JP2695418B2 - オンデマンド型インクジェットヘッド - Google Patents
オンデマンド型インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JP2695418B2 JP2695418B2 JP62274908A JP27490887A JP2695418B2 JP 2695418 B2 JP2695418 B2 JP 2695418B2 JP 62274908 A JP62274908 A JP 62274908A JP 27490887 A JP27490887 A JP 27490887A JP 2695418 B2 JP2695418 B2 JP 2695418B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated
- vibrator
- nozzle
- thin film
- recording liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/02—Ink jet characterised by the jet generation process generating a continuous ink jet
- B41J2/025—Ink jet characterised by the jet generation process generating a continuous ink jet by vibration
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、オンデマンド型インクジェットヘッドに関
する。 従来技術 第５図は、従来のインクジェット記録ヘッドの一例を
示すための要部断面図で、図中、20は圧電素子20aと弾
性板20bとから成る振動ユニット、21は衝撃棒片、22は
ノズル入口開口部、23は記録液、24はノズル、25は振動
ユニット固定部で、周知のように、圧電素子20aと弾性
板20bとから成る振動ユニット20が記録液23中におい
て、その一端が振動ユニット固定部25に固定支持され、
他端に設けられた衝撃棒片21がノズル入口開口部22の前
方に配置され、この衝撃棒片21の変位による圧力変化が
ノズル入口開口部の記録液に伝達されてノズル24より記
録液23が噴射される。 しかしながら、上述のインクジェット記録ヘッドにお
いては、振動ユニット20としてユニモルフ、或いは、バ
イモルフタイプの振動子を使用しており、そのため変位
は大きくとれるが、その反面応答速度が遅く、振動周波
数を高くできない。また、クシ歯状に形成した振動子に
よる直接振動タイプは変位が小さく、所望の変位を得る
ためには振動子を長くする必要がありヘッドが大きくな
る欠点があった。更に、振動子が記録液に接しているこ
とから振動子の電極間並びに電極とアース間のリークを
防止するために非導電性の記録液を使用する必要があ
り、記録液が高価で、しかも種類が限定される等の欠点
を有するものであった。 目的 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもの
で、特に、振動子として積層型を用いて小型化を図り、
更には、この振動子をインクに接しないようにすること
によって、記録液の種類を非導電性のものに限定するこ
となく、選択の巾をひろげ、より経済的で信頼性の高い
オンデマンド型インクジェットヘッドを提供することを
目的としてなされたものである。 構成 本発明は、上記の目的を達成するため、多数個の積層
型振動子と、前記各積層型振動子側に記録液が流れ込み
積層型振動子が記録液に直接接することを防ぐととも
に、前記各積層型振動子からの振動を受ける薄膜部材
と、前記各薄膜部材に対向する側に記録液を吐出させる
ための前記各積層型振動子に対応した開口部を貫通して
設けているノズルプレートとを備え、前記薄膜部材と前
記各積層型振動子との間に絶縁部材を有し、前記各積層
型振動子の振動に基づいて前記薄膜部材を振動させ、該
薄膜部材と前記ノズルプレートとの間の記録液を前記各
開口部から吐出させることを特徴としたものである。以
下、本発明の一実施例に基づいて説明する。 第１図は、本発明におけるドロップオンデマンドイン
クジェット記録ヘッドの構成を説明するための要部断面
図で、図中、１は積層型振動子、２は振動子ホルダー、
３はノズルプレート、４はRTVゴム、５はノズル、６は
振動ユニットノズル対向面、7,7′は電極で、積層型振
動子１は、両端に変形しないセラミック1bを有し、これ
らのセラミックに挟まれる様に電歪振動子1aが積層され
ており、一端が振動子ホルダー２に固着され、反対側の
面がノズル５に対向して配設されている。 このように積層型振動子１の振動面が直接ノズルに対
向しているのでノズルからの記録液の吐出効率がよく、
また振動子に積層型を用いることによってヘッドの小型
化を図ることができる。更には、ノズル側の積層型振動
子１の変形しないセラミック1bと振動子ホルダー２との
間隙にRTVゴム４を充填することにより記録液が積層型
振動子に接触しないように構成されており、これによ
り、記録液によるリークを防止することができる。ま
た、上記の積層型振動子と振動子ホルダー間の絶縁性を
よくするために変形しないセラミック面をテフロン等で
絶縁コートしたり、RTVゴムに僅か埋没させるか、もし
くは、第２図に示すように、ステンレス等の接液性の良
い振動部材として薄膜８を接合する方法もある。 第３図は、ノズルプレート３の一実施例を示す斜視図
で、図中、９はウェハー、10は溝、11はノズル近傍の絞
り部である。ノズルプレート３はSiウェハー９を一次エ
ッチングして溝10を形成し、二次エッチングでノズル近
傍の絞り部11を、図から明らかなように、貫通させて形
成することによって、精度よくミクロンオーダで溝やノ
ズルを形成することができる。 また、Siウェハー９でノズル近傍の絞り部11を形成
し、他の方法、例えばエレクトロフォーミングで作った
ノズルをプレートに貼り付けることも可能である。 第４図は、積層型振動子１をクシ歯状に形成した場合
の一例を示すための斜視図で、積層型振動子１を各々第
３図に示すノズル５に対向させるように、クシ歯状に形
成することによって集積度、組立性の向上を図ることが
できる。 上述の実施例によれば、積層型振動子１のノズル対向
面６を、例えば、一辺が0.5mmの正方形に形成した場
合、積層型振動子１の変位量は２μｍ程度必要である
が、これは積層型振動子１を長さが9mm、60層程度のも
のとすることで実現でき、駆動電圧も50V程度の低電圧
でよい。 効果 上述の説明から明らかなように、本発明においては、
振動子に積層型を用いることで、ヘッドの小型化を図る
ことができ、又、振動子が記録液に接しない構造とする
ことにより、記録液の選択の巾がひろがる等の利点を有
し、さらには、振動部材に対向する側に設けたノズルプ
レートの開口部から記録液を吐出させるため、記録液流
れのロスが少なくすみ、吐出効率が良いオンデマンド型
インクジェットヘッドを提供することができる。
する。 従来技術 第５図は、従来のインクジェット記録ヘッドの一例を
示すための要部断面図で、図中、20は圧電素子20aと弾
性板20bとから成る振動ユニット、21は衝撃棒片、22は
ノズル入口開口部、23は記録液、24はノズル、25は振動
ユニット固定部で、周知のように、圧電素子20aと弾性
板20bとから成る振動ユニット20が記録液23中におい
て、その一端が振動ユニット固定部25に固定支持され、
他端に設けられた衝撃棒片21がノズル入口開口部22の前
方に配置され、この衝撃棒片21の変位による圧力変化が
ノズル入口開口部の記録液に伝達されてノズル24より記
録液23が噴射される。 しかしながら、上述のインクジェット記録ヘッドにお
いては、振動ユニット20としてユニモルフ、或いは、バ
イモルフタイプの振動子を使用しており、そのため変位
は大きくとれるが、その反面応答速度が遅く、振動周波
数を高くできない。また、クシ歯状に形成した振動子に
よる直接振動タイプは変位が小さく、所望の変位を得る
ためには振動子を長くする必要がありヘッドが大きくな
る欠点があった。更に、振動子が記録液に接しているこ
とから振動子の電極間並びに電極とアース間のリークを
防止するために非導電性の記録液を使用する必要があ
り、記録液が高価で、しかも種類が限定される等の欠点
を有するものであった。 目的 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもの
で、特に、振動子として積層型を用いて小型化を図り、
更には、この振動子をインクに接しないようにすること
によって、記録液の種類を非導電性のものに限定するこ
となく、選択の巾をひろげ、より経済的で信頼性の高い
オンデマンド型インクジェットヘッドを提供することを
目的としてなされたものである。 構成 本発明は、上記の目的を達成するため、多数個の積層
型振動子と、前記各積層型振動子側に記録液が流れ込み
積層型振動子が記録液に直接接することを防ぐととも
に、前記各積層型振動子からの振動を受ける薄膜部材
と、前記各薄膜部材に対向する側に記録液を吐出させる
ための前記各積層型振動子に対応した開口部を貫通して
設けているノズルプレートとを備え、前記薄膜部材と前
記各積層型振動子との間に絶縁部材を有し、前記各積層
型振動子の振動に基づいて前記薄膜部材を振動させ、該
薄膜部材と前記ノズルプレートとの間の記録液を前記各
開口部から吐出させることを特徴としたものである。以
下、本発明の一実施例に基づいて説明する。 第１図は、本発明におけるドロップオンデマンドイン
クジェット記録ヘッドの構成を説明するための要部断面
図で、図中、１は積層型振動子、２は振動子ホルダー、
３はノズルプレート、４はRTVゴム、５はノズル、６は
振動ユニットノズル対向面、7,7′は電極で、積層型振
動子１は、両端に変形しないセラミック1bを有し、これ
らのセラミックに挟まれる様に電歪振動子1aが積層され
ており、一端が振動子ホルダー２に固着され、反対側の
面がノズル５に対向して配設されている。 このように積層型振動子１の振動面が直接ノズルに対
向しているのでノズルからの記録液の吐出効率がよく、
また振動子に積層型を用いることによってヘッドの小型
化を図ることができる。更には、ノズル側の積層型振動
子１の変形しないセラミック1bと振動子ホルダー２との
間隙にRTVゴム４を充填することにより記録液が積層型
振動子に接触しないように構成されており、これによ
り、記録液によるリークを防止することができる。ま
た、上記の積層型振動子と振動子ホルダー間の絶縁性を
よくするために変形しないセラミック面をテフロン等で
絶縁コートしたり、RTVゴムに僅か埋没させるか、もし
くは、第２図に示すように、ステンレス等の接液性の良
い振動部材として薄膜８を接合する方法もある。 第３図は、ノズルプレート３の一実施例を示す斜視図
で、図中、９はウェハー、10は溝、11はノズル近傍の絞
り部である。ノズルプレート３はSiウェハー９を一次エ
ッチングして溝10を形成し、二次エッチングでノズル近
傍の絞り部11を、図から明らかなように、貫通させて形
成することによって、精度よくミクロンオーダで溝やノ
ズルを形成することができる。 また、Siウェハー９でノズル近傍の絞り部11を形成
し、他の方法、例えばエレクトロフォーミングで作った
ノズルをプレートに貼り付けることも可能である。 第４図は、積層型振動子１をクシ歯状に形成した場合
の一例を示すための斜視図で、積層型振動子１を各々第
３図に示すノズル５に対向させるように、クシ歯状に形
成することによって集積度、組立性の向上を図ることが
できる。 上述の実施例によれば、積層型振動子１のノズル対向
面６を、例えば、一辺が0.5mmの正方形に形成した場
合、積層型振動子１の変位量は２μｍ程度必要である
が、これは積層型振動子１を長さが9mm、60層程度のも
のとすることで実現でき、駆動電圧も50V程度の低電圧
でよい。 効果 上述の説明から明らかなように、本発明においては、
振動子に積層型を用いることで、ヘッドの小型化を図る
ことができ、又、振動子が記録液に接しない構造とする
ことにより、記録液の選択の巾がひろがる等の利点を有
し、さらには、振動部材に対向する側に設けたノズルプ
レートの開口部から記録液を吐出させるため、記録液流
れのロスが少なくすみ、吐出効率が良いオンデマンド型
インクジェットヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明におけるドロップオンデマンドインク
ジェット記録ヘッドの実施例を示すための要部断面図、
第２図は、他の実施例を示す要部断面図、第３図は、ノ
ズルプレートの構成を示すための斜視図、第４図は、積
層型振動子をクシ歯状に形成した場合の一例を示すため
の斜視図、第５図は、従来のインクジェット記録ヘッド
の一例を説明するための要部構成図である。 １……積層型振動子、２……振動子ホルダー、３……ノ
ズルプレート、４……RTVゴム、５……ノズル、６……
振動子ノズル対向面、7,7′……振動子用電極、８……
薄膜、９……ウェハー、10……溝、11……ノズル絞り
部。
ジェット記録ヘッドの実施例を示すための要部断面図、
第２図は、他の実施例を示す要部断面図、第３図は、ノ
ズルプレートの構成を示すための斜視図、第４図は、積
層型振動子をクシ歯状に形成した場合の一例を示すため
の斜視図、第５図は、従来のインクジェット記録ヘッド
の一例を説明するための要部構成図である。 １……積層型振動子、２……振動子ホルダー、３……ノ
ズルプレート、４……RTVゴム、５……ノズル、６……
振動子ノズル対向面、7,7′……振動子用電極、８……
薄膜、９……ウェハー、10……溝、11……ノズル絞り
部。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．多数個の積層型振動子と、前記各積層型振動子側に
記録液が流れ込み積層型振動子が記録液に直接接するこ
とを防ぐとともに、前記各積層型振動子からの振動を受
ける薄膜部材と、前記各薄膜部材に対向する側に記録液
を吐出させるための前記各積層型振動子に対応した開口
部を貫通して設けているノズルプレートとを備え、前記
薄膜部材と前記各積層型振動子との間に絶縁部材を有
し、前記各積層型振動子の振動に基づいて前記薄膜部材
を振動させ、該薄膜部材と前記ノズルプレートとの間の
記録液を前記各開口部から吐出させることを特徴とする
オンデマンド型インクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62274908A JP2695418B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | オンデマンド型インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62274908A JP2695418B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | オンデマンド型インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01115638A JPH01115638A (ja) | 1989-05-08 |
| JP2695418B2 true JP2695418B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=17548208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62274908A Expired - Lifetime JP2695418B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | オンデマンド型インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2695418B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3041952B2 (ja) * | 1990-02-23 | 2000-05-15 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド、圧電振動体、及びこれらの製造方法 |
| US6186619B1 (en) | 1990-02-23 | 2001-02-13 | Seiko Epson Corporation | Drop-on-demand ink-jet printing head |
| JPH04106412A (ja) * | 1990-08-27 | 1992-04-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバジヤイロ |
| JP2774883B2 (ja) * | 1990-11-29 | 1998-07-09 | シャープ株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| JP2002144557A (ja) | 2000-11-10 | 2002-05-21 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッドの駆動方法 |
| US7131718B2 (en) | 2003-06-20 | 2006-11-07 | Ricoh Printing Systems, Ltd. | Inkjet head and ejection device |
| JP5078515B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-11-21 | 三洋電機株式会社 | 燃料電池 |
| JP2011034808A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 生成水除去装置 |
| JP5424808B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2014-02-26 | 株式会社アルバック | 印刷ヘッド及び吐出装置 |
| JP2011083705A (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Ulvac Japan Ltd | 印刷ヘッド及び吐出装置並びに印刷ヘッドの振動部形成方法 |
| CN110123634A (zh) | 2018-02-09 | 2019-08-16 | 株式会社理光 | 颗粒的制造方法，颗粒的制造装置，以及颗粒 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6027572B2 (ja) * | 1977-09-29 | 1985-06-29 | 富士ゼロックス株式会社 | インク液滴噴射装置 |
| JPS56120365A (en) * | 1980-02-28 | 1981-09-21 | Seiko Epson Corp | Ink jet head |
| JPS61120763A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-07 | Ricoh Co Ltd | インクジエツト記録装置におけるインクジエツトヘツド |
| JPS63125343A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Canon Inc | 記録ヘツド |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP62274908A patent/JP2695418B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01115638A (ja) | 1989-05-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080912 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080912 Year of fee payment: 11 |