義耐磨性之最低要求。爲了變得堅硬及耐久，上述之光可 成像組成物在經曝光，顯影及該板的加工後必須可以（藉 加熱及/或UV硬化的方式）硬化。提供後硬化之方式之 一爲提供在主鏈上具自由-〇 Η基而可與胺基塑料樹脂（ ^張尺度適用中國國家標隼（€呢）八4規格（210'乂 297公釐） -14 - ---------^------1Τ------^ ^ -(請先閲讀背面.5·注意事項再填寫本頁) 301720 A7 B7 五、發明説明（12) 例如三聚氰胺/甲醛樹脂及尿素/甲醛樹脂）交聯化而硬 化的粘著劑聚合物》或者，上述之光可成像組成物中可含 有一種可相容的瓌氧樹脂及一種用於該環氧樹脂之硬化劑 。研究發現根據本發明之水性光可成像組成物經塗佈於銅 基質後，顯示出很好的保存壽命，並且可以保持在銅覆面 板上數天以上》 本發明現在將藉由以下特例更詳細闡述。 實施例1 一 4 水性光可成像之組成物根據表1製備。數量以克爲單 位。2_ 3g的中和劑代表約15%的中和作用；4. 5 g的中和劑代表約3 0 %的中和作用。特性數據則根據表 2所示。表1中的'單體主劑^見於表3 :所有物質混合 在一起 > 過濾並加入該水相部份中。 {請先閑讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公嫠） 15 B7 五 '發明説明（13) 配方 名稱 Neocry 1 CL-340 (40% 固形物) DMAMP-80(Angus) AMP-95(Angus) DSX-1514(Henkel) 去離子水 BYK-033(BYK/Cheraie) 單體主劑成份 Q4-3667(Dow Corning) Fluorad FC170-C(3M) Texanol (Eastman) 成份 類型 11 聚合物 100.0 三級胺中和劑 0. 0 一級胺中和劑 0.0 合併增稠劑 4.5 主要溶劑 100.0 抗發泡劑 1.0 見表#3 20.5 滑動助劑 0.45 表面張力修飾劑 1.0 凝集溶劑 4.5 12 #2 Μ 100.0 100.0 100.0 0.0 2.3 0.0 0.0 0.0 2.3 9.0 2.3 2.3 100.0 100.0 100.0 1.0 1.0 1.0 20.5 20.5 20.5 0.45 0.45 0.45 1.0 1.0 1.0 4.5 4.5 4.5
Neocry 1 CL-340爲具有酸值約160之苯乙烯/丙烯酸系聚合物 Q4-3667(Dow)爲聚醚修飾後之二甲基砍氧烷及環二甲基砂氧烷80:20之混合物 (請先閱'讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS )八4規格（210XW7公釐） 16 A 7 B7 五、發明説明（14 ) 表#2 配方 ‘ 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 名稱 釭 Μ Μ Μ DMAMP-80 0.0 0.0 2.3 0.0 AMP-95(Angus) 0.0 0.0 0.0 2.3 DSX-1514(Henkel) 4.5 9.0 2.3 2.3 特性結果 黏度(最初） 3500 cps 5000 cps 2900 cps 3200 cps 黏度(1週保留） 3500 cps 5000 cps 2700 cps 2700 cps 氣味 4vre. 撕 Arr m 微魚腥味 微氨臭味 乳化安定性 好 甚好 普通至好 好 基質著色 不著色 不著色 微著色 微著色 抗鹼性 好 好 普通至好 普通至好 塗層瑕疵 0孔隙/ft2 0孔隙/ft2 2孔隙/ft2 2孔隙/ft2 塗層一致性 微羅紋 無羅紋 中等羅紋 微羅紋 顯影時間 29 sec 29 sec 27 sec 28 sec PhotospeedCat 100 mj/cm2) 銅8 銅8 銅7 銅7 電路圖案瑕疵 l/ft2 0/ft2 3/ft2 4/ft2 DMAMP=2-二甲胺基-2-甲基-1 -丙醇;AMP=2-胺基-2-甲基-1 -丙醇 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先a讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（15 ) 表#3 單體主劑 成份 每一配2 成份 類型_ 重（σ) 乙氧基化TMPTA(3莫耳 乙氧基化） 多官能度丙 烯酸酯 17. 6 Modaf low 流動添加物 0.05 抗氧化劑2 2 4 6 抗氧化劑 0.03 Quantacure ITX(硫 Hlj 噸酮） 光敏化劑 0.59 Quantacure EPD(3。胺） 光起始劑 1.49 Baso Blue 688 背景染料 0.09 三苯基膦 抗氧化劑 0.5 苯並三唑 增粘劑 0.25 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣率局貝工消費合作社印裝
TMPTA =三羥甲基丙烷三丙烯酸酯 加工條件 塗裝- Burkle (單邊）滾筒塗覆機，每吋2 2紋 基質-銅覆面材 曝光—HMW ORC，model 301 B，偶氮原圖 顯影—1%碳酸鈉單水合物，85°F, 触刻—3當量氯化銅’ 1 4 0 °F ’ 1 . 3 X最低蝕刻 脫除一 3%氫氧化鈉，130 °F 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 A 7 ______B7五、發明説明（16) 特件解釋 黏度—最初及經f週後，在7 0°F下，以Brookfield黏度 儀測量 氣味-觀察塗覆後及乾燥前之氣味 乳化安定性-安定性係根據漆混合物整體均勻性加以分級 抗鹼性—抗鹸性在以鹸蝕刻後，在PH9. 2測量 塗層瑕疵-滾筒塗覆後算出塗層孔隙（細斑）品數目 塗層均匀性-均勻性在塗覆後立刻觀察 顯影時間-去除未曝光之阻劑所需時間的二倍 Photospeed —使用Stouffer 21階，以測童最後階（每一 階變量爲ΓΥ-)， (注意：較高階表示較高的聚合度） 電路圖案瑕疵-測量電路短路及電路開路的總數 (注意：原圖案含有4密爾線條及4密爾空間） 實施例5 根據本發明之許多界面活性劑（包括F C 1 7 0 C ) 及其他非根據本發明之界面活性劑，則用於根據上述實施 例1之配方中。發泡及塗層瑕疵數據則示於下表。 --------—^------、玎------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度通用中國國家橾隼（CNS ) A4规格（210X297公釐） 301790 五、發明説明（17 ) A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (對發泡之淨影響） 泡沬高度* 塗層瑕疵 /—N t—* Ο 1 >100 孔隙/ft2 不加界面 活性劑 1 (-3mm) —J i 50孔隙/ft2 +烴類界 面活性劑 (-3mm) -a Ξ S 1 ! 25孔隙/ft2 +矽氧烷 界面活性劑 (+25mm) 35 mm 5孔隙/ft2 +FC120 陰離子型含氟化 合物 10 mm 10孔隙/ft2 +FC431 非離子型含氟化 合物 1_ Ο 10 mm C=5 +FC170C 非離子型含氟化 合物 1- ^ _ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 泉 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20 - A7 B7 五、發明説明（18 ) 實施例6 塗覆實施例1之配方但改變F C 1 7 0 C之童：發泡 及塗層瑕疵數據余於下表· (請先閱'讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 9〇rm at B7 五、發明説明（19 ) 菡笫瑯砘湮掛藤sorpmTai甚一5Φ酿寐Sli ”Π}1Φ«$Ξ100% 画费豸 _+ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝
(對發泡之淨影響） 泡沫高度 ί 塗層瑕疵 10 nun >100 孔隙/ft2 不加界面 活性劑 _ 10 mm 1 3孔隙/ft2 +0. 4%** FC-170C /"Ν 1 10 mm 1孔隙/ft2 +0.8% FC-170C 10 mm 0孔隙 +1.5¾ FC-170C /—Ν 10 mm 0孔隙 +3.0¾ FC-170C 10 mm 1孔隙/ft2 +6. 0¾ FC-170C 請 先 讀 背 面 之· 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 裝 訂 泉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐） -22 -

Claims (1)

  1. 經濟部中央橾準局真工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 _ 六、申請專利範圍 1 . 一種水性之光可成像之組成物，含有 A)介於30及8〇wt%之間之由α，彡一乙烯系 單體所形成且具有提供介於5 0至2 5 0之酸值的羧酸官 能度之膠乳黏著劑聚合物； Β)介於1 5及5 0wt%之間之α ，/9 —乙烯系不 飽和單體，係多官能丙烯酸系單體； C)介於0.1及25wt%之間會產生自由基之光 起始劑或光起始劑化學系統； D )介於1及4 〇w t %之間的中和鹸及/或足量可 安定該膠乳黏合劑聚合物的乳化液之聚醚聚胺基甲酸酯合 併增稠劑，以及 E)—種介於0. 5至3. Owt%之非離子性界面 活性劑，其爲一種氟脂肪族之氧乙烯加合物，具有化學式 :C F a- (CF2) n-Y-Xm-Z ;其中 n=l 至 20 ，Y=S〇2— N (Ci-C10 烷基），X=CH2 - ch2 一0 或 CH (CH3) - CH2-0，m=l 至 20 ，且 Z = CH2-CH2-0H 或 CH ( C H a ) - C H 2 - 0 H， 所指之重量百分率以成份A - E之總重爲基準》 2. 如申請專利範圍第1項之光可成像組成物，係分 散於水相介質。 3. —種乾膜，含有聚合物支撐薄片及覃於薄片上方 之一層如申請專利範圍第1項所述之光可成像組成物。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）-23 - -------------^------、訂-----'0 {請先¾讀背面之注意事項再填寫本頁)
TW083108862A 1994-01-25 1994-09-24 TW301720B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18687594A 1994-01-25 1994-01-25
US08/199,037 US5364737A (en) 1994-01-25 1994-02-18 Waterbone photoresists having associate thickeners
US08/223,615 US5389495A (en) 1994-01-25 1994-04-06 Waterborne photoresists having non-ionic fluorocarbon surfactants

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW301720B true TW301720B (zh) 1997-04-01

Family

ID=26882508

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW083107966A TW269018B (zh) 1994-01-25 1994-08-30
TW083108862A TW301720B (zh) 1994-01-25 1994-09-24
TW083108859A TW263569B (zh) 1994-01-25 1994-09-24
TW083108860A TW300289B (zh) 1994-01-25 1994-09-24

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW083107966A TW269018B (zh) 1994-01-25 1994-08-30

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW083108859A TW263569B (zh) 1994-01-25 1994-09-24
TW083108860A TW300289B (zh) 1994-01-25 1994-09-24

Country Status (15)

Country Link
US (5) US5364737A (zh)
EP (1) EP0664490B1 (zh)
JP (1) JP2705907B2 (zh)
KR (5) KR0142022B1 (zh)
CN (1) CN1078357C (zh)
AT (1) ATE164013T1 (zh)
AU (1) AU660392B1 (zh)
BR (1) BR9404738A (zh)
CA (1) CA2131044C (zh)
DE (1) DE69408970T2 (zh)
ES (1) ES2115165T3 (zh)
HK (1) HK1005070A1 (zh)
IL (1) IL112006A (zh)
SG (1) SG43077A1 (zh)
TW (4) TW269018B (zh)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5741621A (en) * 1994-01-10 1998-04-21 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for using photoimageable films prepared for aqueous photoimageable liquid emulsions
TW353158B (en) * 1994-03-09 1999-02-21 Nat Starch Chem Invest Aqueous photoresist composition, method for preparing the same and circuit board comprising thereof
JPH08328251A (ja) * 1995-03-31 1996-12-13 W R Grace & Co 水性感光性樹脂組成物
JPH08328252A (ja) * 1995-03-31 1996-12-13 W R Grace & Co 水性感光性樹脂組成物
US5565302A (en) * 1995-04-21 1996-10-15 W. R. Grace & Co.-Conn. Process for preparing photosensitive resin composition
US5512607A (en) * 1995-06-06 1996-04-30 W. R. Grace & Co.-Conn. Unsaturated epoxy ester with quaternary ammonium and phosphate groups
WO1996041240A1 (en) * 1995-06-07 1996-12-19 W.R. Grace & Co.-Conn. Water photoresist emulsions and methods of preparation thereof
AU709577B2 (en) * 1995-06-07 1999-09-02 E.I. Du Pont De Nemours And Company Process for using photoimageable films prepared from aqueous photoimageable liquid emulsions
US5925499A (en) * 1995-08-01 1999-07-20 Morton International, Inc. Epoxy-containing waterborne photoimageable composition
US5846699A (en) * 1996-09-11 1998-12-08 Eastman Kodak Company Coating composition including polyurethane for imaging elements
US6063550A (en) * 1998-04-29 2000-05-16 Morton International, Inc. Aqueous developing solutions for reduced developer residue
US5922522A (en) * 1998-04-29 1999-07-13 Morton International, Inc. Aqueous developing solutions for reduced developer residue
US6248506B1 (en) 1998-12-04 2001-06-19 Nichigo-Morton Aqueous developing solutions for reduced developer residue
JP2000267270A (ja) * 1999-03-19 2000-09-29 Clariant (Japan) Kk ロールコート用感光性樹脂組成物およびロールコート方法
NL1013300C2 (nl) * 1999-10-15 2001-04-18 Stahl Int Bv Werkwijze voor de bereiding van een dispersie van een anionische polymeer in water waarin geen vluchtige tertiaire-amines voorkomen, de verkregen dispersies en coatings welke met de genoemde dispersies verkregen worden.
TW461988B (en) 1999-12-17 2001-11-01 Ind Tech Res Inst Water soluble polymer and photoresist composition containing the same
US6436540B1 (en) * 2000-02-18 2002-08-20 Omnova Solutions Inc. Co-mingled polyurethane-polyvinyl ester polymer compositions and laminates
US6306557B1 (en) * 2000-04-20 2001-10-23 Industrial Technology Research Foundation Process for preparing water dispersible negative-type photosensitive compositions
US6797146B2 (en) 2000-11-02 2004-09-28 Shipley Company, L.L.C. Seed layer repair
US7063895B2 (en) * 2001-08-01 2006-06-20 National Starch And Chemical Investment Holding Corporation Hydrophobically modified solution polymers and their use in surface protecting formulations
AU2003210425A1 (en) * 2002-03-06 2003-09-16 Akzo Nobel Coatings International B.V. Water borne coating composition for film transfer and casting process
US20040058276A1 (en) * 2002-09-23 2004-03-25 Dueber Thomas E. Halo resistent, photoimagable coverlay compositions, having, advantageous application and removal properties, and methods relating thereto
US7226959B2 (en) * 2003-11-06 2007-06-05 Sun Chemical Corporation Water soluble energy curable stereo-crosslinkable ionomer compositions
JP5955526B2 (ja) * 2011-10-08 2016-07-20 株式会社日本触媒 塗料用水性樹脂組成物
US8703385B2 (en) * 2012-02-10 2014-04-22 3M Innovative Properties Company Photoresist composition
CN103700432A (zh) * 2013-12-20 2014-04-02 南昌大学 一种含流平剂涂层的漆包线
KR102536039B1 (ko) * 2016-12-22 2023-05-23 일루미나, 인코포레이티드 임프린팅 장치

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3929743A (en) * 1972-10-10 1975-12-30 Johnson & Son Inc S C Polyampholytes
US3912516A (en) * 1973-07-27 1975-10-14 Upjohn Co Photopolyer composition containing a polyurethane binding agent
DE2443785A1 (de) * 1974-09-13 1976-04-01 Basf Ag Fluessige, photovernetzbare formmasse zur herstellung von reliefdruckplatten
US4079028A (en) * 1975-10-03 1978-03-14 Rohm And Haas Company Polyurethane thickeners in latex compositions
US4248958A (en) * 1979-05-23 1981-02-03 Hoechst Aktiengesellschaft Photopolymerizable mixture containing polyurethanes
US4426485A (en) * 1982-06-14 1984-01-17 Union Carbide Corporation Polymers with hydrophobe bunches
US4952481A (en) * 1985-02-12 1990-08-28 Napp Systems (Usa), Inc. Photosensitive resin composition
US4767826A (en) * 1985-07-18 1988-08-30 Polytechnic Institute Of New York Radiation-sensitive polymers
US4743698A (en) * 1985-10-01 1988-05-10 Alco Chemical Corp. Acrylic emulsion copolymers for thickening aqueous systems and copolymerizable surfactant monomers for use therein
US4762747A (en) * 1986-07-29 1988-08-09 Industrial Technology Research Institute Single component aqueous acrylic adhesive compositions for flexible printed circuits and laminates made therefrom
JPH0246460A (ja) * 1988-08-08 1990-02-15 Toyobo Co Ltd 感光性樹脂組成物
US4904772A (en) * 1988-10-03 1990-02-27 Aqualon Company Mixed hydrophobe polymers
US5045435A (en) * 1988-11-25 1991-09-03 Armstrong World Industries, Inc. Water-borne, alkali-developable, photoresist coating compositions and their preparation
US5268256A (en) * 1990-08-02 1993-12-07 Ppg Industries, Inc. Photoimageable electrodepositable photoresist composition for producing non-tacky films
JP3040202B2 (ja) * 1991-07-12 2000-05-15 ダブリュー・アール・グレース・アンド・カンパニー−コーン 水系感光性樹脂組成物及びそれを用いたプリント回路板の製造方法
CA2084369A1 (en) * 1991-12-11 1993-06-12 Brent T. Speelman Water-borne photoimageable compositions
JP3240769B2 (ja) * 1992-10-02 2001-12-25 ジェイエスアール株式会社 感光性樹脂組成物
JPH06258832A (ja) * 1992-11-17 1994-09-16 W R Grace & Co 感光性樹脂組成物
JPH06230573A (ja) * 1993-01-29 1994-08-19 Japan Synthetic Rubber Co Ltd レジスト組成物
EP0666504B1 (en) * 1994-01-10 1998-06-03 E.I. Du Pont De Nemours And Company Aqueous photoimageable liquid emulsion, photoimageable film and process of manufacture

Also Published As

Publication number Publication date
KR950024021A (ko) 1995-08-21
JP2705907B2 (ja) 1998-01-28
IL112006A (en) 1999-11-30
IL112006A0 (en) 1995-03-15
KR0149903B1 (ko) 1999-03-30
US5364737A (en) 1994-11-15
DE69408970D1 (de) 1998-04-16
TW263569B (zh) 1995-11-21
US5393643A (en) 1995-02-28
KR0142022B1 (ko) 1998-06-15
BR9404738A (pt) 1995-10-17
EP0664490B1 (en) 1998-03-11
ES2115165T3 (es) 1998-06-16
KR950024018A (ko) 1995-08-21
US5387494A (en) 1995-02-07
EP0664490A1 (en) 1995-07-26
US5389495A (en) 1995-02-14
US5411837A (en) 1995-05-02
KR0144639B1 (ko) 1998-07-01
CA2131044C (en) 1999-05-11
CN1118886A (zh) 1996-03-20
CA2131044A1 (en) 1995-07-26
TW269018B (zh) 1996-01-21
KR0149902B1 (ko) 1999-03-30
KR950024020A (ko) 1995-08-21
KR950024022A (ko) 1995-08-21
ATE164013T1 (de) 1998-03-15
CN1078357C (zh) 2002-01-23
AU660392B1 (en) 1995-06-22
JPH07271033A (ja) 1995-10-20
HK1005070A1 (en) 1998-12-18
SG43077A1 (en) 1997-10-17
DE69408970T2 (de) 1998-08-13
KR950024019A (ko) 1995-08-21
TW300289B (zh) 1997-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW301720B (zh)
DE69826456T2 (de) Wässrige photoresiste auf urethanacrylat-basis
JP2703731B2 (ja) 水性の光画像形成性組成物及びその乾燥フィルム
US5925499A (en) Epoxy-containing waterborne photoimageable composition
EP0295944A2 (en) Photosensitive resin composition and printing plate prepared therefrom
JP2703732B2 (ja) 水性の画像形成性組成物及びその乾燥フィルム
EP0664488B1 (en) Waterborne photoresists having binders neutralized with amino acrylates
AU660402B1 (en) Waterborne photoresists having binders with sulfonic acid functionality
JP3940962B2 (ja) 液体感光性組成物
MXPA96003006A (en) . photoforming composition of pictures carried out by the waters that contains ep
JPH06287486A (ja) ネガ型感光性電着塗料樹脂組成物、電着塗装浴、レジストパターンの製造法、レジストパターンの製造された導電性基体、プリント回路板の製造法、プリント回路板及び機器