TW295619B - - Google Patents

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、發明説明（ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 發月係關於—種含記錄頭之01墨記錄裝置，包括： 至少一凰六A J£ 器· 至’係楮一墨水供應通道連通至一貯墨水 噴嘴板，係至少包含一噴嘴開口，用以排出墨水之飛 ;，琢噴嘴板係構成該壓力室之一壁面； 壓電致動器元件，係具有一帶電方向，及至少具有二 =極層，該二電極層之安排方式，係可於端子之間應用— 電，時，而改變致動器元件於帶電方向上之尺寸大小， 一端子係以電子式地連接至諸該電極層中，而該致動器 係依與壓力主之合作關係排列，俾致動器元件於帶電 向上改變尺寸大小時，該敗》室亦改變其容量大小。本發 明同時亦爲有關一適合用於一噴墨記錄裝置之喷墨記綠 頭。 —種揭露於£P-A-〇 5 73 〇55之噴墨記錄頭係爲上述裝 置疋形式。該噴墨記錄頭包含一鑲接壓電致動器元件之轉 換器單元基板。每一壓電致動器元件係由複數層壓電陶 材料組成’並以電導性之電極層插置於每一對鄰近壓電 瓷層中。第一、三、五等電極層係全部連接至第一端子 而第二、四、六等電極層係全部連接至第二端子。當應 —電壓於第一端子與第二端子時，該致動器元件於帶電 向會改變其尺寸大小。該類壓電致動器元件係爲一熟知 陶瓷式多層致動器（CMA)。在此一熟知之裝置上，該 動器元件具有一型似連桿之形狀，以該電極層延伸於該 桿之縱長方向，係符合於該帶電方向。該裝置另外包含 該 元 方 瓷 方 之 致 連 可 C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ-衣· -訂 -4 · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ; A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ,j5619 A7 __-_—_ B7 五、發明説明（2 ) 構成壓力i：、辟墨水器及墨水通道之間㉟器。該壓力室係 形成如孔狀之形式，延伸於該間隔器之相對表面之間，、 中之-表面係包含於-喷嘴板中’及另—表面係包含於j 振動板中，以致於該噴嘴板及振動板構成該壓力室2兩相 對壁^該型似連桿之致動器元件之一端承靠於該相對^ 壓力室之振動板表面上，俾當應用一電壓於二端子之間， 造成致動器元件改變其長度時，該壓力室之容量大小^隨 之改變。該振動板之結構較爲複雜，且必須以精準之工具 製造之。尤其是該致動器元件必須相當準確地定位於相對 麼力至（位置，因此，該已知之記錄頭係爲—組成耗時且 爲昂貴之結構。 本發明之目的係爲提供一噴墨記錄裝置，係如上所述之 具有一記錄頭，但相對上爲一非昂貴且結構製成較爲簡單 之噴墨記錄裝置。爲達成此一目的，根據本發明之記錄裝 置，其特徵在於該壓電致動器元件形成一如致動器板之形 式，其帶電方向係符合於該致動器板之厚度方向，而該致 動器板所k供之一凹槽係構成該壓力室。由於該壓力室係 於孩致動器板形成一如凹槽之形式，使得該致動器元件相 對於壓力室之定位必定是正確無誤，且得以省略複雜的振 動板。 本發明I記錄裝置之第一實例，其特徵在於該凹槽延伸 只牙该致動器板之厚度，用以連接該致動器板之第一及第 二相對表面，而該噴嘴板具有第一表面，係連接至該致動 器板之第一表面’用以構成該壓力室之第一壁面；一基板 __ -5- ϋ 尺度適用中 21()κ --- (請先閱讀背面之泛意事項再填寫本頁j

五、發明説明（、 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 表：，連接至該致動器板之第二表面，用以構成 :動器η—ί面。在此一實例中’該壓力室係連接該 面，而形成—如通孔之形狀。類似此 =係易於製造完成，譬如藉由侵蚀、粉炸或雷射切割 〇文動減（兩相對表面或任何_面即可。 該：水通道係可於該致動器板之第—表面或第二表面形成 凹π形式。该即墨水器及該墨水供應通道亦可於該喷嘴 板<第一表面或該基板之第一表面形成凹槽之形式。 本發明記錄裝置之另一實例，其特徵在於該致動器板第 一表面提供之凹槽並沒有延伸至相對於該第一表面之第二 表面處，該噴嘴板具有第一表面，係連接至該致動器板之 第一表面，用以構成該壓力室之第—壁面。在此一實 中，該壓力室所使用之製成方法係與第一實例之方法顆 似，但由於該壓力室必須在一既定之深度而不延伸超過整 個致動器板厚度之情況下，故需提高其較精準之製成 法。另一方面，此一實例係可省略—基板之使用，若如 使用一基板係提高該致動器板之補強作用，則亦無須確 該基板與·致動器板之間獲得密封式之連結。在此一實 中，該貯墨水器及該墨水供應通道可於該噴嘴板之第一 面或該致動器板之第一表面形成凹槽之形式。 本發明之ό己錄裝置之另一實例，其特徵在於該致動器 之第一表面與噴嘴板之間提供一中介板，該貯墨水器與 墨水供應通道係於該中介板上形成如孔徑之形式。該 板可爲一相對薄之金屬板，其中該等孔徑可易於高度精马 例 類 方 果 定 例 表 板 該 中介 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈. 訂 -6- 本紙張尺度通用中國國家榡隼（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） A7 _______ B7 五、發明説明~~~ 地製成’譬如藉侵蚀、電火花腐蚀或雷射切割製成；而對 於必須具備相對較有通道口之該墨水供應通道尤其重要， 因其必須於茲致動器元件降低壓力室之容量時，可阻止該 墨水I流動，俾確定該墨水排出該噴嘴開口，以替代其回 流至貯墨水器中。 較佳之情況係爲該壓力室之大部分容量充填一種填料。 此一方式可降低該壓力室之有效容量，俾藉由該致動器板 其寬度之改變而導致增加該容量之相對變動量。在此一實 例中，係可輕易地提供該填料，因該填料可於噴嘴板之第--表面或於该基板之第一表面形成一凸部形式。該填料亦 可能包含一疏鬆式之材料（例如玻璃珠數量、洛石棉或類 似物）或一諸如橡膠之具有彈性之材料。 該壓力室於致動器板形成一體之形式，其結果造成諸該 电極層係列置於该壓力室之内邵。於作業期間，該等電極 層係依相異之電位成對配置，且於本案中，係可使用非絕 緣性墨水，諸如水製式之墨水，其於相異之電位上接觸電 極層，可能引導不利之電解加工。本發明之—實例，其中 可藉一電-子式絕緣材料之鍍層避免類似此種問題之發生， 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 --------Ϊ 袈-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 該鍍層係提供於該致動器板所形成之壓力室凹槽内部，亏 鍍層至少包含諸該電極層所列置於該壓力室内之壁面部 件。 本發明之上述結構與其他之結構將藉相關之圖示於以下 詳細描述。 圖1係爲本發明之噴墨記錄装置之簡單方塊圖； 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS >八4規$一(21〇:< 297公釐) 五、 發明説明 5 A7 B7 圖2係爲本發明之裝置之喷墨韓頭第—實例之橫剖視 圖； 圖3係爲圖2所示之記錄頭之剖面線m _ m部分之橫剖 視 伙圖4〜圖8係分別爲本發明之第二、第三、第四 '第五及 第六實例之橫剖視圖； 圖9係爲圖1所示之裝置之喷墨記錄頭第七實例之橫剖 視圖； 圖10係爲圖9所示之記錄頭之剖面線X - X部分之橫 剖視 輕濟部中夬樣準局員工消費合作杜印製 圖11係爲圖1所示之裝置之喷墨記綠頭第八實例之橫剖 视圖； 圖12係爲圖1]所示之記錄頭之剖面線X〗〗_ X j〗部分之橫 剖視圖； 圖13、圖14及圖15係分別爲本發明之第九、第十及第十 ''實例之橫視圖； 圖16係爲圖15所示之記錄頭之剖面線X v I - X v I部分之 擠剖視圖-; 圖17係爲本發明之第十二實例之橫視圖： 圖18係爲圖1所示之裝置之放大尺寸修正形式之喷墨記 綠頭之橫剖視圖；及 圖19係爲圖1所示之裝置應用一電壓脈衝於該喷墨記錄 頭時之一較佳形狀之線圖。 所有圖示所使用之相同編號係爲相符之元件。圖1係爲 -8- 本紙張尺度適用中园國家標準（CNS ) ,Μ規格（210X297公嫠） — _r------；-裝------訂-----〖線 | (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（6 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 -方：圖，僅顯示出本發明之嘴墨記錄裝 二二類裝置包括-—頭1，-輸送紙機::: 控二6…。喷墨印表裝置之-般結構係如USA 3，= 8之習知技藝所示。本發明與該裝置之： (處在於圮綠頭1之結構》 J 圖2所示係爲該記錄頭i之第—實例之剖視圖。該 頭包括-壓電致動器元件7，係爲—致動器板之形式， 含複數層之㈣壓電材料，係以電極層交替配置。 之簡圖所示，-、三、五等電極層71連接至第—端子9 而，、四、六等電極層73連接至第二端子丨丨。該奇數電 層71係中斷於第一區域75，以致於由第二端子u隔離開 而偶數電極層73係中斷於第二區域77，以致於由—端子 隔離開。第一區域75與第二區域77係爲該致動器板7所 位之帶電郅件。該端子9、u係接收控制單元5之電壓 衝’將由以後再描述。已知技藝之致動元件係如陶资多 致動器（CMA‘s)。致動器板其他適當之型式係包括一 層壓電材料夾層於二電極板之間。當應用一電恩於端子 與端子1Γ之間時，該致動器板7如圖2之帶電部件之垂 方向尺寸將有所改變。亦即該致動器板7改變其厚度， 適合於一電壓之應用。一致動器板改變其尺寸而適合於 用一電壓之方向，稱爲帶電方向。該致動器板7之帶電 件提供一凹槽13，係構成一壓力室。如圖2所示之實例 該凹槽13延伸於該致動器板之整個厚度，以致於連接該 動器板7之第一表面15至相對於第一表面之第二表面 包 極 9定脈層單 9直 以應部 致 -I ---I) - I ^ 办衣----- - , 一SJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 17 -9- 本纸張尺度適用中國國·家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐〉 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 該致動器板7所構成之壓力室13係可藉數種已知技術之一 完成，這些技術係包括据切、超音波鑽孔、濕化學侵蚀、 粉炸及雷射切割。另-種可行之技術係爲所謂之未泮火層 技術，其中該陶资主體在燒結之前形成一必要之結構，並 在燒結過程中獲得最終之型式。 喷嘴板19 ’係具有第—表面21連接至該致動器板了之 第-表面15 ’用以構成該壓力室13之第一壁面。該嘴嘴板 包含複數個噴嘴開口23，其中之—如圖2清楚所示。， 喷嘴開口 23延伸於該壓力室13與圍境於該記錄頭之空間之 間。該嘴嘴板19較佳形式係爲—薄金屬板，其中該嗜嘴開 口 23諸如以侵蝕、電火花腐蝕或雷射切割形成。該噴嘴板 19同時亦可能爲-可藉祕成型之適合性塑膠材料構成。 一基板25，係具有第一表面27連接至該致動器板7之第 二表面17，用以構成該壓力室丨3之第二壁面。—貯墨水器 29藉一墨水供應通道31連通至該壓力室13。該貯墨水器四 及該墨水供應通道31係於該致動器板7之第二表面17上形 成凹槽之形式，較佳之情況係與凹槽13 一起連接。如圖3 之清楚顯-示，該貯墨水器29係爲一相對較寬之導管，交互 連接該等墨水供應通道31。爲了避免其中一壓力室丨3之— I力波導致其他之一或更多之壓力室之壓力上升，每—墨 水供應通道31係包含一制止部31a作爲一阻流器。該基板 25之第一表面27包括貯墨水器29及墨水供應通道31。該基 板25包含一個或一個以上之澆灌通道33，形成如通孔之形 式（如圖2之虛線所示）’用以連接該貯墨水器29至一黑水 -10- 本紙張尺度適用中國ϋ·家標準（CNS ) A4規i—( 210 X 297公釐)~~ -—-I m -I ! I - - - -I i, 1^1 I f^n 、一-eJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 ____B7 五、發明説明（8 ) 儲存槽（圖中未示）。該記錄頭1係由該致動器板7、該噴 嘴板19及該基板25簡單構成。該等零件係依據一對準銷35 對齊連結，該對準銷係延伸貫穿該記錄頭之三項組成元件 所各提供之對準孔37。 經濟部中央楳準局員工消費合作杜印製 --------袈— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 該記錄頭1完成連結之後，該貯墨水器29、該墨水供應 通道31及該壓力室丨3係填入適當之墨水。當應用一已決定 之極性電壓於該電極端9與丨丨之間時，該致動器板7之厚 度會增加，以致於該壓力室13之容量足以成長。此一結果 使墨水由貯墨水器29通過該墨水供應通道31流至該壓力室 13。當該電極端9與12之間之電壓降至零或成爲反極性 時，該壓力室會突然緊縮，以致於墨水之飛沫排出噴嘴23 外°當該壓力室緊縮時，該墨水供應通道之制止部31 a之 非常小的橫剖面會防止墨水由電壓室丨3回流至該貯墨水器 29中。這會作爲降低記錄頭1之喷嘴23間漏墨至該貯墨水 器29中。藉該等壓力室丨3之間所提供之槽縫39可降低漏墨 至遠致動器板7，該槽缝延伸通過該致動器板之帶電部件 而超過弟一區域75。該致動器板7因這些槽缝而分割爲複 數個指片_40，每一指片包含一壓力室13。該電極層71、73 鄰接於指片40，藉該等指片之間之槽縫39將該等指片以電 子式地分離開來，而該等指片本身則藉槽縫大體上以機械 式地分離開來。 圖4顯示該噴墨記錄頭1之第二實例之橫剖面，在此實 例中，該貯墨水器29及該墨水供應通道31係於該基板巧之 第一表面27形成凹槽之形式。 -11 - ) A4規格（210 X 297公釐Ί ~ ~~ Μ __ Β7 五、發明説明（9 ) 圖5顯示第三實例之橫剖面，每中辟墨_水器29及該墨水 供應通道31係於該致動器板7之第一表面丨5形成凹槽之形 式。在此較佳實例中，該澆灌通道33延伸灌穿該基板25及 致動器板7。 圖6顯示第四實例之橫剖面，其中該野墨水器29及該墨 水供應通道31係於*亥喷嘴板丨9之弟一表面21形成凹槽之形 式。該澆灌通道33係與第三實例相同，延伸灌穿該基板25 及致動器板7。 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 --------·: 装-- (请先閱讀背面之注意事項存填寫本寅) 圖7及圖8分別顯示第五及第六實例之橫剖面。在此二 實例中’該致動器板7之第一表面15提供構成壓力室13之 凹槽，並無延伸至第二表面17。該噴嘴板19之第一表面21 係連接至該致動器板7之第一表面15，使構成該壓力室13 之第一壁面。該澆灌通道33係延伸貫穿該基板25及該致動 器板7。此二實例應注意之處係爲該基板25並無構成壓力 室B之壁面，而此一未構成之壁面係可忽略，因該致動器 板7與該噴嘴板19 一起構成爲一足以自我支撑之結構。第 五實例與第六實例之間不同之處，在於第五實例之該貯墨 水器29及該墨水供應通道31係於該致動器板7之第一表面 15形成凹槽之形式，而第六實例之凹構形式則形成於該噴 嘴板19之第一表面21上。 圖9及圖10係分別顯示第七實例之橫剖面及第七實例之 剖面線X - X之橫剖面。在此實例中，一中介板41係提供置 於該致動器板7之第一表面15與該喷嘴板19之間。該貯墨 水器29及墨水供應通道31係於中介板41上形成類似孔徑之 __12- 本紙張尺 1 適用巾 ϋ ( CNS ) ( 210Χ29Χ^)---- ' —' 經濟部中央標準局員工消費合作衽印製 A7 B7 五、發明説明（1〇) 形式。該中介板41可爲一金屬板，其中形成該等孔徑所採 行<技術諸如侵蝕、雷射切割或類似之技術。該貯墨水器 29及孩墨水供應通道31之尺寸大小係藉該中介板41之厚度 所界疋’使其得以於額外之小成本中製造出高精確度之品 質。在此實例中，該墨水供應通道31之制止部31 a係提供 置於該通道之中間位置，當然亦可提供置於如上述實例之 鄰近於琢壓力室13之位置處。該中介板41之另一孔徑43係 位於相對該噴嘴23之位置，使得以連接該壓力室ι3至該喷 嘴上。 圖11及圖12顯示第七實例，類似於第八實例，係包含一 中介皮41 ’該貯墨水器29及該墨水供應通道31係於該中介 板上形成孔徑之形式。在此實例中，如圖12之清楚所示， 遠另一孔控43之形狀和面積大致符合於該致動器板7所構 成之壓力室13之凹槽之形狀和面積，這將提高該中介板41 相對於該致動器板7與該噴嘴板19對齊之精準度。另—不 同·^處可由圖12清楚所示，該墨水供應通道31之整段長度 均非常窄，以致於不需使用制止部31 a。 圖13及·圖14分別顯示第十及第十_實例之橫剖面，其中 遠壓力室13之容量部分係塡充填料45 ^在第十實例中，該 填料45係由該噴嘴板丨9之第一表面構成凸部，而第十—實 例之填料係由該基板25之第一表面27構成凸部。該填料沾 可以是包含一諸如橡膠之彈性材料。藉由降低該壓力室U 之總容量V，而不降低由致動器元件7之作動而產生之排 出量Δ V，可提高該記錄頭之效率。此一結果使相對之 ______ - 13- 木紙張尺度適用中國國.家標準（CNS : M規格（η^ 297公幻 (讀先閱讀背而之注意事項再填寫本莨) - Τ B7 五、發明説明（n ) 出量Δν/V提高，而排出墨水飛料需之能量降低。 圖15及圖16顥示第十二實例，其中該填料45係爲另—刑 式（應用。在此實例中，該填料45係由疏鬆之材料组成， 例如小玻璃珠。同時，該材料㈣置於1水供應通道&、 野墨水器肢衫通道33中。該疏鬆㈣所選定之性質及 數量必須在不阻礙該致動器元件7之運動爲原則。如果使 用玻璃珠，由於材料形成一固態形狀，故不能充填過於緊 密，必須使玻璃珠具有相對運動之自由空間。另—種適合 之疏鬆材料係爲洛石棉。 ° 圖17顯示第十三實例之㈣面，其中該噴嘴板19之厚产 大致超過上述諸該實例之噴嘴板厚度。該填料45係由ς 噴嘴板丨9之第一表面構成凸部，但與圖丨3所示之實例不 同，因其係以與該噴嘴板相同之材料製成。由於該填料 45與噴嘴板19係爲同一結構，使可大量簡化該記錄頭|之 構造。此一型式之噴嘴板可用適當之塑膠材料製成，透過 澆鑄成型簡單製造完成。該噴嘴板19增加之厚度具有另外 之優點，係爲該喷嘴板藉此具有足夠強以支撑整個結構。 此一結果·，使得不需提供基板25當作支撑元件。圖17所示 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 之實例，該基板藉由一彈性板47替代，該彈性板可由橡膠 或類似之材料製成。 ’ 圖18顯示一修正之記錄頭1之部分放大之橫剖面。如圖 2所解釋之處，該致動器板7係由數層壓電式陶免材料以 电極層父替配置’该寺奇數電極層係連接至第一電極9， 而該等偶數之電極層係連接至第二電極丨丨。如橫剖面視圖 -14- 本紙張尺度適用中國國家操準（CNS ) Α4規格(210X 297公釐） 295619 A7 I------—---B7 五、發明説明（12) 所：該等見極層藉該壓力室13所構成之凹槽中斷，其結 果藉其邊緣構成該|力室之側壁（於該剖面圖之左側及右 側）此結果造成該等電極層列置於該壓力室丨3之内 部 、：心嘴墨*己錄裝置操作時，列置於該壓力室之墨水 中。孩墨水可具有導電性’例如水製式之墨水即是。圖18 所顯π (奇數電極層7丨與偶數電極層η之位置係靠近該壓 力1： 13之+左壁。由於該等奇數電極層71連接至第—端子 9，及該等偶數電極層乃連接至第二端子^，且由於作業 時，應用一電壓於第一端子與第二端子之間，故在系統中 所包含之電極層及墨水均會發生電解加工。類似之加工容 易扣壞電極層。爲防止此一損壞，該壓力室丨3所構成之凹 槽内壁係提供—電子隔絕材料之鍍層49。該鍍層至少包含 *亥電極層71、73所列置於壓力室丨3内部之壁面。適當之鍍 層係爲有機化之鍍層，其方法之應用，諸如喷塗、浸潰、 C V D技術或一種無機化之鍍層（例如依c ν d技術應用玻璃 或陶竞材料）^ 一種較佳之有機化之材料係爲透過Cvd方 法應用巴瑞那（parylen)鍍層法。一般無機化材料係爲二 氧化碎（Si〇2) 、Si3N4/Si02 、Pb(Zr卜xTiX)〇3 、 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 I -—-II 1 - m n^i - - f —I— 11 --'- . m--- 、v3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A 1 2 Ο 3。 防止遠等電極層與墨水之間之電解加工之另一方法，係 爲選定一適當之電壓訊號U(t)應用於該端子9及端子11 上。此一訊號所討論之申請案係於同時申請之專利申請編 號..（P HN 1 5.0 8 0 )。諸如此類之訊號並不會引導一直流 電（D C )之電流，亦即丨〖（t) d t = 〇，此種情況之滿足，大體 -15- 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7五、發明説明（13 ) 上必須在應用一電壓U時可滿足iu(t)dt = o之情況。如圖 19所示，係爲一電壓U作爲時間t之函數之示例。 „ - I 訂 ！： 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 16 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐〉

Claims (1)

1. 第84113181號專利申請案 中文申請專利範圍修正本(85年7月） A8 B8 C8 D8 修正 煩請委員明示本案是否變更實質内容 羥濟部中央榡準局員工消f合作、社印製 、申請專利範圍 1. 一種噴墨記錄裝置，係包含一記錄頭⑴，包括： 至少一壓力室⑽，係藉一墨水供應通道⑽連通一貯墨水 一噴嘴板⑽，係包含至少一喷嘴開口⑽，用以排出墨水 之飛’本’该嗜嘴板構成該壓_力室之一壁面； 一壓電致動器元件⑺，係具有一帶電方向，且包含至少 一層陶瓷材料及至少二電極層（71，73)，該二電極層之 安排方式，係可於端子（9，丨丨）之間應用一電壓時，而改 變致動器元件於至少一帶電方向上之尺寸大小，該二端 子係以電子式地連接至諸該電極層中，而該致動器元件 係依與壓力室之合作關係排列，俾該致動器元件於帶電 方向上改變尺寸大小時，該壓力室亦改變其容量大小； 其特徵在於該壓電致動器元件形成一如致動器板⑺之形 式，其帶電方向係符合於該致動器板之厚度之方向，而 該致動器板提供一凹槽，係用以構成該壓力室⑽。 2. 根據申請專利範圍第1項之喷墨記錄裝置，其特徵在於 該凹槽⑽係延伸貫穿該致動器板⑺之厚度，用以連接該 致動器板之第一與第二相對之表面（15, 17)，該喷嘴板 ⑽係具有第一表面⑼，連接至該致動器板之第一表面， 用以構成該壓力室⑽之第一壁面，提供一基板㈣，係具 有第一表面⑼連接至該致動器之第二表面，用以構成該 壓力室之第二壁面。 3. 根據申請專利範圍第2項之噴.墨記錄裝置，其特徵在於 該貯墨水器㈣及該墨水供應通道⑼係於該致動器板⑺之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------1¾衣------1T------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2^5619 A8 Βδ C8 D8 六、申請專利範圍 " ' ~~ 第一或第二表面，形成如凹槽之形式。 4·根據申請專利範圍第2項之噴墨記錄裝置，其特徵在於 該貯墨水器㈣及該墨水供應通道⑽係於該噴嘴板⑽之第 一表面⑼或該基板㈣之第一表面⑸，形成如凹槽之形 式。 5.根據申請專利範圍第1項之噴墨記錄裝置，其特徵在於 該致動器板⑺之第一表面⑽所提供之凹槽⑽，並無延伸 至相對於第一表面之第二表面⑹，該噴嘴板⑽具有第_ 表面⑼，係連接至該致動器板之第一表面，用以構成該 壓力室之第一壁面。 6·根據申請專利範圍第5項之噴墨記錄裝置，其特徵在於 遠貯墨水器㈣及該墨水供應通道㈤係於該喷嘴板⑽之第 一表面⑻或該致動器板⑺之第一表面⑽，形成如凹槽之 形式。 7·根據申請專利範圍第2項或第5項之噴墨記錄裝置，其特 徵在於該致動器板⑺與該噴嘴板⑽之間係提供一中介板 ㈣’該貯墨水器⑽及該墨水供應通道㈤係於該中介板上 形成如孔徑之形式。 8. 根據申請專利範圍第1項之噴墨記錄裝置，其特徵在於 該壓力室⑽之大部分容量係填充填料⑽。 9. 根據申請專利範圍第8項之喷墨記錄裝置，其特徵在於 该填料⑽係包含一凸部，該凸部形成於該嘴嘴板⑽之第 —表面⑼或形成於該基板⑽之第一表面的。 10. 根據申請專利範圍第9項之噴墨記錄裝置，其特徵在於 -2- 家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） — '~~~~ ' --------------tr------^ f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消t合作社印製 ABCD 六、申請專利範圍 該填料⑽係包含—種疏鬆式之材科。 11·根據申請專利範圍第8項之嘴墨4己° 該填料⑽係包含一種具彈性之材=錄裝置，其特徵在於 根據申請專利範圍第1項之嗜$ / Θ 1墨圮錄裝置，其特徵在於 一鍍層㈣，係爲一種電子隔絕材料，提供於該致動器板 足構成孩壓力室⑽之凹槽内部壁面，該鍍層至少包含諸 該電極層（7 1，7 3 )所列置於該壓力室之内部壁面之部 件。 ；-11-(請先閡讀背面之注意事項再填寫本頁^- 、-& t I n I I I I |味 I—. .1 . 經濟部中夬擦準局員工消費合作社印裝 本紙張尺度適财_家縣（CNS〉M規格（2歐297公爱）