經濟部中央標準局·.!?工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 1 ·發明範圍 本發明係關於一種玻璃織物的表面處理方法，該玻璃 織物可作爲纖維強化組合物如多層電路板使用。 2.先前揭示之技藝 以前是用塗覆有機化合物的玻璃絲織造成玻璃織物， 並作爲纖維強化組合物如多層電路板使用，該有機化合物 稱之爲漿料助劑，其功能是作爲玻璃絲之保護膜。完成織 造步驟後，加熱玻璃織物至約4 0 0°C歷時數十小時，使 有機化合物從玻璃織物中去除，此熱處理稱之爲熱一淨化 處理，隨後用偶合劑處理該不含有機化合物的玻璃織物， 使得在多層電路板的後續製造步驟中可以改進玻璃織物與 樹脂間的黏著性，有機矽烷類化合物可作爲偶合劑使用， 例如可將玻璃織物浸漬於用有機溶劑或水稀釋之偶合劑溶 液中，將樹脂浸漬於經處理之玻璃織物中而形成預浸漬體 ，多層電路板可從堆置並壓縮多數個銅薄片及預浸漬體而 製得。 當有機化合物沒有藉由熱-淨化處理而有效地從玻璃 織物中去除時，因爲玻璃織物無法均勻地用偶合劑處理， 所以會導致降低玻璃織物與樹脂間黏著度之問題，此外當 有機化合物之殘餘物是以碳殘留於玻璃織物中時，有可能 使纖維強化組合物的絕緣性有不良之影響。 因此熱-淨化處理是製造良好多層電路板之重要步驟 ，但是如上所述熱-淨化處理需要將玻璃織物加熱至約 本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) Λ4規格（2IOX297公釐） {請先W讀背面之注意事項再填ftT本頁)
C 丁 -4 - 經濟部中央標隼局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（2 ) 4 0 〇 °C歷時數十小時，雖然使用相當大量之能源，但僅 能提供低產率的不含有機化合物之玻璃織物。爲了要改進 產率，日本專利早期公告〔KOKAI〕第 62 — 111493 號及第 64— 1733 至 1735 號 提出在減壓下用等離子處理玻璃織物，使有機化合物從玻 璃織物中去除，或同時進行等離子處理及熱一淨化處理。 但是因爲等離子處理是在減壓下進行，因此必須具備含真 空設備之昂貴且複雜爐具的問題。 反之爲了要減小電子元件之尺寸並使其具有高性能， 需要製造有高密度電路之印刷電路板或多層印刷板，尤其 是當必須減小透孔間距離或多層印刷板導電型內層與透孔 間距離使形成高密度電路時，會導致降低其間絕緣性質之 不良現象，由於是此現象之其中一個原因，因此必須考慮 銅移動之影響，銅移動解釋如下，即當在高濕度情形下施 加電位於銅電路間，電路中相當於陽極的銅被溶解，溶解 的銅經由絕緣部份擴散並沈積於相當於陰極之銅電路上， 因此破壞電路間的絕緣性，當銅移動發生在位於透孔間或 透孔與導電型內層間之樹脂與玻璃織物界面時，稱之爲 CAF(導電陽極燈絲），咸信CAF是因爲樹脂與玻璃 織物間的黏著度不足所引起，換言之咸信C A F是經由樹 脂與玻璃織物間的間隙而發生，該間隙是因爲其間的黏著 度不良或透孔之鑽洞損傷所造成，因此藉由改進樹脂與玻 璃織物間的黏著度，可防止C A F的發生。 所以需求一種更有效的玻璃織物表面處理方法，以改 本紙張足度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公筹) nn ^lm n^— HR Bl^i .^^1* 1^1 l In am m n^i -A"、T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ‘ -5 - A7 B7 五'發明説明（3) 進上述之問題。 發明之簡述 本發明之主要目的是提供一種玻璃織物的表面處理方 法’以改進上述之問題’也就是說本方法包括將玻璃織物 暴露於含反應氣體之大氣壓力等離子混合氣體中，使得到 表面經等離子處理之玻璃織物，並在等離子處理的表面上 塗覆有機矽烷化合物之步驟。 藉由將含作爲漿料助劑之有機化合物的玻璃織物暴露 於大氣壓力等離子時，可有效地將有機化合物從玻璃織物 中去除，換言之在本發明暴露步驟前先進行熱-淨化處理 下，將玻璃織物暴露於大氣壓力等離子，可去除熱一淨化 處理後漿料助劑殘留在玻璃織物上的殘留物例如碳，此外 熱-淨化處理後吸附在玻璃織物上的濕氣及雜質可經由暴 露步驟將其去除，因此本發明之暴露步驟可改進有機矽院 化合物與玻璃織物間之黏著度並防止發生C A F (導電陽 極燈絲），因爲混合氣體於等離子激發前先經預熱，因此
In i m I in ϋ—· ί i nn nn -- J. * -9 * - (請先閱讀背面之注意事項再填·r5本頁) ' 經濟部中央標準局一貝工消費合作杜印製 佳氣力表 氣 較合壓糙 化 。 體混氣粗 氧 上氣之大此 含 物氟體，， 於 織含氣體狀。露 璃種氟氣糙度暴 玻一 含氟粗著物 至及與含的黏織 供體氣有細之璃 提氣氫含微間玻 應化及體成物將 效氧體氣刻織括 之種氣應蝕璃包 驟 一氫反面玻驟 步含含當表與步 露少種說的劑露 暴至一地物合暴 述體爲體織偶之 上氣體具璃進佳 將應氣，玻改較 地反應佳將於 一 勻該反較子助另 均該亦離有 可，體等面 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（4 ) 體之第一反應氣體的第一大氣壓力等離子中，使得到表面 經預-處理之玻璃織物的次步驟，然後將預-處理表面暴 露於含氟氣體之第二反應氣體的第二大氣壓力等離子中， 使得到表面經等離子-處理之玻璃織物。 本發明之其他特徵，優點及效應經由下列詳細說明及 附圖將更明顯。 圖示之簡要說明 圖1爲本發明所使用等離子反應設備之示意圖； 圖2爲有助於了解測量樹脂與玻璃織物間黏著度方法 之示意圖；及 圖3爲製備供測定耐CAF (導電陽極燈絲）之包銅 層壓製件的平面圖。 本發明之詳細說明 經濟部中央標準局，負工消費合作杜印製 --^---^----- 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明玻璃織物之表面處理方法將詳細說明，該方法 包括下列第一及第二步驟，第一步驟的特徵是將玻璃織物 暴露於含反應氣體之氣體混合物的大氣壓力等離子中，使 製得表面經等離子-處理之玻璃織物，在第一步驟中混合 氣體於等離子激發前先經預熱，第二步驟的特徵是將有機 矽烷化合物塗覆於表面經等離子-處理之玻璃織物上。 預熱混合氣體對均勻及有效地進行第一步驟非常重要 ，也就是說在減壓情形下進行基材之等離子處理時，因爲 從等離子供應至基材的熱能量很小，通常需要加熱基材以 本紙張疋度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公嫠） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 增進等離子處理，但是因爲基材的尺度較大’較難均勻地 加熱基材，換言之均勻地進行基材之等離子處理。 在大氣壓力情形下進行基材之等離子處理時’加熱基 材所需的熱能可由氣體對流供應’氣體對流之熱轉移無法 在減壓下達到，因此即使基材的尺度相當大’不使用加熱 器等也可均勻地進行基材之等離子處理。 例如圖1所示之等離子反應設備可用於本發明之第一 步驟，該設備包括一個類似管狀之反應腔1 ’作爲供應混 合氣體至反應腔1之氣體入口 7，及供激發混合氣體之大 氣壓力等離子1 1的一對上層與下層電極2與3，上層電 極2平行排列於下層電極3並以所需距離相互隔開，電極 2與3和反應腔1絕緣，一固體電介質6置放於電極2與 3間的下層電極3上，該固體電介質6可防止發生電弧放 電並在等離子激發過程中保持輝光放電，可將固體電介質 置放於上層電極上，或將固體電介質置放於各別電極上， 上層電極2和交流電源5連接，該交流電源5可提供頻率 爲50Hz至13.56百萬赫茲的交流電較佳，下層電 極3和地相接，在反應腔1內插入一個熱電偶（沒有顯示 )以監控大氣壓力等離子1 1中混合氣體之溫度，數字4 代表排列於電極2與3間的玻璃織物，排列於電極間的玻 璃織物以保持浮動狀態較佳，該設備有一對捲取捲輪（沒 有顯示）作爲將長片的玻璃織物4連續地供應至反應腔1 ，並有一馬達（沒有顯示）供驅動捲輪使在預定進料速率 下於反應腔1的縱向方向傳輸長片的玻璃織物，如圖1中 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 8 — (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 丁 A7 ____B7 五、發明説明（6 ) 的箭頭所示，因此可連續地將此長片的玻璃織物4暴露至 大氣壓力等離子1 1中，等離子處理時間可由玻璃織物的 進料速率決定，例如可在約2 0分鐘完成第一步驟。 從載流氣體9經由氣體入口 7將載流氣體供應至反應 腔1 ，施加交流電至電極2與3使電極間的載流氣體產生 輝光放電，隨後從反應氣體瓶1 0經由氣體混合裝置8將 反應氣體供應至反應腔1 ，使得到混合氣體之大氣壓力等 離子11 ，控制反應氣體之流率使得到所需混合比例之反 應氣體與載流氣體，混合氣體供應至反應腔1前，先用加 熱器1 2將其加熱至所需溫度，混合氣體之供應以對著玻 璃織物吹送較佳，同時用風扇（沒有顯示）迫使供應至反 應腔的混合氣體在反應腔1內攪動較佳。 經濟部中央標隼局，負工消費合作社印製
In n In In ml nn 1^1 t - -A^、T - .'-1' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在等離子激發前先將混合氣體預熱到1 0 0°C至 6 0 0°C的溫度範圍較佳，在此情形下頃證實經第一步驟 後玻璃織物上的殘留碳量明顯地降低，因此可改進樹脂與 玻璃織物間的黏著度。咸信當混合氣體在所需溫度下預熱 後，大氣壓力等離子中的基團及離子強烈地攻擊玻璃織物 ，使得混合氣體與作爲漿料助劑之有機化合物或玻璃織物 上的殘留碳間之反應速率增加。也咸信因爲玻璃織物之全 部表面經有效且均匀地等離子淨化，及在第一步驟中形成 微細的粗糙表面，因此可改進樹脂與玻璃織物間的黏著度 。當混合氣體在低於1 0 0 °C的溫度下預熱時，必須增加 等離子處理時間才能得到改進的黏著度，當混合氣體在大 於6 0 0 °C的溫度下預熱時，玻璃織物將會軟化。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ 297公釐） -9 - 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（7 ) 較宜使用至少一種氧化氣體及一種含氟氣體作爲反應 氣體，當使用氧化氣體及含氟氣體之混合物作爲反應氣體 時，氧化氣體對含氟氣體之混合比例較宜選自1/3至 3 / 1之範圍。 也較宜將玻璃織物暴露於含氧化氣體之第一反應氣體 的第一大氣壓力等離子，然後暴露於含氟氣體之第二反應 氣體的第二大氣壓力等離子。在第一等離子中，留置在玻 璃織物上的有機化合物或碳經轉化成二氧化碳之形式，並 和吸附在玻璃織物上之濕氣及雜質一起去除。氧化氣體中 至少有一種氣體係選自包括氧氣，空氣，及二氧化碳較佳 ◊在第二等離子中，當有機化合物或殘留碳和濕氣及雜質 一起從玻璃織物去除時，蝕刻玻璃織物之表面，也就是說 玻璃織物之氧化矽和第二反應氣體中的氟反應而被触刻， 第二等離子將玻璃織物之全部表面微細且均勻地粗化，玻 璃織物經微細粗糙化的表面可用於改進樹脂與玻璃織物間 之黏著度。 也較宜使用一種含氫氣體及一種氫氣與含氟氣體之混 合物作爲反應氣體，在使用含氫氣體之情形下，玻璃織物 上的有機化合物及殘留碳轉化成烴類形式，並和玻璃織物 上的濕氣及雜質一起被去除，使獲得經淨化及活化表面的 玻璃織物，特定言之將氫氣添加至含氟氣體中可增強含氟 氣體之等離子激發，而改進大氣壓力等離子對玻璃織物之 反應速率。當使用氫氣及含氟氣體之混合物作爲反應氣體 時，氫氣對含氟氣體之混合比例較宜選自1/3至3/1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） . ^ϋ· i I R. HI m In f 、T * ( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 的範圍，含氟氣體至少是選自包括下列之一種氣體較佳： 氟化氫（HF)，六氟化硫（SFe )，氟，三氟化氮（ N F 3 )，四氟化碳（CF4 )，三氟甲烷（CHF3 ) ，及六氟化二碳（C2Fe)。 混合氣體中含情性氣體如氬氣及（或）氦氣作爲反應 氣體之載流氣體較佳，而且混合氣體中反應氣體之濃度等 於或小於1 5體積％較佳》 同時也較宜用本發明之第一步驟代替熱淨化處理，將 有機化合物從玻璃織物中去除，此外也可在熱淨化處理後 進行該第一步驟，也就是說留置在玻璃織物上的有機化合 物或殘留碳經熱淨化處理後，可用該第一步驟將其去除。 因爲玻璃織物的表面可經由該第一步驟而形成微細地粗糖 化，因此可改進本發明第二步驟中所形成玻璃織物與有機 矽烷化合物間的黏著度。此外如圖1所示，因爲該第一步 驟使用大氣壓力等離子，因此即使是以長片狀形式供料之 玻璃織物也可容易地連續進行該第一步驟，所以根據本發 明之第一步驟，可使用相當低廉及簡單的等離子-反應設 備，提高具有經等離子-處理表面之玻璃織物的產率》 在本發明之第二步驟中，將有機矽烷化合物塗覆於玻 璃織物之等離子-處理表面，使改進樹脂對玻璃織物之吸 濕度。有機矽烷化合物通稱爲偶合劑，例如可將含偶合劑 之溶液藉由浸漬或噴灑的方式浸入玻璃織物中，然後將其 乾燥，該溶液基本上包含有機矽烷化合物及如酒精或水之 溶劑，溶液中有機矽烷化合物之濃度範圍爲0.1至2重 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装·
*1T -11 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（9 ) 量％較佳，有機矽烷化合物包括乙烯甲氧基矽烷，乙烯苯 基三甲氧基矽烷，3 —甲基丙烯氧丙基三甲氧基矽烷，3 一縮水甘油氧丙基三甲氧基砂院，3 —胺丙基三乙氧基较 烷，4_縮水甘油丁基三甲氧基矽烷，N — 2_ (胺乙基 )—3 —胺丙基三甲氧基矽烷，N — 2— (N —乙烯苄胺 乙基）_3 —胺丙基三甲氧基矽烷鹽酸鹽，N— 3_ (4 —(3_胺丙氧基）丁氧基）丙基一3_胺丙基三甲氧基 矽烷，及咪唑矽烷等。 較宜使用等離子聚合方法將有機矽烷化合物塗覆至玻 璃織物之等離子處理表面，有機矽烷單體之蒸發氣體及作 爲載流氣體之惰性氣體如氬氣及（或）氦氣的混合氣體可 供等離子聚合方法使用，玻璃織物之等離子處理表面暴露 於混合氣體之大氣壓力等離子中，使在其上塗覆有機矽院 化合物。除了以上列示之有機矽烷化合物外，有機矽烷單 體包括四甲氧基矽烷，三甲氧基矽烷，三乙氧基矽烷，乙 烯基三乙氧基矽烷，六甲氧基二矽烷，四乙氧基矽烷，六 甲氧基二矽氧烷等。當修改圖1之等離子反應設備而同時 將汽化的有機矽烷氣體及載流氣體供應至反應腔內時，基 本上可用此經改良之設備進行等離子聚合方法。較宜在混 合氣體中添加少量的氧氣，使促進有機矽烷化合物之塗覆 作用。也較宜使等離子區內含汽化氣體及惰性氣體之混合 氣體的溫度範圍爲1 0 0°C至5 00°C，以改進玻璃織物 與有機矽烷化合物間的黏著度並防止C A F之發生。 在本方法中使用之玻璃織物包括一種沒有經熱淨化處 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） — ill Jil — I ^ 装-----—訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 12 - ^^C3〇7 A7 _B7 五、發明説明（10) 理而含大量作爲漿料助劑之有機化合物的玻璃織物，及一 種含少量如等於或小於0 . 1 %有機化合物或殘留碳之玻 璃織物’該玻璃織物在進行本發明第一步驟前先經熱淨化 處理。該有機化合物包括澱粉，聚乙烯醇等，特定言之當 後者之玻璃織物進行該第一步驟時，幾乎可以完全將殘留 碳從玻璃織物中去除，並促進表面微細粗糙化的玻璃織物 之形成。 實施例1至8 在織造玻璃絲（日本工業標準（I I S) ·_ E型）時 施加有機化合物作爲漿料助劑，使得到含有機化合物之玻 璃織物，該玻璃織物相當於J IS 3414-EP18 之玻璃布’然後根據表1及2所示的方法條件對玻璃織物 進行本發明物之表面處理，而得到實施例1至8之產物。 經濟部中央樣準局員工消费合作社印製 ---Ϊ---；-----装------訂 * 气 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如實施例1之產物是用下列方法製備，在第一等離 子處理中，將玻璃織物暴露於用氧氣作爲第一反應氣體及 氦氣作爲載流氣體之第一混合氣體的第一大氣壓力等離子 中，第一反應氣體及載流氣體之流率分別爲0 . 0 4升/ 分鐘及1.96升/分鐘，用頻率爲13.56百萬赫茲 之交流電源供第一等離子之等離子激發，等離子激發前先 用加熱器在1 5 0°C下將第一反應氣體預熱，保持玻璃織 物於第一等離子中歷時5分鐘，使得到表面淨化之玻璃織 物。 在第二等離子處理中，表面淨化之玻璃織物暴露於用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐) -13 - 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（11) 四氟化碳（c F4 )作爲第二反應氣體及氦氣作爲載流氣 體之第二混合氣體的第二大氣壓力等離子中，第二反應氣 體及載流氣體之流率分別爲0 . 06升/分鐘及1 . 94 升/分鐘，用頻率爲1 3 . 5 6百萬赫茲之交流電源供第 二等離子之等離子激發，等離子激發前沒有預先用加熱第 二混合氣體，保持玻璃織物於第二等離子中歷時5分鐘， 使得到表面經等離子處理之玻璃織物。 在第三等離子處理中，表面經等離子處理之玻璃織物 暴露於用3 -胺丙基三乙氧基矽烷氣體作爲有機矽烷氣體 及氦氣作爲載流氣體之第三混合氣體的第三大氣壓力等離 子中，將有機矽烷化合物塗覆至等離子處理之表面，有機 矽烷氣體是藉由汽化有機矽烷氣體而製備，有機矽烷氣體 之供應率爲5 0毫克/分鐘，該供應率是用質譜儀測量而 得。載流氣體之流率分別爲2 . 0升/分鐘，用頻率爲 1 3 . 5 6百萬赫茲之交流電源供第三等離子之等離子激 發，等離子激發前沒有預先用加熱加熱第三混合氣體，保 持玻璃織物於第三等離子中歷時5分鐘，使得實施例1之 產物。 在各實施例4，5及8中，於第二等離子處理後，進 行浸漬處理以代替第三等離子處理，例如在實施例4中是 將3 -胺丙基三乙氧基矽烷之水溶液浸入玻璃織物中而進 行浸漬處理，3 —胺丙基三乙氧基矽烷在水溶液中的濃度 爲2%，浸漬處理後，玻璃織物在1 5 0°C的溫度下乾燥 歷時6 0分鐘，使得到實施例4之產物。 本紙張尺度逍用中國國家標率（CNS ) A4规格（210X 297公釐) m i —I- - - --- m > Mi/ ^^1 1^1 I— . - $ 、ve * > . / {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12) 實施例9至1 9 在織造玻璃絲（日本工業標準（j I S) : E型）時 施加有機化合物作爲漿料助劑，使得到含有機化合物之玻 璃織物’該玻璃織物相當於j IS 3414- EP18 之玻璃布’在4 0 0 °C的溫度下熱淨化處理玻璃織物歷時 4 8小時’將有機化合物從玻璃織物中去除，熱淨化處理 後，頃經證實有0 . 0 8%之碳殘留於玻璃織物上成爲殘 留碳’然後根據表3至5所示的方法條件對玻璃織物進行 本發明之表面處理’而得到實施例9至1 9之產物。 例如實施例1 3之產物是用下列方法製備，在第一等 離子處理中’將玻璃織物暴露於用六氟化硫（S Fe )及 氫氣作爲第一反應氣體及氦氣與氬氣作爲載流氣體之第一 混合氣體的第一大氣壓力等離子中，六氟化硫（S Fe ) 及氫氣之流率分別爲0.05升/分鐘，氦氣與氬氣之流 率分別爲1·00升/分鐘及0.90升/分鐘，用頻率 爲2百萬赫茲之交流電源供第一等離子之等離子激發，等 離子激發前先用加熱器在3 5 0 °C下將第一反應氣體預熱 ，保持玻璃織物於第一等離子中歷時5分鐘，使得到表面 經等離子處理之玻璃織物。 在第二等離子處理中，表面經等離子處理之玻璃織物 暴露於用六甲基二矽氧烷作爲有機矽烷氣體及氦氣作爲載 流氣體之第二混合氣體的第二大氣壓力等離子中，將有機 矽烷化合物塗覆至等離子處理之表面，有機矽烷氣體是藉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨〇><297公釐） n. ^^^1 nn I— nn ^^^1 I ^^^1 ^^^1 - ,¾-# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -15 - 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（13) 由汽化有機矽烷氣體而製備，有機矽烷氣體之供應率爲 2 0毫克/分鐘，該供應率是用質譜儀測量而得。載流氣 體之流率爲2·0升/分鐘，用頻率爲千赫兹之交流電源 供第二等離子之等離子激發，等離子激發前在2 0 0°C溫 度下將第二混合氣體預熱，保持玻璃織物於第二等離子中 歷時1 0分鐘，使得到實施例1 3之產物。 在各實施例10 ，15 ，16及18中，於第一等離 子處理後，進行浸漬處理以代替第二等離子處理，例如在 實施例16中是將3-縮水甘油氧丙基三甲氧基矽烷之乙 醇溶液浸入玻璃織物中而進行浸漬處理，3 -縮水甘油氧 丙基三甲氧基矽烷在乙醇溶液中的濃度爲2%，浸漬處理 後，玻璃織物在1 0 0°C的溫度下乾燥歷時6 0分鐘，使 得到實施例16之產物》 實施例比較1 實施例比較1係使用相同於實施例1所用之含有機化 合物的玻璃織物，於溫度爲4 0 0°C的電子爐中進行熱淨 化處理歷時4 8小時，將有機化合物從玻璃織物中去除， 然後將玻璃織物在3 -胺丙基三乙氧基矽烷之水溶液中浸 漬1分鐘，最後在1 5 0°C的溫度下乾燥歷時6 0分鐘， 使得到實施例比較1之產物，3 -胺丙基三乙氧基矽烷在 水溶液中的濃度爲2重量％。 實施例比較2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· -nff 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（14) 除了在第一等離子之等離子激發前不加熱第一混合氣 體外，根據相同於實施例1之方法製備實施例比較2之產 物，在此情形下頃經證實第一等離子之等離子區內第一混 合氣體之溫度範圍爲室溫至7 0°C。 實施例比較3 除了在第二等離子之等離子激發前不加熱第二混合氣 體外，根據相同於實施例4之方法製備實施例比較3之產 物，在此情形下頃經證實第二等離子之等離子區內第二混 合氣體之溫度範圍爲室溫至7 0°C。 實施例比較4 除了在第二等離子之等離子激發前不加熱第二混合氣 體外，根據相同於實施例5之方法製備實施例比較4之產 物，在此情形下頃經證實第二等離子之等離子區內第二混 合氣體之溫度範圍爲室溫至7 0°C。 實施例比較5 除了在第一等離子之等離子激發前不加熱第一混合氣 體外，根據相同於實施例6之方法製備實施例比較5之產 物，在此情形下頃經證實第一等離子之等離子區內第一混 合氣體之溫度範圍爲室溫至7 0°C。 實施例比較6 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） I| ^ 装 — — II 訂 — IJ , - - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -17 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（15) 除了在第二等離子之等離子激發前不加熱第二混合氣 體外，根據相同於實施例7之方法製備實施例比較6之產 物，在此情形下頃經證實第二等離子之等離子區內第二混 合氣體之溫度範圍爲室溫至7 0°C。 實施例比較7 除了在第二等離子之等離子激發前不加熱第二混合氣 體外，根據相同於實施例8之方法製備實施例比較7之產 物，在此情形下頃經證實第二等離子之等離子區內第二混 合氣體之溫度範圍爲室溫至7 0°C。 下列實驗1 — 3是用實施例1 — 1 9及實施例比較1 一 7之產物進行》 〔1〕實驗1 用碳質譜儀測量立即塗覆有機矽烷化合物前玻璃織物 之碳殘留量所得結果列於表6。 〔2〕實驗2 爲了測定樹脂與實施例1 — 1 9及實施例比較1 一 7 之各產物間的黏著度，而製備包銅層壓製件，用下列方法 測量包銅層壓製件預浸漬體間的黏著強度：將溴化A型雙 酚環氧樹脂，雙腈胺之固化劑及2 -乙基-4_甲基咪唑 之觸媒溶解於甲基纖維素之溶劑中而製成環氧樹脂清漆， 將清漆浸入各產物中，然後在1 5 0°C溫度下乾燥歷時8 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） m m In ^^1 ^^1 n · ·1 1^1 i m - - 、T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -18 - 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 A 7 B7 五、發明説明（16) 分鐘使得到預浸漬體，預浸漬體中樹脂含量範圍爲4 3至 4 6重量％ ’在1 3 0°C時預浸漬體中環氧樹脂的熔p黏 著範圍爲4 0 0至7 0 0泊’在1 7 Οΐ時凝膠作用之必 要時間爲1 2 0至1 6 0秒。四個預浸漬體堆積並得到預 浸漬體組合物後，將組合物置放於一對1 8微米厚度銅薄 片之間，包括銅薄片之預浸漬體組合物在1 7 0。(：及4 0 公斤/平方公分下壓縮歷時9 0分鐘而得到包銅層壓製件 ，如圖2所示’當以垂直力將層壓製件3 〇之上層預浸漬 體3 3及頂層銅薄片3 4與層壓製件3 0之下層預浸漬體 3 2及底層銅薄片3 1隔開時，預浸漬體間的黏著度係根 據垂直力而決定，所得結果列示於表6。 〔3〕實驗3 預浸漬體的耐CAF(導電陽極燈絲）度測定方式如 下：將八個相同於實驗2所用之預浸漬體堆積而得預浸漬 體組合物，將組合物置放於一對1 8微米厚度銅薄片之間 ，包括銅薄片之預浸漬體組合物在1 7 0°C及4 0公斤/ 平方公分下壓縮歷時9 0分鐘而得到厚度爲1 . 6釐米之 包銅層壓製件4 0，如圖3所示，在層壓製件4 0上鑽四 百個直徑爲0 . 9釐米之透孔4 1，隨後在層壓製件上形 成頂層及底層電路圖案，在圖3中實線將透孔4 1連接成 頂層電路圖案，且虛線將透孔4 1連接成底層電路圖案》 大氣壓下溫度爲8 5 °C且相對濕度爲8 5%時，在層壓製 件4 0上的電極4 2與4 3間施加3 5伏特之直流電壓， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ 一 19 — A7 B7 五、發明説明（17) 測定導致發生短路所需的時間作爲耐C A F度之指數，因 此當導致發生短路所需的時間延長時，可知道耐C A F度 經進一步改進，所得結果列示於表6。 實施例1 - 9中每個玻璃織物之碳殘留值都等於或低 於實施例比較1之玻璃織物，因此用進行數分鐘的本發明 等離子處理方法取代進行數十小時的先前技藝熱淨化處理 方法，可有效地將有機化合物從玻璃織物中去除。當實驗 1 一 3中關於實施例1及4 - 8之結果和關於實施例比較 2 - 7之結果比較時，可知道在等離子激發前預熱第一混 合氣體及（或）第二氣體有助於進一步改進層壓製件之黏 著強度及耐CAF度，此外如實施例9_ 1 9之顯示’較 宜在熱淨化處理後進行本發明之表面處理，可得到更佳的 包銅層壓製件。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 經濟部4-央標準局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -20 - ^ ^ ti Ο Ο / Α7 Β7 五、發明説明（18) 表1 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 *一箄離子： 輸出功率： 500瓦 500瓦 500瓦丨 700瓦 頻率： 13.56百萬赫茲 13.56百萬赫a 13.56百萬赫茲 5.0百萬赫茲 氣溫度： 150*C 不加热 150*C 不加熱 處理時間： 5分鐘 5分餚 5分鐘 10分餚 載流氣體： 氣氣 氦氣 氦氣’ 氦氣 流率： 1.96升/分鐘 1.96升/分鐘 1.96升/分饋 1.90升/分鐘 反應氣教： 〇2 〇2 、 〇2 02 流率： 0.04升/分鐘 0.04升/分鐘 0.04升/分餚 0.10升/分鐘 笫二等離子： 輸出功率： 500瓦 500瓦 500瓦 700瓦 頻率： 13.56百萬赫茲 13.56百萬赫茲 13.56百萬赫茲 5.0百萬赫茲 氣體溫度： 不加熱 150·。 150°C 250°C 處理時間： 5分餚 5分餚 5分餚 10分鐘 載流氣《: 氦i 氦氣 氪氣 氦氣 流率： 1.94升/分餚 1.94升/分餚 1.94升/分鍾 1.94升/分饋 反應氣«: cf4 cf4 cf4 cf4 流率： 0.06升/分鐘 0.06升/分鐘 0.06升/分餚 0.06升/分餚 第三等離子： 沒有進行 輸出功率： 500瓦 500瓦 500瓦 頻率： 13.56百萬赫茲 13.56百萬赫茲 13.56百萬赫茲 氣體溫度： 不加熱 不加熱 150eC 處理時間： 5分鐘f 5分餚 5分鐘 載流氣《: 氦氣 氦氣 氦氣 流率： 2_0升/分鐘 2.0升/分餚 2.0升/分鐘 反應氣體： cf4 cf4 cf4 流率： 0.06升/分鍺 0.06升/分鐘 0.06升/分餚 有機矽烷類氣Λ: 3-胺丙基三乙 氡基矽烷 3-胺丙基三乙 氧基矽烷 3-胺丙基三乙 氡基矽烷 供應速率： 50毫克/分饋 50毫克/分鍺 50毫克/分it 浸溃處理： 沒有進行· 沒有進行 沒有進行 有機矽烷： 3-胺丙基三乙 氧基矽烷 濃度： 2% 溶劑 水 溫度： 150°C 乾烯時間： 60分鐘 --： ： 「 裝 訂 I ^ * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - A7 B7 五、發明説明（19) 表2 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 實施例5 實施例6 實施例7 實施例8 笫一箄離子： 沒有進行 沒有進行 沒有進行 輸出功率： 500瓦 頻率： 2.0百萬赫茲 氣«溫度： 300eC 處理時間： 10分餚 載流氣體： 氣氣+氣氣 流率：_ 氦氣：1.5升/分錆 氬氣：0.4升/分效 反應氣體： 空氣 流率： 0.10升/分鐘 笫二箄離子： 沒有進行 輸出功率： 400瓦 500瓦 400瓦 頻率： 10.0百萬赫茲 5.0百萬赫茲 10.0百萬赫茲 氣《温度： 250"C 300Ό 300t 處理時問： 10分餚 20分餚 io分鐘 載流氣艟： 11氣 氦氣 氦氣 流率： 1.90升/分餚 1.90升/,分餚 1.90升/分鉉 反應氣體： c2f6 cf4 cf4+o2 流率： 0.10升/分鈸 0.10升/分鐘 CF4 : 0.05升/ 分鐘 02 : 0.05升/ 分鐘 第三等離子： 沒有進行 洗有進行 輪出功率： 200瓦 200瓦 1 頻率： 10.0百萬赫茲 15百萬赫茲 氣體溫度： 200"C 不加熱 處理時間： 10分鍾 10分饋 載流氣體： 氦氣+氡氣 氦氣’ 流率： 氦氣：1.95升/ 分鍾 2.0升/分鐘 氡氣：0.05升/ 分鈸 •» | 有機矽烷類氣Λ: 四乙氧基矽烷 六甲基二矽氡 烷 供應速率： 10毫克/分饋 20毫克/分鐘 浸溃處理： 沒有進行 沒有進行 有機矽烷： 3-缩水甘油氧 3-胺丙基三乙 丙基三甲氧基 矽烷 氧基矽烷 濃度： 2% 1% 溶劑 乙酵 乙畔 溫度： 100°C 150Ϊ 乾燥時間： 60分嫂 60分餚 I. . I I 訂 { ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22 -
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 實施例9 實施例10 實施例11 實施例12 |二等離子： 輪出功率： 500瓦 700瓦 700瓦 500瓦 頰率： 13.56百萬赫茲 5百萬赫茲 10百萬赫茲 500千赫茲 氣體溫度： 150°C 200°C 250。。 300°C 處理時間： 5分鐘 10分鐘 5分錢 5分餚 載流氣體： 氦氣 氦氣 氬氣 氦氣 流率： 1.94升/分鐘 1.94升/分鐘 1.90升/分鑀 1.90升/分鐘 反應氣體： cf4 c2f6 o2+cf4 〇2 流率： 0.06升/分鐘 0.06升/分鐘 02 : 0.05 升/分 銼 0.10升/分鐘 CF4 : 0.05升/ 分鐘 第二等離子： 沒有進行 輸出功率： 500瓦 500瓦 500瓦 頻率： 13.56百萬赫茲 13.56百萬赫茲 13.56百萬赫茲 氣體溫度： 50°C 150°C 150°C 處理時間： 5分鑀 5分鐘 5分餚 載流氣體： 氦氣 氦氣 氦氣 流率： 2.0升/分錢 2.0升/分鐘 2.0升/分鐘 有機*夕烷類氣Λ: 3-胺丙基三乙 氡基矽烷 3-胺丙基三乙 軋基矽烷 四乙氧基矽烷 供應速率： 50毫克/分鐘 50毫克/分鐘 50毫克/分鐘 浸溃處理： 沒有進行 沒有進行 沒有進行 有機矽烷： 3-胺丙基三乙 氧基矽烷 濃度： 2¾ 溶劑 水 溫度： 150°C 乾燥時間： 60分鐘 --：---^----裝------訂-------^ I - . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） —23 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 '發明説明（21) 表4 - 實施例13 實施例14 實施例15 實施例16 莲二^離子： 輪出功率： 500瓦 1000 瓦 700瓦 400瓦 頻率： 2百萬赫茲 500千赫茲 5.0百萬赫茲 10.0百萬赫茲 氣體溫度.： 350〇C 200。。 250t 250〇C 處理時間： 5分銪 10分鐘 10分鐘 10分鐘 栽流氣體： 氦氣+氩氣 氩氣 氬氣 氦氣 流率： 氦氣：1.0升/ 分鐘 1.94升/分鐘 1.94升/分錄 1.90升/分鐘 氩氣：0.90升/ 分鐘 反應氣體： sf6+h2 HF h2 c2f6+h2 流率： SF6 : 0.05升/ 0.06升/分鐘 0.06升/分鐘 C2F6 : 0.05 升/ 分錄 分鐘 H2 : 0.05升/分 H2 : 0.05升/分 鐘 鐘 第二等離子： 沒有進行 沒有進行 輸出功率： 200瓦 500瓦 頻率： 15千赫茲 500千赫茲 氣體缉度： 200°C 150eC 處理時間： 10分鐘 10分鐘 載流氣《: 氦氣 氦氣 流率： 2.0升/分錄· 2_0升/分錄 有機矽烷颛氣《: 六甲基二矽氧 3-胺丙基三乙 烷 氧基矽烷 供應速率： 20毫克/分鐘 50毫克/分鐘 浸溃處理： 沒有進行 沒有進行 有機矽烷： 3-胺丙基三乙 3-縮水甘油氧 、. 氡基矽烷 丙基三甲氧基 矽烷 2% 2% 水 乙醇 150。。 loot 60分鐘 60分鐘 ·'1----^----裝^------訂------^水 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22) 表5 實施例17 實施例18 實施例19 第一等離子： 輸出功率： 500瓦 500瓦 500瓦 頻率： 100千赫茲 13.56百萬赫茲 10.0百萬赫茲 氣體溫度： 300°C 50°C 50°C 處理時間： 15分鐘 5分鐘 10分鐘 載流氣體： 氦氣 氦氣 氦氣 流率： 1.90升/分鐘 1.94升/分銼 1.90升/分鐘 反應氣體： cf4 cf4 CF4+02 流率： 〇.1升/分鐘 0.06升/分鐘 CF4 : 0.05升/ 分鐘 02 : 0.05升/分 鐘 第二等離子： 沒有進行 輸出功率： 200瓦 500瓦 頻率： 15千赫茲 13.56百萬赫茲 氣體溫度： 150。。 50°C 處理時間： 10分鍺 5分鐘 載流氣體： 氦氣 氦成 流率： 2.0升/分鐘 2.0升/分鐘 有機矽烷類氣《: 六甲基二矽氧 烷 3-胺丙基三乙 氧基矽烷 供應速率： 20毫克/分鐘 50毫克/分鐘 浸溃處理： 沒有進行 沒有進行 有機矽烷： 4-縮水甘油丁 基三甲氧基矽 烷 濃度： 1% 溶劑 乙酵 溫度. 100°C 乾燥時間： 60分鐘 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29·/公釐） -25 - 五、發明说明（23) Α7 Β7 表6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 碳殘流量(％ ) 黏著強度(公斤/公分) 耐CAF度(小時） 實施例1 0.06 2.3 2400 實施例2 0.06 2.5 2550 實施例3 0.06 2.6 2650 實施例4 0.08 2.5 2550 實施例5 0.06 2.6 2500 實施例6 0.06 2.3 2400 實施例7 0.06 2.5 2600 實施例8 0.06 2.5 2600 實施例9 0.03 2.5 2500 實施例10 0.03 2.7 2750 實施例11 0.02 2.6 2700 實施例12 0.04 2.5 2600 實施例13 0.02 2.7 2650 實施例14 0.02 2.6 2550 實施例15 0.04 2.4 2500 實施例16 0.03 -、 - 2.8 2800 實施例17 0.03 2.7 2600 實施例18 0.05 2.5 2500 實施例19 0.06 2.4 2450 實施例比較1 0.08 1.5 1500 實施例比較2 0.08 2.1 2100 實施例比較3 0.08 1.9 2000 實施例比較4 0.08 2.0 2100 實施例比較5 0.07 1.8 1950 實施例比較6 0.08. 2.0 2050 實施例比較7 0.08 2.0 2000 · J 坤衣— 訂 V. -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 26 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ί ( η Α7 Β7 五、發明説明（） 圖號說明 第1圖： 1 :類似管狀之反應腔 2 :上層電極 3 :下層電極 4 :玻璃織物 5 :交流電源 6 :固體電介質 7 :氣體入口 8 :氣體混合製造方法 9 :載流氣體瓶 1 0 :反應氣體瓶 1 1 :大氣壓力等離子 1 2 :加熱器 第2圖： 3 0 :層壓製件 3 1 :底層銅薄片 3 2 :下層預浸漬體 3 3 :上層預浸漬體 3 4 :頂層銅薄片 A^*r Γ) ΓΒΠ · 弟<3圖. 4 0 :層壓製件 4 1 :透孔 4 2 :電極 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） I I n i n - - - I n -- n n T I I I _ _ n Λ - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 85. U. 2 0 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
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