JPH09507804A - インクジェット記録装置及びインクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明のインクジェット記録装置は、インク供給チャネル（３１）を介してインク貯留部（２９）と繋がる少なくとも１つの圧力室（１３）と、当該圧力室の壁を形成し、インクの滴を放出する少なくとも一つのノズル開口（２３）を有するノズルプレート（１９）とを有する記録ヘッド（１）を備える。記録ヘッド（１）はさらに、駆動方向を持ちかつ、少なくとも１つのピエゾ材料層と、電極層と電気的に結合された端子（９，１１）の間の電圧の作用の基で、アクチュエータ素子の寸法が駆動方向に変化されるように配置された少なくとも２つの電極層（７１，７３）とを備えたピエゾゾアクチュエータ素子（７）を有し、アクチュエータ素子が、駆動方向におけるアクチュエータ素子の寸法が変化されるとき、圧力室の容量が変化するように、圧力室（１３）に関連付けて配置される。ピエゾアクチュエータ素子は、アクチュエータプレート（７）として形成される。この素子の駆動方向は、アクチュエータプレート及び圧力室（１３）を形成するアクチュエータプレートに設けられた凹部の厚さ方向と一致する。

Description

【発明の詳細な説明】 インクジェット記録装置及びインクジェット記録ヘッド 技術分野 本発明は、インク供給チャネルを介してインク貯留部と繋がる、少なくとも一 つの圧力室と、インクの滴を放出する少なくとも一つのノズル開口を有し、そし て圧力室の壁を形成するノズルプレートと、駆動方向を有しかつ、少なくとも１ つのピエゾ材料層と少なくとも２つの電極層とを有し、これら層が、駆動方向に おいてアクチュエータ素子の長さが電極層に電気的に結合された端子間の電圧の 作用の基で変更されるように配置され、圧縮素子が、駆動方向におけるアクチュ エータ素子の寸法が変更される場合の圧力室の容量が変化するように、圧力室に 関連付けて配置される。 本発明は同様に、上述のようなインクジェット記録装置に適するインクジェッ ト記録ヘッドに関する。 背景技術 前述の形式の装置用のインクジェット記録ヘッドが、ヨーロッパ特許公開第EP -A-0573055号に記載されている。このインクジェット記録ヘッドは、ピエゾアク チュエータ素子が配置された振動ユニットを有する。各ピエゾアクチュエータ素 子は、近接した層の対の各々を分離する導電層を有する複数のピエゾセラミック 材料層からなる。第１、第３、第５、…電極層の全ては、第１端子に結合され、 第２、第４、第６、…電極層の全ては、第２端子に結合される。電圧が、第１端 子と第２端子との間に印加された時、駆動方向におけるアクチュエータ素子の寸 法が変更される。このようなピエゾアクチュエータ素子は、セラミック・マルチ レイヤ・アクチュエータ（CMA）として既知である。この既知の素子において、 アクチュエータ素子は、駆動方向と一致する長手方向に沿って延在するロッド形 状の電極層を有する。この素子はさらに、圧縮素子と、インク貯留部と、インク チャネルが形成されたスペーサを有する。この圧力室は、スペーサの対向面の間 に 延在する挿通孔として形成される。ノズルプレートと振動プレートとが圧力室の ２つの対向面を形成するように、これら面の一方がノズルプレートで覆われ、そ して他方面が振動プレートで覆われている。ロッド形状のアクチュエータ素子の 一方の端部は、アクチュエータ素子が、その寸法を変化させ、結果として端子間 に印加された電圧が変化する場合に、圧力室の容量が変化するように圧力室に対 向する振動プレートの面に向かう。振動プレートの構造は多少複雑で、そして製 造のために精密な機材が要求される。その上、アクチュエータ素子は、高い精度 で圧力室に対向して配置されねばならない。この結果、既知の記録ヘッドを制作 するためには、多くの時間とコストを要する。 発明の開示 本発明は、比較的安価に制作可能な構造が簡単な記録ヘッドを搭載したインク ジェット記録層とを提供することを目的とする。この目的を実現するため、本発 明による記録装置は、ピエゾアクチュエータ素子が、アクチュエータプレートと して形成され、その駆動方向が、アクチュエータプレートの厚さ方向と一致し、 アクチュエータプレートに、圧力室を形成する凹部が設けられたことを特徴とす る。圧力室がアクチュエータプレートの凹部として形成されることにより、圧力 室に対応するアクチュエータ素子の位置が常に正確で、そして完全な振動プレー トを得ることができる。 本発明による記録装置の第１実施例は、凹部がアクチュエータプレートの第１ および第２対向面と結合するように、アクチュエータプレートの厚さに跨って延 在し、ノズルプレートが、圧力室の第１壁を形成するために、アクチュエータプ レートの第１面に結合された第１面を持ち、圧力室の第２壁を形成するために、 アクチュエータプレートの第２面に結合された第１面を持つ基本プレート２５が 設けられたことを特徴とする。この実施例において、後力室はアクチュエータプ レートの対向面と繋がる開口として形成される。このような開口は、プレートの 一方の面または両面に対する、例えばエッチング、粉体放出、またはレーザ切断 により容易に成形することができる。インク貯留部及びインクチャネルは、アク チュエータプレートの第１または第２面の両方における凹部として形成されても 良い。インク貯留部及びインク供給チャネルは同様に、ノズルプレートの第１面 または基本プレートの第１面における凹部として形成されても良い。 本発明による更なる記録装置の実施例は、アクチュエータプレートの第１面に 、当該第１面に対向する第２面に沿って延在しないように凹部が設けられ、ノズ ルプレートが、圧力室の第１壁を形成するために、アクチュエータプレートの第 １面に結合された第１面を有することを特徴とする。この実施例において、圧力 室の構造は、同様の方法を第１実施例のものが採用されても良く、圧力室がアク チュエータプレートの厚さを越えない深さを持たないような、より高い精度を要 求する。一方、基本プレートを省いても良く、そして基本プレートがアクチュエ ータプレートを強化するために使用される場合、基本プレートアクチュエータプ レートとの間に得られる協調する繋がりを確実にもたらすことは必要ない。この 実施例において、インク貯留部及びインク供給チャネルは、ノズルプレートの第 １面もしくはアクチュエータプレートの第１面における凹部として形成されても 良い。介在プレートは、比較的薄い金属プレートであっても良い。このプレート には、例えば、エッチング、放電浸食、またはレーザ切断による高い精度で開口 を容易に設けることができる。これは、アクチュエータ素子が圧力室の容量を減 少させる際に、インクが、インク貯留部に流れ戻る代わりにノズル開口から放出 される事態をもたらすように、インクの流れを定義しないければならないため、 比較的狭い幅を持たねばならないインク供給チャネルに対しては重要である。 望ましくは、圧力室の容量に実質的に対応する部分が、充填物で満たされる。 この状況は、アクチュエータプレートの幅の変動により生じる対応する容量変化 が増加するように、圧力室の有効容量を減少させるために提供される。充填物は 、充填物が、ノズルプレートの第１面もしくは基本プレートの第１面に形成され た突出部を有することを特徴とする。充填物が、多孔性材料（例えば多数のガラ スボール、ミネラルボール等）またはゴムのような弾性材料を有することも可能 である。 アクチュエータプレートへの圧力室の一体化の結果として、電極層が、圧力室 の内側に突出する。動作中、これら電極層は、異なる電位で対を成し、そして水 性インクのような非絶縁性インクが使用される場合、有害な電気化学工程をもた らす。このような問題点が解決される本発明による実施例は、電気的絶縁材料の コーティングが、圧力室を形成するアクチュエータプレート中の凹部の内壁に設 けられ、少なくとも内壁に相当する部分を覆うコーティングが、圧力室の内部に 突出されることを特徴とする。 図面の簡単な説明 第１図は、本発明によるインクジェット記録装置の単純なブロック図である。 第２図は、本発明による装置のインクジェット記録ヘッドの第１の実施例の断 面図である。 第３図は、第２図に示した記録ヘッドの一部を破断線III−IIIで破断した図で ある。 第４乃至第８図は、それぞれ第２乃至第６の実施例の断面図である。 第９図は、第１図に示した装置のインクジェット記録ヘッドの第７の実施例の 断面図である。 第１０図は、第９図に示した記録ヘッドの一部を破断線X−Xで破断した図であ る。 第１１図は、第１図に示した装置のインクジェット記録ヘッドの第８の実施例 の断面図である。 第１２図は、第１１図に示した記録ヘッドの一部を破断線XII−XIIで破断した 図である。 第１３乃至第１５図は、それぞれ第９乃至１１の実施例の断面図である。 第１６図は、第１５図に示した記録ヘッドの一部を破断線XVI−XVIで破断した 図である。 第１７図は、第１２の実施例の断面図である。 第１８図は、第１図に示したインクジェット記録ヘッドの変形形態を拡大して 示した断面図である。 第１９図は、第１図２示した装置のインクジェット記録ヘッドの電極に供給し たパルス電圧の望ましい形状を示す図である。 発明を実施するための最良の形態 本発明の特徴を図面を参照して以下に詳細に説明する。各図において、共通の 部位には同一の参照番号を使用する。第１図は、本発明によるインクジェット記 録装置の要部を示すブロック図である。このような装置は、インクジェット記録 ヘッド１と、用紙移送機構３と制御ユニット５とを有する。インクジェット印刷 装置の一般的な構造は、例えば、米国特許公報第3946398号から既知である。本 発明による装置は、主に、記録ヘッド１の構造が既知のものとは異なる。 記録ヘッド１の第１の実施例の断面図を、第２図に示す。この記録ヘッドは、 複数のセラミックピエゾ材料層と電極層とが交互に積層されたアクチュエータプ レートの形態のピエゾアクチュエータ素子７を有する。第２図に示したように、 第１，２，３、…電極層７１は、第１端子９に結合され、第２，３，４、…電極 層７３は、第２端子１１に結合されている。奇数番号の電極層７１は、それぞれ 第２端子１１から分離する目的で、第１領域７５で隔離される。偶数番号の電極 層７３は、それぞれ第１端子９から分離する目的で、第２領域７７で隔離される 。第１及び第２領域７５，７７の間に、アクチュエータプレート７の駆動部分が 配置される。端子９，１１は、後述するように、制御ユニット５からのパルス電 圧を受信する。この形式のアクチュエータ素子は、セラミック・マルチレイヤ・ アクチュエータ（CMA）として既知である。他の実現可能な形態のアクチュエー タプレートは、２つの電極層の間に挟まれた単一のピエゾ材料層を有する。電圧 が、端子９と端子１１との間に印加されると、第２図における垂直方向で、少な くともアクチュエータプレート７の駆動部分の寸法が変化させられる。換言すれ ば、アクチュエータプレート７は、電圧の作用の基でその厚さを変化させる。ア クチュエータプレートの厚さが電圧の作用の基で変化させられる方向は、駆動方 向と呼ばれる。アクチュエータプレート７の駆動部分には、圧力室を形成する凹 部１３が形成される。第２図に示された実施例において、凹部１３は、アクチュ エータプレート７の第１面１５を第１面に対向する第２面１７に接触させる目的 で、アクチュエータプレート７の厚さで延在する。圧力室１３は、複数の既知の 技術の一つを用いて、アクチュエータプレート７に形成できる。これら技術の各 々は、のこぎり刃による切断、超音波穴あけ、化学的ウエットエッチング、粉体 放出、 そしてレーザ切断である。その他の実現可能な技術は、セラミック本体が、焼結 の前に所望の形状に形成され、そして焼結工程の間に最終的な形状を得るグリー ンシート技術と呼ばれるものである。 ノズルプレート１９は、圧力室１３の第１壁を形成する目的で、アクチュエー タプレート７の第１面１５に結合された第１面２１を有する。ノズルプレート１ ９は、複数のノズル開口２３を有する。この開口の一つを第２図に示す。このノ ズル開口２３は、圧力室１３と記録ヘッドの周囲の空間との間に延在する。ノズ ルプレート１９は、望ましくは、ノズル開口２３が例えば、エッチング、放電浸 食、レーザ切断により形成された薄い金属プレートである。インク貯留部２９は 、インク供給チャネル３１を介して圧力室１３に繋がる。インク貯留部２９及び インク供給チャネル３１は、アクチュエータプレート７の第２面１７に、凹部と して望ましくは凹部１３と共に設けられる。第３図においてより明確に見られる ように、インク貯留部２９は、インク供給チャネル３１に繋がる比較的広いダク トである。圧力室１３の一つに、一つもしくは複数の他の圧力室における圧力の 上昇を生じることにより圧縮波形を提供する目的で、各インク供給チャネル３１ が、空気流入調整機構として提供する規制部３１ａを有する。基本プレート２５ の第１面２７は、インク貯留部２９及びインク供給チャネル３１を覆う。基本プ レート２５は、インク容器（図示せず）に結合されたインク貯留部２９に繋がる 開口（第２図において破線で示した）として形成した一つもしくは複数のチャネ ル３３を有する。アクチュエータプレート７、ノズルプレート１９、そして基本 プレート２５から成る記録ヘッド１の構造は、非常に簡単である。これらの部品 は、記録ヘッドの３つの部品の全てに設けられた調整開口に沿って延在する調整 ピン３５により調整される。 記録ヘッド１が完成した後、インク貯留部２９、インク供給チャネル３１、そ して圧力室１３は、適当なインクにより満たされる。所定の極性の電圧が、電極 ９と電極１１との間に印加された場合、アクチュエータプレート７の厚さが、圧 力室１３の容量が増加するように厚くなる。この結果、インクが、インク供給チ ャネル３１を介してインク貯留部２９から圧力室１３に向けて流れる。電極９と 電極１２との間の電圧がゼロに低下する場合、もしくはこの電圧の極性が反転す る場合、圧力室は、インクの滴がノズル２３を介して放出されるように突然、収 縮する。インク供給チャネルの調整部３１ａの非常に小さな横断面は、圧力室の 構造により、圧力室１３からインク貯留部２９に戻るインクの流れを実現する。 この構造は、インク貯留部２９を介して、記録ヘッド１のノズル２３間の干渉を 削減するために提供する。アクチュエータプレート７を介した干渉は、チャンバ １３の間のスリット３９を提供することにより低減する。このスリットは、第１ 領域７５のアクチュエータプレートの駆動部分を介して延在する。これらスリッ トに起因して、アクチュエータプレート７が、複数の突起部４０に分割される。 各突起部は、圧力室１３を有する。隣接する突起部４０の電極７１、７３は、こ れら突起部の間のスリット３９により電気的に絶縁され、そして突起部自身がス リットにより機械的に略々分離される。 第４図は、インクジェットヘッド１の第２の実施例の断面図を示す。この実施 例においては、インク貯留部２９及びインク供給チャネル３１が基本プレート２ ５の第１面２７中に、凹部として形成される。 第５図は、第３実施例の断面図を示す。この実施例において、インク貯留部２ ９とインク供給チャネル３１が、アクチュエータプレート７の第１面１５におい て、凹部として形成される。この実施例において、充填チャネル３３が基本プレ ート２５を介してのみならずアクチュエータプレート７を介して延在する。 第６図は、第４実施例の断面図を示す。この実施例において、インク貯留部２ ９及びインク供給チャネル３１が、ノズルプレート１９の第１面２１において、 凹部として形成される。充填チャネル３３は、第３実施例におけるアクチュエー タプレート７及び基本プレート２５の両者を介して延在する。 第７及び第８図は、それぞれ第５及び第６実施例の断面図を示す。これら実施 例において、圧力室１３を形成する凹部に、第２面１７沿って延在することなく アクチュエータプレート７の第１面１５に設けられる。ノズルプレート１９の第 １面２１は、圧力室１３の第１壁を形成する目的で、アクチュエータプレート７ の第１面１５に結合される。充填チャネル３３は、基本プレート２５及びアクチ ュエータプレート７に跨って延在する。これら実施例において、基本プレート２ ５が圧力室１３の壁を形成しないことに注意されたい。ゆえに、アクチュエータ プレート７がノズルプレート１９と共に自己支持構造を形成するために十二分な らば、基本プレートを省いても良い。第５実施例と第６実施例の相違は、第５実 施例においては、インク貯留部２９及びインク供給チャネル３１が、アクチュエ ータプレート７の第１面１５中の凹部として形成される一方で、第６実施例にお いては、これらが、ノズルプレート１９の第１面２１中の凹部として形成される という点である。 第９及び第１０図は、それぞれ第７実施例の断面図及びX−X破断線で破断した 図である。この実施例において、媒介プレート４１が、アクチュエータプレート ７の第１面１５と、ノズルプレート１９との間に設けられる。インク貯留部２９ 及びインク供給チャネル３１は、媒介プレート４１における開口として形成され る。媒介プレート４１は、金属プレートであっても良い。この金属プレートにお いて、開口は、エッチング、レーザ切断、もしくは同様の技術により形成される 。インク供給装置２９及びインク供給チャネル３１の寸法は、これらが僅かなコ スト上昇の基で高い精度で製造可能なように、媒介プレート４１の厚さにより規 定される。この実施例において、インク供給チャネル３１の規制部３１ａが、チ ャネルのおよそ半分に設定される。もちろん、既述の実施例のように、圧力室１ ３に隣接して設けることができる。媒介プレート４１の更なる開口４３は、ノズ ル２３に対向して設けられ、そしてこのノズルと共に圧力室１３に結合される。 第１１及び１２図は、第９実施例を示す図で、第８実施例のように、媒介プレ ート４１、インク貯留部２９、そして媒介プレートの開口として形成されたイン ク供給チャネル３１を有する。この実施例において、実質的にアクチュエータプ レート７における凹部の形状及び領域に対応する更なる開口４３の形状及び領域 が、圧力室１３を形成する。この構造は、第１２図に示された構造から明確に認 識できる。この構造は、厳密ではないアクチュエータプレート７及びノズルプレ ート１９に対応した媒介プレート４１の列の精度をもたらす。更なる差は、第１ ２図において明確に認識でき、インク供給チャネル３１が、規制部３１ａように は必要のない全長に跨る非常に狭い幅を有するという点である。 第１３及び１４図は、それぞれ第１０及び第１１実施例の断面図を示す。図に おいて、圧力室１３の容量の実質的な部分が充填物４５で満たされる。第１０実 施例において、フィルタ４５は、ノズルプレート１９の第１面２１の突起部とし て形成され、第１１実施例においては、充填物が基本プレート２５の第１面２７ の突起部として形成される。充填物４５は、弾性体のような柔軟材料を有しても 良い。充填材４５は、アクチュエータ素子７の動作がもたらす変化量ΔＶを低減 することなく、圧力室１３の総容量Ｖを低減することにより記録ヘッドの性能を 実質的に改善する。結果として、関連する変化量ΔＶ／Ｖが増加され、インクの 滴の放出に必要なエネルギが低減される。 第１５及び１６図は、第１２実施例を示す図である。図において、充填物４５ の更なる形式が提案されている。この実施例において、充填物４５は、例えば、 小さなガラスボールである多孔質材料（porous material）からなる。この材料 は、インク供給チャネル３１、インク貯留部２９、そして充填チャネル３３にも 同様に設けられても良い。この多孔質材料の特性及び品質は、アクチュエータ素 子７の動作が阻害されないように選択されねばならない。ガラスボールの使用は 、材料が固体として作用するような制約が無いことを意味する。ボールが自由に 移動する空間が無くてはならない。適当な多孔質材料の更なる実施例は、ミネラ ルウール（rockwool）である。 第１７図は、第１１実施例の断面図を示す。図において、ノズルプレート１９ が、先に説明した実施例において、ノズルプレートの厚さを実質的に上回る厚さ を持つ。フィルタ４５は、ノズルプレート１９の第１面の突起として形成される が、第１３図の実施例とは異なり、このフィルタは、ノズルプレートと同じ材質 で形成される。フィルタ４５及びノズルプレート１９は、記録ヘッド１の構造を 劇的に簡素化する統一的な構造である。この形式のノズルプレートは、適当なプ ラスチック材料から成る。このプレートは、射出成形により非常に簡単に成形で きる。ノズルプレート１９の厚さの増加に伴う更なる利点は、ノズルプレートが 全ての構造を十分強力に支持する。結果として、基本プレート２５を支持素子と して設けることは必要ない。第１７図に示した実施例において、基本プレートが 、弾性体もしくは等価材料で形成されるであろう弾性プレート４７に置き換えら れる。 第１８図は、他の記録ヘッド１の一部を格段した断面図である。第２図を参照 して説明したように、アクチュエータプレート７は、電極層と交互に積層された ピエゾセラミック材料の層を形成し、奇数番号の電極層が第１電極９に結合され 、偶数番号の電極層が第２電極１１に結合される。断面図に見られるように、電 極層は、圧力室１３を形成する凹部により隔離され、これら層の端部は、圧力室 の側壁の一部（断面図中の左右）を形成する。この結果、電極層は、圧力室１３ の内側及び、インクジェット記録装置の動作中に圧力室に存在するインクに曝さ れる。このインクは、例えば水性インクが使用されるならば、電気的に導電性を 帯びても良い。第１８図は、奇数番号の電極層７１と圧力室１３の左壁に近い偶 数番号の電極７１の位置を示す。奇数番号の電極層７１が第１端子９に結合され るため、そして偶数番号の電極層７３が第２端子１１に結合される、よって動作 中、電圧が第１端子と第２端子との間に印加され、電気化学工程は、電極とイン クを有するシステムで実施しても良い。このような工程は、簡単に電極に損傷を 与えることができる。この損傷を防止するため、電気的絶縁材料のコーティング ４９が、圧力室１３を形成する凹部の内壁に設けても良い。このコーティングは 、これら壁の少なくともこれら部品を覆わねばならず、電極層７１，７３は、圧 力室１３の内側に突出される。適切なコーティングは例えば、スプレー、液槽に 浸す、CVD技術、または有機コーティング（例えば、CVD技術で提供されるガラス またはセラミック）により提供される有機コーティングである。望ましい有機材 料は、CVD工程で提供される部分的なコーティングである。基本的な有機材料は 、ＳｉＯ₂，Ｓｉ₃Ｎ₄／ＳｉＯ₂，Ｐｂ(Ｚｒ_1-xＴｉ_x)Ｏ₃，Ａｌ₂Ｏ₃である。 電極とインクとの間の電気化学工程を実現する他の方法は、端子９，１１に供 給されるべき適切な信号電圧Ｕ(ｔ)を選択する。このような信号の作用は、関連 特許出願（国際出願番号PCT／IB95／00917）に記載されている。このような信号 の特性は、例えば、∫I(t)dt＝０である電流に対応するＤＣ負荷には到らない。 この状態は、対応する状態∫U(t)dtに実質的に満たす電圧Ｕが供給されるならば 、維持することができる。時間ｔの関数であるこのような電圧Ｕの例は、第１９ 図に示されている。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．インク供給チャネル（３１）を介してインク貯留部（２９）と繋がる少なく とも一つの圧力室（１３）と、 前記圧力室の壁を形成し、インクの滴を放出する少なくとも一つのノズル開口 （２３）を有するノズルプレート（１９）と、 駆動方向を持ちかつ、少なくとも１つのピエゾ材料層と少なくとも２つの電極 層（７１，７３）を有するアクチュエータ素子（７）とを有し、前記各層は、前 記アクチュエータ素子の少なくとも駆動部分の寸法が、その駆動方向に沿って、 前記電極層に電気的に結合された端子（９，１１）間の電圧の作用の基で変化さ れ留ように配置され、前記駆動方向に前記駆動素子の前記寸法が変化される場合 に、前記圧力室の容量が変化するように、前記圧力室と協力関係をもって配置さ れたインクジェット記録装置において、 前記ピエゾアクチュエータ素子が、アクチュエータプレート（７）として形成 され、その駆動方向が、前記アクチュエータプレートの厚さ方向と一致し、前記 アクチュエータプレートに、前記圧力室（１３）を形成する凹部が設けられたこ とを特徴とするインクジェット記録装置。 ２．請求項１に記載のインクジェット記録装置において、 前記凹部（１３）が前記アクチュエータプレートの第１および第２対向面（１ ５，１７）と結合するように、前記アクチュエータプレート（７）の厚さに跨っ て延在し、前記ノズルプレート（１９）が、前記圧力室（１３）の第１壁を形成 するために、前記アクチュエータプレートの前記第１面に結合された第１面（２ １）を持ち、前記圧力室の第２壁を形成するために、前記アクチュエータプレー トの第２面に結合された第１面（２７）を持つ基本プレート２５が設けられたこ とを特徴とするインクジェット記録装置。 ３．請求項２に記載のインクジェット記録装置において、 前記インク貯留部（２９）及びインク供給チャネル（３１）が、前記アクチュ エータプレート（７）の第１または第２面（１５，１７）の両者に凹部として形 成されたことを特徴とするインクジェット記録装置。 ４．請求項２に記載のインクジェット機録装置において、 前記インク貯留部（２９）及び前記インク供給チャネル（３１）が、前記ノズ ルプレート（２９）の第１面（２１）もしくは前記基本プレート（２５）の第１ 面（２７）における凹部として形成されたことを特徴とするインクジェット記録 装置。 ５．請求項１に記載のインクジェット機録装置において、 前記アクチュエータプレート（７）の第１面に、当該第１面に対向する第２面 （１７）に沿って延在しないように前記凹部（１３）が設けられ、前記ノズルプ レート（１９）が、前記圧力室の第１壁を形成するために、前記アクチュエータ プレートの前記第１面に結合された第１面（２１）を有することを特徴とするイ ンクジェット機録装置。 ６．請求項５に記載のインクジェット記録装置において、 前記インク貯留部（２９）と前記インク供給チャネル（３１）が、前記ノズル プレート（１９）の第１面（２１）もしくは前記アクチュエータプレート（７） の前記第１面（１５）における凹部として形成されることを特徴とするインクジ ェット機録装置。 ７．請求項２または５に記載のインクジェット記録装置において、 分離プレート（４１）が前記駆動プレート（７）の第１面（１５）と前記のず るプレート（１９）との間に設けられ、前記インク貯留部（２９）と前記インク 供給チャネル（３１）が前記分離プレートの開口として形成され。 ８．請求項１乃至７の何れか一項に記載のインクジェット記録装置において、 前記圧力室（１３）の容量に相当する部分が充填物（４５）で満たされること を特徴とするインクジェット記録装置。 ９．請求項８に記載のインクジェット記録装置において、 前記充填物（４５）が、前記ノズルプレート（１９）の第１面（２１）もしく は前記基本プレート（２５）の第１面（２７）に形成された突出部を有すること を特徴とするインクジェット記録装置。 １０．請求項９に記載のインクジェット機録装置において、 前記充填物（４５）が、多孔性材料を有することを特徴とするインクジェット 記録装置。 １１．請求項９に記載のインクジェット記録装置において、 前記充填物（４５）が、弾性材料を有することを特徴とするインクジェット記 録装置。 １２．請求項１乃至１１の何れか一項に記載のインクジェット記録装置において 、 電気的絶縁材料のコーティング（４９）が、前記圧力室（１３）を形成するア クチュエータプレート中の凹部の内壁に設けられ、 少なくとも前記内壁に相当する部分を覆う前記コーティングが、前記圧力室の 内部に突出されることを特徴とするインクジェット記録装置。 １３．請求項１乃至１３の何れか一項に記載のインクジェット記録装置に適する インクジェット記録ヘッド。